KR19980080496A - 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치 - Google Patents

Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야

유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치

2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제

방전용기를 시동하기 쉬운 구조로 하여 시동시의 인가전압을 절감하는 것이 가능한 유전체 배리어 방전램프 및 이것을 이용한 유전체배리어 방전램프장치를 제공함.

3. 발명의 해결방법의 요지

방전용기의 대부분이 제 1 의 방전로 길이의 부분이지만, 일부는 제1의 방전로 길이의 부분보다 짧은 제2의 방전로 길이의 부분이며, 제1및 제2의 방전로 길이의 부분을 사이에 두고 방전용기의 외측에 설치된 한 쌍의 전극을 배치함. 방전용기는 엑시머분자를 형성할 수 있는 방전매체를 봉입하고 있다.

한쌍의 전극사이에 비교적 낮은 전압을 인가하여도, 먼저 제 2 의 방전로 길이의 부분에서 방전매체의 절연파괴가 일어나고, 방전의 불씨가 나온다. 방전의 불씨가 나오면, 계속하여 방전이 방전용기내의 전체로 확대되어 유전체배리어 방전램프는 점등한다.

4. 발명의 중요한 용도

자외선광원으로 사용됨.

Description

유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치

본 발명은 유전체배리어 방전램프 및 이것을 쓴 유전체배리어 방전램프장치에 관한 것이다.

최근, 자외선광원으로서 유전체배리어방전을 이용한 유전체배리어 방전램프가 여러가지 제안되어 있다. 이 방전램프는, 자외선투과성의 방전용기내에 엑시머분자를 형성할 수 있는 방전매체를 봉입하여, 방전용기의 벽을 유전체로 하고 한쪽은 메쉬 형상인 한 쌍의 전극을 방전용기의 외면에 설치하여, 전극사이에 고전압을 인가하여 방전시키는 것이다.

이 방전은, 방전용기를 통해서 행하여지므로, 그 형태는 소위 무성방전이라고 하는 다조(多條)방전이고, 방전전류는 펄스형태로 흐른다. 이 펄스형태의 방전전류는 고속의 전자류를 동반하고, 또한 휴지기간이 길기때문에, 방전매체를 다량으로 여기하고, 또한 여기된 물질이 일시적으로 엑시머상태로 결합한다. 그리고, 엑시머상태에서, 기저상태로 되돌아갈 때에 재흡수가 적은 방사를 고효율로 방사한다. 이 다조방전은, 메쉬전극의 메쉬의 교점근방에 있어서 발광이 관측된다.

따라서, 유전체배리어 방전램프에 있어서, 한편의 전극에 메쉬전극을 쓰는 이유는, 큰 면적에 걸쳐 안정된 방전을 발생시키기 위해서이다. 또한, 메쉬전극을 통과하여 방사를 외부에 도출시킬 수 있다.

이 종류의 방전 램프의 일례로서, 일본국 특개평 6-310102호 공보에는, 메쉬를 구성하는 도전성소선의 굵기와 각 메쉬의 면적을 규정함으로써, 광출력을 안정시킴과 동시에, 빛의 방출 효율을 높게 하는 구성이 제안되어 있다. 또한, 그 실시형태로서, 링형상의 게터를 방전용기의 외측관에 설치한 돌기부에 의해서 고정설치하는 것이 개시되어 있다.

상술한 바와 같이 유전체배리어 방전램프는, 뛰어난 특성을 갖지만, 방전용기를 유전체로 하는 방전이기때문에, 수 KV의 고전압을 인가할 필요가 있었다. 특히 시동시에는 더욱 높은 전압을 인가해야만 한다.

또한, 봉입하는 방전매체에 따라서는, 불순 가스가 혼입되기 쉬운 관계로, 확실한 시동를 위해서는, 정격점등전압의 1.2∼1.5배정도의 고전압을 인가해야 하였다.

본 발명은, 방전용기를 시동하기 쉬운 구조로 하여 시동시의 인가전압을 저감할 수 있는 유전체배리어 방전램프 및 이것을 사용한 유전체배리어 방전램프장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1는, J. M. Meek, J. D. Craggs 공저, John Wiley Sons사 발행의「Electrical Breakdown of gases」의 도 6. 10로부터 인용한 그래프.

도 2는, 본 발명의 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치의 제 1의 실시형태를 나타내는 종단면적 개념도.

도 3는, 동 유전체배리어 방전램프의 횡단면도.

도 4는, 본 발명의 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치의 제 2의 실시형태를 나타내는 종단면적 개념도.

도 5는, 동 유전체배리어 방전램프의 횡단면도.

도 6은, 본 발명의 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치의 제 3의 실시형태를 나타내는 종단면적 개념도.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 유전체배리어방전 램프 1a : 방전용기

1a1 : 제1의 방전로 길이 부분 1a2 : 제2의 방전로 길이 부분

1a_I: 내관 1a_J: 접속부

1a_L: 확대지름부 1a_O: 외관

1a_R: 함몰부 1b1 : 전극

1b2 : 전극 2 : 고주파전원

본 발명의 제 1 실시형태에 의한 유전체배리어 방전램프는, 적어도 일부가 방사투과성임과 동시에, 내부의 방전공간의 대부분이 제1의 방전로(放電路) 길이의 부분이지만 일부는 제1의 방전로 길이의 부분보다 짧은 제2의 방전로 길이의 부분인 방전용기와 ; 방전용기내에 봉입된 엑시머분자를 형성할 수 있는 방전매체와 ; 방전용기의 제1 및 제2의 방전로 길이의 부분을 사이에 두고 방전용기의 외측에 설치된 한 쌍의 전극을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명 및 이하의 각 발명에 있어서, 특히 지정하지 않는 이상, 용어의 정의 및 기술적 의미는 다음과 같이 한다.

우선, 방전용기에 관해서 설명한다.

방전용기는, 적어도 전극에 대향하는 부분이 유전체로서 작용함과 동시에, 내부에 방전매체를 봉입해 놓은 기밀성을 구비한다. 또한, 방전에 의해서 발생한 방사중, 원하는 파장대역의 파장을 포함하는 방사를 도출하는 기능을 적어도 일부가 구비하고 있으면 좋고, 특정한 재질에 한정되지 않는다. 그러나, 일반적에는 석영 유리로써 방전용기를 형성하는 것이 적당하다.

또한, 방전용기는, 그 외측에 한 쌍의 전극을 설치하여 유전체배리어방전을 생기시킬 수 있으면, 특정한 형상, 구조에 한정되지 않는다. 그러나, 일반적으로는 원통형을 이루는 것이 실제적이다.

또한 방전용기는, 내부에 형성되는 방전로가 안정점등에 기여하는 제1의 방전로 길이의 부분과, 적어도 시동시에 기여하는 제2의 방전로 길이의 부분을 구비하고 있다. 그리고, 제2의 방전로 길이의 부분은, 제1의 방전로 길이의 부분보다 짧으면, 그 위치, 형상 및 사이즈증이 특정한 구성인 것을 요구하지 않는다. 제2의 방전로 길이의 부분은, 시동시에 인가해야 할 전압의 값을 좌우하기때문에, 원하는 전압을 인가할 수 있도록 적당한 방전로 길이로 설정하는 것으로 한다.

또한, 방전용기의 내면에 방전매체에 대한 보호막을 형성하여도 좋다. 예를들면, 방전매체의 성분에 후술하는 바와 같이 염소를 포함하는 경우에, MgF₂막을 형성하면, 염소에 의한 방전용기의 손상을 감소할 수 있다.

또한, 방전매체는 방전에 의해서 자외선을 발생하지만, 가시광을 방사시키고 싶은 경우에는, 방전용기의 내면측에 자외선에 의해서 여기되는 형광체의 층을 형성할 수가 있다. 또, 형광체의 층을 방전용기의 내면측에 형성한다는 것은, 방전용기의 내면에 직접형 광체층을 형성하는 것, 및 보호층등을 통해 형광체층을 형성하는 것을 포함하는 의미이다.

다음에, 방전매체에 관해서 설명한다.

방전매체는, 엑시머분자를 형성할 수 있는 것이면, 특정한 매체에 한정되지 않는다. 예를들면, 크세논, 아르곤, 헬륨등의 희가스나 XeC1, KrCl, ArCl등의 희가스할로겐화물등을 이용할 수 있다. 희가스 할로겐화물인 경우, 희가스와 할로겐과를 각각 단체(單體)로 방전용기에 봉입하여도 좋다.

전극에 관해서 설명한다.

전극을 통하여 방사를 도출하는 경우에는 도출측의 전극을 메쉬구조로 할 수 있다. 메쉬는, 금속망체, 펀칭 금속판등에 의해서 얻을 수 있다.

따라서, 전극을 통하여 방사를 도출할 필요가 없는 경우에는, 메쉬일 필요가 없다. 그러나, 이러한 경우에 있어서도, 메쉬전극을 쓰더라도 지장이 없다.

방전용기의 제2의 방전로 길이의 부분에 있어서도, 전극을 해당 부분에 배치하는 것으로 한다. 또, 상술한 종래 기술에 있어서의 방전용기의 돌기부는, 오로지 게터를 고정설치하기 위해서만 기능하는 것이다. 이 돌기부에는, 전극이 배치되어 있지 않으므로, 시동성향상의 작용은 기대할 수 없다.

본 발명의 작용에 관해서 설명한다.

한 쌍의 전극사이에 전압을 인가하면, 제2의 방전로 길이의 부분에 있어서 방전매체의 절연파괴가 일어나, 방전의 불씨가 생긴다. 방전의 불씨가 생기면, 잇따라 방전이 방전용기내의 전체에 퍼져, 유전체배리어 방전램프가 점등한다.

본 발명에 있어서는, 방전용기의 제2의 방전로 길이의 부분에서 방전이 개시하기때문에, 인가전압을 낮게 할 수가 있다.

도 1은, J.M.Meek, J.D.Craggs공저, John Wiley Sons사발행의 「Electrical Breakdown of gases」의 도 6. 10에서 인용한 그래프이다.

도면에 있어서, 가로축은 가스의 압력과 전극간격과의 곱 p₀d(torr cm)를, 세로축은 브레이크다운 전압 V_S(V)를, 각각 나타낸다.

이 도 1은, 가스압이 충분히 높은 조건하에서는, 같은 가스압이라도 전극사이의 거리가 짧아지면, 브레이크다운 전압이 감소하는 것을 나타내고 있다. 본 발명이 성립하는 것은, 이 도 1에 의해서도 이해할 수가 있다.

그리고, 제2의 방전로 길이의 부분은, 제1의 방전로 길이의 부분에 비해 약간 광량이 많아지지만, 제2의 방전로 길이의 부분은 전체에 대한 극히 일부로 좋기 때문에, 영향을 적게 할 수 있다.

본 발명에 있어서는, 상술한 바와 같이 시동전압이 저하하기 때문에, 시동시에 인가하는 전압을 안정점등시에 인가하는 전압과 같은 값으로 할 수 있다. 그러나, 본 발명은 안정점등때의 인가전압보다 어느정도 높은 전압을 인가하는 것도 허용한다. 이 경우에 있어서도, 종래부터 훨씬 낮은 전압으로 해결된다.

본 발명의 제 2 실시형태에 의한 유전체배리어 방전램프는, 제 1 실시형태에 기재된 유전체배리어 방전램프에 있어서, 방전용기는, 내관과, 내관의 외측에 간격을 형성하여 위치하는 외관, 및 내관과 외관의 양끝단을 접속하는 접속부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 방전용기의 방전공간은 원통형이 된다. 이 방전용기는, 유전체배리어 방전램프에 있어서, 컴팩트한 구조이다.

내관 및 외관은, 일반적으로 각각 원통체를 쓰지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 타원통체등의 비원통체를 쓸 수 있다.

제2의 방전로 길이의 부분은, 방전용기의 임의의 위치에 형성할 수가 있다. 예를 들면, 방전용기의 축방향의 일끝단부에서, 내관측 또는 외관측에 형성할 수 있다. 또한, 제2의 방전로 길이의 부분은, 방전용기의 축방향의 전체 길이에 걸쳐 형성하여도 좋다.

한 쌍의 전극의 한쪽을 메쉬전극으로 하는 경우, 내관 및 외관의 어느 한쪽의 전극을 메쉬전극으로 하여도 좋다.

본 발명의 제 3 실시형태에 의한 유전체배리어 방전램프는, 제 2 실시형태에 기재된 유전체배리어 방전램프에 있어서, 방전용기는 내관의 일부가 지름이 확대되어, 제2 방전로 길이의 부분을 형성하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서, 제2의 방전로 길이의 부분은, 내관의 축방향의 임의의 위치에 형성할 수가 있다. 예를들면 축방향의 끝단부 내지 중간부의 어느쪽이라도 좋다.

또한, 필요하면, 제 2의 방전로 길이의 부분을 2곳 이상 형성할 수도 있다. 또한 지름이 확대된다는 것은, 내관의 방전용기의 내면측이 되는 바깥지름부분을 크게하여 해 놓은 것을 말한다.

이와 같이, 본 발명에 있어서는, 제2의 방전로 길이의 부분을 내관의 일부 지름을 확대함으로써 형성하기 때문에, 내관의 성형이 비교적 용이함과 동시에, 제2의 방전로 길이의 부분에 전극을 설치하는 것도 용이하다.

본발명의 제 4 실시형태에 따른 유전체배리어 방전램프는, 제 2 실시형태에 기재된 유전체배리어 방전램프에 있어서, 방전용기는, 내관이 외관에 대하여 편심하고 있는 것에 의하여 제2의 방전로 길이의 부분을 형성하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 방전용기를 형성하는 데에 있어서, 내관을 상대적으로 편심시키는 것만으로 좋으므로, 내관 및 외관을 특별하게 가공하지 않아도 제2 방전로 길이의 부분을 용이하게 형성할 수가 있고, 방전용기의 구조가 간단하다.

본 발명의 제 5 실시형태에 의한 유전체배리어 방전램프는, 제 1 실시형태 또는 제 2 실시형태에 기재된 유전체배리어 방전램프에 있어서, 방전용기는, 일부가 함몰하고 있는 것에 의하여 제2 방전로 길이의 부분을 형성하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 있어서는, 제2의 방전로 길이를 형성하는 부분을 임의의 크기, 예를들면 최소로 할 수 있다.

본 발명의 제 6 실시형태에 의한 유전체배리어 방전램프장치는, 제 1 실시형태 내지 제 5 실시형태중의 어느 하나에 기재된 유전체배리어 방전램프와 ; 유전체배리어 방전램프의 한 쌍의 전극에 접속된 고주파전원을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 제 1 실시형태 내지 제 5 실시형태의 특징 및 작용을 갖는 유전체배리어 방전램프장치이다.

(실시예)

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 2는, 본 발명의 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치의 제1 실시형태를 나타내는 종단면적 개념도이다.

도 3은, 마찬가지로 유전체배리어 방전램프의 횡단면도이다.

각 도면에 있어서, (1)은 유전체배리어 방전램프, (2)는 고주파전원이다.

유전체배리어 방전램프(1)는, 방전용기(1a) 및 한 쌍의 전극(1b1, 1b2)로 구성되어 있다.

우선, 방전용기에 관해서 설명한다.

방전용기(1a)는, 석영 유리로 이루어지고, 제1의 방전로 길이의 부분(1a1) 및 제2의 방전로 길이의 부분(1a2)을 구비하고 있다. 제1의 방전로 길이의 부분(1a1)은, 내관(1a_I)과, 내관(1a_I)의 외측에 간격을 두고 동심적으로 설치된 외관(1a_O) 및, 내관(1a_I)과 외관(1a_O)을 기밀하게 접속하는 접속부(1a_J)에 의해서 구성되어 있다.

또한, 제2의 방전로 길이를 형성하는 부분(1a2)는, 내관(1a_I)의 일끝단부에 형성된 지름확대부(1a_L), 외관(1a_O) 및 지름확대부(1a_L)와 외관(1a_O)을 접속하는 접속부(1a_J)에 의하여 구성되어 있다.

방전용기(1a)의 사이즈는, 이하와 같다.

방전용기(1a)의 전체 길이는 200 mm, 외관(1a_O)의 외경은 30 mm, 내관(1a_I)의 내경은 18 mm, 지름확대부(1a_L)의 내경은 22 mm, 외관(1a_O) 및 내관(1a_I)의 두께는 모두 1 mm 이다.

따라서, 제1의 방전로 길이의 부분(1a1)은 4 mm, 제2의 방전로 길이 부분(1a2)은 2 mm 이다.

방전용기(1a)내에는 방전매체로서 크세논을 53000 Pa의 압력으로 봉입하였다.

다음에, 전극에 관해서 설명한다.

방전용기(1a)의 외관(1a_O)의 바깥면에 밀착하여 배치한 전극(1b1)은, 스텐레스제의 메쉬전극이다.

내관(1a_I)의 외면에 밀착하여 설치한 전극(1b2)는, 알루미늄제인 판체이다. 알루미늄판체의 방전용기(1a)에 면하는 표면은 연마하여 거울면으로 형성하고 있어, 방사의 집광효율을 높이게 되어 있다. 그리고, 전극(1b1) 및 (1b2)는, 방전용기(1a)의 제1의 방전로 길이의 부분(1a1)만이 아니라, 제2의 방전로 길이의 부분(1a2)에도 설치되어 있다.

고주파전원에 관해서 설명한다.

고주파전원(2)는, 40 KHz의 고주파전압을 발생하여, 유전체배리어 방전램프(1)의 양전극(1b1, 1b2)에 고주파전력을 공급한다.

마지막으로, 작용에 관해서 설명한다.

본 발명의 작용을 확인하기 위해서, 상술한 구조의 본 발명의 제1의 실시형태의 유전체배리어 방전램프와, 지름확대부(1a_L)에 대향하는 전극부분을 잘라없앤 비교용 유전체배리어 방전램프를 준비하였다.

출력전압을 가변으로 한 고주파전원을 각각의 유전체배리어 방전램프(1)의 양전극(1b1) 및 (1b2)에 접속하여, 유전체배리어 방전램프(1)에 대한 인가전압을 서서히 상승시켜가면서, 유전체배리어 방전램프를 관찰하였다.

그 결과, 비교용의 유전체배리어 방전램프는, 1.8 KV에서 시동하였다. 즉, 시동전압은 1.8 KV 이다.

이에 대하여, 본 발명의 제1의 실시형태의 유전체배리어 방전램프는, 1.33 KV에서 시동하였다. 즉, 시동전압은 1.33 KV이고, 비교용의 유전체배리어 방전램프의 시동전압의 74% 이었다.

상기와 동일구조의 유전체배리어 방전램프를 각각 5개씩 제작하여 동일하게 측정한 결과, 그 평균치는 72% 이었다.

도 4는, 본 발명의 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치의 제2의 실시형태를 나타내는 종단면적 개념도이다.

도 5는, 마찬가지로 유전체배리어 방전램프의 횡단면도이다.

각 도면에 있어서, 도 2 및 도 3과 동일부분에는 동일부호를 붙이고 설명은 생략한다.

본 실시형태는, 제2의 방전로 길이의 부분의 구성이 다르다. 즉, 내관(1a_I)는 지름이 균일하지만, 외관(1a_O)에 대하여 편심하고 있다. 이에 따라, 방전용기(1a)의 축방향에 따라 제1의 방전로 길이 부분(1a1)이 도면에 있어서 아래쪽으로, 또 제2의 방전로 길이 부분(1a2)이 마찬가지로 위쪽에, 각각 형성되어 있다.

방전용기(1a)의 사이즈가 내관(1a_I)의 지름이 전체길이에 걸쳐 20 mm로 균일한 이외는, 제1의 실시형태와 동일 사이즈이다. 그리고, 제2의 방전로 길이의 부분(1a2)의 최소치는 2 mm, 제1의 방전로 길이의 부분(1a2)의 최대치는 6 mm 이다. 제1의 방전로 길이의 부분(1a1)로부터 제2의 방전로 길이의 부분(1a2)으로 연속적으로 방전로 길이가 변화하고 있다.

본 실시형태에 있어서의 시동전압은, 상기 비교용인 유전체배리어 방전램프에 있어서의 시동전압의 73% 이었다.

본 실시형태의 유전체배리어 방전램프인 경우, 무성방전이라고 불리는 다조방전이 제2의 방전로 길이 부분(1a2)쪽에서 많이 발생하고, 반대로 제1의 방전로 길이 부분(1a1)의 최대치의 쪽으로는 적은 경향에 있지만, 반사경등에 의해서 적분하면, 거의 문제가 되지 않는다.

도 6은, 본 발명의 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치의 제3의 실시형태를 나타내는 종단면적 개념도이다.

도면에 있어서, 도 1과 동일부분에는 동일부호를 붙이고 설명은 생략한다.

본 실시형태는, 제2의 방전로 길이의 부분의 구성이 다르다. 즉, 제2의 방전로 길이의 부분(1a2)은, 내관(1a_I)의 일부에 함몰부(1a_R)를 형성함으로써 형성되어 있다.

이상의 각 실시형태에 있어서, 제2의 방전로 길이의 부분(1a2)의 거리를 제1의 방전로 길이 부분(1a1)의 그것에 대하여 변화시켜 시동전압에 주는 영향에 관해서 실험을 한 결과, 어느쪽의 실시형태에 있어서도 거리가 1/2가 되면 약 75%, 3/4이 되면 약 88% 이었다.

또한 제2의 방전로 길이 부분의 축방향의 길이에 관해서 실험한 바, 축방향의 길이는 시동전압에 너무 영향을 주지 않고, 1 mm 이상 있으면 충분한 것을 알 수 있었다.

제 1 내지 제 5 실시형태의 각 발명에 의하면, 소정의 제1의 방전로 길이의 부분보다 짧은 제2의 방전로 길이의 부분을 방전용기에 형성함으로써, 인가전압이 낮더라도 시동하는 유전체배리어 방전램프를 제공할 수가 있다.

제 2 실시형태의 발명에 의하면, 그에 덧붙여 방전용기가 내관과 내관의 외측에 간격을 두고 위치하는 외관을 접속부에 의해서 접속하여 구성되어 있음으로써, 조밀한 방전용기를 구비한 유전체배리어 방전램프를 제공할 수가 있다.

제 3 실시형태의 발명에 의하면, 그에 덧붙여 내관의 일부가 지름이 확대하여 제2의 방전로 길이의 부분을 형성하고 있는 것에 의해, 제1의 방전로 길이의 부분이 일정하면서 제2의 방전로 길이의 부분을 형성한 유전체배리어 방전램프를 제공할 수가 있다.

제 4 실시형태의 발명에 의하면, 그에 덧붙여 외관에 대하여 내관을 편심시켜 제2의 방전로 길이의 부분을 형성하고 있는 것에 의해, 방전용기의 구조가 간단한 유전체배리어 방전램프를 제공할 수가 있다.

제 5 실시형태의 발명에 의하면, 그에 덧붙여 방전용기의 일부를 함몰시켜 제2의 방전로 길이의 부분을 형성하고 있는 것에 의해, 제2의 방전로 길이의 부분이 임의의 크기 예를들면 최소인 유전체배리어 방전램프를 제공할 수가 있다.

제 6 실시형태의 발명에 의하면, 제 1 실시형태 내지 제 5 실시형태에 기재된 효과를 갖는 유전체배리어 방전램프장치를 제공할 수가 있다.

Claims (3)

1. 적어도 일부가 방사투과성임과 함께, 내부의 방전공간의 대부분이 제1의 방전로 길이의 부분이지만, 일부는 제1의 방전로 길이의 부분보다 짧은 제2의 방전로 길이의 부분인 방전용기와 ;

   방전용기내에 봉입된 엑시머분자를 형성할 수 있는 방전매체와 ;

   방전용기의 제1및 제2의 방전로 길이의 부분을 사이에 두고 방전용기의 외측에 설치된 한 쌍의 전극을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유전체배리어 방전램프.
2. 제 1 항에 있어서, 방전용기는, 내관, 내관의 외측에 간격을 형성하여 위치하는 외관 및, 내관 및 외관의 양끝단을 접속하는 접속부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프.
3. 청구항 1 또는 2 의 어느 한항에 기재된 유전체배리어 방전램프와 ;

   유전체배리어 방전램프의 한 쌍의 전극에 접속된 고주파전원을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유전체배리어 방전램프장치.