KR19990049936A - 액정 표시기의 결함 검출장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시기(LCD)의 셀 상태에서 각종 결함들을 그들이 가장 잘 부각되는 편광판이 각도에 따라 분류한 뒤 이 각도에 따라 편광판을 회전시켜 고해상도 카메라를 이용한 화상처리기를 통하여 각각의 화상에서 결함을 검출한 후 그 위치 및 종류를 판별하도록 한 LCD의 결함 검출장치에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 상부에 제1 편광판(111)이 부착된 체 셀 상태의 LCD를 놓을 수 있도록 설치된 배사 조명 장치(110)와, 상기 배사 조명 장치(110)에 상기 LCD를 놓을 수 있는 소정 거리로 이격되게 상기 제 1 편광판(111)의 상측에 설치된 제2편광판(121)과, 상기 제2편광판(121)이 회전되게 하는 모터(130)와, 상기 제2편광판(121)을 통해 상기 배사 조명 장치(110)의 상부를 촬영하는 고해상도 카메라(140)와, 상기 고해상도 카메라(140)에 의해 촬영되어 전송되는 복수의 화상을 비교 처리하는 비전 보드(150)와, 상기 제2편광판(121)이 실험을 통하여 설정된 일정 각도록 반복하여 회전되게 PLC 제어를 통하여 상기 모터(130)를 구동하는 메인 PC(160)와, 상기 제2편광판(121)이 상기 일정 각도록 회전될 때 상기 배사조명장치(110)의 상부를 촬영하도록 상기 고해상도 카메라(140)를 구동함과 아울러 상기 비전 보드(150)의 화상 비교 결과를 기 저장된 결함 기준 데이터와 비교하여 상기 LCD의 결함을 검출하는 서브 PC(170)로 구성된다.

Description

액정 표시기의 결함 검출장치 및 방법
본 발명은 액정 표시기(Liquid Crystal Display: 이하 "LCD"라 칭함)의 결함 검출장치에 관한 것으로, 특히 LCD의 셀(Cell) 상태에서 내부 액정 배향의 불균일 및 이물 등에 의한 결함을 검출하기 위해 각 결함들을 그들이 가장 잘 부각되는 조명상태(편광판의 각도)에 따라 분류한 뒤 이 각도에 따라 편광판을 회전시켜 고해상도 카메라를 이용한 화상처리를 통하여 각각의 화상에서 결함을 검출한 후 그 위치 및 종류를 판별하도록 한 LCD의 결함 검출장치 및 방법에 관한 것이다.
종래에는 LCD의 생산 공정 중 상하부 패널의 합착 및 액정 주입을 완료한 셀 상테에서 내부 액정 배향의 불균일 및 이물 등에 의한 결함을 검출하기 위해 도1에 도시된 바와 같이, 배사 조명 장치(1)위에 검사 대상물(2) 즉, 셀 상태의 LCD를 올려놓은 후 다시 검사 대상물(2)위에 빛을 편광(특정한 진동 방향의 광파만을 통과)시키는 편광판(3)을 올려놓는 준비 과정을 마친 후, 작업자가 수조작하여 편광판(3)을 회전시키며 목시 검사로 결함을 검출하였다.
그러나, 종래에는 상기와 같이 목시 검사로 LCD의 결함을 검출함에 따라 작업자의 검출 능력에 따라 검출 결과가 좌우되므로 결함 검출 편차가 발생하는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안한 것으로서, LCD의 셀 상태에서 내부 액정 배향의 불균일 및 이물 등에 의한 결함을 검출하기 위해 각 결함들을 그들이 가장 잘 부각되는 편광판의 각도에 따라 분류한 뒤 이 각도에 따라 편광판을 회전시켜 고해상도 카메라를 이용한 화상처리를 통하여 각각의 화상에서 결함을 검출한 후 그 위치 및 종류를 판별하도록 한 LCD의 결함 검출장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 수단은, 상부에 제1편광판이 부착된 체 셀 상태의 LCD를 놓을 수 있도록 설치된 배사 조명 장치와, 이 배사 조명 장치에 LCD를 놓을 수 있는 소정 거리로 이격되게 제1편광판의 상측에 설치된 제2편광판과, 이 제2 편광판이 회전되게 하는 구동수단과, 제2 편광판을 통해 배사 조명 장치의 상부를 촬영하는 카메라와, 화상 처리 전용 프로세서가 탑재되어 카메라에 의해 촬영되어 전송되는 복수의 화상을 처리하는 화상 처리수단과, 제2편광판이 실험을 통하여 기 설정된 일정 각도로 반복하여 회전되게 구동수단을 제어함과 동시에 제2 편광판이 일정 각도록 회전될 때 배사 조명 장치의 상부를 촬영하도록 카메라를 제어함과 아울러 화상 처리수단의 화상 처리 결과를 기 저장된 결함 기준 데이터와 비교하여 LCD의 결함을 검출하는 제어수단으로 이루어짐을 특징으로 한다.
제1도는 종래 액정 표시기(LCD) 결함 검출장치의 구성을 보인 도면.
제2도는 본 발명에 의한 액정 표시기(LCD) 결함 검출장치의 구성을 보인 도면.
제3도는 제2도에 도시된 결함 검출장치에서 결함 기준 데이타를 설정하기 위한 선행 실험의 결함 검출 예를 보인 도면.
제4도는 제2도에 도시된 결함 검출장치에서 촬영 화상 비교 과정을 설명하는 도면.
제5도는 본 발명에 다른 실시예에 의한 액정 표시기(LCD) 결함 검출장치의 부분 구성을 보인 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
110 : 배사 조명 장치 111 : 제1 편광판
121 : 제2편광판 130 : 모터
140 : 고해상도 카메라 150 : 비전 보드
160 : 메인 PC 170 : 서브 PC
이하, 본 발명을 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도2는 본 발명에 의한 LCD의 결함 검출장치의 구성도를 나타낸 것으로서, 상부에 제1 편광판(111)이 부착된 채 셀 상태의 LCD를 놓을 수 있도록 설치된 배사 조명 장치(110)와, 상기 배사 조명 장치(110)에 상기 LCD를 놓을 수 있는 소정 거리로 이격되게 상기 제1 편광판(111)의 상측에 설치된 제2 편광판(121)과, 상기 제2편광판(121)이 회전되게 하는 모터(130)와, 상기 제2편광판(121)을 통해 상기 배사 조명 장치(110)의 상부를 촬영하는 고해상도 카메라(140)와, 화상 처리 전용 프로세서가 탑재되어 상기 고해상도 카메라(140)에 의해 촬영되어 전송되는 복수의 화상을 비교 처리하는 비전 보드(150)와, 상기 제2편광판(121)이 실험을 통하여 기 설정된 일정 각도록 반복하여 회전되게 PLC 제어를 통하여 상기 모터(130)를 구동함과 아울러 후단의 서브 PC(170)로부터 상기 LCD의 결함 코드가 전송되면 상기 결함 코드에 따른 PLC 제어를 통하여 상기 LCD의 생산 공정이 변화되게 하는 메인 PC(160)와, 상기 메인 PC(160)와 망을 형성하여 상기 제2 편광판(121)이 상기 일정 각도록 회전될 때 상기 배사 조명 장치(110)의 상부를 촬영하도록 상기 고해상도 카메라(140)를 구동함과 아울러 상기 비전 보드(150)의 화상 비교 결과를 기 저장된 결함 기준 데이터와 비교하여 상기 LCD의 결함이 검출되면 결함의 종류와 위치를 판별하여 상기 메인 PC(160)로 상기 결함 코드를 전송하는 서브 PC(170)로 구성되어져 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 동작 및 작용 효과를 첨부한 도면 도2 내지 도4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 선행 실험을 통하여 LCD의 셀 상태에서 내부 액정 배향의 불균일 및 이물 등에 의한 각 결함들을 그들이 가장 잘 부각되는 조명상태 즉, 제2편광판(121)의 각도에 따라 분류한다.
즉, 상부에 제1편광판(111)이 부착된 배사 조명 장치(110)와 제2편광판(121)의 사이에 검사 대상물 즉, 셀 상태의 LCD를 올려놓은 후 수조작하여 제2편광판(121)을 회전시키며 목시 검사로 각 결함들이 가장 잘 부각되는 제2편광판(121)의 각도를 측정한다.
도3은 이러한 선행 실험에 의한 검출 예를 나타낸 것으로서, (a)에 나타낸 제1결함은 제2편광판(121)의 회전에 따라 배경(정상 LCD 영역)과 상반된 밝기 경향을 보이는 결함이고, (b)에 나타낸 제2결함은 제2편광판(121)의 회전과 관계없이 항상 검은색 또는 흰색으로 보이는 결함이며, (c)에 나타낸 제3 결함은 경향이 일정하지 않은 색 얼룩으로 제2편광판(121)의 회전 각도에 따라 정상 LCD가 어두운 경우에는 더 어둡게 나타남과 아울러 밝은 경우에는 더 밝게 나타나는 결함이다.
이후, 상기와 같은 선행 실험을 통하여 측정된 제1결함과 제2결함 및 제3결함을 검출하기 위하여 제2편광판(121)의 최적 각도(일정 각도)에 따라 제2편광판(121)이 반복하여 회전되도록 제어 프로그램을 설계하여 모터(130)를 PLC 제어하는 메인 PC(160)에 입력한다.
그리고, 셀 상태의 LCD를 올려놓을 배사 조명 장치(110)의 상부를 제2편광판(121)의 일정 각도에서 고해상도 카메라(140)가 제2편광판(121)을 통해 촬영하도록 제어 프로그램을 설계하여 서브 PC(170)에 입력함과 아울러 제1결함과 제2결함 및 제3결함의 특성을 기준하여 각 특성별로 분류한 결함 기준 데이터와 결함 코드를 서브 PC(170)에 입력한다.
한편, 이와 같은 선행 실험과 프로그램 및 데이터 입력 과정을 거친 후에 셀 상태의 LCD를 검사하여 특성별로 각 결함을 검출과정을 설명한다.
먼저, 상부에 제1편광판(111)이 부착된 배사 조명 장치(110)와 제2편광판(121)의 사이에 검사 대상물 즉, 셀 상태의 LCD를 올려놓으면 메인 PC(160)의 PLC 제어에 의한 모터(130)의 구동에 따라 제2 편광판(121)이 일정 각도로 반복되어 회전한다.
이때, 메인 PC(160)와 망이 형성된 서브 PC(170)로부터 출력되는 촬영 제어 신호에 따라 고해상도 카메라(140)는 배사 조명 장치(110)의 상부에 놓인 셀 상태의 LCD를 제2편광판(121)의 회전에 연동되어 각 회전 각도 즉, 일정 각도별로 반복 촬영하여 촬영된 화상을 비전 보드(150)로 전송한다.
그러면, 화상 처리 전용 프로세서가 탑재되어 있는 비전 보드(150)는 고해상도 카메라(140)로부터 전송되는 복수의 화상을 비교 처리하여 비교 결과 즉, 화상 비교 데이터를 서브 PC(170)로 전송한다.
다음으로, 서브 PC(170)는 비전 보드(150)로부터 입력되는 화상 비교 데이터를 기 저장된 결함 기준 데이터와 비교하여 셀 상태 LCD의 결함 검출이 판단되면 결함의 종류와 위치를 판별하여 결함 코드를 메인 PC(160)로 전송한다.
상술하면, 도4에 나타낸 바와 같이 제2 편광판(121)이 (a)와 같은 회전 각도일 때 촬영된 이미지와 제2편광판(121)이 (b)와 같은 회전 각도일 때 촬영된 이미지의 차를 추출하여 도3에 나타낸 제1 결함과 제2 결함 및 제3 결함의 특성 데이터 즉 결함 기준 데이터와 비교하여 각기 결함을 판정하게 된다.
즉, 셀 상태 LCD의 소정 위치가 제2 편광판(121)의 회전에 따라 정상 LCD 영역과 상반된 밝기 경향을 보이면 제1 결함이 판단되고, 제2편광판(121)의 회전과 관계없이 항상 검음색 또는 흰색으로 보이면 제2 결함이 판단되며, 제2 편광판(121)의 회전 각도에 따라 정상 LCD가 어두운 경우에는 더 어둡게 나타남과 아울러 밝은 경우에는 더 밝게 나타나면 제3 결함이 판정된다.
도5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 LCD의 결함 검출장치의 부분 구성도를 나타낸 것으로서, 도2에 도시된 실시예와는 달리 제2 편광판(121)은 회전하지 않고 배사 조명 장치(110)가 기 설정된 일정 각도로 반복 회전되어도 동일한 동작 및 작용이 기대된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 LCD의 셀 상태에서 내부 액정 배향의 불균일 및 이물 등에 의한 결함을 검출하기 위해 각 결함들을 그들이 가장 잘 부각되는 편광판의 각도에 따라 분류한 뒤 이 각도에 따라 편광판을 회전시켜 고해상도 카메라를 이용한 화상처리를 통하여 각각의 화상에서 결함을 검출한 후 그 위치 및 종류를 판별하도록 함으로써, 결함 검출 작업의 능률이 향상됨과 동시에 결함 검출 편차가 제거되는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 상부에 제1편광판이 부착된 체 셀 상태의 액정 표시기(LCD)를 놓을 수 있도록 설치된 배사 조명 장치와,
    상기 배사 조명 장치에 상기 LCD를 놓을 수 있는 소정 거리로 이격되게 상기 제1편광판의 상측에 설치된 제2편광판과,
    상기 제2편광판이 회전되게 하는 구동 수단과,
    상기 제2편광판을 통해 상기 배사 조명 장치의 상부를 촬영하는 카메라와,
    화상 처리 전용 프로세서가 탑재되어 상기 캐메라에 의해 촬영되어 전송되는 복수의 화상을 처리하는 화상 처리수단과,
    상기 제2편광판이 실험을 통하여 기 설정된 일정 각도로 반복하여 회전되게 상기 구동수단을 제어함과 동시에 상기 제2편광판이 상기 일정 각도록 회전될 때 상기 배사 조명 장치의 상부를 촬영하도록 상기 카메라를 제어함과 아울러 상기 화상 처리수단의 화상 처리 결과를 기 저장된 결함 기준 데이터와 비교하여 상기 LCD의 결함을 검출하는 제어수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정 표시기의 결함 검출장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동수단은 상기 배사 조명 장치가 회전되게 함과 아울러 상기 제어수단은 상기 배사 조명 장치가 실험을 통하여 기 설정된 일정 각도록 반복하여 회전 되게 상기 구동수단을 제어함과 동시에 배사 조명 장치가 상기 일정 각도로 회전될 때 상기 배사 조명 장치의 상부를 촬영하도록 상기 카메라를 제어하는 것을 특징으로 하는 액정 표시기의 결함 검출장치.
  3. 상부에 제1편광판이 부착된 배사 조명 장치와 제2편광판의 사이에 셀 상태의 LCD를 올려놓은 후 제2편광판을 회전시키며 각 결함들이 가장 잘 부각되는 제2편광판의 각도(최적각도)를 측정하여 제2편광판의 각도에 따라 각 결함들을 분류하고, 제2편광판의 상기 최적 각도에 따라 제2편광판이 반복하여 회전되도록 하고, 촬영 제어 신호에 따라, 셀 상태의 LCD를 제2편광판의 회전에 연동하여 일정각도 별로 반복 촬영하고, 상기 촬영된 복수의 화상을 비교 처리하고 화상 비교 데이터를 기 저장된 결함 기준 데이터와 비교하여 셀 상태 LCD의 결함 의 종류와 위치를 판별하는 것을 특징으로 하는 액정 표시기의 결함 검출방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 셀 상태 LCD의 소정 위치가 제2 편광판의 회전에 따라 정상 LCD 영역과 상반된 밝기 경향을 보이면 제1 결함이 판정되고, 제2 편광판의 회전과 관계없이 항상 검은색 또는 흰색으로 보이면 제2결함이 판정되며, 제2편광판의 회전 각도에 따라 정상 LCD가 어두운 경우에는 더 어둡게 나타남과 아울러 밝은 경우에는 더 밝게 나타나면 제3 결함이 판정되는 것을 특징으로 하는 액정 표시기의 결함 검출방법.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030015971A (ko) * 2001-08-18 2003-02-26 김경희 다중 화면 표현 장치
KR20030068212A (ko) * 2002-02-14 2003-08-21 김종성 고해상도 카메라를 이용한 에프피디 결함 검사방법
KR100661013B1 (ko) * 2005-06-23 2006-12-26 학교법인 호서학원 모폴로지 기법을 이용한 티에프티 엘시디 결함 검출 및분류 방법
KR100800562B1 (ko) * 2006-08-31 2008-02-04 동일파텍주식회사 액정표시장치용 유리기판의 결함위치 검출장치
US7538750B2 (en) 2004-01-14 2009-05-26 Samsung Electronics Co., Ltd Method of inspecting a flat panel display
CN112945984A (zh) * 2021-02-01 2021-06-11 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板的检测方法及其检测装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101086133B1 (ko) * 2004-12-14 2011-11-30 엘지디스플레이 주식회사 액정표시패널 검사장치 및 이를 이용한 액정표시패널검사방법

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030015971A (ko) * 2001-08-18 2003-02-26 김경희 다중 화면 표현 장치
KR20030068212A (ko) * 2002-02-14 2003-08-21 김종성 고해상도 카메라를 이용한 에프피디 결함 검사방법
US7538750B2 (en) 2004-01-14 2009-05-26 Samsung Electronics Co., Ltd Method of inspecting a flat panel display
KR100661013B1 (ko) * 2005-06-23 2006-12-26 학교법인 호서학원 모폴로지 기법을 이용한 티에프티 엘시디 결함 검출 및분류 방법
KR100800562B1 (ko) * 2006-08-31 2008-02-04 동일파텍주식회사 액정표시장치용 유리기판의 결함위치 검출장치
CN112945984A (zh) * 2021-02-01 2021-06-11 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板的检测方法及其检测装置

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