KR19990035700U

KR19990035700U - 증착장비의 웨이퍼 로딩장치

Info

Publication number: KR19990035700U
Application number: KR2019980001336U
Authority: KR
Inventors: 강효석
Original assignee: 구본준; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1998-02-06
Filing date: 1998-02-06
Publication date: 1999-09-15

Abstract

본 고안은 증착장비의 웨이퍼 로딩장치에 관한 것으로서, 1회에 5개씩 웨이퍼를 이송하던 종래의 이재기(3)를 대신하여, 종래의 이재기(3)에서 한번에 이송하던 만큼을 이송할 수 있는 수개의 이재유닛(30)을 이재기타워(20)의 외측에 설치하여 이재기(10)를 구성하고, 이재기(10) 작업시에 카세트로더(11)가 이재기(10)에 인접한 양측으로 이동하도록 구성하므로써, 한번에 많은 양의 웨이퍼(W)를 이송가능하고 이송을 위해 이재기(10)가 이동하는 거리를 단축할 수 있도록 하여 웨이퍼 로딩/언로딩에 소요되는 시간을 절감 생산성을 향상시킬 수 있게 한 것이다.

Description

증착장비의 웨이퍼 로딩장치

본 고안은 보트에 웨이퍼를 적재하여 튜브의 내부로 로딩하기 위한 장치인 증착장비의 웨이퍼 로딩장치에 관한 것으로서, 특히 로딩과 언로딩에 소요되는 시간을 단축하여 생산성을 향상시키는데 적합한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치에 관한 것이다.

도 1 은 종래 증착장비의 웨이퍼 로딩장치의 구성을 보인 사시도로서, 이에 도시한 바와 같이 종래 증착장비의 웨이퍼 로딩장치는, 웨이퍼(W)를 수납한 웨이퍼 카세트(미도시)가 장착되는 수개의 카세트 장착부(1a)가 상하로 4열, 좌우로 2열로 구분 형성되는 카세트로더(1)와, 수십 내지 수백장의 웨이퍼(W)를 적재한 상태로 반응이 일어나는 공간인 튜브(미도시)의 내부로 투입되게 되는 보트(2)와, 상기 보트(2)를 상면에 고정하여 상하로 이동시키는 엘리베이터(미도시)와, 상기 카세트로더(1)의 웨이퍼 카세트로부터 보트(2)로 또는 그 반대로 수 장씩 웨이퍼(W)를 이송하는 이재기(3)를 포함하여 구성되게 되며, 이러한 웨이퍼 로딩장치는, 이재기(3)가 위치하는 튜브(미도시) 아래 이재기실의 내부에서, 웨이퍼(W)를 보트(2)로 적재한 후 엘리베이터를 올려 보트(2)를 튜브의 내부로 보내는 로딩과, 그 반대로 증착공정이 종료된 후 보트(2)를 이재기실로 내려 웨이퍼(W)를 보트(2)로부터 카세트로더(1)의 카세트 장착부(1a)에 장착된 웨이퍼 카세트로 옮겨담는 언로딩을 행하게 된다.

증착할 웨이퍼(W)를 카세트로더(1)로부터 보트(2)에 옮기기 위해서, 상기 카세트로더(1)는, 도시한 바와 같이, 지면(紙面)에 대해 전후로 이동하며 이재기(4)에 의해 옮겨질 웨이퍼(W)가 담긴 웨이퍼 카세트가 장착된 카세트 장착부(1a)를 이재기(4)와 동일선상에 위치하도록 하는 작용을 행하게 되고, 이재기(3)는, 도시한 바와 같이, 상하/수평/회전운동을 행하면서 카세트로더(1)로부터 5장 단위씩 웨이퍼(W)를 잡아서 보트(2)의 상단에서부터 하단으로 혹은 그 반대방향으로 차례로 웨이퍼(W)를 보트(2)에 수납하게 된다. 이렇게 하여 보트(2)에 웨이퍼(W)를 완전히 적재한 후에는 엘리베이터를 상승시켜 보트(2)를 튜브의 내부로 밀어넣고 튜브와 엘리베이터간을 밀봉한 상태에서 반응가스를 주입하여 반응을 진행하게 된다.

한편, 튜브 내부에서의 증착공정이 종료된 후에는 엘리베이터를 내려 보트(2)를 이재기실로 위치시킨 후 이재기(3)가 상하/수평/회전운동을 하며 보트(2)의 상단에서부터 하단으로 혹은 그 반대방향으로 차례로 웨이퍼(W)를 5장 단위씩 잡아서 카세트로더(1)로 이동시키게 되고 카세트로더(1)는 이때 전후로 이동하며 비어있는 웨이퍼 카세트가 장착된 카세트 장착부(1a)를 이재기(3)와 동일선상에 놓이도록 이동하게 된다.

상기한 바와 같이 종래 증착장비의 웨이퍼 로딩장치의 경우에는 이재기(3)가 보트(2)와 카세트로더(1)간에 웨이퍼(W)를 이송할 때 한번에 수장씩 웨이퍼(W)를 이송하도록 구성되므로 로딩 내지 언로딩에 소요되는 시간이 길어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

따라서 상기한 바와 같은 문제점을 인식하여 안출된 본 고안의 목적은 보트와 카세트로더간에 웨이퍼를 이송할 때 다수개의 웨이퍼를 한번에 이송할 수 있도록 하므로써 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 증착장비의 웨이퍼 로딩장치를 제공하고자 하는 것이다.

도 1 은 종래 증착장비의 웨이퍼 로딩장치의 구성을 보인 사시도.

도 2 는 본 고안의 일실시례에 의한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치의 구성을 보인 사시도.

도 3 은 본 고안의 일실시례에 의한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치에서 이재유닛과 카세트로더의 이동을 상측에서 본 평면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1,11;카세트로더 1a,11a;카세트 장착부

2;보트 3,10;이재기

20;이재기타워 20a;상하방향 가이드홈

20b;좌우방향 가이드홈 30;이재유닛

30a;트위저

상기한 바와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 카세트로더의 카세트 장착부에 놓인 웨이퍼 카세트로부터 보트로 또는 그 반대로 웨이퍼를 옮겨 수납하는 이재기를 포함하여 구성되는 증착장비의 웨이퍼 로딩장치에 있어서; 상기 이재기는 웨이퍼를 잡는 트위저가 수개 형성된 수개의 이재유닛과, 상기 이재유닛들이 외부에 설치되는 것으로서 각각의 이재유닛들이 상하좌우로 일정 범위만큼 이동할 수 있도록 하는 이재기타워로 구성되는 것을 특징으로 하는 증착장비의 웨이퍼 로딩장치가 제공된다.

이하, 첨부도면에 도시한 본 고안의 일실시례에 의거하여 본 고안을 상세히 설명하기로 한다.

도 2 는 본 고안의 일실시례에 의한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치의 구성을 보인 사시도이고, 도 3 은 본 고안의 일실시례에 의한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치에서 이재유닛과 카세트로더의 이동을 상측에서 본 평면도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치는 종래의 이재기(3)가 한번에 옮기던 웨이퍼(W)의 수와 비슷한 개수의 트위저(30a)가 형성된 이재유닛(30)과, 상기 이재유닛(30)들이 외부에 설치되는 것으로서 각각의 이재유닛(30)들이 상하좌우로 일정 범위만큼 이동할 수 있도록 하는 이재기타워(20)로 구성되는 이재기(10)를 사용하여 구성된다는 점에서 종래의 것과 차이가 있다.

이때, 도시한 바와 같이, 카세트로더(11)는 2개가 구비되고 그 각각은 카세트 장착부(11a)가 좌우일렬 상하다열로 배열되도록 구성되어 이재기(10) 작업시 이재기타워(20) 양측으로 나누어져 각각 이동하도록 되며, 상기 이재기타워(20)의 보트(2)와 마주보는 면과 이동해온 카세트로더(11)와 마주보는 면에는 각각의 이재유닛(30)에 대응하는 상하방향 가이드홈(20a)이 형성되고 상기 상하방향 가이드홈(20a)간은 좌우방향 가이드홈(20b)으로 연결되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 카세트로더(11)의 카세트 장착부(11a)의 개수와 이재기타워(20)에 설치된 이재유닛(30)의 개수는 동수로 되어 하나의 이재유닛(30)이 두 개의 카세트로더(11)의 마주보는 동일한 높이에 있는 두 개의 카세트 장착부(11a)에 놓인 웨이퍼 카세트로/로부터 이송하도록 구성하는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

카세트로더의 카세트 장착부(11a)에, 비어있는 혹은 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 카세트를 장착하는 것은 카세트로더(11)가 도 3 의 점선 위치에 있을 때 행해지게 된다. 그 후에는 도 3 의 실선위치로 카세트로더(11)가 이동해오게 되고 그 후 이재기타워(20)에 설치된 이재유닛(30)들이 도 2 에 실선화살표로 도시된 바와 같이 3개의 상하방향 가이드홈(20a)과 그 사이를 연결하는 좌우방향 가이드홈(20b)을 따라 이동하면서 보트로/로부터 웨이퍼를 이송하게 된다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 고안에 의한 증착장비의 웨이퍼 로딩장치는, 1회에 5개씩 웨이퍼를 이송하던 종래의 이재기를 대신하여, 종래의 이재기에서 한번에 이송하던 만큼을 이송할 수 있는 수개의 이재유닛을 이재기타워의 외측에 설치하여 이재기를 구성하고, 이재기 작업시에 카세트로더가 이재기에 인접한 양측으로 이동하도록 구성하므로써, 한번에 많은 양의 웨이퍼를 이송가능하고 이송을 위해 이재기가 이동하는 거리를 단축할 수 있으므로 웨이퍼 로딩/언로딩에 소요되는 시간을 절감 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims

카세트로더의 카세트 장착부에 놓인 웨이퍼 카세트로부터 보트로 또는 그 반대로 웨이퍼를 옮겨 수납하는 이재기를 포함하여 구성되는 증착장비의 웨이퍼 로딩장치에 있어서; 상기 이재기는 웨이퍼를 잡는 트위저가 수개 형성된 수개의 이재유닛과, 상기 이재유닛들이 외부에 설치되는 것으로서 각각의 이재유닛들이 상하좌우로 일정 범위만큼 이동할 수 있도록 하는 이재기타워로 구성되는 것을 특징으로 하는 증착장비의 웨이퍼 로딩장치.
제 1 항에 있어서, 상기 카세트로더는 2개가 구비되고 그 각각은 카세트 장착부가 좌우일렬 상하다열로 배열되도록 구성되어 이재기 작업시 이재기타워 양측으로 나누어져 각각 이동하도록 되며, 상기 이재기타워의 보트와 마주보는 면과 이동해온 카세트로더와 마주보는 면에는 각각의 이재유닛에 대응하는 상하방향 가이드홈이 형성되고 상기 상하방향 가이드홈간은 좌우방향 가이드홈으로 연결되는 것을 특징으로 하는 증착장비의 웨이퍼 로딩장치.