KR19990068189A - 반도체웨이퍼 생산라인에서의 자동가이드비클의 로봇암제어 방법 및 시스템 - Google Patents

반도체웨이퍼 생산라인에서의 자동가이드비클의 로봇암제어 방법 및 시스템 Download PDF

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Abstract

각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클을 교시하는 방법은 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 기준위치 데이터와 하나이상의 실제스테이션의 사용에 의한 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클에 교시하는 단계와; 그리고 상기 원래하나에 교시된 실제위치데이터와 동일한 공통데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 공급하고, 상기 공통데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여 상기 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 상기 개별적인 위치보정데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 교시하는 단계를 구비한다. 상기 위치보정 데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나와 하나이상의 남겨진하나의 각각의 차이에 관계한다.

Description

반도체웨이퍼 생산라인에서의 자동가이드비클의 로봇암제어 방법 및 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING ROBOT ARMS OF AUTOMATIC GUIDED VEHICLES ON SEMICONDUCTOR WAFER PRODUCTION LINE}
본 발명은 반도체웨이퍼 생산라인에서의 자동가이드비클의 로봇암을 제어하는 방법 및 시스템에 관한 것으로서, 반도체웨이퍼 생산라인상에서 제조장비 및 자동웨이퍼스택에 구비된 복수의 스테이션의 소정 배치위치로 및 그로부터 반도체웨이퍼 캐리어를 정확하게 로딩 및 언로딩하는 동작을 수행하는 개별 자동가이드비클에 관한 것이다.
스테이션으로 또는 그로부터 웨이퍼 캐리어를 로딩 및 언로딩하는 컴퓨터제어하에서 자동가이드비클에 제공된 로봇암의 연속적인 동작을 위해서, 개별 자동가이드비클은 제조장비의 로딩용 또는 언로딩용 스테이션 또는 자동웨이퍼스택의 로딩/언로딩용의 스테이션앞에서 정지하도록 컴퓨터제어된다.
그러나, 실제로는, 로봇암을 갖는 자동가이드비클에는 여러가지 문제점이 발생할 수 있다. 이러한 경우에, 문제가 발생된 작동중인 자동가이드비클을 예비 자동가이드비클로 대체하는 것이 당연시 되어왔다. 또한, 작동중인 자동가이드비클에 대한 주기적인 조사가 필수적으로 행해지고 있다. 이 경우에도, 작동중인 자동가이드비클을 예비로 예비 자동가이드비클로 대체하는 것이 필요하였다. 이러한 경우, 스테이션으로 및 그로부터 로딩 그리고 언로딩하는 실제동작을 위한 실제 궤도에 투입되기 전에, 예비 자동가이드비클에 정지위치 및 상대위치데이터를 알려주는 것이 제안되었다. 예컨대, 이 기술은 일본 특개소 제60-238911호 및 제62-191904호에 개시되어 있다. 예비 자동가이드비클에 정지위치 및 상대위치데이터를 미리 알려주는 것이 스테이션으로 및 그로부터 로딩 그리고 언로딩하는 실제동작을 위한 실제 궤도에 투입되기 전에 바람직하게 수행된다. 이는 기계로봇의 컴퓨터제어분야기술에 널리 알려져 있다. 이러한 교시는 실제작동조건과 동일한 조건에서수행될 수 있다. 이 기술은, 예컨대 일본 특개소 제62-264883호 및 61-30388호에 개시되어 있다. 또한, 로봇의 고정밀 작업동작이 시작되기 전에 로봇과 워크스테이션간의 상대위치 배치오차를 보정하는 것이 제안되었다. 이 기술은 일본 특개평 제4-48304호에 개시되어 있다.
자동가이드비클의 로봇암의 높은 정밀도와 정확성을 갖는 로딩 및 언로딩동작을 실현하기 위해서는, 로봇암을 구비하는 개별 자동가이드비클을 조립하는 데서반드시 일어나는 기계적오차에 대한 문제점을 해결하는 것이 필수적이다. 이러한 기계적오차는 로봇암을 구비하는 개별 자동가이드비클사이에서 서로 다르다. 자동가이드비클의 로봇암의 높은 정밀도와 정확성을 갖는 로딩 및 언로딩동작을 얻기 위해서는, 기계적오차가 자동가이드비클상의 로봇암의 핸드와 하나이상의 실제 스테이션앞의 소정의 정지위치에서 자동가이드비클의 정지를 참조한 기준점사이의 상대위치에 영향을 준다. 상술한 하나의 종래기술 또는 조합에 의해서도 자동가이드비클들 사이에서 각각 서로 다른 기계적오차의 다양한 차이를 개별적으로 정확하게 보정할 수 없다.
상술한 조건에서, 로봇암을 구비한 자동가이드비클 각각의 서로 다른 기계적 오차를 제거하면서, 스테이션으로 또는 그로부터 고정밀 및 고정확성을 갖는 웨이퍼 캐리어 로딩 및 언로딩동작을 실현하는 신규한 방법 또는 시스템을 개발하는 것이 요구되어 왔다.
따라서, 본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하면서 스테이션으로 또는 그로부터 고정밀 및 고정확성을 갖는 웨이퍼 캐리어 로딩 및 언로딩동작을 실현하는 신규한 방법을 제공하는 하는 것에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 로봇암을 구비한 자동가이드비클 각각의 서로 다른 기계적오차를 제거하면서, 스테이션으로 또는 그로부터 고정밀 및 고정확성을 갖는 웨이퍼 캐리어 로딩 및 언로딩동작을 실현하는 신규한 방법을 제공하는 하는 것에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상술한 문제점을 해결하면서 스테이션으로 또는 그로부터 고정밀 및 고정확성을 갖는 웨이퍼 캐리어 로딩 및 언로딩동작을 실현하는 신규한 시스템을 제공하는 하는 것에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 로봇암을 구비한 자동가이드비클 각각의 서로 다른 기계적오차를 제거하면서, 스테이션으로 또는 그로부터 고정밀 및 고정확성을 갖는 웨이퍼 캐리어 로딩 및 언로딩동작을 실현하는 신규한 시스템을 제공하는 하는 것에 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 예비 자동가이드비클에 개별적인 보정위치데이터를 알려주는, 단일 기준 스테이션뿐 아니라 제조장비 및 자동스택 스테이션으로 그리고 그로부터 웨이퍼캐리어를 로딩 및 언로딩동작을 하는 로봇암을 갖는 자동가이드비클을 갖는 신규한 생산라인을 설명하는 개략도이다.
도 2는 도 1의 신규한 생산라인의 레이아웃을 설명하는 도면이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1a, 1b : 자동가이드비클 2a, 2b : 로봇암
3a, 3b : 핸드 4a, 4b : CCD카메라
5 : 웨이퍼 캐리어 6 : 위치리더
7,10a,10b,10c,10d : 스테이션 11a,11b,11c,11d : 기준마크
14a, 14b : 위치기준프레임
제 1 본 발명은 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클 교시방법을 제공한다. 이 방법은 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 기준위치데이터와 하나이상의 실제스테이션의 사용에 의한 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클에 교시하는 단계와; 그리고 상기 원래하나에 교시된 실제위치데이터와 동일한 공통데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 공급하고, 상기 공통데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여 상기 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 상기 개별적인 위치보정데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 교시하는 단계를 구비한다. 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나와 하나이상의 남겨진하나의 각각의 차이에 관계한다.
제 2 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들이 갖는 개별적인 기계적오차 보정방법을 제공한다. 이 방법은 공통적으로 공급된 하나이상의 실제스테이션의 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 보정하기 위하여 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 개별적인 위치보정데이터를 상기 각각의 자동가이드비클들에 교시하는 단일의 단계를 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
제 3 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법을 제공한다. 이 방법은 공통적으로 공급된 복수개의 기준스테이션들 각각에 속하는 실제위치데이터를 개별적인 위치보정데이터로 보정하여 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하여 개별적인 보정위치데이터를 얻기 위하여, 단일예비기준스테이션을 사용하여 위치보정데이터를 상기 자동가이드비클의 예비궤도상의 하나이상의 예비자동가이드비클 각각에 교시하여, 상기 자동가이드비클들의 로봇암이 상기 개별적인 보정위치데이터에 근거하여 실제스테이션들앞에서 로딩 및 언로딩동작을 하도록 제어하는 단계를 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
제 4 본 발명은 하나이상의 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및언로딩하기 위한 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클을 교시하는 시스템을 제공한다. 이 시스템은 상기 하나이상의 실제스테이션을 사용하여 상기 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들중의 원래하나만에 교시함으로써 얻어진 공통데이터정보를 저장하는 정보저장장치와; 상기 실제위치데이터에 관한 상기 공통데이터정보를 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 공급하는 정보공급장치와; 공통데이터로서의 상기 실제위치정보를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여, 개별적인 기준위치데이터를 모든 상기 자동가이드비클에 교시하여 개별적인 위치보정데이터를 구하는 교시용기준장치를 구비한다. 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들과 상기 원래하나의 차이에 관계한다.
제 5 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들이 갖는 개별적인 기계적오차 보정장치를 제공한다. 이 장치는 공통적으로 공급된 하나이상의 실제스테이션의 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 보정하기 위하여, 실제 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 자동가이드비클이 이동하는 실제궤도와 다른 예비궤도상에 위치되고, 개별적인 위치보정데이터를 각각의 상기 자동가이드비클에 교시하는 단일예비기준스테이션을 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
제 6 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템을 제공한다. 이 시스템은 공통적으로 공급된 복수개의 기존스테이션들 각각에 속하는 실제위치데이터를 개별적인 위치보정데이터로 보정하여 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하여 개별적인 보정위치데이터를 얻기 위하여, 위치보정데이터를 상기 자동가이드비클의 예비궤도상의 하나이상의 예비자동가이드비클을 교시하는 단일예비기준스테이션과; 그리고 상기 개별적인 보정위치데이터에 근거하여 실제스테이션들앞에서 로딩 및 언로딩동작을 하도록 상기 자동가이드비클들의 로봇암을 제어하는 제어기를 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
본 발명의 상술한 목적과 여타의 목적, 특징 및 장점들은 아래의 설명으로 부터 명확해질 것이다.
제 1 본 발명은 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클 교시방법을 제공한다. 이 방법은 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 기준위치데이터와 하나이상의 실제스테이션의 사용에 의한 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클에 교시하는 단계와; 그리고 상기 원래하나에 교시된 실제위치데이터와 동일한 공통데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 공급하고, 상기 공통데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여 상기 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 상기 개별적인 위치보정데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 교시하는 단계를 구비한다. 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나와 하나이상의 남겨진하나의 각각의 차이에 관계한다.
상기 제 l 본 발명에 따르면, 상기 자동가이드비클중의 원래하나의 자동가이드비클의 로봇암은 상기 기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 얻어진 실제위치데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 자동가이드비클의 로봇암은 개별적인 위치보정데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클만에 교시하는 것이 필수적이다. 그러나, 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 다른 자동가이드비클들에 교시하는 것이 불필요하기 때문에, 모든 자동가이드비클등에 교시하기 위한 필수시간을 단축시킬 수 있다. 상술한 본 발명은 단일예비기준스테이션을 사용한 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시하고, 그 결과, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암의 정확한 로딩 및 언로딩동작을 가능하게 한다. 상술한 기계적오차는 본 발명에 따른 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서 반드시 일어난다. 그러나, 본 발명에 따르면, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정하기 위해서 단일예비기준스테이션을 사용한 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암이 정확한 로딩 및 언로딩동작을 행하게 하는 것이 가능하다.
또한, 실제로 동작하는 자동가이드비클이 실제궤도상에서 실제스테이션으로 또는 그로부터 제품을 실제로 로딩 및 언로딩하는 동작을 계속해서 수행하는 동한, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여 미리 공급된 공통실제위치데이터에 대한 보정을 위한 위치보정데이터에 관하여 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 대한 상술한 교시가 수행될 수 있다. 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 자동가이드비클들이 대기상태에서 예비궤도에 위치하여 실제궤도에 진입하라는 요구를 기다리기 전에, 위치보정데이터로 미리 보정된 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위한 상기 기준교시동작이 수행된다. 실제작동하는 자동가이드비클에 문제점이 발생했을 경우에, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 예비자동가이드비클이 문제가 생긴 원래의 자동가이드비클 대신 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해 실제궤도로 진입한다. 상기 문제가 생긴 자동가이드비클은 실제궤도로부터 빠져나와 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 사전에 가진 새로 투입된 자동가이드비클에게, 생산라인을 중단시키지 않고, 실제 로딩 및 언로딩작업을 인계함으로써, 생산성을 향상시킨다.
상기 단일예비스테이션을 사용하여 상기 위치보정데이터를 얻기 위해서는, 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클은 실제 스테이션뿐만 아니라 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 미리 얻어진 공통실제위치데이터를 받는 것이 바람직하다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클의 로봇암은 상기 예비기준스테이션을 참조한 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 로봇암을 갖는 자동가이드비클중의 하나에 대한 현재 교시의 기계적오차가 원래의 자동가이드비클의 기계적오차와 다른 경우에는, 예비기준스테이션위의 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 배치오차가 발생한다. 여기에서, 배치오차는 현재 교시하는 자동가이드비클과 원래의 자동가이드비클사이의 기계적오차의 차이에 대응한다. 이 경우에, 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 오배치위치는 핸드의 교정된 위치와 소정의 기준위치사이의 정확한 일치를 얻기 위하여 수동으로 교정된다. 이러한 수동적인 위치교정동작은 얼마나 많은 거리가 오배치되어 있고 교정되어야하는 지에 대한 오배치교정정보를 제공한다. 이러한 오배치교정정보는, 로봇암의 핸드의 정확한 위치에서 실제스테이션으로 및 그로부터 실제적으로 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 실제스테이션앞에서의 현재 교시되는 하나의 자동가이드비클만에 유용한 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여, 예비기준스테이션을 참조한 것을 제외하고 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 위치보정데이터를 제공한다.
또한, 상기 예비동작은 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면에 위치된 하나이상의 프레임부재에서 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 동작인 것이 바람직하다.
또한, 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션, 예컨대 제조장비에 의해 구비되는 제 1 종류의 스테이션과 자동스택에 의해 구비되는 제 2 종류의 스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공된 복수개의 상기 프레임부재에서 및 그로부터 로봇암에 의해 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다. 이 제조장비에 의해 구비된 제 1 종류의 스테이션은 자동가이드비클로부터 제 1 로딩용스테이션으로 제품을 로딩하는 제 1 로딩용스테이션과, 제 1 언로딩용스테이션으로부터 자동가이드비클로 제품을 언로딩하는 제 1 언로딩용스테이션과, 그리고 제 1 언로딩용 스테이션과 자동가이드비클사이에서 제품을 로딩 및 언로딩하는 제 1 로딩 및 언로딩용 스테이션으로 분류될 수 있다.
또한, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어는 로봇암에 의해 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다.
제 2 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들이 갖는 개별적인 기계적오차 보정방법을 제공한다. 이 방법은 공통적으로 공급된 하나이상의 실제스테이션의 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 보정하기 위하여 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 개별적인 위치보정데이터를 상기 각각의 자동가이드비클들에 교시하는 단일의 단계를 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
제 2 본 발명에 따르면, 상기 자동가이드비클중의 원래하나의 자동가이드비클의 로봇암은 상기 기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 얻어진 실제위치데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 자동가이드비클의 로봇암은 개별적인 위치보정데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클만에 교시하는 것이 필수적이다. 그러나, 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 다른 자동가이드비클들에 교시하는 것이 불필요하기 때문에, 모든 자동가이드비클등에 교시하기 위한 필수시간을 단축시킬 수 있다. 상술한 본 발명은 단일예비기준스테이션을 사용한 교시에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시하고,그 결과, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암의 정확한 로딩 및 언로딩동작을 가능하게 한다. 상술한 기계적오차는 본 발명에 따른 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서 반드시 일어난다. 그러나, 본 발명에 따르면, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정하기 위해서 단일예비기준스테이션을 사용한 기준교시동작에 의해얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암이 정확한 로딩 및 언로딩동작을 행하게 하는 것이 가능하다.
또한, 실제로 동작하는 자동가이드비클이 실제궤도상에서 실제스테이션으로 또는 그로부터 제품을 실제로 로딩 및 언로딩하는 동작을 계속해서 수행하는 동한, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여 미리 공급된 공통실제위치데이터에 대한 보정을 위한 위치보정데이터에 관하여 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 대한 상술한 교시가 수행될 수 있다. 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 자동가이드비클들이 대기상태에서 예비궤도에 위치하여 실제궤도에 진입하라는 요구를 기다리기 전에, 위치보정데이터로 미리 보정된 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위한 상기 기준교시동작이 수행된다. 실제작동하는 자동가이드비클에 문제점이 발생했을 경우에, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 예비자동가이드비클이 문제가 생긴 원래의 자동가이드비클 대신 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해 실제궤도로 진입한다. 상기 문제가 생긴 자동가이드비클은 실제궤도로부터 빠져나와 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 사전에 가진 새로 투입된 자동가이드비클에게, 생산라인을 중단시키지 않고, 실제 로딩 및 언로딩작업을 인계함으로써, 생산성을 향상시킨다.
상기 단일예비스테이션을 사용하여 상기 위치보정데이터를 얻기 위해서는, 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클은 실제 스테이션뿐만 아니라 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 미리 얻어진 공통실제위치데이터를 받는 것이 바람직하다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클의 로봇암은 상기 예비기준스테이션을 참조한 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 로봇암을 갖는 자동가이드비클중의 하나에 대한 현재 교시의 기계적오차가 원래의 자동가이드비클의 기계적오차와 다른 경우에는, 예비기준스테이션위의 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 배치오차가 발생한다. 여기에서, 배치오차는 현재 교시하는 자동가이드비클과 원래의 자동가이드비클사이의 기계적오차의 차이에 대응한다. 이 경우에, 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 오배치위치는 핸드의 교정된 위치와 소정의 기준위치사이의 정확한 일치를 얻기 위하여 수동으로 교정된다. 이러한 수동적인 위치교정동작은 얼마나 많은 거리가 오배치되어 있고 교정되어야 하는 지에 대한 오배치교정정보를 제공한다. 이러한 오배치교정정보는, 로봇암의 핸드의 정확한 위치에서 실제스테이션으로 및 그로부터 실제적으로 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 실제스테이션앞에서의 현재 교시되는 하나의 자동가이드비클만에 유용한 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여, 예비기준스테이션을 참조한 것을 제외하고 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 위치보정데이터를 제공한다.
또한, 상기 예비동작은 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면에 위치된 하나이상의 프레임부재에서 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 동작인 것이 바람직하다.
또한, 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션, 예컨대 제조장비에 의해 구비되는 제 1 종류의 스테이션과 자동스택에 의해 구비되는 제 2 종류의 스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공된 복수개의 상기 프레임부재에서 및 그로부터 로봇암에 의해 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다. 이 제조장비에 의해 구비된 제 1 종류의 스테이션은 자동가이드비클로부터 제 1 로딩용스테이션으로 제품을 로딩하는 제 1 로딩용스테이션과, 제 1 언로딩용스테이션으로부터 자동가이드비클로 제품을 언로딩하는 제 1 언로딩용스테이션과, 그리고 제 1 언로딩용 스테이션과 자동가이드비클사이에서 제품을 로딩 및 언로딩하는 제 1 로딩 및 언로딩용 스테이션으로 분류될 수 있다.
또한, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어는 로봇암에 의해 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다.
제 3 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법을 제공한다. 이 방법은 공통적으로 공급된 복수개의 기준스테이션들 각각에 속하는 실제위치데이터를 개별적인 위치보정데이터로 보정하여 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하여 개별적인 보정위치데이터를 얻기 위하여, 단일예비기준스테이션을 사용하여 위치보정데이터를 상기 자동가이드비클의 예비궤도상의 하나이상의 예비자동가이드비클 각각에 교시하여, 상기 자동가이드비클들의 로봇암이 상기 개별적인 보정위치데이터에 근거하여 실제스테이션들앞에서 로딩 및 언로딩동작을 하도록 제어하는 단계를 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
제 3 본 발명에 따르면, 상기 자동가이드비클중의 원래하나의 자동가이드비클의 로봇암은 상기 기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 얻어진 실제위치데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 자동가이드비클의 로봇암은 개별적인 위치보정데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클만에 교시하는 것이 필수적이다. 그러나, 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 다른 자동가이드비클들에 교시하는 것이 불필요하기 때문에, 모든 자동가이드비클등에 교시하기 위한 필수시간을 단축시킬 수 있다. 상술한 본 발명은 단일예비기준스테이션을 사용한 교시에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시하고, 그 결과, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암의 정확한 로딩 및 언로딩동작을 가능하게 한다. 상술한 기계적오차는 본 발명에 따른 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서 반드시 일어난다. 그러나, 본 발명에 따르면, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정하기 위해서 단일예비기준스테이션을 사용한 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암이 정확한 로딩 및 언로딩동작을 행하게 하는 것이 가능하다.
또한, 실제로 동작하는 자동가이드비클이 실제궤도상에서 실제스테이션으로 또는 그로부터 제품을 실제로 로딩 및 언로딩하는 동작을 계속해서 수행하는 동한, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여 미리 공급된 공통실제위치데이터에 대한 보정을 위한 위치보정데이터에 관하여 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 대한 상술한 교시가 수행될 수 있다. 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 자동가이드비클들이 대기상태에서 예비궤도에 위치하여 실제궤도에 진입하라는 요구를 기다리기 전에, 위치보정데이터로 미리 보정된 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위한 상기 기준교시동작이 수행된다. 실제작동하는 자동가이드비클에 문제점이 발생했을 경우에, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 예비자동가이드비클이 문제가 생긴 원래의 자동가이드비클 대신 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해 실제궤도로 진입한다. 상기 문제가 생긴 자동가이드비클은 실제궤도로부터 빠져나와 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 사전에 가진 새로 투입된 자동가이드비클에게, 생산라인을 중단시키지 않고, 실제 로딩 및 언로딩작업을 인계함으로써, 생산성을 향상시킨다.
상기 단일예비스테이션을 사용하여 상기 위치보정데이터를 얻기 위해서는, 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클은 실제 스테이션뿐만 아니라 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 미리 얻어진 공통실제위치데이터를 받는 것이 바람직하다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클의 로봇암은 상기 예비기준스테이션을 참조한 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 로봇암을 갖는 자동가이드비클중의 하나에 대한 현재 교시의 기계적오차가 원래의 자동가이드비클의 기계적오차와 다른 경우에는, 예비기준스테이션위의 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 배치오차가 발생한다. 여기에서, 배치오차는 현재 교시하는 자동가이드비클과 원래의 자동가이드비클사이의 기계적오차의 차이에 대응한다. 이 경우에, 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 오배치위치는 핸드의 교정된 위치와 소정의 기준위치사이의 정확한 일치를 얻기위하여 수동으로 교정된다. 이러한 수동적인 위치교정동작은 얼마나 많은 거리가 오배치되어 있고 교정되어야하는 지에 대한 오배치교정정보를 제공한다. 이러한 오배치교정정보는, 로봇암의 핸드의 정확한 위치에서 실제스테이션으로 및 그로부터 실제적으로 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 실제스테이션앞에서의 현재 교시되는 하나의 자동가이드비클만에 유용한 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위하여, 예비기준스테이션을 참조한 것을 제외하고 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 위치보정데이터를 제공한다.
또한, 상기 예비동작은 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 상기 단열예비기준스테이션의 상면에 위치된 하나이상의 프레임부재에서 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 동작인 것이 바람직하다.
또한, 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션, 예컨대 제조장비에 의해 구비되는 제 1 종류의 스테이션과 자동스택에 의해 구비되는 제 2 종류의 스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공된 복수개의 상기 프레임부재에서 및 그로부터 로봇암에 의해 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다. 이 제조장비에 의해 구비된 제 1 종류의 스테이션은 자동가이드비클로부터 제 1 로딩용스테이션으로 제품을 로딩하는 제 1 로딩용스테이션과, 제 1 언로딩용스테이션으로부터 자동가이드비클로 제품을 언로딩하는 게 1 언로딩용스테이션과, 그리고 제 1 언로딩용 스테이션과 자동가이드비클사이에서 제품을 로딩 및 언로딩하는 제 1 로딩 및 언로딩용 스테이션으로 분류될 수 있다.
또한, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어는 로봇암에 의해 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다.
제 4 본 발명은 하나이상의 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클을 교시하는 시스템을 제공한다. 이 시스템은 상기 하나이상의 실제스테이션을 사용하여 상기 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들중의 원래하나만에 교시함으로써 얻어진 공통데이터정보를 저장하는 정보저장장치와; 상기 실제위치데이터에 관한 상기 공통데이터정보를 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 공급하는 정보공급장치와; 공통데이터로서의 상기 실제위치정보를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여, 개별적인 기준위치데이터를 모든 상기 자동가이드비클에 교시하여 개별적인 위치보정데이터를 구하는 교시용기준장치를 구비한다. 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들과 상기 원래하나의 차이에 관계한다.
상기 제 4 본 발명에 따르면, 상기 자동가이드비클중의 원래하나의 자동가이드비클의 로봇암은 상기 기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 얻어진 실제위치데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 자동가이드비클의 로봇암은 개별적인 위치보정데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클만에 교시하는 것이 필수적이다.
그러나, 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 다른 자동가이드비클들에 교시하는 것이 불필요하기 때문에, 모든 자동가이드비클등에 교시하기 위한 필수시간을 단축시킬 수 있다. 상술한 본 발명은 단일예비기준스테이션을 사용한 교시에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시하고, 그 결과, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암의 정확한 로딩 및 언로딩동작을 가능하게 한다. 상술한 기계적오차는 본 발명에 따른 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서 반드시 일어난다. 그러나, 본 발명에 따르면, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정하기 위해서 단일예비기준스테이션을 사용한 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암이 정확한 로딩 및 언로딩동작을 행하게 하는 것이 가능하다.
또한, 실제로 동작하는 자동가이드비클이 실제궤도상에서 실제스테이션으로 또는 그로부터 제품을 실제로 로딩 및 언로딩하는 동작을 계속해서 수행하는 동한, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여 미리 공급된 공통실제위치데이터에 대한 보정을 위한 위치보정데이터에 관하여 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 대한 상술한 교시가 수행될 수 있다. 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 자동가이드비클들이 대기상태에서 예비궤도에 위치하여 실제궤도에 진입하라는 요구를 기다리기 전에, 위치보정데이터로 미리 보정된 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위한 상기 기준교시동작이 수행된다. 실제작동하는 자동가이드비클에 문제점이 발생했을 경우에, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 예비자동가이드비클이 문제가 생긴 원래의 자동가이드비클 대신 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해 실제궤도로 진입한다. 상기 문제가 생긴 자동가이드비클은 실제궤도로부터 빠져나와 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 사전에 가진 새로 투입된 자동가이드비클에게, 생산라인을 중단시키지 않고, 실제 로딩 및 언로딩작업을 인계함으로써, 생산성을 향상시킨다.
상기 단일예비스테이션을 사용하여 상기 위치보정데이터를 얻기위해서는, 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클은 실제스테이션뿐만 아니라 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 미리 얻어진 공통실제위치데이터를 받는 것이 바람직하다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클의 로봇암은 상기 예비기준스테이션을 참조한 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 로봇암을 갖는 자동가이드비클중의 하나에 대한 현재 교시의 기계적오차가 원래의 자동가이드비클의 기계적오차와 다른 경우에는, 예비기준스테이션위의 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 배치오차가 발생한다. 여기에서, 배치오차는 현재 교시하는 자동가이드비클과 원래의 자동가이드비클사이의 기계적오차의 차이에 대응한다. 이 경우에, 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 오배치위치는 핸드의 교정된 위치와 소정의 기준위치사이의 정확한 일치를 얻기위하여 수동으로 교정된다. 이러한 수동적인 위치교정동작은 얼마나 많은 거리가 오배치되어 있고 교정되어야하는 지에 대한 오배치교정정보를 제공한다. 이러한 오배치교정정보는, 로봇암의 핸드의 정확한 위치에서 실제스테이션으로 및 그로부터 실제적으로 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 실제스테이션앞에서의 현재 교시되는 하나의 자동가이드비클만에 유용한 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위하여, 예비기준스테이션을 참조한 것을 제외하고 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 위치보정데이터를 제공한다.
또한, 상기 단일예비기준스테이션은 그위에 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 배치된 하나이상의 프레임부재가 위치된 상면을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 복수종류의 실제스테이션, 예컨대 제조장비에 의해 구비되는 제 1 종류의 스테이션과 자동스택에 의해 구비되는 제 2 종류의 스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 복수개의 상기 프레임부재가 제공되는 것이 바람직하다. 이 제조장비에 의해 구비된 제 1 종류의 스테이션은 자동가이드비클로부터 제 1 로딩용스테이션으로 제품을 로딩하는 제 1로딩용스테이션과, 제 1 언로딩용스테이션으로부터 자동가이드비클로 제품을 언로딩하는 제 1 언로딩용스테이션과, 그리고 제 1 언로딩용 스테이션과 자동가이드비클사이에서 제품을 로딩 및 언로딩하는 제 1 로딩 및 언로딩용 스테이션으로 분류될 수 있다.
또한, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어는 로봇암에 의해 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다.
제 5 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들이 갖는 개별적인 기계적오차 보정장치를 제공한다. 이 장치는 공통적으로 공급된 하나이상의 실제스테이션의 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 보정하기 위하여, 실제 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 자동가이드비클이 이동하는 실제궤도와 다른 예비궤도상에 위치되고, 개별적인 위치보정데이터를 각각의 상기 자동가이드비클에 교시하는 단일예비기준스테이션을 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
제 5 본 발명에 따르면, 상기 자동가이드비클중의 원래하나의 자동가이드비클의 로봇암은 상기 기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 얻어진 실제위치데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 자동가이드비클의 로봇암은 개별적인 위치보정데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실체위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클만에 교시하는 것이 필수적이다. 그러나, 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 다른 자동가이드비클들에 교시하는 것이 불필요하기 때문에, 모든 자동가이드비클등에 교시하기 위한 필수시간을 단축시킬 수 있다. 상술한 본 발명은 단일예비기준스테이션을 사용한 교시에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로, 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시하고, 그 결과, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정함으로써, 모든자동가이드비클의 로봇암의 정확한 로딩 및 언로딩동작을 가능하게 한다. 상술한 기계적오차는 본 발명에 따른 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서 반드시 일어난다. 그러나, 본 발명에 따르면, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정하기 위해서 단일예비기준스테이션을 사용한 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암이 정확한 로딩 및 언로딩동작을 행하게 하는 것이 가능하다.
또한, 실제로 동작하는 자동가이드비클이 실제궤도상에서 실제스테이션으로 또는 그로부터 제품을 실제로 로딩 및 언로딩하는 동작을 계속해서 수행하는 동한, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여 미리 공급된 공통실제위치데이터에 대한 보정을 위한 위치보정데이터에 관하여 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 대한 상술한 교시가 수행될 수 있다. 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 자동가이드비클들이 대기상태에서 예비궤도에 위치하여 실제궤도에 진입하라는 요구를 기다리기 전에, 위치보정데이터로 미리 보정된 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위한 상기 기준교시동작이 수행된다. 실제작동하는 자동가이드비클에문제점이 발생했을 경우에, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 예비자동가이드비클이 문제가 생긴 원래의 자동가이드비클 대신 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해 실제궤도로 진입한다. 상기 문제가 생긴 자동가이드비클은 실제궤도로부터 빠져나와 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 사전에 가진 새로 투입된 자동가이드비클에게, 생산라인을 중단시키지 않고, 실제 로딩 및 언로딩작업을 인계함으로써, 생산성을 향상시킨다.
상기 단일예비스테이션을 사용하여 상기 위치보정데이타를 얻기위해서는, 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클은 실제스테이션뿐만 아니라 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 미리 얻어진 공통실제위치데이터를 받는 것이 바람직하다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클의 로봇암은 상기 예비기준스테이션을 참조한 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 로봇암을 갖는 자동가이드비클중의 하나에 대한 현재 교시의 기계적오차가 원래의 자동가이드비클의 기계적오차와 다른 경우에는, 예비기준스테이션위의 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 배치오차가 발생한다. 여기에서, 배치오차는 현재 교시하는 자동가이드비클과 원래의 자동가이드비클사이의 기계적오차의 차이에 대응한다. 이 경우에, 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 오배치위치는 핸드의 교정된 위치와 소정의 기준위치사이의 정확한 일치를 얻기위하여 수동으로 교정된다. 이러한 수동적인 위치교정동작은 얼마나 많은 거리가 오배치되어 있고 교정되어야하는 지에 대한 오배치교정정보를 제공한다. 이러한 오배치교정정보는, 로봇암의 핸드의 정확한 위치에서 실제스테이션으로 및 그로부터 실제적으로 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 실제스테이션앞에서의 현재 교시되는 하나의 자동가이드비클만에 유용한 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위하여, 예비기준스테이션을 참조한 것을 제외하고 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 위치보정데이터를 제공한다.
또한, 상기 단일예비기준스테이션은 그위에 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 배치된 하나이상의 프레임부재가 위치된 상면을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 복수종류의 실제스테이션, 예컨대 제조장비에 의해 구비되는 제 1 종류의 스테이션과 자동스택에 의해 구비되는 제 2 종류의 스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 복수개의 상기 프레임부재가 제공되는 것이 바람직하다. 이 제조장비에 의해 구비된 제 1 종류의 스테이션은 자동가이드비클로부터 제 1 로딩용스테이션으로 제품을 로딩하는 제 1로딩용스테이션과, 제 1 언로딩용스테이션으로부터 자동가이드비클로 제품을 언로딩하는 제 1 언로딩용스테이션과, 그리고 제 1 언로딩용 스테이션과 자동가이드비클사이에서 제품을 로딩 및 언로딩하는 제 1 로딩 및 언로딩용 스테이션으로 분류될 수 있다.
또한, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어는 로봇암에 의해 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다.
제 6 본 발명은 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템을 제공한다. 이 시스템은 공통적으로 공급된 복수개의 기준스테이션들 각각에 속하는 실제위치데이터를 개별적인 위치보정데이터로 보정하여 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하여 개별적인 보정위치데이터를 얻기 위하여, 위치보정데이터를 상기 자동가이드비클의 예비궤도상의 하나이상의 예비자동가이드비클을 교시하는 단일예비기준스테이션과; 그리고 상기 개별적인 보정위치데이터에 근거하여 실제스테이션들앞에서 로딩 및 언로딩동작을 하도록 상기 자동가이드비클들의 로봇암을 제어하는 제어기를 구비하고, 상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계한다.
상기 제 6 본 발명에 따르면, 상기 자동가이드비클중의 원래하나의 자동가이드비클의 로봇암은 상기 기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 얻어진 실제위치데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 자동가이드비클의 로봇암은 개별적인 위치보정데이터에 근거하여 하나이상의 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클만에 교시하는 것이 필수적이다. 그러나, 기준스테이션의 사용에 의해 기준스테이션에 속하는 실제위치데이터를 다른 자동가이드비클들에 교시하는 것이 불필요하기 때문에, 모든 자동가이드비클등에 교시하기 위한 필수시간을 단축시킬 수 있다. 상술한 본 발명은 단일예비기준스테이션을 사용한 교시에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시하고,그 결과, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암의 정확한 로딩 및 언로딩동작을 가능하게 한다. 상술한 기계적오차는 본 발명에 따른 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서 반드시 일어난다. 그러나, 본 발명에 따르면, 자동가이드비클의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정하기 위해서 단일예비기준스테이션을 사용한 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시함으로써, 모든 자동가이드비클의 로봇암이 정확한 로딩 및 언로딩동작을 행하게 하는 것이 가능하다.
또한, 실제로 동작하는 자동가이드비클이 실제궤도상에서 실제스테이션으로 또는 그로부터 제품을 실제로 로딩 및 언로딩하는 동작을 계속해서 수행하는 동한, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기 위하여 미리 공급된 공통실제위치데이터에 대한 보정을 위한 위치보정데이터에 관하여 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 대한 상술한 교시가 수행될 수 있다. 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 자동가이드비클들이 대기상태에서 예비궤도에 위치하여 실제궤도에 진입하라는 요구를 기다리기 전에, 위치보정데이터로 미리 보정된 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위한 상기 기준교시동작이 수행된다. 실제작동하는 자동가이드비클에 문제점이 발생했을 경우에, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 예비자동가이드비클이 문제가 생긴 원래의 자동가이드비클 대신 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해 실제궤도로 진입한다. 상기 문제가 생긴 자동가이드비클은 실제궤도로부터 빠져나와 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 사전에 가진 새로 투입된 자동가이드비클에게, 생산라인을 중단시키지 않고, 실제 로딩 및 언로딩작업을 인계함으로써, 생산성을 향상시킨다.
상기 단일예비스테이션을 사용하여 상기 위치보정데이터를 얻기위해서는, 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클은 실제스테이션뿐만 아니라 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 미리 얻어진 공통실제위치데이터를 받는 것이 바람직하다. 상기 원래하나의 자동가이드비클을 제외한 각각의 개별적인 자동가이드비클의 로봇암은 상기 예비기준스테이션을 참조한 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 로봇암을 갖는 자동가이드비클중의 하나에 대한 현재 교시의 기계적오차가 원래의 자동가이드비클의 기계적오차와 다른 경우에는, 예비기준스테이션위의 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 배치오차가 발생한다. 여기에서, 배치오차는 현재 교시하는 자동가이드비클과 원래의 자동가이드비클사이의 기계적오차의 차이에 대응한다. 이 경우에, 소정의 기준위치로부터의 로봇암의 핸드의 오배치위치는 핸드의 교정된 위치와 소정의 기준위치사이의 정확한 일치를 얻기위하여 수동으로 교정된다. 이러한 수동적인 위치교정동작은 얼마나 많은 거리가 오배치되어 있고 교정되어야하는 지에 대한 오배치교정정보를 제공한다. 이러한 오배치교정정보는, 로봇암의 핸드의 정확한 위치에서 실제스테이션으로 및 그로부터 실제적으로 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 실제스테이션앞에서의 현재 교시되는 하나의 자동가이드비클만에 유용한 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위하여, 예비기준스테이션을 참조한 것을 제외하고 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 위치보정데이터를 제공한다.
또한, 상기 단일예비기준스테이션은 그위에 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 배치된 하나이상의 프레임부재가 위치된 상면을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 복수종류의 실제스테이션, 예컨대 제조장비에 의해 구비되는 제 1 종류의 스테이션과 자동스택에 의해 구비되는 제 2 종류의 스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 복수개의 상기 프레임부재가 제공되는 것이 바람직하다. 이 제조장비에 의해 구비된 제 1 종류의 스테이션은 자동가이드비클로부터 제 1 로딩용스테이션으로 제품을 로딩하는 제 1로딩용스테이션과, 제 1 언로딩용스테이션으로부터 자동가이드비클로 제품을 언로딩하는 제 1 언로딩용스테이션과, 그리고 제 1 언로딩용 스테이션과 자동가이드비클사이에서 제품을 로딩 및 언로딩하는 제 1 로딩 및 언로딩용 스테이션으로 분류될 수 있다.
또한, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어는 로봇암에 의해 제품으로서로딩 및 언로딩되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
제 1 실시예
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 제 1 실시예를 설명한다. 도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 예비 자동가이드비클에 개별적인 보정위치데이터를 알려주는, 단일 기준 스테이션뿐 아니라 제조장비 및 자동스택 스테이션으로 그리고 그로부터 웨이퍼캐리어를 로드 및 언로드동작을 하는 로봇암을 갖는 자동가이드비클을 갖는 신규한 생산라인을 설명하는 개략도이다. 도 2는 도 1의 신규한 생산라인의 레이아웃을 설명하는 도면이다.
신규한 생산라인은 실제궤도(9a)와 예비궤도(9b)를 갖는다. 실제로 작동하는 자동가이드비클(1a)은 실제 스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od) 앞에서 정지하고, 이어서 실제 스테이션(10a,10b,10c,10d)에서 그리고 그로부터 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩하고 언로딩하는 실제 작업을 행하기 위하여 실제궤도(9a)를 따라서 미리 설정된 소프트웨어 프로그램에 의해 이동된다. 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 제 1로봇암(2a)은 은 제 1, 제 2, 제 3 그리고 제 4 위치기준마크(11a,11b,11c,11d)를 인식하기 위한 제 1 CCD카메라(4a)를 갖는 상부를 갖는다. 제 1 로딩용스테이션(10a)은 이 제 1 로딩용 스테이션(10a)으로 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩하는 실제작동을 위해서, 제 1 로딩용 스테이션(1Oa) 앞에서 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 정지해야 하는 정지위치를 확인하기 위한 위치기준을 구비한 제 1 기준마크(11a)를 구비한다. 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 제 1로딩용스테이션(1Oa) 앞에서 정지하면, 제 1 CCD카메라(4a)는 컴퓨터 소프트웨어 프로그램에 의해 미리 결정된 정지위치로부터의 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 배치오차를 확인하기 위하여 제 1 기준마크(11a)를 인식하고, 배치오차를 주컴퓨터로 전달함으로써, 주컴퓨터는 배 치오차의 보정을 위해서 실제 작동하는 자동가이드비클(1a)을 이동하라는 명령을 실제작동하는 자동가이드비클(1a)로 보내고, 그 결과, 실제 작동하는 자동가이드비 클(1a)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 제 1 로딩용 스테이션(1Oa)으로 캐리어 웨이퍼를 로딩하는 동작을 수행하는 것이 가능하도록 정지위치와 일치하는 위치에 배치된다. 제 2 언로딩용 스테이션(10b)은 이 제 2 언로딩용 스테이션(10b)으로 웨이퍼 캐리어(5)를 언로딩하는 실제작동을 위해서, 제 2 언로딩용 스테이션(10b) 앞에서 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 정지해야 하는 정지위치를 확인하기 위한 위치기준을 구비한제 2 기준마크(11b)를 구비한다. 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 제 2 언로딩용 스테이션(1Ob) 앞에서 정지하면, 제 1 CCD카메라(4a)는 컴퓨터 소프트웨어 프로그램에 의해 미리 결정된 정지위치로부터의 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 배치오차를 확인하기 위하여 제 2 기준마크(11b)를 인식하고, 배치오차를 주컴퓨터로 전달함으로써, 주컴퓨터는 배치오차의 보정을 위해서 실제 작동하는 자동가이드비클(1a)을 이동하라는 명령을 실제작동하는 자동가이드비클(1a)로 보내고, 그 결과, 실제 작동하는 자동가이드비클(1a)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 제 2 언로딩용 스테이션(10b)으로 캐리어 웨이퍼를 로딩하는 동작을 수행하는 것이 가능하도록 정지위치와 일치하는 위치에 배치된다. 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(10c)은 이 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(10c)으로 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩하는 실제작동을 위해서, 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(10c) 앞에서 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 정지해야 하는 정지위치를 확인하기 위한 위치기준을 구비한 제 3 기준마크(11c)를 구비한다. 실제작동하는 자동가이드비클(1a) 이 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(1Oc) 앞에서 정지하면, 제 1 CCD카메라(4a)는 컴퓨터 소프트웨어 프로그램에 의해 미리 결정된 정지위치로부터의 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 배치위차를 확인하기 위하여 제 3 기준마크(11c)를 인식하고, 배치오차를 주컴퓨터로 전달함으로써, 주컴퓨터는 배치오차의 보정을 위해서 실제작동하는 자동가이드비클(1a)을 이동하라는 명령을 실제작동하는 자동가이드비클(1a)로 보내고, 그 결과, 실제작동하는 자동가이드비클(1a)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(10c)으로 캐리어 웨이퍼를 로딩하는 동작을 수행하는 것이 가능하도록 정지위치와 일치하는 위치에 배치된다. 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(10d)은 이 제 4로딩/언로딩용스테이션(10d)으로 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩하는 실제작동을 위해서, 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(1Od) 앞에서 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 정지하야 하는 정지위치를 확인하기 위한 위치기준을 구비한 제 4 기준마크(11d)를 구비한다. 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(10d) 앞에서 정지하면, 제 1 CCD카메라(4a)는 컴퓨터 소프트웨어 프로그램에 의해 미리 결정된 정지위치로부터의 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 배치오차를 확인하기 위해여 제4 기준마크(11d)를 인식하고, 배치오차를 주컴퓨터로 전달함으로써, 주컴퓨터는 배치오차의 보정을 위해서 실제작동하는 자동가이드비클(1a)을 이동하라는 명령을 실제 작동하는 자동가이드비클(1a)로 보내고, 그 결과, 실제작동하는 자동가이드비클(1a)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)이 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(1Od)으로 캐리어 웨이퍼를 로딩하는 동작을 수행하는 것이 가능하도록 정지위치와 일치하는 위치에 배치된다.
실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 정지위치 제어 정밀도는, 예컨대 대략 1Omm이다. 소정의 정지위치로부터 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 배치오차가 3mm이상인 경우에는, 배치오차를 주컴퓨터로 전달하고, 주컴퓨터는 배치오차의 보정을 시도하기 위해서 실제작동하는 자동가이드비클(1a)을 이동하라는 명령을 실제작동하는 자동가이드비클(1a)로 보냄으로써, 배치오차를 3mm로 감소시킨다. 배치오차가 3mm이상인 경우에는, 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩 및 언로딩하는 동작을 더욱 정밀하게 행하기 위하여, CCD카메라(4a)가 소량의 배치오차를 인식하여, 미리 설정된 위치데이터가 인식된 소량의 배치오차를 보정한다.
한편, 예비 자동가이드비클(1b)은 예비궤도(9b)상에서 단일 기준스테이션(7)앞에 배치되어, 실제작동하는 자동가이드비클(1a)에 문제가 발생했을 경우에, 실제 스테이션(10a,10b,10c,10d)으로 및 그로부터 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해서 실제궤도(9a)에 진입하라는 명령을 기다린다. 실제작동하는 자동가이드비클(1a)에는 웨이퍼 캐리어(5)를 잡기위한 제 1 핸드(3a)를 갖는 제 1로봇암(2a)이 구비된다. 예비 자동가이드비클(1b)에는 웨이퍼 캐리어(5)를 잡기위한 제 2 핸드(3b)를 갖는 제 2 로봇암(2b)이 구비된다. 제조장비(12)는 실제궤도(9a)를 따라 배치된 제 1 로딩용 스테이션(10a)과 제 2 언로딩용스테이션(1Ob)을 구비한다. 제 1 로딩용 스테이션(1Oa)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 제 1 로봇암(2a)이 실제작동하는 자동가이드비클(1a)으로부터 제 1 로딩용 스테이션(10a)으로 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩하는 동작을 수행하게 한다. 제 2 언로딩용 스테이션(10b)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 제 1 로봇암(2a) 이 제 2 언로딩용스테이션(10b)으로부터 실제작동하는 자동가이드비클(1a)로 웨이퍼 캐리어(5)를 언로딩하는 동작을 수행하게 한다. 또한, 자동스택(13)은 실제궤도(9a)를 따라 배치된 제 3 및 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(10c,10d)을 구비한다. 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(10c)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 제 1 로봇암(2a)이 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(10c)으로 및 그로부터 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩 및 언로딩하는 동작을 수행하게 한다. 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(1Od)은 실제작동하는 자동가이드비클(1a)의 제 1 로봇암(2a)이 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(10d)으로 및 그로부터 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩 및 언로딩하는 동작을 수행하게 한다. 제 1 기준마크(11a)는 웨이퍼 캐리어(5) 배치위치를 확인하는 위치기준을 제공하여, 제 1 CCD카메라(4a)가 제 1 로딩용 스테이션(1Oa)상의 제 1 기준마크(11a)와 웨이퍼 캐리어 배치위치를 확인한다. 제 2 기준마크(11b)는 웨이퍼 캐리어(5) 배치위치를 확인하는 위치기준을 제공하여, 제 1 CCD카메라(4a)가 제 2 언로딩용 스테이션(1Ob)상의 제 2 기준마크(11b)와 웨이퍼 캐리어 배치위치를 확인한다. 제 3 기준마크(11c)는 웨이퍼 캐리어(5) 배치위치를 확인하는 위치기준을 제공하여, 제 1 CCD카메라(4a)가 제 3 로딩/언로딩용 스테이션(10c)상의 제 3 기준마크(11c)와 웨이퍼 캐리어 배치위치를 확인한다. 제 4 기준마크(11d)는 웨이퍼 캐리어(5) 배치위치를 확인하는 위치기준을 제공하여, 제 1 CCD카메라(4a)가 제 4 로딩/언로딩용 스테이션(10b)상의 제 4 기준마크(11d)와 웨이퍼 캐리어 배치위치를 확인한다. 대기상태의 예비 자동가이드비클(1b)은 예비궤도(9b)상의 단일기준스테이션(7) 앞에서 정지된다. 단일기준스테이션(7)은 제 1 및 제 2 위치기준프레임(14a,14b)를 갖는 상면을 구비한다. 제 1 위치기준스테이션(14a)은 제 1 로딩 및 제 2 언로딩스테이션(10a,10b)의 웨이퍼 케리어 배치위치에 일치하도록 배치되고, 한편, 제 2 위치기준스테이션(14b)은제 3 및 제 4 로딩/언로딩스테이션(10c,10d)의 웨이퍼 케리어 배치위치에 일치하도록 배치된다. 또한, 단일기준스테이션(7)은 로봇암의 샤프트를 구동하는 X축, Y축, Z축에 직접적으로 연결된 제 1, 제 2, 제 3 리솔버의 디지탈량을 판독하여 판독한 디지탈데이터를 주컴퓨터에 기억시키는 위치리더(6)를 구비한다.
그러나, 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서, 반두시 반드시 기계적인 오차가 발생하기 때문에, 본 발명에 따른 아래의 신규한 시스템 또는 방법에 의한 개별적인 기계적오차 보정방법이 가장 중요하다.
먼저, 원래의 자동가이드비클(1a)은 단일예비기준스테이션(7)의 사용에 의한 기준위치데이터와 실제스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)의 사용에 의한 실제스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)에 속하는 실제위치데이터를 교시받는다. 예비자동가이드비클(1b)에는 원래의 자동가이드비클(1a)에 교시된 상술한 실제위치데이터와 동일한 공통데이터가공급된다. 또한, 공통데이터를 자동가이드비클(1a,1b)사이에 서로 다른 각각의 자동가이드비클(1a,1b)의 기계적 오차를 보정하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 개별적으로 보정하기 위하여, 단일예비기준스테이션(7)의 사용에 의한 개별적인 위치보정데이터에 대하여 예비자동가이드비클(1b)에 교시된다. 위치보정데이터는, 로봇암(2)의 핸드(3)와 실제스테이션앞의 소정의 정지위치에서의 자동가이드비클의 정지를 참조한 기준점사이의 상대위치에서 원래의 자동가이드비클(1a)로부터의 예비자동가이드비클(1b)의 차이에 관계한다.
이하, 상기 설명을 더욱 상세하게 설명한다. 단일예비스테이션(7)의 사용에 의한 위치보정데이터를 얻기위해서, 예비자동가이드비클(1b)은 실제스테이션(10a,10b,10c,10d)뿐만 아니라 단일예비기준스테이션(7)의 사용에 의한 원래의 교시동작에 의해 미리 얻어진 공통실제위치데이터를 받는다. 예비자동가이드비클(1b)의 로봇암(2b)은 예비기준스테이션(7)관한 수신된 공통실제위치 데이터에 근거하여 단일예비스테이션(7)만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을수행하게 한다. 여기에서, 예비기준스테이션(7)관한 공통실제위치데이터는 단일기준스테이션(7)의 사용에 의해 원래의 자동가이드비클(1a)에 미리 교시함으로써 사전에 얻어진다. 그 결과, 예비 자동가이드비클(1b)의 기계적오차가 원래의 자동가이드비클(1a)의 기계적오차와 다른 경우에는, 소정의 기준위치, 예컨대 예비기준스테이션(7)위의 로봇암(2)의 핸드(3)의 배치오차가 발생한다. 여기에서, 배치오차는 현재 교시하는 예비자동가이드비클(1b)과 원래의 자동가이드비클(1a)사이의 기계적오차에서의 차이이다. 소정의 기준위치로부터의 로봇암(2)의 핸드(3)의 오배치위치는 핸드(3)의 교정된 위치와 소정의 기준위치사이의 정확한 일치를 얻기위하여 수동으로 교정된다.
예를들면, 로봇암(2b)은 수신된 예비기준스테이션(7)에 관한 공통실제위치데이터에 따라서 X-Y방향으로 동작한다. 여기에서, 예비기준스테이션(7)에 관한 실제위치데이터는 단일기준스테이션(7)의 사용에 의해 미리 교시한 원래 자동가이드비클(1a)에 의해 사전에 얻어진다. CCD카메라(4b)를 사용하여, 제 1 또는 제 2 위치기준프레임(14a,14b)으로부터 핸드(3b)의 X-Y방향의 배치오차가 확인된다. CCD카메라(4b)를 통해 배치오차를 모니터링하는 동안, 로봇암(2b)의 핸드(3b)의 X-Y방향의 위치가 수동적으로 조정되어 배치오차가 X-Y방향으로 제로가 되고, 로봇암(2b)의 핸드(3b)는 X-Y방향으로 제 1 및 제 2 위치기준프레임(14a,14b)에 정확하게 일치하도록 배치된다. CCD카메라(4b)를 사용하는 모니터링을 통한 핸드(3b)의 X-Y방향으로의 상술한 수동위치조정의 양은 각각 X축 구동샤프트와 Y축 구동샤프트에 직접적으로 연결된 디지털양 또는 리솔버양을 판독하는 위치리더(6)을 사용함으로써 측정될 수 있다. 핸드(3b)의 X-Y방향으로의 상술한 수동위치조정의 양에 대응하는 측정된 디지털량은 주컴퓨터로 전달되어 저장된다. 다음에, 로봇암(2a)은 수신된 예비기준스테이션(7)에 관한 공통실제위치데이터에 따라서 제 1 또는 제2 위치기준프레임(14a,14b)의 상면으로 핸드(3b)가 내려가도록 Z방향으로 동작한다. 여기에서, 예비기준스테이션(7)에 관한 실제위치데이터는 단일기준스테이션(7)의 사용에 의해 미리 교시한 원래 자동가이드비클(1a)에 의해 사전에 얻어진다. CCD카메라(4b)를 사용하여, 제 1 또는 제 2 위치기준프레임(14a,14b)의 상면으로부터 핸드(3b)의 Z방향의 배치오차가 확인된다. CCD카메라(4b)를 통해 배치오차를 모니터링하는 동안, 로봇암(2b)의 핸드(3b)의 Z방향의 위치가 수동적으로 조정되어 배치오차가 Z방향으로 제로가 되고, 로봇암(2b)의 핸드(3b)는 Z방향으로 제 1 또는 제 2 위치기준프레임(14a,14b)의 상면에 정확하게 일치하도록 배치된다. CCD카메라(4b)를 사용하는 모니터링을 통한 핸드(3b)의 Z방향으로의 상술한 수동위치조정의 양은 Z축 구동샤프트에 직접적으로 연결된 디지털양 또는 다른 리솔버양을 판독하는 위치리더(6)을 사용함으로써 측정될 수 있다. 핸드(3b)의 Z방향으로의 상술한 수동위치조정의 양에 대응하는 측정된 디지털량은 주컴퓨터로 전달되어 저장된다.
상술한 수동 및 3차원 위치교정 또는 조정동작은 3차원좌표상에서 얼마나 많은 거리가 오배치되어 있고 교정되어야하는 지에 대한 3차원 오배치교정 또는 조정정보를 제공한다. 또한, 이러한 오배치교정정보는 기준스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)의 사용에 의해 원래의 자동가이드비클(1a)의 원래의 교시에 의해 미리 얻어진 기준스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)에 관한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하기 위해 사용되는 위치보정데이터를 제공한다. 상기 얻어진 위치보정데이터에 의한 기준스테이션(lOa,1Ob,1Oc,1Od)에 관한 공통실제위치데이터에 대한 보정은 현재 교시하는 예비자동가이드비클(1b)에 유용한 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 제공한다.
본 발명의 바람직한 실시예를 예를들어 설명하였지만, 당업자에게는 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양한 변화와 수정이 가능하다.
따라서, 기준스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)의 사용에 의해 기준스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)에 속하는 실제위치데이터를 원래의 자동가이드비클(1a)에 교시 하는 것이 필수적이다. 그러나, 기준스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)의 사용에 의해 기준스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)에 속하는 실제위치데이터를 다른 자동가이드비클들, 예컨대 예비자동가이드비클(1b)에 교시하는 것이 불필요하기 때문에, 모든 자동가이드비클등에 교시하기 위한 필수시간을 단축시킬 수 있다. 상술한 본 발명은 단일예비기준스테이션(7)을 사용한 상기 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시하고, 그 결과, 자동가이드비클(1)의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정함으로써, 모든 자동가이드비클(1)의 로봇암(2)의 정확한 로딩 및 언로딩동작을 가능하게 한다. 상술한 기계적오차는 본 발명에 따른 각각의 자동가이드비클을 조립하는 데 있어서 반드시 일어난다. 그러나, 자동가이드비클(1)의 개별적인 기계적오차를 정확하게 보정하기 위해서 단일예비기준스테이션(7)을 사용한 상기 기준교시동작에 의해 얻어진 상기 위치보정데이터로 각기 보정된 실제적으로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 모든 자동가이드비클에 교시함으로써, 모든 자동가이드비클(1)의 로봇암(2)이 정확한 로딩 및 언로딩동작을 행하게 하는 것이 가능하다
또한, 실제로 동작하는 자동가이드비클(1a)이 실제궤도상에서 실제스테이션으로 또는 그로부터 제품을 실제로 로딩 및 언로딩하는 동작을 계속해서 수행하는 동한, 위치보정데이터에 관하여 예비자동가이드비클(1b)대한 상술한 교시가 수행될 수 있다. 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 자동가이드비클(1b)이 대기상태에서 예비궤도(9b)에 위치하여 실제궤도(9a)에 진입하라는 요구를 기다리기 전에, 위치보정데이터로 미리 보정된 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 얻기위한 상기 기준교시동작이 수행된다. 실제작 동하는 자동가이드비클(1a)에 문제점이 발생했을 경우에, 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 갖는 예비자동가이드비클(1b)이 문제가 생긴 원래의 자동가이드비클(1a) 대신 실제스테이션(1Oa,1Ob,1Oc,1Od)으로 또는 그로부터 웨이퍼 캐리어(5)를 로딩 및 언로딩하는 실제작동을 위해 실제궤도(9a)로 진입하도록 동작한다. 상기 문제가 생긴 자동가이드비클(1a)은 실제궤도(9a)로부터 빠져나와 요구되는 실제로 유용하고 개별적으로 보정된 위치데이터를 사전에 가진 새로 투입된 자동가이드비클(1b)에게, 생산라인을 중단시키지 않고, 실제 로딩 및 언로딩작업을 인계함으로써, 생산성을 향상시킨다.

Claims (30)

  1. 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클 교시방법에 있어서,
    단일예비기준스테이션의 사용에 의한 기준위치데이터와 하나이상의 실제스테이션의 사용에 의한 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 원래하나의 자동가이드비클에 교시하는 단계와; 그리고
    상기 원래하나에 교시된 실제위치데이터와 동일한 공통데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 공급하고, 상기 공통데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여 상기 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 상기 개별적인 위치보정데이터를 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들에 교시하는 단계를 구비하고,
    상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나와 하나이상의 남겨진 하나의 각각의 차이에 관계하는 자동가이드비클 교시방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 예비기준스테이션 참조를 제외한 상기 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 상기 위치보정데이터를 제공할 목적으로, 상기 각각의 원래하나를 제외한 자동가이드비클들은 상기 공통실제위치데이터를 수신하여, 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들의 각각의 상기 로봇암이, 상기 예비기준스테이션상의 소정의 기준위치로부터의 상기 로봇암의 상기 핸드의 상기 기계적오차에 대한 대응하는 배치오차를 수동적으로 교정하기 위해, 상기 예비기준스테이션만을 참조한 상기 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하게 하는 것을 특징으로 하는 자동가이드비클 교시방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 예비동작은 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면에 위치된 하나이상의 프레임부재에서 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 동작인 것을 특징으로 하는 자동가이드비클 교시방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공된 복수개의 상기 프레임부재에서 및 그로부터 로봇암에 의해 로딩 및 언로딩되는 것을 특징으로 하는 자동가이드비클 교시방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어가 로봇암에 의해 상기 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것을 특징으로 하는 자동가이드비클교시 방법.
  6. 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들이 갖는 개별적인 기계적오차 보정방법에 있어서,
    공통적으로 공급된 하나이상의 실제스테이션의 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 보정하기 위하여 단일예비기준스테이션의 사용에 의한 개별적인 위치보정데이터를 상기 각각의 자동가이드비클들에 교시하는 단계를 구비하고,
    상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계하는 개별적인 기계적오차 보정방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 예비기준스테이션 참조를 제외한 상기 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 상기 위치보정데이터를 제공할 목적으로, 상기 각각의 원래하나를 제외한 자동가이드비클들은 상기 공통실제위치데이터를 수신하여, 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들의 각각의 상기 로봇암이, 상기 예비기준스테이션상의 소정의 기준위치로부터의 상기 로봇암의 상기 핸드의 상기 기계적오차에 대한 대응하는 배치오차를 수동적으로 교정하기 위해, 상기 예비기준스테이션만을 참조한 상기 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하게 하는 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 예비동작은 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면에 위치된 하나이상의 프레임부재에서 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 동작인 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공된 복수개의 상기 프레임부재에서 및 그로부터 로봇암에 의해 로딩 및 언로딩되는 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정방법.
  10. 제 6 항에 있어서, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어가 로봇암에 의해 상기 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정방법.
  11. 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법에 있어서,
    공통적으로 공급된 복수개의 기준스테이션들 각각에 속하는 실제위치데이터를 개별적인 위치보정데이터로 보정하여 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하여 개별적인 보정위치데이터를 얻기 위하여, 단일예비기준스테이션을 사용하여 위치보정데이터를 상기 자동가이드비클의 예비궤도상의 하나이상의 예비자동가이드비클 각각에 교시하여, 상기 자동가이드비클들의 로봇암이 상기 개별적인 보정위치데이터에 근거하여 실제스테이션들앞에서 로딩 및 언로딩동작을 하도록 제어하는 단계를 구비하고,
    상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 예비기준스테이션 참조를 제외한 상기 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 상기 위치보정데이터를 제공할 목적으로, 상기 각각의 원래하나를 제외한 자동가이드비클들은 상기 공통실제위치데이터를 수신하여, 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들의 각각의 상기 로봇암이, 상기 예비기준스테이션상의 소정의 기준위치로부터의 상기 로봇암의 상기 핸드의 상기 기계적오차에 대한 대응하는 배치오차를 수동적으로 교정하기 위해, 상기 예비기준스테이션만을 참조한 상기 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하게 하는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 예비동작은 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면에 위치된 하나이상의 프레임부재에서 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하는 동작인 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공된 복수개의 상기 프레임부재에서 및 그로부터 로봇암에 의해 로딩 및 언로딩되는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법.
  15. 제 11 항에 있어서, 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어가 로봇암에 의해 상기 제품으로서 로딩 및 언로딩되는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어방법.
  16. 하나이상의 실제스테이션으로 및 그로부터 제품을 로딩 및 언로딩하기 위한 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클을 교시하는 시스템에 있어서,
    상기 하나이상의 실제스테이션을 사용하여 상기 하나이상의 실제스테이션에 속하는 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들중의 원래하나만에 교시함으로써 얻어진 공통데이터정보를 저장하는 수단과;
    상기 실제위치데이터에 관한 상기 공통데이터정보를 상기 원래하나를 제외한 모든 자동가이드비클에 공급하는 수단과;
    공통데이터로서의 상기 실제위치정보를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 각각 보정하기 위하여, 개별적인 기준위치데이터를 모든 상기 자동가이드비클에 교시하여 개별적인 위치보정데이터를 구하는 수단을 구비하고,
    상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 상기 하나이상의 기준스테이션앞의 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들과 상기 원래하나의 차이에 관계하는 복수개의 자동가이드비클 교시 시스템.
  17. 제 16 항에 있어서, 개별적인 기준위치데이터를 모든 상기 자동가이드비클에 교시하는 수단은 단일예비기준스테이션을 구비함으로써, 상기 예비기준스테이션 참조를 제외한 상기 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 상기 위치보정데이터를 제공할 목적으로, 상기 각각의 원래하나를 제외한 자동가이드비클들은 상기 공통실제위치데이터를 수신하여, 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들의 각각의 상기 로봇암이, 상기 예비기준스테이션상의 소정의 기준위치로부터의 상기 로봇암의 상기 핸드의 상기 기계적오차에 대한 대응하는 배치오차를 수동적으로 교정하기 위해, 상기 예비기준스테이션만을 참조한 상기 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하게 하는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클 교시 시스템.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 단일예비기준스테이션은 그 위에 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에 배치된 하나이상의 프레임부재가 위치된 상면을 구비하는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클 교시 시스템.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 복수개의 프레임부재는 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공되는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클 교시 시스템.
  20. 제 16 항에 있어서, 상기 로봇암은 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어가 로봇암에 의해 상기 제품으로서 로딩 및 언로딩동작하는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클 교시 시스템.
  21. 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들이 갖는 개별적인 기계적오차 보정장치에 있어서,
    공통적으로 공급된 하나이상의 실제스테이션의 실제위치데이터를 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하기 위한 개별적인 위치보정데이터로 보정하기 위하여, 실제 로딩 및 언로딩동작을 수행하는 자동가이드비클이 이동하는 실제궤도와 다른 예비궤도상에 위치되고, 개별적인 위치보정데이터를 각각의 상기 자동가이드비클에 교시하는 단일예비기준스테이션을 구비하고,
    상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계하는 개별적인 기계적오차 보정장치.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 예비기준스테이션 참조를 제외한 상기 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 상기 위치보정데이터를 제공할 목적으로, 상기 각각의 원래하나를 제외한 자동가이드비클들은 상기 공통실제위치데이터를 수신하여, 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들의 각각의 상기 로봇암이, 상기 예비기준스테이션상의 소정의 기준위치로부터의 상기 로봇암의 상기 핸드의 상기 기계적오차에 대한 대응하는 배치오차를 수동적으로 교정하기 위해, 상기 예비기준스테이션만을 참조한 상기 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하게 하는 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정장치.
  23. 제 22 항에 있어서, 상기 단일예비기준스테이션은 그 위에 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에 배치된 하나이상의 프레임부재가 위치된 상면을 구비하는 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정장치.
  24. 제 23 항에 있어서, 상기 복수개의 프레임부재는 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공되는 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정장치.
  25. 제 21 항에 있어서, 상기 로봇암은 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어가 로봇암에 의해 상기 제품으로서 로딩 및 언로딩동작하는 것을 특징으로 하는 개별적인 기계적오차 보정장치.
  26. 각각이 제품을 로딩 및 언로딩하는 하나이상의 로봇암을 구비하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템에 있어서,
    공통적으로 공급된 복수개의 기준스테이션들 각각에 속하는 실제위치데이터를 개별적인 위치보정데이터로 보정하여 상기 자동가이드비클들의 개별적인 기계적오차를 보상하여 개별적인 보정위치데이터를 얻기 위하여, 위치보정데이터를 상기 자동가이드비클의 예비궤도상의 하나이상의 예비자동가이드비클을 교시하는 단일예비기준스테이션과; 그리고
    상기 개별적인 보정위치데이터에 근거하여 실제스테이션들앞에서 로딩 및 언로딩동작을 하도록 상기 자동가이드비클들의 로봇암을 제어하는 제어기를 구비하고,
    상기 위치보정데이터는, 로봇암의 핸드와 소정의 정지위치에서 상기 자동가이드비클이 멈추는 것을 참조한 상기 자동가이드비클상의 기준점사이의 상대위치에서 상기 각각의 자동가이드비클들사이의 차이에 관계하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템.
  27. 제 26 항에 있어서, 상기 예비기준스테이션 참조를 제외한 상기 실제스테이션을 참조한 모든 공통실제위치데이터를 개별적으로 보정하는 데 사용되는 상기 위치보정데이터를 제공할 목적으로, 상기 각각의 원래하나를 제외한 자동가이드비클들은 상기 공통실제위치데이터를 수신하여, 상기 원래하나를 제외한 자동가이드비클들의 각각의 상기 로봇암이, 상기 예비기준스테이션상의 소정의 기준위치로부터의 상기 로봇암의 상기 핸드의 상기 기계적오차에 대한 대응하는 배치오차를 수동적으로 교정하기 위해, 상기 예비기준스테이션만을 참조한 상기 공통실제위치데이터에 근거하여 상기 단일예비스테이션만을 사용하여 임시적인 로딩 및 언로딩동작을 수행하게 하는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템.
  28. 제 27 항에 있어서, 상기 단일예비기준스테이션은 그 위에 실제 로딩 및 언로딩동작에서 제품이 배치되어야 하는 상기 실제스테이션의 실제배치위치에 대응하는 위치에 배치된 하나이상의 프레임부재가 위치된 상면을 구비하는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템.
  29. 제 28 항에 있어서, 상기 복수개의 프레임부재는 상기 제품은 복수종류의 실제스테이션의 실제 배치위치에 각각 대응하는 위치에서 상기 단일예비기준스테이션의 상면상에 제공되는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템.
  30. 제 26 항에 있어서, 상기 로봇암은 반도체웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 캐리어가 로봇암에 의해 상기 제품으로서 로딩 및 언로딩동작하는 것을 특징으로 하는 복수개의 자동가이드비클들의 제어시스템.
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