KR19990027871A - 이온 주입 설비의 디스크 드라이버 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼의 손상 및 오염을 방지할 수 있는 이온 주입 설비의 디스크 드라이버에 관한 것이다. 본 발명에 의한 디스크 드라이버는 93°의 각도를 유지하도록 제조된 웨이퍼 고정용 사이트 펜스를 구비한다.
Description
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 손상 및 오염을 방지할 수 있는 이온 주입 설비의 디스크 드라이버에 관한 것이다.
도 1은 일반적인 이온주입 설비의 디스크 드라이버를 보여주는 평면도이고, 도 2는 상기 도 1의 디스크 드라이버 중 하나의 사이트(site)를 더욱 자세하게 보여주는 평면도이며, 도 3은 그 각도가 90°인 종래의 사이트 펜스를 보여주는 단면도이다.
디스크 드라이버(100) 위의 각 사이트(site) 위에 웨이퍼(도시되지 않음)를 로딩(loading)하기 위해 웨이퍼를 리프트 업(lift up)할 때, 웨이퍼 지지용 사이트 펜스(12)로 인하여 순간적으로 사이트 펜스(12)와 웨이퍼가 마찰을 일으켜 순간적으로 파티클(particle) (14)을 유발하여 수율을 떨어뜨리게 된다.
이는, 웨이퍼 지지용 사이트 펜스(12)가 90°의 각도로 형성되어 있기 때문에, 웨이퍼 로딩 및 언로딩(unloading) 시 이들과 부딪힐 확률이 크기 때문이다.
본 발명의 목적은 웨이퍼의 손상 및 오염을 방지할 수 있는 이온 주입 설비의 디스크 드라이버를 제공하는데 있다.
도 1은 일반적인 이온주입 설비의 디스크 드라이버를 보여주는 평면도이다.
도 2는 상기 도 1의 디스크 드라이버 중 하나의 사이트(site)를 더욱 자세하게 보여주는 평면도이다.
도 3은 그 각도가 90°인 종래의 사이트 펜스를 보여주는 단면도이다.
도 4는 그 각도가 93°인 본 발명에 의한 사이트 펜스를 보여주는 단면도이다.
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 의한 이온 주입 설비의 디스크 드라이버는 93°의 각도를 유지하도록 제조된 웨이퍼 고정용 사이트 펜스를 구비한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명에 의한 이온 주입 설비의 디스크 드라이버를 더욱 상세하게 설명하고자 한다.
도 4는 그 각도가 93°인 본 발명에 의한 사이트 펜스를 보여주는 단면도로서, 도면부호 10은 디스크 드라이버의 각 사이트를 나타내고, 12는 사이트 펜스를 나타낸다.
본 발명은 웨이퍼가 로딩/ 언로딩되기 위해 리프트 업/ 다운될 때 사이트 펜스와 웨이퍼의 마찰을 줄이고자 사이트 펜스의 각도를 93°로 함을 특징으로 한다. 93°각도로 형성된 사이트 펜스는 90°각도로 형성된 종래의 사이트 펜스에 비해 웨이퍼와의 마찰 확률이 적으므로 (사이트 펜스를 93°로 하면 90°일때보다 수직 길이가 낮아지므로 웨이퍼와의 마찰 확률은 종래보다 당연히 적어짐)이로 인한 파티클 발생을 줄일 수 있다. 따라서, 파티클 발생으로 인한 오염을 줄일 수 있으므로 이로 부터 비롯되는 수율 저하를 방지할 수 있다.
즉, 디스크 드라이버의 사이트로 웨이퍼를 이송하기 위해 웨이퍼를 리프트 업할 때, 웨이퍼와 사이트 펜스가 닿아 웨이퍼의 가장자리(edge)에 스크래치가 발생하고 이로 인한 파티클 유발로 이상 발생 (웨이퍼의 오염)의 원인이 되던 것을 방지하기 위해, 웨이퍼와 사이트 펜스의 마찰 확률을 줄이도록 사이트 펜스를 93°의 각도로 형성한다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 명백하다.
본 발명에 의한 이온 주입 설비의 디스크 드라이버는 사이트 펜스를 93°의 각도로 제조함으로써 사이트 펜스와 웨이퍼의 마찰 확률을 줄일 수 있으므로 이로 이한 웨이퍼의 손상 및 오염을 방지할 수 있다.
Claims (1)
- 93°의 각도를 유지하도록 제조된 웨이퍼 고정용 사이트 펜스를 구비하는 것을 특징으로 하는 이온 주입 설비의 디스크 드라이버.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970050401A KR19990027871A (ko) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 이온 주입 설비의 디스크 드라이버 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970050401A KR19990027871A (ko) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 이온 주입 설비의 디스크 드라이버 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990027871A true KR19990027871A (ko) | 1999-04-15 |
Family
ID=66045873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970050401A KR19990027871A (ko) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 이온 주입 설비의 디스크 드라이버 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990027871A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100631915B1 (ko) * | 2000-04-17 | 2006-10-04 | 삼성전자주식회사 | 이온주입기용 웨이퍼 리프트 어셈블리의 펜스 |
-
1997
- 1997-09-30 KR KR1019970050401A patent/KR19990027871A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100631915B1 (ko) * | 2000-04-17 | 2006-10-04 | 삼성전자주식회사 | 이온주입기용 웨이퍼 리프트 어셈블리의 펜스 |
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