KR20000031380A - 반도체 패키지 제조장비 - Google Patents

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Abstract

반도체 패키지 제조장비의 UV(ultraviolet) 조사장치에 관한 것으로서, 소잉공정을 마친 웨이퍼상의 반도체칩 및 접착테이프를 소정의 자외선 조사방식의 처리과정을 거치게 하여 반도체칩을 잡고 있는 접착테이프의 접착력을 약화시켜 줌으로써, 반도체칩 분리시 접착력 때문에 잘 떨어지지 않아 크랙 등의 손상을 입는 문제를 완전히 해소하고자 하는데 목적이 있으며, 이를 위하여 반도체칩 및 접착테이프를 포함하는 웨이퍼 전체를 수납/인출할 수 있는 수단과, 자외선 조사수단과, 균일한 조사를 위해 웨이퍼 전체를 움직여주는 구동수단과, 질소분위기를 조성하는 수단 등으로 이루어진 UV 조사장치를 제공하고자 한 것이다.

Description

반도체 패키지 제조장비
본 발명은 반도체 패키지 제조장비의 UV(ultraviolet) 조사장치에 관한 것으로서, 특히 자외선을 조사하는 방식으로 웨이퍼에 부착되는 접착테이프의 접착력을 약화시켜줌으로써, 반도체칩을 접착테이프로부터 분리시킬 때 반도체칩이 용이하게 떨어질 수 있게 하여 크랙 등의 손상을 입는 것을 방지할 수 있도록 한 UV 조사장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 패키지 제조공정 중 웨이퍼상에 일체로 붙어있는 여러 반도체칩을 각각 나누어 분리시키는 공정을 소잉(sawing)공정이라 하며, 이러한 소잉공정을 마친 각각의 반도체칩은 웨이퍼로부터 1개씩 분리되어 다이 어태치공정으로 투입된다.
반도체칩을 분리할 때, 그 이면에 붙어있는 접착테이프로부터 쉽게 떨어질 수 있도록 하기 위해 이젝션수단 등을 이용하여 반도체칩을 밑에서 밀어줄 필요가 있게 된다.
즉, 이젝션수단으로 반도체칩을 밀어 올리면 접착테이프와 반도체칩이 분리될 수 있게 되고, 이와 동시에 상부의 픽업수단이 진공흡착방식으로 반도체칩을 픽업하여 에폭시가 도포되어 있는 리드프레임의 칩탑재판에 부착시키게 된다.
이젝션방법에는 여러 가지가 있으나 주로 이젝트핀을 이용하여 직접 밀어 올려주거나 공기압을 이용하여 불어 올려주는 방법이 적용된다.
그러나, 반도체칩을 잡아주기 위해 웨이퍼상에 부착하는 대부분의 접착테이프는 그 특성상 강력한 접착력을 가진 것이 사용되고, 이로 인해 이젝션수단을 효과적으로 이용하다고 하더라도 반도체칩 분리시 잘 떨어지지 않기 때문에 크랙 등의 손상을 완전히 배제할 수 없는 문제가 있다.
만일, 반도체칩의 용이한 분리를 위해 접착력이 약한 접착테이프를 사용하게 되면, 소잉공정 등에서 많은 문제가 발생하게 되므로 이러한 관점에서 소잉공정을 무리없이 수행하는 측면과 반도체칩을 용이하게 분리시키는 측면을 동시에 만족시키기 위한 대책마련의 필요성이 요구된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 소잉공정을 마친 웨이퍼상의 반도체칩 및 접착테이프를 소정의 자외선 조사방식의 처리과정을 거치게 하여 반도체칩을 잡고 있는 접착테이프의 접착력을 약화시켜 줌으로써, 반도체칩 분리시 접착력 때문에 잘 떨어지지 않아 크랙 등의 손상을 입는 문제를 완전히 해소하고자 하는데 목적이 있으며, 이를 위하여 반도체칩 및 접착테이프를 포함하는 웨이퍼 전체를 수납/인출할 수 있는 수단과, 자외선 조사수단과, 균일한 조사를 위해 웨이퍼 전체를 움직여주는 구동수단과, 질소분위기를 조성하는 수단 등으로 이루어진 UV 조사장치를 제공하는데 그 안출의 목적이 있는 것이다.
도 1은 본 발명의 UV 조사장치를 나타내는 정면도
도 2는 도 1의 평면도
도 3은 도 1의 측면도
〈도면의주요부분에대한부호의설명〉
10 : 램프 고정플레이트 11 : 램프 고정브라켓
12 : UV 램프 13 : 전면플레이트
14 : 리브
20 : 셔터 21 : 제1인덱스
22 : 제1커넥팅로드 23 : 제1플라이휠
24 : 제1모터 25 : 피스톤 디텍트캠
26 : 가이드블럭 27 : 마이크로스위치
28 : 모터브라켓 29 : 마이크로 스위치브라켓
30 : 블럭 31 : 제2인덱스
32 : 제2커넥팅로드 33 : 제2플라이휠
34 : 제2모터 35 : 워크플레이트
36 : 웨이퍼 지지플레이트 37 : 전면플레이트
40 : N2블로어바 41 : 이노나이저브라켓
42 : 이노나이저 파워유니트 43 : 블로어 유니트
50 : 베이스플레이트 51 : 베이스포스트
52 : 커버 53 : 하우징
54 : 컨트롤유니트
60 : 캠플로어 61 : 슬라이드 팩스페이서
62 : LN 가이드 63 : 로드 앤드조인트
64 : 솔레노이드잠금장치 65 : 램프장치
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 전후 슬라이드되면서 수납/인출가능한 램프 고정플레이트(10)와, 적어도 4개의 램프 고정브라켓(11)과, 웨이퍼의 저부에서 자외선을 조사하는 UV 램프(12)를 포함하는 자외선 조사수단과, 상기 UV 램프(12)의 상부에서 위치를 가변시키면서 램프로부터 조사되는 자외선을 선택적으로 차단시키는 셔터(20)와, 제1인덱스(21)로부터 동력을 전달받아 회전되면서 제1커넥팅로드(22)를 이용하여 상기 셔터(20)의 위치를 가변시켜주는 제1플라이휠(23)과, 상기 제1인덱스(21)와 직결 구동되는 제1모터(24)와, 셔터(20)의 위치를 결정해주는 피스톤 디텍트캠(25)을 포함하는 자외선 차단수단과, 웨이퍼를 안착시킬 수 있는 전후좌우 4개의 블럭(30)을 갖고 있으며 전후 왕복운동을 하면서 웨이퍼를 움직여주는 워크플레이트(35)와, 제2인덱스(31)로부터 동력을 전달받아 회전되면서 제2커넥팅로드(32)를 이용하여 상기 워크플레이트(35)를 반복적으로 당겨주고 밀어주는 제2플라이휠(33)과, 상기 제2인덱스(31)와 직결 구동되는 제2모터(34)와, 이것들 전체를 받치고 있는 웨이퍼 지지플레이트(36)를 포함하는 웨이퍼 구동수단과, 다수의 토출구멍을 가지면서 웨이퍼의 상부에 가로질러 배치되는 N2블로어바(40) 및 이것을 지지하는 양쪽의 이노나이저브라켓(41)과, N2블로어바(40)의 일측에 연통 설치되어 질소분위기를 조성하는 이노나이저 파워유니트(42)를 포함하는 질소 공급수단과, 상기 웨이퍼 구동수단을 지지하는 중간의 베이스플레이트(50) 및 다수의 베이스포스트(51)와, 밀폐형 공간을 형성하는 사방의 커버(52) 및 아래로 통하는 저부의 하우징(53)과, 상기의 수단들을 제어하는 일측의 컨트롤유니트(54)를 포함하는 시스템 본체로 이루어진 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 램프 고정플레이트(10)와 웨이퍼 지지플레이트(36)의 저부에는 좌우 2개의 앞쪽 캠플로어(60)와 서로 나란한 2개의 나머지 구간 슬라이드 팩스페이서(61)가 갖추어져 있어서, 플레이트 전체의 수납/인출시 안내를 받을 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 셔터(20)와 워크플레이트(35)는 서로 나란한 양쪽의 LM 가이드(62)에 의한 안내를 받으면서 슬라이드 가능하도록 된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1커넥팅로드(22)와 제2커넥팅로드(32)의 양단 연결부위는 회전운동과 직선운동 간의 간섭을 수용할 수 있도록 로드 앤드조인트(63)로 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 웨이퍼 구동수단의 초입부 양쪽에는 워크플레이트(35)가 움직일 때 일어나는 유동을 잡아줄 수 있는 솔레노이드잠금장치(64)가 갖추어져 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이노나이저 파워유니트(42)는 질소가스의 원할한 공급을 위하여 N2필터, N2레귤레이터, N2게이지 등을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 시스템 본체에는 컨트롤유니트(54)와 연계되어 작업 진행상태를 단계별로 알려주는 램프장치(65)가 갖추어져 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 솔레노이드 잠금장치(64)는 플런저 삽입구멍을 갖는 도어 고정블럭(64a)이 웨이퍼 지지플레이트(36)의 벽면 바깥쪽에 설치되고, 상기 도어 고정블럭(64a)의 바로 밑에는 베이스플레이트(50)상에 플런저를 위로 한 솔레노이드(64b)가 설치되어 이것의 작동과 동시에 플런저가 블럭의 삽입구멍에 체결될 수 있도록 된 구조로 이루어진 것을 특징으로 한다.
이를 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부한 도 1은 본 발명에 따른 UV 조사장치의 정면도이고, 도 2와 도 3은 각각 평면도와 측면도를 나타낸다.
본 발명의 UV 조사장치는 크게 자외선을 조사하는 수단과, 조사되는 자외선을 선택적으로 차단하는 수단과, 균일한 조사를 위해 웨이퍼를 반복해서 움직여주는 수단과, 장치내의 질소분위기를 조성해주는 수단과, 이것들을 포함하면서 각각의 작동을 제어하는 수단으로 이루어져 있다.
상기 자외선 조사수단은 시스템 본체의 내부 아래쪽에서 좌우 폭방향으로 배치되면서 자외선을 발하는 UV 램프(12)와, 이 UV 램프(12)의 양단을 지지하는 적어도 4개의 램프 고정브라켓(11)과, 상기 UV 램프(12) 및 램프 고정브라켓(11)을 받쳐주는 사각판형태의 램프 고정플레이트(10)로 구성되어 있다.
상기 UV 램프(12)는 양단이 램프 고정브라켓(11)에 걸쳐져 고정되면서 착탈가능한 구조로 설치되며, 상기 램프 고정플레이트(10)는 시스템 본체의 내부 바닥면에 고정되는 좌우 2개의 나란한 슬라이드 팩스페이서(61)와 롤러베어링의 일종인 캠플로어(60)에 의해 지지되는 구조로 설치된다.
이때의 상기 슬라이드 팩스페이서(61)는 램프 고정플레이트(10) 전체를 실질적으로 받쳐줄 수 있도록 플레이트의 거의 전길이에 상응하는 길이를 갖는 일종의 가이드블럭으로서의 역할을 하게 되며, 상기 캠플로어(60)는 앞쪽에서 플레이트의 수납/인출이 원할하게 이루어질 수 있도록 그 저면과 구름접촉되는 일종의 구름롤러의 역할을 하게 된다.
이렇게 설치되는 상기 UV 램프(12) 및 램프 고정플레이트(10) 전체는 램프 교환 등의 필요에 의해 시스템 본체로부터 인출할 수 있도록 되어 있고, 재차 그 안으로 수납할 수 있도록 되어 있으며, 이때에는 전면의 손잡이를 이용할 수 있다.
특히, 시스템 본체 안으로 완전히 수납된 상태에서는 전면 플레이트(13)에 의해 시스템 본체 내부의 기밀이 완벽하게 유지될 수 있게 된다.
여기서, 미설명부호 14는 보강용 리브를 나타낸다.
상기 자외선 차단수단은 UV 램프(12)로부터 조사되는 자외선을 선택적으로 차단시켜주는 셔터(20)와, 제1커넥팅로드(22)를 이용하여 상기 셔터(20)의 위치를 가변시켜주는 제1플라이휠(23)과, 동력원으로서의 제1인덱스(21) 및 제1모터(24)로 구성되어 있다.
상기 셔터(20)은 사각판형태로 되어 있는 차단판으로서, 면적의 약 1/2정도가 절개된 구멍으로 되어 있어 이곳이 UV 램프(12)의 위로 오게 되면 자외선이 윗쪽으로 통과될 수 있게 되고 나머지 막힌부분이 오게 되면 자외선이 차단될 수 있게 된다.
이러한 셔터(20)는 시스템 본체의 상하 중간을 가로막고 있는 베이스플레이트(50)와 그 아래쪽에 있는 UV 램프(12) 사이에서 수평상태로 플레이트와 나란하게 배치되며, 베이스플레이트(50)의 저면에 설치되는 2개의 가이드블럭(26)에 양쪽이 받쳐지는 동시에 양쪽 2개의 나란한 LM 가이드(62)에 고정되면서 이것의 안내를 받아 전후 슬라이드가능한 구조로 설치된다.
이를 위하여 셔터(20)의 후단과 제1플라이휠(23)의 일측 간에 제1커넥팅로드(22)가 연결됨에 따라 제1플라이휠(23)이 회전되면 제1커넥팅로드(22)를 통해 셔터(20)가 전후로 움직일 수 있게 된다.
특히, 상기 제1커넥팅로드(22)의 각 양단 결합부위는 로드 앤드조인트(63)로 체결되어 있어 제1플라이휠(23)의 회전운동이 무리없이 셔터(20)의 직선운동으로 전달될 수 있게 된다.
상기 제1플라이휠(23)은 그 축이 제1인덱스(21)에 결합되어 회전되는 회전체로서, 이것이 1/2회전하게 되면 상기 셔터(20)는 앞쪽 또는 뒤쪽으로 그 위치를 옮길 수 있게 된다.
예를 들면, 첨부한 도 3의 측면도에 도시한 상태가 뒤쪽에 위치되어 있는 상태이다.
이때에는 UV 램프(12)에서 발하는 자외선이 개구부를 통해 그 윗쪽의 웨이퍼로 조사될 수 있게 되며, 이상태에서 제1플라이휠(23)이 1/2회전하게 되면 셔터(20)가 앞쪽으로 전진되므로 UV 램프(12)로부터 조사되는 자외선이 차단될 수 있게 된다.
상기 제1인덱스(21)와 제1모터(24)는 제1플라이휠(23)을 회전시켜주는 동력원이며, 이때의 제1인덱스(21)는 제1모터(24)의 회전력을 감속해주는 역할을 한다.
이러한 제1인덱스(21)와 제1모터(24)는 플렉시블 커플링과 같은 통상의 축 이음부재로 연동되며, 시스템 본체의 내부 뒤쪽에 배치되어 베이스플레이트(50)의 저면에 설치되는 각각의 브라켓에 의해 고정되는 구조로 설치된다.
특히, 제1인덱스(21)와 제1모터(24)가 설치되어 있는 위치와 인접된 위치에는 마이크로스위치(27)가 구비되어 있고, 아래쪽으로 연장되는 제1플라이휠(23)의 축에는 이 축과 일체로 회전되는 피스톤 디텍트캠(25)이 장착되어 있어서, 제1플라이휠(23)의 위치를 감지할 수 있게 되고 이때의 감지신호에 따라 셔터(20)의 개폐상태를 결정할 수 있게 된다.
여기서, 미설명부호 28과 29는 모터브라켓과 마이크로 스위치브라켓을 각각 나타낸다.
상기 웨이퍼 구동수단은 웨이퍼가 실질적으로 놓여지는 4개의 블럭(30)을 가지면서 앞뒤로 반복해서 움직이는 워크플레이트(35)와, 제2커넥팅로드(32)를 이용하여 상기 워크플레이트(35)를 당겨주고 밀어주는 제2플라이휠(33)과, 제2플라이휠(33)을 회전시켜주는 동력원으로서의 제2인덱스(31) 및 제2모터(34)와, 이것들 전체를 받쳐주고 있는 웨이퍼 지지플레이트(36)로 구성되어 있다.
상기 워크플레이트(35)는 중심에 자외선 통과를 위한 소정의 절개구멍에 있는 사각판이며, 웨이퍼 지지플레이트(36)상에 앞뒤로 길게 설치되는 좌우 2개의 나란한 LM 가이드(62)에 의해 지지되어 슬라이드 가능한 구조로 설치된다.
이러한 워크플레이트(35)의 윗면에는 중심 절개구멍의 가장자리를 따라가면서 90°간격으로 배치되는 4개의 블럭(30)이 설치되어 있으며, 이 블럭(30) 위에 웨이퍼가 얹혀지게 된다.
이를 위하여 상기 블럭(30)의 윗면은 계단형태로 되어 있으며, 윗쪽의 단차면에 웨이퍼의 테두리 프레임이 놓여지고 그 아래면에 반도체칩을 받치고 있는 접착테이프가 놓여지게 되므로 절개구멍을 통한 자외선이 접착테이프로 직접 조사될 수 있게 된다.
또한, 웨이퍼 지지플레이트(36)의 뒤쪽에는 플렉시블 커플링 등으로 서로 직결되는 제2인덱스(31) 및 제2모터(34)가 설치되고, 제2플라이휠(33)은 제2인덱스(31)의 아래쪽으로 결속되어 회전될 수 있게 된다.
또한, 워크플레이트(35)의 후단과 제2플라이휠(33)의 일측 사이에는 제2커넥팅로드(32)가 연결되고, 이에 따라 제2플라이휠(33)의 회전에 의해 워크플레이트(35)가 전후로 움직일 수 있게 된다.
이때, 워크플레이트(35)의 운동은 상기 셔터(20)의 경우처럼 선택적으로 그 위치를 옮기는 것이 아니라 일정시간동안 앞뒤로 반복해서 하는 운동이므로 웨이퍼상의 어느 특정부위에 자외선이 집중조사되는 현상이 방지되면서 웨이퍼 전체에 걸쳐 균일한 조사가 이루어질 수 있게 된다.
또한, 상기 제1커넥팅로드(22)의 경우와 마찬가지로 상기 제2커넥팅로드(22)의 각 양단 결합부위는 로드 앤드조인트(63)로 체결되어 있어 제2플라이휠(33)의 회전운동이 원할하게 워크플레이트(30)의 직선운동으로 전환될 수 있게 된다.
상기 웨이퍼 지지플레이트(36)는 워크플레이트(35)와 제2인덱스(31) 및 제2모터(34) 전체를 받치고 있는 일종의 지지판으로서, 시스템 본체의 중간 베이스플레이트(50)상에 고정되는 좌우 2개의 나란한 슬라이드 팩스페이서(61)와 앞쪽의 캠플로어(60)에 의해 지지되면서 손잡이 등을 통해 시스템 본체로부터 수납/인출가능하도록 설치된다.
이러한 웨이퍼 지지플레이트(36)는 시스템 본체내의 수납시 리미트스위치 등에 의한 위치제어를 받아 그 수납되는 정도가 정확하게 지켜질 수 있게 된다.
특히, 웨이퍼 지지플레이트(36)의 양쪽 측면에는 솔레노이드잠금장치(64)가 각각 구비되어 이 웨이퍼 지지플레이트(36)의 유동이 단속될 수 있게 된다.
즉, 상기 솔레노이드잠금장치(64)는 플런저 삽입구멍을 가지면서 웨이퍼 지지플레이트(36)의 벽면 바깥쪽에 설치되는 도어 고정블럭(64a)과, 상기 도어 고정블럭(64a)의 바로 밑에서 플런저가 위로 향하게 한 상태로 베이스플레이트(50)상에 설치되는 솔레노이드(64b)로 구성되어 있으며, 웨이퍼 지지플레이트(36)의 수납과 동시에 상기 솔레노이드(64b)가 작동되어 그 플런저가 도어 고정블럭(64a)의 플런저 삽입구멍에 체결되면, 웨이퍼 지지플레이트(36) 전체가 고정될 수 있게 되므로서, 시스템 본체내의 수납상태가 완벽하게 유지될 수 있을 뿐만 아니라 워크플레이트(35)의 운동 등에도 움직이지 않게 된다.
여기서, 미설명부호 37은 웨이퍼 지지플레이트(36)가 시스템 본체 안으로 완전히 수납된 상태에서 그 내부의 기밀을 완벽하게 유지시켜주는 역할을 하는 전면 플레이트를 나타낸다.
상기 질소 공급수단은 시스템 본체 내부를 질소분위기로 조성하여 웨이퍼에 대한 자외선 처리효과를 극대화시켜주는 역할을 하게 된다.
이를 위하여 상기 질소 공급수단은 다수의 토출구멍을 가지면서 웨이퍼의 상부를 가로질러 배치되는 N2블로어바(40)와, N2블로어바(40)의 양단을 지지하는 이노나이저브라켓(41)과, N2블로어바(40)의 일측에 연통 설치되는 이노나이저 파워유니트(42)로 구성되어 있으며, N2필터, N2레귤레이터, N2게이지 등을 거친 질소가 상기 이노나이저 파워유니트(42)로 보내지게 되면 여기서 적절한 제어를 통해 시스템 본체 내부로 공급될 수 있게 된다.
상기 N2블로어바(40)는 다수의 토출용 구멍을 갖는 관형태의 노즐로서, 이곳을 통해 질소가 최종 토출되며, 상기 이노나이저브라켓(41)은 베이스플레이트(50)상에서 서로 마주보며 수직 설치되어 N2블로어바(40)의 양단을 잡아주는 역할을 하게 된다.
상기 이노나이저 파워유니트(42)는 N2블로어바(40)의 한쪽 끝에 연통 설치되어 질소를 관 내부로 보낼 수 있게 되며, 질소공급원과는 튜브 등으로 연결된다.
특히, 이와 같은 질소 공급수단에는 블로어 유니트(43)가 포함되어 있어서, 시스템 본체내의 질소분위기가 골고루 확산될 수 있게 된다.
이때의 블로어 유니트(43)는 에어펌프 등의 공급수단과 에어튜브 등의 배관수단으로 구성되며, 첨부한 도 2에 도시한 바와 같이 시스템 본체내에서 편중된 위치에 배치하여 어느 한방향으로 에어의 흐름이 이루어질 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상기 시스템 본체는 다수의 커버로 둘러싸여 밀폐형 공간을 형성하는 사각박스형태로 이루어져 있으며, 내부의 상하 중간에는 상기 웨이퍼 구동수단 등을 받쳐주기 위한 베이스플레이트(50)가 수평 설치되어 있고, 이 베이스플레이트(50)를 지지하기 위한 다수의 기둥 즉, 베이스포스트(51)가 양쪽에 수직 설치되어 있다.
이러한 시스템 본체의 전면에는 상하 2개의 입구가 형성되어 있어서, 이곳을 통해 웨이퍼 구동수단의 웨이퍼 지지플레이트(36)와 자외선 조사수단의 램프 고정플레이트(10)가 각각 수납/인출될 수 있으며, 각 플레이트가 완전히 수납되면 이때의 입구는 각각의 전면플레이트(37),(13)에 의해 밀폐될 수 있게 된다.
특히, 시스템 본체의 전면 일측에는 본 발명의 장치를 제어하기 위한 각종 제어수단을 포함하는 컨트롤유니트(54)가 설치되어 있으며, 이곳에서 각 구동수단의 온/오프 여부, 가동시간, 온도 등을 순차적으로 제어할 수 있게 된다.
또한, 시스템 본체의 상부 일측에는 상기 컨트롤유니트(54)와 접속되어 있는 램프장치(65)가 설치되어 있어서, 작업자에게 작업 진행상황을 효과적으로 알려줄 수 있도록 되어 있으며, 저부 일측에는 외부와 통하는 하우징(53)이 갖추어져 있어 본체 내부의 정화 등을 필요로 할 때 유용하게 쓰일 수 있게 된다.
따라서, 이와 같이 구성된 본 발명의 UV 조사장치에 대한 작동과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 시스템 본체의 전면 윗쪽에 있는 손잡이를 이용하여 웨이퍼 구동수단의 웨이퍼 지지플레이트(36)를 인출한다.
이때의 웨이퍼 지지플레이트(36)는 저면의 캠플로어(60)에 의한 구름안내를 받으면서 용이하게 앞쪽으로 인출될 수 있게 되며, 앞쪽에 배치되는 워크플레이트(35)가 완전히 노출될 수 있는 정도만 인출한다.
이렇게 워크플레이트(35)를 인출한 다음, 4개의 블럭(30)을 이용하여 웨이퍼를 얹혀놓는다.
즉, 웨이퍼상의 반도체칩이 위를 향하고 접착테이프가 아래로 가게 한 상태에서 웨이퍼의 테두리가 블럭(30)의 윗쪽 단차면에 놓여지도록 한다.
이상태에서 시스템 본체 내에 웨이퍼 지지플레이트(36)를 재차 수납시키면, 양쪽의 솔레노이드 잠금장치(64)에 의해 웨이퍼 지지플레이트(36) 전체가 고정될 수 있게 된다.
이때, 솔레노이드 잠금장치(64)의 작동신호는 웨이퍼 지지플레이트(36)의 정위치 수납을 감지하는 리미트스위치 등의 검지신호를 이용하는 것이 바람직하다.
계속해서, 컨트롤유니트(54)의 조작을 통해서 자외선 조사수단의 UV 램프(12)를 점등시키면, 이와 동시에 컨트롤유니트(54)의 순차적인 제어에 의해 제1모터(24) 및 제1인덱스(21)가 구동되면서 제1플라이휠(23)이 1/2 회전하게 되고, 이때의 회전량은 제1커넥팅로드(22)를 통해 전달되어 첨부한 도 3에 도시한 바와 같은 상태 즉, 제1커넥팅로드(22)의 휠 연결부위가 뒤쪽으로 위치되어 있는 상태가 되므로 셔터(20)가 뒤쪽으로 당겨져 위치되면서 열린상태가 되며, 이것의 절개구멍을 통해 UV 램프(12)로부터의 자외선이 바로 윗쪽에 있는 웨이퍼상의 접착테이프로 조사될 수 있게 된다.
이때의 제1모터(24) 및 제1인덱스(21)는 셔터(20)가 열린위치로 옮겨짐과 동시에 별도의 제어신호를 받아 구동을 멈추게 된다.
이렇게 UV 램프(12)로부터 자외선이 조사되고 셔터(20)가 열려져 있는 상태가 되면, 컨트롤유니트(54)의 순차제어에 의해 웨이퍼 구동수단의 제2모터(34)와 제2인덱스(31)가 구동을 시작하면서 제2플라이휠(33)을 회전시키게 되고, 제2커넥팅로드(32)의 지속적인 크랭크운동을 통해 웨이퍼가 안착되어 있는 워크플레이트(35)가 전후 왕복운동을 하게 된다.
이때의 워크플레이트(35)는 저면의 LM 가이드(62)에 의한 안내를 받으면서 운동을 하게 되므로 정숙한 운동상태를 유지할 수 있게 된다.
이와 같이 UV 램프(12)로부터 자외선이 조사되는 동안 웨이퍼가 반복해서 전후로 움직임에 따라 웨이퍼상의 전체 면적에 걸쳐 자외선이 균일하게 조사될 수 있게 된다.
한편, 웨이퍼에 대한 자외선 처리가 진행되는 동안 시스템 본체 내부는 질소 공급수단에 의한 질소분위기하에 있게 된다.
즉, 이노나이저 파워유니트(42)의 작동과 동시에 N2블로어바(40)를 통한 질소의 공급이 이루어짐에 따라 시스템 본체 내부는 질소분위기로 조성될 수 있게 되고, 이에 따라 웨이퍼에 대한 자외선 처리과정이 더욱 효과적으로 진행될 수 있게 된다.
이와 같은 본 발명의 UV 조사장치에서 웨이퍼에 대한 자외선 처리과정은 웨이퍼상의 접착테이프의 특성에 따라 그 처리시간이 가변될 수 있으나 통상 1분 내지 5분 정도의 처리시간을 설정하는 것이 바람직하며, 처리시간의 너무 짧거나 많이 경과하게 되면 반도체칩 픽업과정에서 픽업불량의 문제 등이 일어날 수 있으므로 되도록 위에 예시한 처리시간의 범위를 준수할 필요가 있다.
또한, 본 발명의 UV 조사장치에서는 작동이 이루어지고 있는 상황을 램프장치를 통해 작업자가 알 수 있으므로 작업상의 편의 또한 도모할 수 있다.
또한, 본 발명의 UV 조사장치에서 컨트롤유니트에 의한 일련의 순차적인 제어과정은 반드시 위에서 기술한 일 구현예에 한정되는 것이 아니며, 웨이퍼 사양이나 접착테이프의 종류 등에 따라 그 제어과정은 적절하게 가변될 수 있다.
한편, 소정의 시간이 경과된 후, 자외선 처리과정이 완료되면, 제2모터(34) 및 제2인덱스(31)의 구동이 멈춤과 동시에 제1모터(24) 및 제1인덱스(21)의 구동에 의해 셔터(20)가 앞쪽으로 이동되어 닫혀지면서 UV 램프(12)에서 조사되는 자외선을 차단할 수 있게 되고, 계속해서 솔레노이드잠금장치(64)의 잠금도 풀리게 되므로서, 손잡이를 이용하여 웨이퍼가 안치되어 있는 워크플레이트(35)를 포함하는 웨이퍼 지지플레이트(36) 전체를 인출하여 자외선 처리를 마친 웨이퍼를 꺼낼 수 있으며, 재차 새로운 웨이퍼를 투입할 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명은 자외선을 조사하는 방식으로 웨이퍼에 있는 접착테이프의 접착력을 약화시켜주는 UV 조사장치를 제공함으로써, 반도체칩 픽업과정시 크랙 등의 손상을 방지할 수 있고 픽업과정을 한층 효율적으로 수행할 수 있는 장점이 있는 것이다.

Claims (9)

  1. 전후 슬라이드되면서 수납/인출가능한 램프 고정플레이트(10)와, 적어도 4개의 램프 고정브라켓(11)과, 웨이퍼의 저부에서 자외선을 조사하는 UV 램프(12)를 포함하는 자외선 조사수단과,
    상기 UV 램프(12)의 상부에서 위치를 가변시키면서 램프로부터 조사되는 자외선을 선택적으로 차단시키는 셔터(20)와, 제1인덱스(21)로부터 동력을 전달받아 회전되면서 제1커넥팅로드(22)를 이용하여 상기 셔터(20)의 위치를 가변시켜주는 제1플라이휠(23)과, 상기 제1인덱스(21)와 직결 구동되는 제1모터(24)와, 셔터(20)의 위치를 결정해주는 피스톤 디텍트캠(25)을 포함하는 자외선 차단수단과,
    웨이퍼를 안착시킬 수 있는 전후좌우 4개의 블럭(30)을 갖고 있으며 전후 왕복운동을 하면서 웨이퍼를 움직여주는 워크플레이트(35)와, 제2인덱스(31)로부터 동력을 전달받아 회전되면서 제2커넥팅로드(32)를 이용하여 상기 워크플레이트(35)를 반복적으로 당겨주고 밀어주는 제2플라이휠(33)과, 상기 제2인덱스(31)와 직결 구동되는 제2모터(34)와, 이것들 전체를 받치고 있는 웨이퍼 지지플레이트(36)를 포함하는 웨이퍼 구동수단과,
    다수의 토출구멍을 가지면서 웨이퍼의 상부에 가로질러 배치되는 N2블로어바(40) 및 이것을 지지하는 양쪽의 이노나이저브라켓(41)과, N2블로어바(40)의 일측에 연통 설치되어 질소분위기를 조성하는 이노나이저 파워유니트(42)를 포함하는 질소 공급수단과,
    상기 웨이퍼 구동수단을 지지하는 중간의 베이스플레이트(50) 및 다수의 베이스포스트(51)와, 밀폐형 공간을 형성하는 사방의 커버(52) 및 아래로 통하는 저부의 하우징(53)과, 상기의 수단들을 제어하는 일측의 컨트롤유니트(54)를 포함하는 시스템 본체로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 램프 고정플레이트(10)와 웨이퍼 지지플레이트(36)의 저부에는 좌우 2개의 앞쪽 캠플로어(60)와 서로 나란한 2개의 나머지 구간 슬라이드 팩스페이서(61)가 갖추어져 있어서, 플레이트 전체의 수납/인출시 안내를 받을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 셔터(20)와 워크플레이트(35)는 서로 나란한 양쪽의 LM 가이드(62)에 의한 안내를 받으면서 슬라이드 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제1커넥팅로드(22)와 제2커넥팅로드(32)의 양단 연결부위는 회전운동과 직선운동 간의 간섭을 수용할 수 있도록 로드 앤드조인트(63)로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 구동수단의 초입부 양쪽에는 워크플레이트(35)가 움직일 때 일어나는 유동을 잡아줄 수 있는 솔레노이드잠금장치(64)가 갖추어져 있는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 이노나이저 파워유니트(42)는 질소가스의 원할한 공급을 위하여 N2필터, N2레귤레이터, N2게이지 등을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 시스템 본체에는 컨트롤유니트(54)와 연계되어 작업 진행상태를 단계별로 알려주는 램프장치(65)가 갖추어져 있는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 질소 공급수단에는 에어의 흐름을 유도할 수 있는 블로어 유니트(43)가 갖추어져 있는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
  9. 제 5 항에 있어서, 상기 솔레노이드잠금장치(64)는 플런저 삽입구멍을 갖는 도어 고정블럭(64a)이 웨이퍼 지지플레이트(36)의 벽면 바깥쪽에 설치되고, 상기 도어 고정블럭(64a)의 바로 밑에는 베이스플레이트(50)상에 플런저를 위로 한 솔레노이드(64b)가 설치되어 이것의 작동과 동시에 플런저가 블럭의 삽입구멍에 체결될 수 있도록 된 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 제조장비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20030057854A (ko) * 2001-12-29 2003-07-07 김형곤 Ｓｍｄ 수정진동자 조립장치

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