KR20010002253A - 영상표시장치의 형광막 형성방법 - Google Patents

Abstract

개시된 내용은 형광막을 보다 간단하게 형성하면서도 막 품위를 높이기 위한 영상표시장치의 형광막 형성방법에 관한 것이다.

이러한 본 발명은 소정의 필터 형성용 패이스트를 조성하여 블랙매트릭스가 형성되어 있는 패널의 상면에 소정의 필터 패턴이 형성되어 있는 스크린 마스크를 통하여 소정의 필터를 인쇄하고, 상기 인쇄된 소정의 필터가 건조되기 전 상태에서 소정의 필터와 동색 계열의 형광체 분말을 소정의 필터 상면에 분사하며, 소정의 공기압으로 현상하여 소정의 필터와 동색 계열의 형광체층을 형성하는 것을 특징으로 하며,

이에 따라, 약품 소모 및 공정수를 줄일 수 있어 제조원가 절감은 물론 작업성 및 생산성 향상을 얻을 수 있으며, 필터층과 형광체층의 커팅성을 양호하게 구현할 수 있어 스크린의 품위를 향상시킬 수 있고, 보다 넓은 범위내에서 필터층의 두께가 조절가능하여 최적의 투과율 특성을 구현할 수 있는 이점이 있다.

Description

영상표시장치의 형광막 형성방법{Method manufacturing phosphor layer of color image display device}

본 발명은 영상표시장치의 형광막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 형광막을 보다 간단하게 형성함과 동시에 막 품위를 향상시키기 위한 형광막 형성방법에 관한 것이다.

주지와 같이, 영상표시장치는 음극선관을 비롯하여 LCD, PDP 등 여러 종류가 있으며, 이러한 영상표시장치는 전자총 또는 전류 발생 장치에서 나온 전자 또는 형광체를 발광시킬 수 있는 에너지에 의해 패널 위에 형성된 형광막에 에너지를 전달하여 형광물질을 발광시킴으로써 가시광을 발생시켜 화상을 인식할 수 있는 장치이다.

이때, 가시광이 출사되어 화상이 표시되는 면을 스크린이라 하며, 고품위의 스크린을 제공하기 위하여 휘도, 콘트라스트, 색재현성 등의 특성을 감안한 형광막의 구조 및 형성방법들이 제시되고 있다.

그런데, 휘도 특성과 콘트라스트 특성은 서로 상충되는 면이 있으므로 휘도 특성을 저하시키지 않으면서 콘트라스트 특성을 향상시키기 위한 형광막이 제안되었는데, 칼라필터를 적용한 형광막이 그것이다.

도 1은 이러한 칼라필터를 적용한 형광막의 구조를 나타낸 것으로, 이 형광막은 패널(1) 내면으로부터 외부광 흡수층인 블랙매트릭스(2), 3색 필터층(3R)(3G)(3B), 3색 형광체층(4R)(4G)(4B)의 순으로 이루어지며, 이때 각 필터는 대응되는 각 형광체의 최대 발광영역 부근에서는 최대의 투과율을 가지며 그 외의 영역에서는 상대적으로 낮은 투과율을 가지는 성질이 있으므로 다양한 파장 영역의 광이 입사되었을 경우 대응되는 각 형광체의 발광색에 대해서만 선택적으로 투과시키고 나머지 광은 흡수함으로써 휘도를 떨어뜨리지 않으면서 콘트라스트 특성을 향상시킬 수 있는 것이다.

여기서, 3색 필터층(3R)(3G)(3B)과 3색 형광체층(4R)(4G)(4B)의 형성은 일반적인 포토리소그래피(사진인쇄기술, photolithography)나 스크린 프린팅법이 동일하게 적용되거나 혼합하여 적용되기도 하는데, 도 2에는 포토리소그래피를 이용하여 3색 필터층(3R)(3G)(3B) 및 3색 형광체층(4R)(4G)(4B)을 형성하는 공정을 예로 하여 나타내었다.

먼저, 블랙매트릭스(2)가 형성된 패널(1) 상면에 물과 소량의 수용성 폴리머(Polymer)와 소량의 계면활성제를 포함한 녹색 필터액(3g)을 전면 도포한 후 건조하고 그 상면에 PAD, AZID, Sorbitol, Ethylene Glycol, Emulsion 등으로 된 감광제(5)를 도포하면 녹색 필터액(3g)과 감광제(5)가 2중 코팅된 형상을 하게 된다.

이후, 녹색 위치에 선택적으로 자외선광(6)을 조사하여 노광을 실시하게 되는데, 자외선광(6)이 조사된 부위의 녹색 필터액(3g)과 감광제(5)는 경화되며, 소정의 압력을 가진 물로써 현상을 하게 되면 감광된 부위를 제외한 나머지 영역의 감광제(5)와 녹색 필터액(3g)이 씻겨져 나가게 되어 녹색 위치에 녹색 필터층(3G) 및 그 상면의 감광제(5)만 남게 된다.

동일한 방법으로 청색 필터층(3B)을 형성한 후 패널 상면에 적색 필터액(3r)을 전면 도포하고 건조한다.

다음으로, 녹색 필터층(3G) 및 청색 필터층(3B) 상면의 감광제(5) 성분을 분해하면서 자연적으로 적색 필터층(3R)을 형성하기 위해 에칭을 실시하게 되며, 이때 에칭액은 과산화수소와 아미드 유산이 주성분이므로 녹색 필터층(3G) 및 청색 필터층(3B) 위에 존재하는 감광제(5)와 화학적으로 반응하여 이를 물로 현상할 경우 씻겨 없어질 정도로 분해함은 물론 그 상면에 도포되어 있는 적색 필터액(3r)도 현상시 물에 의해 씻겨져 없어지게 되어 적색 위치에 적색 필터층(3R)만 남게 됨으로써 3색 필터층(3R)(3G)(3B)을 형성할 수 있게 된다.

이와 같이 3색 필터층(3R)(3G)(3B)을 형성한 후 그 상면에 녹색 형광체, 감광제, 물, 분산제, 증감제 등으로 된 녹색 형광체 슬러리(4g)를 전면 도포, 건조한 후 녹색 위치를 자외선광(6)으로 노광하고 물로써 현상하면 녹색 위치에 녹색 형광체층(4G)이 형성된다.

동일한 방법으로 청색 위치에는 청색 형광체층(4B)을, 적색 위치에는 적색 형광체층(4R)을 형성할 수 있다.

여기서 녹, 청, 적의 형광체 슬러리에 적용되는 감광제는 중크롬산 나트륨, PVA 등이 주성분이며 빛을 받으면 경화하는 성질을 가지는 물질로서, 이러한 감광제를 포함하는 형광체 슬러리를 도포할 때에는 고품위의 스크린 특성, 즉 전체 화상의 균일한 밝기(Bright Uniformity)나 백색 균일도(White Uniformity)를 구현하기 위해 막의 두께가 일정하도록 주의해야 하며, 도포가 끝나면 적당한 온도의 열을 가하여 도포된 슬러리를 건조하고 노광에 가장 알맞게 패널의 온도를 조정해야 한다.

그러나, 이와 같이 3색 필터층 및 3색 형광체층을 포토리소그래피에 의해 형성할 경우에는 많은 문제점들이 있으며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.

첫째, 공정이 복잡하고 소모 약품의 증가로 인한 비용 상승문제가 야기된다.

형광막 형성을 위해서는 먼저 3색 필터 및 3색 형광체 각각의 슬러리, 에칭액, 포토레지스트 등의 조합이 필요하기 때문에 이에 필요한 설비, 시간 및 비용의 증가가 불가피하다.

또한, 각 필터층 및 각 형광체층을 형성하기 위하여 각각의 슬러리를 패널 내면에 전면 도포하는 반면 도포되는 양은 주입된 슬러리의 10%미만이므로 약품의 손실이 매우 클 뿐만 아니라 고품위의 스크린을 형성하기 위해 작업시의 온도, 습도, PH, 액점도 등의 조건을 최적화하여야 하므로 공정이 복잡해져 작업성이 저하되고 이에 따른 비용의 문제가 야기되며, 하나의 형광막을 형성하기 위하여 세척, 회수, 건조, 슬러리 주입, 회수, 건조, 노광, 현상 등의 많은 공정을 거쳐야 하므로 공정이 복잡하고 이에 필요한 작업공간이 늘어나는 단점도 있다.

둘째, 각 필터층 및 각 형광체층은 각각의 특성을 최대화하기 위하여 최적의 두께 및 균일한 막 형성이 필요하나 두께 조절이 용이하지 않다.

먼저, 필터층의 두께를 조절하는 방법으로 액의 점도 조절, 스핀시 회전속도 및 시간의 조절 등이 적용되는데, 액의 점도를 높게 가져가게 되면 두께는 증가하게 되나 액의 점성 증가로 인해 스핀시 평탄한 막을 얻기는 어려우므로 스핀시 회전속도를 늘리거나 회전시간을 늘리게 되며, 이로 인해 필터층의 두께가 0.5∼2㎛정도로 얇아질 수밖에 없다. 따라서, 액점도와 스핀시의 조건을 최적화하는 까다로운 조건이 필요하다.

또한, 패널의 내면은 일정한 곡률을 가지고 있으므로 형광체층 형성시 스핀에 의한 원심력의 작용으로 패널의 전면에 동일한 두께의 막을 형성할 수 있지만 스핀을 끝내고 나면 패널의 코너부에 몰려있던 슬러리가 다시 코너부에서 패널 중심방향으로 몰리게 되어 균일한 막을 형성하기 어렵다.

셋째, 3색 필터층 및 3색 형광체층의 막 품위 향상이 힘들다.

3색 필터층 및 3색 형광체층은 그 슬러리액에 포함되어 있는 감광제가 노광에 의해 경화되는 성질을 이용한 것으로, 노광시에는 도 3a와 같이 광이 수직으로 입사되어 노광부와 비노광부가 명확하게 구분됨이 이상적이나 실제에 있어서는 도 3b와 같이 노광시 빛의 확산 현상에 의하여 빛이 도입부에서 끝단부까지 수직방향으로 입사되기 어려우므로 노광부와 비노광부의 경계가 모호하여 현상시 도 4와 같이 각 필터층이나 각 형광체층의 경계가 깨끗하게 형성되지 못하며, 이로 인해 필터층이나 형광체층이 형성되어야 할 곳에 형성되지 못하는 결색부위나 인접한 타색에 침투하는 혼색부위를 발생시키게 되므로 스크린 품질에서 화이트 유니포미티나 3색의 고유색 구현에 악영향을 미치게 된다.

이러한 단점을 보완한 형광막의 형성방법으로 스크린 프린팅법을 들 수 있으며, 이 스크린 프린팅법은 먼저 필터 페이스트 또는 형광체 페이스트를 조성한 후 필터층 또는 형광체층의 패턴이 형성되어 있는 스크린 마스크를 통해 패널 상에 인쇄하여 각 필터층 또는 각 형광체층을 형성하는 방법으로서, 이러한 방법은 패널의 내면 전체에 약품을 도포하지 않아도 되므로 약품의 양을 최소한으로 할 수 있음은 물론 필터층 또는 형광체층이 스크린 마스크의 패턴에 의해 형성되므로 커팅성을 양호하게 구현할 수 있는 장점이 있다.

그러나, 이러한 스크린 프린팅법을 3색 필터층 및 3색 형광체층을 형성하는 동안 장시간 사용할 경우에는 스크린 마스크의 막힘 등의 문제가 발생하여 고해상도의 형광막을 형성하기 어려우며, 스크린 프린팅 후 스크린 마스크의 세척에도 용제 세척 외에 스크린 마스크의 패턴 틈새에 끼어 있는 형광체나 흑연 등의 형광막 형성 분말을 떨어뜨리기 위해 강한 수압 등의 기계적인 처리가 필요하게 되어 작업성이 저하되는 문제가 있다.

또한, 인쇄시 페이스트의 점도 및 분산성, 스퀴지의 압력 및 각도, 스크린 마스크와 패널의 클리어런스 등의 요소에 의해 실제 패턴과 형성된 형광막 패턴 사이에 차이가 발생되며, 스크린 마스크가 메쉬형태로 제작됨에 따라 장시간 사용시 탄성력을 잃어 폭, 위치품질에 영향을 주게 되며, 수명이 짧게 되어 생산시 많은 비용이 부가되고, 자주 교체해야 하므로 생산수량 자체에도 절대적인 감소요인이 되고 있다.

따라서, 본 발명은 이러한 점을 감안하여 제안된 것으로, 형광막을 형성함에 있어 필터층 및 형광체층을 복합적인 방법에 의해 형성하면서도 그 형성공정을 단순화한 영상표시장치의 형광막 형성방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.

다른 견지로는, 형광막을 균일하게 형성함은 물론 그 품위를 향상시키는 데 그 목적이 있다.

도 1은 일반적인 칼라 필터를 적용한 형광막 단면도이고,

도 2는 종래의 형광막 형성공정도이고,

도 3은 노광시의 광 프로파일을 나타낸 그래프로서,

도 3a는 이상적인 광 프로파일이고,

도 3b는 실제 노광시의 광 프로파일이고,

도 4는 종래의 필터층과 형광체층의 경계면 형성도이고,

도 5는 본 발명에 따른 영상표시장치의 형광막 형성공정도이고,

도 6은 본 발명에 따른 필터층과 형광체층의 경계면 형성도이다.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***

1 : 패널 2 : 블랙매트릭스

3R, 3G, 3B : 3색 필터층 3g' : 녹색 필터 페이스트

4R, 4G, 4B : 3색 형광체층 4g' : 녹색 형광체

7 : 스크린 마스크 8 : 스퀴지

9 : 스프레이기

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 영상표시장치의 형광막 형성방법은, 패널 내면에 외부광 흡수층인 블랙매트릭스, 광 선택투과 특성을 가진 3색 필터층, 화소를 이루는 3색 형광체층이 순차적으로 형성되는 영상표시장치의 형광막에 있어서; (1) 소정의 필터 형성용 패이스트를 조성하여 블랙매트릭스가 형성되어 있는 상기 패널의 상면에 소정의 필터 패턴이 형성되어 있는 스크린 마스크를 통하여 소정의 필터를 인쇄하는 단계; (2) 상기 인쇄된 소정의 필터가 건조되기 전 상태에서 상기 소정의 필터와 동색 계열의 형광체 분말을 상기 소정의 필터 상면에 분사하는 단계; 및 (3) 소정의 공기압으로 현상하여 상기 소정의 필터와 동색 계열의 형광체층을 형성하는 단계를 포함한다.

바람직하기로, 상기 소정의 필터는 0.5∼50㎛의 두께 범위로 형성되는 것을 특징으로 한다.

선택적으로, 상기 소정의 필터 인쇄 후 이와 동색 계열의 형광체 분말을 분사하면서 상기 형광체 분말에 동일한 부호의 전하를 인가하는 것을 특징으로 한다.

선택적으로, 상기 현상공정은 현상되어 떨어져 나가는 형광체 분말을 집진하여 재사용할 수 있도록 소정의 집진 설비 내에서 수행됨을 특징으로 한다.

이와 같이 하면, 3색 필터층 및 3색 형광체층의 형성에 소요되는 공정수가 줆은 물론 사용 약품의 최소화가 가능해지며, 형성된 3색 필터층 및 3색 형광체층의 커팅성을 양호하게 구현할 수 있어 고품위의 스크린을 구현할 수 있는 이점이 있다.

그리고, 본 발명의 실시 예로는 다수개가 존재할 수 있으며, 이하에서는 가장 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.

이 바람직한 실시 예를 통해 본 발명의 목적, 특징 및 이점들을 보다 잘 이해할 수 있게 된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 영상표시장치의 형광막 형성방법의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.

또한, 설명에 사용되는 도면에 있어서, 도 1 내지 도 4와 같은 구성성분에 관해서는 동일한 번호를 부여하여 표시하고 그 중복되는 설명을 생략하는 것도 있다.

도 5는 본 발명에 따른 영상표시장치의 형광막 형성 공정도이고, 도 6은 본 발명에 따른 형광막 상태도이다.

본 실시 예에 따른 영상표시장치의 형광막은 도 5에 도시된 바와 같이, 블랙매트릭스(2)가 형성된 패널(1) 내면에 3색 필터층(3R)(3G)(3B)은 스크린 프린팅법에 의해 형성하며, 3색 형광체층(4R)(4G)(4B)은 해당 형광체를 미건조된 필터층의 상면에 분사하여 부착시키는 방법으로 형성하는 것으로, 이를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 패널(1) 내면에 블랙매트릭스(2)를 형성해야 되는데, 이 블랙매트릭스(2)는 종래와 마찬가지로 PAD와 AZID, Sorbitol, Ethylene Glycol, Emulsion, 순수등이 주성분인 네거티브 포토레지스트를 패널(1) 내면에 도포하고 3색 위치를 노광한 후 물로 현상하여 노광된 부위만 남기며, 다시 흑연분말, 암모니아수, 에멀엔시 등으로 구성된 흑연액을 도포하고 과산화수소와 아미드 유산이 주성분인 에칭액을 이용하여 에칭한 후 물로 현상하는 방법 등으로 형성할 수 있다.

블랙매트릭스(2)를 형성한 후 스크린 프린팅법에 의해 원하는 색상의 필터층을 형성하게 되는데, 이를 위해서는 먼저 형성하고자 하는 필터의 페이스트를 제조하여야 한다.

필터 페이스트는 용제인 비히클과 원하는 색상의 필터 분말로 조성되는데, 비히클은 유기 바인더, 유기 솔벤트 등으로 구성되며, SiO₂가 주성분인 소포제 등을 소량 첨가할 수도 있다.

상기 유기 바인더는 셀룰로오즈계, 아크릴계, 비닐계 수지가 주로 이용되며, 이 중 아크릴계는 소성 후 잘 쪼개어지고 비닐계는 저점도에 주로 이용되므로 셀룰로오즈 계통의 바인더가 바람직하다.

또한, 유기 솔벤트로는 저비점, 중비점, 고비점을 가지는 솔벤트가 있는데 작업성 및 용해성을 고려하여 적정하게 선택하여야 한다.

일 예로, 유기 솔벤트인 n-Butyl Carbitol 5∼30wt%와 n-Butyl Acetate 40∼90wt%를 섞은 후 교반기에서 300∼1000rpm 정도의 속도하에서 에틸 셀룰로즈 5∼50wt%를 가해 30분∼2시간 정도 교반하고, 교반시 발생한 기포를 없애기 위해 상온에서 4시간∼12시간 정도 안정화시켜 비히클을 조합할 수 있으며, 이때 30∼60℃의 온도로 비히클을 가열하면 유기 바인더가 유기 솔벤트에 잘 녹는다.

이러한 조작으로 제작된 비히클에 녹색 필터 분말을 혼합하여 녹색 필터 페이스트(3g')를 제조하게 되며, 원활한 혼합 및 점착성 유지를 위하여 프린팅할 때까지 롤링 조작을 하여야 한다.

이후, 녹색 필터의 패턴이 형성되어 있는 스크린 마스크(7)를 패널(1) 내면의 녹색 위치와 일치되도록 패널(1) 내면과 적당한 간격(1∼5㎜)을 두고 고정시킨 후 상기 제조된 녹색 필터 페이스트(3g')를 적정 압력의 스퀴지(8)를 이용하여 스크린 마스크(7)를 통해 패널(1) 내면에 인쇄해 녹색 필터층(3G)을 형성한다.

녹색 필터층(3G)을 형성한 후 건조되지 않은 상태, 즉 점착성을 잃기 전 상태에서 그 상면에 녹색 형광체(4g') 분말을 스프레이기(9)를 통해 약 1∼2㎏f/㎠의 압력으로 분사하게 되는데, 녹색 형광체(4g')의 분산을 용이하게 하기 위하여 동일한 부호를 가지는 전하로 녹색 형광체(4g')를 대전시킨 상태에서 분사할 수 있다.

녹색 형광체(4g')를 분사하고 나면 점착성을 가지고 있는 녹색 필터층(3G)의 상면에 분사된 녹색 형광체(4g')는 녹색 필터층(3G)위에 부착되고 나머지는 부착이 되지 않거나 공기 현상으로 날아가 버릴 정도의 힘으로 부착된 상태에 있으므로 곧바로 공기압에 의해 용이하게 현상할 수 있다.

이때, 필터 인쇄 후 약 20분 정도의 시간이 경과하면 녹색 필터 페이스트(3g') 내 비히클의 유기 용제성분이 휘발하기 때문에 더 이상 형광체를 부착시킬 수 없으므로 필터 인쇄 후 약 1∼2분내에 형광체 분말을 분사하여 형광체를 부착해야 하며, 현상시에는 미부착 부위의 형광체가 떨어져 나가므로 이를 집진하여 재사용할 수 있도록 집진설비 내에서 현상 공정을 수행함이 바람직하다.

공기 현상을 마치게 되면 녹색 필터층(3G)의 상면에 녹색 형광체층(3G)이 형성되며, 나머지 청색, 적색의 필터층(3B)(3R) 및 형광체층(4B)(4R)도 동일한 방법으로 형성할 수 있다.

이와 같이, 3색 필터층(3R)(3G)(3B)은 스크린 프린팅법에 의해 형성되므로 주지와 같이 우수한 커팅성을 구현할 수 있으며, 이어서 분사되는 형광체 분말이 필터층이 형성되어 있는 부위에만 부착되므로 3색 형광체층(4R)(4G)(4B) 또한 우수한 커팅성을 구현할 수 있다.

실제로, 도 6에 도시한 바와 같이 임의의 필터층과 동색 계열의 형광체층의 경계면이 동일하게 수직의 구조를 가지게 되며, 형광체 입자 크기로 인하여 형광체층이 필터층의 외부 방향으로 약간 넓게 형성됨을 알 수 있다.

또한, 3색 필터층(3R)(3G)(3B)이 스크린 프링팅법에 의해 형성되므로 필터의 인쇄시 스크린 마스크(7)와 패널(1) 내면 사이의 높이 차이(클리어런스)를 조절하여 최적의 막 두께를 구현할 수 있으며, 그 조절 범위는 0.5∼50㎛까지 가능하다. 즉, 필터층의 두께를 넓은 범위에서 조절할 수 있으면 그 투과율 특성 조절이 매우 용이해짐을 의미하는 것이다.

그리고, 상기에서 본 발명의 특정한 실시 예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 첨부된 특허청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 형광막을 형성함에 있어 최소의 약품 소모, 최소의 공정수를 구현할 수 있어 제조원가를 크게 줄일 수 있음은 물론 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있으며, 필터층과 형광체층의 커팅성을 양호하게 구현할 수 있어 스크린의 품위를 향상시킬 수 있고, 보다 넓은 범위내에서 필터층의 두께가 조절가능하여 최적의 투과율 특성을 구현할 수 있는 효과가 있다는 것이다.

Claims (4)

1. 패널 내면에 외부광 흡수층인 블랙매트릭스, 광 선택투과 특성을 가진 3색 필터층, 화소를 이루는 3색 형광체층이 순차적으로 형성되는 영상표시장치의 형광막에 있어서;

   (1) 소정의 필터 형성용 패이스트를 조성하여 블랙매트릭스가 형성되어 있는 상기 패널의 상면에 소정의 필터 패턴이 형성되어 있는 스크린 마스크를 통하여 소정의 필터를 인쇄하는 단계;

   (2) 상기 인쇄된 소정의 필터가 건조되기 전 상태에서 상기 소정의 필터와 동색 계열의 형광체 분말을 상기 소정의 필터 상면에 분사하는 단계; 및

   (3) 소정의 공기압으로 현상하여 상기 소정의 필터와 동색 계열의 형광체층을 형성하는 단계를 포함한 영상표시장치의 형광막 형성방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 소정의 필터는 0.5∼50㎛의 두께 범위로 형성되는 것을 특징으로 하는 영상표시장치의 형광막 형성방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 소정의 필터 인쇄 후 이와 동색 계열의 형광체 분말을 분사하면서 상기 형광체 분말에 동일한 부호의 전하를 인가하는 것을 특징으로 하는 영상표시장치의 형광막 형성방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 현상공정은,

   현상되어 떨어져 나가는 형광체 분말을 집진하여 재사용할 수 있도록 소정의 집진 설비 내에서 수행됨을 특징으로 하는 영상표시장치의 형광막 형성방법.