KR20000073559A - Tray plate of handler - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 소자를 테스트 트레이에 적재한 후, 그 테스트 트레이를 이송시켜서 테스터에 의해 성능을 테스트한 후, 분류적재하기 위한 핸들러의 멀티 스택커에 있어서 테스트 트레이가 얹혀지는 트레이 플레이트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테스트 트레이의 적재된 소자를 테스트 사이트의 테스트부에 전기적으로 접촉시켜서 테스트한 후, 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하고, 그 분류된 소자를 각각의 등급별로 테스트 트레이에 담아 언로딩시킬 때 각각의 트레이 플레이트가 연속해서 적재되어 넓은 공간을 사용하지 않고 좁은 공간에서 적절하게 사용할 수 있는 핸들러의 트레이 플레이트에 관한 것이다.The present invention relates to a tray plate on which a test tray is placed in a multi-stacker of a handler for classifying and loading a device into a test tray, then transferring the test tray and testing the performance by a tester. Specifically, when the loaded device of the test tray is electrically contacted with the test part of the test site for testing, the test device is classified according to the test result, and the classified device is loaded into the test tray for each class and unloaded. It relates to a tray plate of a handler in which each tray plate is stacked in succession and can be suitably used in a narrow space without using a large space.
일반적으로 제조 공정에서 생산 완료된 소자는 수평 또는 수직식 핸들러의 엘리베이터에 의해 순차적으로 이송되어 테스터에 의한 성능 테스트 결과에 따라 양품과 불량품으로 구분하고, 그 분류된 소자중 양품은 출하하고, 불량품은 폐기시킨다.In general, the devices produced in the manufacturing process are sequentially transferred by elevators of horizontal or vertical handlers, and classified into good and bad according to the performance test results by the tester. Let's do it.
상기와 같이 성능을 테스트하기 위한 소자는 테스트 트레이에 담겨져 테스트부로 이동된 후 테스트 사이트에서 테스터와 전기적으로 접촉되어 그 성능이 테스트된다.As described above, the device for testing the performance is contained in a test tray, moved to the test unit, and then electrically contacted with the tester at the test site to test its performance.
이때, 상기 테스트된 소자는 그 성능시험에 따른 결과에 의해 등급별로 분류하고, 그 등급별로 분류된 소자를 다시 분류하여 언로딩하게 되는데, 상기 언로딩과정에서 사용되는 것이 멀티 스택커이다.In this case, the tested devices are classified by the grades according to the results of the performance test, and the devices classified by the grades are again classified and unloaded, which is used in the unloading process.
멀티 스택커는 서로 일정한 간격으로 이격되어 있는 다수의 트레이 플레이트의 일단이 언로딩 베이스 플레이트(104)에 설치되어 있다.In the multi stacker, one end of a plurality of tray plates spaced apart from each other at regular intervals is installed in the unloading base plate 104.
도 1은 종래의 핸들러의 트레이 플레이트가 사용되는 멀티 스택커를 보여주는 사시도이고, 도 2는 종래의 트레이 플레이트를 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing a multi stacker in which a tray plate of a conventional handler is used, and FIG. 2 is a perspective view showing a conventional tray plate.
핸들러 프레임(10)의 상부에 고정된 다수의 마운트 브라켓(108)이 고정되어 있고, 세로방향으로 길게 형성된 장공(106)이 가운데에 형성된 언로딩 베이스 플레이트(104)가 마운트 브라켓(108)에 의해 핸들러 프레임(10)에 수직하게 설치되어 있으며, 그 언로딩 베이스 플레이트(10)의 장공(106)에는 분류된 소자가 담겨진 테스트 트레이가 얹혀지는 트레이 플레이트(110)의 일단이 끼워져 있고, 그 위로 소정의 간격만큼 떨어진 위치에 다수의 트레이 플레이트(110)가 연속적으로 끼워져서 설치되어 있다.A plurality of mount brackets 108 fixed to the upper part of the handler frame 10 are fixed, and an unloading base plate 104 having a long hole 106 formed in the longitudinal direction in the center thereof is mounted by the mount brackets 108. It is installed perpendicular to the handler frame 10, and one end of the tray plate 110 on which the test tray containing the sorted elements is placed is inserted into the long hole 106 of the unloading base plate 10, and the predetermined position is placed thereon. A plurality of tray plates 110 are continuously inserted in positions spaced apart by the intervals of.
트레이 플레이트(110)는 테스트 트레이가 정확하게 상부면에 위치되도록 다수의 핀(118)을 구비하고 있고, 그 일측부에는 테스트 트레이가 움직이지 않고 안착될 수 있도록 트레이 가이드(116)가 형성되어 있다.The tray plate 110 is provided with a plurality of pins 118 so that the test tray is accurately positioned on the upper surface, and the tray guide 116 is formed at one side thereof so that the test tray can be seated without moving.
또한, 언로딩 베이스 플레이트(104)의 장공(106)에 일단부가 끼움 결합된 최하부의 트레이 플레이트(110)의 하부에는 벨트에 의해 상하로 이동가능하도록 벨트 브라켓(120)이 설치되어 있다.In addition, a belt bracket 120 is installed at a lower portion of the lowermost tray plate 110 having one end fitted to the long hole 106 of the unloading base plate 104 so as to be moved up and down by a belt.
그리고, 상기 벨트 브라켓(120)의 상부에는 그 벨트 브라켓(120)과 대응하여 풀리 브라켓(122)이 언로딩 베이스 플레이트(104)에 설치되고, 그 풀리 브라켓(122)에는 모터(미도시됨)에 의해 구동하는 풀리(124)가 결합된 샤프트(126)가 설치되어 있다. 따라서 상기 모터가 회전함에 따라 샤프트(126)에 결합된 풀리(124)가 회전하고, 풀리(124)에 감겨진 벨트(미도시됨)가 회전함에 따라 타측에 결합되어 있는 벨트 브라켓(120)이 상하로 승강이동하게 되어 결과적으로는 상기 트레이 플레이트(110)가 상하로 승강이동하게 되는 것이다.In addition, a pulley bracket 122 is installed on the unloading base plate 104 in correspondence with the belt bracket 120 on the belt bracket 120, and a motor (not shown) on the pulley bracket 122. The shaft 126 to which the pulley 124 driven by the coupling is provided is provided. Therefore, as the motor rotates, the pulley 124 coupled to the shaft 126 rotates, and the belt bracket 120 coupled to the other side as the belt (not shown) wound on the pulley 124 rotates. Lifting and moving up and down as a result is the tray plate 110 is moved up and down.
한편, 그 언로딩 베이스 플레이트(104)의 외측에 설치되어 있는 풀리 브라켓(122)의 하부에는 스토퍼 베이스(128)가 설치되어 있고, 상하로 동작하는 실린더(132)가 그 스토퍼 베이스(128)의 우측부에 고정되어 있으며, 기역자형상으로 이루어진 스토퍼(130)의 우측단이 상기 스토퍼 베이스(128)에 고정된 실린더(132)의 하단과 연결되어 있고, 그 좌측단부에는 상기 모터(미도시됨)로 부터 전달받은 구동력을 이용하여 회전하는 벨트(미도시됨)에 의해 다수의 트레이 플레이트(110)가 상승하강 동작하게 된다.On the other hand, a stopper base 128 is provided at a lower portion of the pulley bracket 122 provided outside the unloading base plate 104, and the cylinder 132, which operates up and down, of the stopper base 128 The right end of the stopper 130, which is fixed to the right side and is formed in the shape of a maneuver, is connected to the lower end of the cylinder 132 fixed to the stopper base 128, and the motor (not shown) at the left end thereof. A plurality of tray plates 110 are moved up and down by a belt (not shown) that rotates using a driving force transmitted from the.
이때, 상기 기역자 형상의 스토퍼(130)는 트레이 플레이트(110)의 상승시 그 상승높이를 제어할 수 있도록 그 좌측 끝단부에 포우(PAW)가 형성되어 있고, 상기 실린더(132)의 상하동작에 의해 회동할 수 있도록 중간부가 힌지에 의해 고정되어 있다.At this time, the stopper 130 of the tracer shape is formed with a pow (PAW) at the left end thereof so as to control the rising height when the tray plate 110 is raised, the vertical movement of the cylinder 132 The intermediate part is fixed by the hinge so that it can be rotated.
도 2는 종래의 트레이 플레이트를 보여주는 것으로서, 플레이트(134)의 우측 상부에 테스트 트레이가 얹혀질 때 그 위치를 결정하기 위한 위치결정핀(144)가 대칭을 이루며 돌출 형성되어 있고, 그 외측으로는 다수의 안내핀(146)이 형성되어 테스트 트레이가 얹혀질 때 원할하게 안착되도록 한다.Figure 2 shows a conventional tray plate, the positioning pin 144 for determining the position when the test tray is placed on the upper right of the plate 134 is formed symmetrically protruding, outwardly A plurality of guide pins 146 are formed to smoothly seat when the test tray is mounted.
상기 플레이트(134)의 좌측단부에는 테스트 트레이가 안착될 때 이탈되지 않도록 디귿자형의 트레이 가이드(136)가 플레이트(134)를 감싸듯이 형성되어 있고, 그 트레이 가이드(136)의 외측으로는 좌우 한쌍의 LM 블록(138)이 설치되어 승강동작시 슬라이딩이 가능하도록 설치되어 있으며, 또한 브라켓 고정부(142)가 돌출 형성되어 벨트(미도시됨)가 고정되는 벨트 브라켓(140)이 설치되어 있다.At the left end of the plate 134, a tray-shaped tray guide 136 is formed to surround the plate 134 so as not to be separated when the test tray is seated. The LM block 138 is installed to be slidable during the lifting operation, and the bracket fixing part 142 is formed to protrude and the belt bracket 140 is fixed to the belt (not shown) is installed.
그러나, 상기와 같이 이루어진 구성의 핸들러의 멀티 스택커에 사용되는 트레이 플레이트는 각각의 트레이 플레이트가 일정한 간격으로 다수개 설치되어 있으므로 기본적으로 설치되는 공간을 넓게 차지하였으며, 상하로 이동할 때에도 큰 부피로 인하여 움직임이 정밀하지 못하였다.However, the tray plates used in the multi-stacker of the handler having the above-described configuration occupy a large space by default because each tray plate is installed in a plurality of regular intervals, and also moves largely when moving up and down. The movement was not accurate.
또한, 일측에서 브라켓으로 고정되어 상하 이동하므로 고정되지 않은 타측에는 휨이 발생하여 테스트 트레이가 정확하게 안치되지 못하는 문제점이 있었다.In addition, it is fixed to the bracket on one side, so moving up and down there was a problem that the other side that is not fixed caused the bending of the test tray accurately.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 구조를 개선하여 트레이 플레이트가 차지하는 공간을 적게함으로서 장치의 소형화를 이루고, 그 하부에서 트레이 플레이트를 받쳐줌과 동시에 승강시키도록 하여 장치의 내구성을 향상시킬 수 있는 핸들러의 트레이 플레이트를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made to solve such a problem in the prior art, by improving its structure to reduce the space occupied by the tray plate to achieve a miniaturization of the device, by supporting the tray plate at the bottom and at the same time lifting the device It is an object of the present invention to provide a tray plate of a handler which can improve the durability of the battery.
본 발명의 다른 목적은 등급별로 분류된 테스트 트레이를 적재할 때, 연속적으로 상부에 적재시키므로서 이탈할 염려가 없고, 정확한 위치결정이 이루어지므로 작업효율을 향상시킬 수 있는 핸들러의 트레이 플레이트를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a tray plate of a handler that can be improved by the positioning of the test trays classified by grade, there is no fear of departure by loading on the upper continuously, accurate positioning is made will be.
도 1은 종래의 핸들러의 트레이 플레이트가 사용되는 멀티 스택커를 보여주는 사시도,1 is a perspective view showing a multi stacker in which a tray plate of a conventional handler is used;
도 2는 종래의 트레이 플레이트를 보여주는 사시도,2 is a perspective view showing a conventional tray plate,
도 3은 본 발명의 핸들러의 트레이 플레이트가 사용되는 멀티 스택커를 보여주는 사시도,3 is a perspective view showing a multi stacker in which the tray plate of the handler of the present invention is used;
도 4는 본 발명의 트레이 플레이트의 구조를 보여주는 사시도,Figure 4 is a perspective view showing the structure of the tray plate of the present invention,
도 5는 도 4의 A-A 선을 절단했을 때의 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 4.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***
10 : 스택커 프레임 12 : 적재부10: stacker frame 12: loading portion
14 : 트레이 플레이트 승강장치14: tray plate lifting device
16 : 트레이 플레이트 18 : 가이드16: tray plate 18: guide
20 : 방지턱 22 : 걸림홈20: prevention jaw 22: locking groove
24 : 승강판 26 : 가이드 접촉부24: lifting plate 26: guide contact
28 : 플레이트 몸체 30 : 결합홈28: plate body 30: coupling groove
본 발명은 플레이트 몸체와, 상기 플레이트 몸체의 좌우측에 수직하게 번갈아가며 요홈이 형성되고, 그 네 귀퉁이에 가이드와 접촉하여 상하로 이동되도록 형성된 가이드 접촉 안내부와, 상기 플레이트 몸체의 상부면 외곽에 형성되고, 테스트 트레이의 안착시 이탈을 방지하기 위한 이탈방지턱과, 상기 이탈방지턱과 대응하여 그 하부면에 형성되고, 제 2의 트레이 플레이트의 상부에 형성된 이탈방지턱과 끼워지는 결합홈과, 상기 플레이트 몸체의 하부면 양측부에 형성되어 스토퍼에 의해 고정되는 걸림홈으로 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention is a plate body, and the groove is formed alternately vertically on the left and right sides of the plate body, the guide contact guide portion formed to move up and down in contact with the guide at its four corners, and formed on the outer surface of the upper surface of the plate body And a release prevention jaw for preventing departure when the test tray is seated, a coupling groove formed at a lower surface thereof in correspondence with the release prevention jaw, and fitted with a release prevention jaw formed at an upper portion of the second tray plate, and the plate body. It is formed on both sides of the lower surface of the characterized in that consisting of the locking groove fixed by the stopper.
상기 트레이 플레이트는 다수개의 트레이 플레이트가 연속적으로 쌓여져서 결합되는 구조인 것을 특징으로 한다.The tray plate is characterized in that a plurality of tray plates are continuously stacked and coupled.
상기 이탈방지턱은 플레이트 몸체의 상부면 외곽에 둘러쌓여 형성하되 외곽으로 돌출된 요부에 일정한 간격을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 한다.The release prevention jaw is formed to be surrounded by the outer surface of the upper surface of the plate body, characterized in that it is formed to have a predetermined distance to the main portion protruding outward.
상기 이탈방지턱은 둥그런 반원형의 형상의 긴 턱인 것을 특징으로 하다.The release prevention jaw is characterized in that the long jaw of the round semi-circular shape.
상기 결합홈은 상기 이탈방지턱과 원할하게 결합될 수 있는 반원형의 형상인 것을 특징으로 한다.The coupling groove is characterized in that the semicircular shape that can be smoothly coupled with the separation prevention jaw.
(실시예)(Example)
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 핸들러의 트레이 플레이트를 설명하기로 한다.Hereinafter, the tray plate of the handler of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 핸들러의 트레이 플레이트가 사용되는 멀티 스택커를 보여주는 조립도이고, 도 4는 본 발명의 트레이 플레이트의 구조를 보여주는 사시도이며, 도 5는 도 4의 A-A 선을 절단했을 때의 단면도이다.Figure 3 is an assembly view showing a multi-stacker is used the tray plate of the handler of the present invention, Figure 4 is a perspective view showing the structure of the tray plate of the present invention, Figure 5 is a cut when the line AA of Figure 4 It is a cross section.
본 발명의 핸들러의 트레이 플레이트는 플레이트 몸체(28)와, 상기 플레이트 몸체(28)의 좌우측에 수직하게 번갈아가며 요홈이 형성되고, 그 네 귀퉁이에 가이드(18)와 접촉하여 상하로 이동되도록 형성된 가이드 접촉 안내부(26)와, 상기 플레이트 몸체(28)의 상부면 외곽에 형성되고, 테스트 트레이의 안착시 이탈을 방지하기 위한 이탈방지턱(20)과, 상기 이탈방지턱(20)과 대응하여 그 하부면에 형성되고, 제 2의 트레이 플레이트의 상부에 형성된 이탈방지턱과 끼워지는 결합홈(30)과, 상기 플레이트 몸체(28)의 하부면 양측부에 형성되어 스토퍼(32)에 의해 고정되는 걸림홈(22)으로 구성된다.The tray plate of the handler of the present invention is a plate body 28, and the groove is formed alternately perpendicular to the left and right sides of the plate body 28, the guide formed to move up and down in contact with the guide 18 at its four corners The contact guide part 26 and the upper surface of the plate body 28 are formed on the outer periphery, and a dropping prevention jaw 20 for preventing the detachment during the seating of the test tray, and corresponding to the dropping stop 20 Coupling groove 30 formed on the surface, and fitted with the separation prevention jaw formed in the upper portion of the second tray plate, and the locking groove formed on both sides of the lower surface of the plate body 28 and fixed by the stopper 32 It consists of 22.
상기 트레이 플레이트(16)는 다수개의 트레이 플레이트가 연속적으로 쌓여져서 결합되는 구조인 것을 특징으로 한다.The tray plate 16 is characterized in that a plurality of tray plates are continuously stacked and coupled.
상기 이탈방지턱(20)은 플레이트 몸체(28)의 상부면 외곽에 둘러쌓여 형성하되 외곽으로 돌출된 요부에 일정한 간격을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 한다.The release prevention jaw 20 is formed to surround the upper surface of the plate body 28, but is formed to have a predetermined distance to the recessed portion protruding to the outside.
상기 이탈방지턱(20)은 둥그런 반원형 단면 형상의 긴 턱인 것을 특징으로 한다.The release prevention jaw 20 is characterized in that the long jaw of the round semi-circular cross-sectional shape.
상기 결합홈(30)은 상기 이탈방지턱(28)과 원할하게 결합될 수 있는 반원형단면의 형상인 것을 특징으로 한다.The coupling groove 30 is characterized by the shape of a semi-circular cross section that can be smoothly coupled with the separation prevention jaw (28).
상기와 같이 이루어진 본 발명의 핸들러의 트레이 플레이트를 도 3 및 도 4그리고 도 5를 참조하여 좀 더 구체적으로 살펴보면, 우선 사면이 열려진 박스 형상의 구조로 형성된 스택커 프레임(10)이 설치되어 있고, 그 좌우측에는 한쌍의 서포트 플레이트(31)가 설치되어 있으며, 상승하는 다수의 트레이 플레이트(16)를 좌우에서 고정하기 위한 스토퍼(32)가 상기 서포트 플레이트(31)의 하부에 설치되어 있다.Looking at the tray plate of the handler of the present invention made as described above in more detail with reference to Figures 3 and 4 and 5, first, a stacker frame 10 formed of a box-shaped structure with an open slope is provided, A pair of support plates 31 are provided on the left and right sides thereof, and stoppers 32 for fixing the rising tray plates 16 from left and right are provided below the support plate 31.
또한, 상기 스토퍼(32)에는 그 전부에 걸림턱(미도시됨)이 형성되어 있고, 그 상부에는 리니어 실린더가 설치되어 스토퍼(32)를 좌우로 움직인다.In addition, a stopper (not shown) is formed at all of the stoppers 32, and a linear cylinder is installed at an upper portion thereof to move the stopper 32 from side to side.
그리고, 상기 스택커 프레임(10)의 내측으로는 다수의 트레이 플레이트(16)가 적재되어 있는 트레이 적재부(12)가 설치되어 있다.In addition, inside the stacker frame 10, a tray stacker 12 on which a plurality of tray plates 16 are stacked is provided.
상기 트레이 적재부(12)는 상기 스택커 프레임(10)의 내측으로 각각 네 귀퉁이에 위치하여 가이드(18)가 고정되어 있고, 다수의 트레이 플레이트(16)가 상기 가이드(18)의 그 안쪽면을 따라서 상하로 이동가능하게 연속적으로 적재되어 있으며, 그 하부에는 트레이 승강장치(14)가 설치되어 다수의 트레이 플레이트(16)를 받쳐줌과 동시에 승강동작을 함과 동시에 등급별로 분류된 소자가 담겨진 테스트 트레이를 트레이 플레이트(16)의 각각의 사이에 분류 적재할 수 있게 된다.The tray stacking portions 12 are located at four corners of the stacker frame 10, respectively, so that the guides 18 are fixed, and a plurality of tray plates 16 are formed on the inner surface of the guide 18. It is continuously stacked so as to move up and down along the bottom, and the tray lifting device 14 is installed at the bottom thereof to support the plurality of tray plates 16, and at the same time to lift and lower the operation, and the devices classified according to the grade are contained. The test tray can be sorted and stacked between each of the tray plates 16.
상기 트레이 승강장치(14)는 다수의 트레이 플레이트(16)를 받쳐줌과 동시에 상하로 승강하는 승강판(24)의 하부에 수직하게 LM 레일(26)이 고정되고, 그 LM 레일(26)의 일측부에는 다수의 기어가 형성된 래크(28)가 고정되고, 그 타측에는 상기 LM 레일(26)이 상하로 슬라이딩 이동하며 승강되도록 LM 블록(34)이 설치되어 있으며, 그 LM 블록(34)은 핸들러 프레임(미도시됨)에 고정되어 진다.The tray elevating device 14 supports a plurality of tray plates 16 and at the same time, the LM rail 26 is fixed perpendicularly to the lower part of the elevating plate 24 that is moved up and down, and the LM rail 26 A rack 28 having a plurality of gears is fixed to one side thereof, and an LM block 34 is installed on the other side so that the LM rail 26 slides upward and downward. It is fixed to the handler frame (not shown).
도 4 및 도 5는 본 발명의 트레이 플레이트를 보여주는 사시도와 그 단면도로서, 먼저 사각형상의 플레이트 몸체(28)가 형성되어 있고, 그 좌우측부는 다수의 요홈이 형성되며, 그 상부면에는 다수의 이탈방지턱(20)이 형성되어 테스트 트레이가 상부면에 안치될 때 이탈되지 않도록 방지한다.4 and 5 are a perspective view and a cross-sectional view showing a tray plate of the present invention, first of which a rectangular plate body 28 is formed, the left and right sides are formed with a plurality of grooves, a plurality of separation prevention jaw on the upper surface 20 is formed to prevent the test tray from being detached when it is placed on the upper surface.
상기 플레이트 몸체(28)의 네 귀퉁이는 라운딩처리하여 상기 가이드(18)의 내측면과 접촉하여 상하로 이동이 원할하게 이루어지도록 가이드 접촉 안내부(26)가 형성되고, 그 상면에는 테스트 트레이가 안치될 때 위치를 잡아줌과 동시에 이탈을 방지할 수 있도록 소정의 길이를 갖는 이탈방지턱(20)이 형성된다.Four corners of the plate body 28 are rounded to form a guide contact guide portion 26 so as to smoothly move up and down in contact with the inner surface of the guide 18, and a test tray is placed on the upper surface thereof. At the same time, the separation prevention jaw 20 having a predetermined length is formed so as to hold the position and to prevent the departure.
이탈방지턱(20)은 반원형의 단면을 갖고 길게 형성되나 그 각각은 서로 소정의 간격이 이격되어 플레이트 몸체(28)의 상면에 배열되어 지고, 그 하면에는 상기 이탈방지턱(20)과 대응되는 위치에 결합홈(30)이 형성된다.The separation prevention jaw 20 has a semi-circular cross section and is formed long, but each of them is arranged on an upper surface of the plate body 28 at a predetermined distance from each other, and a lower side thereof is disposed at a position corresponding to the separation prevention jaw 20. Coupling groove 30 is formed.
그리고, 플레이트 몸체(28)의 상하단부 하면에는 사각형상의 걸림홈(22)이 형성되어 다수의 트레이 플레이트(16)가 승강동작할 때 스택커에 구비된 걸림턱(미도시됨)과 결합되어 고정되어 진다.In addition, the upper and lower end of the plate body 28 is formed with a rectangular locking groove 22 is coupled and fixed to the engaging jaw (not shown) provided in the stacker when the plurality of tray plates 16 are moved up and down. It is done.
상기와 같은 구조를 갖는 트레이 플레이트(16)는 연속해서 7-8장이 연속적으로 쌓여 적재부의 승강판위에 놓여지게 된다.The tray plate 16 having the structure as described above is placed on the elevating plate of the stacking unit by stacking 7-8 sheets continuously.
바람직하게는 테스트된 소자가 등급별로 분류 안치되는 테스트 트레이의 수만큼 연속적으로 쌓아 놓은 후, 승강판을 이용하여 효율적인 제어를 하게 된다.Preferably, the tested devices are continuously stacked as many as the number of test trays placed in each class, and then efficiently controlled using a lifting plate.
즉, 테스트된 소자가 양품과 불량품으로 구분될 경우, 불량품이 담겨지게 되는 테스트 트레이를 안치하는 트레이 플레이트와, 양품으로 판정된 소자를 각각의 등급 - 1 내지 8등급별로 구분하여 안치할 수 있도록 트레이 플레이트를 다수개 적재하여 놓고, 1등급 소자를 담은 테스트 트레이는 첫 번째 트레이 플레이트에 안착시키고, 2등급 소자를 담은 테스트 트레이는 두 번째 트레이 플레이트에 안착시키는 방법으로 해당등급에 따라 트레이 플레이트를 승하강시키면서 테스트 트레이를 적재하게 된다.That is, when the tested device is classified into good quality and defective quality, the tray plate for placing the test tray in which the defective quality is contained, and the tray so as to classify the elements judged as good quality by classifying each grade-1 to 8 grades. Load and lower the tray plate according to the corresponding grade by loading multiple plates, placing the test tray containing the first grade element on the first tray plate, and placing the test tray containing the second grade element on the second tray plate. The test tray will then be loaded.
이상에서와 같은 본 발명의 핸들러의 트레이 플레이트는 장소를 적게 차지하고, 효율적인 작업관리가 이루어지며, 장치의 단순화를 이룰 수 있는 장점이 있다.The tray plate of the handler of the present invention as described above takes up less space, has an efficient work management, and has the advantage of simplifying the device.
이상에서와 같은 본 발명은 핸들러의 트레이 플레이트는 장치의 구조가 간단해지므로서 소형화를 이룰 수 있고, 트레이 플레이트의 이탈을 방지하여 소자의 에러를 방지할 수 있으며, 작업효율이 향상되어 생산성이 증가하는 효과가 있다.In the present invention as described above, the tray plate of the handler can be miniaturized by simplifying the structure of the device, it is possible to prevent the error of the device by preventing the departure of the tray plate, the work efficiency is improved, the productivity is increased It is effective.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990016925A KR100311745B1 (en) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | Tray Plate of Handler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990016925A KR100311745B1 (en) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | Tray Plate of Handler |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000073559A true KR20000073559A (en) | 2000-12-05 |
| KR100311745B1 KR100311745B1 (en) | 2001-10-17 |
Family
ID=19584961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990016925A KR100311745B1 (en) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | Tray Plate of Handler |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100311745B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030017759A (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-04 | 삼성전자주식회사 | Memory test apparatus of semiconductor package and memory test method thereof |
| KR100839667B1 (en) * | 2007-02-07 | 2008-06-19 | 미래산업 주식회사 | Test tray of handler |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4417470B2 (en) * | 1998-05-11 | 2010-02-17 | 株式会社アドバンテスト | Tray transfer arm, electronic component handling device, and electronic component testing device |
-
1999
- 1999-05-12 KR KR1019990016925A patent/KR100311745B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030017759A (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-04 | 삼성전자주식회사 | Memory test apparatus of semiconductor package and memory test method thereof |
| KR100839667B1 (en) * | 2007-02-07 | 2008-06-19 | 미래산업 주식회사 | Test tray of handler |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100311745B1 (en) | 2001-10-17 |
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