KR20010030995A - 로터를 갖는 나사 진공 펌프 - Google Patents

로터를 갖는 나사 진공 펌프 Download PDF

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토마스 플링엔
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Abstract

본 발명은 로터(5)를 갖는 나사 진공 펌프(1)에 관한 것이다. 본 발명에 따라, 저렴한 비용으로 상기 펌프(1)를 제조하기 위해, 나사 진공 펌프(1)의 각각의 로터는 별도로 제조된, 포지티브하게 결합된 로터 섹션(17, 18)으로 이루어진다. 이에 따라, 개별 로터 섹션은 이러한 재료 및/또는 석션 챔버내에 상기 로터 섹션을 설치하기에 충분한 공차로 제조될 수 있다.

Description

로터를 갖는 나사 진공 펌프 {SCREW VACUUM PUMP PROVIDED WITH ROTORS}
나사 진공 펌프의 제조 비용은, 한편으로 로터 및 하우징의 특수한 형태 때문에 비교적 높다. 다른 한편, 하우징 및 로터는, 로터간 및 로터와 하우징간의 예기치 않은 큰 간격을 피하기 위해 비교적 정확하게 제조되어야만 한다. 너무 큰 간극은, 간극에 나타나는 역류 때문에 펌프 특성을 저하시킨다.
서두에 언급된 방식의 나사 진공 펌프에 있어서, 로터 각각은 일체형으로 형성되고, 상이한 로터 프로파일을 가진 두 개의 섹션을 갖는다. 이러한 방식의 통상적인 나사 로터의 절삭 제조시, 상이한 프로파일을 가진 섹션 사이에 각각 비교적 큰 체적의 공구 배출구가 제공될 필요가 있다. 상기 방식의 무효 공간은 더이상 펌프 특성을 저하시킬 뿐만 아니라, 가능한한 컴팩트한 펌프를 제조하려는 목적에도 반한다. 특정한 응용에 있어서, 나사선 프로파일의 교체 높이에, 압력 경감을 위한 홈이 제공되는 것이 바람직하기는 하지만, 상기 홈은 일반적으로 큰 체적의 공구 배출구의 크기를 가질 필요는 없다.
본 발명은 로터를 갖는 나사 진공 펌프에 관한 것이다.
도면은 본 발명에 따른 나사 진공 펌프(1)의 단면도이고, 특히 구동 모터(2)가 설치된 두 회전 장치의 높이로 도시된 것이다. 상기 두 회전 장치의 동기화는 기어휠(3)에 의해 이루어진다.
본 발명의 목적은, 지금까지 보다 저렴한 비용으로 서두에 언급된 방식의 나사 진공 펌프를 제조하는데 있다. 상기 목적은, 상기 나사 진공 펌프의 각각의 로터가, 별도로 제조된, 포지티브하게 또는 넌-포지티브하게 결합된 적어도 두 개의 로터 섹션으로 이루어짐으로써 달성된다. 본 발명의 장점은, 로터 섹션이 물리적 조건에 따라 관련 석션 챔버(열전도, 열팽창, 내식성, 중량, 질량 분포등)에 매칭될 수 있도록, 상기 로터 섹션이 상이한 재료 및/또는 상이한 정확성에 의해 제조될 수 있다는 데 있다. 예컨대, 열적으로 적은 하중을 받는 로터의 흡입측 섹션은 알루미늄으로, 열적으로 높은 하중을 받는 로터의 송출측 섹션은 강으로 제조될 수 있다. 특히, 두 섹션의 나사 프로파일의 정확성 요구는 필수적인 밀봉 작용에 매칭될 수 있다. 상기 흡입측 영역에서, 역류는 펌프의 효과적 흡입력에 거의 영향을 끼치지 않는다. 따라서, 이러한 영역에 있는 나사 프로파일은 더 큰 간극에 의해, 즉 저렴한 가격으로 제조될 수 있다. 단지 송출측 영역에서만, 높은 정확성 요구가 필요하다. 상이한 프로파일을 갖는 로터 섹션은, 상이한 나사 프로파일이 직접 서로 교체되도록 결합될 수 있다. 해로운 간극 용접은 더이상 필요없다. 더 작은 전체 길이 및 높이가 구현될 수 있다.
펌프 부품으로 쓰이는 저렴한 가격의 재료 선택은, 동시에 균일한 탬퍼링에 영향을 끼치는 냉각 장치가 펌프에 설치될 경우에 가능하다. 이를 통해, 열 팽창 문제는 간단히 조절될 수 있다. 본 발명에 따라, 나사 진공 펌프에서 응용될 수 있는 블록 법칙이 적용될 수 있다. 흡입측의 프로파일의 체적, 기울기 및/또는 길이에 의해, 흡입력 및 최종 압력이 영향을 받을 수 있다. 더 작은 단계에서 더 높은 유체 호환성이, 더 큰 단계에서 더 작은 축동력 및 더 큰 흡입력이 비교적 작은 축동력에서 달성될 수 있다.
본 발명의 또다른 장점은 도면에 설명된 실시예에 의해 더 자세히 설명된다.
하우징(4)내에 배치된 회전 장치는 각각 로터(5) 및 샤프트(6)를 포함한다. 각각의 로터(5)는 부동의, 다시 말해 일체형으로 지지된다. 상기 샤프트(6)는 베어링(7, 8) 및 베어링 캐리어(11, 12)에 의해 하우징(4)에 지지된다. 정면에 하우징 커버(13, 14)가 제공되며, 상기 하우징 커버(13, 14) 중 로터측 커버(13)에 유입구 지지대(15)가 설치된다. 작동측 커버(14)의 부품은 베어링 캐리어(12)이다.
로터(5)는 상이한 프로파일(19, 20)을 가진 포지티브하게 서로 연결된 두 개의 로터 섹션(17, 18)으로 이루어진다. 흡입측 로터 섹션(17)은 나선형 석션 챔버의 높은 체적 흐름을 달성하기 위해, 큰 체적의 프로파일(19)을 갖는다. 로터(5)의 송출측 섹션(18)은 감소된 프로파일 체적 및 작아진 직경을 갖는다. 이를 통해, 나선형 석션 챔버의 단면이 줄어든다. 내부 압축이 달성되고, 압축 작업은 줄어든다.
하우징(4)의 내벽은 로터 단계에 매칭된다(단계 21). 일점 쇄선(22)으로 표시된 것은, 하우징이 단계(21)의 높이로 구분가능하게 형성될 수 있다는 것을 의미한다. 이를 통해, 펌프가 상이하게 응용될 수 있도록 하기 위해, 흡입측 로터 섹션(17) 및 하우징(4)의 흡입측 부분(4')이 다른 프로파일, 길이 및/또는 직경 및 거기에 매칭된 하우징 섹션(4')을 가진 로터 섹션으로 대체될 수 있다.
나사산의 송출측 단부에 연결된 펌프(1)의 배출구는 24로 표시된다. 상기 배출구(24)는 측면으로 제시된다. 또한 상기 배출구로 하우징 홀(25)이 통하며, 상기 하우징 홀(25)은 그것의 단면이 나사선 프로파일의 단계화 및/또는 변동에 의해 감소되는 높이에서 배출구에 연결된다. 상기 하우징 홀(25)에는 체크 밸브(26)가 있으며, 상기 체크 밸브(26)는 과압시 석션 챔버로 개방되고, 로터 섹션(17)의 흡입측 나사산을 배출구(24)와 연결시킨다. 지지부의 나선형 석션 챔버의 밀봉을 위해, 축봉(27)이 제공되며, 상기 축봉(27)은 베어링(7)과 로터 섹션(18)의 사이에 위치한다.
도시된 실시예의 냉각 장치는 로터 내부 냉각 장치 및 하우징 외부 냉각 장치를 포함한다.
상기 로터 내부 냉각 장치의 구현을 위해, 로터(5)에 그것의 베어링측으로 개방된 공동부(31)가 설치되며, 상기 공동부(31)는 거의 전체 로터(5)에 걸쳐있다. 두 섹션(17, 18)으로 이루어진 로터(5)에서 송출측 섹션(18)은 바람직하게 중공으로 형성된다. 상기 흡입측 섹션(17)은 공동부(31)의 흡입측 단부를 폐쇄한다. 바람직하게 로터(5) 및 상기 로터(5)의 송출측 섹션(18)에 의해 일체형으로 형성된 샤프트(6)도 마찬가지로 중공(공동부(32))으로 형성된다. 상기 공동부(31, 32) 내에 냉각 파이프(33)가 있으며, 상기 냉각 파이프는 베어링측에서 샤프트(6)로부터 빠져나오고, 로터측에서 공동부(31)의 흡입측 단부의 바로 앞에 연결된다. 상기 냉각 파이프(33) 및 상기 냉각 파이프(33)와 중공 샤프트(6)로 형성된 링챔버가 냉각제의 공급 및 배출을 위해 사용된다.
도시된 실시예에서, 냉각 파이프(3)의 베어링측의 개구(34)는 라인(35에 의해 냉각제 펌프(36)의 배출구에 연결된다. 또한 하우징 커버(14)의 영역내에, 라인 시스템(38)에 의해 냉각제 펌프(36)의 배출구에 연결된 냉각제 웰(37)이 있다. 상기 웰(well)(37) 및 라인 시스템(38)은, 도시된 펌프가 모든 위치에서 수직 및 수평으로 작동될 수 있도록 형성된다. 펌프(1)의 수직 및 수평 위치에서 나타나는 냉각제 위치가 도시되어 있다. 냉각제 펌프(36)가 하우징(4)의 외부(도시된)에 있는지 내부(예컨대, 구동 모터(2)의 높이에 있는, 펌프(1)의 보이지 않는 제 2 샤프트)에 있는지에 따라, 냉각 파이프(33)의 개구(34)가 하우징(4)의 외부 또는 내부에 놓인다.
로터(5)의 내부 냉각 장치의 작동을 위해, 냉각제가 냉각 파이프(33)를 통해, 냉각제 웰(37)로부터 나온 냉각제 펌프(36)에서 로터(5)의 공동부(31)로 공급된다. 거기로부터, 냉각 파이프(33)와 샤프트(6) 사이의 링챔버를 통해 웰(37)로 역류한다. 상기 공동부(31)는 펌프(1)의 나사산의 송출측 영역의 높이에 있기 때문에, 바로 이 영역이 효과적으로 냉각될 수 있다. 상기 냉각 파이프(33)의 외부에 역류하는 냉각제는 특히 중공 샤프트(6), 베어링(7, 8), 구동 모터(2)(고정측) 그리고 기어휠(3)을 탬퍼링함으로써, 열 팽창 문제가 감소된다.
냉각 파이프(33)와 샤프트(6) 사이의 링챔버의 단면은 그것의 송출측 단부의 영역내에서, 상기 영역내의 냉각 파이프(33)가 더 큰 외경을 가짐으로써 바람직하게 줄어든다. 이를 통해, 좁아진 통로(39)가 생긴다. 이러한 좁은 장소에 의해, 냉각제를 제공하는 챔버가 완전히 채워질 수 있다.
냉각 파이프용 재료로는 낮은 열전도성 재료(예컨대, 합성수지/특수강)가 선택되는 것이 바람직하다. 이를 통해, 로터(5)의 효과적 냉각 및 샤프트에 가까운, 펌프(1)의 부품의 균일한 탬퍼링이 이루어진다.
도시된 하우징 외부의 냉각 장치는 하우징(4)내에 공동부 및 채널을 포함한다. 로터(5)의 영역내에 제공된 냉각 채널은 41 로 표시되고, 모터(2)의 영역내에 있는 냉각 채널은 42로 표시된다.
상기 로터(5)의 영역내에 있는 냉각 채널(41)의 목적은, 한편으로는 특히 로터(5)의 송출측 영역내에 발생하는 열을 방출하는 것이다. 다른 한편으로는, 상기 냉각 채널(41)은 하우징(4)을 전체 로터의 높이로 가능한한 균일하게 탬퍼링해야만 한다. 최종적으로, 상기 냉각 채널은 흡수한 열을 외부로 방출해야만 한다. 따라서, 냉각제가 관류하는 공동부(41)는 로터(5)의 전체에 걸쳐있다. 하우징 커버(13)는 상기 공동부(41)의 흡입측을 폐쇄하는데 사용된다. 또한 하우징(4)의 배출구측은 효과적으로 냉각된다.
이와 마찬가지로, 구동 모터(2)의 높이에 있는 냉각 채널(42)은 전술한 목적을 갖는다. 상기 냉각 채널(42)은 구동 모터(코일측) 및 베어링 캐리어(7)의 탬퍼링에 영향을 끼친다. 최종적으로, 상기 냉각 채널(42)은 펌프(1)의 외부 표면에 대한 열방출을 엄청난 양으로 증대시킨다. 이에 따라, 바람직하게 적어도 냉각 채널(41, 42)의 높이에 리지(44)가 설치된다.
마찬가지로, 냉각 채널(41, 42)에 냉각제를 공급하는 것은 냉각제 펌프(36)에 의해, 또한 평행하게 관류해야할 경우에는 라인(45, 46)에 의해 이루어진다. 또한 열적 조건에 따라, 냉각 채널(41, 42)에 연속으로 냉각제가 공급될 수 있다. 라인(45, 46)은 생략될 수 있다. 상세하게 도시되지 않은 보어를 통해, 공동부(41, 42)로부터 냉각제가 웰(37)로 되돌아온다.
수직 배치된 웰(6)에 있어서, 상기 웰(6)에 있는 냉각제는 웰(37)내로 뻗어나온 베어링 캐리어(12)의 탬퍼링을 갖는다. 수평 배치된 웰에 있어서, 베어링 시트(12)를 탬퍼링하거나 외부로의 열방출을 개선시키기 위해, 커버(14)의 내부면을 통해 역류하는 냉각제가 흐를 수 있다.
도 1에 따른 실시예에서, 하우징(4) 및 로터(5)는 -언급된 바와 같이- 선(22)의 높이로 구분 가능하게 형성될 수 있다. 이를 통해, 로터(5)(섹션 17) 및 하우징(4)(섹션 4')의 흡입측 섹션은 다른 부품으로 대체될 수 있다. 펌프(1)는, 상이한 프로필(19), 상이한 길이, 상이한 기울기 및/또는 상이한 직경을 갖는 로터 섹션(17)이 각각 매칭된 하우징 섹션과 함께 조립됨으로써, 상이한 응용에 매칭될 수 있다. 따라서, 높은 흡입력을 달성하기 위한 흡입측에서는 상이한 크기의 프로파일이, 낮은 최종 압력을 달성하기 위한 흡입측에서는 상이한 길이의 프로파일이 및/또는 예컨대 낮은 단계에서는 높은 유체 호환성을, 또는 높은 등급에서는 높은 흡입력을 달성하기 위한, 상이한 부피의 단계가 비교적 적은 축동력에서 선택될 수 있다. 최종적으로, 특정한 응용에 있어서, 이러한 영역에서 압력 배출을 달성하기 위해, 로터(5)의 직경이 감소되는 높이에 주변 너트가 제공될 수 있다.
나사 진공 펌프(1)에 관류하는 냉각제는 물, 기름(광유, 테플론유) 또는 다른 유체일 수 있다. 베어링(7, 8) 및 기어휠(3)을 윤활시키기 위해, 기름을 사용하는 것이 바람직하다. 이를 통해, 냉각제 및 윤활재를 분리하여 공급하는 것, 그리고 이에 상응하는 실링은 생략될 수 있다. 이는 베어링(7, 8)에 기름을 첨가하기 위해서만 제공되어야만 한다.
이에 따라, 바람직한 재료 선택이 이루어진다. 예컨대, 로터(5) 및 하우징(4)은 비교적 비싼 알루미늄 재료로 이루어질 수 있다. 제공된 냉각 장치 및 펌프(1)의 균일한 탬퍼링에 의해, 상이한 작동 온도 및 비교적 작은 갭에서 국부적 유격 소실이 나타나지 않는다. 따라서, 로터간 및/또는 로터와 하우징 간에 시동이 걸릴 수 있다. 갭의 추가 감소에 의해, 펌프(1)의 열적으로 높은 하중을 받은 내부 부품(로터, 베어링, 베어링 캐리어, 기어휠)용 재료가 사용될 수 있으며, 상기 재료는 열적으로 더 적은 하중을 받은 하우징(4)용 재료보다 더 작은 열 팽창 계수를 갖는다. 이에 따라, 펌프(1)의 모든 부품은 균일하게 팽창된다. 이러한 재료 선택에 대한 예는 하우징용 내부 부품 및 알루미늄에 쓰이는 강(예를 들어, CrNi 강)이다. 또한 내부 부품용 재료로서 청동, 놋쇠 또는 양은이 사용될 수 있다.

Claims (18)

  1. 로터(5)를 갖는 나사 진공 펌프(1)에 있어서,
    나사 진공 펌프(1)의 각각의 로터가 별도로 제조된, 포지티브하게 또는 넌-포지티브하게 결합된 로터 섹션(17, 18)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  2. 제 1항에 있어서,
    각각의 로터(5)가 상이한 로터 프로파일(19, 20)을 가진 적어도 두 개의 섹션(17, 18)을 갖는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    흡입측 섹션(17)이 송출측 섹션(18) 보다 더 큰 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  4. 제 1항, 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 로터 섹션(17, 18)이 상이한 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 로터(5)의 흡입측 섹션(17)은 알루미늄으로, 송출측 섹션(18)은 강으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흡입측 로터 섹션(17)이 상기 송출측 로터 섹션(18) 보다 더 큰 공차에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    하우징(4)이 분할가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  8. 제 7항에 있어서,
    두 하우징간의 분리 평면이 두 로터 섹션(17, 18)간의 분리 평면(22)과 동일한 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  9. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    나선형 석션 챔버를 그것의 단면 - 나사선 프로파일의 상승 단계 및/또는 교체에 의해 - 이 줄어드는 높이에서 배출구(27)에 연결시키는 하우징 홀(26)이 제공되고, 상기 하우징 홀(26)내에 과압시 개방되는 체크 밸브가 있는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  10. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 펌프(1)에 냉각 장치/온도 조절 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 펌프(1)에 로터 내부 냉각 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 로터 내부 냉각 장치가 로터(5)내 베어링측으로 개방된 공동부(31)에 있는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  13. 제 12항에 있어서,
    중공으로 형성된 샤프트(6)를 관통하는 고정 냉각 파이프(33)가 공동부(31)에 이르는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 샤프트(6)가 상기 공동부(31)를 관통하고, 하우징(4)에 지지되는 냉각 부시(51)가 상기 샤프트(6)와 로터(5) 또는 로터 섹션(18) 사이의 링챔버내로 돌출하는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  15. 제 11항, 제 12항 또는 제 13항에 있어서,
    상기 펌프(1)의 하우징(4) 벽에, 특히 로터(5)의 높이에 냉각제가 관류하는 채널(41)이 제공되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 하우징(4)의 베어링측 영역에 냉각제가 관류하는 채널(42)이 제공되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  17. 제 10항 내지 제 16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 펌프(1)를 관류하는 냉각제가 베어링(7, 8)용 윤활재와 동일한 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
  18. 상기 항들 중 하나 이상의 항에 따른 특징을 갖는 펌프 제조 방법에 있어서,
    흡입측 장치로 정해진 로터 섹션(17)이 송출측 장치로 정해진 로터 섹션(18) 보다 더 큰 공차로 제조되는 것을 특징으로 하는 나사 진공 펌프.
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Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19945871A1 (de) * 1999-09-24 2001-03-29 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit zwei Pumpstufen
GB9930556D0 (en) * 1999-12-23 2000-02-16 Boc Group Plc Improvements in vacuum pumps
DE19963171A1 (de) * 1999-12-27 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe
DE19963170A1 (de) * 1999-12-27 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Wellendichtmitteln
US6394777B2 (en) * 2000-01-07 2002-05-28 The Nash Engineering Company Cooling gas in a rotary screw type pump
DE10019637B4 (de) * 2000-04-19 2012-04-26 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenvakuumpumpe
DE10039006A1 (de) * 2000-08-10 2002-02-21 Leybold Vakuum Gmbh Zweiwellenvakuumpumpe
DE10110368A1 (de) * 2001-03-03 2002-09-12 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Schöpfraum und Austritt
DE10129340A1 (de) * 2001-06-19 2003-01-02 Ralf Steffens Trockenverdichtende Spindelpumpe
AU2002365681A1 (en) 2001-12-04 2003-06-17 Kag Holding A/S Screw pump for transporting emulsions susceptible to mechanical handling
US7391285B2 (en) * 2003-10-30 2008-06-24 Avago Technologies Wireless Ip Pte Ltd Film acoustically-coupled transformer
EP1784576B2 (en) * 2004-09-02 2016-01-13 Edwards Limited Cooling of pump rotors
DE102005012040A1 (de) * 2005-03-16 2006-09-21 Gebr. Becker Gmbh & Co Kg Rotor und Schraubenvakuumpumpe
US20080121497A1 (en) * 2006-11-27 2008-05-29 Christopher Esterson Heated/cool screw conveyor
GB0907298D0 (en) * 2009-04-29 2009-06-10 Edwards Ltd Vacuum pump
US8764424B2 (en) 2010-05-17 2014-07-01 Tuthill Corporation Screw pump with field refurbishment provisions
EP2615307B1 (de) * 2012-01-12 2019-08-21 Vacuubrand Gmbh + Co Kg Schraubenvakuumpumpe
FR3010153B1 (fr) * 2013-08-30 2018-01-05 Pcm Technologies Rotor helicoidal, pompe a cavites progressives et dispositif de pompage
JP6982380B2 (ja) * 2016-03-08 2021-12-17 コベルコ・コンプレッサ株式会社 スクリュ圧縮機
DE202016005209U1 (de) * 2016-08-30 2017-12-01 Leybold Gmbh Schraubenvakuumpumpe
EP3499039B1 (de) * 2017-12-15 2021-03-31 Pfeiffer Vacuum Gmbh Schraubenvakuumpumpe
WO2020257033A1 (en) * 2019-06-17 2020-12-24 Nov Process & Flow Technologies Us, Inc. Progressive cavity pump or motor rotor
US11268385B2 (en) 2019-10-07 2022-03-08 Nov Canada Ulc Hybrid core progressive cavity pump
CN111594439A (zh) * 2020-04-23 2020-08-28 浙江佳成机械有限公司 一种三级螺杆压缩机
US11813580B2 (en) 2020-09-02 2023-11-14 Nov Canada Ulc Static mixer suitable for additive manufacturing
CN115853780B (zh) * 2022-11-10 2023-09-12 江阴华西节能技术有限公司 一种变螺距螺杆真空泵

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB464493A (en) 1934-10-16 1937-04-16 Milo Ab Improvements in rotary engines
GB785860A (en) 1955-01-17 1957-11-06 Manfred Dunkel Improvements in or relating to rotary piston blowers
FR1290239A (fr) 1961-02-28 1962-04-13 Alsacienne Constr Meca Pompe à vide
FR1500160A (fr) 1966-07-29 1967-11-03 Perfectionnements aux compresseurs et moteurs rotatifs
US3807911A (en) * 1971-08-02 1974-04-30 Davey Compressor Co Multiple lead screw compressor
FR2637655B1 (fr) 1988-10-07 1994-01-28 Alcatel Cit Machine rotative du type pompe a vis
JPH03111690A (ja) * 1989-09-22 1991-05-13 Tokuda Seisakusho Ltd 真空ポンプ
KR100190310B1 (ko) * 1992-09-03 1999-06-01 모리시따 요오이찌 진공배기장치
DE19522560A1 (de) * 1995-06-21 1997-01-02 Sihi Ind Consult Gmbh Vakuumpumpe mit einem Paar innerhalb eines axial durchströmten Schöpfraums umlaufender Verdrängerrotoren
JPH1054382A (ja) * 1996-08-14 1998-02-24 Mitsubishi Electric Corp ベーン式真空ポンプ
US5791888A (en) * 1997-01-03 1998-08-11 Smith; Clyde M. Static seal for rotary vane cartridge pump assembly
US6019586A (en) * 1998-01-20 2000-02-01 Sunny King Machinery Co., Ltd. Gradationally contracted screw compression equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001520353A (ja) 2001-10-30
DE59812093D1 (de) 2004-11-11
EP1021654A1 (de) 2000-07-26
DE19745615A1 (de) 1999-04-15
WO1999019631A1 (de) 1999-04-22
EP1021654B1 (de) 2004-10-06
TW452631B (en) 2001-09-01
JP4146081B2 (ja) 2008-09-03
US6382930B1 (en) 2002-05-07

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