KR19980078738A - 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치 - Google Patents
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Abstract
로드로크 챔버(Loadlock Chamber) 내부에서 카세트에 실린 웨이퍼가 피봇플레이트(Pivot Plate)에 의하여 상하구동될 때 진동에 의한 카세트 또는 웨이퍼의 위치 이동으로 발생될 수 있는 웨이퍼의 손상이 방지되도록 개선된 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 로드로크 챔버 내부로 피봇플레이트 상부에 웨이퍼를 실은 카세트를 로딩하는 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치에 있어서, 상기 피봇플레이트에 설치되어 진동을 감지하는 센싱수단, 상기 센싱수단으로부터 인가되는 센싱신호로 진동정도를 판단하여 제어신호를 출력하는 웨이퍼 핸들러 컨트롤러 및 상기 웨이퍼 핸들러 컨트롤러로부터 인가되는 제어신호에 의하여 웨이퍼 로딩에 대한 인터로크 동작을 수행하는 메인 컨트롤러를 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 로드로크 챔버 내부에서의 웨이퍼의 손상이 방지됨으로써 웨이퍼의 수율이 극대화되는 효과가 있다.
Description
본 발명은 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로드로크 챔버(Loadlock Chamber) 내부에서 카세트에 실린 웨이퍼가 피봇플레이트(Pivot Plate)에 의하여 상하구동될 때 진동에 의한 카세트 또는 웨이퍼의 위치 이동으로 발생될 수 있는 웨이퍼의 손상이 방지되도록 개선된 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치에 관한 것이다.
통상, 이온주입설비는 웨이퍼의 특정 부분에 불순물을 주입시켜서 전기적 특성을 갖도록 하는 장치로써, 이는 이온발생 및 추출부, 분석부, 가속부 및 이온주입부 등으로 구분될 수 있으며, 이온주입부의 디스크에 이온주입이 수행될 웨이퍼가 장착된다.
웨이퍼는 로드로크 챔버(도시되지 않음)를 통하여 디스크로 이송되며, 로드로크 챔버에서 카세트에 실린 상태로 웨이퍼가 로딩되고, 카세트는 모터로부터 상하 구동력을 인가받는 피봇플레이트에 실려서 상하 구동된다.
피봇플레이트는 모터로부터 인가되는 상하 구동력에 따라서 정해진 경로 상을 이동하게 되는데, 상하 구동될 때 진동이 발생된다.
피봇플레이트의 심한 진동은 피봇플레이트의 상부의 카세트와 웨이퍼에 영향을 주게 되며, 진동에 의하여 카세트는 피봇플레이트 상부에서 위치가 변경되고, 진동에 의해 웨이퍼는 카세트의 슬롯으로부터 소정 길이로 빠져서 카세트 외부로 돌출된다.
만약 웨이퍼가 소정 길이 돌출된 상태에서 피봇플레이트가 상하 구동되면, 웨이퍼는 웨이퍼 핸들러와 충돌하게 되고, 그에 따라 웨이퍼가 물리적으로 손상되거나 파손된다.
또한, 카세트가 위치가 변경된 상태에서 구동된 후 웨이퍼 핸들러가 웨이퍼를 이송하고자 하면, 웨이퍼 핸들러와 웨이퍼 또는 카세트 간의 충돌이 발생되고 정확한 웨이퍼의 이송이 어려워진다.
또한 전술한 진동에 의하여 로드로크 챔버내부에 웨이퍼나 카세트로부터 분진이 발생되었으며, 웨이퍼는 긁힘이 발생된다.
전술한 바와 같이 종래에는 이온주입을 수행하기 위하여 웨이퍼가 로드로크 챔버를 통하여 이온주입부로 이송될 때 진동에 의하여 발생되는 분진에 의하여 웨이퍼나 로드로크 챔버가 오염되거나 웨이퍼가 심하게 손상되었으므로, 수율이 저하되는 등의 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 이온주입을 수행하고자 웨이퍼가 로드로크 챔버 내부에서 상하 로딩될 때 진동이 심하게 발생되면 이를 감지하여 구동을 중지하여 웨이퍼 손상을 방지하기 위한 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치를 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치의 실시예를 나타내는 블록도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 웨이퍼 12 : 카세트
14 : 피봇플레이트 16 : 축
18 : 모터 20 : 센서
22 : 로드로크 인터페이스부 24 : 웨이퍼 핸들러 컨트롤러
26 : 메인 컨트롤러 28 : 터치스크린
30 : 경보부
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치는, 로드로크 챔버 내부로 피봇플레이트 상부에 웨이퍼를 실은 카세트를 로딩하는 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치에 있어서, 상기 피봇플레이트에 설치되어 진동을 감지하는 센싱수단, 상기 센싱수단으로부터 인가되는 센싱신호로 진동정도를 판단하여 제어신호를 출력하는 웨이퍼 핸들러 컨트롤러 및 상기 웨이퍼 핸들러 컨트롤러로부터 인가되는 제어신호에 의하여 웨이퍼 로딩에 대한 인터로크 동작을 수행하는 메인 컨트롤러를 구비하여 이루어진다.
그리고, 상기 메인 컨트롤러에 경보동작을 수행하는 경보수단과 상기 메인 컨트롤러에 인터로크 동작에 대한 메시지가 출력되는 터치스크린이 더 구성될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1을 참조하면, 본 발명에 따른 실시예는 웨이퍼(10)가 실리는 카세트(12)가 피봇플레이트(14) 상부에 위치되고, 피봇플레이트(14)는 축(16)을 통하여 모터(18)로부터 상하 구동력을 전달받도록 구성되어 있다.
그리고, 피봇플레이트(14)에는 진동을 감지하기 위한 센서(20)가 설치되어 있으며, 센서(20)는 진동을 감지한 센싱신호를 로드로크 인터페이스부(22)로 인가하도록 연결되어 있으며, 로드로크 인터페이스부(22)는 웨이퍼 핸들러 컨트롤러(24)로 센싱신호를 전달하도록 구성되어 있고, 웨이퍼 핸들러 컨트롤러(24)는 센싱신호의 상태를 판단하여 메인 컨트롤러(26)로 현재 판단된 진동상태에 대한 정보를 전송하도록 구성되어 있으며, 메인 컨트롤러(26)는 터치스크린(28)과 경보부(30)가 연결되어 있어서 경보동작을 수행하도록 구성되어 있다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예는 진동이 정해진 정도 이상 발생되면 웨이퍼 핸들러의 동작과 이온주입공정의 진행을 중지한다.
즉, 웨이퍼(10)가 카세트(12)에 실려서 로드로크 챔버 내부의 피봇플레이트(14)에 위치되면, 모터(18)는 구동력을 축(16)을 통하여 피봇플레이트(14)로 전달하고, 그에 따라서 카세트(12)를 실은 피봇플레이트(14)는 상하 구동된다.
피봇플레이트(14)가 상하 구동될 때 센서(20)는 진동에 대한 센싱신호를 로드로크 인터페이스부(22)를 통하여 웨이퍼 핸들러 컨트롤러(24)로 입력한다.
웨이퍼 핸들러 컨트롤러(24)는 입력되는 센싱신호를 판단하여 정해진 정도 이상으로 진동이 발생됨이 판단되면 웨이퍼 핸들러의 동작을 중지시키고, 메인 컨트롤러(26)로 그에 대한 데이터를 전송한다.
그러면, 메인 컨트롤러(26)는 로드로크 챔버의 피봇플레이트(14)의 구동을 중지시킴과 동시에 경보부(30)로 제어신호를 출력하여 경보동작을 수행시키고 터치스크린(28)으로 경보상황에 대한 디스플레이신호를 출력한다.
여기에서 경보부(30)는 통상적으로 경보동작을 위하여 구성가능한 부저 또는 발광장치로 이루어질 수 있고, 터치스크린(28)은 이온주입공정의 진행을 제어하기 위한 키신호를 메인 컨트롤러(26)로 입력하도록 구성된 것으로서 경보가 발생되면 그에 따른 명령조작이 처리되도록 구성될 수 있다.
전술한 바와 같이 실시예가 동작되므로, 로드로크 챔버 내부에서 피봇플레이트(14)에 발생되는 진동이 카세트(12)의 위치를 이동시키거나 웨이퍼(10)를 슬롯 외부로 돌출시키는 정도로 발생되면, 웨이퍼 로딩 및 이송동작이 중지된다.
그러므로, 로드로크 챔버 내부의 분진발생과 이송중인 웨이퍼의 물리적인 손상이 방지될 수 있고, 과진동이 발생된 경우 웨이퍼 이송이 중지되고 그에 대한 적절한 조처가 취해질 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 로드로크 챔버 내부에서의 웨이퍼의 손상이 방지됨으로써 웨이퍼의 수율이 극대화되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (3)
- 로드로크 챔버 내부로 피봇플레이트 상부에 웨이퍼를 실은 카세트를 로딩하는 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치에 있어서,상기 피봇플레이트에 설치되어 진동을 감지하는 센싱수단;상기 센싱수단으로부터 인가되는 센싱신호로 진동정도를 판단하여 제어신호를 출력하는 웨이퍼 핸들러 컨트롤러; 및상기 웨이퍼 핸들러 컨트롤러로부터 인가되는 제어신호에 의하여 웨이퍼 로딩에 대한 인터로크 동작을 수행하는 메인 컨트롤러;를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 메인 컨트롤러에 경보동작을 수행하는 경보수단이 더 구성됨을 특징으로 하는 상기 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 메인 컨트롤러에 인터로크 동작에 대한 메시지가 출력되는 터치스크린이 더 구성됨을 특징으로 하는 상기 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970016336A KR19980078738A (ko) | 1997-04-29 | 1997-04-29 | 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| KR19980078738A true KR19980078738A (ko) | 1998-11-25 |
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ID=65990110
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| KR1019970016336A KR19980078738A (ko) | 1997-04-29 | 1997-04-29 | 이온주입설비의 엘리베이터 진동 감지 장치 |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR19980078738A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160085656A (ko) * | 2015-01-08 | 2016-07-18 | (주)티티에스 | 웨이퍼 손상 방지 장치 |
-
1997
- 1997-04-29 KR KR1019970016336A patent/KR19980078738A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160085656A (ko) * | 2015-01-08 | 2016-07-18 | (주)티티에스 | 웨이퍼 손상 방지 장치 |
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