KR200195812Y1 - Device for holding customor tray i horizontal handler - Google Patents

Device for holding customor tray i horizontal handler Download PDF

Info

Publication number
KR200195812Y1
KR200195812Y1 KR2019980005382U KR19980005382U KR200195812Y1 KR 200195812 Y1 KR200195812 Y1 KR 200195812Y1 KR 2019980005382 U KR2019980005382 U KR 2019980005382U KR 19980005382 U KR19980005382 U KR 19980005382U KR 200195812 Y1 KR200195812 Y1 KR 200195812Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
customer tray
holder plate
plate
tray holder
cylinder
Prior art date
Application number
KR2019980005382U
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19990039239U (en
Inventor
최양환
Original Assignee
정문술
미래산업주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정문술, 미래산업주식회사 filed Critical 정문술
Priority to KR2019980005382U priority Critical patent/KR200195812Y1/en
Publication of KR19990039239U publication Critical patent/KR19990039239U/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200195812Y1 publication Critical patent/KR200195812Y1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Abstract

본 고안은 로더부 또는 언로더부의 스택커(stacker)에 상,하로 적재된 고객트레이를 분리하여 로더부 또는 언로더부의 각 스테이지(stage)로 이송시키는 수평식핸들러의 고객트레이 홀딩장치에 관한 것으로 그 구조를 개선하여 스택커내의 고객트레이를 간단히 홀딩함과 동시에 고객트레이 홀더판의 하강을 감지하는 센서가 파손되더라도 고객트레이 홀더판의 저면이 고객트레이와 충돌하는 현상을 미연에 방지할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a customer tray holding device of a horizontal handler that separates the customer trays loaded on the stacker of the loader unit or the unloader unit and transfers them to each stage of the loader unit or the unloader unit. The structure has been improved to easily hold the customer tray in the stacker and to prevent the bottom of the customer tray holder plate from colliding with the customer tray even if the sensor detecting the lowering of the customer tray holder plate is damaged. will be.

이를 위해, 측판(5)에 슬라이드판(6)을 수평이동가능하게 설치하고 상기 슬라이드판(6)에는 제 1 실린더(8)의 구동에 따라 승강하는 고객트레이 홀더판(10)을 설치하며 고객트레이 홀더판(10)에는 고객트레이(3)를 감지하는 센서(23)를 설치하도록 된 것에 있어서, 고객트레이 홀더판(10)에 설치되어 양측으로 노출된 로드(27)를 상호 반대방향으로 연동시키는 핑거실린더(28)와, 상기 핑거실린더의 로드(27)에 고정되어 핑거실린더(28)의 구동에 따라 양측으로 벌어지거나, 오므러드는 슬라이더(29)와, 상기 슬라이더의 양단에 고객트레이 홀더판(10)의 하방으로 연장되게 고정되어 슬라이더(29)가 내측으로 이동됨에 따라 고객트레이(3)의 측면에 형성된 걸림홈(3b)내에 끼워지는 핑거(30)로 구성되어 있다.To this end, the slide plate 6 is horizontally movable on the side plate 5, and the customer tray holder plate 10 is installed on the slide plate 6 in accordance with the driving of the first cylinder 8. In the tray holder plate 10, a sensor 23 for detecting the customer tray 3 is installed. The rods 27 installed on the customer tray holder plate 10 and exposed to both sides are interlocked in opposite directions. And a slider 29 which is fixed to the finger cylinder 28 and the rod cylinder 27 of the finger cylinder, and is opened or retracted to both sides according to the driving of the finger cylinder 28, and a customer tray holder at both ends of the slider. It is composed of a finger 30 is fixed to extend downward of the plate 10 is fitted into the engaging groove (3b) formed on the side of the customer tray 3 as the slider 29 is moved inward.

Description

수평식핸들러의 고객트레이 홀딩장치Customer Tray Holding Device of Horizontal Handler

본 고안은 성능 검사를 위해 고객트레이(Customer tray)내에 담겨진 반도체 소자를 테스트부측으로 순차 이송시키는 수평식핸들러(Horizontal handler)에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 로더부 또는 언로더부의 스택커(stacker)에 상,하로 적재된 고객트레이를 분리하여 로더부 또는 언로더부의 각 스테이지(stage)로 이송시키는 수평식핸들러의 고객트레이 홀딩장치에 관한 것이다.The present invention relates to a horizontal handler which sequentially transfers semiconductor devices contained in a customer tray to a test part for performance inspection, and more specifically, a stacker of a loader part or an unloader part. The present invention relates to a customer tray holding device of a horizontal handler which separates a customer tray loaded up and down and transfers it to each stage of the loader or unloader.

근래에는 부품의 경박단소화 추세에 따라 반도체 소자(이하 "소자"라 함) 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 있는데, 그 중 대표적인 소자가 TSOP(Thin Small Outline Package)이다.In recent years, semiconductor devices (hereinafter referred to as "devices") have become thinner and thinner in accordance with the trend of lighter and shorter parts. Among them, TSOP (Thin Small Outline Package) is a typical device.

상기 TSOP는 그 두께가 약 1mm정도로써, 제조공정에서 생산완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 취급부주의 등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 핸들러(handler)내부에서의 이송간 또는 테스트중 소자에 충격이 가해지지 않도록 세심한 주의를 하여야 된다.The TSOP has a thickness of about 1 mm, and when the impact is applied to the upper or lower surface due to carelessness or the like during the manufacturing process during the manufacturing process and inspects the performance, the characteristics of the device are deteriorated. Since the molded chip is broken, great care must be taken to ensure that the device is not impacted during the transfer or during the test.

상기 소자는 공정의 이송간에 플라스틱재의 고객트레이내에 담겨져 로더부의 스택커상에 차례로 적재되며, 이러한 고객트레이는 스택커에서 차례로 1개씩 분리되어 로더부의 스테이지측으로 이송된다.The elements are contained in a customer tray of plastic material and are sequentially loaded on the stacker of the loader section during the transfer of the process, and these customer trays are separated one by one from the stacker and sequentially transferred to the stage side of the loader section.

도 1은 종래의 장치를 나타낸 평면도이고 도 2는 종래 장치의 동작을 설명하기 위한 종단면도이며 도 3은 도 2의 A - A선 단면도로서, 출원인에 의해 특허 95-8975호로 선출원되어 등록된 것이다.1 is a plan view showing a conventional apparatus, FIG. 2 is a longitudinal sectional view for explaining the operation of the conventional apparatus, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. .

그 구성을 살펴보면, 로더부 및 언로더부(1)에 설치된 각 스택커(2)의 바닥면에 구동수단의 구동에 따라 소자가 담겨진 고객트레이(3) 또는 테스트 완료된 소자가 담겨질 빈고객트레이(3a)를 1스탭씩 승강시키는 엘리베이터판(4)이 설치되어 있고 상기 로더부 및 언로더부의 후방에 설치된 측판(5)에는 슬라이드판(6)이 수평 LM가이더(7)를 따라 수평이동가능하게 결합되어 있으며 상기 슬라이드판에는 제 1 실린더(8)의 구동에 따라 수직 LM가이더(9)를 따라 승강하는 고객트레이 홀더판(10)이 외팔보형태로 결합되어 있다.Looking at the configuration, the customer tray (3) containing the element in accordance with the drive of the drive means or the empty customer tray to contain the tested element on the bottom surface of each stacker (2) installed in the loader unit and the unloader unit ( An elevator plate 4 for raising and lowering 3a) by one step is provided, and on the side plate 5 provided at the rear of the loader and unloader portions, the slide plate 6 is horizontally movable along the horizontal LM guider 7. The customer tray holder plate 10 which is coupled to the slide plate and moves up and down along the vertical LM guider 9 according to the driving of the first cylinder 8 is coupled in a cantilevered shape.

상기 고객트레이 홀더판(10)의 상부에 고정된 LM가이더(11)에는 제 2 실린더(12)의 구동에 따라 수평이동하는 슬라이더(13)가 결합되어 있고 상기 슬라이더의 양측에는 슬라이더의 이동방향과 직교되는 장공(14a)이 각각 형성된 한쌍의 제 1 링크(14)가 설치되어 있는데, 상기 장공(14a)에는 슬라이더의 양단에 형성된 돌기(15)가 끼워져 있어 슬라이더(13)의 진퇴운동에 따라 상기 제 1 링크(14)가 슬라이더의 이동방향과 반대방향으로 연동하게 된다.The LM guider 11 fixed to the upper portion of the customer tray holder plate 10 is coupled with a slider 13 which moves horizontally in accordance with the driving of the second cylinder 12, and both sides of the slider have a direction of movement of the slider. A pair of first links 14 each having an orthogonal long hole 14a formed therein is provided, and the long holes 14a are fitted with protrusions 15 formed at both ends of the slider. The first link 14 is interlocked in the direction opposite to the moving direction of the slider.

그리고 고객트레이 홀더판(10)의 저면에는 고객트레이(3)의 양측면에 형성된 걸림홈(3b)에 끼워져 상기 고객트레이를 홀딩하는 4개의 걸림편(16)이 회동가능하게 설치되어 있고 상기 걸림편과 제 1 링크(14)의 양단은 제 2 링크(17)에 의해 상호 연결되어 있는데, 이때 제 2 링크(17)의 일단은 걸림편(16)에 고정되고 다른 일단은 핀(18)에 의해 제 1 링크(14)와 힌지 결합되어 있다.In addition, the bottom surface of the customer tray holder plate 10 is provided with four locking pieces 16 rotatably installed in the locking grooves 3b formed on both sides of the customer tray 3 to hold the customer tray. And both ends of the first link 14 are interconnected by a second link 17, wherein one end of the second link 17 is fixed to the engaging piece 16 and the other end is connected to the pin 18. It is hinged to the first link 14.

또한, 로더부 및 언로더부(1)의 각 스테이지사이에는 얹혀진 고객트레이(3)가 통공(1a)을 통해 각 스테이지의 상부로 노출되도록 하는 안착판(19)이 승강가능하게 설치되어 있고 상기 안착판의 일단에는 지지판(20)에 고정된 제 3 실린더(21)의 로드가 외팔보형태로 고정되어 있다.In addition, between each stage of the loader unit and the unloader unit 1, a seating plate 19 is provided to be elevated to allow the customer tray 3 placed thereon to be exposed to the upper portion of each stage through the through hole 1a. At one end of the seating plate, a rod of the third cylinder 21 fixed to the support plate 20 is fixed in a cantilevered shape.

한편, 고객트레이 홀더판(10)의 상부에는 도 2에 나타낸 바와 같이 하향절곡된 절곡편(22)이 고정되어 있고 상기 절곡편의 내측에는 고객트레이(3)의 홀딩여부를 감지하는 센서(23)가 고정되어 있으며 상기 안착판(19)의 하사점에 위치되는 지지판(20)에는 안착판에 얹혀진 고객트레이를 감지하는 또 다른 센서(24)가 고정되어 있다.On the other hand, the upper portion of the customer tray holder plate 10 is fixed to the bent piece 22 is bent down as shown in Figure 2 and the sensor 23 for detecting the holding of the customer tray (3) inside the bent piece Is fixed and another sensor 24 for detecting the customer tray mounted on the mounting plate is fixed to the support plate 20 located at the bottom dead center of the seating plate 19.

상기 고객트레이 홀더판(10)과 제 1 링크(14)사이에는 제 2 실린더(12)의 로드가 당겨질 때 제 1 링크(14)를 더욱 안정적으로 복원시키는 인장스프링과 같은 탄성부재(25)가 연결되어 있고 고객트레이 홀더판(10)의 저면에는 걸림편(16)이 고객트레이를 홀딩하기 직전에 스택커(2) 또는 안착판(19)에 얹혀진 고객트레이(3)의 위치를 재결정하는 위치결정핀(26)이 고정되어 있다.Between the customer tray holder plate 10 and the first link 14, an elastic member 25 such as a tension spring for restoring the first link 14 more stably when the rod of the second cylinder 12 is pulled is provided. Connected to the bottom surface of the customer tray holder plate 10 and the position where the catching piece 16 repositions the customer tray 3 placed on the stacker 2 or the seating plate 19 immediately before holding the customer tray. The crystal pin 26 is fixed.

따라서 스택커(2)내에 소자가 담겨진 고객트레이(3)를 차례로 적재시킨 상태에서 엘리베이터판(4)에 얹혀진 최상부의 고객트레이(3)를 센서(도시는 생략함)가 감지할 때 까지 상기 엘리베이터판을 상승시키고 나면 슬라이드판(6)이 측판(5)에 고정된 수평 LM가이드(7)를 따라 스택커(2)에 적재된 고객트레이(3)의 직상부로 이송되어와 일측의 고객트레이 홀더판(10)이 고객트레이(3)와 일치되는 위치에서 이동을 정지하게 된다.Therefore, in the state where the customer tray 3 containing the elements in the stacker 2 is sequentially loaded, the elevator (not shown) detects the uppermost customer tray 3 mounted on the elevator plate 4 by the sensor (not shown). After the plate is raised, the slide plate 6 is transferred to the upper portion of the customer tray 3 loaded on the stacker 2 along the horizontal LM guide 7 fixed to the side plate 5, and the customer tray on one side. The holder plate 10 stops moving at a position coinciding with the customer tray 3.

이러한 상태에서 제 1 실린더(8)가 작동하여 고객트레이 홀더판(10)을 잡아 당기면 상기 고객트레이 홀더판이 수직 LM가이더(9)에 안내되어 하강하게 되는데, 상기 고객트레이 홀더판(10)은 로드의 하사점을 감지하도록 제 1 실린더의 내부에 설치된 센서(도시는 생략함)가 로드를 감지할 때까지 하강하게 된다.In this state, when the first cylinder 8 operates to pull out the customer tray holder plate 10, the customer tray holder plate is guided to the vertical LM guide 9 to descend, and the customer tray holder plate 10 is loaded. The sensor (not shown) installed inside the first cylinder to detect the bottom dead center is lowered until it detects the load.

이와 같이 고객트레이 홀더판(10)이 하강하여 걸림편(16)이 고객트레이(3)에 형성된 걸림홈(3b)과 수평되게 위치하면 상기 고객트레이(3)는 위치결정편(26)에 의해 위치가 재결정된다.As such, when the customer tray holder plate 10 descends and the locking piece 16 is positioned horizontally with the locking groove 3b formed in the customer tray 3, the customer tray 3 is moved by the positioning piece 26. The location is re-determined.

이러한 상태에서 제 2 실린더(12)가 동작하여 슬라이더(13)를 잡아 당기면 제 1 링크(14)가 도 1의 화살표방향으로 이동하면서 선회운동하여 제 2 링크(17)를 회동시키게 되므로 상기 제 2 링크의 일단에 고정된 걸림편(16)이 고객트레이(3)의 걸림홈(3b)내측으로 회동하여 스택커(2)의 최상부에 위치되어 있던 1개의 고객트레이(3)를 홀딩하게 된다.In this state, when the second cylinder 12 operates to pull the slider 13, the first link 14 pivots while moving in the direction of the arrow of FIG. 1, thereby rotating the second link 17. The locking piece 16 fixed to one end of the link rotates inside the locking groove 3b of the customer tray 3 to hold one customer tray 3 positioned at the top of the stacker 2.

상기한 바와 같은 동작으로 고객트레이 홀더판(10)이 1개의 고객트레이(3)를 홀딩하고 나면 제 1 실린더(8)가 동작하여 상기 고객트레이 홀더판(10)을 상사점까지 상승시키게 되므로 스택커(2)로부터 고객트레이를 분리하는 작업이 완료되는 것이다.After the customer tray holder plate 10 holds one customer tray 3 by the operation as described above, the first cylinder 8 operates to raise the customer tray holder plate 10 to the top dead center. The work of separating the customer tray from the beaker 2 is completed.

그러나 이러한 종래의 장치는 고객트레이(3)를 홀딩하는 걸림편(16)을 고객트레이 홀더판(10)에 회동가능하게 설치하여 상기 걸림편이 제 1 실린더(8)의 진퇴운동에 따라 연동하는 슬라이더(13) 및 제 1, 2링크(14)(17)에 의해 회동하도록 되어 있어 많은 부품수로 인하여 제작에 따른 생산성의 저하를 초래하게 되었다.However, such a conventional device is provided with a rotatable piece 16 holding the customer tray 3 rotatably on the customer tray holder plate 10 so that the latching piece is interlocked in accordance with the retraction movement of the first cylinder 8. (13) and the first and second links 14 and 17 are rotated, resulting in a decrease in productivity due to the large number of parts.

또한, 고객트레이 홀더판(10)이 제 1 실린더(8)의 로드에 직접 고정되어 있어 고객트레이 홀더판의 하강을 감지하는 센서에 고장이 발생될 경우에는 상기 고객트레이 홀더판(10)이 설정된 지점보다 더 하강하게 되고, 이에 따라 고객트레이 홀더판(10)의 저면이 고객트레이(3)의 상면을 강하게 눌러주므로 고객트레이내에 담겨져 있던 소자가 파손되는 등의 문제점도 있었다.In addition, when the customer tray holder plate 10 is directly fixed to the rod of the first cylinder 8 and a failure occurs in the sensor detecting the lowering of the customer tray holder plate, the customer tray holder plate 10 is set. Since the bottom of the customer tray holder plate 10 is strongly pressed against the upper surface of the customer tray 3, there is a problem such that the element contained in the customer tray is broken.

본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 구조를 개선하여 스택커내의 고객트레이를 간단히 홀딩함과 동시에 고객트레이 홀더판의 하강을 감지하는 센서가 파손되더라도 고객트레이 홀더판의 저면이 고객트레이와 충돌하는 현상을 미연에 방지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve such a problem in the related art, and the structure of the customer tray holder plate is improved even if the sensor which detects the fall of the customer tray holder plate is damaged while the holding tray of the customer tray is easily improved by improving its structure. The purpose is to prevent the bottom surface from colliding with the customer tray in advance.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 측판에 슬라이드판을 수평이동가능하게 설치하고 상기 슬라이드판에는 제 1 실린더의 구동에 따라 승강하는 고객트레이 홀더판을 설치하며 고객트레이 홀더판에는 고객트레이를 감지하는 센서를 설치하도록 된 것에 있어서, 고객트레이 홀더판에 설치되어 양측으로 노출된 로드를 상호 반대방향으로 연동시키는 핑거실린더와, 상기 핑거실린더의 로드에 고정되어 핑거실린더의 구동에 따라 양측으로 벌어지거나, 오므러드는 슬라이더와, 상기 슬라이더의 양단에 고객트레이 홀더판의 하방으로 연장되게 고정되어 슬라이더가 내측으로 이동됨에 따라 고객트레이의 측면에 형성된 걸림홈내에 끼워지는 핑거로 구성된 수평식핸들러의 고객트레이 홀딩장치가 제공된다.According to a form of the present invention for achieving the above object, the slide plate is installed on the side plate so as to move horizontally, and the slide plate is provided with a customer tray holder plate which is elevated according to the driving of the first cylinder, In order to install a sensor for detecting the tray, the finger cylinder is installed on the customer tray holder plate and interlocked in the opposite direction to the rod exposed to both sides, and fixed to the rod of the finger cylinder, both sides according to the driving of the finger cylinder A horizontal handler consisting of a slider which is opened or retracted at both ends of the slider and fixed to extend downwardly of the customer tray holder plate so that the finger fits into a locking groove formed on the side of the customer tray as the slider is moved inward. Customer tray holding device is provided.

도 1은 종래의 장치를 나타낸 평면도1 is a plan view showing a conventional device

도 2는 종래 장치의 동작을 설명하기 위한 종단면도Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view for explaining the operation of the conventional device

도 3은 도 2의 A - A선 단면도3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 4는 본 고안의 장치를 나타낸 평면도4 is a plan view showing the device of the present invention

도 5a 및 도 5b는 본 고안 장치의 동작을 설명하기 위한 종단면도5a and 5b is a longitudinal cross-sectional view for explaining the operation of the device of the present invention

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

6 : 슬라이드판 8 : 제 1 실린더6: slide plate 8: first cylinder

10 : 고객트레이 홀더판 27 : 로드10: customer tray holder plate 27: rod

28 : 핑거실린더 29 : 슬라이더28: finger cylinder 29: slider

30 : 핑거 31 : 승강봉30: finger 31: lifting rod

이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 도 4 내지 도 5를 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 4 to 5 as an embodiment.

도 4는 본 고안의 장치를 나타낸 평면도이고 도 5a 및 도 5b는 본 고안 장치의 동작을 설명하기 위한 종단면도로서, 본 고안의 구성중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.Figure 4 is a plan view showing a device of the present invention and Figures 5a and 5b is a longitudinal cross-sectional view for explaining the operation of the device of the present invention, the same parts as the conventional configuration of the configuration of the present invention omitting the description and the same reference numerals I will grant it.

본 고안은 고객트레이 홀더판(10)에 양측으로 노출된 로드(27)를 상호 반대방향으로 연동시키는 핑거실린더(28)가 설치되어 있고 상기 핑거실린더의 로드에는 핑거실린더의 구동에 따라 양측으로 벌어지거나, 오므러드는 슬라이더(29)가 고정되어 있으며 상기 슬라이더(29)의 양단에는 슬라이더가 내측으로 이동됨에 따라 고객트레이(3)의 측면에 형성된 걸림홈(3b)내에 끼워지는 핑거(30)가 고객트레이 홀더판의 하방으로 연장되게 고정되어 있다.The present invention is provided with a finger cylinder 28 for interlocking the rods 27 exposed on both sides in the customer tray holder plate 10 in opposite directions, and the rods of the finger cylinder are opened to both sides according to the driving of the finger cylinder. The slider 29 which is lost or retracted is fixed, and both ends of the slider 29 have a finger 30 fitted into the engaging groove 3b formed on the side of the customer tray 3 as the slider is moved inward. It is fixed to extend under the customer tray holder plate.

상기 고객트레이 홀더판(10)을 승강시키는 제 1 실린더(8)의 로드(8a)에 승강봉(31)이 고정되어 있고 상기 승강봉의 외주면에는 외력이 작용되지 않을 때 상기 고객트레이 홀더판(10)을 하방으로 눌러주는 코일스프링(32)이 끼워져 있으며 상기 승강봉(21)의 상단에는 코일스프링의 이탈을 방지하는 코일스프링 이탈방지부재(33)가 고정되어 있다.The customer tray holder plate 10 when the lifting bar 31 is fixed to the rod 8a of the first cylinder 8 for elevating the customer tray holder plate 10 and no external force is applied to the outer circumferential surface of the lifting bar. The coil spring 32 for pressing downward) is fitted, and the coil spring release preventing member 33 is fixed to the upper end of the lifting rod 21 to prevent the coil spring from being separated.

이는, 제 1 실린더(8)의 로드가 하강시 스트로크를 감지하는 센서의 파손 등으로 인해 고객트레이 홀더판(10)이 설정된 값보다 더 하강하더라도 승강봉(31)만 코일스프링(32)을 압축시키면서 하강하고 고객트레이 홀더판(10)은 더 이상 하강하지 않도록 하여 고객트레이(3) 또는 상기 고객트레이에 담겨져 있던 소자가 파손되는 현상을 미연에 방지하기 위함이다.This is because only the lifting rod 31 compresses the coil spring 32 even if the customer tray holder plate 10 is lower than the set value due to breakage of the sensor that detects the stroke when the rod of the first cylinder 8 is lowered. While lowering while the customer tray holder plate 10 is no longer lowered to prevent the phenomenon that the customer tray 3 or the element contained in the customer tray is damaged in advance.

상기 고객트레이 홀더판(10)에 결합되는 승강봉(31)이 고객트레이 홀더판의 상면보다 상측으로 노출되지 않도록 고객트레이 홀더판(10)의 후방에 절결부(10a)가 형성되어 있다.The notch 10a is formed at the rear of the customer tray holder plate 10 so that the lifting bar 31 coupled to the customer tray holder plate 10 is not exposed to the upper side of the customer tray holder plate.

이는, 코일스프링(32)이 끼워지는 승강봉(31)이 고객트레이 홀더판(10)보다 상측으로 돌출되게 설치될 경우에는 고객트레이 홀더판(10)보다 상측으로 돌출되는 양만큼 별도의 공간부를 필요로 하여 장비가 필요 이상으로 커지기 때문이다.This is, when the lifting bar 31 to which the coil spring 32 is fitted is installed to protrude upward from the customer tray holder plate 10, the additional space portion protrudes upward from the customer tray holder plate 10. This is because the equipment becomes larger than necessary.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above are as follows.

종래 장치와 마찬가지로 스택커(2)내에 소자가 담겨진 고객트레이(3)를 차례로 적재한 다음 엘리베이터판(4)에 얹혀진 최상부의 고객트레이(3)를 센서(도시는 생략함)가 감지할 때 까지 엘리베이터판을 상승시킨 상태에서 수평 LM가이드(7)에 결합된 슬라이드판(6)을 이송시키고자 하는 고객트레이(3)의 직상부로 이송시킨다.Like the conventional apparatus, the customer tray 3 containing the elements in the stacker 2 is sequentially loaded, and then the sensor (not shown) detects the uppermost customer tray 3 mounted on the elevator plate 4. With the elevator plate raised, the slide plate 6 coupled to the horizontal LM guide 7 is transferred to the upper portion of the customer tray 3 to be transferred.

상기한 바와 같은 동작시 슬라이더(29)는 핑거실린더(28)의 구동에 따라 양측으로 상호 벌어진 상태이다.In the above operation, the slider 29 is opened to both sides according to the driving of the finger cylinder 28.

이러한 상태에서 제 1 실린더(8)가 작동하여 고객트레이 홀더판(10)을 잡아 당기면 상기 고객트레이 홀더판(10)은 제 1 실린더(8)의 설정된 스트로크만큼 하강하게 되는데, 상기 고객트레이 홀더판(10)이 제 1 실린더(8)의 하사점까지 하강한 상태에서는 슬라이더(29)의 양단에 고정된 핑거(30)가 고객트레이(3)의 양측에 형성된 걸림홈(3b)에 근접되게 위치된다.In this state, when the first cylinder 8 operates to pull the customer tray holder plate 10, the customer tray holder plate 10 is lowered by the set stroke of the first cylinder 8. In the state where the 10 is lowered to the bottom dead center of the first cylinder 8, the fingers 30 fixed to both ends of the slider 29 are positioned close to the locking grooves 3b formed on both sides of the customer tray 3. do.

그 후, 상기 고객트레이 홀더판(10)에 설치된 핑거실린더(28)가 구동하여 양측에 위치된 로드(27)를 동시에 잡아 당기면 상기 로드에 고정된 슬라이더(29)가 상호 내측으로 오므러 들게 되므로 핑거(30)가 고객트레이(3)의 걸림홈(3b)에 끼워져 고객트레이(3)를 홀딩하게 되는데, 상기 고객트레이는 종래와 마찬가지로 위치결정핀(26)에 의해 위치가 재결정된다.Thereafter, when the finger cylinder 28 installed on the customer tray holder plate 10 is driven to pull rods 27 positioned on both sides simultaneously, the sliders 29 fixed to the rods are retracted inwardly. The finger 30 is inserted into the engaging groove 3b of the customer tray 3 to hold the customer tray 3, which is repositioned by the positioning pin 26 as in the prior art.

상기한 바와 같은 동작으로 핑거(30)가 스택커(2)에 위치된 고객트레이(3)를 홀딩하게 되면 절곡편(22)에 고정된 센서(23)가 고객트레이(3)의 홀딩을 감지하여 제 1 실린더(8)를 로드(8a)를 상방으로 밀어 올리게 되므로 슬라이드판(6)이 안착판(19)의 하강시 간섭이 발생되지 않도록 수평 LM가이더(7)를 따라 일측으로 이동하게 된다.When the finger 30 holds the customer tray 3 located in the stacker 2 by the above-described operation, the sensor 23 fixed to the bending piece 22 senses the holding of the customer tray 3. Since the first cylinder 8 is pushed up the rod 8a upward, the slide plate 6 moves to one side along the horizontal LM guider 7 so that no interference occurs when the seating plate 19 descends. .

따라서 종래와 마찬가지로 로더부 또는 언로더부(1)의 스테이지상에 있던 안착판(19)이 제 3 실린더(21)의 구동으로 하강하고 나면 일측으로 이송되어 있던 슬라이드판(6)이 이동되므로 고객트레이 홀더판(10)에 홀딩된 고객트레이(3)가 안착판(19)의 직상부에 위치된다.Therefore, the slide plate 6, which has been transferred to one side, is moved after the seating plate 19 on the stage of the loader unit or the unloader unit 1 is lowered by the driving of the third cylinder 21 as in the related art. The customer tray 3 held on the tray holder plate 10 is located directly above the seating plate 19.

이러한 상태에서 제 1 실린더(8)의 구동으로 상사점에 위치되어 있던 고객트레이 홀더판(10)이 하강하면 핑거(30)에 의해 고객트레이 홀더판(10)에 홀딩되어 있던 고객트레이(3)가 안착판(19)상에 얹혀지게 된다.In this state, when the customer tray holder plate 10 positioned at the top dead center by the driving of the first cylinder 8 is lowered, the customer tray 3 held by the customer tray holder plate 10 by the finger 30 is held. Is placed on the seating plate (19).

그 후, 핑거실린더(28)의 구동으로 상호 내측으로 오므러들었던 슬라이더(29)가 양측으로 벌어지면 슬라이더(29)에 고정되어 있던 핑거(30)가 고객트레이(3)의 걸림홈(3b)에서 빠져나와 홀딩상태를 해제하게 되므로 고객트레이가 안착판에 얹혀지게 된다.Thereafter, when the sliders 29, which are retracted inwardly with each other by the driving of the finger cylinders 28, are opened to both sides, the fingers 30 fixed to the sliders 29 are caught by the customer grooves 3b. The customer tray will be placed on the seating plate as it exits the holding state and releases the holding state.

이와 같이 스택커(2)에서 분리된 고객트레이(3)가 안착판(19)의 상면에 얹혀지고 나면 슬라이드판(6)은 다시 안착판(19)의 상승시 간섭이 발생되지 않도록 일측으로 이송됨과 동시에 안착판(19)은 제 3 실린더(21)의 구동으로 상승하게 되므로 안착판에 얹혀진 고객트레이(3)가 로더부의 통공(1a)을 통해 로더부 스테이지상으로 노출되고, 이에 따라 픽커가 고객트레이내에 담겨진 소자를 테스트부로 공급할 수 있게 되는 것이다.After the customer tray 3 separated from the stacker 2 is placed on the upper surface of the seating plate 19, the slide plate 6 is transported to one side so that interference does not occur when the seating plate 19 is raised again. At the same time, the seating plate 19 is lifted by the driving of the third cylinder 21, so that the customer tray 3 mounted on the seating plate is exposed on the loader part stage through the hole 1a of the loader part, and thus the picker is exposed. The device contained in the customer tray can be supplied to the test unit.

이상에서와 같이 본 고안은 핑거실린더(28)의 구동에 따라 한쌍의 슬라이더(29)가 상호 반대방향으로 이동하면서 상기 슬라이더에 고정된 핑거(30)를 이용, 고객트레이(3)를 홀딩하도록 되어 있어 그 구조가 간단해지게 되므로 제작에 따른 생산성을 극대화하게 된다.As described above, according to the present invention, as the pair of sliders 29 move in opposite directions according to the driving of the finger cylinder 28, the customer tray 3 is held by using the fingers 30 fixed to the sliders. Therefore, the structure is simplified, thereby maximizing productivity according to production.

또한, 고객트레이(3)를 홀딩하기 위해 고객트레이 홀더판(10)이 하강시 제 1 실린더(8)의 구동을 제어하는 센서가 파손되더라도 승강봉(31)에 끼워진 코일스프링(32)을 압축시키면서 제 1 실린더(8)의 로드(8a)만이 당겨지므로 고객트레이 홀더판(10)이 고객트레이(3)와 충돌하는 현상도 미연에 방지하게 되는 효과를 얻게 된다.In addition, in order to hold the customer tray 3, the coil spring 32 fitted to the lifting rod 31 is compressed even if the sensor controlling the driving of the first cylinder 8 is damaged when the customer tray holder plate 10 is lowered. While only the rod 8a of the first cylinder 8 is pulled, the effect that the customer tray holder plate 10 collides with the customer tray 3 is also prevented.

Claims (3)

측판에 슬라이드판을 수평이동가능하게 설치하고 상기 슬라이드판에는 제 1 실린더의 구동에 따라 승강하는 고객트레이 홀더판을 설치하며 고객트레이 홀더판에는 고객트레이를 감지하는 센서를 설치하도록 된 것에 있어서, 고객트레이 홀더판에 설치되어 양측으로 노출된 로드를 상호 반대방향으로 연동시키는 핑거실린더와, 상기 핑거실린더의 로드에 고정되어 핑거실린더의 구동에 따라 양측으로 벌어지거나, 오므러드는 슬라이더와, 상기 슬라이더의 양단에 고객트레이 홀더판의 하방으로 연장되게 고정되어 슬라이더가 내측으로 이동됨에 따라 고객트레이의 측면에 형성된 걸림홈내에 끼워지는 핑거로 구성된 수평식핸들러의 고객트레이 홀딩장치.In that the slide plate is installed on the side plate so as to move horizontally, and the slide plate is provided with a customer tray holder plate which moves up and down according to the driving of the first cylinder, and the customer tray holder plate has a sensor for detecting the customer tray. A finger cylinder installed on the tray holder plate and interlocking the rods exposed to both sides in opposite directions; a slider fixed to the rod of the finger cylinder and slid to both sides according to the driving of the finger cylinder; Customer tray holding device of a horizontal handler consisting of a finger which is fixed to extend to the lower side of the customer tray holder plate at both ends to fit in the engaging groove formed on the side of the customer tray as the slider is moved inward. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 제 1 실린더의 로드에 고정된 승강봉과, 상기 승강봉의 외주면에 끼워져 고객트레이 홀더판을 하방으로 눌러주는 코일스프링과, 상기 승강봉의 상단에 고정되어 코일스프링의 이탈을 방지하는 코일스프링 이탈방지부재로 구성되어 제 1 실린더의 구동에 따라 고객트레이 홀더판이 설정된 값보다 더 하강하더라도 승강봉만 코일스프링을 압축시키면서 하강하고 고객트레이 홀더판은 하강하지 않도록 된 수평식핸들러의 고객트레이 홀딩장치.A lifting rod fixed to the rod of the first cylinder, a coil spring inserted into an outer circumferential surface of the lifting rod to press the customer tray holder plate downward, and a coil spring separation preventing member fixed to an upper end of the lifting rod to prevent the coil spring from being separated. The customer tray holding device of the horizontal handler configured to be lowered while compressing the coil spring only the lifting rod and the customer tray holder plate is not lowered even if the customer tray holder plate is lowered more than the set value according to the driving of the first cylinder. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 고객트레이 홀더판의 후방에 절결부를 형성하여 승강봉의 상단이 고객트레이 홀더판보다 상측으로 노출되지 않고 코일스프링이 끼워진 승강봉이 절결부내에 위치하도록 된 수평식핸들러의 고객트레이 홀딩장치.A customer tray holding device of a horizontal handler in which a cutout is formed at the rear of the customer tray holder plate so that the upper end of the lifting rod is not exposed to the upper side of the customer tray holder plate, and the lifting bar with the coil spring is placed in the cutout.
KR2019980005382U 1998-04-07 1998-04-07 Device for holding customor tray i horizontal handler KR200195812Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019980005382U KR200195812Y1 (en) 1998-04-07 1998-04-07 Device for holding customor tray i horizontal handler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019980005382U KR200195812Y1 (en) 1998-04-07 1998-04-07 Device for holding customor tray i horizontal handler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990039239U KR19990039239U (en) 1999-11-05
KR200195812Y1 true KR200195812Y1 (en) 2000-10-02

Family

ID=19533482

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019980005382U KR200195812Y1 (en) 1998-04-07 1998-04-07 Device for holding customor tray i horizontal handler

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200195812Y1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100683962B1 (en) * 2005-12-29 2007-02-15 주식회사 가림티에스 Back light unit loading apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990039239U (en) 1999-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0146216B1 (en) Loading, unloading apparatus of semiconductor detector
JP2854276B2 (en) Tray unit for semiconductor device test
KR100285658B1 (en) Handler multitacker
JPH115629A (en) Pick and place device for handler system for semiconductor device test
KR200195812Y1 (en) Device for holding customor tray i horizontal handler
US6425178B1 (en) Carrier for a module integrated circuit handler
KR19990065960A (en) Module IC loading and unloading device from the module IC handler to the socket
KR0143334B1 (en) The customer tray conveyor for the tester of semiconductor device
KR102450768B1 (en) The handler for the device test
KR19990055501A (en) Picker Spacing Device of Module IC Handler
KR100223095B1 (en) Device loading and unloading apparatus
KR100270782B1 (en) Device for unloading semiconductor device according to grade in horizontal handler
KR19990081673A (en) Test Tray Feeder in Cooling Chamber of Horizontal Handler
KR100724148B1 (en) Method of loading and unloading module ic in the test part of module ic handler and device thereof
KR20000065748A (en) device for adjusting distance of picker in burn-in test handler
KR100270783B1 (en) Device for unloading semiconductor device according to grade in horizontal handler
KR19980056230A (en) Test Ray Feeding Method of Horizontal Handler
KR100194325B1 (en) Device transfer method of horizontal handler
KR100311745B1 (en) Tray Plate of Handler
KR200159833Y1 (en) Structure for putting element safely for position decision block of horizontal handler
KR0122278Y1 (en) Tester for a semiconductor device
KR940009574B1 (en) Handler for device tester
KR200159194Y1 (en) Collision preventing apparatus of transfer
KR20090012808A (en) Apparatus and method for separating chip
KR0110046Y1 (en) Device-arranging apparatus for semiconductor device inspector

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110701

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee