KR100401699B1 - 후프오프너의 맵핑장치 - Google Patents

Abstract

개시된 내용은 파티클(paticle) 발생을 방지한 후프오프너(Foup Opener)의 맵핑(mapping)장치에 관한 것이다.

이 후프오프너의 맵핑장치는, 개방된 후프 내부를 향하여 웨이퍼 적층상태를 검사하기 위한 디텍터(120); 사각통형의 상면에 개구부(116)를 형성한 고정케이스(100); 및 상기 고정케이스(100) 내부에서 소정의 동력으로 전후진 작동하며, 상기 개구부를 통하여 디텍터(120)와 연결되는 이동수단(110)을 포함한다.

상기 후프오프너의 맵핑장치는 밀폐된 고정케이스 내측의 전후진구동시 발생되는 파티클이 최대한 외측으로 전달됨을 방지함과 동시에 발생되었거나 잔류하는 파티클을 고정케이스 내측에서 소정의 배출수단을 통하여 외부로 배출시켜 맵핑장치 주변의 청정도를 유지토록한다.

Description

후프오프너의 맵핑장치{Mapping apparatus for foup opener}

본 발명은 후프오프너의 맵핑장치에 관한 것으로 특히, 맵핑장치의 파티클 발생을 방지한 후프오프너의 맵핑장치에 관한 것이다.

일반적으로 후프오프너의 맵핑장치는 첨부 도면 도 1에서 도시하는 바와같이 소정의 수용공간을 갖고 상면이 개방된 고정케이스(100)와, 이 고정케이스(100)의 수용공간에서 전후진 작동하는 디텍터(detector)(20)로 이루어진다.

디텍터는 알려진 바와같이 소정의 전원 공급으로 전방 웨이퍼적재상태가 비정상임을 검출해낸다. 웨이퍼의 비정상상태라함은 웨이퍼가 두장 겹쳐져 있다든가, 웨이퍼가 경사지게 수용되어 있는 등의 상태이며, 이것을 소정의 촬상장치 혹은 신호주사로 형태를 판단하는 장치등이 적용된다. 구체적인 검출구조는 일반적이므로 생략한다.

이와같은 디텍터(20)는 고정케이스(10)내에서 전방을 향하여 소정길이 전진한 뒤 상기한 검출작동을 개시한다. 이를 위하여 디텍터(20)는 고정케이스 내벽에 설치된 가이드바를 타고 수평적으로 미끄럼이동된다.

디텍터(20)의 이동은 고정케이스(10)의 바닥내에 구비된 수개의 롤(30)과, 이 롤(30)들에 권취되어 소정의 엔드레스상태를 유지하는 와이어(40)와, 이 와이어 (40)의 중간을 걸어 와이어(40)를 좌우이동시키는 구동모터에 의하여 이루어진다.

따라서 후프 도어를 개방한 후프오프너의 도어수용체가 하강을 개시하는 순간 구동모터가 작동하여 와이어를 당겨줌으로써 이 와이어 양단을 연결한 디텍터가이동하여 전진되며, 이후 하강속도를 조절해가면서 차례차례 웨이퍼의 적재상태를 검출하게 된다.

한편, 후프오프너는 소정의 웨이퍼 가공설비 입구측에 설치된다. 그러나 상기한 맵핑장치는 구조적으로 후프오프너의 전면과 상면을 향하여 개방되어 있고, 이와같은 개방된 상태에서 디텍터가 전후진 이동하도록 구동모터가 작동함에 따라 좌 또는 우측으로 이동하는 와이어에 접촉되는 공회전롤들과 풀리의 접촉부위에서 미세한 파티클이 발생된다.

발생된 파티클은 디텍터가 고정케이스(100)내에서 전후진할 때 케이스 내부의 공기를 압축하여 고정케이스와 디텍터의 틈새사이로 오염된 공기가 누출되면서 후프내에 안치된 웨이퍼를 오염 또는 주변을 오염시키게 된다.

본 발명은 후프오프너의 맵핑장치에 잔류하는 파티클을 제거하여 후프오프너의 맵핑작동으로 인하여 청정도 유지에 방해되지 않도록 하는 데에 그 목적이 있으며, 특히, 파티클이 발생되는 고정케이스의 작동부분을 소정의 구조로 밀폐가능하게 하여 상기와 같은 파티클 제거수단과 더불어 후프오프너의 맵핑시 발생되는 파티클을 극력 방지한 맵핑장치를 제공하고자 한다.

도 1은 종래 후프오프너의 맵핑장치의 사시도,

도 2는 본 발명 후프오프너 맵핑장치의 결합사시도,

도 3은 본 발명 후프오프너 맵핑장치의 디텍터를 분리한 상태의 평면도,

도 4는 본 발명 후프오프너 맵핑장치의 일부 생략의 단면도.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

100:고정케이스....................................110:이동수단

112:연결부........................................114:가이드바

116:개구부........................................118:차단부재

120:디텍터........................................130:파티클배출공

132:파티클배출호스................................134:흡입기구

140:커넥터........................................142:플랫와이어

144:컨넥터........................................150:구동모터

152:구동풀리......................................160:와이어

170:롤

본 발명의 상기한 목적은 후프오프너의 맵핑장치에 있어서, 개방된 후프 내부를 향하여 웨이퍼 적층상태를 검사하기 위한 디텍터; 개구부를 형성한 고정케이스; 및 상기 고정케이스 내부에서 소정의 동력으로 전후진 작동하며, 상기 개구부를 통하여 디텍터와 연결되는 이동수단을 포함하는 후프오프너의 맵핑장치로서 달성된다.

본 발명에 따른 상기 고정케이스의 개구부는 디텍터와 이동수단의 연결부가 전후진 가능하도록 상기 고정케이스 상면에 길게 뚫려 있으며, 그 개구부를 따라 소정의 연질 차단부재를 더 구비함이 바람직하다.

본 발명에 따른 상기 이동수단은 수평적으로 설치된 가이드바를 따라 슬라이딩되는 슬라이더가 바람직하고, 이 슬라이더는 일주회전하는 와이어와 연결되어 와이어의 이동을 직진운동가능하게 하고, 이 와이어는 수개의 공회전롤,모터축에 설치된 풀리를 따라 권취됨이 바람직하다.

본 발명에 따른 맵핑장치는 상기 고정케이스 내부에 잔류하는 파티클을 흡입제거하기 위하여 소정의 흡입기구와의 사이에 흡입호스로 연결되는 파티클배출공을 더 구비함이 바람직하다.

본 발명에 따른 후프오프너의 맵핑장치는 소정의 밀폐된 고정케이스내에서 슬라이딩작동 및 권취와이어의 정역작동이 수행되면서 발생되는 파티클이 디텍터와 고정케이스내에서 작동되면서 압축공기에 의한 유출을 차단하기 위하여 디텍터부를 고정케이스와 분리하여디텍터를 상부쪽으로 노출시켜 압축공기에 따른 오염공기의 유출을 차단하도록 한 특징이 있다.

특히 본 발명의 맵핑장치는 고정고정케이스 저면으로 파티클배출기구를 설치하여 고정케이스공간내 잔류하거나 발생된 파티클을 즉시 배출하여 디텍터의 작동으로 맵핑장치 내부는 물론 그 주위가 오염됨을 방지하는 특징도 있다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 구체적으로 설명한다.

첨부 도면중 도 2는 본 발명 후프오프너 맵핑장치의 결합사시도이다.

상기 도면에서 도시하는 바와같이 본 발명은 크게 개방된 후프 내부를 향하여 웨이퍼 적층상태를 검사하기 위한 디텍터(120)와, 이 디텍터(120)를 받치고 있는 고정케이스(100)와, 고정케이스(100)내부에 위치하는 이동수단(110)으로 이루어진다.

디텍터(120)의 기능은 이미 앞에서 설명한 바와같이 공지된 웨이퍼 적층상태 검사장치를 그대로 적용하는 것이므로 상세한 설명은 생략한다. 다만 본 발명은 디텍터저면에서 상기 이동수단(110)과 수직적으로 연결된 연결부(112)를 형성하여 이동수단(110)과 함께 이동한다.

고정케이스(100)는 납작한 사각통형의 케이스이며, 대략 밀페구조를 갖는다. 이 고정케이스(100)의 상면에는 개구부(116)가 형성되며, 개구부(116)에는 연질의 차단부재(118)가 부착되어 내외부간의 파티클 유입을 차단한다. 이 고정케이스(100)의 저부에는 전원공급용 커넥터(140)와 파티클배출호스(132)가 구비된다.

첨부 도면중 도 3은 본 발명 고정케이스의 상부를 절단하여 내부 구조를 보여주는 평면개략도이다.

이 도면에서 도시하는 바와같이 본 발명 이동수단(110)은 상방으로 연결부(112)를 가지며(도면상 절단부 표시), 수평적으로 설치된 두개의 가이드바(114)를 따라 미끄럼 이동된다. 이 이동수단(110)은 슬라이더(slider)라고도 하며, 일주회전하는 와이어(160)와 어느 한점(a)에서 양끝이 연결된다.

이 와이어(160)는 소정위치에 공회전가능하게 설치된 수개의 공회전롤(170)들과 정역으로 당기고 풀어주는 구동풀리(152)에 권취된다. 구동풀리(152)는 구동모터(150)에 의하여 구동된다.

한편,이동수단(110)을 통한 디텍터(120)의 전원 공급은 상기 커넥터(140)에서 고정케이스(100)내측으로 연결된 플랫와이어(142)를 통하여 가능하다. 즉, 플랫와이어(142)의 타단은 디텍터(120)에 연결되거나 이동수단(110)을 매개로 연결된다.

첨부 도면중 도 4는 본 발명 후프오프너의 맵핑장치 연결구조를 나타내는 일부 생략의 요부 확대 단면도이다.

이 도면에서 본 발명의 고정케이스(100)는 소정의 흡입기구(134)와의 사이에 흡입호스(132)로 연결되는 파티클배출공(130)을 구비하고 있음을 나타낸다.

또한, 거의 밀폐된 고정케이스(100)내측에서 연결부(112)를 따라 상방외측으로 디텍터(120)와 연결됨과 동시에 가이드바(114)를 타고 이동가능하게 위치하는 이동수단(110)을 나타내고 있다. 커넥터(140)의 내측에는 플랫와이어(142)가 위치하고, 그 외측저면에는 전원공급용 플럭(144)이 접속됨을 나타내고 있다.

이와같은 구조로 이루어진 본 발명의 작동을 설명한다.

후프 도어를 개방한 도어수용체가 하강을 개시하는 순간 구동모터(150)가 작동한다. 구동모터(150)의 구동으로 와이어(160)을 감고 있는 구동풀리(152)가 소정 방향으로 와이어(160)를 당겨준다. 와이어(160)의 일방향이동은 이 와이어(160) 양단을 "a"점에서 연결한 이동수단(110)을 가이드바를 따라 직진이동시키게 되며, 이동수단(110)의 전진은 고정케이스(100)상방으로 연결된 디텍터(120)를 소정거리 전진시킨다.

이후 전진된 디텍터(120)는 후프도어가 수용된 도어수용체의 하강속도를 조절해가면서 후프 내부의 웨이퍼를 차례차례 검사하며 하강한다.

본 발명은 상기와 같은 후프개방후 후프내부의 웨이퍼 적재상태를 검사하는 디텍터가 종래와 달리 고정케이스내측에서 직접와이어에 의하여 동력을 전달받는 것이 아니라 밀폐된 고정케이스 내측에서 전후진력이 발생되도록 함과 동시에 외측에서 디텍터만 이동가능하게 함으로써 고정케이스내측의 이동작동순간 발생되는 미세한 파티클이 외측으로 누출되는 것을 방지하게 함과 동시에 오염된 내부공기에 의해 디텍터의 오염을 막기 위함이다.

특히, 이와같은 파티클 방지구조에 더하여 고정케이스 내측에서는 파티클을 흡기수단을 통하여 흡입배출토록함으로써 파티클의 발생을 완벽하게 방지한 효과를 갖는다.

Claims (5)

1. 삭제
2. 후프오프너의 맵핑장치에 있어서,

   개방된 후프 내부를 향하여 웨이퍼 적층상태를 검사하기 위한 디텍터;

   개구부를 형성한 고정케이스;

   상기 고정케이스 내부에서 소정의 동력으로 전후진 작동하며, 상기 개구부를 통하여 디텍터와 연결되는 이동수단; 및

   상기 고정케이스의 개구부는 디텍터와 이동수단의 연결부가 전후진 가능하도록 길게 뚫려 있으며,그 개구부를 따라 소정의 파티클 차단을 위한 연질 차단부재를 포함하는 후프오프너의 맵핑장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 이동수단은 수평적으로 설치된 가이드바를 따라 미끄럼 이동되는 슬라이더인 것을 특징으로 하는 후프오프너의 맵핑장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 슬라이더는 일주회전하는 와이어와 연결되고 이 와이어는 수개의 공회전롤과 정역으로 당기고 풀어주는 구동풀리에 권취시켜 이동가능하게 하는 것을 특징으로 하는 후프오프너의 맵핑장치.
5. 제 2항에 있어서,

   상기 고정케이스 내부에 잔류하는 파티클을 흡입제거하기 위하여 소정의 흡입기구와의 사이에 흡입호스로 연결되는 파티클배출공을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 후프오프너의 맵핑장치.