KR19990079664A - 엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치조정 방법 - Google Patents

엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치조정 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR19990079664A
KR19990079664A KR1019980012381A KR19980012381A KR19990079664A KR 19990079664 A KR19990079664 A KR 19990079664A KR 1019980012381 A KR1019980012381 A KR 1019980012381A KR 19980012381 A KR19980012381 A KR 19980012381A KR 19990079664 A KR19990079664 A KR 19990079664A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air knife
lcd panel
angle
lcd
size
Prior art date
Application number
KR1019980012381A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100519963B1 (ko
Inventor
김양선
김종대
김기수
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980012381A priority Critical patent/KR100519963B1/ko
Publication of KR19990079664A publication Critical patent/KR19990079664A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100519963B1 publication Critical patent/KR100519963B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/004—Nozzle assemblies; Air knives; Air distributors; Blow boxes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

다양한 크기의 LCD 패널을 건조시킴과 동시에 에어 나이프와 LCD 글래스가 이루는 각도를 최적으로 조정 가능토록 함으로써 LCD 패널의 건조 효율을 향상시킨 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치 조정 방법이 개시되고 있으며, 본 발명에 의하면 유압 실린더가 장착된 에어 나이프를 상호 일정 길이 중첩하여 LCD 패널 상면에 위치시켜 LCD 패널의 크기가 가변되었을 때 중첩 길이를 감소시켜 크기가 가변된 LCD 패널을 수용할 수 있도록 함과 동시에 에어 나이프 각도 감지 장치를 에어 나이프 장치에 장착하여 에어 나이프 장치가 최적의 상태로 LCD 패널에 건조용 공기를 분사할 수 있도록 하여 공정 효율을 최적화 시키는 특징을 갖는다.

Description

엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치 조정 방법
본 발명은 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치 조정 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다양한 크기의 LCD 패널을 건조시킴과 동시에 에어 나이프와 LCD 글래스가 이루는 각도를 최적으로 조정 가능토록 함으로써 LCD 패널의 건조 효율을 향상시킨 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치 조정 방법에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 패널을 제작하기 위해서는 다양하고도 복잡한 공정을 수행하여야 한다. 이와 같이 LCD 패널을 제작하는 중간 중간에 LCD 패널 표면이 오염되거나 분진에 의한 공정 불량을 방지하기 위하여 세정 공정이 수행된다.
또한, 공정의 특성에 따라서 별도의 세정 공정을 진행하기도 한다. 예를 들어 에칭 공정을 수행한 후에는 LCD 패널에 묻어 있는 케미컬을 완전히 제거하기 위하여 순수에 의한 세정 공정을 수행하여야 한다.
세정 공정을 진행한 후에는 LCD 패널에 묻어 있는 순수를 제거하기 위하여 건조 공정을 수행하여야 하는 바, 단시간 내에 순수를 제거하기 위하여 건조 공정에서는 건조기와, 건조기 내부에 설치된 에어 나이프라 불리우는 건조 장치가 사용된다.
도 1은 종래 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치를 개념적으로 도시하고 있다.
건조기의 건조 챔버(14)에 LCD 패널(15)을 일정 속도로 통과시키기 위하여 건조 챔버(14)에는 다수개의 롤러로 형성된 롤러 컨베이어(16)가 설치되어 있고, 롤러 컨베이어(16)의 상, 하부에는 고온 건조 공기를 1 차적으로 LCD 패널(15)로 분사하여 순수를 증발시키는 제 1 에어 나이프(11)가 설치되어 있다.
그러나, 단일 제 1 에어 나이프(11)에 의해서는 LCD 패널(15)의 순수를 효율적으로 제거할 수 없음으로, LCD 패널(15)은 제 1 에어 나이프(11)를 통과한 후, 잔존하는 잔여 순수를 제거하기 위하여 LCD 패널(15)은 제 2 에어 나이프(12)에 도달하게 된다. 제 2 에어 나이프(12)에 도달한 LCD 패널(15)은 잔여 순수가 완전히 제거된 상태로 건조기(14) 외부로 배출된다.
이때, 제 1 에어 나이프(11)와 제 2 에어 나이프(12)에는 고온 건조 공기를 공급하는 건조공기 공급배관(13)이 연결되어 있고, 건조공기 공급배관(13)에는 차단 밸브(17)가 설치되어 있다.
그러나, 종래 롤러 컨베이어의 상, 하에 위치하는 에어 나이프(11)가 LCD 패널(15)과 일정 각도를 이루고 있어, 에어 나이프로부터 분사된 고온건조공기는 일정한 각도를 갖고 LCD 패널로 분사된다.
이때, 에어 나이프로부터 고온건조공기가 분사되는 분사각에 의하여 LCD 패널의 건조 효율이 변동되고, LCD 패널에 얼룩(water mark)이 발생할 수 있는 문제가 있다.
이와 같이 에어 나이프의 고온건조공기 분사각과 LCD 패널이 이루는 각도는 작업자에 의하여 경험적으로 조정함으로 인하여 작업자가 각도를 조절할 때마다 조정된 각도가 다르게 설정되지만 에어 나이프의 각도를 측정할 방법이 없었고, 에어 나이프의 각도를 측정하더라도 에어 나이프의 정확한 각도 조절이 어렵고, 에어 나이프 조정에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.
또한, 또다른 문제점으로는 에어 나이프의 크기가 고정되어 있어 LCD 패널의 크기가 증가될 경우 LCD 패널의 크기에 따라서 에어 나이프를 교체하거나 아니면 건조 공정을 2 회 이상 수행하여야 하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 종래 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 LCD 패널의 크기가 변경되어도 이를 수용할 수 있고 아울러 각도 조절이 용이한 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치 조정 방법을 제공함에 있다.
도 1은 종래 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치를 개념적으로 도시한 개념도.
도 2는 본 발명에 의한 각도 조정장치가 설치된 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치를 일실시예로 도시한 개념도.
도 3은 본 발명에 의한 각도 조정장치를 도시한 설명도.
도 4는 본 발명에 의한 각도 조정방법을 도시한 순서도.
도 5는 본 발명에 의한 다른 실시예를 도시한 사시도.
도 6는 본 발명에 의한 에어 나이프 길이 조절 및 각도 조절이 가능한 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치를 도시한 개념도.
도 7, 도 8은 LCD 패널의 폭이 가변되었을 때 도 5의 에어 나이프 장치의 작용을 설명한 설명도.
도 9은 본 발명에 의한 에어 나이프 조정 방법을 도시한 순서도.
이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 에어 나이프 장치는 LCD 패널에 묻은 액체를 건조시키는 에어 나이프 장치에 있어서,
건조용 기체가 상기 LCD 패널로 분사되도록 복수개가 배열된 에어 나이프와, 에어 나이프가 LCD 패널과 이루는 각도를 변경시키기 위한 에어 나이프 구동부와, 에어 나이프의 각도 변경에 따른 에어 나이프의 회전각도를 감지하여 에어 나이프의 현제 각도에 대응하는 각도 보정 신호를 발생시키는 센서부와, 센서부로부터 입력된 각도 보정 신호에 의하여 에어 나이프의 각도를 보정하기 위한 제어 신호를 발생시키는 콘트롤러와, 콘트롤러가 에어 나이프의 각도를 설정하도록 외부 신호를 입력하고, 보정된 에어 나이프의 각도를 외부로 출력하는 입출력 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 구체적으로, 에어 나이프는 건조용 기체가 분사되는 슬릿 형상의 분사노즐이 형성된 통체 형상의 에어 나이프 몸체와, 에어 나이프 몸체의 양단을 지지하는 몸체 지지부재를 포함하며, 몸체 지지부재의 일측 단부에는 에어 나이프 구동부가 설치되고, 몸체 지지부재의 타측 단부는 센서부가 설치되는 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로 센서부는 몸체 지지부재에 고정되어 있는 자기저항소자와, 에어 나이프에 설치되어 에어 나이프와 동일하게 회전하는 영구자석으로 영구자석의 위치에 따라서 자기저항소자의 저항치가 변경되어 상이한 출력 신호가 발생하고, 출력 신호는 아날로그/디자탈 컨버터에 의하여 디지털 신호로 변환되는 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로, 에어 나이프 구동장치는 콘트롤러부로부터 발생한 제어신호를 입력받아 모터 구동신호를 발생시키는 모터 구동부와, 모터 구동신호에 의하여 구동되는 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
에어 나이프 구동장치의 모터는 구체적으로 디지털 신호에 의하여 작동하고, 정밀하게 회전 각도가 조절되는 스텝 모터인 것을 특징으로 한다.
구체적으로 앞서 언급한 입출력장치는 콘트롤러와 전기적으로 연결된 입력부와 디스플레이부로 구성되며, 입력부는 키패드이고 디스플레이부는 액정표시장치인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 다른 실시예로 LCD 패널에 묻은 액체를 건조시키는 에어 나이프 장치에 있어서, 건조용 기체가 LCD 패널로 분사되도록 복수개가 다단 배열된 에어 나이프와, LCD 패널의 크기를 크기를 감지하는 LCD 모듈 크기 감지수단과, LCD 모듈 크기 감지수단에 발생한 감지 신호를 입력받아 처리하여 제어 신호를 발생하는 콘트롤러와, 콘트롤러로부터 발생한 감지 신호에 의하여 LCD 모듈의 크기에 적합하도록 LCD 모듈을 이동시키는 에어나이프 구동수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 에어 나이프의 양단에는 에어 나이프를 고정 지지하기 위한 지지부재가 형성되어 있고, 지지부재에는 에어나이프 구동수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로, 에어 나이프 구동수단은 지지부재와 결합된 피스톤 로드와 피스톤 로드를 구동시키는 실린더를 포함하는 유압 실린더 장치인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 에어 나이프와 소정 간격 이격된 에어 나이프는 폭 방향으로 일정 길이 중첩되어 있어, 중첩된 길이를 모두 더한 길이만큼 LCD 패널의 크기가 커지더라도 커진 LCD 패널의 크기를 수용할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 상호 소정 간격 이격된 상태에서 중첩되어 있는 에어 나이프와 에어 나이프는 평행한 것을 특징으로 한다.
바람직하게 에어 나이프와 에어 나이프는 상호 평행하지 않고 일정 각도를 갖는 상태로 중첩되어 있는 것을 특징으로 있다.
선택적으로, 소정 간격 이격된 에어 나이프중 어느 하나가 구동되어 크기가 가변되는 LCD 패널을 수용하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 소정 간격 이격된 상기 에어 나이프 모두가 구동되어 크기가 가변되는 LCD 패널을 수용하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, LCD 패널 크기 감지수단은 LCD 패널의 저면에 다수개가 배열된 리미트 스위치인 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 리미트 스위치는 LCD 패널이 이송되는 방향에 대하여 수직인 방향으로 일정 간격 이격되어 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 목적을 달성하기 위한 또다른 실시예로, LCD 패널에 묻은 액체를 건조시키는 에어 나이프 장치에 있어서, 건조용 기체가 LCD 패널로 분사되도록 복수개가 다단 배열 및 상호 일정 길이 중첩되어 있는 에어 나이프와, 에어 나이프와 LCD 패널이 이루는 각도가 작업자가 입력수단에 의하여 입력된 설정 각도로 가변되도록 에어 나이프를 구동시키는 에어 나이프 제 1 구동부와, 에어 나이프의 구동전 각도와 구동 후 각도 변화를 감지하여 감지 신호를 발생시키는 제 1 센서부와, LCD 패널의 크기에 따라서 에어 나이프가 가변된 LCD 패널의 크기를 수용하기 위하여 중첩되어 있는 에어 나이프의 중첩 길이를 조정하는 제 2 에어 나이프 구동부와, LCD 패널의 크기를 감지하는 제 2 센서부와, 입력수단과 제 1, 제 2 센서부에 의하여 입력된 신호에 의하여 제 1, 제 2 에어 나이프 구동부를 제어함과 동시에 에어 나이프의 각도가 디스플레이 되도록 제어 신호를 발생시키는 콘트롤러를 구비한 것을 특징으로 한다.
구체적으로 에어 나이프는 긴 슬릿 형상의 분사노즐이 형성된 에어 나이프 몸체와, 에어 나이프 몸체의 양단부에 설치된 몸체 지지부재로 구성된 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 에어 나이프 구동장치는 몸체 지지부재중 어느 일측에 설치되어 에어 나이프를 구동시키는 모터와, 모터를 구동시키는 모터 구동부로 구성된 것을 특징으로 한다.
보다 구체적으로, 제 1 센서부는 센서 모듈과 센서 모듈에서 발생한 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그/디지털 컨버터를 포함하고 있는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 제 2 에어 나이프 구동부는 몸체 지지부재의 일측 단부에 설치된 유압 실린더인 것을 특징으로 한다.
본 발명은 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치 이외에도 에어 나이프 장치의 각도 및 위치를 조정함으로써 LCD 패널의 건조 효율을 높이기 위한 방법을 제공하고 있는 바, 방법으로는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치에 의하여 LCD 패널과 에어 나이프가 이루는 각도와, LCD 패널의 크기에 따라서 건조 공기 분사 범위가 가변되도록 하는 방법에 있어서, 에어 나이프의 각도를 재 설정할 것인가를 판단하는 단계와, 판단결과, 에어 나이프의 각도를 재 설정할 경우 설정된 에어 나이프의 각도와 현재 각도를 비교 판단하여 각도 편차만큼 에어 나이프의 각도를 보정하는 단계와, 보정된 에어 나이프의 각도가 설정 각도 범위 내에 있는지를 판단하여 에어 나이프의 각도가 설정 각도 범위 내에 있도록 각도 보정을 반복 수행하는 단계와, LCD 모듈의 크기가 변동되었는지를 판단하여, 판단결과 LCD 모듈의 크기가 변동되었을 경우 에어 나이프를 이동시켜 건조 공기 분사 범위를 증가시킨 후, 공정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 에어 나이프의 각도를 보정하는 단계에는 적어도 1 번 이상 보정을 반복적으로 수행하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, LCD 패널의 크기 변동은 리미트 스위치에 의하여 인식되는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 의한 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같으며, 첨부된 도 2, 도 3에는 에어 나이프의 각도 조절과 에어 나이프의 각도 표시가 가능한 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치의 일실시예가 도시되고 있다.
본 발명에 의한 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치(100)는 건조기(미도시)의 내부에 설치되어 있다. LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치(100)는 전체적으로 보아 에어 나이프(110)와, 에어 나이프(110)를 회전시키는 에어 나이프 구동부(120)와, 에어 나이프 구동부(120)의 구동을 제어하는 콘트롤러부(130)와, 에어 나이프(110)가 일정 회전각도만큼만 회전하도록 에어 나이프(110)의 회전 각도를 감지하는 센서부(140)와, 에어 나이프(110)와 LCD 패널(미도시)이 이루고 있는 각도를 디스플레이하는 액정 표시장치와 같은 디스플레이부(150)와, 콘트롤러부(130)에 작업자가 원하는 각도 정보를 입력하기 위한 키패드와 같은 입력부(160)로 구성되어 있다.
이들 구성요소를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
에어 나이프(110)는 LCD 패널 전면에 고온건조 공기를 효율적으로 분사하기 위한 긴 슬릿(slit) 형상의 분사 노즐(111)과 고온 건조 공기가 유입되는 건조공기 유입부(미도시)가 형성된 몸체(113)와, 몸체(113)를 지지하기 위한 몸체 지지부재(body member;114a,114b)와, 몸체 지지부재(114a)(114b)에 대하여 몸체(113)가 소정 각도 회전 가능토록 에어 나이프 몸체(113)를 관통한 후, 몸체 지지부재(114a)(114b)에 결합된 회전축(미도시)으로 구성되어 있다.
에어 나이프 구동부(120)는 정밀한 회전각도 조절이 가능한 스텝 모터(122)와, 스텝 모터(122)에 구동신호를 인가하는 모터 구동부(124)로 구성되어 있으며, 스텝 모터(122)의 축(미도시)은 에어 나이프(110)의 회전축(미도시)과 결합되어 있다.
한편, 모터 구동부(124)는 콘트롤러부(130)와 전기적으로 연결되어 콘트롤러부(130)의 제어 신호에 의하여 구동된다.
이때, 콘트롤러부(130)가 모터 구동부(124)에 제어 신호를 인가하기 위해서는 작업자가 원하는 에어 나이프(110)의 각도와, 현재 에어 나이프(110)가 LCD 패널(미도시)과 이루는 각도에 대한 정보를 필요로 한다.
이에 따라서, 콘트롤러부(130)에는 모터 구동부(124) 이외에도 작업자에 의하여 설정 각도 데이터를 입력받는 키패드와 같은 입력부(1600)와, 센서부(140)가 연결되어 있다.
센서부(140)는 다시 에어 나이프(110)의 각도에 따른 아날로그 신호를 발생시키는 센서 모듈(142)과, 아날로그 신호를 콘트롤러부(130)가 인식가능하도록 디지털 신호로 변환시키는 아날로그/디지털 컨버터(144)로 구성되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 센서모듈(142)은 회전축(미도시)의 회전에 따른 회전각도를 전기적 신호로 출력하는 장치로, 자기저항 소자(142a)와 영구자석(142b), 입력단자(142c)와 출력단자(142d) 등으로 구성되어 있으며, 자기저항 소자(142a)와 영구자석(142b) 간의 위치 변화에 의하여 자기저항 소자(142a)의 저항값이 달라지도록 형성되어 있다.
즉, 입력단자(142c)에 일정 전압(Vcc)을 입력하면, 회전축(미도시)의 회전 각도에 의하여 자기저항 소자(142a)의 저항값이 가변됨으로 인하여 출력 전압은 회전축(미도시)의 회전 각도에 따라서 각각 다르게 출력단자(142d)를 통해 출력된다.
상기 출력단자(142d)에서 발생한 가변 전압은 다시 아날로그 전압값을 디지털 신호로 변환하는 아날로그/디지탈 컨버터(144)에 입력되어 디지털 신호로 변환된다.
한편, 영구자석(142d)은 에어 나이프(110)의 회전축(미도시)을 중심으로 360˚ 회전하도록 설치되어 있고, 자기저항 소자(142a)는 영구자석(142b)에 의하여 감싸여진 형상의 원모양으로 에어 나이프(110)의 몸체 지지부재(114b)에 고정되어 있다.
이때, 영구자석(142d)과 자기저항 소자(142a)와 접촉하지는 않으면서 어느 위치에서도 자기저항 소자(142a)에 일정한 면적이 대향하도록 구성되어 있다.
영구자석(142b)에 의한 자계가 자기저항 소자(142a)에 가해지지 않았을 경우의 저항을 R0라 하고, 자기저항 소자(142a)에 B의 크기를 갖는 영구자석(142b)의 자속밀도가 가해졌을 때, 자기저항 소자(142a)의 저항 R은 <수학식 1>에 의해 구할 수 있다.
R=R0(1+mB2)
여기에서, m은 자기저항 계수이며, 강자계인 경우는 B2을 B로 치환하면 에어 나이프(110)가 회전하였을 때 출력 전압을 구할 수 있다.
이와 같이 입력부(160)에 입력된 신호에 의하여 콘트롤러부(130)가 에어 나이프 구동부(120)를 구동시켜 에어 나이프(110)가 소정 각도 회전하면, 앞서 언급한 센서부(140)가 이를 감지하여 감지 신호를 콘트롤러부(130)로 입력한다.
콘트롤러부(130)는 현재 에어 나이프(110)의 회전 각도가 작업자가 입력부(160)를 통하여 입력한 신호와 동일한지를 비교하여 작업자가 원하는 각도가 될 때까지 에어 나이프 구동부(120)를 구동한 후, 구동에 따른 에어 나이프(110)와 LCD 패널이 이루는 각도를 디스플레이부(150)에 디스플레이 한다.
이와 같이 구성된 본 발명 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치에 의한 에어 나이프 각도 조정 방법을 첨부된 도 4의 순서도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 작업자가 키패드와 같은 입력부(160)를 통하여 LCD 패널과 에어 나이프(110)가 이루는 각도를 재 셋팅할 경우(단계 10), 작업자에 의하여 원하는 각도가 입력부(160)에 입력됨과 동시에 입력부(160)로 입력된 신호는 콘트롤러부(130)로 다시 입력한다.
이때, 콘트롤러부(130)는 현재 에어 나이프(110)와 LCD 패널(LCD 패널은 수평 상태)이 이루고 있는 각도를 판단하기 위하여 센서부(140)의 센서모듈(142)과 아날로그/디지탈 컨버터(144)에서 처리된 신호를 입력받은 후, 작업자가 입력한 신호와 센서부(140)로부터 입력된 신호를 비교한다(단계 20).
이어서, 콘트롤러부(130)는 비교결과 발생한 결과 데이터에 의하여 판단된 각도 편차를 보정하기 위하여 에어 나이프 구동부(120)의 모터 구동부(124)에 구동 제어 신호를 인가하여 스텝 모터(122)를 구동시킨다(단계 30).
이후, 스텝 모터(122)의 구동에 의하여 에어 나이프(110)의 회전축이 일정각도 만큼 회전되었으면, 콘트롤러부(130)는 다시 센서부(140)에서 콘트롤러부(130)로 입력된 신호와 작업자가 입력한 신호를 비교한다(단계 40).
비교 결과, 보정된 에어 나이프(110)와 LCD 패널이 이루고 있는 각도가 작업자가 입력한 신호에 근접하면(바람직하게 동일하면)(단계 50), 콘트롤러부(130)는 각도 설정 작업을 종료한다(단계 60).
한편, 도 5에는 앞서 설명한 일실시예와는 다른 실시예가 도시되어 있다.
첨부된 도면을 참조하면, 에어 나이프(110)의 몸체(113) 양측단부에는 몸체 지지부재(114a)(114b)가 설치되어 있고, 몸체(113)를 관통하여 몸체(113)와 일체로 형성된 회전축(113a)이 형성되어 있어 몸체 지지부재(114a)(114b)에 대하여 회전 가능하게 결합되어 있다.
이 몸체(113)에는 LCD 패널 전면적에 걸쳐 균일하게 고온 건조 공기를 분사하기 위하여 긴 슬릿 형상을 갖는 분사 노즐(113b)이 형성되어 있으며, 몸체 지지부재(114b)에는 분사 노즐(113b)이 고온 건조 공기를 분사하는 방향을 셋팅할 수 있도록 각도 눈금(155)이 형성된 각도 게이지(150)가 설치되어 있다.
작업자가 LCD 패널과 분사 노즐(113b)의 각도를 설정하기 위해서는 단순히 회전 가능한 에어 나이프(110)를 각도 게이지(150)에 적합하게 회전시킨 후, 각도 게이지(150)와 에어 나이프(110)의 얼라인먼트 상태를 확인하여 에어 나이프(110)를 조정한다.
도 6에는 에어 나이프의 각도 조정 뿐만 아니라 LCD 패널의 크기가 가변되더라도 가변된 크기를 수용하여 건조 공정을 수행할 수 있는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치의 실시예가 도시되어 있다.
첨부된 도 6를 참조하면 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치(200)는 분사노즐(211)이 형성되어 있는 에어 나이프(210)와, 에어 나이프(210)를 일정 각도 회동시키는 제 1 에어 나이프 구동부(220)와, 현재 에어 나이프(210)의 각도 또는 회동된 후 에어 나이프(210)의 각도를 감지하여 작업자가 원하는 각도만큼만 에어 나이프(210)가 회동되도록 감지 신호를 발생시키는 각도 센서(240) 및 LCD 패널의 크기를 감지하는 LCD 패널 크기 감지 센서(미도시)로 구성된 센서부와, 작업자가 원하는 각도를 입력시키는 입력부(260) 및 최종적으로 설정된 에어 나이프(210)의 각도를 디스플레이 해주는 디스플레이부(250)를 구비한 입출력 장치와, 에어 나이프 장치(200)를 전반적으로 제어하는 콘트롤러부(230)로 구성되어 있다.
이에 더하여, 에어 나이프 장치(200)에는 에어 나이프(210)가 일정 변위만큼 이동되도록 제 2 에어 나이프 구동부(270)가 설치되어 있다.
이들 구성 요소들을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
에어 나이프(210)는 슬릿 형상의 분사 노즐(211) 및 외부로부터 고온 건조 공기를 공급받는 고온 건조 공기 공급부(미도시)가 형성되어 있는 에어 나이프 몸체(213)와, 에어 나이프 몸체(213)를 관통하여 형성된 회전축(미도시)과, 회전축의 양단과 결합되어 에어 나이프(210)를 지지하는 몸체 지지부재(214a)(214b)로 구성되어 있다.
여기서, 한 쌍의 몸체 지지부재중 어느 하나의 몸체 지지부재(214b)에는 제 1 에어 나이프 구동부(220)와 제 2 에어 나이프 구동부(270)가 설치되며, 나머지 하나의 몸체 지지부재(214a)에는 각도 센서(240)가 부착된다.
몸체 지지부재(214b)에 설치된 제 1 에어 나이프 구동부(220)는 바람직하게 정밀한 회전각도의 구현이 가능한 스텝 모터(222)와, 스텝 모터(222)가 구동되도록 구동신호를 발생시키는 모터 구동부(224)로 구성되어 있으며, 바람직하게 스텝 모터(222)의 축은 에어 나이프(210)의 회전축과 결합되어 있다.
한편, 스텝 모터(222)가 설치된 몸체 지지부재(214a)에는 제 2 에어 나이프 구동부(270)가 설치되어 있다.
제 2 에어 나이프 구동부(270)는 에어 나이프(210)와 몸체 지지부재(214b)의 이동을 위한 피스톤 로드(272)와, 피스톤 로드(272)와 결합된 유압 실린더(274)로 구성되어 있으며, 유압 실린더(274)는 건조기(미도시)의 내측벽 소정 위치에 부착 고정되어 있다. 여기서, 피스톤 로드(272)는 강성을 고려하여 도시된 바와 같이 복수개로 설치하는 것이 바람직하다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이 LCD 패널(280)의 저면에는 다수개의 리미트 스위치(282a)로 구성된 LCD 패널 크기 감지 센서(282)가 설치되어 있고, 각각의 리미트 스위치(282a)는 앞서 언급한 콘트롤러부(230)와 전기적으로 연결되어 감지된 LCD 패널(280)의 크기에 관한 신호를 콘트롤러부(230)에 입력한다.
이 LCD 패널 크기 감지 센서(282)를 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
LCD 패널 크기 감지 센서(282)는 도 7, 도 8에 도시된 바와 같이 LCD 패널의 저면에는 다수개의 리미트 스위치(282a)로 구성되어 있다. 이 리미트 스위치(282a)를 크기가 각기 다른 LCD 패널(280)(284)이 통과하면서 리미트 스위치(282a)를 복수개 온(on) 시킬경우, 온(on)된 리미트 스위치(282a)로부터 콘트롤러부(230)로 입력된 신호에 의하여 LCD 패널 크기(L1, L2)가 결정된다.
이와 같이 구성된 에어 나이프 장치(200)는 LCD 패널의 건조 효율을 높임과 동시에 가변된 LCD 패널의 크기를 수용하기 위하여 도시된 도 7, 도 8에 도시된 바와 같이 적어도 2 단 이상이 형성되어 있는 것이 바람직한 바, 이를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
LCD 패널(280)(284)의 상하면에는 일실시예로 적어도 2 이상의 에어 나이프 장치가 형성되어 있는 바, 본 발명에서는 바람직하게 6 개의 에어 나이프 장치를 바람직한 실시예로 설치하기로 한다.
LCD 패널이 진행하는 방향을 기준으로 LCD 패널의 절반에 해당하는 위치에는 제 1 에어 나이프 장치(200a)가 배열되어 있으며, 나머지 절반에 해당하는 위치에는 제 1 에어 나이프 장치(200a)보다 긴 길이를 갖는 제 2 에어 나이프 장치(200b)가 배열되어 있다. 이때, 제 1 에어 나이프 장치(200a)와 제 2 에어 나이프 장치(200b)는 도 8에 도시된 바와 같이 상호 평행하거나, 도 6, 도 7에서 도시된 바와 같이 상호 일정 예각(α)을 이루도록 형성되어 있다.
도 7에 도시된 바와 같이 제 1 에어 나이프 장치(200a)와 제 2 에어 나이프 장치(200b)는 상호 일정 길이(L3)만큼 중첩되어 있다. 이와 같이 제 1, 제 2 에어 나이프 장치(200a)(200b)가 상호 중첩되어 있는 이유로는 도 7에 도시된 LCD 패널(280)의 폭 L1보다 더 큰 폭(L2)을 갖는 LCD 패널(284)이 건조기 내부로 입력되었을 때, 제 1 에어 나이프(200a)와 제 2 에어 나이프(200b)가 이동하여 큰 폭(L2)을 갖는 LCD 패널(284)을 수용할 수 있도록 하기 위함이다.
이때, 제 1 에어 나이프 장치(200a)와 제 2 에어 나이프 장치(200b)가 수용할 수 있는 LCD 패널(284)의 크기는 중첩된 길이를 더한 길이 만큼이 된다.
이와 같이 구성된 본 실시예에 의한 크기가 가변된 LCD 패널을 수용하기 위하여 에어 나이프 장치의 위치 변경 및 각도 조절 방법을 첨부된 도 9의 순서도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 작업자가 키패드(미도시)와 같은 입력부(260)를 통하여 LCD 패널과 에어 나이프(200)가 이루는 각도를 재 설정할 경우(단계 100), 작업자에 의하여 원하는 설정각도가 입력부(260)에 입력됨과 동시에 입력부(260)에 입력된 신호는 콘트롤러부(230)로 다시 입력한다.
이후, 콘트롤러부(230)는 각도 센서(240)로부터 에어 나이프(210)와 LCD 패널의 현재 각도를 입력받은 후, 작업자에 의하여 입력된 설정각도와 각도 센서(240)로부터 입력된 현재 각도를 비교 처리한다(단계 110).
콘트롤러부(230)에 의하여 비교 처리가 종료되면, 콘트롤러부(230)는 제 1 에어 나이프 구동장치(220)의 모터 구동부(224)에 제어 신호를 인가한다. 이어서 모터 구동부(224)는 제어 신호에 상응하는 적정 구동 신호를 스텝 모터(222)에 인가하여 스텝 모터(222)를 일정 각도만큼 회전시켜 에어 나이프(210)의 각도를 보정한다(단계 120).
이어서, 콘트롤러부(230)는 스텝 모터(222)의 회전이 종료되면 에어 나이프(210)와 LCD 패널이 이루는 각도 신호를 각도 센서(240)에 의하여 다시 입력받아 조정된 현재 각도가 작업자가 입력한 설정 각도 범위에 있는지를 판단한다(단계 130).
만일, 현재 에어 나이프(210)의 각도가 설정 각도 범위를 벗어날 경우 단계 120으로 피드백하여 에어 나이프(210)의 각도를 보정하고, 현재 에어 나이프(210)의 각도가 설정 각도에 포함될 경우 콘트롤러부(230)는 LCD 패널의 크기가 변동되었는지를 리미트 스위치(282a)에 의하여 판단한다(단계 140).
판단결과, LCD 패널의 크기가 가변되지 않았으면, 에어 나이프(210)에 고온 건조 공기를 불어 넣어 공정을 진행하고(단계 150), LCD 패널의 크기가 가변되었으면 해당 LCD 패널에 적합하도록 각각의 에어 나이프 장치(200)의 제 2 에어 나이프 구동부(270)의 유압 실린더(274)에 유체압을 가하여 에어 나이프 장치(200)가 가변된 LCD 패널을 수용할 수 있도록 한다(단계 170).
이후, 콘트롤러부(230)는 에어 나이프 장치(200)의 위치가 설정되면 에어 나이프(210)에 고온 건조 공기를 불어넣어 건조 공정을 진행하여 에어 나이프(210)의 각도 조절과 LCD 패널의 크기 변화를 수용하여 건조 공정에서 발생할 수 있는 불량을 최소화할 수 있다.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, LCD 패널의 식각 후 세정, LCD 패널의 오염 방지를 위한 세정 공정 후 LCD 패널을 건조시키는 건조 공정을 수행할 때 에어 나이프의 각도 조절의 용이성을 향상시킴과 동시에 크기가 다른 LCD 패널을 수용하도록 함으로써 건조 공정중 발생하는 공정 불량 요소를 사전에 예방하고, 공정 효율을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (24)

  1. LCD 패널에 묻은 액체를 건조시키는 에어 나이프 장치에 있어서,
    건조용 기체가 상기 LCD 패널로 분사되도록 복수개가 배열된 에어 나이프와;
    상기 에어 나이프가 상기 LCD 패널과 이루는 각도를 변경시키기 위한 에어 나이프 구동부와; 상기 에어 나이프의 각도 변경에 따른 상기 에어 나이프의 회전각도를 감지하여 상기 에어 나이프의 현제 각도에 대응하는 각도 보정 신호를 발생시키는 센서부와; 상기 센서부로부터 입력된 상기 각도 보정 신호에 의하여 상기 에어 나이프의 각도를 보정하기 위한 제어 신호를 발생시키는 콘트롤러와; 상기 콘트롤러가 에어 나이프의 각도를 설정하도록 외부 신호를 입력하고, 보정된 에어 나이프의 각도를 외부로 출력하는 입출력 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 에어 나이프는 상기 건조용 기체가 분사되는 슬릿 형상의 분사노즐이 형성된 통체 형상의 에어 나이프 몸체와, 상기 에어 나이프 몸체의 양단을 지지하는 몸체 지지부재를 포함하며, 상기 몸체 지지부재의 일측 단부에는 상기 에어 나이프 구동부가 설치되고, 상기 몸체 지지부재의 타측 단부는 상기 센서부가 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 센서부는 상기 몸체 지지부재에 고정되어 있는 자기저항소자와, 상기 에어 나이프에 설치되어 상기 에어 나이프와 동일하게 회전하는 영구자석으로 상기 영구자석의 위치에 따라서 상기 자기저항소자의 저항치가 변경되어 상이한 출력 신호가 발생하고, 상기 출력 신호는 아날로그/디자탈 컨버터에 의하여 디지털 신호로 변환되는 것을 특징으로 하는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 에어 나이프 구동장치는 상기 콘트롤러부로부터 발생한 제어신호를 입력받아 모터 구동신호를 발생시키는 모터 구동부와, 상기 모터 구동신호에 의하여 구동되는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 모터는 디지털 신호에 의하여 작동하고, 정밀하게 회전 각도가 조절되는 스텝 모터인 것을 특징으로 하는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 입출력장치는 상기 콘트롤러와 전기적으로 연결된 입력부와 디스플레이부로 구성되며, 상기 입력부는 키패드이고 상기 디스플레이부는 액정표시장치인 것을 특징으로 하는 LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치.
  7. LCD 패널에 묻은 액체를 건조시키는 에어 나이프 장치에 있어서,
    건조용 기체가 상기 LCD 패널로 분사되도록 복수개가 다단 배열된 에어 나이프와;
    상기 LCD 패널의 크기를 크기를 감지하는 LCD 모듈 크기 감지수단과;
    상기 LCD 모듈 크기 감지수단에 발생한 감지 신호를 입력받아 처리하여 제어 신호를 발생하는 콘트롤러와;
    상기 콘트롤러로부터 발생한 감지 신호에 의하여 상기 LCD 모듈의 크기에 적합하도록 LCD 모듈을 이동시키는 에어나이프 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 에어 나이프의 양단에는 상기 에어 나이프를 고정 지지하기 위한 지지부재가 형성되어 있고, 상기 지지부재에는 에어나이프 구동수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 에어 나이프 구동수단은 상기 지지부재와 결합된 피스톤 로드와 상기 피스톤 로드를 구동시키는 실린더를 포함하는 유압 실린더 장치인 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 에어 나이프와 소정 간격 이격된 에어 나이프는 폭 방향으로 일정 길이 중첩되어 있어, 중첩된 길이를 모두 더한 길이만큼 LCD 패널의 크기가 커지더라도 커진 LCD 패널의 크기를 수용할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  11. 제 8 항에 있어서, 상호 소정 간격 이격된 상태에서 중첩되어 있는 상기 에어 나이프와 에어 나이프는 평행한 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  12. 제 8 항에 있어서, 상기 에어 나이프와 에어 나이프는 상호 평행하지 않고 일정 각도를 갖는 상태로 중첩되어 있는 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 소정 간격 이격된 상기 에어 나이프중 어느 하나가 구동되어 크기가 가변되는 LCD 패널을 수용하는 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  14. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 소정 간격 이격된 상기 에어 나이프 모두가 구동되어 크기가 가변되는 LCD 패널을 수용하는 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  15. 제 7 항에 있어서, 상기 LCD 패널 크기 감지수단은 상기 LCD 패널의 저면에 다수개가 배열된 리미트 스위치인 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 리미트 스위치는 상기 LCD 패널이 이송되는 방향에 대하여 수직인 방향으로 일정 간격 이격되어 설치된 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  17. LCD 패널에 묻은 액체를 건조시키는 에어 나이프 장치에 있어서,
    건조용 기체가 상기 LCD 패널로 분사되도록 복수개가 다단 배열 및 상호 일정 길이 중첩되어 있는 에어 나이프와;
    상기 에어 나이프와 상기 LCD 패널이 이루는 각도가 작업자가 입력수단에 의하여 입력된 설정 각도로 가변되도록 에어 나이프를 구동시키는 에어 나이프 제 1 구동부와;
    상기 에어 나이프의 구동전 각도와 구동 후 각도 변화를 감지하여 감지 신호를 발생시키는 제 1 센서부와,
    상기 LCD 패널의 크기에 따라서 상기 에어 나이프가 가변된 LCD 패널의 크기를 수용하기 위하여 중첩되어 있는 에어 나이프의 중첩 길이를 조정하는 제 2 에어 나이프 구동부와;
    상기 LCD 패널의 크기를 감지하는 제 2 센서부;
    상기 입력수단과 상기 제 1, 제 2 센서부에 의하여 입력된 신호에 의하여 제 1, 제 2 에어 나이프 구동부를 제어함과 동시에 상기 에어 나이프의 각도가 디스플레이 되도록 제어 신호를 발생시키는 콘트롤러를 구비한 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 에어 나이프는 긴 슬릿 형상의 분사노즐이 형성된 에어 나이프 몸체와, 상기 에어 나이프 몸체의 양단부에 설치된 몸체 지지부재로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 에어 나이프 구동장치는 상기 몸체 지지부재중 어느 일측에 설치되어 상기 에어 나이프를 구동시키는 모터와, 상기 모터를 구동시키는 모터 구동부로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  20. 제 17 항에 있어서, 상기 제 1 센서부는 센서 모듈과 상기 센서 모듈에서 발생한 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그/디지털 컨버터를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  21. 제 18 항에 있어서, 상기 제 2 에어 나이프 구동부는 상기 몸체 지지부재의 일측 단부에 설치된 유압 실린더인 것을 특징으로 하는 LCD 건조용 에어 나이프 장치.
  22. LCD 패널 건조용 에어 나이프 장치에 의하여 LCD 패널과 에어 나이프가 이루는 각도와, LCD 패널의 크기에 따라서 건조 공기 분사 범위가 가변되도록 하는 방법에 있어서,
    상기 에어 나이프의 각도를 재 설정할 것인가를 판단하는 단계와;
    판단결과, 에어 나이프의 각도를 재 설정할 경우 상기 설정된 에어 나이프의 각도와 현재 각도를 비교 판단하여 각도 편차만큼 에어 나이프의 각도를 보정하는 단계와;
    보정된 에어 나이프의 각도가 설정 각도 범위 내에 있는지를 판단하여 에어 나이프의 각도가 설정 각도 범위 내에 있도록 각도 보정을 반복 수행하는 단계와;
    상기 LCD 모듈의 크기가 변동되었는지를 판단하여, 판단결과 LCD 모듈의 크기가 변동되었을 경우 에어 나이프를 이동시켜 상기 건조 공기 분사 범위를 증가시킨 후, 공정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어 나이프 장치 조정 방법.
  23. 제 22 항에 있어서, 상기 에어 나이프의 각도를 보정하는 단계에는 적어도 1 번 이상 보정을 반복적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 에어 나이프 조정 방법.
  24. 제 22 항에 있어서, 상기 LCD 패널의 크기 변동은 리미트 스위치에 의하여 인식되는 것을 특징으로 하는 에어 나이프 조정 방법.
KR1019980012381A 1998-04-08 1998-04-08 엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치조정 방법 KR100519963B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980012381A KR100519963B1 (ko) 1998-04-08 1998-04-08 엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치조정 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980012381A KR100519963B1 (ko) 1998-04-08 1998-04-08 엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치조정 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990079664A true KR19990079664A (ko) 1999-11-05
KR100519963B1 KR100519963B1 (ko) 2005-12-20

Family

ID=37306701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980012381A KR100519963B1 (ko) 1998-04-08 1998-04-08 엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치조정 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100519963B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100790479B1 (ko) * 2001-12-04 2008-01-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 에어 나이프 건조장치
KR100835004B1 (ko) * 2001-12-06 2008-06-04 엘지디스플레이 주식회사 에어 나이프 건조장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101377227B1 (ko) 2012-12-20 2014-03-20 (주)포스코 코일 자동 간지 삽입 시스템 및 코일 자동 간지 삽입 방법
KR102043848B1 (ko) * 2013-07-29 2019-11-12 엘지디스플레이 주식회사 패널 건조 장치

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61111546A (ja) * 1984-11-05 1986-05-29 Yamagata Nippon Denki Kk 半導体用エツチング装置
JPH09174137A (ja) * 1995-12-27 1997-07-08 Nkk Corp デスケール装置およびデスケール方法
KR970059460U (ko) * 1996-04-25 1997-11-10 에어 나이프 각도 조절장치
JP3498255B2 (ja) * 1996-06-17 2004-02-16 東芝機械株式会社 枚葉式減圧ｃｖｄ装置
JPH1012529A (ja) * 1996-06-26 1998-01-16 Advanced Display:Kk レジスト現像方法およびレジスト現像装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100790479B1 (ko) * 2001-12-04 2008-01-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 에어 나이프 건조장치
KR100835004B1 (ko) * 2001-12-06 2008-06-04 엘지디스플레이 주식회사 에어 나이프 건조장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR100519963B1 (ko) 2005-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100519963B1 (ko) 엘씨디 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 에어 나이프 장치조정 방법
JP4717782B2 (ja) 基板処理装置
JP2008006439A (ja) ペーストディスペンサーのヘッドユニット
JPH05246017A (ja) 材料ウェブに印刷を施すためのスクリーン印刷装置
JP2001259499A (ja) 材料塗布装置
KR980003828A (ko) 기판의 현상처리방법 및 장치
JP2008098426A (ja) 基板処理装置
JP2008006705A (ja) 印刷装置
US5913710A (en) Method and device for producing drive belts with small rotation-angle error
JP3536924B2 (ja) ペースト均一塗布装置
JP3558484B2 (ja) 基板洗浄装置
JPH09164662A (ja) 印刷機における遠隔調整可能な調整部材の位置決め方法および装置
WO2016104125A1 (ja) 搬送ベルトの張力調整方法、搬送装置及びインクジェット記録装置
KR100579375B1 (ko) 웨이퍼와 노즐 간의 간격 조정이 가능한 현상 장치 및 그방법
JP2001246656A (ja) 射出成形機用制御装置のドリフト検出方法
JPH11297589A (ja) 基板処理装置
JP3253569B2 (ja) 射出成形機の計量制御方法および装置
KR200389080Y1 (ko) 포장용 인쇄기계의 피치 컨트롤 시스템
JP2009096019A (ja) ラベル帯電方法
JP6226317B2 (ja) インクジェット印刷機における印刷動作中の休止機能の実施方法
KR100786494B1 (ko) 코일의 텔레스코핑 교정장치
JP3779716B2 (ja) 処理液塗布装置
JP3840239B2 (ja) 処理液塗布装置
KR100506415B1 (ko) 잔류 세정유 제거장치
JP2004063584A (ja) スピン処理装置及びスピン処理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110916

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee