KR100682586B1 - 건식-압축스크류펌프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 2축 정변위펌프의 형태로 구성된 건식-압축스크류펌프에 관한 것으로서 서로 병렬로 배치되어 있는 제1(1) 및 제2로터스핀들(2)을 가지며 입출구를 가진 압축실(3)내에 배열된 로터스핀들대우를 형성하고 당해로터스핀들(1, 2)은 중공(中空)으로 되어 있다. 냉매가 로터스핀들(1,2)의 제1전면(11, 21)에 공급되며 제2전면(12, 22)으로 배출된다. 냉매의 공급 및 배출수단은 외부의 냉매회로에 연결되어 있다. 중공로터스핀들의 내면은 냉매가 주로 대응로터스핀들 회전의 영향을 받아서 제1전면(11, 21)으로부터 제2전면(12, 22)으로 전달되는 방식으로 구성되어 있다.

Description

건식-압축스크류펌프{DRY-COMPRESSING SCREW PUMP}

본 발명은 2축 정변위 펌프형태로 구성된 건식-압축펌프에 관한 것이다.

환경관리규정에 따라 설정된 의무부담 증가는 물론이고 이송매체의 순도에 가해지는 보다 크게 요구되는 운전과 처리비용의 증가는 이송매체와 접촉하는 작동유체 없는 진공시스템을 요한다. 압축실내에 물이나 오일과 같은 여하한 기밀 또는 윤활 매체 없이 작동하는 이러한 기계들을 일반적으로 건식 또는 건식-압축진공펌프라고 한다. 물론 신뢰도와 작동안전에 대한 여하한 허용도 이러한 펌프들에 이루어 질 수 없다. 진공장치의 제조업체들은 상이한 해결, 2축 정변위펌프의 작동모드에 있는 모든 이들의 효과적인 원리로서 본 요구를 충족하였다. 진공을 조성하기 위하여 이러한 건식-압축기들은 소요되는 고압축비로 인하여 보다 고속에서 작동하며 압축로터들은 소기의 수명을 달성하기 위하여 압축실내에서 서로 및 폐쇄된 펌프케이싱에 대하여 가급적 인접되어 있도록 반대방향에서 접촉함이 없이 회전한다.

건식-압축진공펌프의 상이한 원리들 가운데에서 스크류펌프장치가 특히 유리 함이 입증되었다. 헤리칼스크류형홈(깊이)의 실린더표면상에 병렬로 배열되어 있는 2개의 원통형로터는 반대방향으로 회전하는 동안에 흡입 측으로부터 압력측으로 이동되는 각 톱니에 맞물려서 하나의 압축실을 형성한다. 스크류진공펌프에서 진공펌프에 대하여 요구되는 고압축비는 다수의 폐쇄펌핑실에 의하여 간단히 직접 이루어 질 수 있다.

건식-압축펌프에 관련된 선행기술은 몇 가지 중대한 결점에서 현저히 나타난다. 현재의 건식진공펌프들은 공지되어 있는 섭동베인로타리진공펌프와 액체링펌프가 이룬 현재의 품질가치와 거리가 있다. 이것은 이러한 진공펌프를 필적할 수 없는 고 신뢰도와 견고성, 이들의 조밀화 및 무엇보다도 저가의 제조비에 있어서 특히 사실이다. 이러한 난제의 동기는 현재의 건식압축진공펌프가 아직도 극단적인 압력 및 펌프용량과 같은 성능의 소요 특징을 이룩하기 위하여 기울여야 할 필요가 있는 거의 대부분에 상당한 노력을 경주하는 것을 보아 알 수 있다.

본 발명의 목적은 현재의 기술수준에 비하여 진공을 이루는 데 있어서 건식모드의 작동으로 상당한 개선을 기 위하여 특히 저렴하며 조밀화는 물론이고 가능한 한 간단하면서도 견고한 건식-압축진공펌프를 구상하는 데 있다.

본 발명에 따라서 본 목적의 해결은 2개의 정변위스핀들이 내부가 중공이고 연속적이며 신뢰할만한 방법으로 각 로터로부터의 진공발생에서 일어나는 열을 배출시키기 위하여 2개의 각 압축실린더를 통하여 직접 영속냉매류 즉 가급적이면 오 일을 유도하도록 설계하는 데 있다.

로터내의 이러한 열전달에 있어서 로터재료와 이송매체간의 보다 작은 열전달계수를 가진 정변위로터의 보다 많은 열흡수외부표면에 비하여 정변위로터재료와 로터실린더의 동시에 보다 작은 내면을 가진 보다 양호한 열전달계수를 가진 냉매사이의 보다 양호한 열전달계수가 간단한 열역학적설계에 따라서 흡입된 열량과 유출된 열량이 원하는 대로 평형이 이루어지도록 로터 내에서 평형이 잘 이루어진 열유동을 위하여 이용된다. 온도레벨은 유리하게 조정이 가능하며 냉매량을 제어함으로서 각 경우를 위하여 새롭게 조정 제어 가능하다. 이에 따라서 냉매량이 적당한 제어장치에 의하여 2개의 정변위로터사이에 균일하게 분포되도록 유의하는 것이 대단히 중요하다. 냉각효과를 개선하기 위하여서는 로터의 안 구멍은 나사의 적절한 방향에 의하여 냉매유동은 물론이고 디스프레이서(displacer)와 냉매간에 내면의 열 교환을 개선하기 위하여 회전방향을 향한 내부피드스크류를 추가함으로서 유리하게 구비되어야 한다. 각 정변위로터의 회전방향은 정변위로터구멍이 로터의 이에 이루어진 회전방향에 따라 그의 냉매유동이 보강되도록 정확히 설계될 수 있도록 펌프의 양정방향에 따라 정확히 설정된다.

그의 대안은 보다 작은 보어직경이 냉매의 유입측에 위치되고 다소 보다 큰 보어경이 냉매의 유출측에 위치함으로서 냉매의 전달효과가 원심력에 의하여 보강됨으로 로터의 냉각을 더욱 더 개선하도록 원추방식으로 나사위에 추가 대안을 가진 로터의 상기 내부구멍을 유리하게 설계할 수 있다. 따라서 서로 직교 또는 수평방향으로 위치한 한 쌍의 정변위를 가진 이러한 진공스크류펌프를 유리하게 작동 시키는 것도 가능하다.

가장 효과적인 로터냉각을 위하여서는 본 발명은 추가로 요구된 방법으로 압축손실열의 분산에 의하여 로터의 내부구멍면의 설계를 제안하고 있다.

압축기의 출력 및 이에 따라 발생하는 출력손실에 대해서도 정변위로터의 종방향에서 일정하지 않음으로 당해 표면 값들이 유리하게 가공되어서 압축의 보다 큰 열손실영역에서 보다 크다. 일반적으로 이는 특히 출구와 작동실의 체적이 보다 큰 변화를 하는 영역에 보다 근접되어 있는 정변위로터의 부위에 관계가 있다. 로터의 전체 벽두께를 최소화함으로서 본 윤곽의 내부중공곡선에 의하여 따르는 원통형 홈을 가진 외부곡선을 가짐으로서 회전내면의 크기를 최대화할 가능성도 있다. 기계적인 변환외에도 기술적인 실시 또한 적당히 얇은 -두께를 가진 관의 성형 또는 EP 0 477 601 A1에 따르는 판패킹에 의해서도 달성할 수 있다.

냉매의 총유동은 오히려 그 자신의 압력발생펌프에 의하여 정해진 방법으로 이루어짐으로 이러한 냉매(가급적 오일)는 동기물림식기어와 구동기어를 통해서는 물론이고 디스프레이서의 공동(空洞), 특수 실링요소의 수용에 의하여 제어된 방법으로 유도될 수 있을 뿐 아니라 또한 흡수 열을 전달하기 위하여 중력의 도움으로 가능하다면 하우징을 거쳐서 제어된 방법으로 유도될 수 있다. 폐회로내에서 영속적으로 번복되는 이러한 과정은 공지된 추가로 외부로의 열교환가능성에 의하여 그의 일을 촉진시키며 케이싱에 대한 적절한 재료인 핀 부착 하우징과 간단한 환풍기로 시작하여 추가 열교환조인트로 끝나는 데 이를 통하여 냉매의 유동이 직접 통과한다. 다른 방도로 그 자신의 압력발생펌프대신에 로터의 회전 운동에너지가 그 자신의 오일펌프를 공지된 원리에 따라서 정변휘로터에 연결함으로서 특히 보다 소형기계를 위하여 사용 가능하다.

이와 같은 방법으로 전체 기계내의 온도분포는 유리하게도 건식-압축진공펌프에 대하여 보다 균일하게 될 수 있음으로 일반적으로 공지된 슬라이딩베인로터리기와 액체링펌프가 충족하는 표준형에 도달할 수가 있다. 가능한 한 균일해야 할 이러한 온도는 진공펌프의 견고성과 신뢰도를 위한 중요한 조건이며 상당한 운전장애를 포함하는 온도의 일부 극단적인 차이로 인하여 현재의 건식-압축진공펌프에서 아직도 달성할 수 없는 가장 중요한 개발목표의 하나로 항상 간주된다.

특히 유리한 방법으로 로터의 이러한 경제적인 냉각을 위하여 본 발명은 적어도 한 개의 로터측의 전면에서 직접 각각 정변위 로터 (1,2)를 수용함을 의미하며 이에 의하여 냉매는 폐쇄형 로터요소(4)로 배출되는 데 이에 의하여 한측에서 소요냉매량이 직접 정변위로터 구멍의 각각을 통하여 공급되어 다시 타단에서 배출된다. 이러한 효과에 있어서 도 1에 의한 설명의 예로 도시한 바와 같이 로터의 베어링(5)는 베어링의 내환이 하우징에 움직일 수 없도록 고정되어 있는 융기부(6)에 수직으로 위치하는 한편 폐쇄형 로터요소(4)내에 위치한 베어링의 외환은 영속적으로 정변위로터(1 또는 2)와 함께 돌게 함으로서 이루어진다. 이렇게 베어링내에 로터를 수용함으로서 최대의 동력학적 안정이 디스프레이서(displacer)의 전면 우측 양 방향에서 이루어지며 한 측에서 베어링들사이의 간격이 최소화되고 다른 측에서 베어링들사이의 강도가 최적으로 증가되기 때문에 임계선회속도는 작동속도를 훨씬 상회한다.

적어도 한 측에서 베어링들내의 로터를 수용하는 이러한 방법은 그러나 도 3의 설명에 따라서 로터의 베어링(5)의 내환을 정변휘로터상에 위치시키고 베어링의 외환을 케이싱에 움직이지 않도록 고정된 측부(7)에 두도록 함으로서 생략할 수 있다.

예를 들면 펌프가 사용해야 할 특히 복잡한 케이싱에 대한 압축실에의 축입구수를 줄이기 위하여 그리고 흡입측상에 로터의 수용을 방지하는 한편 공지된 한 측의 소위 로터의 외팔보베어링이 유리할 수 있다. 도 2의 설명에 따라서 로터의 유리한 냉각은 또한 케이싱에 움직이지 않도록 고정되어 있는 융기부 (6)을 가지고 냉매공급 (8)을 감당함은 물론이고 베어링의 2개내환을 수용하는 적용의 이러한 경우들에 있어서 실현이 가능하다. 스크류펌프의 반경방향 변형이 작음으로 한 측에서만 지지된 이러한 융기에 필요한 유연한 강도는 보다 큰 내경을 가진 하부베어링(5a)를 구비함으로서 용이하게 이룰 수 있으며 이는 동시에 펌핑매체의 작동압력차이에 의하여 발생되는 보다 큰 축력을 흡수하도록 하고 있다. 소형스크류펌프에 있어서는 상부베어링( 5b) 예컨대 라디알패키지형의 니들베어링이나 또는 윤활슬라이드베어링으로도 설계할 수 있다.

냉매 가급적 오일의 이러한 유동의 작은 부분은 직접 최대의 안전성, 신뢰성 및 내구성이 이러한 베어링들에 대하여 유지되도록 로터를 수용하는 베어링들의 윤활 및 냉각을 하도록 되어 있다. 냉매공급(8)의 이러한 분기는 예컨대 로터 (16)의 원추삽입부내에 구비되어 있는 숄더(shoulder) (17) 또는 로터요소들내의 구멍들 (10)과 수집관(18)으로부터의 오일오버플로(overflow), 압력관 (19)에 의하여 오일로부터 이를 취하여 윤활유의 적정량이 유리하게 이에 따라서 이러한 요소들의 크기를 부여함으로서 조정 가능한 분사오일에 의하여 이루어진다.

냉매유동의 다른 부분은 동시에 맞물림기의 윤활과 냉각에 있어서 유리하게 사용된다. 여기에서 공급은 윤활제 분배구멍 (10) 이나 또는 사이펀축실 (22)의 제어전달오버플로 (24)에 의하여 일어난다 - 이하 설명 참조.

냉각에 있어서 이러한 문제점외에 현재의 스크류진공펌프들은 주로 흡입측에서 로터의 수용을 방지하기 위하여 외팔보로터로 설계된다. 이러한 중요한 이점은 그러나 여하한 경우에도 또한 로터의 냉각에 대한 결점과 임계선회속도를 택함이 없이 얻어야 한다. 또한 동시에 축력은 신뢰도와 내구성에 관하여 베어링에 상당한 변형을 발생함으로 펌핑매체의 압력차이로 인한 정변위로터를 지지하는 이러한 외팔보방식에 의하여 발생하는 축력을 피하는 것이 아주 바람직하다.

본 발명에 있어서 본 목적의 해결은 가스가 더 이상 전면에서 로터에 들어가지 않고 로터의 종측안으로 들어가며 출구측에 공급하는 압력이 로터의 양 전면에서 거의 대기압과 같은 압력으로 조정되도록 스크류펌프에 공지되어 있는 2중입구형을 사용하는 데 있다. 이에 따라서 본 발명은 올려진 가스유동이 균일하게 분배되도록 보다 큰 스크류펌프(즉 정격흡입용량의 시간당 100입방메터이상의 것과 같은)의 동일한 피드스크류나사로 된 디스프레이서대우의 양측을 설계하도록 제안하고 있다. 소요 중심거리 및 이에 따르는 펌프의 크기는 이리하여 유리하게 감소시킬 수 있으며 전체길이는 증가하되 그러한 기계의 제조비용은 이에 따라서 감소된다.

소형스크류펌프(시간당 100입방메터정도미만의 정격흡입용량을 가진)에 대해서 디스프레이서대우(전달방향이 수직일 때의 상부)의 한 부분은 펌프의 입출구측사이의 압력차이로 다만 내부가스를 되돌리기 위하여 간단히 바로 한개의 누출피드스크류나사로 설계할 수 있다. 이러한 누출피드스크류나사는 이에 따라서 다른 디스프레이서스핀들과 로터의 상호결합에 의하여 또는 별도로 움직이지 않도록 하우징에 고정되는 전체 실린더내의 간단한 피드스크류나사로서 설계가능하며 상기 나사는 소위 고러버브(Golubev)형나사와 같다.

본 발명의 이러한 해결은 유리하게도 흡입측의 베어링에 수용되어 있는 로터를 가지는 것을 생략함으로서 현재의 건식-압축스크류진공펌프의 장점을 채택하고 있으며 동시에 베어링로터에 대한 상당한 축력에 관한 결점을 극복하고 있다.

필요한 건조 즉 탈오일압축/작동실과 오일-윤활측/베어링부사이의 요구되는 기밀은 무엇보다도 긴 기밀통로에 의하여 이루어지며 이에 따라서 Golubev 누출피드스크류를 거쳐서 무접촉으로 간단한 래버린스패킹과 다른 공지된 축패킹에 의하여 지원된다. 펌프의 양 전면들은 이에 따라서 간단한 가스관에 의하여 서로 단단히 연결이 가능하다 그럼으로 압축실의 축입구에서 압력차이가 최소화 되도록 일정한 압력보상을 하여준다.

압축실의 축입구에 대한 본 발명에서 사용되는 특히 유리한 패킹은 도 1에 도시되어 있는바와 같은 특수원심축패킹이다. 냉매가 공급되는 측에서 융기상에 견고하게 설치된 가는 패킹디스크(21)는 한 측의 베어링윤활로부터 그의 액체를 얻는 회전사이펀 (20)과 물리며 다른 측에서 항상 액체와 상기 기밀디스크에 견고하 게 설치된 압력관 (26)을 통하여 필요한 액체와 열의 필요한 배출을 행한다. 회전사이펀을 구비한 이러한 기밀시스템은 또한 직접 도 5에 도시한 바와 같은 예와 같이 냉매/윤활제의 배출측에서 사용이 가능하다.

본 발명에서 기술되어 있는 바와 같이 디스프레이서스크류의 냉각을 수행하기 위하여서는 냉매 가급적이면 오일은 지속적으로 안전하게 회전실린더의 회전내면에 공급되고 다시 단부로 배출되어야 한다.

케이싱에 고정되어 있는 융기에서 행하는 회전축에 대한 이 오일공급은 오일이 가급적이면 균일하게 분배되도록 하기 위하여 케이싱과 일체인 융기에 물리는 대우(예컨대 구멍의 랜드로서 설계)를 가지고 있는 로터구멍안에 구비된 특수원추형삽입물 (16)에 의하여 이루어진다. 이러한 회전삽입물 (16)은 냉매공급 (8)에서 융기를 거쳐서 공급된 냉매/윤활제가 원추삽입물 (16)에 충돌하여 소요의 작은부위에 분사됨으로서 로터의 베어링 (5)배열을 윤활하고 사이펀 (20)에 공급되도록 하는 그의 원추의 경사면에 숄더(어깨) (17)가 부여되어 있다. 오일의 상당히 많은 유량이 삽입물 (16)내의 홈형리세스를 통하여 공급된다.

이러한 회전사이펀은 다만 동적인 패킹역활을 할 수 있음으로 접촉축패킹(27) 예컨대 공지된 회전축패킹은 추가로 정적 패킹으로서 상기 회전로터요소가 안전하게 정지상태에서 기밀을 유지하고 회전이 개시될 때 즉 사이펀패킹이 기밀작용을 하여 그의 패킹립이 원심력의 효과로 인하여 상승하기 시작하여 이에 따라 유리하게 동시에 최적의 내마모가 되도록 회전로터요소에 삽입된다.

삭제

이 압축실축패킹시스템의 압력차를 최소로 하기 위하여 상기 Golubeb 누출피드스크류나사(25)가 내장요소의 외경에서 사용된다. 상기와 같이 내부누출을 되돌리기 위한 기타 가능성은 대안으로 이루어 질 수 있다. 공지된 설계의 또 다른 패킹요소들은 주로 축방향으로 작용하며 추가로 내장요소들의 전면측에 배열이 가능하다. 적용의 보다 복잡한 경우에 있어서는 유리한 긴 패캥통로를 따라서 불활성가스로서 패킹가스 최상의 적절한 전도성으로 보편적인 사용이 어느 때나 가능하다.

오일의 필요한 누출은 항상 내장로터요소들을 구비한 로터의 전면에서 일어나며 가급적 펌핑방향이 유리하게 밑에서 수직인 때이며 도 3에 도시한 바에 따라서 오일공급은 또한 로터베어링의 내환이 직접 정변위로터의 축의 연장단부에 위치한 로터의 전면에서 이루어 질 수 있다. 도 2에 도시한 바에 따라서 냉각 및 윤활수단은 배출구멍과 물림기어에 이르는 분기구멍을 구비한 수집관 (18) 및 / 또는 로터측에 위치한 수집관 (18)로 케이싱과 일체의 융기로부터 직접 맞물린 압력관 (19)을 거쳐서 원심력에 의하여 로터의 내실린더로부터 이송이 될 수 있다.

도 1에 도시한 설명에서 오일의 누출은 베어링윤활에 유리하게 사용될 뿐 아니라 동시에 기밀사이펀에 공급되어 동기물림기어의 윤활에 기여한다. 상부사이펀과는 반대로 이 사이펀에서는 회전하는 것은 가늘은 실링디스크이며 사이펀의 인접측벽은 케이싱과 일체로 되어 있다. 동기물림의 필요한 윤활은 이에 따라서 동기물림식 전환기어의 물림영역에서 사이펀압축실축패킹의 제어채널오버플로우로 인하여 특히 유리한 방법으로 이루어지며 사이펀측벽은 정확히 이 영역에에서 뒤로 위치하게된다. 도 1에 도시한 바에 따라서 동기물림식기의 동시제공과 결합된 이러한 종류의 저압실축패킹도 또한 적당하며 도 2에 따르는 외팔보베어링과 동일한 방법으로 사용이 가능하다.

그러한 스크류진공펌프는 가급적 정변위로터의 대우와 직립으로 설계되며 정변위로터를 포함하는 펌프케이싱은 여하한 경우에 필요할수도 있는 펌핑실로부터의 액체배출이 언제든지 중력에 의하여 이루어지며 펌핑매체의 출구포트는 항상 최단선의 가장 낮은 위치에 자리잡도록 설계되어 있다.

2개의 정변위스크류의 동기는 간단한 공지의 오일-윤활 스퍼기어에 의하여 이루어진다. 가급적 속도의 동시에 필요한 증가하는 구동은 직접 이러한 동기과정을 작동시켜주는 보다 큰 스퍼휠을 거치거나 또는 간단한 전달과정에 의하여 발생한다. 이 경우에 있어서 구동모터는 가급적이면 스크류펌프와 병렬이 되도록 배열되어 있다. 구동모터는 또한 디스프레이서스핀들의 직접연장에 배열될 수 있으며 속도의 증가는 주파수변환기에 의하여 이루어진다.

본 발명에 따르는 기술의 건식-압축스크류진공펌프에서의 중요한 시도는 전체기계의 열상태를 현저히 해제하기 위하여 소요구동출력을 최소화하는 데 있다. 진실로 출력의 공급이 적을수록 적절한 냉각비용으로 합리적인 한도내에서 스크류진공펌프내의 온도를 유지하는 것이 보다 용이하며 개발단계에서 다음에 이어서 펌프크기 및 이에 따라 대체로 기계의 제조비용을 줄여주는 데 있다.

입출력의 이러한 최소화는 특유의 내부단계에 의하여 이루어진다. 그것은 고의 적으로 흡입과정의 시작으로부터 출구에 이르는 작동/펌핑실의 용적을 줄여준 다. 압축과정에 대한 최선의 방법은 연속적으로 다양한 압력상태에 적응하는 가변적인 일정한 내부의 점진적인 변화일 것이다. 건식-압축스크류진공펌프에서 이것은 예컨대 벨브를 사용함으로서 이루어 질 수 있지만 경험에 의하면 이러한 밸브들은 이들의 내구성이나 신뢰성으로 볼 때 건식펌프에는 적합치 않음이 들어났다.

본 발명에 의하면 이의 점진적 변화는 도 2에 도시한 바에 따라서 펌핑실 체적의 보정으로서 내부의 점진적인 변화의 2가지 요소에 대한 가변적인 결합으로 이루어진다. 한가지 인수로서 제1의 값은 1.5와 2.2사이에 포함되며 가급적 약 1.85에 이르는 것이 좋으며 기술적으로 이러한 상당한 인수에 의하여 스핀들피치를 연속적으로 감소시켜서 사용되며 정변위 로터의 외경은 일정하게 유지된다. 제2의 값은 인수로서 최소 2.0과 최대 9.0사이에 들어 있는 바 가급적이면 약 4.0과 6.0사이에 있는 것이 좋으며 로터의 기하학적 매개변수들, 정변위로터외경과 동일한 중요도로 치홈과 같이 보다 큰 값으로 로터스핀들의 피치를 돌연히 수정함으로서 이에 따라서 이 인수가 결합 감소되도록 기술적으로 정확히 이러한 인수에 의하여 작동/펌핑실체적의 감소로 사용된다.

이리하여 각 스핀들 로터는 2개의 피스스크류부분으로 되는 데 제1부분은 피치(작동/펌핑실의 체적을 줄이기 위하여 약 1.85인수)의 연속적인 변화로서 설계되고 로터의 외경은 불변이며 로터스핀들의 인접한 제2부분에서 작동/펌핑실의 체적은 돌연히 치높이와 가능한 한 스핀들의 피치를 줄여서 4와 6사이에서 가급적 절충된 한 인수에 의하여 감소된다. 이러한 고려의 반복은 배출측을 향하여 흡입 측에서 방향을 잡는다. 그러나 또한 우선 가급적 인수 4와 6사이에서 큰 점진적인 변화를 가짐으로서 역전도 가능하며 스핀들의 제2펌핑부분의 로터외경을 돌연히 줄인 다음에 약 1,85의 피치의 연속적인 변화가 이루어진다. 물림카운터스핀들로터는 물론 그 형상의 대응변화로 이루어 질 수 있다.

또한 유의해야 할 사항은 돌연히 로터의 형상을 변경함에 있어서 2개의 스핀들 부분들은 반대편로터물림이 항상 약간의 변화를 받으며 디스프레이서의 상이한 부분들 사이의 접촉은 여하한 방법에 의해서라도 근소한 유격이 로터의 2개의 다른 부분들 사이에서 이루어지도록 피해야 한다. 이러한 조치는 직접 로터의 외경감소에 해당되며 유리하게도 바로 피치원의 높이 밑에서 끝난다.

공지되어 있는 바와 같이 펌핑과정중에 흡입구에서 발생하는 흡입압력이 보다 높아서 과잉압력이 필연적으로 작동/펌핑실의 체적감소로 인한 로터부의 전환에 대한 이 곳에서 초기에 형성되며 상기 과잉압력은 과부하를 일으킬 수 있다. 이러한 과대한 압력을 방지하기 위하여 동시에 케이싱측의 이곳에 간단한 스프링 및 / 또는 출구에 대한 과잉압력을 제거할 목적으로 중력식-하중밸브와 같은 공지의 방법으로 작용하는 과잉압력융기(28)가 구비되어 있어야 한다.

작동/펌핑실의 체적의 돌연한 감소로 로터위치에서의 보다 높은 흡입압력의 경우에 과압을 줄이기 위하여 본 발명은 추가로 로터피치의 연속적인 감소로 로터의 여전히 일정한 외경에서 작동/펌핑실의 아직 정적인 디스프레이서부의 형성을 제안하고 있다. 피치가변의 이러한 값은 또한 1.2와 2.2사에 있어야 하며 가급적 1.85정도가 되어야 한다. 펌프적용의 몇 가지 경우들에 있어서 약 1.85의 값에서 피치의 연속적인 가변을 하는 로터부의 가능한 과압은 바람직하지 않음으로 본 발 명은 추가로 또한 로터의 2부분사이에서 이러한 바람직한 값이 균일하게 분배되고 즉 약 1.36 내지 1.40의 피치의 연속적인 변화로 양 디스프레이서부를 설계하는 것을 제안하고 있다.

잘 공지되어 있는 바와 같이 건식-압축진공펌프들에서 불가피한 펌의 작동실내로 구멍을 통하여 내부가스누출은 이러한 기계들의 압축능력을 훼손한다. 보다 낮은 점진적 변화를 구체화하기 위하여 본 발명은 압축작용의 개선목적을 달성하기 위하여 제2로터부보다 피치의 보다 작은 변화로서 흡입측의 제1로터부를 설계할 것을 제안하고 있다.

추가로 피치의 변화는 비선형 예컨대 2차함수를 따라야 함으로 피치변화(흡입측에서 보아) 초기에 서서히 증가하다가 그것이 제1로터부의 단부에 이르면 후에 보다 급격한 방법으로 증가함으로 최종 피치대 초기피치의 비에서 얻어진 비율은 1.2와 1.8사이에 포함되어 있는 소요값을 얻으며 가급적 권장값은 약 1.5이다. 피치변화의 곡선을 설계함에 있어서 동일시도가 한 측에서 제2로터부의 초기피치가 제1로터부의 최종피치보다 갑자기 2.0과 최대 8.0사이의 인수에 의하여 작아지는 두 차이만으로 제2로터부에 대하여 이루어지며 다른 측에서는 또한 비선형인 피치의 변화가 제1로터부의 비율에 비하여 인수 1.2 내지 1.8에 의하여 비교적 최종피치대 초기피치의 비율을 가지고 있다. 그 결과 흡입위치와 배출위치간의 정변위로터의 실린더에 따라서 압력의 전파는 유리하게도 흡입측에서 보아 압력증가가 가능한 한 정적이며 두 로터부들간의 임계전달압력은 그의 위치에 대해서는 물론이고 그의 크기에 대해서 이러한 진공펌프의 압축용량을 지나치게 손상하지 않도록 하는 방법으로 명시되어 있다. 그러므로 제1로터부는 즉 적어도 2.0의 인수로 충분한 길이를 부여하지 않으면 안 된다.

도 2에 의한 도시는 내부의 점진적인 변화에 대한 한가지 실시예를 제시하고 있으며 거기에서 피치는 연속적으로 M1값으로부터 제1피드스크류부의 값 M2를 향하여 변화함으로 최종 작동/펌핑실의 체적은 값 VI을 얻는다. 두 피드스크류부사이의 전환에서 이 체적은 적어도 돌연히 로터의 외경을 감소함으로서 값 V2로 줄어든다. 제2피드스크류에서 스핀들 피치는 최종 연속적으로 값 m1로부터 값 m2로 줄어든다.

이 건식-압축스크류펌프의 압축작용을 더욱 개선하기 위하여 본 발명은 추가로 다음과 같은 방법으로 측단면곡선의 설계를 제안하고 있다:

보통 측단면곡선들은 양스핀들정변위로터들의 전면부에서 동일하며 수학적으로보아 등거리관점으로부터 공지된 사이클로이드((擺線)의 경로에 상당하다. 그러나 이에 대한 결점은 한 측에서 원형진입선은 케이싱내의 두 실린더면의 절단모서리에 충분히 근접하도록 널리 뻗어 있지 않으며 다른 측에서 치차작용법칙에 따라서 인볼류트기어는 예컨대 사이클로이드가 단면피치의 제1차유도에서 피치원에 이르는 전환부에서 굽힘을 나타냄으로 제작에 있어서 분산 또는 온도차이로 인하여 야기된 근소한 중심거리변동에 대단히 민감하므로 연속적인 유도에서 불연속이 된다는 점이다. 사이클오이드의 이러한 두 가지 특성들은 2개의 정변위로터들간에서 내부가스누출이 이에 따라 증가됨으로 전체기계의 압축능력을 감소시킨다. 본 발명은 이제 인볼류트로서의 피치원부위에서 측단면곡선의 수학적인 설계 즉 -1의 값으로 단면피치의 변화로 피치원부위에서 그것을 설계하도록 권장하고 있다. 그것은 또한 내부가스누출이 줄어들도록 케이싱내의 두 실린더면의 절단모서리에 근접하여 물림선을 가져오도록 권장하고 있다. 로터스핀들 및 이에 따른 증가된 압축능력의 두 측면사이의 기밀효과를 개선하기 위한 또 다른 제안은 동시에 물리는 여러 단면윤곽선으로 된 측면곡선을 가지는 데 있다. 치차작용법칙에 따라서 이에 대응하는 측단면의 피치점위치들은 중첩되며 2중 중첩은 대부분의 경우들에서 충분하다.

완성을 위하여 2개부분으로 분활하는 대신에 3개나 또는 그이상의 부분으로 분활이 또한 가능하며 어떠한 구체화 특히 대형기계에 대하여서도 또한 이해할 수 있다는 점은 명백하므로 다만 이를 시사할 뿐이다. 추가로 로터스핀들의 실시에 있어서 2가지-치형은 동시에 구조상의 길이의 필요성이 단차수를 얻기 위할 목적으로 감소되는 한편 그의 더욱 유리한 평형능력으로 인하여 바람직하다.

보다 충분히 이해하기 위하여 유의해야 할 사항은 제1로터부는 초기에 유량발생기(더 정확히 말해서: 흡입속도발생기)로 간주되어야 하는 반면에 압축발생기역활을 하는 제2로터부는 보다 높은 절대압력차를 극복해야 한다는 것이다.

유량발생기(보다 정확히 말해서: 흡입속도발생기)의 착상은 이 건식-압축스크류펌프로 하여금 다른 경우에도 이제 유리하게 잘 적용이 될 수 있게 되어 있다.

보통 이 건식-압축스크류펌프들은 배출측의 대기압에 대하여 가스를 압축시키기 위한 진공기술에 적용된다. 본 발명에 의하면 이 기계는 이제 단면피치를 현저히 증가시킴으로서 정변위스핀들대우를 교환함으로서 직접 루츠펌프로서 사용될 수가 있다. 동일 또는 적어도 유사한 구동력에서 흡입과 배출사이의 달성할 수 있는 압력차는 떨어지며 이는 정확히 루츠진공펌프 적용의 경우에 해당된다. 그러므로 흡입능력에 대한 그의 특수 값과 압력차를 가진 펌프에 대한 적용의 각 경우를 위한 가장 적절한 진공펌프는 건식-압축스크류펌프의 표준구조 장치에 의하여 용이하고 유리한 방법으로 제공이 가능하다.

로터의 상기 유리한 냉각외에도 사전-흡입이 가스냉각에 사용된다. 공지되어 있는 방법에서 냉각가스는 정적으로 폐쇄된 작동/펌핑실로 들어가서 거기에서 압력의 차이로 인하여 펌핑매체와 혼합하여 압력차의 감소는 물론 작동/펌핑실의 가스온도저하를 초래 작동/펌핑실모멘트가 배출측에서 열림으로 가스맥동으로 인한 소음발생이 줄어든다.

높은 흡입압력에서 상기 과급압축을 줄이기 위하여 이 사전-흡입유동방향이 간단히 역전됨으로 자동과부하방지역활을 한다.

소음을 줄이기 위하여 배출변은 연성이어야 하며 이는 각 작동/펌핑실의 개방운동을 함으로서 이루어지며 미소한 회전에 따르고 작동／펌프실이 개방되어 있을 때 일부의 여하한 돌연 변화를 피할 수 있다.

소음을 줄이기 위하여 본 발명은 추가로 도 1에 도시한 바에 따라서 내장되고 배출측에 위치한 축단에 구비된 보조환기휠 (29)에 의하여 압력맥동과 가스주진동을 효과적으로 분산 감소시킬 것을 제안하고 있다.

설명한 실시예들에서 도면의 내용은 다음과 같다.

도 1은 양측에서 베어링내에 수용된 로터, 스핀들로터의 연속냉각 및 양측에 구비된 사이펀기밀시스템으로 된 본 발명의 2축펌프의 종단면도를 도시하고 있다. 스퍼기어(11)는 2개의 정변위스핀들에 대한 정확한 동기조정을 이룰 목적으로 탄성요소(31)에 의하여 이들 스핀들 로터 (1, 2)와 함께 회전이 안되도록 연결되어 있다.

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도 2는 건식-압축스크류펌프의 종단면으로서 예로 한 개 정변위스핀들에 대한 로터단차와 냉매/윤활제공급(8)과 더불어 케이싱과 통합된 융기부 (6)위의 로터외팔보베어링을 가지고 있다.

도 3은 로터의 가능한 베어링(5)을 도시하고 있으며 이는 케이싱과 일체로 된 베어링외환과 냉매/윤활제의 흡입측상의 동기물림식기어(11)와 함께 로터축상에 위치한 베어링의 내환을 가지고 있다.

도 4는 동기물림식기어없이 케이싱과 일체로 융기부 (6)에 직접 수용된 로터의 베어링 (5)를 가짐으로서 배출측에 펌핑매체의 출구에 대한 단면의 변화를 최소화 및 기밀가스옵션(32)으로 긴 래버린즈패킹통로를 이룰 목적으로 배출측에 대한 특수 공간절감형실시예를 도시하고 있다. 냉매/윤활제는 수집관(18)과 상기 수집관과 물리는 압력관(19)을 경유하여 디스프레이서공동으로부터 빠진다. 분사오일은 이러한 배출과정중에 베어링을 윤활할 정도면 충분하다.

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도 5는 도 4에서 설명한 바와 유사한 방법으로 도시되어 있다. 베어링(5)은 회전사이펀패킹(20) 및 정치패킹디스크(21)와 또한 라디알패킹링(27)과 함께 케이싱에 일체로 된 융기부 (6)상의 로터의 밀폐공간과 같은 연장부분에서 배출측상의 로터를 지지하고 있다. 동기물림식 기어는 펌핑매체에 대한 출구의 위치를 설계하기 위하여 최상의 가능한 조건이 이루어지도록 로터의 다른 전면에 구비되어 있어야 한다.

도 6은 도 1의 설명의 대안으로 출구측에 위치한 로터의 전면을 대하여 로터스핀들 (1, 2)에 동기물림식기어(11)를 고정하기 위한 다른 방식을 도시하고 있으며 로터는 직접 연장디스프레이서스핀들의 베어링(5)에 유리하게 수용되어 있다.

상기 건식-압축스크류펌프의 실시예들은 특히 진공기술에 유리지만 이들은 바로 또한 이러한 펌프들이 펌핑매체의 압축성이라고 가정하기 때문에 가스를 전달하기 위하여서만 사용될 수 있도록 특이한 제한을 가하여 적용의 다른 경우들에도 사용 가능하다.

건식-압축스크류펌프는 입출구를 가진 폐쇄된 압축실(3)내에서 서로 병렬로 배치된 로터스핀들(1, 2)로 가스를 올리고 압축하기 위한 2축정변위펌프의 형태로 형성되어 있으며 양 로터스핀들은 공동이며 냉매/윤활제는 연속적으로 공급 배출된다. 일반적으로 폐쇄형 로터요소들(4)은 적어도 냉매/윤활제가 배출되는 로터의 전면에 구비되어 있다. 이러한 로터전면들에 대한 슬라이딩 또는 롤러베어링들(5)은 한 측에서 이러한 폐쇄형로터요소들의 내벽에 자리잡고 있으며 다른 측에는 상기 폐쇄공간으로 뻗어 있는 정치 융기부 (6)에 자리잡고 있다. 냉매/윤활제는 유리하게도 연속적으로 로터의 한 측의 이러한 로터공동으로 유입되고 그의 타단에서 연속적으로 배출되며 냉매/윤활제의 공급(8)은 특히 케이싱과 일체인 융기부(6)를 거쳐서 이루어진다. 현저한 이점은 공급측의 로터공동내 홈형리세스와는 물론 벗어난 숄더(17)와 함께 원추형삽입물(16)을 경유하여 냉매/윤활유를 분배 및 공급하는 데서 발생한다.

한가지 선택된 개발에서 로터의 내부구멍들은 추가로 각 정변위로터의 정해진 회전방향에 따라서 냉매통로가 거기를 통하여 촉진되도록 하는 방법으로 회전방향을 향한 내부피드스크류(12)를 구비하고 있다.

또 다른 이점들은 로터의 내부구멍들이 보다 작은 구멍경이 냉매의 흡입측에 있으며 보다 큰 구멍경이 냉매의 배출측에 있도록 원추형(13)을 가지고 있을 때 얻어진다.

열의 이득은 로터의 내부구멍의 표면들이 압축의 손실열을 전달하도록 요구하는바에 따라서 설계될 때 얻어진다.

또 다른 이점은 로터의 외곽선을 따르도록 로터의 내부표면을 설계하여 얻어진다.

냉매/윤활제의 유동은 유리하게 압력발생펌프(9)에 의하여 이루어진다. 냉매/윤활제의 유동은 특히 자체오일펌프에 의한 정변위로터에 의하여 효과적으로 이 루어 질 수 있다. 냉매량을 조정(14)함으로서 온도레벨은 고의로 조정제어 가능하다. 특히 정변위로터당 냉매량은 양 정변위로터에 대하여 동일하게 되도록 제어조정이 가능하다. 열교환을 위하여 냉매/윤활제는 유리하게 펌프케이싱을 지나 공급된다.

현저한 이점들은 동기물림식 기어(11)의 로터베어링(5)이나 또는 축패킹(15)을 제공하기 위하여 냉매/윤활제의 부분을 사용함으로서 얻어진다.

로터는 유리하게 케이싱과 일체인 측부(7)내에 외부베어링환에 냉매/윤활제가 취해진 측면의 베어링내에 수용되어 있다. 유리하게도 로터가 외팔보방식으로 한 측에 의하여 수용되어 있을 때 케이싱과 일체인 융기부(6)는 대응 정변위구멍안으로 뻗어 있으며 로터베어링의 양 내환을 수용한다. 추가로 로터가 외팔보방식으로 한 측에 의하여 베어링내에 수용되어 있을 때 케이싱과 일체인 융기부(6)는 가급적 냉매유입통로(8)를 포함한다. 유리하게 보다 가깝게 지지하게 되어 있는 로터베어링

(5a)은 로터가 한 측(외팔보)에 의하여 베어링들내에 수요되어 있을 때 작동압력차이로 발생된 축력을 흡수하며 보다 큰 내환을 구비하고 있다. 로터가 한 측(외팔보)에 의하여 베어링내에 수용되어 있을 때 지지로부터 떨어져 있는 로터베어링(5b)은 라디알조밀형베어링(니들베어링, 슬라이드베어링)으로 설계 가능하다. 배출측의 압력이 정변위로터의 양 전면에 존재할 때 모든 상기 실시예들에 대하여 유리하다.

디스프레이서 대우의 양측들은 동일한 스핀들피드스크류로 실시 할 수 있다.

또한 간단한 누출피드스크류나사(25)로 구상한 디스프레이스대우의 한 측을 가질 수 있다.

원심축패킹들은 유리하게 축입구의 기밀을 유지하기 위하여 사용된다. 기밀유지는 또한 케이싱과 일체인 좁은 패킹디스크(21)와 디스프레이서스핀들 (1, 2)에 견고하게 연결되어 있는 회전사이펀(20)과 물림으로서 가능하다. 이러한 경우에 회전사이펀(20)이 정변위로터를 냉각시킬 목적으로 냉매/윤활제의 부분적인 유동에서 그의 기밀액체를 얻는다. 회전사이펀(20)은 로터베어링들의 배열을 위하여 예정된 냉매/윤활제의 유동으로부터 그의 기밀액체를 얻는다. 회전사이펀에 대한 액체와 열의 배제는 유리하게도 패킹디스크(21)에 고정되어 있는 압력관(26)을 거쳐서 이루어진다. 추가로 접촉(라디알)패킹링(27)은 원심사이펀축패킹뒤의 회전폐쇄형 로터요소(4)내로 삽입한다. 패킹실(27)은 이에 따라서 원심력의 영향을 받아 패킹립은 작동속도가 얻어지기 전에 상승하도록 설계된다. 더욱이 기밀가스의 대안을 가진 긴 기밀통로와 누출귀환스크류나사가 압축실의 축패킹에 구비되어 있을 때 기밀을 위하여 유리하다.

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냉매/윤활제가 로터의 내면을 통과한 후에 유리하게도 적어도 한 수집관(18)내에서 수집이 된다. 수집관(18)내에 수집된 냉매/윤활제는 이제 구멍들(10)을 거쳐서 고의로 전달될 수 있다. 수집관(18)에 수집된 냉매/윤활제는 특히 적어도 케이싱과 일 체되고 한 단부에 의하여 수집관(18)과 물리는 한 압력관(19)을 거쳐서 전달될 수 있다. 수집된 냉매/윤활제는 추가로 베어링의 냉각과 윤활 및 / 또 는 동기물림식기어와 구동기어의 냉각 및 윤활을 위하여 사용 가능하다. 이것은 또한 냉매/윤활제가 정치사이펀(22)을 가진 원심축패킹과 로터의 내면을 통과한 수에 디스프레이서스핀들(1,2)과 함께 회전하는 기밀디스크(23)쪽으로 유도된다. 상당한 이점들은 케이싱과 일체인 사이펀(22)의 기밀측벽이 기어를 윤활하기 위하여 동기물림식기어의 물림영역으로 되돌아 갈 때 얻어진다.

본 발명에 의한 스크류펌프를 냉각시키기 위하여 보조환기휠(29)은 유리하게 축의 배출측단부에 설치되어 있다.

수평과 수직로터축위치에 대한 계측상으로 가장 깊은 가능한 위치에 위치한 펌프케이싱의 펌핑매체의 배출을 항상 가지는 것이 특히 유리하다.

2개의 디스프레이서스핀들의 동기화는 가급적 간단한 스퍼기어 (11) 단차에 의하여 이루어진다.

적어도 2가지 인수 적어도 줄어든 치높이에서 펌핑실체적의 적어도 하나의 돌연 변화와 어울려 동일한 치높이에서 피치의 적어도 한가지 연속변화의 결합에 의하여 서로간에 상대적으로 배열되는 적어도 2개의 피드스크류부분으로 되어 있는 디스프레이서스핀들대우를 가지는 것이 특히 유리한 것으로 입증되었다. 피치의 연속적인 변화를 위한 내부배열인수는 특히 1.5와 2.2사이 그 중에서도 가급적 1.85일 수 있으며 돌연배열인수는 2.0과 9.0사이 가급적이면 4와 6사이에 놓을 수 있다. 양 피스스크류부분들은 또한 피치의 연속적인 변화로 배열을 메길 수 있으며 작동실체적의 돌연변화는 이러한 두 피드스크류부분사이에서 일어 날 수 있다. 특히 흡입측의 제1피드스크류부의 피치의 연속적인변화가 다음의 피드스크류부의 피치의 연속적인 변화보다 작을 때 유리하다. 피치의 연속적인 변화는 특히 비선형곡선을 따른다. 그것은 특히 정변위로터의 외경이 피치원경높이 바로 밑에 있는 한 피드스크류부들사이에서 돌연변환영역에서 감소될 때 유리하다는 것이 입증되었다.

본 발명에 따르는 스크류펌프의 유리한 개발에 있어서 과잉압력(28)의 방지가 입증되었다.

피치원영역의 측단면의 경로에 대하여 그것을 인볼류트로서 수학적인 설계를 하는 것이 유리한 것으로 판명되었다. 측단면의 맞물림선은 가급적 내부실린더의 2개표면의 케이싱절단모서리에 근접하여 있다. 측면의 경로는 이에 따라서 다중의 동시 물림윤곽선으로 될 수 있다.

스핀들 피치의 명백한 증가로 인하여 이 건식-압축스크류펌프는 루츠펌프로서 사용 가능하다.

가스냉각을 위하여 사전-흡입이 이용 가능하다. 사전-흡입의 유동방향을 역전시켜서 사전-흡입의 가스유입은 과부하 방지로서 활용 가능하다.

특히 소음에 관한 한 적절한 작동/펌핑실의 개방운동이 근소한 회전에 따른 기능을 따르고 작동/펌핑실의 개방중에 부분적으로 여하한 돌연변화가 저지될 때 특히 유리하다.

선행기술에 비하여 진공발생장치로서 구조가 간단하며 견고함과 동시에 특히 제작비가 저렴하고 조밀한 형태로 유리하다.

Claims (18)

1. 2축정변위펌프형태로 형성된 건식-압축스크류펌프는 서로가 병렬로 배치된 제1(1) 및 제2로터스핀들(2)을 가지고 입출구를 가진 폐쇄된 압축실(3)내에 배치되어 있는 로터스핀들대우를 형성하며 로터스핀들(1,2)은 공동이며 냉매가 로터스핀들(1, 2)의 제1전면(11, 21)에서 공급되고 제2전면(12, 22)에서 배출되며 냉각매체공급 및 배출수단은 외부냉각매체회로에 연결되어 있으며 여기에서 공동로터스핀들의 내면들은 냉매가 제1전면(11, 21)으로부터 대응회전스핀들의 회전영향을 받아 연속적으로 전달되는 방식으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
2. 제1항에 있어서 로터스핀들(1, 2)의 내면은 그의 회전방향이 냉매의 유동이 제1전면(11, 12)으로부터 제2전면(12, 22)을 향하여 유동하는 대응로터스핀들의 회전영향을 받아 생기도록 내부피드스크류(12)를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 건식-압축스쿠류펌프.
3. 제1항에 있어서 로터스핀들(1, 2)의 내경은 제1전면(11, 21)으로부터 제2전면(12, 22)을 향하여 냉매유동이 제1전면(11, 21)으로부터 제2전면(12, 22)을 향하 여 유동하는 대응로터스핀들의 회전영향을 받아서 생기도록 단조로히 증가하는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
4. 제1항에 있어서 로터스핀들은 케이싱에 고정된 융기부(6)의 제1전면(11, 21)에서 베어링 내에 수용되어 있으며 상기 융기부는 동축구멍을 가지고 있어서 이를 통하여 냉매가 로터의 내면에 이르는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
5. 제1항에 있어서 로터스핀들(1, 2)은 케이싱에 고정되어 있는 융기부(6)의 제2전면(12, 22)에서 베어링 내에 수용되어 있으며 상기 융기부는 동축구멍을 가지고 있어서 이를 통하여 냉매가 로터스핀들의 공동으로 전달되는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서 로터스핀들(1, 2)은 제1 및 제2전면에서 융기부(6)의 베어링내에 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
7. 제1항에 있어서 로터의 내면상의 냉매의 국부적 유동은 회전로터스핀들(1, 2)의 국부열부하에 적응토록 되어 있으며 상기 적응은 예컨대 내부피드스크류(12)의 국부나사피치를 적절히 선택하거나 또는 내면직경의 변화에 의하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
8. 제1항에 있어서 로터스핀들의 내면으로부터 냉매에 이르는 국부열전도율은 특히 예컨대 표면조도의 의도적인 변화에 의하여 내부표면의 상부면을 적절히 형성함으로서 회전로터스핀들면(1, 2)의 국부열부하에 적응하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
9. 제1항에 있어서 로터스핀들(1, 2)의 온도는 거기를 통과하는 냉매의 양에 의하여 제어되는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
10. 제1항에 있어서 로터스핀들은 베어링(5) 특히 슬라이딩 또는 롤러베어링 내에 회전하도록 수용되어 있으며 로터스핀들의 내부공간을 통과하는 냉매는 베어링의 윤활 및 / 또는 베어링을 냉각을 위하여 사용되는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
11. 제1항에 있어서 로터스핀들(1, 2)은 액체누설방지패킹(15)에 의하여 압축실(3)로부터의 유출되는 가스에 대하여 부식되지 않으며 이를 위하여 사용되는 기밀액체는 로터스핀들의 내부공간을 통과하는 냉매의 일부인 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
12. 제1항에 있어서 로터스핀들(1, 2)은 기어에 의하여 동기화 되며 로터스핀들의 내부공간을 통과하는 냉매의 일부가 기어의 윤활 및/ 또는 냉각을 위하여 사용되는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
13. 제1항에 있어서 건식-압축스크류펌프에서 냉매는 로터내면상에서 5mm 미만의 두께를 가진 막을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
14. 제1항에 있어서 건식-압축스크류펌프에서 로터스핀들의 속도는 5000rpm 이상인 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
15. 제1항에 있어서 건식-압축스크류펌프에서 냉매는 로터내면상에서 3mm 미만의 두께를 가진 막을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
16. 제1항에 있어서 건식-압축스크류펌프에서 냉매는 로터내면상에서 1mm 미만의 두께를 가진 막을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
17. 제1항에 있어서 건식-압축스크류펌프에서 로터스핀들의 속도는 7500rpm 이상인 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.
18. 제1항에 있어서 건식-압축스크류펌프에서 로터스핀들의 속도는 10,000rpm 이상인 것을 특징으로 하는 건식-압축스크류펌프.

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