KR20010041264A - 가스 처리용 부품 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스가 방전에 노출되는 가스 처리 장치에 사용하기 위한 특히, 저온 플라즈마의 형성을 위한 유전체 물질로 이루어진 부품에 관한 것이다. 상기 부품에는 구멍이 가장 협소해지는 구역에서 충전된 유전체 물질로부터 유도되는 전압 강하를 집중시키는 단면 형상으로 된 축방향으로 연장되는 구멍(19)이 형성된다.

Description

가스 처리용 부품{A component for gas treatment}

내연기관의 개선 및 사용에 관련된 주된 문제 중 하나는 상기 내연기관으로부터의 유독성 배기가스 배출이다. 특히, 디젤 엔진의 경우에 가장 유해한 두가지 물질은 미립자 물질(주로 탄소)과 질소 산화물(NO_X)이다. 점점 더 엄격해지는 배출 제어 규정이 내연기관 및 차량 제조자에게 적용되어 특히 내연기관으로부터 배출되는 배기가스에서 상기 물질의 보다 효과적인 제거 방법을 찾도록 한다. 불행하게도, 실질적으로는 상기 내연기관의 배기가스 배출 성분중 하나에 관한 상태를 향상시키는 연소 조절 기술은 다른 하나에 관한 상태를 악화시키는 경향이 있다는 것이 발견되었다. 비록 그렇다 하더라도, 내연기관의 배기가스의 미립자 배출을 방지하기 위한 다양한 시스템이 특히, 미립자 물질로 채워질 때 재생될 수 있는 미립자 배출 트랩의 제조에 관해서 연구되어 오고 있다.

상기 디젤 배기가스 미립자 필터의 예는 유럽특허출원 EP 0 010 384호와; 미국특허 제4,505,107호; 제4,485,622호; 제4,427,418호; 및 제4,276,066호와; 유럽특허출원 EP 0 244 061호; EP 0 112 634호 및 EP 0 132 166호에 개시되어 있다.

상기 모든 경우에 있어서, 미립자 물질은 다공질인 일반적인 세라믹 필터 보디의 틈새 내에서의 미립자 물질의 간단한 물리적 트랩핑에 의해 디젤 배기가스로부터 제거되고, 상기 트랩핑된 디젤 배기가스 미립자가 연소되는 온도까지 상기 필터 보디를 가열함으로써 재생된다. EP 0 010 384호에 세라믹 비드, 와이어 메시 또는 메탈 스크린의 사용이 언급되어 있지만, 대부분의 경우에 있어서, 상기 필터 보디는 단결정(monolithic)이다.

보다 넓은 범위에 있어서는, 정전기력에 의해 충전된 미립자 물질의 침전 또한 공지된다. 그러나, 이러한 경우에 있어서, 통상적으로 침전은 큰 평면 전극이나 메탈 스크린상에서 일어난다.

영국특허 제2,274,412호에는 내연기관의 배기가스로부터 미립자 및 다른 오염물질을 제거하기 위한 방법 및 장치가 개시되어 있고, 상기 배기가스는 충전된 펠릿(pellets) 물질, 양호하게는 높은 유전체 상수를 갖는 강유전체로 이루어진 베드를 통해 통과된다. 산화 특히, 방전 보조 산화에 의해 미립자를 제거하는 것에 더불어, NO_X환원을 촉진하는 펠릿의 사용에 의해 질소에 대한 NO_X가스의 환원이 개시되어 있다.

구형, 펠릿, 칩 또는 다른 적절한 형태의 비드로 이루어지는 베드를 포함하는 반응기의 사용은 특히, 모터 차량에 대해서 상기 비드가 사용중에 마찰하에서 마모 또는 파손되는 경향을 갖는다는 문제점을 나타낸다. 단결정 폼(foam) 또는 벌집형 구성이 적용될 수 있지만, 본 발명자는 저온 플라즈마의 만족스러운 형성이 상기한 구성의 공지된 형태로는 달성되기 어렵다는 것을 발견했다.

본 발명은 가스 처리용 부품 특히, 촉매 환경에서 가스를 저온 플라즈마(non-thermal plasma)에 노출시키기 위한 부품에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 내연기관의 배기가스에서 방출되는 탄소 및 질소 연소물과 같은 오염 성분의 환원을 위한 반응기에 합체되는 부품에 관한 것이다.

도 1은 가스 처리용 부품의 일부 사시도.

도 2는 다른 가스 처리용 부품의 일부 사시도.

도 3 및 도 4는 가스 처리용 부품의 선택적인 단면 형상을 개략적으로 도시한 도면.

도 5는 본 발명에 따른 부품을 합체하는 반응기를 개략적으로 도시한 도면.

도 6은 도 2에 도시된 부품의 변형예를 도시한 도면.

도 7 내지 도 9는 도 6에 도시된 변형예의 추가 변형을 도시한 도면.

본 발명의 목적은 단결정 구조체 내로 압출될 수 있거나 다르게 형성될 수 있는 형태로 가스를 처리하기 위해 촉매 재료이거나 촉매 재료가 혼합될 수 있으며 전위(electric potential)될 때 저온 플라즈마의 형성을 효과적으로 지지하는 유전체 물질로 이루어진 가스 삼투 부품을 제공하는 것이다.

본 발명은 그 일양태에 있어서, 가스 처리 장치에 사용하기 위한 부품을 제공하고, 상기 부품은 사용중에 상기 부품을 통해 가스가 유동하는 방향으로 관통하여 연장하는 구멍을 갖는 유전체 물질을 포함하고, 상기 구멍은 오목한 형상의 단면을 가지며 상기 가스 유동 방향을 횡단하는 적어도 한 방향에서 측정할 때 상기 구멍의 가장 협소한 부분의 대향 측부를 형성하는 유전체 물질의 구멍 영역의 유전체 물질을 통한 연결부가 존재하도록 구성되고, 상기 횡단 방향으로 또는 상기 횡단 방향 중 한 방향으로 상기 부품을 가로지르는 전위를 적용하기 위한 수단을 또한 포함하고, 상기 구멍의 상기 가장 협소한 부분을 가로지르는 전압 강하는 상기 구멍이 유전체 물질로 채워졌을 경우의 구멍을 가로지르는 전압 강하보다 크다.

전위를 제공하기 위해, 한쌍의 전극 중 하나의 전극은 상기 부품의 일측부상에 그리고 다른 하나의 전극은 상기 부품의 다른 측부상에 위치되므로 상기 횡단 방향으로 또는 상기 횡단 방향 중 한 방향으로 서로 이격된다.

본 발명에 따른 한 배열에 있어서, 상기 구멍은 상기 가스 유동 방향을 횡단하는 상호 수직인 두 방향에서 측정할 때 상기 구멍의 가장 협소한 부분의 대향 측부를 형성하는 유전체 물질의 구멍 영역의 유전체 물질을 통한 연결부를 제공하는 형상으로 되고, 제 1 전극쌍에서 하나의 전극은 상기 부품의 일측부상에 그리고 다른 하나의 전극은 상기 부품의 다른 측부상에 위치되므로 상기 횡단 방향 중 한 방향에서 서로 이격되고, 제 2 전극쌍에서 하나의 전극은 상기 부품의 일측부상에 그리고 다른 하나의 전극은 상기 부품의 다른 측부상에 위치되므로 상기 횡단 방향 중 수직한 다른 방향에서 서로 이격된다.

본 발명을 실시하는 선택적인 배열에 있어서, 상기 전위 적용 수단은 유전체 물질(13, 13a; 16, 17; 16a, 17a)을 통해 연장되는 와이어(41, 42)를 포함한다.

상기 부품이 사용되고 전위가 적용될 때, 상기 구멍은 저온 플라즈마의 형성을 촉진하도록 이루어진다. 이를 위해, 예를 들어 각각의 구멍은 그 구멍의 가장 협소한 부분을 향해 양측부 또는 모든 측부에서 경사진 단면으로 형성되어, 상기 가장 협소한 부분으로부터 상기 구멍의 경사부 내로 방전의 전달을 촉진한다.

양호하게는 유전체 물질은 질소 산화물의 환원에서 방전시에 촉매 작용을 가지도록 선택된다.

양호하게는 유전체 물질은 바륨 티탄산염 함유 물질이다.

본 발명은 그 다른 양태에 있어서, 내연기관의 배기가스 시스템의 일부를 형성하도록 되어 있는 반응기 챔버를 포함하는 내연기관의 배기가스 배출로부터 오염물질을 줄이기 위한 반응기를 제공하고, 상기 반응기 챔버는 부품을 통해 배기가스가 통과하도록 되어 있는 상술한 바와 같은 부품을 포함한다.

본 발명을 실시하는 부품 및 반응기의 특정 구성은 첨부도면을 참조로 예로서 설명된다.

도 1은 유전체 물질(11)을 압출성형하여 형성될 수 있는 부품(10)을 도시한다. 양호한 물질은 압출성형 목적상, 예를 들어 알루미나(alumina), 실리카(silica) 또는 티타니아(titania), 또는 실리카 및 티타니아의 조합으로 이루어진 바인더와 함께 바륨 티탄산염 분말로 제조될 수 있는 바륨 티탄산염을 포함한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압출성형은 상기 부품(10)의 길이를 따라 플레이트(12) 사이에서 서로 평행하게 연장되는 일반적으로 마름모꼴 형상의 단면을 갖는 로드(13)의 매트릭스를 그 사이에 일체로 형성하는 일련의 평행한 플레이트(12) 형태를 갖는다.

각각의 플레이트(12)쌍 사이의 일련의 로드(13)는 상기 부품(10)의 길이를 따라 연장되며 나비 넥타이와 같은 단면 형상을 갖는 일련의 대응 구멍(14)을 제공한다.

상기 플레이트(12)의 평면에 수직하게 상기 부품(10)의 양 측부상에 각각 위치되는 전극(도시되지 않음)은 상기 플레이트(12)와 평행한 방향으로 상기 구멍(14)의 길이를 가로질러 상기 부품에 전위를 적용할 수 있다.

오목한 형상의 단면을 갖는 구멍(14)은 충전된 유전체 물질로부터 유도되는 전압 강하가 하나의 로드(13)와 인접한 로드 사이의 공간이 가장 협소한 영역에서 집중되는 효과를 갖는다. 이러한 구성은 상기 가장 협소한 공간에서 저온 플라즈마의 형성을 촉진하는 효과를 갖는다. 그러나, 이러한 방식으로 형성되는 플라즈마의 특징은 플라즈마가 발생하는 경향이 있는 협소한 공간과 연통하는 외측으로 경사진 공간을 따라 플라즈마가 전개 및 전달되는 경향이 있다는 것이다. 따라서, 구멍(14)의 형상에 따라 상기 부품(10)의 전체 빈 공간을 채우는 플라즈마의 형성에 대해 전도적이다.

상기 플레이트(12)는 상기 전극들 사이에 연속적인 유전체 통로를 제공하고 각각의 상기 통로 사이에는 상기 구멍(14)의 가장 협소한 부분에 의해 제공되는 일련의 방전 간극이 존재하고, 상기 방전 간극은 상기 전극들 사이에 형성되는 자기장과 평행하게 정렬되는 것이 도 1에 도시된 구성의 특징이다.

도 2는 부품(15)이 압출성형에 의해 형성될 수 있는 다른 구성을 도시한다. 또한, 상기 구성은 일반적으로 마름모꼴 형상의 로드(16, 17)의 배열에 기초한다. 로드(16, 17)이 교차되는 종횡열은 십자형 영역(18)에 의해 그 정점에서 결합된다. 상기 종횡열 사이에는 일련의 방전 간극(19)이 제공된다. 상기 로드(16, 17)는 상기 방전 간극(19)과 연통하는 인접한 로드들 사이의 협소한 공간이 상기 간극(19)에서 가장 협소한 경사 영역과 함께 경사지는 형상으로 된다. 상술된 바와 같이, 이러한 구성은 테이퍼진 공간을 따라 상기 방전 간극(19)에 형성되는 플라즈마의 전달을 촉진한다. 방전 간극(19)의 각각의 수평열에 인접하는 것은 수평열로 연결된 로드(16)라는 것이 도시된다. 유사하게, 방전 간극(19)의 각각의 수직열에 인접하는 것은 수직열로 연결된 로드(17)이다.

상기 부품(15)의 측부(21, 22)를 각각 덮는 전극(도시되지 않음)은 상기 부품(15)을 가로질러 전위를 적용시킬 수 있다. 인접한 열에 방전 간극(19)을 형성하는 하나의 수평열로 연결된 로드(16)와 교차하여 연결된 로드(17)의 병치에 의해서, 적절한 전위의 적용은 상기 간극(19)에서의 플라즈마 방전의 발생을 초래하고 상기 부품의 전체적으로 비어 있는 구조를 채우도록 상기 플라즈마를 테이퍼진 공간으로 확장시킨다.

로드(16, 17)의 수직열에 평행하게 전위가 적용될 수 있도록 전극(도시되지 않음)이 각각 측부(23, 24)를 덮도록 위치될 수 있다는 것은 도 2에 도시된 대칭형 부품으로부터 분명해질 것이다. 임의 순간에 전위가 달라질 수 있는 인접한 측부상의 전극들 사이에 적절한 절연 간극이 제공되는 경우에는, 전기적인 여자는 네개의 측부 모두에 적용될 수 있다.

방전 간극을 가로지르는 전위 강하를 집중시키도록 연결되는 유전체 물질의 영역들 사이의 방전 간극의 조절된 어레이는 압출성형된 매트릭스의 다양한 다른 구성으로 달성될 수 있다는 것이 분명해진다. 도 3은 유사 부품에 부호 "a"로 구분되는 동일 참조번호를 사용한 도 2의 구성의 변형을 도시한다. 도 4는 원통형 로드를 기초로 한 도 1의 구성의 변형을 도시한다. 도 1에 대응하여 도 4에 사용된 참조번호는 부호 "a"로 구분된다.

도 5는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같은 구성(하기의 부가설명에 따라 선택됨)을 갖는 압출성형된 단결정을 포함하며 내연기관의 배기가스 배출 정화용 플라즈마 반응기에 합체되는 부품(25)을 단면도로서 개략적으로 도시한다.

지점(27)을 통해 접지되도록 배열되며 내연 기관의 배기 시스템에 접속될 수 있는 입구 노즐(28)을 구비하고 유사한 출구 노즐(29)을 구비하는 원통형 스테인리스 스틸 챔버(26) 내부에 상기 부품(25)이 장착된다. 배기가스는 상기 부품(25)의 구멍을 통해 화살표(A)로 표시된 바와 같이 축방향으로 유동한다.

원통형 형상으로 인해, 압출성형되는 단결정 부품(25)이 축방향 보어(31)를 갖는 실린더로 절단 또는 형성된 도 2에 도시된 바와 같은 대칭 구성을 가지도록 하는 것이 필요하다. 축방향 보어(31)는 모든 가스 유동이 단결정 부품(25)의 구멍을 통과하도록 각 단부에서 폐쇄된다. 외부 전극은 상기 챔버(26) 자체에 의해 또는 상기 부품(25)상의 원통형 금속 외장에 의해 상기 챔버(26)와 전기 접촉 상태로 제공된다. 내부 전극(32)은 상기 보어(31)에 대한 원통형 내면의 형태로 제공된다. 전극(32)은 상기 부품(25) 내부의 빈 공간의 배기 가스에서 플라즈마를 여자시키기에 충분한 전위원(9)에 높은 장력의 리드선(10)을 통해 접속된다. 이러한 목적에 적합한 전위는 펄스형 직류 전위 또는 연속 가변형 교류 전위일 수 있는 약 10kV 내지 30kV의 전위일 수 있거나, 또는 단속형 연속 직류 전위일 수 있다. 통상적으로, 본 출원인은 30mm의 베드 깊이당 20kV의 전위를 사용한다.

도 1, 도 2, 도 3 또는 도 4의 구성 중 임의의 구성이 사용될 수 있는 변형된 배열에 있어서, 챔버(26)와 부품(25)은 단면이 직사각형이다. 이러한 구성에 대해서는, 상기 보어(31)에 대응하는 중심 보어를 가질 필요는 없다. 전극은 상기 부품(25)의 대향되는 측부상에 위치될 수 있지만, 이러한 경우에 고전압의 전극과 챔버(26) 사이에 전기 절연체를 제공하는 것이 필요하다. 이러한 이유로, 상기 부품(25) 내부의 중심에 위치되는 시트로서 고전압 전극을 제공하는 것이 바람직할 수 있다.

상기 부품(25)의 물질은 압출성형에 의한 필요조건을 충족시키도록 선택되고 내연기관의 배기가스로부터의 오염물질 제거를 위해 유전체 및 촉매 특성을 갖는다. 상기 물질은 압출시에 바인더 물질이 합체되는 분말 형태로 준비될 필요가 있는 바륨 티탄산염 또는 칼슘 티탄산염과 같은 강유전체 물질이 바람직하다. 감마 알루미나, 실리카 또는 티타니아, 또는 실리카 및 티타니아의 조합이 바인더로서 기능할 수 있고, 양호한 바인더는 실리카-티타니아 겔로부터 유도될 수 있는 실리카 및 티타니아의 조합이다. 강유전체 물질은 지르코니아 또는 티타니아와 같은 유전체 물질, 또는 예를 들어, Cu-치환된 ZSM-5 또는 H-치환된 ZSM-5인 예를 들어, 금속 치환 제올라이트 또는 프로톤 치환 제올라이트와 같은 제올라이트와 혼합될 수 있고, 몇가지 경우에는, 유전체 물질 단독으로 또는 유전체 물질의 혼합물을 사용하는 것이 적합할 수 있다. 티타니아가 사용될 때, 상술한 형태에서 광촉매 특성에 유리하도록 아나타즈 상(anatase phase)을 사용하는 것이 유리하다. 알루미나 또는 페로프스카이트(perovskite)와 같은 다른 물질이 제품 매트릭스에 첨가되는 촉매 특성에 합체될 수 있다.

도 6은 다수의 로드(16)가 도면에서 참조번호 41과 42로 개략적으로 지시되는 로드 중심을 통해 연장되는 전기 전도 와이어와 함께 형성되는 도 2의 부품의 변형예를 도시한다.

상기 배열을 사용하면, 보다 개별적으로 조절된 방식으로 간극(19)을 가로지르는 자기장을 적용하는 것이 가능하다. 도 6을 참조하면, 십자형으로 표시되어 참조번호 41로 지시되는 와이어는 전원 공급기의 하나의 극(예를 들어, 양극)에 접속되고, 중심의 점으로 표시되어 참조번호 42로 지시되는 와이어는 다른 극(예를 들어, 음극)에 접속된다. 상기 구성을 사용하면, 상기 간극(19)을 가로질러 형성되는 전기장은 부품의 측부(21, 22)와 실질적으로 평행한 방향이 된다.

양 접속 및 음 접속의 다양한 다른 구성이 가능하다는 것이 분명해질 것이다. 도 7은 도 6의 부품을 90도 회전시킨 동등한 변형을 도시한다. 즉, 간극(19)에서의 전기장은 상기 부품의 측부(23, 24)와 실질적으로 평행한 방향으로 연장된다. 도 8은 간극(19)에서의 전기장이 측부(23, 24) 및 측부(21, 22)에 평행한 부품을 갖는 변형을 도시한다. 도 9는 간극(19)에서의 전기장이 대각선 방향으로 연장되는 변형을 도시한다.

상기 전원 공급기에 대한 상기 다수의 전극의 접속부는 상기 부품의 대향 측부상에 위치되는 단순한 플레이트 전극의 사용시보다 분명하게 쉽지 않다. 그러나, 상기 부품의 일단부를 양으로 되는 와이어(41)에 접속하고, 상기 부품의 타단부를 음으로 되는 와이어(42)에 접속하는 적절한 형상의 전도 그리드에 의해 접속이 이루어질 수 있다.

이러한 예에서 상기 와이어를 가로질러 적용되는 전압은 상기 부품의 전체 폭에 의해 이격되는 전극 플레이트를 가로지르는데 필요한 전압보다 명백하게 작다. 통상적으로 필요 전압은 3kV 또는 4kV 정도로 되기 쉽지만, 필요한 값은 상기 간극(19)에서 소망 저온 플라즈마를 발생하기에 충분한 상태에서 상기 물질의 유전체 절연 파괴 전압을 넘어서의 작동으로 인한 실패를 피하도록 작동 경험에 비추어 결정되어야만 한다.

Claims (9)

1. 사용중에 부품을 통해 가스가 유동하는 방향으로 관통하여 연장하는 구멍(14; 14a; 19; 19a)을 갖는 유전체 물질(12, 13; 12a, 13a; 16, 17; 16a, 17a)을 포함하는 가스 처리 장치용 부품에 있어서,

   상기 구멍(14; 14a; 19; 19a)은 오목한 형상의 단면을 가지며 상기 가스 유동 방향을 횡단하는 적어도 한 방향에서 측정할 때 상기 구멍(14; 14a; 19; 19a)의 가장 협소한 부분의 대향 측부를 형성하는 유전체 물질의 구멍 영역의 유전체 물질을 통한 연결부가 존재하도록 구성되고,

   상기 횡단 방향으로 또는 상기 횡단 방향 중 한 방향으로 상기 부품의 적어도 일부를 가로지르는 전위를 적용하기 위한 수단을 또한 포함하고,

   상기 구멍(14; 14a; 19; 19a)의 상기 가장 협소한 부분을 가로지르는 전압 강하는 상기 구멍이 유전체 물질로 채워졌을 경우의 구멍을 가로지르는 전압 강하보다 큰 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 전위를 적용시키기 위한 수단은 상기 횡단 방향으로 또는 상기 횡단 방향 중 한 방향으로 서로 이격되도록 상기 부품의 일측부상에 하나가 그리고 다른 측부상에 다른 하나가 위치되는 한쌍의 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 구멍(14; 14a; 19; 19a)은 상기 가스 유동 방향을 횡단하는 상호 수직인 두 방향에서 측정할 때 상기 구멍(14; 14a; 19; 19a)의 가장 협소한 부분의 대향 측부를 형성하는 유전체 물질의 구멍 영역의 유전체 물질을 통한 연결부를 제공하는 형상으로 되고, 제 1 전극쌍은 상기 횡단 방향 중 한 방향으로 서로 이격되도록 상기 부품의 일측부상에 하나가 그리고 다른 측부상에 다른 하나가 위치되고, 제 2 전극쌍은 상기 횡단 방향 중 수직한 다른 방향에서 서로 이격되도록 상기 부품의 일측부상에 하나가 그리고 다른 측부상에 다른 하나가 위치되는 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 전위를 적용하기 위한 수단은 상기 유전체 물질(13, 13a; 16, 17; 16a, 17a)을 통해 연장하는 와이어(41, 42)를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구멍(14; 14a; 19; 19a)은 상기 부품이 사용중이고 전위가 적용될 때 그 내부에서 저온 플라즈마의 형성을 촉진하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 각각의 구멍(14; 14a; 19; 19a)은 양 측부 또는 모든 측부상에서 상기 구멍의 가장 협소한 부분쪽으로 테이퍼지는 단면 형상으로 되어, 상기 구멍의 가장 협소한 부분으로부터 테이퍼진 부분 내로 방전의 전달을 촉진시키는 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체 물질은 질소 산화물의 환원에서 방전시에 촉매 작용을 가지도록 선택되는 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체 물질은 바륨 티탄산염 함유 물질인 것을 특징으로 하는 가스 처리 장치용 부품.
9. 내연기관의 배기가스 시스템의 일부를 형성하도록 되어 있는 반응기 챔버(26)를 포함하는 내연기관으로부터 배출되는 배기가스로부터 오염물질을 감소시키기 위한 반응기에 있어서,

   상기 반응기 챔버(26)는 가스 처리 장치용 부품(25)을 통해 배기가스가 통과하도록 되어 있는 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 가스 처리 장치용 부품(25)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반응기.