KR19990052137A - 패브용 진공청소기 - Google Patents

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KR19990052137A
KR19990052137A KR1019970071584A KR19970071584A KR19990052137A KR 19990052137 A KR19990052137 A KR 19990052137A KR 1019970071584 A KR1019970071584 A KR 1019970071584A KR 19970071584 A KR19970071584 A KR 19970071584A KR 19990052137 A KR19990052137 A KR 19990052137A
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South Korea
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drum
vacuum cleaner
hose
cleaning
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KR1019970071584A
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Inventor
김광조
Original Assignee
구본준
엘지반도체 주식회사
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Abstract

본 발명에 의한 패브용 진공청소기는 이물질을 흡입하는 크리닝호스와, 외주부에는 상기 크리닝호스를 감을 수 있도록 형성하고 내부에는 상기 크리닝호스를 통해 흡입된 공기의 이동유로를 형성하는 드럼과, 상기 드럼 내부의 공기이동유로 일측에 설치하며 그물망으로 형성된 오물포집부와, 상기 드럼을 지지하며 하부 일측에 이동바퀴를 구비한 지지대와, 상기 지지대의 후방측에 패브의 진공포트와 연결되도록 설치하며 상기 오물포집부를 통과한 공기를 안내하도록 한 포트연결호스로 구성되어, 오물포집부를 크린룸 하부의 배관내에 설치하지 않으므로, 배관막힘 현상이 발생하지 않아 진공압이 감소하는 현상을 배제하며, 배관공사시 비용을 절감할 수 있고, 배관청소등의 유지, 보수비용이 절감되도록 하였다.

Description

패브용 진공청소기
본 발명은 패브용 진공청소기에 관한 것으로, 특히 오물포집부를 크린룸 하부의 배관내에 설치하지 않으므로, 배관막힘 현상이 발생하지 않아 진공압이 감소하는 현상을 배제하며, 배관공사시 비용을 절감할 수 있고, 배관청소등의 유지, 보수비용이 절감되도록 한 패브용 진공청소기에 관한 것이다.
종래의 기술에 의한 패브용 진공청소기는 도 1에 도시한 바와 같이, 내부와 외부로 나뉘어지는 크린룸에서, 상기 크린룸 상부(10)에 위치한 진공포트(11)와, 상기 진공포트와 연결된 흡입배관(21)과, 상기 흡입배관(21)의 일측에 설치한 오물포집부(22)와, 상기 크린룸의 외부로 연결되는 흡입배관(21)의 일측에 설치하는 집진기(23)와, 상기 집진기(23)의 단부에 설치한 펌프(24)로 구성된다.
상기 흡입배관의 절곡부(21a)는 보수 및 점검을 해 주어야 하는 부분이다. 또한 상기 흡입배관(21)의 재질은 피브이시(PVC) 혹은 스테인레스 재질로 이루어져 있다. 도면중 미설명 부호 22a는 오물포집부 내에서 오물을 걸러주는 필터를 나타낸다.
이와 같이 구성된 패브용 진공청소기의 동작을 설명하면, 상기 진공포트(11)를 열고 호스를 부착하여 크리닝을 시작하면, 이물질이 크린룸 하부(20)의 상기 흡입배관(21)을 따라 이동하게 되고, 상기 흡입배관(21)을 따라 이동하는 이물질은 흡입배관(21)내에 설치한 오물포집부(22)에 모이게 되며, 상기 오물(22b)을 거른 공기는 계속하여 배관(21)내를 이동하여 최종적으로 크린룸 외부의 집진기(23)에 모이게 된다. 상기 집진기(23) 일측에 장착한 펌프(24)의 동작에 의해 공기를 흡입하여 오물이 포집하게 된다.
그러나, 이러한 종래의 기술에서는 오물포집부(22)가 흡입배관(21)내에 장착되어 있어, 크리닝시 진공압의 감소에 따른 배관막힘현상이 발생할 소지가 있고, 또한 배관(21)의 유지 및 보수시 많은 경비가 드는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 오물포집부를 크린룸 하부의 배관내에 설치하지 않고, 크린룸 상부의 카트(CART)에 설치하므로, 배관막힘 현상이 발생하지 않아 진공압이 감소하는 현상을 배제하며, 배관공사시 비용을 절감할 수 있고, 배관청소등의 유지, 보수비용이 절감되도록 한 패브용 진공청소기를 제공함에 있다.
도 1은 종래의 기술에 의한 패브용 진공청소기를 나타내는 배관도.
도 2a는 본 발명에 의한 패브용 진공청소기를 나타내는 정면도.
도 2b는 본 발명에 의한 패브용 진공청소리를 나타내는 측면도.
도 2c는 본 발명에 의한 패브용 진공청소기를 나타내는 배면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
30; 카트 31; 크리닝호스
32; 드럼 33; 지지대
34; 이동바퀴 35; 포트연결호스
39; 오물포집부 39a; 오물포집부의 필터
이러한, 본 발명의 목적은 이물질을 흡입하는 크리닝호스와, 외주부에는 상기 크리닝호스를 감을 수 있도록 형성하고 내부에는 상기 크리닝호스를 통해 흡입된 공기의 이동유로를 형성하는 드럼과, 상기 드럼 내부의 공기이동유로 일측에 설치하며 그물망으로 형성된 오물포집부와, 상기 드럼을 지지하며 하부 일측에 이동바퀴를 구비한 지지대와, 상기 지지대의 후방측에 패브의 진공포트와 연결되도록 설치하며 상기 오물포집부를 통과한 공기를 안내하도록 한 포트연결호스에 의해 달성된다.
이하, 본 발명에 의한 패브용 진공청소기를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.
도 2a는 본 발명에 의한 패브용 진공청소기를 나타내는 정면도이고, 도 2b는 본 발명에 의한 패브용 진공청소기를 나타내는 측면도이며, 도 2c는 본 발명에 의한 패브용 진공청소기를 나타내는 배면도를 각각 보인 것이다.
이에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 패브용 진공청소기는 오물포집부(39)를 배관내에 설치하지 않고 패브용 진공청소기인 카트(CART)(30)에 설치하도록 한 구성이다.
본 발명의 구성을 좀더 상술하면, 이물질을 흡입하는 크리닝호스(31)와, 상기 크리닝호스로 이물질이 투입되는 이물질 투입구(31a)와, 외주부에는 상기 크리닝호스(31)를 감을 수 있도록 형성하고 내부에는 상기 크리닝호스(31)를 통해 흡입된 공기의 이동유로를 형성하는 드럼(32)과, 상기 드럼(32) 내부의 공기이동유로 일측에 설치하며 그물망인 필터(39a)로 형성된 오물포집부(39)와, 상기 드럼(32)을 지지하며 하부 일측에 이동바퀴(34)를 구비한 지지대(33)와, 상기 지지대(33)의 후방측에 패브의 진공포트(11)와 연결되도록 설치하며 상기 오물포집부(39)를 통과한 공기를 안내하도록 한 포트연결호스(35)와, 상기 지지대(33)의 후방 상측에 설치된 핸들부(36)로 구성된다.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 패브용 진공청소기의 작용효과를 설명한다.
본 발명에 의한 패브용 진공청소기인 카트(30)의 포트연결호스(35)를 패브의 진공포트(11)에 연결하고, 상기 드럼(32)에 감긴 크리닝호스(31)를 풀어 청소해야 할 위치까지 연장하여 사용하면, 청소부위의 이물질이 드럼내부의 오물포집부(39)의 필터(39a)에 걸려 오물포집부(39)에 모이게 되고 상기 오물포집부(39)를 통과한 공기는 포트연결호스(35)를 지나 크린룸 하부(20)의 흡입배관(21)을 통해 크린룸 외부의 집진기(23)로 가게 된다(도 1참조). 또한 카트(30)의 지지대(33) 하부에 이동바퀴(34)를 장착하므로 이송이 용이해 졌고, 드럼(32)의 일측에 브레이크를 설치하여 드럼(32)의 회전을 제어하도록 하였다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 패브용 진공청소기는 이물질을 흡입하는 크리닝호스와, 외주부에는 상기 크리닝호스를 감을 수 있도록 형성하고 내부에는 상기 크리닝호스를 통해 흡입된 공기의 이동유로를 형성하는 드럼과, 상기 드럼내부의 공기이동유로 일측에 설치하며 그물망으로 형성된 오물포집부와, 상기 드럼을 지지하며 하부 일측에 이동바퀴를 구비한 지지대와, 상기 지지대의 후방측에 패브의 진공포트와 연결되도록 설치하며 상기 오물포집부를 통과한 공기를 안내하도록 한 포트연결호스로 구성되어, 오물포집부를 크린룸 하부의 배관내에 설치하지 않으므로, 배관막힘 현상이 발생하지 않아 진공압이 감소하는 현상을 배제하며, 배관공사시 비용을 절감할 수 있고, 배관청소등의 유지, 보수비용이 절감되도록 한 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 이물질을 흡입하는 크리닝호스와, 외주부에는 상기 크리닝호스를 감을 수 있도록 형성하고 내부에는 상기 크리닝호스를 통해 흡입된 공기의 이동유로를 형성하는 드럼과, 상기 드럼 내부의 공기이동유로 일측에 설치하며 그물망으로 형성된 오물포집부와, 상기 드럼을 지지하며 하부 일측에 이동바퀴를 구비한 지지대와, 상기 지지대의 후방측에 패브의 진공포트와 연결되도록 설치하며 상기 오물포집부를 통과한 공기를 안내하도록 한 포트연결호스로 구성된 것을 특징으로 하는 패브용 진공 청소기.
KR1019970071584A 1997-12-22 1997-12-22 패브용 진공청소기 KR19990052137A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200474139Y1 (ko) * 2012-08-30 2014-08-25 박창기 반도체 제조 설비용 세정 장치

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