KR20000066449A - 노광 조도 측정 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 노광 조도 측정 방법에 관한 것으로, 특히 정확한 조도 및 조도 균일성을 측정하는데 적당한 노광 조도 측정 방법에 관한 것으로서, 이에 따른 노광 조도 측정 방법은 렌즈,스테이지, 센서를 구비한 노광장치에 있어서, 상기 렌즈에 빛을 조사하는 단계, 상기 상기 렌즈의 풀필드보다 더 큰 리니어 어레이 센서를 이용하여 빛을 감지하는 단계, 상기 렌즈의 풀필드의 각 영역에 대한 조도를 한 번에 측정하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

노광 조도 측정 방법{METHOD EXPOSURE ILLUMINATION FOR EXPOSING}

본 발명은 노광에 관한 것으로, 특히 리니어 어레이 센서를 이용한 노광 조도 측정 방법에 관한 것이다.

일반적으로 노광장치는 조명시스템, 스테이지시스템, 얼라인시스템, 포커싱시스템으로 구성된다.

또한 조사된 면에 빛이 닿는 정도를 조도라 하며 단위면적당 광속(룩스)으로 나타낸다.

이하 첨부도면을 참조하여 종래기술에 따른 노광 조도 측정 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 1 은 종래기술에 따른 노광 조도 측정 방법을 나타낸 평면도로서, 빛이 조사되는 렌즈(1)와, 상기 렌즈(1)를 통과한 빛을 감지하여 조도를 측정하는 센서 (2)와, 상기 센서(2)의 감지동작에 따라 단계적으로 이동하는 스테이지(3)로 구성 된다.

도 2 에 도시된 바와 같이, 마스크가 로딩되어 있지 않은 초기 상태에서 렌즈(1)에 빛을 조사한 후, 상기 렌즈를 통과한 빛을 감지하는 센서(2)에 의해 스테이지(3)가 빛이 도달하는 위치로 이동한다.

여기서 상기 렌즈(1)의 풀필드에 대해 상기 센서(2)의 풀필드가 작기 때문에 렌즈를 통과한 빛의 일부만을 센서(2)가 감지한다.

이어 상기 렌즈(1)를 통과한 빛을 받은 센서(2)는 상기 렌즈(1)의 풀필드 (lens full field) 22mm×22mm 에 대하여 가로, 세로로 각각을 22등분한 1.0mm의 피치만큼을 상기 스테이지(3)가 이동한다.

이어 상기 렌즈(1)의 풀필드에 대해 22등분한 총 484개의 영역 중 제1 영역으로 상기 스테이지(3)가 이동하면 빛을 상기 렌즈에 조사하여 제1 영역에 대한 조도를 측정한다.

이어 상기 제1 영역에 대한 조도를 측정한 후 상기 렌즈(2)의 풀필드에 대한 제2 영역으로 상기 스테이지(3)가 이동한다.

이어 빛이 상기 제2 영역에 조사되어 상기 렌즈(2)의 풀필드에 대한 제2 영역의 조도를 측정한 후, 상기 렌즈(2)의 풀필드에 대한 제3 영역으로 상기 스테이지(3)가 이동한다.

이어 빛이 상기 제3 영역에 조사되어 상기 렌즈(2)의 풀필드에 대한 제3 영역의 조도를 측정한 후, 상기 렌즈(2)의 풀필드에 대한 제4 영역으로 상기 스테이지(3)가 이동한다.

이어 상기 렌즈에 빛이 조사된 후 상기 제4 영역에 대한 조도를 측정한다.

상기와 같은 과정을 스텝 앤 리피트(step and repeat)하면서 상기 스테이지 (3)는 렌즈의 N번 째 영역(제484 영역)으로 이동하여 상기 렌즈(1)의 풀필드에 대한 각 영역의 조도를 측정한다.

그러나 상기와 같은 종래기술의 노광 조도 측정 방법은 n등분한 영역을 스텝 앤 리피트(step and repeat) 이동해가면서 측정하기 때문에 시간이 많이 소요되고, 스테이지의 정밀도가 나쁠 경우 정확한 위치를 벗어나 렌즈의 노광 조도 및 조도 균일성을 측정할 수 없는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 풀필드가 렌즈보다 큰 리니어 어레이 센서를 이용함으로써 스테이지 이동없이 렌즈의 정확한 노광 조도 및 조도 균일성을 측정하는데 적당한 노광 조도 측정 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1a 내지 도 1b 는 종래기술에 따른 노광 조도 측정 방법을 나타낸 평면도 및 단면도

도 2 는 종래기술에 따른 노광 조도 측정 방법을 나타낸 순서도

도 3a 내지 도 3b 는 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법을 나타낸 평면도 및 단면도

도 4 는 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법을 나타낸 순서도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 렌즈 20 : 리니어 어레이 센서

30 : 스테이지

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법은 렌즈,스테이지, 센서를 구비한 노광장치에 있어서, 상기 렌즈에 빛을 조사하는 단계, 상기 상기 렌즈의 풀필드보다 더 큰 리니어 어레이 센서를 이용하여 빛을 감지하는 단계, 상기 렌즈의 풀필드의 각 영역에 대한 조도를 한 번에 측정하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

이하 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법에 관하여 설명하면 다음과 같다.

도 3 은 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법을 나타낸 평면도이고, 도 4 는 본 발명에 따른 조도 측정 방법을 나타낸 순서도이다.

도 3 에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법은 렌즈 (10), 스테이지(30), 센서(20)를 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법을 첨부도면 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

즉 상기 렌즈(10)에 빛을 조사하는 단계, 상기 렌즈(10)의 풀필드보다 더 큰 리니어 어레이 센서(20)를 이용하여 빛을 감지하는 단계, 상기 렌즈(10)의 풀필드의 각 영역에 대한 조도를 한 번에 측정하는 단계를 포함하여 구성된다.

먼저 마스크로 로딩되지 않은 초기 상태에서 조도 측정을 위해서 빛을 조사할 때, 렌즈 (10)를 통과하는 빛이 센서(20)에 도달한다.

이어 상기 렌즈(10)를 통과한 빛은 상기 리니어 어레이 센서(20)에 모두 도달한다.

이어 상기 스테이지(30)의 일정 위치에 고정된 상기 센서(20)는 상기 렌즈 (10)를 통과한 빛을 감지한다.

이어 상기 렌즈(10)의 풀필드(22㎜×22㎜)에 대하여 상기 센서(20)의 풀필드가 더 크므로 상기 스테이지(30)가 이동하지 않고 한번의 조사만으로도 상기 렌즈의 풀필드에 대하여 각 영역에 대한 조도를 측정한다.

이상에서 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 노광 조도 측정 방법은 스테이지 이동이 없으므로 정확한 노광 조도 및 조도 균일성을 동시에 측정할 수 있고, 한번의 조사만으로 노광 조도를 측정하는 온샷(one shot)방식이므로 노광 조도 측정에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있다.

Claims (1)

1. 렌즈,스테이지, 센서를 구비한 노광장치에 있어서,

   상기 렌즈에 빛을 조사하는 단계,

   상기 렌즈의 풀필드보다 더 큰 리니어 어레이 센서를 이용하여 빛을 감지하는 단계,

   상기 렌즈의 풀필드의 각 영역에 대한 조도를 한 번에 측정하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 노광 조도 측정 방법.