KR19980085880A - 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀에 관한 것이다.

본 발명의 포고핀은, 프로브 카드와 테스트 헤드부의 시그널을 인가시키는 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀에 있어서, 상기 포그 핀이 삽입되는 관측부의 하측 단부에 상기 포고핀을 지지, 고정하는 스토퍼를 구비시킴을 특징으로 한다.

따라서, 포고핀의 밀림현상을 억제시켜 균일한 접촉을 유지함으로써 테이터의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀

본 발명은 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 포고핀(Pogo Pin)을 지지, 고정시키는 스토퍼(Stopper)를 하측 부분에 구비시킨 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치의 제조에서는 매 공정의 수행마다 상기 공정을 평가하기 위한 검사공정을 수행한다.

이러한 검사공정 중에서 테스트 헤드부(Test Head Part)와 프로브 카드(Probe Card)의 연결로 시그널(Signal)을 인가시키는 검사장치를 이용한 공정을 수행하기도 한다.

도1은 종래의 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀을 나타내는 모식도이다.

먼저, 테스트 헤드부(10)와 프로브 카드(12)의 시그널을 인가시키는 포고핀(14)이 구비되어 있고, 상기 포고핀이 삽입되는 관측부(Measuring Part)(16) 및 상기 포고핀(14)을 지지, 고정시키는 스토퍼(18)가 구비되어 있다.

이러한 구성으로 이루어지는 검사장치는 주로 프로브 카드(12)가 하측에 구비되고, 테스트 헤드부(10)가 상측에 구비된다.

그리고 상기 포고핀(14)을 지지, 고정시키는 종래의 스토퍼(18)는 상기 관측부(16)의 상측 단부에 구비된다.

즉, 상기 스토퍼(18)는 상기 테스트 헤드부(10)가 구비되는 관측부(16)의 상측 단부에 구비된다.

여기서 상기 테스트 헤드부(10)는 일반적으로 검사공정의 수행시에만 설치하여 이용하고, 상기 프로브 카드(12)는 한 번 고정시키면 거의 유동이 없다.

이렇게 상기 포고핀(14)의 상측의 테스트 헤드부(10)가 장시간 제거된 상태로 방치되면 상기 포고핀(14)은 상기 관측부(16)에서 불규칙하게 밀려나오게 된다.

이러한 밀림현상은 상기 포고핀(14)의 하측에 구비된 프로브 카드(12)의 상승력과 상기 포고핀(14)의 내부의 스프링(Spring)의 인장력에 기인하였고, 상기 포고핀(14)을 지지, 고정시키는 스토퍼(18)가 상기 포고핀(14)의 상측에 위치하였기 때문에 힘의 균형을 맞추기가 어려웠다.

이에 따라 상기 검사공정을 수행하기 위하여 상기 포고핀(14)의 상측에 테스트 헤드부(10)를 고정시켜도 상기 포고핀(14)은 원상 복구되지 않았기 때문에 검사공정의 수행시 접촉 부분의 접촉성이 불균일 하였다.

그리고 상기 밀림현상이 발생된 포고핀(14)을 육안으로 판별하여 조치를 취하였으나, 그 한계가 있었다.

따라서 종래에는 포고핀의 밀림현상으로 인해 균일한 접촉성을 유지시키기가 용이하지 않아 검사 데이터의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 포고핀의 밀림현상을 억제시켜 검사 데이터의 신뢰도를 향상시키기 위한 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀을 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀을 나타내는 모식도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀의 일 실시예를 나타내는 모식도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10, 20 : 테스트 헤드부 12, 22 : 프로브 카드

14, 24 : 포고핀 16, 26 : 관측부

18, 28 : 스토퍼

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀은, 프로브 카드와 테스트 헤드부의 시그널을 인가시키는 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀에 있어서, 상기 포고핀이 삽입되는 관측부의 하측 단부에 상기 포고핀을 지지, 고정하는 스토퍼를 구비시킴을 특징으로 한다.

상기 포고핀의 하측에는 상기 프로브 카드가 구비되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀의 일 실시예를 나타내는 모식도이다.

먼저, 테스트 헤드부(20)와 프로브 카드(22)의 시그널을 인가시키는 포고핀(24)이 구비되어 있다.

여기서 상기 테스트 헤드부(20)는 포고핀(24)의 상측에, 그리고 상기 프로브 카드(22)는 상기 포고핀(24)의 하측에 구비되는 것이 일반적이다.

그리고 상기 포고핀(24)이 삽입되는 관측부(26) 및 상기 포고핀(24)을 지지, 고정시키는 스토퍼(28)가 구비되어 있다.

여기서 상기 포고핀(24)을 지지, 고정시키는 본 발명의 스토퍼(28)는 상기 관측부(26)의 하측 단부 즉, 프로브 카드(22)가 구비되는 상기 포고핀(24)의 하측에 구비된다.

그리고 상기 테스트 헤드부(20)는 일반적으로 검사공정의 수행시에만 설치하여 이용하고, 상기 프로브 카드(22)는 한 번 고정시키면 거의 유동이 없다.

이러한 구성으로 이루어지는 본 발명은, 상기 테스트 헤드부(20)가 제거되어도 상기 포고핀(24)을 지지, 고정하는 스토퍼(28)가 상기 포고핀(24)의 하부에 구비됨으로 상기 포고핀(24)의 밀림현상이 제거된다.

즉, 상기 포고핀(24)을 지지, 고정하는 스토퍼(28)가 하부에 구비됨으로써, 상기 포고핀(24)의 상측에 구비된 테스트 헤드부(20)가 제거되어도 상기 스토퍼(28)가 상기 프로브 카드(22)에 의한 상승력 및 포고핀(24)의 내부의 스프링에 의한 인장력 등을 상쇄시켜 상기 밀림현상을 억제시킬 수 있다.

다시 말해 상기 스토퍼(28)가 상기 관측부(26)의 하측 단부에 구비되기 때문에 상기 포고핀(24)의 하측에 구비되는 프로브 카드(22)가 제거되는 경우를 제외하고는 밀림현상이 발생하지 않는다.

이에 따라 상기 프로브 카드(22)와 상기 테스트 헤드부(20)의 시그널을 인가시키는 포고핀(24)의 밀림현상을 억제시켜 상기 포고핀(24)의 균일한 접촉 즉, 상기 프로브 카드(22)와 테스트 헤드부(20)의 시그널을 인가시키기 위한 접촉을 균일하게 유지할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 포고핀의 밀림현상을 억제시켜 균일한 접촉을 유지함으로써 테이터의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. 프로브 카드(Probe Card)와 테스트 헤드부(Tester Head Part)의 시그널(Signal)을 인가시키는 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀에 있어서,

   상기 포고핀(Pogo Pin)이 삽입되는 관측부(Measuring)의 하측 단부에 상기 포고핀을 지지, 고정하는 스토퍼(Stoper)를 구비시킴을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 포고핀의 하측에는 상기 프로브 카드가 구비됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 검사장치의 포고핀.