KR19990012092U - 웨이퍼 정렬장치의 자동필터 - Google Patents

Abstract

본 고안에 의한 웨이퍼 정렬장치의 자동필터는 헬륨네온 레이져 빔이 비스코프 유니트로 보내져,/4 필터를 통해 웨이퍼에 조사되므로, 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기/4 필터 외주에 필터기어부를 형성하고, 상기 비스코프 유니트 전면 일측에 펄스모터를 설치하며, 상기 펄스모터에 필터기어부와 맞물려 회전하는 모터기어부를 설치하므로, 공정진행된 웨이퍼 상태가 좋지 않아도 자동으로/4 필터를 회전하여 정확한 웨이퍼 패턴을 정렬시킬 수 있도록 하며, 또한 기존 손으로 조절하였던 것을 자동으로 조절되도록 하여, 작업시간단축 및 생산시간 단축, 노광공정의 원활한 진행을 도모할 수 있도록 하였다.

Description

웨이퍼 정렬장치의 자동필터

본 고안은 헬륨 네온 레이져에서 사출된 광원을 이용하여 웨이퍼와 기준마크를 정렬시키는 웨이퍼 정렬장치에 적용되는 웨이퍼 정렬장치의 자동필터에 관한 것이다.

종래의 기술에 의한 웨이퍼 정렬장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 정렬조광용 헬륨 네온 레이져 유니트가 있으며, 헬륨 네온 레이져빔은 광화이버(6)에 의해 비(B), 시(C)스코프로 보내지며, 상기 비스코프(4)에 도달된 광은 확산판과 콜리메탈렌즈를 통해/4 필터(1)를 지나 웨이퍼에 조사시켜 주며, 웨이퍼의 형성된 패턴에서 난반사된 광은 다시 비스코프(4)로 다시 되돌아와 시시디 카메라(5)에 의해 정렬하도록 구성되어 있다.

도 2와 같이, 헬륨 네온 레이져 헤드에 사출된 광원은 레이져 헤드 유니트 내부의 광학계에 의해 사출되고, 광화이버(6)에 의해 시스코프(4)로 들어간다. 광원은 스코프내부로 들어가 확산판을 통하여 랜즈를 지나/4 필터(1)를 통해 웨이퍼 패턴(10)에 조사하고, 반사된 광원은 다시 같은 경로로 스코프 내부로 들어가 빔스프린터를 통해 시시디(CCD)카메라(5)에 의해 패터검출을 하도록 되어 있다. 이와 같은 시스코프는 도 1과 같으며, 입사광 변경 조정할 때는 고정스크류(2)를 풀고, 손잡이(3)를 돌려 입사광의 광로를 변경하도록 되어 있다. 도면중 미설명 부호 7은 엘이디(LED)를 나타낸다.

여러 공정을 통한 웨이퍼는 웨이퍼 상태가 좋지 않아 웨이퍼상에 적당한 광이 조사되도록/4 필터(1)를 조절하여 사용하고 있다. 그러나, 종래의 기술에서는/4 필터(1)를 조절할 때 손으로 돌리므로 정도가 떨어지며 조절시 시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안의 목적은 공정진행된 웨이퍼 상태가 좋지 않아도 자동으로/4 필터를 회전하여 정확한 웨이퍼 패턴을 정렬시킬 수 있도록 하며, 또한 기존 손으로 조절하였던 것을 자동으로 조절되도록 하여, 작업시간단축 및 생산시간 단축, 노광공정의 원활한 진행을 도모할 수 있도록 한 웨이퍼 정렬장치의 자동필터를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 기술에 의한 웨이퍼 정렬장치를 나타내는 사시도.

도 2는 종래의 기술에 의한 웨이퍼 정렬장치의 광경로를 나타내는 광경로도.

도 3은 본 고안에 의한 웨이퍼 정렬장치를 나타내는 사시도.

도 4는 도 3의 'A'부 확대도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

21 ;/4 필터 21a ; 필터기어부

22 ; 펄스모터 22a ; 모터기어부

이러한, 본 고안의 목적은 헬륨네온 레이져 빔이 비스코프 유니트로 보내져,/4 필터를 통해 웨이퍼에 조사되므로, 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기/4 필터 외주에 필터기어부를 형성하고, 상기 비스코프 유니트 전면 일측에 펄스모터를 설치하며, 상기 펄스모터에 필터기어부와 맞물려 회전하는 모터기어부를 설치함으로써 달성된다.

이하, 본 고안에 의한 웨이퍼 정렬장치의 자동필터를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.

도 3은 본 고안에 의한 웨이퍼 정렬장치를 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3의 'A'부 확대도를 각각 보인 것으로, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 정렬장치의 자동필터는 헬륨네온 레이져 빔이 비스코프 유니트로 보내져,/4 필터를 통해 웨이퍼에 조사되므로, 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기/4 필터 외주에 필터기어부를 형성하고, 상기 비스코프 유니트 전면 일측에 펄스모터를 설치하며, 상기 펄스모터에 필터기어부와 맞물려 회전하는 모터기어부를 설치한다.

헬륨네온 레이져 빔은 광화이버(6)를 통해 시스코프(4)로 들어간다. 입사된 빔은 빔스프린터를 통해/4 필터(21)를 지나 웨이퍼의 패턴을 스캐닝하여 다시/4 필터(21)를 통해 시시디 카메라에 들어온다. 시시디 카메라에서 화상신호를 화상처리 시피유에서 처리하여 인터페이스를 통해 적당한 화상이 되도록 펄스 모터 드라이브에 펄스를 주어 펄스모터를 구동시킨다. 한편 펄스모터(22)에 연결된 모터기어부(22a)는/4 필터(21)의 필터기어부(21a)와 맞물려 회전하게 되고, 도 4와 같이 광로를 변경하도록 하였다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 정렬장치의 자동필터는 헬륨네온 레이져 빔이 비스코프 유니트로 보내져,/4 필터를 통해 웨이퍼에 조사되므로, 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기/4 필터 외주에 필터기어부를 형성하고, 상기 비스코프 유니트 전면 일측에 펄스모터를 설치하며, 상기 펄스모터에 필터기어부와 맞물려 회전하는 모터기어부를 설치하므로, 공정진행된 웨이퍼 상태가 좋지 않아도 자동으로/4 필터를 회전하여 정확한 웨이퍼 패턴을 정렬시킬 수 있도록 하며, 또한 기존 손으로 조절하였던 것을 자동으로 조절되도록 하여, 작업시간단축 및 생산시간 단축, 노광공정의 원활한 진행을 도모할 수 있도록 한 효과가 있다.

Claims (1)

1. 헬륨네온 레이져 빔이 비스코프 유니트로 보내져,/4 필터를 통해 웨이퍼에 조사되므로, 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 상기/4 필터 외주에 필터기어부를 형성하고, 상기 비스코프 유니트 전면 일측에 펄스모터를 설치하며, 상기 펄스모터에 필터기어부와 맞물려 회전하는 모터기어부를 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치의 자동필터.