KR20000030988A - 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버는, 스톱칼라의 하단부에 결합되는 스크류와 이들을 고정하기 위한 너트가 상, 하위치에서 각각 체결된 구조에 있어서, 상기 너트가 죔접촉되는 상, 하의 각 사이 부분에 충격에 의한 풀림이 발생하지 않도록 평와셔 및 스프링와셔를 각각 개재하여 조립됨을 특징으로 한다.

따라서, 임플랜터설비 내에 웨이퍼를 로딩하고자 도어를 개방할 때 상기 도어의 일측에 설치된 쇽업저버 내의 평와셔 및 스프링와셔가 너트풀림을 방지함으로써 도어의 수평성을 정확히 유지하여 웨이퍼의 로딩에러 및 손상을 최소화할 수 있는 효과를 갖는다.

Description

반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버

본 발명은 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버에 관한 것으로, 특히, 임플랜터설비 내에 웨이퍼를 로딩하고자 도어를 개방할 때 상기 도어의 수평 상태를 유지하여 주는 쇽업저버의 너트풀림을 방지할 수 있게 한 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버에 관한 것이다.

일반적으로, 이온주입공정(Ion Implantation Process)은 반도체 소자로 제조되는 웨이퍼 내에 불순물, 즉 이온을 주입시켜 전기적 특성을 갖도록 하는 기술로써, 상기 반도체 소자가 고집적화, 고밀도화 되어가는 최근의 추세에 있어서 상기 이온주입공정의 중요성을 더해가며 더욱 더 다양하게 발전되고 있다.

현재까지 사용되고 있는 임플랜터설비(특히, High Current Ion Implanter)에 있어서 웨이퍼를 로딩하기 위해서는, 수직방향으로 디스크가 부착되어 있는 도어를 개방하여 로봇로딩시스템(Robot Loading System)과 수평을 유지하게 됨으로써 가능하게 된다.

상기한 바와 같이 도어가 개방될 때 개방 작동상의 충격을 흡수함과 아울러 수평 상태를 유지할 수 있도록 상기 도어의 일측에는 쇽업저버(Shock Absober)가 설치되어 있다.

그러나, 도1에 도시한 바와 같은 종래의 쇽업저버(10)는 스톱칼라(Stop Collar)(11)의 하단부에 결합되는 스크류(12)와, 이들을 고정하기 위한 너트(13)가 상, 하위치에서 각각 단순히 체결되어 있으므로 그 죔상태가 충격 등에 의해 쉽게 풀어지면서 도어의 수평성을 변형시키는 문제점이 있었다.

상기와 같이 도어의 수평성이 변형되는 경우에는 웨이퍼 로딩에러가 증가할 뿐만 아니라, 웨이퍼의 손상을 초래하는 문제점이 발생하게 된다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 임플랜터설비 내에 웨이퍼를 로딩하고자 도어를 개방할 때 상기 도어의 일측에 설치된 쇽업저버의 너트풀림을 방지함으로써 도어의 수평성을 정확히 유지하여 웨이퍼의 로딩에러 및 손상을 최소화할 수 있도록 된 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버를 제공하는데 그 목적이 있다.

도1은 종래 기술에 따른 반도체 임플랜터설비의 쇽업저버를 개략적으로 도시한 정면도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버를 개략적으로 도시한 정면도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 20 ; 쇽업저버 11, 21 ; 스톱칼라

12, 22 ; 스크류 13, 23 ; 너트

24 ; 평와셔 25 ; 스프링와셔

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버는 스톱칼라의 하단부에 결합되는 스크류와 이들을 고정하기 위한 너트가 상, 하위치에서 각각 체결된 구조에 있어서, 상기 너트가 죔접촉되는 상, 하의 각 사이 부분에 충격에 의한 풀림이 발생하지 않도록 평와셔 및 스프링와셔를 각각 개재하여 조립됨을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버(20)는 스톱칼라(21)의 하단부에 결합되는 스크류(22)와 이들을 고정하기 위한 너트(23)가 상, 하위치에서 각각 체결되고, 상기 너트(23)가 죔접촉되는 상, 하의 각 사이 부분에 충격에 의한 풀림이 발생하지 않도록 평와셔(24) 및 스프링와셔(25)를 각각 개재하여 조립된 구조로 이루어져 있다.

이때, 상기 너트(23)는 두께가 4 내지 7mm 정도의 것을 사용하고, 상기 평와셔(24)는 1mm, 상기 스프링와셔(25)는 2mm 정도의 두께를 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하다.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버(20)는, 웨이퍼를 로딩할 수 있도록 수직방향으로 디스크가 부착되어 있는 도어를 개방하여 로봇로딩시스템과 수평을 유지하는 과정에서, 도어개방 작동상의 충격을 흡수함과 아울러 수평 상태를 유지할 수 있게 한다.

이때, 상기 평와셔(24) 및 스프링와셔(25)는 스톱칼라(21)의 하단부와 너트(23)의 사이에서 탄성적으로 지지되므로, 외부의 반복적인 충격이 전달되더라도 그 진동에 의한 상기 너트(23)의 풀림을 방지할 수 있게 된다.

따라서, 상기 쇽업저버(20)는 도어개방 작동상의 충격을 흡수하는 고유의 기능을 장기간 수행할 수 있게 됨으로써, 도어의 수평성을 유지하여 웨이퍼 로딩에러 및 웨이퍼의 손상을 최소화할 수 있는 것이다.

이상에서 기술한 바와 같은 본 발명에 따른 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버에 의하면, 임플랜터설비 내에 웨이퍼를 로딩하고자 도어를 개방할 때 상기 도어의 일측에 설치된 쇽업저버 내의 평와셔 및 스프링와셔가 너트풀림을 방지함으로써 도어의 수평성을 정확히 유지하여 웨이퍼의 로딩에러 및 손상을 최소화할 수 있는 효과가 발휘된다.

이상의 설명에서와 같이 본 발명은 하나의 바람직한 구체예에 대해서만 기술하였으나, 상기의 구체예를 바탕으로 한 본 발명의 기술사상 범위 내에서의 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 또한, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (4)

1. 스톱칼라의 하단부에 결합되는 스크류와 이들을 고정하기 위한 너트가 상, 하위치에서 각각 체결된 구조에 있어서,

   상기 너트가 죔접촉되는 상, 하의 각 사이 부분에 충격에 의한 풀림이 발생하지 않도록 평와셔 및 스프링와셔를 각각 개재하여 조립됨을 특징으로 하는 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 너트는 4 내지 7mm 정도의 두께로 된 것을 사용함을 특징으로 하는 상기 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 평와셔는 1mm 정도의 두께로 된 것을 사용함을 특징으로 하는 상기 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 스프링와셔는 2mm 정도의 두께로 된 것을 사용함을 특징으로 하는 상기 반도체 임플랜터설비의 풀림방지용 쇽업저버.