KR20010004248A - 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법 - Google Patents
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 생산공정중 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 반도체 생산공정중 식각공정에서 샘플 웨이퍼의 측정 데이타 자동화 범위를 확대시키고, 상기 측정 데이타를 작업자에게 온라인으로 제공하고, 각 시스템을 구성하는 서버의 작업부담을 분산시키기 위한 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법을 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 반도체 생산공정중 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타 수집 방법을 제공하기 위하여, 작업자 인터페이스 프로세스를 통해 샘플 로트를 생성하고, 상기 생성된 샘플 웨이퍼를 측정하여 측정 데이타를 취득하고, 온라인으로 작업자에게 제공하며, 샘플 웨이퍼의 상태를 판단한다.
그리고, 상기 샘플 웨이퍼의 상태를 판단한 결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "양호"일 경우, 마스터 데이타베이스에 측정 데이타를 저장하고 메인로트를 진행하며, 샘플 웨이퍼의 상태가 "NG"일 경우, 샘플 로트를 생성하는 단계로 복귀하는 방법을 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 웨이퍼 식각공정에서 메인로트의 진행여부를 판단하기 위한 샘플 웨이퍼의 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법에 이용됨.
Description
본 발명은 반도체 생산공정에서 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 수집하기 위한 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 생산 공정중 식각(Etch)공정에서 샘플 웨이퍼가 측정 공정을 진행될 때 발생하는 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것이다.
반도체 시장의 다변화 요구에 발맞춰 생산라인에도 여러 종류의 제품이 생산되고 있다. 특히, 반도체 생산 공정중 식각공정은 측정공정을 진행하게 될 샘플 웨이퍼를 통해 메인 로트의 진행여부를 결정하게 되므로 샘플 웨이퍼의 진행 및 측정은 중요한 비중을 차지하고 있다.
이에 따라, 종래에는 도1에 도시된 바와 같이 샘플 데이타를 수집시스템이 개발되어 사용되고 있다.
종래의 샘플 웨이퍼의 측정 데이타 수집 시스템에서, 작업자는 측정장비(100)에서 측정이 완료된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 로그 쉬트(log sheet)에 기록하고, 셀 관리 서버(130)로 전송할 샘플웨이퍼의 데이타를 순서대로 작업자 인터페이스 프로세스(110)에서 직접 입력하였다.
그리고, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(110)는 상기 샘플웨이퍼의 데이타를 저장한 후, 마지막 샘플웨이퍼 데이터의 입력이 완료되면, 상기 샘플웨이퍼의 측정 데이터와 로트진행 시작, 로트이동 및 데이타 수집 트랜잭션을 발생시키기 위한 제 1메세지를 상기 셀 관리 서버(120)로 전송한다.
상기 측정데이타와 제 1메세지를 수신한 셀 관리 서버(120)는 데이타 수집 서버(130)에 데이타 수집 트랜잭션 메세지를 전송하고, 상기 데이타 수집서버(130)는 샘플 웨이퍼의 측정 데이타로부터 필요한 데이타를 수집하고 가공하여 상기 마스터 데이타베이스(140)에 저장한다.
다음으로, 첨부된 도2를 참조하여 종래의 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타 수집방법을 구현하기 위한 메세지 흐름을 살펴본다.
작업자는 측정장비(100)에서 측정이 완료된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 로그 쉬트(log sheet)에 기록하여, 상기 측정장비(100)에서 샘플 웨이퍼가 진행한 순서대로 상기 측정 데이타를 작업자 인터페이스 프로세스(110)에 입력한다.
이어서, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(110)는 입력된 샘플웨이퍼의 측정데이타를 저장하고 있다가 마지막 샘플 웨이퍼의 측정 데이타가 입력되면, 기 샘플웨이퍼의 측정 데이터와 로트진행 시작, 로트이동 및 데이타 수집 트랜잭션을 발생시키기 위한 제 1메세지를 상기 셀 관리 서버(120)로 전송한다.
다음으로, 상기 제 1메세지를 수신한 셀 관리 서버(120)는 각각의 샘플 웨이퍼에 대한 데이타 수집 트랜잭션 메세지를 데이타 수집 서버(130)에 순차적으로 전송하며, 상기 데이타 수집 서버(130)는 샘플 웨이퍼에 대한 작업자 데이타를 수집하여 마스터 데이타베이스(140)에 저장한다.
그러나, 상기한 바와 같이 일련의 과정을 수행하는 종래의 샘플 웨이퍼의 측정 데이타 수집 시스템은, 작업자가 직접 로그 쉬트를 사용하여 측정 데이타를 기록해야 하므로 매우 번거로운 문제가 있었다.
또한, 측정된 데이타를 다시 한번 수동으로 작업자 인터페이스 프로세스(110)의 데이타 필드에 입력할 때, 오류입력이 다발하고 있으며 오류입력으로 인해 데이타의 일관성이 떨어지고 또, 샘플 웨이퍼에 대한 상태판단이 부정확해지는 또 다른 문제가 있었다.
그리고, 작업자가 샘플 웨이퍼들의 데이타의 전산 입력을 지연하는 경우, 메인로트의 진행이 이루어지지 않아 생산효율을 하락시키는 문제로 발생하였다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 반도체 생산 공정중 식각공정에서 샘플 웨이퍼의 측정 데이타 자동화 범위를 확대시키고, 상기 측정 데이타를 작업자에게 온라인으로 제공하고, 각 시스템을 구성하는 서버의 작업부담을 분산시키기 위한 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도1은 종래의 발명이 적용되는 샘플 데이타 수집 시스템의 구성을 나타낸 블록 다이어그램.
도2는 종래의 발명에 따른 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타 수집방법을 구현하기 위한 메세지 흐름도.
도3은 본 발명이 적용되는 샘플 데이타 수집 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 블록 다이어그램.
도4는 본 발명에 따른 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 일실시예 처리 흐름도.
도5a 내지 도5d는 상기 도4의 방법에 따라 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 장비 인터페이스 서버의 세부 처리 흐름도.
도6은 본 발명이 적용되는 샘플 데이타 수집 시스템에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 메세지 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
310 : 측정장비 320 : 장비서버
330 : 장비 인터페이스 서버 340 : 마스터 데이타 베이스
350 : 셀 관리 서버 360 : 데이타 수집 서버
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 로트를 생성하는 제 1단계; 상기 생성된 샘플 웨이퍼를 측정하여 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 취득하고, 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하는 제 2단계; 및 상기 제 2단계의 판단결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "양호"일 경우, 마스터 데이타베이스에 측정 데이타를 저장하고 메인로트를 진행하며, 샘플 웨이퍼의 상태가 "불량"일 경우, 상기 제 1단계로 복귀하는 제 3단계를 포함한다.
또한, 본 발명은, 반도체 생산 공정중 식각공정에서의 샘플 데이타를 수집하는 방법을 제공하는 시스템에서, 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 로트를 생성하는 제 1기능; 상기 등록된 샘플 웨이퍼를 측정하여 측정 데이타를 취득하고, 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하는 제 2기능; 및 상기 제 2기능의 판단결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "양호"일 경우, 마스터 데이타베이스에 측정 데이타를 저장하고 메인로트를 진행하며, 샘플 웨이퍼의 상태가 "불량"일 경우, 상기 제 1기능으로 복귀하는 제 3기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 더 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도3은 본 발명이 적용되는 샘플 데이타 수집 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 블록 다이어그램으로써, 작업자 인터페이스 프로세스(300)는 샘플 카세트와 다수의 메인로트에서 선정된 샘플 웨이퍼를 등록하여 마스터 데이타 베이스(340)에 저장한다.
그리고, 측정장비(310)는 상기 선정된 샘플 웨이퍼를 측정하여 측정 데이타를 취득하고, 측정장비를 제어하는 장비서버(320)에 온라인으로 상기 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 전송한다.
상기 장비서버(320)는 상기 측정장비(310)로부터 수신된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 장비 인터페이스 서버(330)로 전송한다.
상기 장비서버(320)로부터 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 수신한 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 측정 데이타 파일을 생성하여 마스터 데이타베이스(340)에 저장하며 로트진행 시작, 로트이동 및 작업자 데이타 수집 트랜잭션을 발생시키기 위한 제 1메세지를 셀 관리 서버(350)로 전송한다.
상기 장비 인터페이스 서버(330)로부터 상기 제 1메세지를 수신한 상기 셀 관리 서버(350)는 작업데이타 수집 트랜잭션 메세지를 발생시켜 데이타 수집 서버(360)로 전송한다.
상기 셀 관리 서버(350)로부터 작업데이타 수집 트랜잭션 메세지를 수신한 상기 데이타 수집 서버(360)는 측정 데이타 파일로부터 작업데이타를 수집하여 상기 마스터 데이타베이스(340)의 샘플 웨이퍼 테이블에 저장한다.
그러면, 도4를 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 일실시예 처리 흐름을 설명하면 다음과 같다.
우선, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(300)에서 측정장비로 진행하게 될 샘플 카세트를 선택(S400)하여 마스터 데이타베이스(340)에 등록하고, 식각공정을 진행할 다수의 메인로트에서 각 메인로트당 한장씩의 샘플 웨이퍼를 선정(S410)하여 상기 선택된 샘플 카세트에 담는다. 그리고, 각 샘플 웨이퍼에 대한 정보 예를들면, 메인로트의 아이디(ID), 슬롯 번호, 카세트 아이디, 샘플 로트 아이디, 샘플 카세트 아이디를 마스터 데이타베이스(340)에 등록하여 샘플 로트를 생성한다(S420).
상기 생성된 샘플 로트는 측정장비로 진행하여 측정을 하게 된다(S430).
상기 샘플 로트가 측정장비에서 측정을 마치면 작업자는 상기 측정장비에서 각 샘플 웨이퍼의 상태를 판단한다(S440).
상기 판단(S440)결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "양호"로 판단될 경우, 메인로트는 생산공정을 진행하게 된다.(S450)
상기 판단(S440)결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "불량"으로 판단될 경우, 측정장비로 진행하게 될 샘플 카세트를 선택(S400)하는 단계로 복귀한다.
여기서, 상기 판단(S440)결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "불량"일 경우, 샘플웨이퍼의 상태를 강제로 "양호"로 변경시킴으로서 메인로트가 생산공정을 진행하게 할 수도 있으며, 이에 대한 방법은 도5a 내지 도5d를 참조하여 설명한다.
첨부된 도5a 내지 도5d는 본 발명이 적용되는 시스템에서 웨이퍼 식각공정에서 샘플 웨이퍼의 샘플 데이타 수집방법을 수행하기 위한 장비 인터페이스 서버의 세부 처리 흐름도 이다.
일반적으로, 식각공정에서의 샘플 웨이퍼의 선정개수는 3~5개이며, 본 실시예에서는 샘플 웨이퍼의 갯수를 5개로 한다.
장비서버(320)로부터 제 1메세지와 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 수신한 장비 인터페이스 서버(330)는(S500) 상기 수신된 제 1메세지와 샘플 웨이퍼의 측정 데이타가 몇 번째 샘플 웨이퍼의 것인지 판단한다(S502).
상기 판단(S502)결과, n=1일 경우, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래의 메인로트의 아이디가 존재하는지 여부를 마스터 데이타베이스(340)에서 확인한다(S504). 여기서, n은 측정장비를 진행하는 샘플 웨이퍼의 순서를 나타낸다.
상기 확인(S504)결과, 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재하지 않는다면, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 수신된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타와 제 1메세지를 삭제한다(S506).
상기 확인(S504)결과, 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재한다면 도5b의 "A"로 진행한다.
도5b에 도시한 바와 같이, 상기 장비 인터페이스 서버(330)가 수신된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 저장하기 위한 샘플 데이타 파일을 생성한다(S508).
다음으로, 제 1메세지를 사용 불가능으로 만들고(S510), 상기 생성된 샘플 데이타 파일에 획득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 저장한다(S512).
이후, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 마스터 데이타베이스(340)에 첫번째 샘플 웨이퍼의 측정 데이타 수집 완료사실을 기록하고(S514), S500단계로 복귀한다.
상기 S502단계에서 판단 결과가, n2이고 n5일 경우, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래의 메인로트의 아이디가 존재하는지 여부를 마스터 데이타베이스(340)에서 확인한다(S516).
상기 확인(S516)결과, 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재하지 않는다면, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 수신된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타와 제 1메세지를 삭제한다(S506).
상기 확인(S516)결과, 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재한다면 도5c의 "B"로 진행하게 되는데, 먼저, 수신된 제 1메세지를 사용불가능으로 만들고(S518), 상기 S508에서 생성된 샘플 데이타 파일을 개방한다(S520).
다음으로, 획득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 상기 개방된 샘플 데이타 파일에 저장한다(S522).
이후, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 마스터 데이타베이스(340)에 첫번째 샘플 웨이퍼의 측정 데이타 수집 완료사실을 기록하고(S524), S500단계로 복귀한다.
상기 S502단계에서 판단 결과가, n=5일 경우, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재하는지 여부를 마스터 데이타베이스(340)에서 확인한다(S526).
상기 확인(S526)결과, 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재하지 않는다면, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 수신된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타와 제 1메세지를 삭제한다(S506).
상기 확인(S526)결과, 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래의 메인로트 아이디가 존재한다면 도5d의 "C"로 진행한다.
우선, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 수신된 제 1메세지를 사용 가능하도록 만들고(S528), 상기 S508단계에서 생성된 샘플 데이타 파일을 개방하여(S530), 획득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 저장한다(S532).
이후, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 마스터 데이타베이스(340)에 첫번째 샘플 웨이퍼의 측정 데이타 수집 완료사실을 기록하고(S534), 샘플 데이타 파일을 데이타 수집 서버(360)에서 사용가능한 형태로 재구성한다(S536).
마지막으로, 셀 관리 서버(350)로 상기 S528단계에서 사용 가능하도록 만든 제 1메세지를 전송한다(S538).
도6은 본 발명이 적용되는 샘플 데이타 수집 시스템에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 메세지 흐름도로서, 도면에서 측정장비(300)는 샘플 웨이퍼를 측정한 순서대로 메세지를 획득하여 장비서버(320)로 전송한다.
상기 샘플 웨이퍼의 메세지를 수신한 장비서버(320)는 샘플 웨이퍼 메세지를 수신한 순서대로 장비 인터페이스 서버(330)에 제 1메세지를 전송하면, 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 마지막 제 1메세지를 수신할 때까지 이전에 수신한 제 1메세지를 사용 불가능 상태로 만든다.
마지막 샘플 웨이퍼에 대한 제 1메세지를 수신한 상기 장비 인터페이스 서버(330)는 셀 관리 서버(350)로 로트진행 시작, 로트이동 및 작업자 데이타 수집 트랜잭션을 발생시키기 위한 제 1메세지를 전송하고, 상기 셀 관리 서버(350)는 수신된 제 1메세지에 의해 발생된 작업자 데이타 수집 트랜잭션 메세지를 데이타 수집 서버(360)로 전송한다.
상기 작업자 데이타 수집 트랜잭션 메세지를 수신한 상기 데이타 수집 서버(360)는 모든 샘플 웨이퍼에 대한 작업자 데이타를 수집하여 마스터 데이타베이스(340)에 저장한다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 반도체 생산공정중 식각공정에서 샘플 웨이퍼가 측정 공정을 진행할 때 발생하는 샘플 데이타의 수집을 종래의 로그 쉬트(log sheet)를 사용하여 작업자가 직접 기입하여 입력하던 것을 온라인으로 처리하게 되므로 인건비 절약과 측정 데이타의 자동화 범위를 확대할 수 있으며, 상기 수집된 측정 데이타를 작업자에게 온라인으로 제공하게 되므로 생산성 향상에 효과가 있다.
또한, 장비서버에 집중되던 측정데이타의 수집과정을 장비 인터페이스 서버를 추가하여 분산시키므로써 시스템을 구성하는 서버에 부여되는 작업량을 분산시키므로 인하여 효율적인 시스템관리를 수행 할 수가 있다.
Claims (11)
- 작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 로트를 생성하는 제 1 단계;상기 생성된 샘플 웨이퍼를 측정하여 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 취득하고, 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하는 제 2단계; 및상기 제 2단계의 판단결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "양호"일 경우, 마스터 데이타베이스에 측정 데이타를 저장하고 메인로트를 진행하며, 샘플 웨이퍼의 상태가 "불량"일 경우, 상기 제 1단계로 복귀하는 제 3단계를 포함하는 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 1항에 있어서,상기 제 1단계는,작업자 인터페이스 프로세스를 통하여 측정장비로 진행하게 될 샘플 카세트를 선택하고 마스터 데이타 베이스에 로트 정보를 등록하는 제 4단계; 및상기 작업자 인터페이스 프로세스를 통하여 다수의 메인로트에서 측정공정을 진행할 샘플 웨이퍼를 각 메인로트당 한장씩 선택하고, 상기 선정된 샘플 웨이퍼의 정보를 마스터 데이타 베이스에 저장하는 제 5단계를 포함하는 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 2단계는,측정장비를 진행하는 샘플 웨이퍼를 측정하여 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 취득하는 제 6단계;상기 취득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 장비서버로 전송하는 제 7단계;상기 장비서버가 수신된 측정 데이타와 로트진행 시작, 로트이동 및 작업자 데이타 수집 트랜잭션을 발생시키기 위한 제 1메세지를 장비 인터페이스 서버로 전송하는 제 8단계;상기 취득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 바탕으로 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하는 제 9단계를 포함하는 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 3항에 있어서,상기 제 8단계는,상기 장비 인터페이스 서버가 수신된 제 1메세지가 몇 번째 샘플웨이퍼의 메세지인지 판단하는 제 10단계; 및상기 장비 인터페이스 서버가 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재하는지를 판단하는 제 11단계를 더 포함하는 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 4항에 있어서,상기 제 10단계의 판단결과, 첫번째 샘플 웨이퍼의 메세지일 경우, 취득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 저장하기 위한 샘플 데이타 파일을 생성하는 제 12단계;상기 수신된 제 1메세지를 사용불가능으로 만드는 제 13단계;상기 생성된 샘플 데이타 파일에 취득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 저장하는 제 14단계; 및마스터 데이타 베이스에 샘플 웨이퍼 측정 데이타의 수집완료 사실을 기록하는 제 15단계를 더 포함하여 이루어진 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 4항에 있어서,상기 제 10단계의 판단결과, 두번째 샘플 웨이퍼의 메세지부터 마지막 바로 전 샘플 웨이퍼의 메세지일 경우, 수신된 제 1메세지를 사용불가능으로 만드는 제 16단계;상기 생성된 샘플 데이타 파일을 개방하여 취득된 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 저장하는 제 17단계; 및마스터 데이타 베이스에 샘플 웨이퍼 측정 데이타의 수집완료 사실을 기록하는 제 18단계를 더 포함하여 이루어진 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 4항에 있어서,상기 제 10단계의 판단결과, 마지막 샘플 웨이퍼의 메세지일 경우, 제 1메세지를 사용가능으로 만드는 제 19단계;상기 샘플 데이타 파일을 개방하여 취득된 마지막 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 저장하는 제 20단계;마스터 데이타 베이스에 샘플 웨이퍼 측정 데이타의 수집완료 사실을 기록하는 제 21단계;상기 모든 샘플 웨이퍼의 측정 데이타가 저장된 샘플 데이타 파일을 재구성하는 제 22단계; 및상기 장비 인터페이스 서버가 제 1메세지를 셀 관리 서버로 전송하는 제 23단계를 더 포함하여 이루어진 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 4항에 있어서,상기 11단계의 판단결과, 측정된 샘플 웨이퍼가 선정된 본래 메인로트의 아이디가 존재하지 않는다면, 상기 장비 인터페이스 서버가 수신된 제 1메세지와 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 삭제하는 제 24단계를 더 포함하는 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 7항에 있어서,상기 제 23단계는,상기 제 1메세지를 수신한 셀 관리 서버가 작업자 데이타 수집 트랜잭션 메세지를 데이타 수집 서버로 전송하는 제 25단계;상기 제 25단계 수행후, 상기 데이타 수집 서버가 모든 샘플 웨이퍼에 대한 작업자 데이타를 수집하여 마스터 데이타 베이스에 저장하는 제 26단계; 및상기 데이타 수집 서버가 마스터 데이타 베이스에 저장된 샘플 웨이퍼에 대한 작업자 데이타와 메인 로트에 대한 데이타를 연결시켜주는 제 27단계를 더 포함하여 이루어진 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 제 1항에 있어서,상기 제 2단계는,상기 샘플 웨이퍼의 측정 데이타를 취득하기 위한 메세지의 전송이 첫번째 샘플 웨이퍼부터 마지막 샘플 웨이퍼까지 모든 샘플 웨이퍼의 제 1메세지가 장비 인터페이스 서버로 전송된 후에 셀 관리 서버로 전송되어 데이타 수집 서버가 한번에 작업자 데이타를 수집할 수 있는것을 특징으로 하는 식각공정에서 샘플 데이타를 수집하기 위한 방법
- 반도체 생산공정중 식각공정에서의 샘플 데이타를 수집하는 방법을 제공하는 시스템에서,작업자 인터페이스 프로세스에서 샘플 로트를 생성하는 제 1 기능;상기 등록된 샘플 웨이퍼를 측정하여 측정 데이타를 취득하고, 샘플 웨이퍼의 상태를 판단하는 제 2기능; 및상기 제 2기능의 판단결과, 샘플 웨이퍼의 상태가 "양호"일 경우, 마스터 데이타베이스에 측정 데이타를 저장하고 메인로트를 진행하며, 샘플 웨이퍼의 상태가 "불량"일 경우, 상기 제 1기능으로 복귀하는 제 3기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체.
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100576819B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템 |
| KR100912478B1 (ko) * | 2002-06-14 | 2009-08-17 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 에칭처리장치 및 에칭처리방법 |
| KR100950788B1 (ko) * | 2002-08-27 | 2010-04-02 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 시료처리장치 및 시료처리제어장치 |
-
1999
- 1999-06-28 KR KR10-1999-0024871A patent/KR100464943B1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR100576819B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 공정설비의 공정데이터 관리 시스템 |
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| KR100950788B1 (ko) * | 2002-08-27 | 2010-04-02 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 시료처리장치 및 시료처리제어장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100464943B1 (ko) | 2005-01-05 |
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