KR20000025472A - 이온주입 설비의 캐리어 다이 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 걸려 깨지는 문제점을 방지할 수 있는 이온주입 설비의 캐리어 다이에 관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은, 웨이퍼가 눕혀진 상태로 이동하는 로딩부(loading part)와 언로딩부(unloading part)를 포함하는 이온주입 설비의 캐리어 다이(carrier die)에 있어서, 상기 로딩부는 웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 웨이퍼가 걸려서 깨지지 않도록 둥근 형상으로 구성되고, 상기 언로딩부는 웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 웨이퍼가 걸려서 깨지지 않도록 둥근 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 이온주입 설비의 캐리어 다이(carrier die)를 제공한다.
Description
본 발명은 반도체 소자의 제조공정에 사용되는 설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이온주입 설비에서 웨이퍼의 로딩 및 언로딩에 사용되는 캐리어 다이(carrier die)에 관한 것이다.
이온 주입 장비는 불순물을 이온 상태로 만든 후, 이를 가속하여 마스크가 형성된 웨이퍼에 주사함(scanning)으로써 원하는 영역에 적정량의 불순물을 이온 주입하는 장비이다. 일반적으로 모든 이온 주입 장비는 소스부(source part), 이온화 반응부, 질량 분석부, 빔 가속부, 빔 포커스부, 빔 주사부 및 웨이퍼 로딩부/언로딩부로 구성된다
도 1은 종래기술에 의한 이온주입 설비의 캐리어 다이를 설명하기 위해 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 종래기술에 의한 캐리어 다이(51)는 캐리어 다이 본체에 로딩부(loading part, 53)와 언로딩부(unloading part, 55)가 함께 구성되어 있다. 이때, 웨이퍼를 디스크(disc)로 이송하기 위해 웨이퍼가 들어있는 캐리어(미도시)를 눕혀서 이송해야 하는데, 이온주입 설비 자체의 진동으로 인하여 캐리어 다이(51)내의 캐리어가 올라갈 때, 웨이퍼가 캐리어로부터 조금씩 흘러 나와서 사각으로 구성된 캐리어 다이 부분(57)에 걸려 웨이퍼가 깨지는 문제가 발생한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 다른 부분에 걸려 깨지는 문제점을 방지할 수 있는 이온주입 설비의 캐리어 다이(carrier die)를 제공하는데 있다.
도 1은 종래기술에 의한 이온주입 설비의 캐리어 다이를 설명하기 위해 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명에 의한 이온주입 설비의 캐리어 다이를 설명하기 위해 도시한 평면도이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼가 눕혀진 상태로 이동하는 로딩부(loading part)와 언로딩부(unloading part)를 포함하는 이온주입 설비의 캐리어 다이(carrier die)에 있어서, 상기 로딩부는 웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 웨이퍼가 걸려서 깨지지 않도록 둥근 형상으로 구성되고, 상기 언로딩부는 웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 웨이퍼가 걸려서 깨지지 않도록 둥근 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 이온주입 설비의 캐리어 다이(carrier die)를 제공한다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼가 진동에 의해 흘러 내리더라도 흘러내리는 방향의 캐리어 다이 구조를 웨이퍼 형상과 같이 둥글게 구성함으로써 웨이퍼가 캐리어 다이에 걸려 깨지는 문제(wafer broken)를 억제할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 의한 이온주입 설비의 캐리어 다이를 설명하기 위해 도시한 평면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 캐리어 다이(carrier die, 100)는 웨이퍼(미도시)가 눕혀져서 이동되는 로딩부(102)와 언로딩부(104)에서 캐리어(carrier)로부터 웨이퍼가 흘러내리는 방향의 캐리어 다이 부분(106)을 웨이퍼와 같이 둥글게 구성함으로써 웨이퍼가 이온주입 설비 자체의 진동에 의해 약간 흘러 내리더라도 캐리어 다이(100)에 걸려서 깨지는 문제를 해결할 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함이 명백하다.
따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 웨이퍼가 진동에 의해 흘러 내리더라도 흘러내리는 방향의 캐리어 다이 구조를 웨이퍼 형상과 같이 둥글게 구성함으로써 웨이퍼가 캐리어 다이에 걸려 깨지는 문제(wafer broken)를 억제할 수 있다.
Claims (1)
- 웨이퍼가 눕혀진 상태로 이동하는 로딩부(loading part)와 언로딩부(unloading part)를 포함하는 이온주입 설비의 캐리어 다이(carrier die)에 있어서,상기 로딩부는 웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 웨이퍼가 걸려서 깨지지 않도록 둥근 형상으로 구성되고,상기 언로딩부는 웨이퍼가 눕혀져서 이동될 때 웨이퍼가 걸려서 깨지지 않도록 둥근 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 이온주입 설비의 캐리어 다이(carrier die).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980042568A KR20000025472A (ko) | 1998-10-12 | 1998-10-12 | 이온주입 설비의 캐리어 다이 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980042568A KR20000025472A (ko) | 1998-10-12 | 1998-10-12 | 이온주입 설비의 캐리어 다이 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000025472A true KR20000025472A (ko) | 2000-05-06 |
Family
ID=19553721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980042568A KR20000025472A (ko) | 1998-10-12 | 1998-10-12 | 이온주입 설비의 캐리어 다이 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000025472A (ko) |
-
1998
- 1998-10-12 KR KR1019980042568A patent/KR20000025472A/ko not_active Application Discontinuation
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