KR19980050037U - 현상액의 버블 자동 제거장치 - Google Patents

현상액의 버블 자동 제거장치 Download PDF

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KR19980050037U
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김영환
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Abstract

본 고안은 노광된 감광막을 제거하기 위하여 분사되는 현상액에 존재하는 버블을 자동으로 제거하는 현상액의 버블 자동 제거장치를 개시한다. 개시된 버블 자동 제거장치는 현상액 저장탱크, 버퍼탱크, 플로우 미터, 필러, 워터 재킷, 노즐의 순으로 현상액이 현상된 감광막에 분사되는 현상액 공급장치는 있어서, 상기 버퍼탱크, 필터에 각각 형성되어, 유입된 현상액을 소정시간마다 자동적으로 유동시켜 발생된 버블을 제거하기 위한 버블 제거수단을 구비한다.

Description

현상액의 버블 자동 제거장치
본 고안은 감광막을 이용한 패턴 성형기술에 관한 것으로서, 특히 노광된 감광막의 제거를 위하여 공급되는 현상액에서 버블을 자동적으로 제거하는 현상액의 버블 제거장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 형성을 위하여 사용되는 가장 일반적인 방법은 패턴형성을 위한 대상층 위에 감광막을 도포하고, 마스크를 통하여 광을 조사하여 마스크에 형성된 패턴을 마스크로 전사하는 노광공정을 실시하고, 노광된 감광막을 제거하기 위하여 현상액을 디스펜싱하는 현상공정으로 이루어지는 리소그라피 기술이다.
이러한 리소그라피 기술에서 종래의 현상액 공급과정은 현상액 저장탱크, 버퍼 탱크, 플로우미터, 필터, 워터 재킷, 에어 구동용 밸브, 노즐의 순으로 이루어진다.
상기의 과정에서 버퍼 탱크와 필터에는 수동 밸브가 설치되어 있고, 이는 현상액의 공급시에 닫힌 상태를 유지하고 있기 때문에, 탱크에서 발생된 버블이 노즐을 통하여 웨이퍼에 디스펜싱된다.
그러나, 이러한 버블은 제거되어야 할 감광막이 제거되지 않는 패턴이 형성되어, 결과적으로 형성된 패턴에 미세 브리지를 남기거나, 임계치수에서의 변화를 유발하는 문제점으로 작용한다.
상기한 버블을 제거하기 위하여 버퍼 탱크와 필터에 구비되는 수동밸브를 열어주는 경우에는 버블을 제거뿐만 아니라, 현상액까지도 배출되는 문제점이 존재하게 된다. 또한, 수동밸브의 경우, 작업자가 버블이 생기는 시점을 판단하고 그에 의하여 밸브를 열어주어야 하기 때문에 노동력의 손실을 방생하는 문제가 존재한다.
따라서, 본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 버퍼탱크와 필터의 상단부에 자동밸브를 설치하고, 이의 개폐를 콘트롤러와 타이머에 의하여 자동적으로 실행하여 주므로써, 마이크로 브리지의 발생이나 임계치수의 변화를 방지하는 동시에 노동력을 절감할 수 있는 현상액의 버블 자동 제거장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 고안의 실시예에 따른 현상액의 버블 자동 제거장치의 구성도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1 : 현상액 저장탱크2 : 버블 탱크
3 : 플로우미터4 : 필터
5 : 워터 재킷6-1, 6-2 : 자동밸브
7 : 노즐8-1, 8-2 : 배출박스
9 : 밸브 콘트롤러10 : 타이머
11 : 에어 구동용 밸브12 : 속도 콘트롤러
20 : 현상 스테이지30 : 웨이퍼
본 고안에 따르면, 현상액의 버블 자동 제거장치는 현상액 저장탱크, 버퍼탱크, 플로우 미터, 필러, 워터 재킷, 노즐의 순으로 현상액이 현상된 감광막에 분사되는 현상액 공급장치는 있어서, 상기 버퍼탱크, 필터에 각각 형성되어, 유입된 현상액을 소정시간마다 자동적으로 유동시켜 발생된 버블을 제거하기 위한 버블 제거수단을 구비한다.
[실시예]
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 고안의 실시예에 따른 현상액의 버블 자동 제거장치의 구성도이다.
도 2을 참조하면, 현상용액은 탱크(1), 버퍼 탱크(2), 플로우미터(Flow meter, 3), 필터(4), 워터 재킷(5), 에어 구동용 밸브(11), 노즐(12)의 순서로 이동하여 현상용 웨이퍼 스테이지(20)에 디스펜싱되는데, 상기 웨이퍼 스테이지(20) 위에는 상부는 노광된 감광막이 형성된 웨이퍼(30)가 안치되어 있다.
탱크(1)의 케이컬은 공정용 질소(N2) 가스를 이용하여 버퍼 탱크(2)로 전달되고, 버퍼 탱크(2)에서 플로우 미터(3)로 전달되어 일정한 플로우 율이 유지되는 지가 체크된다. 상기 케이컬의 공급과정에서 버퍼 탱크(2)로 공급된 케미컬에 존재하는 버블은 소정 시간마다 주기적이거나 비주기적으로 열리는 자동밸브(6-1)에 의하여 1차 제거된다.
플로우미터(3)에 필터(4)로 공급된 케미컬에 존재하는 버블 또한, 필터(4)의 상단부에 설치되어 소정시간마다 주기적이나 비주기적으로 열리는 자동밸브(6-2)에 의하여 2차 제거된다. 상기 버퍼 탱크(2)와 필터(4)에 설치되는 자동밸브(6-1, 6-2)는 거기에 연결된 밸브 콘트롤러(9)와 타이머(10)에 의하여 제어된 시간만큼 열리고 닫힌다. 상기 자동밸브(6-1, 6-2)가 열리는 동안 배출되는 케미컬을 담기 위하여 배출박스(8-1)가 연결된다.
버블이 제거되어 워터 재킷(5)으로 이송된 케미컬은 그 곳에서 항상 일정한 온도를 유지한 상태로 에어구동용 밸브(11)를 통하여 노즐(7)로 공급되는데, 이 때, 상기 에어구동용 밸브(11)에는 속도 콘트롤러(12)가 설치되어 있으므로, 케미컬은 속도 콘트롤러(12)에 의해 일정한 속도로 노즐(7)로 공급된다. 공급된 현상액은 노즐(7)을 통하여 웨이퍼 스테이지(20)에 놓인 웨이퍼(30)의 상부에 형성된 노광된 감광막을 현상에 의하여 제거시키고, 배출구를 통하여 스테이지(20)의 하부에 형성된 배출박스(8-2)로 배출된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안의 현상액의 버블 자동 제거장치는 버퍼 탱크와 필터의 상단부에 자동밸브를 설치하고, 이의 개폐를 콘트롤러와 타이머의 의하여 자동적으로 실행하여 버블을 제거하여 주므로써, 버블에 의한 마이크로 브리지의 발생이나 임계치수의 변화를 방지하는 효과를 제공한다. 또한, 버블의 제거를 작업자의 노동력에 의하지 않고 자동으로 실행함으로써, 노동력을 절감할 뿐만 아니라 공정을 안정화시키는 효과도 제공한다.
여기에서는 본 고안의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 실용신안등록청구의 범위는 본 고안의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims (3)

  1. 현상액 저장탱크, 버퍼탱크, 플로우 미터, 필러, 워터 재킷, 노즐의 순으로 현상액이 현상된 감광막에 분사되는 현상액 공급장치는 있어서, 상기 버퍼탱크, 필터에 각각 형성되어, 유입된 현상액을 소정시간마다 자동적으로 유동시켜 발생된 버블을 제거하기 위한 버블 제거수단을 구비한 것을 특징으로 하는 현상액의 버블 자동 제거장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 버블 제거수단은, 타이어와, 상기 타이어의 동작시간을 제어하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러의 제어신호에 따라 소정시간동안 자동으로 열리는 자동밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 현상액의 버블 자동 제거장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 워터 재킷과 노즐사이에 설치된 에어 구동용 밸브와, 상기 에어구동용 밸브로 유입되는 에어의 유입속도를 조절하기 위한 유입 에어 속도 조절부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 현상액의 버블 자동 제거장치.
KR2019960063208U 1996-12-30 1996-12-30 현상액의 버블 자동 제거장치 KR19980050037U (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100336421B1 (ko) * 2000-04-11 2002-05-10 이종갑 기판 자재 제조공정에서의 현상액 거품 제거방법 및제거장치
KR100907878B1 (ko) * 2007-08-29 2009-07-14 주식회사 동부하이텍 현상장치 및 현상방법

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