KR20020067145A - 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 축 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 이온 주입 설비에서 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 장착 구조에 관한 것으로, 페러데이 커버 어셈블리는 플래그 컵과, 플래그 컵을 업 다운 동작시키기 위한 실린더와, 실린더를 설비의 고정판에 고정시키기 위한 피봇 포스트를 포함하되, 피봇 포스트는 고정판과 맞닿는 제 1 면과, 제 1 면과 대응되는 제 2 면을 구비하되 제 1 면은 제 2 면보다 넓은 단면적을 갖는다.
Description
본 발명은 이온 주입 설비에서 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 구조에 관한 것이다.
이온 주입 장치의 페러데이 장치는 이온 주입시 발생되는 이차 전자를 효과적으로 억제하고 정확한 값의 도우즈를 카운팅함으로써, 오버 도우즈 및 언더 도우즈의 발생을 예방하는 역할을 한다.
도 1에 도시된 피봇 포스트(12)는 이온 주입 설비의 페러데이 커버 어셈블리에서 플래그 컵을 업다운 동작시키기 위한 실린더(14)를 고정하는 축이다. 이 피봇 포스트(12)는 실린더(14)와 상기 페러데이 커버 어셈블리의 고정판(16)에 각각 볼트(18)에 의해 고정되어져 있다.
그러나 종래 피봇 포스트(12)에서는 브로킨 현상이 자주 발생한다. 이는 실린더(14)의 동작시 그 움직임이 상기 피봇 포스트(12)로 전달되어 지면서 도 1에 표시된 "A" 부분이 파손되는 문제가 발생된다. 심한 경우, 상기 피봇 포스트(12)의 자체 파손뿐만 아니라 페러데이 커버 어셈블리의 고정판(16) 부분이 파손되는 경우도 발생하게 된다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 피봇 포스트의 파손을 방지할 수 있는 새로운 형태의 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 구조를 제공하는데 있다.
도 1은 종래 실린더 장착 부분을 보여주는 측면도;
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 페러데이 커버 어셈블리에서 실린더 장착 부분을 보여주는 사시도;
도 3은 도 2에 도시된 피봇 포스트의 단면도;
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 페러데이 커버 어셈블리에서 실린더 장착 부분을 보여주는 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 피봇 포스트112 : 제 1 면
114 : 제 2 면120 : 실린더
130 : 고정판140 : 고정 볼트
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 페러데이 커버 어셈블리에 있어서: 플래그 컵과; 상기 플래그 컵을 업 다운 동작시키기 위한 실린더와; 상기 실린더를 설비의 고정판에 고정시키기 위한 피봇 포스트를 포함하되; 상기 피봇 포스트는 상기 고정판과 맞닿는 제 1 면과; 상기 제 1 면과 대응되는 제 2 면을 구비하되; 상기 제 1 면은 상기 제 2 면보다 넓은 단면적을 갖는다.
이와 같은 본 발명에서 상기 피봇 포스트는 적어도 3단으로 이루어질 수 있다.
이와 같은 본 발명에서 상기 제 1 면은 직경 50mm의 원형이고, 상기 제 2 면은 직경 15mm의 원형일 수 있다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 페러데이 커버 어셈블리에서 실린더 장착 부분을 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 피봇 포스트의 단면도이다. 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 페러데이 커버 어셈블리에서 실린더 장착 부분을 보여주는 단면도이다.
도 2 내지 도 4에서 보여주는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 페러데이 커버 어셈블리에서 피봇 포스트(110)는 이온 주입 설비의 페러데이 커버 어셈블리에서 플래그 컵(미도시됨)을 업다운 동작시키기 위한 실린더(120)를 고정하는 축이다. 이 피봇 포스트(110)는 실린더(120)와 상기 페러데이 커버 어셈블리의 고정판(130)에 각각 볼트(140)에 의해 고정되어져 있다.
상기 피봇 포스트(110)는 2번 단이 지게 형성된 축 형상으로 이루어진다. 이 피봇 포스트(110)는 고정판(130)과 맞닿는 제 1 면(112) 그리고 상기 제 1 면(112)과 대응되는 제 2 면(114)을 갖으며, 이 제 1 면(112)은 상기 제 2 면(114)보다 넓은 단면적을 갖는다. 이처럼, 상기 고정판(130)과 맞닿는 제 1 면(112)의 단면적으로 확대함으로써 휨 응력이 고정 볼트(140)에 미치지 않도록 하였다. 상기 피봇 포스트(110)의 제 1 면(112)은 직경 50mm의 원형이며, 상기 제 2 면(114)은 직경 15mm의 원형이다.
이와 같이 본 발명의 피봇 포스트(110)를 사용하면 브로킨 현상이 예방하여 플러그 센싱 에러를 줄일 수 있고, 고정 볼트(140)의 파손을 예방할 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 페러데이 커버 어셈블리의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
이와 같은 본 발명을 적용하면, 실린더로부터 전달되는 휨 응력이 고정 볼트에 미치지 않기 때문에 고정 볼트의 파손 및 피봇 포스트의 파손을 예방할 수 있다.
Claims (3)
- 페러데이 커버 어셈블리에 있어서:플래그 컵을 업 다운 동작시키기 위한 실린더와;상기 실린더를 설비의 고정판에 고정시키기 위한 피봇 포스트를 포함하되;상기 피봇 포스트는 상기 고정판과 맞닿는 제 1 면과;상기 제 1 면과 대응되는 제 2 면을 구비하되;상기 제 1 면은 상기 제 2 면보다 넓은 단면적을 갖는 것을 특징으로 하는 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 구조.
- 제 1 항에 있어서;상기 피봇 포스트는 적어도 3단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 구조.
- 제 1 항에 있어서;상기 제 1 면은 직경 50mm의 원형이고, 상기 제 2 면은 직경 15mm의 원형인 것을 특징으로 하는 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 구조.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010007545A KR20020067145A (ko) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 축 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020010007545A KR20020067145A (ko) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 축 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR20020067145A true KR20020067145A (ko) | 2002-08-22 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020010007545A KR20020067145A (ko) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | 페러데이 커버 어셈블리의 실린더 고정 축 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20020067145A (ko) |
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2001
- 2001-02-15 KR KR1020010007545A patent/KR20020067145A/ko not_active Application Discontinuation
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