KR19990040861A

KR19990040861A - 청정실의 배기공 개폐장치

Info

Publication number: KR19990040861A
Application number: KR1019970061351A
Authority: KR
Inventors: 박창환
Original assignee: 김덕중; 페어차일드코리아반도체 주식회사
Priority date: 1997-11-20
Filing date: 1997-11-20
Publication date: 1999-06-15

Abstract

본 발명은 청정실의 배기공 개폐장치에 관한 것으로, 청정실의 라인바닥면에 설치되며, 면상에는 복수 열(列)의 배기공이 일정한 간격으로 형성된 소정 크기의 바닥패널과, 상기 바닥패널의 하부면에 결합된 상태에서 외력의 작용에 의하여 정해진 거리만큼 미끄럼이동되면서 상기 바닥패널상에 형성된 배기공을 점차적으로 개방시키거나 폐쇄시켜주는 배기공 개폐부재와, 상기 배기공 개폐부재에 작용힘을 부여하는 작동부재와, 상기 배기공 개폐부재의 미끄럼이동이 안정적으로 이루어지도록 하는 가이드부재로 이루어진다.

이와 같은 구성에 의하면, 청정실에서 라인의 바닥면상에 설치되는 바닥패널상의 배기공이 점차적으로 개폐조절되기 때문에 배기공을 통과하는 풍량을 임의로 조절할 수 있고, 이에 따라 청정실내의 차압을 보다 효율적으로 관리할 수 있다.

Description

청정실의 배기공 개폐장치(APPARATUS FOR OPENING/CLOSING AIR VENT HOLE OF CLEAN ROOM)

본 발명은 청정실의 배기공 개폐장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조상의 각종 공정이 이루어지는 청정실의 라인바닥면에 설치되는 바닥패널상의 배기공이 점차적으로 개방되거나 닫혀지도록 하여 청정실내의 차압을 보다 효율적으로 관리할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조과정에서 공기중에 존재하는 먼지입자가 반도체 웨이퍼와 리소그래피용 마스크상에 부착되면 디바이스내에서 결함을 발생시켜 결국 회로의 불량을 초래하게 된다.

예로서, 반도체의 표면에 부착되는 먼지입자는 에피택셜층의 단결정성장을 방해하여 전위를 일으킨다.

또한, 먼지입자는 게이트산화막과 연관하여 도전율을 증가시키고, 낮은 항복전압에 기인한 디바이스불량을 야기시킬 수도 있다.

한편, 먼지입자들이 포토마스크표면에 흡착되면 마스크상에서 불투명체로 작용하고, 이 패턴들은 마스크상의 회로패턴과 함께 아래층에 그대로 전사되는 데, 먼지의 부착위치에 따라 아래층에 핀홀(Pinhole)이 형성되거나 금속연결내에서 전류흐름을 제어하거나, 또는 두 전도영역을 단락시켜서 회로를 쓸모 없게 만들기도 한다.

이에 따라 반도체의 제조공정은 반드시 청정실(Clean Room)내에서 이루어져야 하며, 청정실내에서도 작업자는 먼지를 발생시키지 않으면서 작업자로부터 발생되는 먼지입자의 유출을 방지하는 방진복, 방진화 및 방진모를 착용하여야 한다.

한편, 청정실의 청정도를 관리하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이, 라인바닥면(10)의 정해진 위치에 일정한 깊이와 폭을 가지며, 외부의 진공펌프와 연통되는 배기덕트(12)를 형성하고, 그 배기덕트(12)의 양측벽 상부에 형성되는 단차면(14)상에는 바닥패널(16)이 얹혀지도록 하는 한편, 상기 바닥패널(16)상의 면상에는 일정한 크기를 갖는 다수 열의 배기공(18)이 일정한 간격으로 나란히 형성되도록 하여, 외부의 진공펌프를 작동시키면 청정실내의 미세먼지등이 부압에 의하여 바닥패널(16)상의 배기공(18)을 통하여 외부로 배출되도록 구성된다.

그러나, 종래에는 청정실내에서의 사용장소에 따라 각각 배기공(18)의 크기가 다른 바닥패널(16)이 설치되기 때문에 청정실 내에서의 장비의 배열변경이나 배출사용량등의 공조계통 변경시에는 실내차압의 밸런스가 초기 설정치와 달리 작용하여 실내의 차압관리의 불균형을 초래하고, 따라서 청정실내의 차압을 효율적으로 관리할 수 없는 문제점이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 반도체 제조의 각종 공정이 이루어지는 청정실의 라인바닥에 설치되는 바닥패널상의 배기공의 개구정도를 조절할 수 있도록 하여 청정실내의 초기차압상태에서 라인설비의 이전 및 변경에 따른 실내 차압불합리 및 역차압 발생시 실내의 차압을 가변적으로 조절할 수 있도록 한 새로운 형태의 청정실의 배기공 개폐장치를 제공하는 것이다.

도 1은 종래 청정실의 라인바닥에 바닥패널이 설치되는 상태를 나타내는 분리사시도,

도 2는 본 발명에 따른 청정실의 배기공 개폐장치를 나타내는 분리사시도,

도 3은 도 2의 결합상태를 나타내는 확대 측단면도,

도 4는 본 발명에 따른 청정실의 배기공 개폐장치를 이용하여 배기공을 완전히 닫아주고 있는 상태를 나타내는 확대 평면도,

도 5는 본 발명에 따른 청정실의 배기공 개폐장치를 이용하여 배기공을 완전히 열어주고 있는 상태를 나타내는 확대 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

30 : 라인바닥 34 : 단차면

40 : 배기공 50 : 바닥패널

60 : 배기공 개폐부재 64 : 셔터

66 : 랙부 70 : 작동부재

72 : 피니언 76 : 조작노브

80 : 가이드돌기 82 : 가이드홈.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 청정실의 라인바닥에 설치되며, 면상에는 복수 열(列)의 배기공이 일정한 간격으로 형성된 소정의 크기의 바닥패널과, 상기 바닥패널의 하부면에 결합된 상태에서 외력의 작용에 의하여 정해진 거리만큼 미끄럼이동되면서 상기 바닥패널상에 형성된 배기공을 점차적으로 개방시키거나 폐쇄시켜주는 배기공 개폐부재와, 상기 배기공 개폐부재에 작용힘을 부여하는 작동부재와, 상기 배기공 개폐부재의 미끄럼이동이 안정적으로 이루어지도록 하는 가이드부재로 이루어진 특징을 갖는다.

이와 같은 본 발명의 실시예에서 상기 배기공 개폐부재는 적어도 바닥패널의 크기와 동일한 크기를 갖는 육면체형의 본체부와, 상기 본체부의 면상에서 적어도 배기공의 직경과 동일한 폭을 가짐과 동시에 일정 간격을 사이에 두고 바닥패널상의 배기공과 동일한 배열로 형성되는 다수의 셔터와, 상기 본체부의 일측면 중앙부로부터 일정한 길이에 걸쳐 돌출되게 형성되는 랙(Rack)부로 이루어진 특징을 갖는다.

이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 청정실의 배기공 개폐장치를 나타내는 분리사시도이다.

이를 참조하면, 청정실 라인바닥면(30)에 형성된 배기덕트(32)의 단차면(34)상에 배기공(40)을 갖는 바닥패널(50)이 얹혀지고, 그 아랫쪽에는 바닥패널(50)상의 배기공(40)을 개폐시켜주는 배기공 개폐부재(60)가 길이방향을 따라 일정한 길이범위에 걸쳐 미끄럼이동되게 결합되며, 상기 단차면(34)상의 정해진 위치에는 배기공 개폐부재(60)에 작용힘을 부여하는 작동부재(70)가 설치된다.

이와 구조에서 배기공 개폐부재(60)는 육면체형으로 이루어진 본체부(62)의 면상에 다수의 셔터(64)가 일정한 간격으로 구획 형성되고, 일측 측면의 정해진 위치에는 본체부(62)의 미끄럼이동거리에 해당되는 길이를 갖는 랙부(66)가 돌출 형성된다.

이 같은 본 발명에서 상기 바닥패널(50)상에 형성되는 배기공(40)의 열(列)간 간격은 상기 배기공 개폐부재(60)상의 각 셔터(64)의 폭과 동일하게 형성된다.

한편, 상기 작동부재(70)는 배기공 개폐부재(60)상의 랙부(66)와 일치하는 위치에 해당되는 설치홈(36)에 대하여 제자리 회동되게 설치되는 피니언(72)과, 상기 피니언(72)의 회동축(74)상부에 고정결합되어 그 피니언(72)에 제자리 회전력을 부여하는 조작노브(76)로 이루어진다.

본 발명에서는 상기 배기공 개폐부재(60)상의 셔터(64)와 바닥패널(50)상의 배기공(40)이 긴밀하게 밀착된 상태에서 보다 안정적으로 미끄럼이동되도록 하기 위한 가이드부재가 마련되는 데, 상기 가이드부재는 배기공 개폐부재(60)의 본체부(62) 상하면 가장자리로부터 돌출되는 복수의 가이드돌기(80)와, 상기 바닥패널(50)의 저면 가장자리와 단차면(34)상에 각각 형성되는 복수의 가이드홈(82)으로 이루어진다.

도 3은 도 2의 결합상태를 나타내는 확대 측단면도이다.

이를 참조하면, 청정실의 라인바닥면(30)에 형성된 배기덕트(32)상의 좌우 단차면(34)을 가로질러 배기공 개폐부재(60)가 설치되고, 그 배기공 개폐부재(60)의 상면에는 배기공(40)을 갖는 바닥패널(50)이 끼워져 결합되며, 일측 단차면(34)의 정해진 위치에는 작동부재(70)가 설치되어 배기공 개폐부재(60)상의 랙부(66)와 맞물린다.

이와 같은 결합구조에서 배기공 개폐부재(60)를 구성하는 본체부(62)의 상하면 가장자리로부터 돌설되는 가이드돌기(80)는 각각 바닥패널(50)의 저면 가장자리와 단차면(34)상에 형성된 가이드홈(82)에 끼워져 결합된다.

이와 같이 결합된 상태에서는 상기 배기공 개폐부재(60)를 구성하는 셔터(64)가 바닥패널(50)의 저면에 밀착되어 배기공(40)을 막아주거나 열어주는 역할을 한다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 작용은 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 청정실의 배기공 개폐장치를 이용하여 배기공을 완전히 닫아주고 있는 상태를 나타내는 확대 평면도이다.

이를 참조하면, 청정실의 라인바닥면(30)에 형성된 배기덕트(32)상에 바닥패널(50)이 설치되고, 그 바닥패널(50)의 하부에는 배기공 개폐부재(60)가 결합되며, 일측에는 작동부재(70)가 설치된 상태에서, 배기공 개폐부재(60)를 구성하는 각 셔터(64)가 바닥패널(50)상의 각 배기공(40)을 막아주고 있는 상태를 나타낸다.

이를 참조하면, 필요에 의하여 청정실 내부의 공기 및 미세먼지를 배출시키고자 하는 경우에, 상기 조작노브(76)를 정해진 방향으로 회동시키면, 조작노브(76)와 동축결합된 피니언(72)이 제자리에서 회동된다.

따라서, 그 피니언(72)과 랙부(66)에 의하여 서로 맞물려 있는 배기공 개폐부재(62) 전체가 정해진 거리범위에서 화살표방향으로 직선이동된다.

이와 동시에 상기 바닥패널(50)의 아랫쪽에서 배기공(40)을 막아주고 있던 셔터(64)가 동시에 미끄럼이동되면서 배기공(40)이 점차적으로 개방된다.

이와 같이 바닥패널(50)상의 배기공(40)이 개방된 상태에서 외부의 진공펌프를 가동시키면 청정실 내부의 공기 및 미세먼지들이 부압에 의하여 상기 배기공(40)을 통하여 배출되는 것이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 청정실에서 라인의 바닥면상에 설치되는 바닥패널상의 배기공이 점차적으로 개폐조절되기 때문에 배기공을 통과하는 풍량을 임의로 조절할 수 있다.

이에 따라 청정실내의 차압을 보다 효율적으로 관리할 수 있다.

Claims

청정실의 라인바닥(30)에 설치되며, 면상에는 복수 열의 배기공(40)이 일정한 간격으로 형성된 소정의 크기의 바닥패널(50)과;

상기 바닥패널(50)의 하부면에 결합된 상태에서 외력의 작용에 의하여 정해진 거리 만큼 미끄럼이동되면서 상기 바닥패널(50)상에 형성된 배기공(40)을 점차적으로 개방시키거나 폐쇄시켜주는 배기공 개폐부재(60)와;

상기 배기공 개폐부재(60)에 작용힘을 부여하는 작동부재(70)와;

상기 배기공 개폐부재(60)의 미끄럼이동이 안정적으로 이루어지도록 하는 가이드부재로 이루어진 청정실의 배기공 개폐장치.
제 1 항에 있어서,

상기 배기공 개폐부재(60)는 적어도 바닥패널(50)의 크기와 동일한 크기를 갖는 육면체형의 본체부(62)와;

상기 본체부(62)의 면상에서 적어도 배기공(40)의 직경과 동일한 폭을 가짐과 동시에 일정 간격을 사이에 두고 바닥패널(50)상의 배기공(40)과 동일한 배열로 형성되는 다수의 셔터(64)와;

상기 본체부(62)의 일측면 중앙부로부터 일정한 길이에 걸쳐 돌출되게 형성되는 랙부(66)로 이루어진 청정실의 배기공 개폐장치.
제 1 항에 있어서,

상기 작동부재(70)는 배기공 개폐부재(60)상의 랙부(66)와 일치하는 위치에 해당되는 설치홈(36)에서 제자리 회동되게 설치되는 피니언(72)과;

상기 피니언(72)의 회동축(74)상부에 고정결합되어 그 피니언(72)에 제자리 회전력을 부여하는 조작노브(76)로 이루어진 청정실의 배기공 개폐장치.
제 1 항에 있어서,

상기 가이드부재는 배기공 개폐부재(60)의 본체부(62) 상하면 가장자리로부터 돌출되는 복수의 가이드돌기(80)와;

상기 바닥패널(50)의 저면 가장자리와 단차면(34)상에 각각 형성되는 복수의 가이드홈(82)으로 이루어진 청정실의 배기공 개폐장치.
제 1 항에 있어서,

상기 바닥패널(50)상에 형성되는 배기공(40)의 열(列)간 간격은 상기 배기공 개폐부재(60)상의 각 셔터(64)의 폭과 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 청정실의 배기공 개폐장치.