KR19980080866A - 유체 유량 측정 및 제어 장치 및 방법 - Google Patents

유체 유량 측정 및 제어 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유체의 유량을 측정하고 제어하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 이 방법은 유체의 용적유량에 의존하는 아날로그 처리 변수를 결정하는데 적용되고 그리고 이렇게 얻어진 값들은 디지털 값으로 변환되고, 디지털 값은 시스텀의 작동과정에서 발생하는 측정시스템의 아날로그성분의 작동 매개변수의 변화에 의존하는 오프셋 값에 의해 보정된다. 오프셋 값을 얻기 위해서 용적유량이 0 일 때 작동의 중단동안에 하나의 아날로그 처리 변수가 결정되고, 그리고 디지털 값으로 변환된다. 이러한 디지털 값은 기억되고 작동이 재개될 때 오프셋 값으로서 사용된다. 본 발명은 디지털 신호 처리기에 디지털 보정된 측정값을 공급하기위해 그리고 디지털적으로 유량제어를 수행하기위해 더 구비되어 있다. 바람직하게, 적어도 하나의 매개변수 메모리는 디지털 제어를 위해 구비되어 있다.

Description

유체 유량 측정 및 제어 장치 및 방법
본 발명은 유체의 유량의 측정 및 제어에 관한 것이다.
아날로그 유량 측정 및 제어 유니트는 알려져 있는데 압력차 측정은 유량을 결정하기 위해 유동 채널에서 오리피스를 통해 이루어진다. 다음에, 이러한 측정에 의해 얻어진 값은 연산 유니트에서 원하는 값과 비교된다. 실제 값이 특정된 원하는 값과 다르면, 연산 유니트는 비례밸브 유니트에 적용하기위한 보정신호를 발하는데 이것은 보정처리를 시작하여 유량의 측정값을 원하는 값과 동일하게 한다.
종래의 유량 측정 및 제어수단의 문제점은 이들이 비교적 유연하지 않고 시스템 성분에서 발생하는 변화에 쉽게 적응될 수 없다는 것이다. 측정 및 제어데이터의 처리는 실제로 시스템 성분에 의해 실제로 예정되어 있다. 신호처리에서 디지털 성분은 근본적으로 작동과정에서 발생할 수 있는 작동 매개변수의 변화(예를들면, 성분의 노화, 열의 편류(thermal drifts) 등으로 인하여)가 없는 한편, 센서, 아날로그 증폭기, 아날로그 비교기등은 이러한 열의 편류에 의해 영향을 받는다.
그러므로, 본 발명의 목적은 측정 및 제어시스템의 고장빈도수가 더 적고 그리고 개선된 신뢰성으로 유체의 유량을 측정 및 제어하는 한편 측정 및 제어데이터에 영향을 주기 위해 최대의 유연성을 제공하는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 유량측정장치의 바람작한 실시예의 도면,
도 2는 유량측정장치와 상호작용하는, 본 발명에 따른 유량제어장치의 바람직한 실시예의 도면,
이러한 목적은 청구항 1, 7, 11 및 18에 각각 한정된 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정 및 제어방법 및 장치에 의해 달성된다.
그러므로, 본 발명은 유량측정의 신호가 디지털 신호 처리기(DSP)에 디지털적으로 대량으로 처리되고 적용되는 방법 및 장치를 제공한다. 유량 측정수단에의해 공급된 신호는 먼저 디지털 사전처리되어 열의 편류와 같은 아날로그 측정성분에서의 변화로 인한 임의의 측정불확실성은 광범위하게 보상된다. 그리고 측정값을 근거로, 디지털 신호 처리기는 바람직하게 특정 디지털 메모리유니트로부터의 데이터의 도움으로 디지털 제어유니트를 제어하고, 그리고 디지털 제어유니트는 차례로 밸브 조절기를 통해 밸브유니트를 제어한다. 바람직한 실시예에서, 제어유니트는 PID 제어기를 포함한다. 그리고 특정 적용에 따라서 P-, D- 및 I-비례의 원하는 조합을 갖춘 제어기가 역시 사용될 수 있다. 밸브 조절수단은 바람직하게 펄스폭 모듈레이터로 구성되어 있고, 그리고 밸브수단은 바람직하게 비례밸브를 포함하고 있다.
대량의 디지털적인 신호처리는 측정 및 제어 시스템의 신뢰성과 유연성을 최대로 허용한다.
얻어진 아날로그 측정값은 작동과정에서 발생하는 측정시스템의 아날로그 작동 매개변수의 변화, 특히 열 흐름 등을 보상하기 위해서 오프셋값에 의해 디지털영역에서 보정될 수 있는 디지털값으로 변환된다. 오프셋값을 결정하는 가장 간단한 방법은 용적유량(volumetic flow)이 0 일 때, 작동의 장애동안에 아날로그 측정값을 얻고, 그리고 이것을 디지털값으로 변환하므로서 이루어진다. 이론적으로, 이러한 디지털값은 유량이 0 일 때 역시 0 으로 된다. 하지만, 아날로그성분의 언급한 변화 또는 편류 때문에 이러한 디지털값은 통상 0 이 되지 않으며 그리고 시스템의 작동이 재개될 때 사용되는 보정값으로서 오프셋 메모리에 직접 저장된다.
그러므로 디지털 신호 처리는 장애가 없고 더 큰 신뢰성을 제공하는 장점을 가지고 있다. 또한 측정 및 제어 데이터에 영향을 줄 가능성은 아날로그 시스템의 것 보다 상당히 개선되었다. 예를 들면, 가변의 작동 매개변수, 특히 표, 또는 곡선족(families of curves)등은 작동조건, 사용규칙, 유체의 종류, 설비의 종류에 따라서, 디지털 신호 처리기에 의해 액세스되는 특정 메모리 유니트에 저장될 수 있다. 밸브 유니트의 조절 또는 제어를 위한 특정 매개변수, 특징 등은 아래에서 상세히 설명하는 바와 같이 장애 또는 비정상적인 작동상태 그리고 작동의 중단을 위해 구비되어있다.
마지막으로, 필요한 작동 매개변수는 외부로부터 공급되거나 대체될 수 있다.
본 발명은 첨부도면을 참조하여 실시예를 통해 더 상세히 설명될 것이다.
도 1은 본 발명에 따라서 유량측정장치 또는 △P 유니트의 개략적인 블럭 다이어그램이다. 도 1에서, 흐름 채널(1)은 억제기 또는 오리피스(2)를 가지고 있다. 기체 또는 액체 매체(유체)는 화살표(3)로 표시된 방향으로 유동 채널에서 흐른다. 오리피스(2)의 상류에서 제 1압력센서(4)가 오리피스(2)의 유동 채널 상류에서 압력(P1)을 측정하도록 유동 채널(1)의 벽에 구비되어있다. 제 2압력센서(5)는 오리피스(2)의 하류에 위치하여 오리피스(2)의 바로 뒤에서 유동 채널(1)에서의 압력(P2)을 측정한다.
압력 게이지 또는 압력 센서(4, 5)는 얻어진 압력값을 압력차 증폭기(6)에 적용하는 아날로그 전기 신호로 변환한다. 압력차 증폭기(6)에서 압력차(△P= P1-P2)는 2개의 압력신호의 형태이다. 유동 채널(1)의 단면(A)이 알려져 있으므로 압력차(△P)는 유동 채널을 통과하는 매체의 용적유량의 측정이 된다.
압력차 증폭기(6)의 신호출력은 연속되는 아날로그/디지털 변환기(ADC)(8)를 위해 최적이되는 범위로 신호 진폭을 증폭한다. 아날로그/디지털 변환기(8)는 아날로그를 디지털로 압력차를 변환한다.
측정장치에서 더 하류의 그리고 후술하는 디지털 성분은 열의 편류 등이 없는 한편 측정시스템의 아날로그성분 특히 증폭기(6, 7)와 마찬가지로 센서(4, 5)는 측정시스템의 작동과정에서 그들의 작동 매개변수의 교체를 경험한다. 이들은 열의 편류, 노화, 불량, 그리고 변위 등에 의해서 영향을 받는다. 본 발명은 오프셋 메모리(9)를 제공하여 아날로그성분의 작동 매개변수에서 이러한 변화를 보상한다.
작동이 중단될 때, 즉 유체흐름이 없을 때 오프셋 메모리(9)는 아날로그/디지털 변환기에 의해 구비된 값을 저장한다. 이러한 목적을 위해서, 적어도 하나의 아날로그로 측정된 값이 이러한 작동중단 동안에 기록된다. 이상적으로, 이러한 디지털값은 유체 유량이 0 일 때, 0 이 된다. 하지만, 아날로그성분의 상기 언급한 편류로 인해, 이러한 값은 일반적으로 0 이 되지 않으며 보정값으로서 실제로 받아들인다. 0 의 용적유량의 디지털값은 오프셋 메모리(9)에 저장된다.
유체가 다시 흐르기 시작할 때, 오프셋 메모리(9)에 저장된 오프셋값은 인버트되고 읽혀진다. 인버트된 신호를 갖춘 오프셋값은 가산기(10)에 입력되는데 여기에서 아날로그/디지털 변환기에 의해 공급된 값에 가산된다. 그러므로 편류에 의존하는 오프셋값은 측정된 값에 대응하는 디지털값에서 빼서 근본적으로 단지 순수한 측정된 신호가 더 처리된다.
유동 작용은 균형을 달성하기 위해서 언제든지 중단될 수 있는데 즉, 편류에 의존하는 오프셋값을 기록하기 위해서이다. 균형은 작동의 자연적인 중단동안에 영향을 받으며, 또는 이러한 중단은 제 시간에 일정한 간격으로 실제 제어에 의해 발생할 수 있다. 유동은 아래에서 상세히 설명하는 바와 같이 비례밸브 유니트의 도움으로 중단된다.
용적유량이 오리피스(2)에서 압력차(△P)의 선형함수가 아니므로, 아날로그/디지털 변환기(8)로부터의 (보정된)신호는 표준기(12)로 이어지는 선형기(11)내로 입력되어 압력센서(4)에서 측정된 입력 압력(P1)으로 선형기(11)에서의 선형화 그리고 표준기(12)에서의 표준화에 따라 유량채널(1)에서 유체의 용적유량을 표준 m3/h(Nm3/h)으로 반영하는 신호는 측정장치의 출력에 이용될 것이다.
상기한 오프셋 메모리(9)와는 별개로 측정장치는 측정 매개변수를 저장하는 평가 또는 측정 메모리(13)로 구성될 수 있어서 오리피스(2)가 교환된 후에 표준기(12)에 의해 출력된 측정된 값이 실제 용적유량으로 다시 측정될 수 있게 한다. 이것은 오리피스 치수의 제조공차가 균형을 이룬다면 특히 유리하다. 이 경우에 측정장치는 외부의 측정수단에 대하여 측정되고 그리고 필요한 보정값은 측정 메모리(13)에 디지털적으로 저장된다. 측정메모리(13)에 기록된 보정값은 배율기에 의해 디지털 측정된 신호에 이용된다.
본 발명에 따른 측정장치는 측정장치의 사용동안 시간의 경과에 따라 발생하는 아날로그 성분의 변하는 작동 매개변수를 보상하기 위해서 오프셋 메모리(9)의 도움으로 대량의 디지털 신호처리가 도운다는 것이 종래기술에 비하여 상당히 유리하다. 이들 변화는 무엇보다도, 열의 편류, 성분의 노화 등과 관련된 것이다. 더욱이, 여러 가지 오리피스 직경, 유량채널 직경, 압력 게이지 특성, 또는 유체 특성과 마찬가지로 특정설비의 다른 특정 하드웨어 매개변수의 부가적인 측정을 측정시스템에 통합하는 것이 용이하다. 매개변수와 보정값의 적절한 세트는 측정 메모리(13)에 간단하게 저장된다. 측정메모리에 연속적인 보정값의 외부로딩을 제공할 수 있다.
상기한 특징의 조합은 임의의 장애에 거의 영향을 받지 않는 융통성이 있는 측정시스템을 이룬다.
도 2는 기체 및 액체를 위한 디지털 유량장치의 기본 다이어그램인데, 이 장치는 바람직하게 도 1의 유량측정장치와 조합하여 작동된다. 이러한 장치는 디지털형태로 유량 측정장치로부터 실제 유량값을 수용하고 그리고 바람직하게 상기한 바와 같이 처리된다. 도 2에 예시된 유량제어장치는 유량체널(1)에서 기체 또는 액체매체(유체)의 용적유량을 제어하는 비례밸브 유니트(15)를 구동하도록 이들 신호를 디지털형태로 더 처리한다.
본 발명에 따른 유량제어장치의 기본적인 요소는 디지털 제어기(17)와 조절수단(18)이다. 제어기(17)는 바람직하게 PID 제어기이지만 비례 제어기는 P-, I-, 및 D- 비례의 적절한 선택에 의해 수행될 수 있고, 그리고 PI 제어기가 역시 사용될 수 있다. 조절수단(18)은 바람직하게 비례밸브 유니트(15)에 제어신호를 피딩하는 펄스폭 모듈레이터를 포함하고 있다. 물론, 비례밸브는 다른 적절한 밸브수단으로 대체될 수 있다.
디지털 유량제어의 바람직한 실시예에서, 가변 작동 매개변수를 저장하기 위한 적어도 하나의 부가적인 메모리수단이 있다. 이것은 제어기(17)를 위한 제어 매개변수 및/또는 펄수폭 모듈레이터(18)를 위한 조절 매개변수를 저장한다. 이러한 메모리수단은 바람직하게 프로그램된다. 이것은 또한 이러한 메모리내에 작동 매개변수의 외부입력을 위해 구비될 수 있다. 이러한 목적을 위해서 디지털 신호 처리기(16)는 바람직하게 외부 네트워크에 연결된다.
도 2에 도시된 실시예의 경우에, 메모리수단은 제어 매개변수 메모리(19)와 조절 매개변수 메모리(20)로 구성되어 있다. 실제과정에서 제어 매개변수 메모리(19)는 PID 세팅 메모리이고 그리고 조절 매개변수 메모리(20)는 PWM 세팅 메모리이다. 도 2는 여러 가지 요소가 상호 연결되는 방법을 설명하고 있다.
유량제어는 다음과 같이 이루어진다. 원한다면, 적당하게 보정된, 선형화된, 그리고 표준화된 도 1의 유량측정장치로부터의 디지털 실제 유량값은 디지털 신호 처리기(DSP)내에 입력된다. 원하는 유량값이 DSP(16)의 제 2입력단자내에 들어갈 수 있다. DSP(16)는 실제 및 원하는 값을 비교하고 그리고 이들 2개의 값 사이의 차이를 반영하는 디지털 출력신호를 발생한다. 이러한 출력신호는 하류에 연결된 제어기(17)에 적용된다. 제어기(17)는 그 하류에 연결된 펄스폭 모듈레이터(PWM)(18)를 위한 대응 제어신호를 발생하고 그리고 비례밸브 유니트(15)를 차례로 구동한다.
작동제어를 위해 필요한 제어기(17)의 제어특성의 비례, 적분, 및 미분부분은 DSP(16)에 의해 직접 주어지거나 또는 부가적인 PID 세팅 메모리(19)로부터 불러올 수 있다. 후자는 유량제어장치의 제어특성이 특정 플랜트 구성에 맞다면 특히 유용하다. 이 경우에, 제어 매개변수는 바람직하게 플랜트가 작동되기 전에 최적화되고 그리고 PID 세팅 메모리(19)에 디지털적으로 확실히 저장된다. 이러한 처리방법을 정적 방법(static metod)이라고 한다.
동적 방법(dynamic method)이라고 부르는 대체개념에 따라서, 제어기(17)를 위해 예정된 최적의 비례, 적분, 및 미분부분은 각각 작동상태에 응답하여 결정된다. 이러한 목적을 위해서 DSP(16)는 플랜트의 임의의 부분으로부터 또는 외부의 네트워크로부터 DSP(16)로 들어가는 작동상태신호를 근거로 작동상태를 결정한다. 이러한 작동상태에 응답하여, DSP(16)는 비례, 적분, 및 미분부분 자체, 즉 제어기(17)를 위한 매개변수를 계산할 수 있고 또는 제어기(17)를 적절히 조절하기 위해서 PID 세팅 메모리(19)에서 대응하는 값에 액세스할 수 있다.
그러므로, PID 세팅 메모리가 작동상태등을 위한 곡선족 또는 복수의 매개변수세트를 포함하는 것이 편리하다.
물론, 정적 및 동적 방법이 조합하여 사용될 수 있다. 정상작동동안에, 예를 들면 제어기(17)에 주어지는 소정의 매개변수는 PID 세팅 메모리(19)로부터 취할 수 있고, 그리고 특정 작동상태동안(즉, 플랜트의 시동, 실제값과 원하는 값의 극심한 편차, 또는 플랜트의 장애)에 DSP(16)는 이러한 특별한 상태의 일을 알자마자 일정한 제어특성을 받는다.
상기한 바와 같이, PWM(18)은 비례밸브 유니트(15)를 구동하도록 구비되어 있다. 도 2에 도시된 실시예에서, 이것은 펄스폭 모듈레이터 세팅 메모리(20)와 결합된다. 이러한 메모리는 PWM(18), 즉 이들 작동상태에 대하여 직접 조절수단을 구동하기 위해서 DSP(16)에서 결정된 작동상태에 응답하여 액세스가 향하는 PWM(18)의 일정한 구동 함수를 저장한다. PWM 세팅 메모리(20)의 장치는 제어기(17)를 위한 PID 매개변수를 연산하거나 또는 미리 결정하는 경로 그리고 제어기에서의 이들의 적용을 불필요하게 만든다. 이것은 예를 들면, 유량이 단기간에 완전히 멈추면(즉 도 1의 오프셋 메모리를 위한 편류보정값을 결정하기 위하여), 특히 유용하며, 그리고 그 직후, 셧-다운 전에 유용한 제어값은 복귀된다.
PWM 세팅 메모리(20)로부터 대응하는 예정된 값이 없이, 이 경우에 새로워진 스위치-온에 따라서 실제와 원하는 값 사이의 커다란 차이는 먼저 PID 제어기(17)의 미분부분이 작동되게 하고, 비례부분, 그리고 마지막으로 적분부분이 작동되게 하고 비례밸브 유니트(15)가 한번 더 주어진 원하는 값에 도달되기 전에 제 시간에 상당한 디레이를 포함하게 된다. 그리고, 이러한 경우에 PWM 세팅 메모리(20)의 도움으로 DSP(16)는 즉시 원하는 작동상태를 위한 적절한 설정값을 가져 올 수 있고 그리고 이것을 직접 PWM(18)내에 피딩할 수 있다. 이러한 방식으로 원하는 작동상태는 매우 신속하게 도달된다.
물론, PWM(18)의 다른 세트의 매개변수는 PWM 세팅 메모리(20)에 역시 저장될 수 있어서 DSP(16)가 알려지는 일정한 작동상태에 응답하여 직접 제어기능이 방출될 수 있다. 그러므로, 먼저 PID 세팅 메모리(19)는 특히 유량제어장치의 제어특성을 일정한 플랜트 형태에 맞도록 제어기(17)를 위한 PID 제어기 매개변수의 기억과 신속한 재현 작용을 한다. 한편, PWM 세팅 메모리는 플랜트의 특수 작동상태 또는 장애의 경우에 비례 밸브 유니트(15)의 신속하고 목적에 합치하는 제어를 허용하도록 특히 펄스폭 조절 매개변수의 기억 및 신속한 재현 작용을 한다. 제어기(17)로부터 보정변수의 입력보다 우선하도록 이러한 제어를 위한 설비가 PWM 세팅 메모리를 경유하여 만들어질 수 있다.
양 메모리(18, 19)를 위한 매개변수세트와 마찬가지로 일정한 작동상태는 더 높은 레벨의 네트워크를 경유하여 입력될 수 있다.
상기한 명세서, 청구범위, 그리고 도면에 개시된 특징은 개별적으로 그리고 임의의 조합에서 여러 가지 수정하여 본 발명을 실현하는데 중요하다. 특히, 유체의 유량을 측정하고 제어하기 위한 장치 및 방법은 유량의 거의 완전하게 디지털적으로 측정 및 제어를 달성하기 위해서 바람직하게 조합하여 또는 개별적으로 사용될 수 있다.

Claims (27)

  1. 유체의 용적유량에 의존하는 아날로그 처리변수를 결정하고 얻어진 아날로그값을 디지털값으로 변환하는 측정시스템에 의해 유체의 유량을 측정하는 방법에 있어서, 디지털값은 측정시스템의 작동과정에서 측정시스템의 아날로그성분(4, 5, 6, 7)의 작동 매개변수의 변화에 의존하는 오프셋 값에 의해 보정되는 것을 특징으로 하는 유량 측정방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 용적유량이 0 일 때, 아날로그 처리변수는 작동의 중단동안에 결정되고 그리고 얻어진 값은 디지털 값으로 변환되고, 디지털 값은 메모리되고, 그리고 작동이 재개될 때 메모리된 디지털 값은 오프셋 값으로서 사용되는 것을 특징으로 하는 유량 측정방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 작동동안에 오프셋 값은 모든 디지털 값으로부터 뺀 것을 특징으로 하는 유량 측정방법.
  4. 이전 항들중 어느 한 항에 있어서, 보정된 디지털 값은 측정시스템의 하드웨어 성분(2)에 따라서 측정되는 것을 특징으로 하는 유량 측정방법.
  5. 이전 항들중 어느 한 항에 있어서, 결정된 아날로그 처리 변수는 유체가 흐르는 유동체널(1)에서의 압력차이고, 압력차는 오리피스(2)의 각각의 하류 및 상류에 위치된 2개의 측정지점 사이에서 결정되는 것을 특징으로 하는 유량 측정방법.
  6. 이전 항들중 어느 한 항에 있어서, 보정된 디지털 값은 선형화되어 측정되는 용적유량에 비례하게 되는 것을 특징으로 하는 유량 측정방법.
  7. 이전 항들중 어느 한 항에 청구된 측정방법에 의해 특히 유체의 유량을 측정 및 제어하는 방법에 있어서, 유량측정으로부터 얻어진 값은 사전 처리되고 그리고 디지털 신호 처리기(16)에 적용되며 유량의 제어는 디지털적으로 실행되는 것을 특징으로 하는 유량 측정 및 제어방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 펄스폭 조절은 보정변수를 발생하도록 수행되는 것을 특징으로 하는 유량 측정 및 제어방법.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 작동동안에 디지털 신호 처리기(16)는 보정변수를 조절 및/또는 발생하기 위해 필요한 매개변수에 영향을 줄 수 있는 것을 특징으로 하는 유량 측정 및 제어방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 매개변수는 외부로부터 메모리된, 연산된, 및/또는 입력된 것을 특징으로 하는 유량 측정 및 제어방법.
  11. 유체의 용적유량에 의존하는 아날로그 처리 변수를 결정하기 위한 수단(2, 4-7)으로 구성되고 그리고 얻어진 아날로그 값을 디지털 값으로 변환하기 위한 아날로그/디지털 변환기(8)로 더 구성된 유체 유량측정장치에 있어서,
    오프셋수단(9)은 측정장치의 작동과정에서 발생하는 측정장치의 아날로그성분(4, 5, 6, 7)의 작동 매개변수의 변화에 의존하는 오프셋값에 의해 각각 디지털값을 보정하는 것을 특징으로 하는 유량측정장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 오프셋수단은 기준 용적유량을 위해 얻어진 아날로그값으로부터 유도되는 적어도 하나의 디지털값이 저장되는 오프셋 메모리(9)로 구성되 는 것을 특징으로 하는 유량측정장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 기준 용적유량은 0 인 것을 특징으로 하는 유량측정장치.
  14. 제 11 항 내지 제 13 항중 어느 한 항에 있어서, 측정장치의 작동동안에 각각의 디지털값으로부터 오프셋값을 빼기 위한 감산기(10)로 이루어진 것을 특징으로 하는 유체 유량측정장치.
  15. 제 11 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 측정수단(13)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유량측정장치.
  16. 제 11 항 내지 제 15 항중 어느 한 항에 있어서, 선형화수단(11)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유량측정장치.
  17. 제 11 항 내지 제 16 항중 어느 한 항에 있어서, 아날로그 처리변수를 결정하기위한 수단은 유체가 흐르는 유량채널에서 오리피스(2)로 구성되고 그리고 오리피스의 하류와 상류 각각에 위치한 2개의 측정지점에서 압력센서(4, 5)로 더 구성된 압력차 측정수단인 것을 특징으로 하는 유량측정장치.
  18. 제 11 항 내지 제 17 항중 어느 한 항에 의해 청구된 유량측정장치에 의해 특히 유체의 유량을 측정 및 제어하는 장치에 있어서, 얻어진 값을 디지털적으로 처리하기위한 수단(9-14)과 유량의 중앙제어를 위한 디지털 신호 처리기(16)로 구성된 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  19. 제 18 항에 있어서, 밸브수단(15), 밸브수단의 제어를 위한 밸브 조절수단(18), 그리고 밸브 조절수단의 매개변수를 변화시키기 위한 제어 매개변수 세팅수단(20)으로 구성된 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  20. 제 19 항에 있어서, 밸브 조절수단은 펄스폭 모듈레이터(18)로 구성된 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  21. 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서, 제어 매개변수 세팅수단은 제어 매개변수 메모리(20)로 구성된 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  22. 제 18 항 내지 제 21 항중 어느 한항에 있어서, 디지털 제어수단(17)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  23. 제 22 항에 있어서, 제어수단은 PID 제어기(17)로 구성된 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  24. 제 22 항 또는 제 23 항에 있어서, 제어수단의 매개변수를 변화 시키기 위한 제어 매개변수 세팅수단(19)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  25. 제 24 항에 있어서, 제어 매개변수 세팅수단은 제어 매개변수 메모리(19)로 구성된 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  26. 제 18 항에 있어서, 가변 작동 매개변수를 저장하기 위한 프로그램가능한 메모리수단(19, 20)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
  27. 제 18 항 내지 제 26 항중 어느 한 항에 있어서, 디지털 신호 처리기(16)는 작동 매개변수의 입력을 위해 더 높은 레벨의 네트워크에 연결된 것을 특징으로 하는 유량을 측정 및 제어하는 장치.
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