KR101319639B1 - 광조도와 광량 측정 모듈 및 이를 이용한 멀티 채널 측정기 - Google Patents

광조도와 광량 측정 모듈 및 이를 이용한 멀티 채널 측정기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광조도와 광량 측정 모듈 및 이를 이용한 멀티 채널 측정기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈은, 중앙에 개구부를 갖는 하우징; 상기 하우징 내에 설치되며, 상기 하우징의 전방에 배치된 표준 광원에서 조사되는 광의 파장을 일정하게 변화시키는 디퓨져; 상기 디퓨져의 하부에 설치되며, 상기 디퓨져를 경유한 고에너지의 광의 세기를 감소시키는 ND(Neutral Density) 필터; 상기 ND 필터의 하부에 설치되며, 특정 영역의 파장 영역대를 선택적으로 투과시키는 밴드패스필터; 및 상기 하우징의 저면에 설치되며, 상기 밴드패스필터를 통해 투과되는 광을 수광하는 센서;를 포함한다.

Description

광조도와 광량 측정 모듈 및 이를 이용한 멀티 채널 측정기{Illuminance measuring module and multi channel detector using thereof}
본 발명은 광조도와 광량 측정 모듈 및 이를 이용한 멀티 채널 측정기에 관한 것이다.
일반적으로, UV(Ultra Violet), VIS(Viserble) 및 IR(Infrared ray) 영역의 광원을 사용하는 산업용 및 연구용 장비, 특히 반도체나 기판 등의 패터닝을 위한 노광 장비는 광원에서 발산되는 광에 의해 균일한 노광이 이루어지도록 하기 위하여 노광기 내의 광 에너지가 균일하게 분포할 필요가 있다.
노광기 내의 균일한 광 에너지 분포를 위해서는 노광기의 광원에서 조사되는 다양한 파장 대역의 광 조도를 측정하여야 하며, 이를 위하여 표준 광원에서 조사되는 광을 센서에 수광함에 의해서 임의의 파장 대역 내에서 스펙트럼 특성에 따른 광 세기의 크기와 그 파장 대역대의 에너지 적산은 광의 조사 면적으로 계산하게 되며, FWHM(Full Width Half Maximum)을 통해 단위 시간당 에너지 적산이 이루어지게 된다.
그러나, 종래의 광 조도 측정은 다양한 측정 알고리즘을 이용하여 폭넓은 광 영역대의 조도 측정이 가능하기는 하지만 특정 파장 대역의 스펙트럼에 최적화되지 않은 단점이 있다.
따라서, 광범위하고 일반적인 파장 대역에서 측정이 가능할 수 있으나, 메인 피크의 파장 대역을 관리할 필요가 있는 산업용 또는 연구용 장비 내에서는 메인 피크 외에도 서브 피크도 모두 측정됨에 따라 적합한 광 조도 산출을 위한 데이터 선별이 어려운 문제점이 지적되고 있다.
또한, 넓은 영역의 파장대역에서 광 조도 측정이 이루어짐으로써 광학 센서의 측정 반응도(sensor sensitivity)가 특정 파장대역에서 특화되지 못하고 둔감하게 측정됨으로써, 광 조도 측정에 오류가 발생될 수 있다.
그리고, 종래의 광 조도 측정 모듈은 노광기 내의 별도 스테이지에 설치되어 노광기 내의 각 노광 영역에 대한 조도를 측정하게 되는 데, 노광기 내의 전체적인 영역에 대한 조도를 측정하기 위해서는 개별적인 측정 모듈 위치를 계속 반복적으로 이동시켜 조도 측정이 이루어질 수 밖에 없는 문제점이 있다.
대한민국공개특허 제2004-5387호
본 발명은 종래 광 조도 측정 모듈에서 제기되고 있는 상기 제반 단점과 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것이다. 특정 파장 영역대에서 최적의 광 에너지 측정이 가능하며 측정오차가 최소화 되도록 한 광조도 및 광량 측정 모듈이 제공됨에 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은, 중앙에 개구부를 갖는 하우징; 상기 하우징 내에 설치되며, 상기 하우징의 전방에 배치된 표준 광원에서 조사되는 광의 파장을 일정하게 변화시키는 디퓨져; 상기 디퓨져의 하부에 설치되며, 상기 디퓨져를 경유한 고에너지의 광의 세기를 감소시키는 ND(Neutral Density) 필터; 상기 ND 필터의 하부에 설치되며, 특정 영역의 파장 영역대를 선택적으로 투과시키는 밴드패스필터; 및 상기 하우징의 저면에 설치되며, 상기 밴드패스필터를 통해 투과되는 광을 수광하는 센서;를 포함하는 광조도와 광량 측정 모듈이 제공됨에 의해서 달성된다.
상기 하우징은, 함체형으로 구성되며 상부에 개구부가 형성될 수 있다. 또한, 하우징은 내부의 열을 외부로 배출할 수 있는 구조를 채택하는 것이 바람직하며, 내부 열을 외부로 배출할 수 있도록 열전도가 우수한 재질을 사용하는 것이 바람직할 수 있다.
또한, 상기 개구부는, 상기 하우징 전방의 표준 광원에서 조사되는 광의 직진성과 분산을 고려하여 개구 넓이가 조절될 수 있으며, 개구부의 측면을 경사면으로 형성할 수 있다. 이때, 상기 경사면은 광의 조사 방향을 기준으로 상기 개구부의 내측면에 하향 경사면으로 구성될 수 있다.
이때, 상기 개구부의 측면은 광 흡수 재질로 이루어진 코팅면이 더 형성될 수 있다.
한편, 상기 센서는 Si 다이오드 또는 GaP, InGaP 중 어느 하나의 재질로 이루어진 수광부를 포함할 수 있으며, 센싱하고자 하는 파장 대역의 센싱 감도를 고려하여 선택될 수 있다.
또한, 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈은 판 상의 스테이지 상에 복수개가 소정의 간격으로 설치되어 멀티 채널로 구성될 수 있으며, 멀티 채널 구성시 I선(I line)과 H선(H line) 및 G선(G line)의 파장 대역을 가지는 복수의 모듈이 설치됨이 바람직하고, 상기 I선(I line)과 H선(H line) 및 G선(G line)의 파장 대역을 가지는 복수의 모듈 사이에 노광기 내의 온도와 습도를 측정할 수 있는 온/습도 측정모듈이 더 설치될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈은 하우징 내에 광의 에너지를 변환하고 특정 파장 영역대를 분리하는 필터들이 센서와 함께 내장되어 일체의 모듈로 구성됨으로써, 광조도와 광량의 정밀한 측정이 가능한 장점이 있다.
또한, 본 발명은 하우징의 개구부를 광 입사 방향에 대하여 하향 경사지게 형성하거나 개구부의 측벽에 광 흡수 물질로 구성된 코팅면으로 형성함에 의해서 광의 하우징 입사시 난반사를 방지함으로써, 광 조도 측정 오차를 현저히 줄일 수 있는 작용효과를 발휘할 수 있다.
그리고, 본 발명은 하나의 스테이지에 광원에서 조사되는 I선, H선 및 G선을 조도를 개별적으로 감지할 수 있는 광조도와 광량 측정 모듈을 멀티 채널로 설치함에 따라 광원에서 조사되는 다양한 광 에너지를 동시에 측정할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈을 이용하여 내부 광 조도가 측정되는 통상적인 노광 장치의 개략도
도 2는 본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈의 단면도
도 3은 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈의 개구부 일실시예를 확대한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈의 개구부의 다른 실시예를 확대한 단면도
도 5는 본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈을 이용한 멀티 채널 측정기의 평면도.
본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈의 상기 목적에 대한 기술적 구성을 비롯한 작용효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.
먼저, 도 1은 본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈을 이용하여 내부 광 조도가 측정되는 통상적인 노광 장치의 개략도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈을 이용하여 노광기 내부의 에너지가 측정되는 노광 장치는 광원(100)과, 한 쌍의 미러(111, 112)와, 인태그레이트 렌즈(120) 및 광조도와 광량 측정 모듈(200)로 구성될 수 있다.
광원(100)에서 조사된 광은 제1 미러(111)에 반사되어 인태그레이트 렌즈(120)를 경유하며, 인태그레이트 렌즈(120)를 경유한 광은 제2 미러(112)에 반사되어 광조도와 광량 측정 모듈(200) 내부로 입사될 수 있다.
이때, 광조도와 광량 측정 모듈(200)이 배치되는 위치는 노광 대상의 제품이 놓이는 곳에 위치시키는 것이 바람직하며, 이는 광조도와 광량 측정 모듈(200)에 의해 임의의 파장 영역대 광에너지를 정확히 측정하고, 측정된 광에너지에 의해 노광 대상의 제품에 조사되는 광에 의해서 균일한 품질이 구현되는 노광이 이루어지도록 할 수 있다.
이와 같이 구성된 노광 장치는 챔버(도면 미도시) 내에 설치될 수 있다.
상기 광원(100)은 각기 다른 파장 영역대를 가지는 광이 조사되는 소스(source)로 구성될 수 있으며, 각기 다른 파장의 I선(I line, 365㎚), H선(H line, 405㎚), G선(G line, 436㎚)이 조사되는 소스로 이용된다. 여기서, 상기 광원(100)은 표준 광원일 수 있다.
상기 I선은 광 에너지가 강한 단파장의 광으로서 수지내 투과성이 상대적으로 낮고, H, G선은 노광이 수행되는 수지내 투과성이 I선보다 높은 광이다.
이러한 I선과 H선 및 G선을 가지는 광원(100)은 각각 다른 파장을 가지고 노광원으로 사용될 수 있는 데, 노광 공정에서 공정 수행시 필요한 광원을 하나 이상 선택적으로 취할 수 있다.
예를 들어 상기 I선과 H선 및 G선의 광선들은 기판의 노광 공정시 기판의 표면에 도포된 솔더 레지스트(SR : Sorder Resist)의 표면 또는 바닥 부위 등에 반응성이 다르기 때문에 기판의 공정 특성 또는 솔더 레지스트의 성분 특성 등을 고려하여 선택될 수 있다.
이 경우, 기판 상에 정확한 노광 처리를 위해서 노광기 내의 노광 대상의 제품이 놓인 위치에서 각 광선에 대한 광에너지를 측정할 수 있으며, 이는 아래에서 설명될 광조도와 광량 측정 모듈을 통해 측정될 수 있다.
한편, 종래에는 광원(100)에서 조사되는 I선과 H선 및 G선의 광선들이 센서에 직접 수광됨에 의해서 각 광선들의 광에너지, 즉 조도를 측정하였는 바, I선과 H선 및 G선의 광선들이 고에너지를 발산함으로 인하여 센서에 수광되었을 때, 센서를 열화시킬 수 있어 정확한 광에너지 측정이 어려웠었다.
또한, 고에너지가 발산됨에 의해 센서 주위의 온도도 높아지게 되어 온도 변화에 따른 정확한 광에너지 측정이 어려울 수 있기 때문에 각 광선들의 고에너지를 저에너지로 변환하고, 센서 주위의 온도를 비교적 낮은 온도로 유지할 필요가 있다.
아래에서는 노광기 내에 설치되는 광조도와 광량 측정 모듈(200)의 구성에 대해서 상세히 살펴보기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈의 단면도이다.
여기서, 도 2는 광조도와 광량 측정 모듈(200)의 전방에 광원(100)이 위치하고 있으나, 이는 광원에서 조사되는 광이 광조도와 광량 측정 모듈에 입사되는 형태를 보이기 위한 일예를 간략하게 도시한 것으로, 실제의 실시예에서는 광원에서 조사되는 광은 여러 수단과 경로를 거쳐 광조도와 광량 측정 모듈에 입사되는 것으로 이해하여야 한다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 광조도와 광량 측정 모듈(200)은 하우징(210)과, 하우징(210) 내에 장착되는 디퓨져(220), ND 필터(230), 밴드패스필터(240) 및 센서(250)로 구성될 수 있다.
상기 하우징(210) 내부에는 상부에서부터 디퓨져(220)와 ND 필터(230) 및 밴드패스필터(240)가 순차적으로 적층되어 설치될 수 있으며, 밴드패스필터(240)의 하부측인 하우징(210)의 저면에는 센서(250)가 장착될 수 있다.
상기 하우징(210)은 함체형으로 구성될 수 있으며, 상부 중앙부에는 개구부(211)가 형성될 수 있다. 상기 개구부(211)는 광조도와 광량 측정 모듈(200)의 전방에 배치된 광원(100)으로부터 조사되는 광이 입사될 수 있으며, 광원(100)에서 조사되는 광의 직진성과 분산을 고려하여 개구부의 넓이가 조절될 수 있다. 개구부(211)의 넓이 조절에 의해서 하우징(210) 내로 입사되는 광의 양이 조절될 수 있음은 물론이다.
이때, 광원(100)은 각기 다른 파장의 I선(I line, 365㎚), H선(H line, 405㎚), G선(G line, 436㎚)이 조사되는 소스로 이용될 수 있다.
또한, 상기 하우징(210)은 내부의 열을 외부로 배출할 수 있도록 열전도가 우수한 재질로 구성됨이 바람직하다. 또한, 하우징(210)은 열전도가 우수한 재질로 구성됨과 아울러 내부의 열이 외부로 배출될 수 있는 구조를 취하는 것이 더 바람직하다.
상기 하우징(210)을 열전도가 우수한 재질로 구성하거나 열배출이 가능한 구조로 형성하는 이유는, 하우징(210)의 개구부(211)를 통해 입사되는 광이 가지는 광에너지가 높음에 의해 하우징(210) 내부의 온도가 높아질 수 있기 때문에 센서(250)에 감지되는 광에너지의 오차가 발생될 수 있어 센서(250)의 조도 감지 오차를 줄이기 위함이다.
상기 하우징(210)에 형성된 개구부(211)는 도 3에 도시된 바와 같이, 측면이 경사면(212)으로 형성될 수 있다. 경사면(212)은 광원(100)에서 조사되는 광의 조사 방향을 기준으로 상기 개구부(211)의 측벽이 하향 경사면으로 구성될 수 있다.
이때, 도 3은 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈의 개구부 일실시예를 확대한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈의 개구부의 다른 실시예를 확대한 단면도이다.
또한, 상기 개구부(211)의 측벽을 비롯한 측벽과 인접한 부위에는 도 4에 도시된 바와 같이, 광 흡수 재질로 이루어진 코팅면(213)이 형성될 수 있다.
이와 같이, 개구부(211)의 측벽을 하향 경사면으로 형성하거나, 광을 흡수하는 재질의 코팅면(213)이 형성되는 것은, 하우징(210) 전방에 배치된 광원(100)에서 조사된 광이 개구부(211)를 통해 하우징(210) 내부로 유입될 때, 개구부(211)의 측벽에 난반사가 발생될 수 있기 때문에 이 난반사를 제거하기 위함이며, 개구부(211)의 측벽을 하우징(210)의 내측으로 하향 경사지게 형성함에 의해서 하우징(210) 내부로 유입되는 광이 개구부(211)의 측벽을 통해 반사되지 않도록 하여 난반사의 발생을 억제할 수 있다.
한편, 상기 하우징(210) 내에는 상부측에 디퓨져(220)가 장착될 수 있다. 상기 디퓨져(220)는 하우징(210)의 전방에 배치된 광원(100)에서 조사되는 I선, H선 또는 G 선 중 어느 하나의 광선이 경유하면서 광의 산란에 의해 광의 출력, 즉 광에너지를 균일하게 분산시켜 광 출력을 평균화할 수 있다.
상기 디퓨져(220)의 하부에는 ND 필터(230)가 적층될 수 있다. ND 필터(230)는 디퓨져(220)를 경유한 광의 에너지를 ND 필터(230)의 효율에 따라 리니어하게 감소시켜 저에너지와 평균화된 파장 영역대(스펙트럼)를 갖는 광선으로 변환시킬 수 있다.
상기 광원(100)에서 조사되어 하우징(210) 내부로 유입된 광은 상기 디퓨져(220)를 경유하면서 광에너지의 균일화와 함께 광의 세기가 일정량 감소되기는 하나, 여전히 고출력의 높은 광의 세기(intensity)를 유지하고 있기 때문에 광의 세기를 전체적으로 감소시켜 고에너지에서 저에너지로 변환시킬 필요가 있다.
즉, ND 필터(220)는 광원(100)에서 조사된 광의 스펙트럼 비율을 변화시키기 않고, I선(I line, 365㎚), H선(H line, 405㎚), G선(G line, 436㎚)이 가지고 있는 고에너지를 저에너지로 변환시킴에 의해서 하우징(210) 내로 입사되는 광에 의한 하우징(210) 내부 온도가 적정하게 유지할 수 있도록 한다.
이로 인하여, 하우징(210) 내에 설치되는 디퓨져(220)를 비롯한 밴드패스필터(240)와 센서(250)의 열화를 방지할 수 있다.
또한, 상기 ND 필터(230)의 하부에는 밴드패스필터(240)가 설치될 수 있다. 밴드패스필터(240)는 ND 필터(230)에서 광에너지가 고에너지에서 저에너지로 변환된 광의 파장 영역대에서 원하는 파장 영역대를 선택적으로 통과시킬 수 있다. 이때, 하나의 파장 영역대만을 선택하거나 동시에 각기 다른 파장 영역대가 복수로 선택되어 통과되도록 할 수 있다.
그리고, 밴드패스필터(240)를 경유하면서 광의 세기가 다시 저감될 수 있으며, 광의 세기 저감은 밴드패스필터(240)의 광학 밀도를 나타내는 흡광도(OD ; Optical Density)율에 따라 광의 에너지 세기를 낮출 수 있다.
마지막으로, 디퓨져(220)와 ND 필터(230) 및 밴드패스필터(240)를 경유하여 에너지 세기가 저하되고, 스펙트럼이 평균화된 광이 센서(250)로 유입될 수 있다.
센서(250)는 밴드패스필터(240)의 하부인 하우징(210)의 저면에 설치되며, 하우징(210)의 개구부(211)를 통해 유입된 광이 디퓨져(220)와 ND 필터(230) 및 밴드패스필터(240)를 거쳐 입사될 수 있다.
센서(250)는 센싱하고자 하는 광의 종류와 파장대역에 따라 각기 다른 종류의 재질로 구성된 수광부(251)를 포함할 수 있다. 수광부(251)는 감지하고자 하는 파장대역에 따라 Si 다이오드 또는 GaP, InGaP 중 어느 하나의 재질로 구성될 수 있으며, 센싱하고자 하는 파장대역의 센싱 감도를 고려하여 적어도 하나 또는 하나 이상의 혼합물이 선택될 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 광조도와 광량 측정 모듈(200)은 도 5에 도시된 바와 같이, 판 상의 스테이지(310) 상에 복수개가 소정의 간격으로 설치되어 멀티 채널의 측정기로 구성될 수 있다
본 실시예의 멀티 채널 측정기(300)는 판 상의 스테이지(310)와 스테이지(310) 상에 I선과 H선 및 G선의 파장대역을 각각 센싱할 수 있는 복수의 I선 광조도와 광량 측정 모듈(320)과, H선 광조도와 광량 측정 모듈(330) 및 G선 광조도와 광량 측정 모듈(340)이 설치될 수 있으며, 복수의 광조도와 광량 측정 모듈 사이에 다수의 온도측정 모듈(350)과 습도측정 모듈(360)이 더 설치될 수 있다.
이와 같이 구성된 멀티 채널 측정기(300)는 하나의 스테이지(310)에 광원에서 조사되는 I선과, H선 및 G선의 특성을 가진 광이 조사될 때, 복수의 광조도와 광량 측정 모듈(320~340)을 통해 선택적으로 광의 조도가 측정될 수 있다.
또한, 스테이지(310) 상에 설치된 온도측정 모듈(350)과 습도측정 모듈(360)을 통해 노광기 내의 온도와 습도를 비롯하여 광조도와 광량 측정 모듈을 통한 광 조도 측정시 각 모듈의 온도와 습도 측정 조건을 감지할 수 있다.
이때, 상기 I선, H선 및 G선을 개별적으로 측정할 수 있는 광조도와 광량 측정 모듈(320~340)은 각 광선의 측정 모듈 별로 일렬로 배치되거나, 각 광선의 측정 모듈이 혼재되어 일정한 간격으로 배치될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재되는 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100. 광원 200. 광조도와 광량 측정 모듈
210. 하우징 211. 개구부
220. 디퓨져 230. ND 필터
240. 밴드패스필터 250. 센서
300. 멀티 채널 측정기 310. 스테이지
350. 온도측정 모듈 360. 습도측정 모듈

Claims (12)

  1. 중앙에 개구부를 갖는 하우징;
    상기 하우징 내에 설치되며, 상기 하우징의 전방에 배치된 표준 광원에서 조사되는 광의 파장을 일정하게 변화시키는 디퓨져;
    상기 디퓨져의 하부에 설치되며, 상기 디퓨져를 경유한 고에너지의 광의 세기를 감소시키는 ND(Neutral Density) 필터;
    상기 ND 필터의 하부에 설치되며, 특정 영역의 파장 영역대를 선택적으로 투과시키는 밴드패스필터; 및
    상기 하우징의 저면에 설치되며, 상기 밴드패스필터를 통해 투과되는 광을 수광하는 센서;
    를 포함하는 광조도와 광량 측정 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하우징은, 함체형으로 구성되어 상기 개구부가 상부에 형성되며, 내부 열을 외부로 배출할 수 있는 열전도가 우수한 재질로 구성된 광조도와 광량 측정 모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 개구부는, 내측면이 경사면으로 형성되며, 상기 경사면은 광의 조사 방향을 기준으로 하향 경사면으로 구성된 광조도와 광량 측정 모듈.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 개구부의 내측면은 광 흡수 재질로 이루어진 코팅면이 형성된 광조도와 광량 측정 모듈.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 센서는, Si 다이오드 또는 GaP, InGaP 중 어느 하나의 재질로 구성될 수 있으며, 센싱하고자 하는 파장대역의 센싱 감도를 고려하여 적어도 하나 또는 하나 이상의 혼합물로 이루어진 수광부를 포함하는 광조도와 광량 측정 모듈.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 디퓨져는, 상기 표준 광원에서 조사되는 I선, H선 또는 G 선 중 어느 하나의 광선이 경유하면서 광의 산란에 의해 광에너지를 균일하게 분산시켜 광 출력을 평균화하는 광조도와 광량 측정 모듈.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 ND 필터는, 상기 표준 광원에서 조사된 I선, H선, G선이 가지고 있는 고에너지를 저에너지로 변환시킴에 의해서 상기 하우징 내로 입사되는 광에 의한 내부 온도를 적정하게 유지하는 광조도와 광량 측정 모듈.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 ND 필터는, 하나의 파장 영역대만을 선택하거나 동시에 각기 다른 파장 영역대가 복수로 선택되어 통과되도록 하는 광조도와 광량 측정 모듈.
  9. 개구부를 갖는 하우징 내에 디퓨져와, ND 필터와, 밴드패스필터 및 센서가 내장되어 상기 하우징 전방의 표준 광원에서 조사되는 광을 분산시켜 평균화하고, 특정 파장 영역대를 선택적으로 투과시켜 상기 센서에 수광되도록 하는 광조도와 광량 측정 모듈이 설치된 멀티 채널 측정기에 있어서,
    판 상의 스테이지에 I선, H선, G선이 개별적으로 측정되는 복수의 광조도와 광량 측정 모듈이 일렬로 배치되거나 상기 I선, H선, G선을 감지하는 복수의 광조도와 광량 측정 모듈이 혼재되어 일정한 간격으로 배치되는 멀티 채널 측정기.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 디퓨져는 상기 하우징의 전방에 배치된 상기 표준 광원에서 조사되는 광의 파장을 일정하게 변화시키고, 상기 ND 필터는, 상기 디퓨져를 경유한 고에너지의 광의 세기를 감소시키며, 상기 밴드패스필터는, 특정 영역의 파장 영역대를 선택적으로 투과시키는 멀티 채널 측정기.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 광조도와 광량 측정 모듈 사이에 다수의 온도측정 모듈과 습도측정 모듈이 더 설치되는 멀티 채널 측정기.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 센서는, Si 다이오드 또는 GaP, InGaP 중 어느 하나의 재질로 구성될 수 있으며, 센싱하고자 하는 파장대역의 센싱 감도를 고려하여 적어도 하나 또는 하나 이상의 혼합물로 이루어진 수광부를 포함하는 멀티 채널 측정기.
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