KR20010050169A - 전극 및 진공밸브용 전극과 진공밸브 및 진공개폐기 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은, 소형이고 경시적인 변형이 적고 생산성 및 신뢰성이 높은 전극 및 이를 구비한 진공차단기와, 그것에 사용되는 진공밸브 및 그 진공밸브용 전극을 제공하는 것이다.

이를 위하여 본 발명은 고정측 전극 및 가동측 전극은 내화성 금속입자와 고도전성 금속의 합금으로 이루어지는 아크전극과 이 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부와 이 전극지지부보다 가늘은 지름부를 가지는 전극봉을 가지고, 이 전극봉을 상기 아크전극 또는 그것과 전극지지부에 설치된 관통구멍을 통하여 납땜에 의해 일체로 형성한 것을 특징으로 한다.

Description

전극 및 진공밸브용 전극과 진공밸브 및 진공개폐기{ELECTRODE, ELECTRODE FOR VACUUM VALVE, VACUUM VALVE AND VACUUM LOAD-BREAK SWITCH}

본 발명은 신규 전류를 차단하는 전극과, 특히 그것을 사용한 진공밸브용 전극과 진공밸브 및 진공개폐기에 관한 것이다.

진공차단기는 단로기, 접지개폐기, 피뢰기, 교류기 등과 더불어 사용되고, 각종 빌딩, 호텔, 변전소, 지하가, 석유콤비나트, 각종 공장, 역, 차량, 병원, 회관, 상하수도 등의 공공설비 등의 고압 수변전 설비내에 사용되는 장치이다.

그리고 진공차단기의 일부를 구성하는 진공밸브내에는 한 쌍의 고정측 전극과 가동측 전극을 대응배치하고 서로 접하는 쪽에 아크전극이 사용된다. 양 전극은 배면에 접속된 전극지지부를 가지고, 또한 전극지지부에 접속된 전극봉이 외부로 연장되어 외부 도체단자에 접속된다. 이들 아크전극, 전극지지부 및 전극봉은 도전성 모재로 형성된다.

아크전극은 고전압, 대전류를 개폐하기 위해 직접 아크에 노출된다. 아크전극에 요구되는 만족할 만한 특성은 차단용량이 클 것, 내전압치가 높을 것, 접촉저항치가 작을 것(전기전도가 우수한 것), 내용착성이 우수할 것, 전극 소모량이 적을 것 및 재단 전류치가 작을 것 등, 기본적인 조건을 들 수 있다.

그러나 이들 특성을 모두 만족시키는 것은 곤란하며 일반적으로는 용도에 따라 특히 중요한 특성을 중시하고, 다른 특성은 어느정도 희생되게 한 재료가 사용되고 있다. 대전류, 고전압차단용 아크전극재료로서는 일본국 특개소63-96204호 공보에는 Cr 또는 Cr-Cu 성형체에 Cu를 용침시키는 방법이 개시되어 있다.

아크전극은 Cr분말 또는 Cr분말과 Cu분말의 혼합분을 소정의 조성, 형상, 빈 구멍량으로 성형한 성형체에 Cu 또는 그 합금용탕을 스며 들게 하는 이른바 용침법에 의해 제조되어 소정형상으로 가공된다. 가공된 아크전극 배면에는 전극지지부 또한 전극봉이 납땜에 의해 접합되어 일련의 전극구조로 되나, 납땜 접합을 사용하여 구성되는 전극은 부품조립시의 각 부품의 중심맞춤 등에 대단한 수고와 시간이 걸리고, 아울러 납땜불량에 의한 전극재의 파괴나 탈락의 사고원인이 된다.

따라서 제조과정에 있어서 상기한 아크전극, 전극지지부 및 전극봉을 일체화하는 방법으로서, 내화성 금속인 Cr과 고도전성 금속인 Cu로 이루어지는 성형체에 고도전성 금속인 Cu 또는 그 합금용탕을 스며 들게 함과 더불어, 고도전성 금속의 잔부를 가지고 전극지지부 및 전극봉을 형성하는 이른바 일체용침법이 개발되었고, 이 제조법은 일본국 특개평7-29461호, 특개평11-167847호 공보에 개시되어 있다. 또한 스파이럴홈 및 보강부재에 관해서는 일본국 특개평9-190744호 공보에 개시되어 있다.

전자의 2개의 공보에 의한 전극구조는 주로 종(縱)자계 발생 코일형 전극을 나타내고 있으며, 아크전극과 코일전극을 일체용침법에 의해 일체화하고 있으나, 이러한 형태의 전극구조는 복잡하고 부품수도 많아 납땜, 조립에 수고가 많이 가고, 비용 및 생산성이 뒤떨어진다는 문제가 있었다. 이 납땜을 없애기 위하여 아크전극으로부터 전극봉까지를 일체화하는 용침예도 표시되어 있으나, 이것에서는 코일전극의 안쪽공간을 깎아 내는 가공이 불가능하여 종자계를 발생할 수 없다.

또 다른구조의 전극으로서 스파이럴형 전극을 들고 있으나, 홈이 4개이상 설치되면 홈에 의해 분할된 블레이드형상의 아크러너의 근원의 강도가 작아 전극개폐시에 변형될 염려가 있다. 또한 아크러너는 지름방향으로 테이퍼가 생겨 있어 상대측 전극과 접촉하는 것은 아크전극 중심부만이 되고, 통전시에 저항가열에 의한 전극부의 온도상승이 염려된다. 또 전극지지부와 전극봉은 납땜에 의해 접합되어 있다.

전자의 이들 공보에 의한 제조방법에서는 고도전성 금속을 용융시키기 위하여 내화성 용기내에서 용침이 행하여지며, 기본적으로 1개의 용기로부터 1개의 용침 주괴가 얻어진다. 그러나 생산효율의 향상을 목적으로 하여 1개의 용기내에 성형체와 Cu의 공급재를 교대로 복수단 겹치게 얹어 놓고 용침함으로써 1개의 용기로 복수개의 용침 주괴가 얻어지는 것을 나타내고 있다.

그러나 이 방법에 의하면 내화성 용기내에 알루미나분말을 충전하기 위해 성형체보다도 큰 지름의 내화성 용기가 필요하게 되고, 여분으로 스페이스가 필요하게 되어 생산성이 저하한다. 또 알루미나분말의 충전이 균일하지 않으면 용침부족 등의 불량이 발생하기 쉽고, 또한 용침후의 주괴 표면에는 알루미나분말이 용착되어 전극가공시의 절삭바이트의 수명저하로 이어진다는 문제가 있었다.

또한 후자의 공보에는 전극봉의 접합에 대해서는 전혀 개시되어 있지 않다.

본 발명의 목적은 접합신뢰성이 높고 제조가 용이한 전류를 차단하는 전극과 그것을 사용한 진공밸브용 전극과 진공밸브 및 진공개폐기를 제공하는 데 있다.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 관한 제조방법에 의해 얻어진 용침 주괴의 단면도,

도 2는 본 발명의 실시예 1에 관한 제조방법을 나타내는 도,

도 3a는 본 발명의 실시예 1에 관한 전극의 구조를 나타내는 정면도,

도 3b는 본 발명의 실시예 1에 관한 전극의 구조를 나타내는 단면도,

도 4는 실시예 1에 관한 전극의 다른 구조를 나타내는 평면도,

도 5는 본 발명의 실시예 2에 관한 제조방법에 의해 얻어진 용침 주괴의 단면도,

도 6은 본 발명의 실시예 3에 관한 제조방법을 나타내는 도,

도 7은 본 발명의 실시예 4에 관한 제조방법에 사용되는 내화용기를 나타내는 도,

도 8은 본 발명의 실시예 4에 관한 제조방법을 나타내는 도,

도 9는 본 발명의 실시예 5에 관한 스파이럴홈을 가지는 진공밸브용 전극의 정면도 및 단면도,

도 10은 본 발명의 실시예 6에 관한 진공밸브의 단면도,

도 11은 본 발명의 실시예 6에 관한 진공차단기의 전체구성도,

도 12는 본 발명의 실시예 6에 관한 다른 구조를 가지는 진공밸브의 단면도이다.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1, 7, 9 : 용침주괴 2 : 아크전극부재

3, 14, 32a, 32b : 전극지지부재 4, 11 : 흑연제 도가니

5 : 아크전극용 압분체 6 : 공급용 Cu주괴

8 : 흑연제 지지구 10 : 흑연제 반할형

12, 31a, 31b : 아크전극 13 : 스파이럴홈

15, 33a, 33b : 전극봉 16 : 보강판

30a : 고정전극 30b : 가동전극

35 : 절연통체 36 : 밀봉부재

37 : 벨로즈 38a, 38b : 밀봉링

39a, 39b : 뒤면 도체 47 : 버튼

60 : 에폭시 수지통 61 : 절연조작로드

62 : 상부단자 63 : 집전자

64 : 하부단자 65 : 접촉스프링

66 : 지지레버 68 : 플랜저

71 : 주레버 72 : 떼어냄 코일

75 : 투입코일 76 : 배기통

80a, 80b : 아크차폐판

본 발명은 전류를 차단하는 전극에 있어서, 이 전극은 상기 전류의 차단면이되는 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 가지는 합금으로 이루어지는 아크전극과, 이 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부와, 이 전극지지부에 접속되어 전극지지부보다 가늘은 지름부를 가지는 전극봉을 가지며, 상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있고, 상기 전극봉은 상기 전극지지부에 설치된 오목부에 삽입하여 납땜되어 있고, 이 오목부는 상기 전극지지부를 관통하지 않도록 형성되어 있을 것, 또는 상기 전극지지부의 상기 차단면의 반대면측에 상기 고도전성 금속보다도 강도가 높은 비자성의 보강부재가 설치되어 있고, 상기 전극봉은 상기 전극지지부에 설치된 오목부에 삽입하여 상기 보강부재와 함께 동시에 납땜되어 있는 것, 또는 이들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 전극은 상기 전류의 차단면이 되는 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 가지는 합금으로 이루어지는 아크전극과, 이 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부와, 상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있고, 상기 차단면에 있어서 전극 안둘레측으로부터 바깥 둘레측에 걸쳐 형성된 복수개의 홈을 가지며, 상기 아크전극은 상기 차단면의 중심부에 오목부가 형성되고, 이 오목부의 깊이는 상기 아크전극 두께의 50% 이상 인 것 또는 상기 전극지지부의 상기 차단면의 반대면측에 상기 고도전성 금속보다도 강도가 높은 비자성의 보강부재가 설치되어 있고, 이 보강부재의 두께는 상기 전극지지부의 두께에 대하여 30 내지 50% 인 것, 또는 상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있고, 상기 전극의 중심부에 상기 아크전극과 전극지지부를 관통하는 관통구멍을 가지며, 상기 전극지지부의 두께는 아크전극의 두께보다 두꺼운 것, 또는 이들의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 전류를 차단하는 전극에 있어서, 이 전극은 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 함유하는 합금으로 이루어지는 아크전극과, 이 아크전극에 접속된 근방에서 상기 아크전극보다 가늘은 지름부를 가지는 전극봉을 가지고, 상기 아크전극의 상기 차단면의 반대면측에 상기 아크전극보다도 강도가 높은 비자성의 보강부재가 설치되어 있고, 상기 전극봉은 상기 아크전극 및 보강부재에 설치된 관통구멍에 상기 아크전극 및 보강부재와 함께 동시에 납땜되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 고정측 전극과 가동측 전극을 가지는 진공밸브용 전극에 있어서, 상기 양 전극의 서로 마주보는 전면(全面)은 내화성 금속과 고도전성 금속을 가지는 합금으로 이루어지는 아크전극에 의해 구성되고, 이 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부를 가지며, 이 전극지지부의 배면에는 상기 고도전성 금속으로 이루어지는 전극봉을 가지고, 상기 아크전극과 전극지지부 및 전극봉은 상기 고도전성 금속의 용융에 의해 일체로 형성되고, 상기 고정측 전극과 가동측 전극은 서로 마주보는 면에서 전극 안 둘레측으로부터 바깥 둘레측에 걸쳐형성된 3개 이상의 홈을 가지며, 이 홈은 상기 양 전극의 바깥 둘레측 끝부까지 도달하여 상기 전극을 3분할 이상으로 하고, 이 홈은 상기 아크전극과 전극지지부를 관통하고 있는 데 있다. 아크전극과 전극지지부 또는 이것에 더하여 전극봉이 금속조직학적으로 일체화되어 있음으로써 아크전극 탈락 등의 염려가 없고, 접합경계면이 없기 때문에 저항가열에 의한 국부적인 온도상승이 없다. 또 안 둘레측으로부터 바깥 둘레측에 걸쳐 홈의 개수를 3개 이상으로 함으로써, 블레이드형상의 근원을 굵게 할 수 있어 변형을 막을 수 있다.

아크전극과 전극지지부가 금속조직학적으로 일체화되어 전극봉은 야금적 접합함으로써 일체 용침 주괴의 전극봉 부분의 가공여유가 크다는 문제를 없앨 수 있어 1개의 내화용기로 다수의 일체 용침 주괴를 얻을 수 있다.

또 본 발명은 상기 전극지지부의 배면의 일부에는 고강성 금속 또는 합금으로 이루어지는 보강판을 가지며, 상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속의 용융에 의해 일체로 형성되고, 상기 전극지지부, 보강판 및 전극봉은 야금적으로 접합되고, 상기 고정측 전극과 가동측 전극은 서로 마주보는 면에서 전극 안 둘레측으로부터 바깥 둘레측에 걸쳐 형성된 3개 이상의 홈을 가지고, 이 홈은 상기양 전극의 바깥 둘레측 끝부까지 도달하여 상기 전극을 홈의 개수로 분할하고, 이 홈은 상기 아크전극과 전극지지부를 관통하고 있는 데 있다. 전극지지부의 배면에 보강판을 설치함으로써 홈에 의해 분할된 블레이드형의 근원이 보강되어 변형의 염려가 없고, 홈을 4개 이상 가질 수 있다. 또한 이 보강판은 고도전성 금속의 용융으로 감쌀 수 있어 아크전극으로부터 전극봉까지를 금속조직학적으로 일체화할 수 있다.

본 발명은 상기 아크전극은 내화성 금속으로서 Cr, W, Mo, Ta, Nb, Be, Hf, Ir, Pt, Zr, Ti, Te, Si, V, Fe, Co, Ni, Mn, Rh 및 Ru의 1종 또는 2종 이상의 혼합물 또는 이들 화합물과, 고도전성 금속으로서 Cu, Ag 또는 Au로 이루어지는 금속 또는 이들을 주로 한 합금으로 이루어지고, 상기 전극지지부는 상기 고도전성 금속 또는 그것을 주로 한 합금으로 이루어지는 데 있다. 이에 따라 차단성능, 내전압, 내용착성이 뛰어나고, 필요한 기계적 강도를 가지는 진공밸브용 전극이 얻어진다. 성분량은 내화성 금속으로서 Cr, W, Mo, Ta, Nb, Be, Hf, Ir, Pt, Zr, Ti, Te, Si, V, Fe, Co, Ni, Mn, Rh 및 Ru의 1종 또는 2종 이상의 합계량 20 내지 80중량% 바람직하게는 35 내지 65중량%와, 고도전성 금속으로서 Cu, Ag 또는 Au로 이루어지는 금속 또는 이들을 주로 한 합금을 20 내지 80중량%, 바람직하게는 35 내지 65중량%을 함유하는 것이 요구되는 전극성능에 대하여 바람직하다. 내화성 금속으로서 융점이 1800℃ 이상의 Cr, Mo, W, Ta 등이 바람직하다.

또 본 발명은 상기 아크전극이 산소를 400 내지 5000 ppm 함유하는 것이 바람직하고, 이로서 소망하는 전극성능을 얻을 수 있다.

또 본 발명은 상기 전극지지부의 비저항이 1.8 내지 5.6 μΩcm, 상기 아크전극의 비저항이 3.7 내지 6.6 μΩcm 인 것이 바람직하다. 이 비저항치를 가짐으로써 필요한 내전압특성 및 도전율을 가지는 진공밸브용 전극를 얻을 수 있다.

본 발명의 제조방법은 상기 내화성 금속과 고도전성 금속으로 이루어지는 다공질 성형체상에 상기 고도전성 금속을 얹어 놓고, 이것을 수직방향으로 복수단 겹쳐 내화용기내에 충전하거나 또는 상기 다공질 성형체와 상기 고도전성 금속을 교대로 수평방향으로 복수개 나열하여 내화용기내에 배치하고, 상기 다공질 성형체사이에는 성형체 간격을 고정하는 내화성 지지구를 설치하고, 상기 아크전극은 상기 고도전성 금속을 용융하여 상기 다공질 성형체내에 용침시킴으로써 형성하고, 상기전극지지부 및 전극봉은 용침후에 잔류하는 상기 고도전성 금속의 두께를 상기 전극지지부 및 전극봉으로서 필요한 두께로 상기 내화성 지지구에 의해 설정하여 형성하고, 상기 아크전극과 전극지지부 및 전극봉을 일체로 채취하는 데 있다. 이 방법에 의해 아크전극과 전극지지부 및 전극봉이 금속조직학적으로 일체화하여 그것을 복수개 채취할 수 있는 소망치수의 주괴가 얻어진다. 또 내화용기의 구조가 간단하고 원재료의 세트가 비교적 단시간으로 할 수 있고 생산효율이 뛰어나다.

또 전극봉 부분의 가공여유가 크다는 문제를 없앨 수 있고, 1개의 내화용기로 다수의 일체 용침 주괴를 얻을 수 있다.

또 본 발명의 제조방법은 상기 다공질 성형체를 이루는 상기 내화성 금속인 Cr, W, Mo, Ta, Nb, Be, Hf, Ir, Pt, Zr, Ti, Te, Si, V, Fe, Co, Ni, Mn, Rh 및 Ru의 1종 또는 2종 이상의 원료분말은 106㎛ 이상의 입자가 5중량% 이하, 75㎛ 이상의 입자가 50중량% 이하, 44㎛ 이하의 입자가 10중량% 이상의 입도분포를 가지는 것이 바람직하다. 고도전성 금속인 Cu, Ag 또는 Au로 이루어지는 금속 또는 이들을 주로 한 합금의 원료분말은 입자지름이 74㎛ 이하가 바람직하다. 이들 분말을 사용함으로써 내화성 금속과 고도전성 금속이 균일하게 분산된 혼합조직을 얻을 수 있어 안정된 성능이 얻어진다.

특히 본 발명에 있어서의 아크전극부재는 Cu 35 내지 65중량%, Cr 35 내지 65중량%, Nb, V, Fe, Ti 및 Zr의 1종 이상을 합계로 0.1 내지 10중량%, 바람직하게는 0.5 내지 5 중량%, 더욱 바람직하게는 0.5 내지 3.0중량% 함유하는 Cu 용침합금, 또는 이것에 Pb, Bi, Te 및 Se의 1종 이상을 합계로 0.1 내지 0.5%를 함유하는 Cu 용침합금이 바람직하다. 용침온도는 용침합금의 융점보다 30 내지 100℃ 높게 하는 것이 바람직하다.

전극봉은 전극지지부에 납땜하는 것, 또는 아크전극 및 전극지지부와 더불어 고도전성 금속의 용융에 의한 용침에 의해 일체로 할 수 있다. 전자에서는 무산소구리의 소성가공재의 고도전성 재료를 사용할 수 있기 때문에 적합하다.

보강판은 아크전극의 지름이 30 mm 이상의 것에 설치하는 것이 바람직하고, 특히 비자성의 스테인레스강이 사용되고, SUS 304, 316 등이 바람직하다.

진공차단기는 단로기, 접지개폐기, 피뢰기, 교류기와 더불어 사용되고, 고층빌딩, 호텔, 인텔리전트 빌딩, 지하가, 석유콤비나트, 각종 공장, 역, 병원, 회관, 지하철, 상하수도 등의 공공설비 등의 전원으로서 빠뜨릴 수 없는 고압 수변전 설비로서 사용된다.

(실시예 1)

도 1은 본 발명방법에 의해 제조한 용침주괴(1)의 단면을 나타내는 것이다. 여기서 2는 아크전극부재, 3은 전극지지부재이다. 먼저, 종래방법에 의한 구체적인 제조방법을 도 2를 사용하여 설명한다.

(1). 내화성금속으로서의 Cr 분말을 57중량%, Nb 분말을 4.5중량%, 고도전성금속으로서의 Cu 분말을 38.5중량%을 V믹서에 의해 혼합하였다. 이 때의 Cr 분말은 산소를 약 2000 ppm, Al, Si를 각각 약 800 ppm 함유하는 것이다. 혼합분을 지름 60 mm의 금형을 사용하여 1.8ton/cm²의 압력으로 성형하여 지름 60 mm, 두께 9 mm의 아크전극용 압분체(5)를 제작하였다.

(2). 흑연제 도가니(4)의 바닥에 아크전극용 압분체(5)를 두고, 고도전성 금속인 공급용 Cu주괴(6)를 얹어 놓고, 이것을 3단 겹친다. 이 때 아크전극용 압분체(5)의 사이에는 흑연제 지지구(8)를 설치하였다. 이것은 외경이 흑연제 도가니 (4)의 내경과 대략 동일한 링형상을 한 것으로, 내면에 이형제(離型劑)로서 BN이 도포되어 있어, 세로방향으로 반할형으로 되어 있다. 또 길이는 전극지지부재(3)가 필요로 하는 두께와 같다.

(3). 흑연제 도가니(4)를 가열용 진공전기로내에서 6.7 ×10^-3Pa 이하의 진공중에서 1200℃ ×90분간 가열한다. 이 때 도 2에 나타내는 공급용 Cu 주괴(6)는 용융되어 아크전극용 압분체(5)의 빈 구멍에 함침한다. 이에 따라 얻어지는 아크전극부재(2)에 있어서의 주성분의 조성은 약 Cr이 37중량%, Cu가 60중량%, Nb가 3중량%가 된다.

(4). 이들을 응고후에 흑연제 도가니(4)로부터 인출하면 용침주괴(7)가 얻어지고, 이것을 나타낸 것이 도 2이다. 이 때 흑연제 지지구(8)는 반할형을 위해 용침주괴(7)로부터 떼어 낸다.

도 2에 나타내는 절단위치에서 절단함으로써 금속조직학적으로 일체화한 아크전극부재(2)와 전극지지부재(3)를 3개 채취할 수 있다. 또한 3개에 한정하지 않고 동일한 방법에 의해 임의의 복수개의 아크전극부재(2)와 전극지지부재(3)를 포함하는 용침주괴를 제조할 수 있다. 또 지지구(8)는 흑연 이외의 재질이어도 되고, 스테인레스강, 탄소강 등, 용침을 행하는 온도에 있어서 변형 등이 생기지 않은 재질이면 된다.

또한 아크전극용 압분체(5)의 배면측, 즉 아크전극용 압분체(5)와 공급용 Cu 주괴(6)의 사이에 보강판을 배치하여 용침함으로써 아크전극부재(2)의 배면에 전극지지부재(3)로 둘러 싼 상태로 보강판을 가지는 용침주괴를 제작하는 것도 가능하다.

흑연제 지지구(8)의 길이를 전극지지부와 전극봉을 채취할 수 있는 길이로 설정하고, 공급용 Cu 주괴(6)을 그것에 충분한 만큼의 양을 충전함으로써 아크전극, 전극지지부 및 전극봉을 일체로 채취할 수 있는 용침주괴를 제작하는 것도 가능하다.

도 2에 나타내는 아크전극부재(2)와 전극지지부재(3) 각각의 비저항을 측정한 바, 아크전극부재(2)의 비저항은 어느쪽의 층도 4.9 내지 5.3 μΩcm, 전극지지부재(3)의 비저항은 어느쪽의 층도 2.4 내지 2.7 μΩcm 이었다. 또한 각 부재의 조직을 광학현미경에 의해 관찰한 바, 아크전극부재(2)와 전극지지부재는 금속조직학적으로 일체의 조직인 것이 확인되었다.

이상과 같이 본 발명의 방법에 의해 소망치수의 아크전극부재 및 전극지지부재가 비교적 간단한 구조의 내화용기를 사용함으로써 확실하게 복수개 제조할 수 있어 생산효율이 뛰어난 제조방법인 것이 확인되었다.

도 3은 이상의 방법에 의해 제작한 전극부재보다 구체적으로 제작한 진공밸브용 전극의 평면도(a) 및 그 (b)-(b)단면도이다. 본 실시예에 있어서의 전극은 전극의 중심부에 설치된 오목부(17)와 스파이럴홈(13)을 제외하고 전류의 차단면이되는 전면이 내화성 금속을 가지는 아크전극(12)에 의해 구성된다. 또 전극지지부재(14)는 뒤에서 설명하는 도체접속용 오목부(18)가 설치된다. 또 도 3에는 JIS 규격의 SUS 304로 이루어지는 보강판(16)이 뒤에서 설명하는 전극봉과 더불어 중량으로 Ag 70 내지 75%, Cu 25 내지 30%의 Ag납에 의해 납땜되나, 본 실시예에서는 보강판(16)이 없는 것도 동일한 구조를 가지는 것이다. 본 실시예에 있어서의 전극은 외주직경 34 mm, 아크전극(12)의 두께 3 mm, 그 오목부(17)의 직경 9 mm, 전극지지부재(14)의 두께 5 mm, 그 오목부(18)의 직경 9 mm인 관통구멍이 된다. 또한 보강판(16)은 그 외경 32 mm, 내경 12 mm, 그 내경은 전극지지부(14)의 내경보다 크고, 두께 2 mm 이다. 아크전극(12)의 면적에 대한 그 오목부의 면적은 7%, 보강판(16)의 두께는 전극지지부재(14)의 두께에 대하여 40% 이다. 도 3(a)에 나타내는 각 스파이럴홈(13)은 2개의 다른 원호에 의해 형성한 것이다.

또한 전극봉(15)은 각각의 관통구멍에 삽입되어 보강판(16)과 동시에 전극지지부재(14) 각각의 관통구멍에 납땜되나, 전극봉(15)의 서로의 대향면의 끝부가 전극지지부재(14)내에 있어 아크전극(12)에 도달하지 않도록 설치된다. 관통구멍의 형성과 전극봉의 형성은 서로 고정밀도에서의 가공이 얻어지기 때문에 높은 접합성이 얻어짐과 더불어 보강판(16)을 동시에 접합하기 때문에 생산공정을 단축할 수 있는 것이다. 본 실시예에서는 전극봉(15)의 전극지지부재(14)에 대한 접합깊이가 3 mm 이다.

도 4는 스파이럴홈(13)을 3개 가지며, 각 스파이럴홈(13)을 1개의 원호에 의해 형성한 것이다. 1개의 스파이럴홈에 대하여 1 내지 4개의 원호에 의해 형성할 수 있다.

(실시예 2)

도 5는 실시예 1과 같이 일체화한 아크전극부재(2)와 전극지지부재(3)를 3개채취하기 위한 용침주괴(9)를 나타낸다. 제조방법은 실시예 2와 동일하나, 아크전극부재(2)와 전극지지부재(3)의 두께를 조절하여 도 2에 나타낸 절단위치와는 다른 위치에서 절단하는 것이다. 즉 도 3의 경우가 아크전극부재(2)와 전극지지부재(3)와의 경계에서 절단하는 데 대하여, 도 5에서는 아크전극부재(2)와 전극지지부재 (3)에서 절단한다. 이 방법에 의하면 원재료인 아크전극용 압분체와 공급용 Cu 주괴의 부품수가 적어도 되고, 내화용기에 세트하는 노동력을 저감할 수 있어 생산효율이 향상된다.

(실시예 3)

도 6은 실시예 1과 같이 아크전극부재와 전극지지부재를 3개 채취하기 위한 제조방법으로, 아크전극용 압분체(5)의 제조법은 실시예 1과 동일하다. 내화용기에는 흑연제 도가니(4)의 안쪽에 단면형상이 대략 완성후의 전극형상을 이루는 흑연제 반할형(10)을 사용하고 2중 도가니구조로 하였다. 흑연제 반할형(10)의 내면에는 이형제로서 BN을 도포되어 있다.

이것에 아크전극용 압분체(5)와 공급용 Cu 주괴(6)을 공급하여 실시예 1과 같은 조건에 의해 가열하면 공급용 Cu 주괴(6)는 용융되어 아크전극용 압분체(5)의 빈 구멍에 함침됨과 더불어, 흑연제 반할형(10)이 이루는 형상으로 공급용 Cu 주괴 (6)가 용융충전되기 때문에 이것을 응고후에 흑연제 도가니(4) 및 흑연제 반할형 (10)으로부터 인출하면 대략 완성후의 전극형상 즉, 아크전극, 전극지지부 및 그것에 연속해있는 전극봉까지를 금속조직학적으로 일체화한 전극부재를 복수개 얻을 수 있다.

이상과 같이 반할형(10)을 사용함으로써, 이것이 대략 완성후의 전극형상을 형성함과 더불어 실시예 1에서 나타낸 지지구(8)의 역할도 다하여 후가공이 적은 전극형상을 고정밀도로 효율적으로 제작할 수 있는 것으로 나타났다.

(실시예 4)

도 7은 아크전극부재와 전극지지부재를 수평방향(가로방향)으로 복수개 나열하여 용침하기 위한 내화용기인 흑연제 도가니(11)를 나타내고, (a)가 정면도, (b)가 측면도이다. 이 흑연제 도가니(11)는 상하로 2분할 할 수 있는 반할형으로, 내면에는 이형제로서 BN을 도포하여 사용된다. 이 경우에서는 5개의 아크전극부재와 전극지지부재를 채취할 수 있다.

도 8은 도 7에 나타낸 흑연제 도가니(11)를 사용한 제조방법을 나타내는 것으로, 아크전극용 압분체(5)의 제조법은 실시예 1과 동일하다. 이 흑연제 도가니 (11)에 아크전극용 압분체(5)와 공급용 Cu 주괴(6)를 도 8과 같이 충전한다. 이 때 흑연제 도가니(11)의 내면형상이 아크전극용 압분체(5)와 공급용 Cu 주괴(6) 각각의 형상에 맞춘 치수로 되어 있기 때문에, 용침시에 Cu 용탕중에서 아크전극용 압분체(5)가 이동하거나 기울거나 하는 일이 없고, 흑연제 도가니(11)가 지지구의 역할을 겸하고 있기 때문에 원하는 치수를 얻을 수 있다.

(실시예 5)

본 발명에 관한 제조방법에 의해 얻어진 용침주괴를 사용하여 제작한 진공밸브용 전극의 실시예를 나타낸다.

도 9는 실시예 1에 사용한 재료를 사용하여 용침에 의해 제작한 전극으로, (a)가 정면도, (b)가 A-A 단면의 단면도이다. 아크전극(12)과 전극지지부(14)와 전극봉(15)은 금속조직학적으로 일체화되어 있다. 아크전극 표면은 평면으로 상대측 전극과 큰 면적으로 접하는 것이 바람직하다. 또 아크전극(12)으로부터 전극지지부(14)까지 도달하여 전극 안 둘레측으로부터 바깥 둘레측에 걸쳐 형성된 스파이럴홈(13)을 가진다. 이 스파이럴홈(13)은 바깥 둘레측 끝부에서 잘라내어져 있다. 이것은 보강판을 가지기 않기 때문에 스파이럴홈(13)은 3개까지로 하는 것이 강도적으로 바람직하다. 본 실시예에서는 4개로 하였다. 전극지지부(14)의 배면에는 전극봉(15)이 용침에 의해 일체로 형성되어 있다. 본 실시예에 있어서의 아크전극 (12) 및 전극지지부(14)의 형상과 치수는 실시예 1과 동일하다. 도 9에서는 보강판(16)이 용침에 의해 일체로 형성된 것이나, 보강판(16)을 가지지 않은 것도 동일한 용침에 의해 일체로 할 수 있다.

본 실시예에 있어서의 전극은 진공밸브용 고정측 전극을 나타낸 것이다. 전극봉(15)은 전극지지부재(14)와의 접합부에서 가장 가늘은 지름을 형성시키는 뒤면도체(39)가 형성된다. 이 뒤면 도체(39)는 전류의 차단시에 대향하는 전극의 차단면에 발생하는 아크를 각 스파이럴홈(13)에 의해 구획되는 블레이드의 중심부로부터 바깥 둘레부로 구동시키는 자계를 발생시키는 데 유효한 것이다. 또한 스파이럴홈(13)은 보강판(16)에는 도달하지 않는 것으로 그 선단부는 라운딩되어 있다.

(실시예 6)

표 1은 각종 정격에 있어서의 진공밸브의 제원(諸元)을 나타내는 것이다. 본 실시예에 있어서의 전극은 실시예 1 및 5에 나타내는 조성 및 제조법과 동일하다.

도 10은 표 1에 나타내는 No.1의 진공밸브의 단면도이다.

표 1에 나타내는 바와 같이 뒤면 도체(39a, 39b)의 직경은 고정측의 39a 및 가동측의 39b가 각각 전극의 직경에 대하여 전자가 0.2 내지 0.4, 바람직하게는 0.25 내지 0.35, 후자가 0.1 내지 0.2, 바람직하게는 0.1 내지 0.15배의 직경으로 할 수 있다. 또 본 실시예에서는 아크전극과 아크전극 지지부재(32a, 32b) 사이를 납재를 사용하지 않고 용침에 의해 일체로 형성되어 있기 때문에 아크전극과 절연통체와의 간격을 작게 할 수 있고 그 간격을 10 내지 15 mm 이내로 할 수 있어 콤팩트하게 할 수 있다.

또 아크전극(31a, 31b)의 차단면에 설치되는 오목부 직경은 전극 지름의 면적에 대하여 그 면적을 5 내지 20%, 바람직하게는 5 내지 15%, 더욱 바람직하게는 5 내지 10%로 한다. 전극지지부재(32a, 32b)에 설치되는 오목부의 지름은 아크전극면의 오목부와 동등하게 하는 것이 바람직하고, 양자를 동일한 지름으로 하여 관통구멍으로 하는 것이다. 접합깊이는 아크전극(12)에 도달하지 않도록 하는 것이 바람직하다. 납땜에 의해 납재가 아크의 차단면에 근접하지 않도록 소망의 거리를 설치하는 것이다.

아크전극(31a, 31b)의 두께는 전극지지부재(32a, 32b)와의 합계에 대하여 30 내지 50%, 바람직하게는 35 내지 45%로 한다. 보강판(48a, 48b)은 전극지지부재 (32a, 32b)의 두께에 대하여 10 내지 30%, 바람직하게는 15 내지 25%로 한다. 그 강도는 전극봉(33a, 33b)의 2배 이상으로 바람직하다. 전극봉(33a, 33b)에는 무산소 구리의 열간 소성가공된 통상의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 보강판(48a, 48b)에는 SUS 304 재가 사용되고, 전극봉(33a, 33b)의 납땜과 동시에 상기한 Ag납에 의해 접합된다. 또한 본 실시예에 있어서의 아크전극(31a, 31b) 및 전극지지부재(32a, 32b)의 오목부는 관통구멍으로서 형성되고, 그 후에 전극봉(33a, 33b)이 보강판(48a, 48b)과 더불어 표 1에 나타내는 깊이로 납땜되는 것이다.

절연재로 형성된 절연통체(35)의 상·하 개구부에 상·하 일체를 이루는 밀봉링(38a, 38b)을 설치하여 진공실을 형성하는 진공용기를 구성하고, 상기 밀봉 링(38a)의 중간정도에 고정전극(30a)을 수직으로 설치하고, 이 고정전극(30a)의 바로 밑에 위치하는 상기 밀봉링(38b)의 중간정도에 가동전극(30b)의 일부를 형성하는 가동측의 전극봉(34)을 승강자유롭게 설치하고, 상기 고정전극(30a)의 아크전극 (31a)에 대하여 상기 가동전극(30b)의 아크전극(31b)을 접촉 이탈하도록 하여 상기가동측 전극봉(34)의 주위에 위치하는 상기 밀봉링(38b)의 안쪽에 금속제의 벨로즈(37)를 신축가능하게 덮어씌워 설치하고, 또한 상기 양 아크전극의 둘레에 원통형상을 이루는 금속판의 밀봉부재(36)를 절연통체(35)의 진공용기에 의해 설치하고, 이 밀봉부재(36)는 상기 절연통체(35)의 진공용기의 절연성을 손상하지 않도록 하여 구성한 것이다. 도 8 및 도 9 모두 가동전극(30b)은 전극봉(34)이 납재에 의해 접합되어 있다.

또한 상기 아크전극(31a, 31b)은 상기한 용침에 의해 얻어진 아크전극 지지부재(32a, 32b)에 일체로 고착되고, 또한 전극봉(33a, 33b) 및 뒤면 도체(39a, 39b)에 의해 구성되어 있다. 절연통체(35)로 이루어지는 진공용기에는 유리, 세라믹스소결체가 사용된다. 절연통체(35)로 이루어지는 진공용기는 밀봉링(38a, 38b)에 코바르 등의 유리, 세라믹스의 열팽창계수에 가까운 합금판을 사이에 두고 납땜하여 10^-6mmHg 이하의 고진공으로 유지된다.

어느 전극에 있어서도 외부 도체접속부에는 나사(45a, 45b)가 설치되고, 외부단자에 접속되어 전류의 통로가 된다. 배기관(도시 생략)은 밀봉링(38a)에 설치되어 배기시 진공펌프에 접속된다. 게터는 진공용기 내부에 미량의 가스가 발생한 경우에 이를 흡수하여 진공을 유지하는 기능으로서 설치된다. 밀봉부재(36)는 아크에 의해 발생한 주전극 표면의 금속증기를 부착시켜 냉각시키는 기능을 가지며, 또 부착된 금속은 게터작용을 가지는 진공도 유지의 기능을 가진다.

도면에 있어서의 치수는 43이 절연통의 외경, 44가 그 길이, 41이 전극 뒤면도체직경, 40이 전극본체의 직경, 42가 전극의 두께이다. 46은 가이드, 47a, 47b는 버튼이라 칭하는 오목부이다. 오목부(47)는 소망의 깊이를 가지는 둥근원이 바람직하다.

표 1에 나타내는 바와 같이 본 발명에 관한 진공밸브는 정격의 차단용량의 차이에 의해 절연통의 외경, 길이, 뒤면 도체의 직경, 전극본체의 직경, 두께, 오목부 지름, 오목부 깊이, 스파이럴홈 개수 및 스파이럴이 다른 것을 나타낸다.

차단전압 전류실효치(y)와 절연통 외경(x)의 관계를 나타내는 선도로부터 차단전압(kV)과 차단전류실효치(kA)를 승산한 차단전압 전류실효치(y)는 11.25x-525와 5.35x-241.5로 구해지는 값의 사이에 들어 가도록 차단전압 전류실효치에 대하여 절연통 외경으로 하는 것이 바람직하다.

또 아크전극 직경(mm)과 차단전압 전류실효치(×10³kVA)와의 관계로부터 차단전압 전류실효치(x)에 대하여 아크전극직경(y)은 0.15x + 22와 0.077x + 18로 구해지는 값의 사이에 설정하는 것이 바람직하다.

또한 절연통 외경(y)과 아크전극 직경(x)의 관계를 나타내는 선도로부터 절연통 외경(y)은 1.26x + 10과 1.26x + 30으로 구해지는 값의 사이에 설정하는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 y = 1.26x + 19.6에 의해 구해지는 값으로 대략 설정되어 있다.

또 아크전극 직경(y)과 오목부 직경(x) 또는 전극 뒤면 도체 직경(x)의 관계로부터 아크전극 직경(y)은 2.4x + 6.4와 2.32x - 3.0 으로 구해지는 값의 사이로 설정하는 것이 바람직하다.

도 11은 상기한 본 발명에 관한 실시예에 기재된 진공밸브(59)를 사용한 그 조작기를 나타내는 진공차단기의 구성도이다.

조작기구부를 앞면 배치로 하고, 배면에 진공밸브를 지지하는 3상일괄형의 3세트의 내트래킹성을 가지는 에폭시 수지통(60)을 배치한 소형, 경량의 구조이다.

각 상의 끝부분은 에폭시 수지통, 진공밸브 지지판으로 수평으로 지지된 수평 인출형이다. 진공밸브는 절연조작로드(61)를 개재하여 조작기구에 의해 개폐된다.

조작기구부는 구조가 간단하고 소형, 경량인 전자조작식의 기계적 분리 자유로운 기구이다. 개폐 스트로크가 적고 가동부의 질량이 작기 때문에 충격은 근소하다. 본체 앞면에는 수동연결식의 2차단자 외에 개폐표시기, 동작회수계, 수동분리버튼, 수동투입장치, 인출장치 및 인터록레버 등이 배치되어 있다.

(a) 폐로상태

차단기의 폐로상태를 나타내며, 전류는 상부단자(62), 주전극(30), 집전자 (63), 하부단자(64)를 흐른다. 주전극 사이의 접촉력은 절연조작로드(61)에 장착된 접촉스프링(65)에 의해 유지되어 있다.

주전극의 접촉력, 퀵커트 스프링의 힘 및 단락전류에 의한 전자력은 지지레버 (66)및 프롭(67)으로 유지되어 있다. 투입코일을 여자하면 개로상태로부터 플랜저(68)가 노킹로드(69)를 개재하여 롤러(70)를 밀어 올려 주레버(71)를 돌려 접촉자를 폐쇄한 후, 지지레버(66)로 유지하고 있다.

(b) 분리 자유상태

개리동작에 의해 가동주전극이 아래쪽으로 움직여지고, 고정·가동 양 주전극이 개리된 순간으로부터 아크가 발생한다. 아크는 진공중이 높은 절연내력과 심한 확산작용에 의해 단시간에 아크소화된다.

분리코일(72)이 여자되면 분리레버(73)가 프롭(67)의 걸어맞춤을 해제하고, 주레버(71)는 퀵커트 스프링의 힘으로 돌아 주전극이 개방된다. 이 동작은 폐로동작의 유무에는 전혀 관계없이 행하여지는 기계적 분리 자유방식이다.

(c) 개로상태

주전극이 개방된 후, 리셋스프링(74)에 의해 링크가 복귀하고, 동시에 프롭(67)이 걸어맞춰진다. 이 상태에서 투입코일(75)을 여자하면 (a)의 폐로상태가 된다. 76은 배기통이다.

도 12는 진공밸브의 단면도이다. 도 10과 크게 다른 것은 진공밸브용 전극의 고정전극(30a) 및 가동전극(30b)의 뒤면 도체(39a, 39b)부분에 아크차폐판(80a, 80b)를 설치한 전극봉(33a, 33b)를 사용한 점이다. 다른 구조는 도 9의 설명과 동일하다. 도 11에 있어서도 전극 대향면에서 스파이럴의 슬릿홈 3개 또는 4개가 아크전극(31a, 31b)과 아크전극 지지부재(32a, 32b)를 관통하여 설치되어 있다. 또한 전극봉(33a, 33b)은 아크전극 지지부재(32a, 32b)에 납땜되어 있다. 본 실시예의 진공밸브는 차단용량이 큰 것에 적합한 것이다.

버튼의 오목부(47a, 47b)의 직경은 뒤면 도체(39a, 39b)의 직경과 동등하게 한 것이다.

상기한 아크차폐판(80a, 80b) 그것들의 직경을 전극의 직경과 동일한 크기 또는 그것 이하의 지름으로 하는 것으로, 1개 또는 복수개 설치할 수 있다. 이에 따라 전극에 발생하는 열을 방산할 수 있어 소형으로 더욱 대용량차단을 할 수 있다.

본 발명에 의하면 생산성 및 신뢰성이 높은 구조의 전극과, 그것을 사용한 진공밸브용 전극, 진공밸브 및 진공개폐기를 얻을 수 있다.

Claims (14)

1. 전류를 차단하는 전극에 있어서,

   상기 전극은 상기 전류의 차단면이 되는 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 가지는 합금으로 이루어지는 아크전극과,

   상기 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부와,

   상기 전극지지부에 접속되며 전극지지부보다 가늘은 지름부를 가지는 전극봉을 가지고,

   상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있고,

   상기 전극봉은 상기 전극지지부에 설치된 오목부에 삽입하여 납땜되어 있고,

   상기 오목부는 상기 전극지지부를 관통하지 않도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전극.
2. 전류를 차단하는 전극에 있어서,

   상기 전극은 상기 전류의 차단면이 되는 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 갖는 합금으로 이루어지는 아크전극과, 상기 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부를 가지고,

   상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있으며,

   상기 차단면에 있어서 전극 안 둘레측으로부터 바깥 둘레측에 걸쳐 형성된 복수개의 홈을 가지고,

   상기 아크전극은 상기 차단면의 중심부에 오목부가 형성되어 상기 오목부의 깊이는 상기 아크전극 두께의 50% 이상인 것을 특징으로 하는 전극.
3. 전류를 차단하는 전극에 있어서,

   상기 전극은 상기 전류의 차단면이 되는 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 가지는 합금으로 이루어지는 아크전극과,

   상기 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부를 가지며,

   상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있고,

   상기 전극지지부의 상기 차단면의 반대면측에 상기 고도전성 금속보다도 강도가 높은 비자성의 보강부재가 설치되어 있고,

   상기 보강부재의 두께는 상기 전극지지부의 두께에 대하여 30 내지 50% 인 것을 특징으로 하는 전극.
4. 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 가지는 합금으로 이루어지는 아크전극과, 상기 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부를 구비한, 전류를 차단하는 전극에 있어서,

   상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있고,

   상기 전극의 중심부에 상기 아크전극과 전극지지부를 관통하는 관통구멍을 가지고,

   상기 전극지지부의 두께는 아크전극의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 전극.
5. 전류를 차단하는 전극에 있어서,

   상기 전극은 상기 전류의 차단면이 되는 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 가지는 합금으로 이루어지는 아크전극과,

   상기 아크전극을 지지하는 고도전성 금속으로 이루어지는 전극지지부와,

   상기 전극지지부에 접속된 근방에서 전극지지부보다 가늘은 지름부를 가지는 전극봉을 가지고,

   상기 아크전극과 전극지지부는 상기 고도전성 금속에 의해 일체로 형성되어 있고,

   상기 전극지지부의 상기 차단면의 반대면측에 상기 고도전성 금속보다도 강도가 높은 비자성의 보강부재가 설치되어 있고,

   상기 전극봉은 상기 전극지지부에 설치된 오목부에 삽입되어 상기 보강부재와 함께 동시에 납땜되어 있는 것을 특징으로 하는 전극.
6. 전류를 차단하는 전극에 있어서,

   상기 전극은 내화성 금속입자와 고도전성 금속을 함유하는 합금으로 이루어지는 아크전극과,

   상기 아크전극에 접속된 근방에서 상기 아크전극보다 가늘은 지름부를 가지는 전극봉을 가지고,

   상기 아크전극의 상기 차단면의 반대면측에 상기 아크전극보다도 강도가 높은 비자성의 보강부재가 설치되어 있고,

   상기 전극봉은 상기 아크전극 및 보강부재에 설치된 관통구멍에 상기 아크전극 및 보강부재와 함께 동시에 납땜되어 있는 것을 특징으로 하는 전극.
7. 제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서,

   상기 전극지지부에 이 전극지지부보다 가늘은 지름인 뒤면 도체부 및 이 뒤면 도체부보다 큰 지름인 외부 도체접속부를 구비한 전극봉이 납재에 의해 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 전극.
8. 제 1항 내지 제 7항중 어느 한 항에 있어서,

   상기 내화성 금속은 Cr, W, Mo 및 Ta의 1종 또는 2종 이상의 혼합물로 이루어지고, 상기 고도전성 금속은 Cu, Ag 및 Au의 1종으로 이루어지는 금속 또는 이들을 주로 한 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 아크전극은 Cr, W, Mo 및 Ta의 1종 또는 2종 이상의 합계량 20 내지 80중량%와 Cu 20 내지 80중량%을 함유하는 복합합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 아크전극, 상기 아크전극과 상기 전극지지부 또는 이 전극지지부 및 전극봉은 상기 고도전성 금속의 용융응고에 의해 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전극.
11. 제 10항에 있어서,

    상기 전극지지부, 또는 이 전극지지부와 전극봉은 Cr, Ag, W, V, Nb, Mo, Ta, Zr, Si, Be, Co, Fe의 1종 또는 2종 이상의 합계량이 2.5중량% 이하 및 Cu, Ag 또는 Au와의 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전극.
12. 진공용기내에 전류를 차단하는 고정측 전극과 가동측 전극을 구비한 진공밸브용 전극에 있어서,

    상기 고정측 전극 및 가동측 전극은 제 1항 내지 제 11항중 어느 한 항에 기재된 전극으로 이루어지는 진공밸브용 전극.
13. 진공용기내에 고정측 전극과 가동측 전극을 구비한 진공밸브에 있어서,

    상기 고정측 전극, 가동측 전극은 제 12항에 기재된 전극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
14. 진공용기내에 고정측 전극과 가동측 전극을 구비한 진공밸브와,

    상기 진공밸브내의 상기 고정측 전극과 가동측 전극의 각각에 상기 진공밸브외에 접속된 도체단자와, 상기 가동전극을 구동하는 개폐수단을 구비한 진공개폐기에 있어서,

    상기 진공밸브는 제 13항에 기재된 진공밸브로 이루어지는 것을 특징으로하는 진공개폐기.