KR20000031236A - 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 공정챔버의 내부에 웨이퍼를 정확하게 안착시켜 설비의 생산성을 향상시키는 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구에 관한 것이다.
본 발명에 의한 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구는 공정챔버의 내부에서 회전하는 웨이퍼디스크 상에 안착된 웨이퍼가 원심력에 의해 상기 웨이퍼디스크로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 웨이퍼디스크의 일측면에 설치되고, 상단부에 상기 웨이퍼가 미끄러져 상기 웨이퍼디스크 상에 안착되도록 상기 웨이퍼디스크의 회전중심을 향해 소정의 기울기를 가지며 기울어진 경사면이 형성된 디스크펜스 및 상기 디스크펜스의 반대편에서 상기 웨이퍼를 가압함으로써 상기 웨이퍼를 상기 디스크펜스에 밀착고정시키는 핑거를 구비하여 이루어진다.
따라서, 공정챔버의 내부에 웨이퍼를 안착시킬 때에 상기 웨이퍼의 깨짐이나, 상기 웨이퍼를 오염시키는 파티클의 발생을 방지하고, 상기 웨이퍼를 정확한 공정위치에 안착시킴으로써 설비의 생산성을 향상시키게 하는 효과를 갖는다.

Description

반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구
본 발명은 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정챔버의 내부에 웨이퍼를 정확하게 안착시켜 설비의 생산성을 향상시키는 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 사진, 이온확산, 식각, 증착 등의 공정들을 반복적으로 수행하여 반도체장치인 칩으로 제조되며, 각각의 공정들을 실시하기 위하여 특정조건이 형성된 공정챔버를 구비하는 공정설비가 구성된다.
이때, 상기 웨이퍼는 상기 공정챔버의 내부에 안착되며, 상기 공정들이 안정되게 실시되도록 상기 웨이퍼를 지지고정하는 웨이퍼 고정구가 구성된다.
도1을 참조하여 설명하면, 종래의 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구는 공정챔버의 내부에 설치되어 웨이퍼(1)가 안착되는 웨이퍼디스크(11)에 설치된다.
여기서, 상기 웨이퍼디스크(11)는 상기 웨이퍼(1)가 안착된 상태에서 회전하고, 상기 웨이퍼 고정구는 상기 웨이퍼디스크(11)의 회전에 의해 발생한 원심력으로 인하여 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(11)로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 웨이퍼디스크(11)의 측면에 설치된 디스크펜스(12)와, 상기 디스크펜스(12)의 반대편에 설치되어 상기 웨이퍼(1)를 가압함으로써 상기 디스크펜스(12)의 측면에 상기 웨이퍼(1)를 지지고정시키는 핑거(13)를 구비하여 이루어진다.
이때, 상기 디스크펜스(12)는 상기 웨이퍼디스크(11)의 측면에서 상방으로 수직하게 설치되어 있다.
그리고, 상기 핑거(13)는 소정 각도만큼 회동이 가능하도록 일측이 회전지지되어 있으며, 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(11)에 안착될 때에는 상기 웨이퍼디스크(11)로부터 이격되고, 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(11)에 안착된 후에는 일정 각도만큼 회동하여 상기 웨이퍼(1)를 가압함으로써 상기 디스크펜스(12)에 상기 웨이퍼(1)를 밀착고정시킨다.
그러나, 상기 공정챔버의 내부에서 공정이 이루어지도록 상기 웨이퍼(1)를 상기 웨이퍼디스크(11) 상에 안착시키거나, 공정을 마친 후 상기 웨이퍼(1)를 상기 웨이퍼디스크(11)로부터 이격시킬 때에 상기 디스크펜스(12)가 상기 웨이퍼디스크(11)의 측면에 수직상방으로 설치되어 있으므로 상기 웨이퍼(1)를 수직이동시켜야 하는 어려움이 있었다.
즉, 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(11)에 기울어져 안착되는 경우, 상기 디스크펜스(12)의 상단부에 상기 웨이퍼(1)가 충돌하여 깨지게 되거나, 상기 디스크펜스(12)의 측벽이 상기 웨이퍼(1)에 의해 긁히게 되어 파티클이 발생함으로써 상기 웨이퍼(1)가 오염되는 등의 문제점이 있었다.
또한, 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(11) 상에 정확하게 안착되지 못함으로써 상기 웨이퍼(1)를 가공하는 공정이 제대로 이루어지지 않게 되어 설비의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 공정챔버의 내부에 웨이퍼를 안착시킬 때에 상기 웨이퍼의 깨짐이나, 상기 웨이퍼를 오염시키는 파티클이 발생하는 것을 방지하고, 상기 웨이퍼를 정확한 공정위치에 안착시킴으로써 설비의 생산성을 향상시키게 하는 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구를 제공하는데 있다.
도1은 종래의 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구를 나타낸 사시도이다.
도2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구를 나타낸 사시도이다.
도3은 도2의 부분단면도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 웨이퍼(Wafer) 11, 21 : 웨이퍼디스크(Wafer-disc)
12, 22 : 디스크펜스(Disc-fence) 13, 24 : 핑거(Finger)
23 : 경사면
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구는, 공정챔버의 내부에서 회전하는 웨이퍼디스크 상에 안착된 웨이퍼가 원심력에 의해 상기 웨이퍼디스크로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 웨이퍼디스크의 일측면에 설치되고, 상단부에 상기 웨이퍼가 미끄러져 상기 웨이퍼디스크 상에 안착되도록 상기 웨이퍼디스크의 회전중심을 향해 소정의 기울기를 가지며 기울어진 경사면이 형성된 디스크펜스 및 상기 디스크펜스의 반대편에서 상기 웨이퍼를 가압함으로써 상기 웨이퍼를 상기 디스크펜스에 밀착고정시키는 핑거를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2를 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구는 공정챔버의 내부에 설치되어 웨이퍼(1)가 안착되는 웨이퍼디스크(21)에 설치된다.
여기서, 상기 웨이퍼디스크(21)는 상기 웨이퍼(1)가 안착된 상태에서 회전하고, 상기 웨이퍼 고정구는 상기 웨이퍼디스크(21)의 회전에 의해 발생한 원심력으로 인하여 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(21)로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 웨이퍼디스크(21)의 측면에 설치된 디스크펜스(22)를 구비하고 있다.
상기 디스크펜스(22)는 상기 웨이퍼디스크(21)의 측면에서 상방으로 수직하게 설치되어 있고, 상기 디스크펜스(22)의 내측면은 상기 웨이퍼(1)와의 접촉에 의해 파티클이 발생하지 않도록 매끄럽게 가공되어 있다.
이때, 도3을 참조하여 설명하면, 상기 디스크펜스(22)의 상단부에는 상기 웨이퍼디스크(21)의 회전중심을 향하여 소정의 기울기를 가지며 기울어진 경사면(23)이 형성되어 있으며, 상기 웨이퍼(1)가 상기 경사면(23) 상에 위치하게 되면, 상기 웨이퍼(1)는 자중에 의해 하방으로 미끄러져 상기 웨이퍼디스크(21) 상에 안착된다.
한편, 상기 디스크펜스(22)의 반대편에는 상기 웨이퍼(1)를 가압하여 상기 디스크펜스(22)의 측면에 지지고정시키도록 일측이 회전지지되어 소정의 각도만큼 회동이 가능한 핑거(24)가 설치되어 있다.
상기 핑거(24)는 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(21)에 안착될 때에는 상기 웨이퍼디스크(21)로부터 이격되고, 상기 웨이퍼(1)가 상기 웨이퍼디스크(21)에 안착된 후에는 일정 각도만큼 회동하여 상기 웨이퍼(1)를 가압함으로써 상기 디스크펜스(22)에 상기 웨이퍼(1)를 밀착고정시킨다.
따라서, 상기 웨이퍼(1)가 소정의 이송수단에 의해 상기 웨이퍼디스크(21)에 안착될 때에 상기 웨이퍼(1)가 기울어지거나, 또는 상기 디스크펜스(22) 상에 놓여지더라도 상기 디스크펜스(22)의 상단부에 형성된 상기 경사면(23)에 의해 상기 웨이퍼(1)는 하방으로 미끄러지게 되고, 이는 상기 웨이퍼(1)가 상기 디스크펜스(22)의 상단부와 충돌하여 깨지거나, 상기 웨이퍼(1)와 상기 디스크펜스(22)와의 마찰에 의해 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 상기 웨이퍼(1)를 상기 웨이퍼디스크(21) 상에 정확하게 안착시킬 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구에 의하면 공정챔버의 내부에 웨이퍼를 안착시킬 때에 상기 웨이퍼의 깨짐이나, 상기 웨이퍼를 오염시키는 파티클의 발생을 방지하고, 상기 웨이퍼를 정확한 공정위치에 안착시킴으로써 설비의 생산성을 향상시키게 하는 효과를 갖는다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

  1. 공정챔버의 내부에서 회전하는 웨이퍼디스크 상에 안착된 웨이퍼가 원심력에 의해 상기 웨이퍼디스크로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 웨이퍼디스크의 일측면에 설치되고, 상단부에 상기 웨이퍼가 미끄러져 상기 웨이퍼디스크 상에 안착되도록 상기 웨이퍼디스크의 회전중심을 향해 소정의 기울기를 가지며 기울어진 경사면이 형성된 디스크펜스; 및
    상기 디스크펜스의 반대편에서 상기 웨이퍼를 가압함으로써 상기 웨이퍼를 상기 디스크펜스에 밀착고정시키는 핑거;
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구.
KR1019980047177A 1998-11-04 1998-11-04 반도체장치 제조설비의 웨이퍼 고정구 KR20000031236A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100811457B1 (ko) * 2003-12-31 2008-03-10 동부일렉트로닉스 주식회사 씨엠피 장비의 웨이퍼 세정기

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KR100811457B1 (ko) * 2003-12-31 2008-03-10 동부일렉트로닉스 주식회사 씨엠피 장비의 웨이퍼 세정기

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