KR20000004377A - 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 버스전극의 오정렬을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법은, 유리기판 상에 투명 금속막을 증착하는 단계; 상기 투명 금속막 상에 소정 간격으로 이격되는 감광막 패턴들을 형성하는 단계; 상기 감광막 패턴의 형태대로 상기 투명 금속막을 식각하여 투명전극들을 형성하는 단계; 상기 투명전극과 감광막 패턴의 적층 구조물들 사이에 상기 감광막 패턴과 같은 높이로 제1유전체층을 매립시키는 단계; 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계; 상기 노출된 투명전극 상에 상기 제1유전체층과 같은 높이로 감광성 전극재료를 매립시키는 단계; 상기 감광성 전극재료를 노광, 현상 및 소성하여 상기 소정 간격으로 이격된 투명전극들의 비대향하는 가장자리 부분 각각에 제1유전체층과 콘택되게 버스전극을 형성하는 단계; 및 전체 상부에 제2유전체층 및 보호막을 적층시키는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 버스전극의 오정렬을 방지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법에 관한 것이다.

평판 디스플레이 장치의 하나인 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하, PDP)은 가스방전을 이용하는 디스플레이 장치로서, 비교적 얇은 두께로 제작할 수 있기 때문에 전자총을 사용하는 브라운관 디스플레이 장치에 비해 두께 및 무게를 현저하게 감소시킬 수 있으며, 아울러, 대화면 디스플레이 장치를 손쉽게 제작할 수 있는 잇점 때문에 차세대 디스플레이 장치로써 부각되고 있다.

도 1 은 종래 교류형 PDP를 도시한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 독립적인 공정을 통해 제작된 배면 및 전면기판(1, 6)이 소정 간격을 두고 그들 각각의 전극 배치면이 마주보도록 봉착되어 있고, 방전공간 내에는 아르곤(Ar), 네온(Ne) 또는 크세논(Xe)과 같은 방전가스(10)가 봉입되어 있다.

상기에서, 배면기판(1) 상에는 어드레스전극들(2)이 형성되며, 상기 어드레스전극들이 덮혀지도록 배면기판(1) 전면에는 유전체층(3)이 도포되고, 이러한 유전체층(3) 상에는 방전공간을 한정함과 아울러 인접된 방전셀들간의 크로스토크(Crosstalk)를 방지시키기 위한 격벽(Barrier Rib : 4)이 형성되며, 격벽들 사이에는 형광체(5)가 도포된다.

그리고, 전면기판(6) 상에는 ITO와 같은 투명금속으로된 투명전극(7a)이 형성되고, 상기 투명전극(7a) 상에는 불투명 금속으로된 버스전극(7b)이 형성되며, 상기 투명전극(7a) 및 버스전극(7b)이 덮혀지도록 전면기판(6) 상에는 유전체층(8) 및 보호막(9)이 적층된다.

그러나, 상기와 같은 종래 교류형 PDP의 전면기판 제작 공정에서는, 유리기판 상에 투명전극을 형성한 후에 인쇄법 등의 방법으로 상기 투명전극 상에 버스전극을 형성하게 되는데, 이때, 투명전극 상에 형성되는 버스전극의 정렬이 어렵기 때문에 상기 버스전극이 투명전극으로부터 벗어나는 현상이 발생하게 되고, 이는 PDP의 제조수율을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.

한편, 버스전극이 투명전극으로부터 벗어나는 현상을 감소시키기 위하여 종래에는 버스전극의 일측면이 투명전극의 내측으로 약간 들어오게 형성하고 있으나, 이 경우에는 실질적인 방전공간이 버스전극들 사이의 공간이 되는 것에 기인하여 개구율이 감소되는 문제점이 있었다.

따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은, 버스전극의 오정렬을 방지할 수 있는 PDP의 전면기판 제조방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.

도 1 은 종래 교류형 플라즈마 디스플레이 패널을 설명하기 위한 단면도.

도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

21 : 전면기판 22 : 투명 금속막

22a : 투명전극 23 : 감광막

23a : 감광막 패턴 24 : 제1유전체층

25 : 감광성 전극재료 25a : 버스전극

26 : 제2유전체층 27 : 보호막

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 PDP의 전면기판 제조방법은, 유리기판 상에 투명 금속막을 증착하는 단계; 상기 투명 금속막 상에 소정 간격으로 이격되는 감광막 패턴들을 형성하는 단계; 상기 감광막 패턴의 형태대로 상기 투명 금속막을 식각하여 투명전극들을 형성하는 단계; 상기 투명전극과 감광막 패턴의 적층 구조물들 사이에 상기 감광막 패턴과 같은 높이로 제1유전체층을 매립시키는 단계; 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계; 상기 노출된 투명전극 상에 상기 제1유전체층과 같은 높이로 감광성 전극재료를 매립시키는 단계; 상기 감광성 전극재료를 노광, 현상 및 소성하여 상기 소정 간격으로 이격된 투명전극들의 비대향하는 가장자리 부분 각각에 제1유전체층과 콘택되게 버스전극을 형성하는 단계; 및 전체 상부에 제2유전체층 및 보호막을 적층시키는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 투명전극의 일측 가장자리 상에 버스전극을 정확하게 형성할 수 있기 때문에 상기 버스전극의 오정렬로 인한 제조수율의 감소를 방지할 수 있으며, 아울러, 투명전극과 버스전극간의 갭(Gap)을 삭제시킴으로써, PDP의 개구율을 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.

도 2a 내지 도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 PDP의 전면기판 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도로서, 우선, 도 2a에 도시된 바와 같이, 유리기판(21) 상에 투명 금속막(22)을 증착하고, 이러한 투명 금속막 상에 감광막(23)을 도포한다.

그런 다음, 도 2b에 도시된 바와 같이, 감광막에 대한 노광 및 현상 공정을 실시하여 투명 금속막 상에 소정 간격 이격되는 감광막 패턴들(23a)을 형성하고, 이어서, 상기 감광막 패턴(23a)의 형태대로 투명 금속막을 식각하여 투명전극(22a)을 형성한다.

다음으로, 도 2c에 도시된 바와 같이, 감광막 패턴(23a)을 제거하지 않은 상태로 상기 투명전극(22a)과 감광막 패턴(23a)이 적층되어 있는 구조물들 사이에 인쇄 등의 방법으로 제1유전체층(24)을 매립시킨다. 이때, 제1유전체층(24)은 유전율이 낮은 물질을 이용하며, 감광막 패턴(23a)과 같은 높이로 매립시킨다.

계속해서, 도 2d에 도시된 바와 같이, 감광막 패턴을 제거하고, 노출된 투명전극(22a) 상에 제1유전체층과 같은 높이로 감광성 전극재료(25)를 충진시킨다.

이후, 도 2e에 도시된 바와 같이, 감광성 전극재료에 대한 노광 및 현상 공정과 소성 공정을 연속적으로 실시하여 소정 간격 이격되어 있는 투명전극들의 비대향하는 가장자리면 각각에 버스전극(25a)을 형성한다. 그런 다음, 전체 상부에 유전율이 높은 물질로 제2유전체층(26)을 형성하고, 상기 제2유전체층(26) 상에 보호막(27)을 형성한다.

또한, 본 발명의 다른 실시예로서, 전극을 형성하는 경우에, 감광성 전극 재료 대신에 일반적인 전극 페이스트를 사이 공간에 채워 넣은 후에, 건조 과정을 거치고, 그 후, 전극 페이스트 상에 드라이 필름 레지스트를 도포, 노광 및 현상하여 마스크 패턴을 형성하고, 이러한 마스크 패턴을 이용하여 샌드 블라스트법으로 필요없는 부분을 제거하여 형성할 수도 있다.

본 발명의 실시예에서는 제1유전체층들 사이에 감광성 전극재료를 매립시킨 후, 이를 노광 및 현상하여 버스전극을 형성하기 때문에 버스전극이 투명전극으로부터 벗어나는 현상을 방지할 수 있게 된다. 따라서, 버스전극의 오정렬에 의한 제조수율의 저하를 방지할 수 있게 되며, 아울러, 투명전극과 버스전극간의 갭을 삭제시킬 수 있기 때문에 개구율을 향상시키게 된다.

또한, 전극 사이에는 유전율이 낮은 유전체층을 형성하고, 전극들의 상부면에 유전율이 높은 유전체층을 형성하기 때문에 전극들간의 무효 전류는 감소시킬 수 있게 되며, 반면에 방전효율은 향상시킬 수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 발명은 버스전극의 오정렬을 방지할 수 있기 때문에 제조수율을 향상시킬 수 있으며, 아울러, 투명전극의 가장자리 부분에 버스전극을 형성할 수 있기 때문에 상기 투명전극과 버스전극간의 갭을 삭제시킬 수 있고, 이에 따라, 개구율을 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 전극들 사이에 충진되는 유전체층 부분은 유전율이 낮은 물질을 사용하고, 전극들의 상부면에 도포되는 유전체층 부분은 유전율이 높은 물질을 사용함으로써 방전효율을 향상시킬 수 있다.

한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims (3)

1. 유리기판 상에 투명 금속막을 증착하는 단계;

   상기 투명 금속막 상에 소정 간격으로 이격되는 감광막 패턴들을 형성하는 단계;

   상기 감광막 패턴의 형태대로 상기 투명 금속막을 식각하여 투명전극들을 형성하는 단계;

   상기 투명전극과 감광막 패턴의 적층 구조물들 사이에 상기 감광막 패턴과 같은 높이로 제1유전체층을 매립시키는 단계;

   상기 감광막 패턴을 제거하는 단계;

   상기 노출된 투명전극 상에 상기 제1유전체층과 같은 높이로 감광성 전극재료를 매립시키는 단계;

   상기 감광성 전극재료를 노광, 현상 및 소성하여 상기 소정 간격으로 이격된 투명전극들의 비대향하는 가장자리 부분 각각에 제1유전체층과 콘택되게 버스전극을 형성하는 단계; 및

   전체 상부에 제2유전체층 및 보호막을 적층시키는 단계를 포함해서 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제1유전체층은 유전율이 낮은 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 제2유전체층은 유전율이 높은 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전면기판 제조방법.