KR19980034225A - 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치 - Google Patents
반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 장비에 관한 것으로, 일정 길이를 갖는 복수개의 연결축에 의해 서로 고정 연결되는 상부, 하부 캐리어 플레이트와, 상기 연결축과 상부 캐리어 플레이트와 맞닿는 부분에 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여지는 웨이퍼의 무게를 감지해내는 압전 센서와, 상기 상부, 하부 캐리어 플레이트의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여진 웨이퍼의 장수를 감지해내는 카운팅 신호 발생부 그리고 카운팅 신호 검출부와, 상기 상부, 하부 캐리어 플레이트의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여진 웨이퍼의 수평 상태를 감지해내는 레벨링 신호 발생부 그리고 레벨링 신호 검출부를 포함하여 구성되어 다음과 같은 효과를 갖는다.
웨이퍼의 수평이 정확하게 이루어지므로 웨이퍼 로딩 동작시에 웨이퍼와 로딩 수단(로봇 암)의 수평 불량으로 발생하는 로딩 동작의 실패를 막을 수 있어 웨이퍼의 파손 및 시간 손실을 줄이는 효과가 있다.
또한 해당 장비의 표준 캐리어가 아닌 임의의 캐리어를 사용해도 되어 웨이퍼 이동시에 발생하는 웨이퍼의 파손 및 이물질의 점착을 막을 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 장비에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 파손 및 시간 손실등을 줄일 수 있도록 성능을 개선한 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치에 관한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래 기술의 웨이퍼 로딩 장치에 관하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 은 종래 기술의 웨이퍼 로딩 장치의 구성도이다.
반도체 소자의 제조 장비의 대부분은 웨이퍼를 로딩하는 기능을 가지고 있다.
이들 장비의 대부분은 캐리어를 움직이지 않은 상태에서 웨이퍼 센서들을 움직여 웨이퍼를 감지하는 방법을 채택하고 있다.
또 다른 방법으로는 캐리어를 하측에서 상측으로 움직여 웨이퍼를 감지하는 방법을 채택한 장비도 있다.
도 1은 캐리어를 움직여 웨이퍼를 감지하는 반도체 장비(특히 오버레이 측정장비)의 웨이퍼 로딩 장치를 나타낸 것으로 그 구성은 다음과 같다.
웨이퍼를 이동시킬때 사용되는 캐리어에 담겨진 웨이퍼가 놓여지게 되는 캐리어 플레이트(2)와, 캐리어 플레이트(2)에 놓여진 웨이퍼를 이동시키는 로봇 암(3)과, 상기의 캐리어 플레이트(2)에 놓여진 웨이퍼의 장수를 감지하는 센서(1)를 포함하여 구성된다.
상기와 같은 구성을 갖는 종래 기술의 웨이퍼 로딩 장치는 캐리어 플레이트(2)의 웨이퍼 장수는 정확하게 카운트할 수 있으나, 웨이퍼를 로딩시킬 때 로봇 암(3)과 웨이퍼 사이에 정확한 수평과 캐리어의 정확한 이동이 이루어지지 않아 웨이퍼 로딩에 실패할 수도 있다.
상기와 같은 오버레이 측정 장비의 웨이퍼 로딩 장치는 캐리어를 측정 장비위에 놓으면 캐리어 플레이트가 아래로 내려가 위로 올라오면서 센서(1)가 캐리어의 뒷면에서 웨이퍼의 장수를 카운트하게 된다.
그리고나서 웨이퍼 로딩 위치로 움직여 웨이퍼를 로봇 암(3)을 통해서 로딩하게 된다.
상기와 같은 종래 기술의 웨이퍼 로딩 장치는 캐리어를 움직여 웨이퍼를 감지하므로 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 웨이퍼와 로봇 암사이에 정확한 수평을 유지하지 못해 웨이퍼 로딩에 실패하는 경우가 발생할 수 있는데, 이 경우에 웨이퍼가 파손되는 경우가 있다.
둘째, 해당 장비의 표준 캐리어만을 사용해야되므로 웨이퍼를 표준 캐리어에 옮기는 과정에서 웨이퍼에 스크래치가 발생하거나 파티클이 점착되는 문제점이 있다.
셋째, 25개의 슬롯을 갖는 캐리어의 웨이퍼를 전부 감지해내지 못하여(통상적으로 10개정도의 슬롯에 담겨 있는 웨이퍼만을 감지해낼 수 있다.) 웨이퍼의 로딩 동작이 실패할 확률이 높다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 웨이퍼 로딩 장치의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 웨이퍼 파손 및 시간 손실 등을 줄일 수 있도록 성능을 개선한 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래 기술의 웨이퍼 로딩 장치의 구성도
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩 장치의 구성도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
20. 로봇 암21. 상부 캐리어 플레이트
22. 하부 캐리어 플레이트23. 압전 센서
24. 플레이트 연결축25. 플레이트 연결축 지지부
26. 레벨링 신호 발생부27. 카운팅 신호 발생부
28. 레벨링 신호 검출부29. 카운팅 신호 검출부
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치는 일정 길이를 갖는 복수개의 연결축에 의해 서로 고정 연결되는 상부, 하부 캐리어 플레이트와, 상기 연결축과 상부 캐리어 플레이트와 맞닿는 부분에 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여지는 웨이퍼의 무게를 감지해내는 압전 센서와, 상기 상부, 하부 캐리어 플레이트의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여진 웨이퍼의 장수를 감지해내는 카운팅 신호 발생부 그리고 카운팅 신호 검출부와, 상기 상부, 하부 캐리어 플레이트의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여진 웨이퍼의 수평 상태를 감지해내는 레벨링 신호 발생부 그리고 레벨링 신호 검출부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로한다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2 는 본 발명에 따른 웨이퍼 로딩 장치의 구성도이다.
본 발명의 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치는 캐리어 플레이트에 놓여진 웨이퍼의 수평을 감지하는 센서를 구성하여 정확한 로딩 동작이 이루어지도록 한 것으로 그 구성은 다음과 같다.
먼저, 일정 길이를 갖는 복수개의 플레이트 연결축(24)에 의해 서로 고정 연결되는 상부 캐리어 플레이트(21) 하부 캐리어 플레이트(22)와, 상기 각각의 플레이트 연결축(24)과 상부 캐리어 플레이트(21)와 맞닿는 부분에 구성되어 상부 캐리어 플레이트(21)상에 놓여지는 웨이퍼의 무게를 감지해내는 압전 센서(23)와, 상기 상부, 하부 캐리어 플레이트(21)(22)의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트(21)상에 놓여진 웨이퍼의 장수를 감지해내는 카운팅 신호 발생부(27) 그리고 카운팅 신호 검출부(29)와, 상기 상부, 하부 캐리어 플레이트(21)(22)의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트(21)상에 놓여진 웨이퍼의 수평 상태를 감지해내는 레벨링 신호 발생부(26) 그리고 레벨링 신호 검출부(29)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기의 플레이트 연결축(24)과 하부 캐리어 플레이트(22)와 맞닿는 부분에는 플레이트 연결축 지지부(25)가 구성되어 하부 캐리어 플레이트(22)와 플레이트 연결축(24)을 서로 고정 연결하게 된다.
그리고 레벨링 신호 발생부(26)의 하측에 카운팅 신호 발생부(27)가 구성되고, 상기 레벨링 신호 검출부(28)의 하측에 카운팅 신호 검출부(29)가 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치는 카세틀 플레이트상의 웨이퍼를 감지하는 센싱 파트를 두 부분으로 구성한 것이다.
센싱 파트의 한 부분은 웨이퍼의 장수를 카운트하고 센싱 파트의 다른 부분은 웨이퍼의 수평 상태를 검지할 수 있도록한 것이다.
웨이퍼를 담고 있는 캐리어가 상부 캐리어 플레이트상에 놓여지면 레벨링 신호 발생부(26)의 LED에서 조사되는 빛이 웨이퍼의 표면에 반사되어 레벨링 신호 검출부(28)로 입사된다.
상기와 같이 최소한 3개 이상의 LED를 이용한 수평 상태 검지 과정으로 수평상태가 불량한 것으로 판단되면 시스템은 웨이퍼의 수평을 1차로 조정하게 된다.
그리고 상부, 하부 캐리어 플레이트(21)(22)가 아래로 이동하여 로딩 위치로 올라오면서 웨이퍼 장수를 카운트하게 된다.
이때, 캐리어 플레이트가 이단으로 구성되어 하부 캐리어 플레이트(22)는 전체적인 이동을 할 수 있도록 하고, 상부 캐리어 플레이트(21)는 각각의 슬롯(캐리어의 슬롯은 보통 25개 정도)에 웨이퍼를 담고 있는 캐리어를 놓을 수 있도록 한 것이다.
상기의 상부 캐리어 플레이트(21)와 하부 캐리어 플레이트(21)는 그 사이에 3개의 플레이트 연결축(24)이 구성되어 웨이퍼의 로딩 위치에서 웨이퍼의 수평을 2차로 미세 조정하게 된다.
즉, 상부 캐리어 플레이트(21)와 플레이트 연결축(24)이 맞닿는 부분에 구성된 압전 센서(23)에 의해 상부 캐리어 플레이트(21)에 놓여진 웨이퍼의 무게를 감지하여 웨이퍼의 수평이 맞지 않을 경우 감지되는 이상 신호에 따른 높이 차이를 자동으로 보상하게 된다.
본 발명의 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치는 웨이퍼의 수평 상태를 감지하여 그에 따른 웨이퍼 수평 상태를 자동으로 보상하는 것으로, 레벨링 신호 발생부와 레벨링 신호 검출부에 의해 1차로 웨이퍼의 수평 상태를 보정하고, 압전 센서에 의해 2차로 웨이퍼의 수평 상태를 보정하므로 웨이퍼의 수평이 정확하게 이루어진다.
그러므로 웨이퍼 로딩 동작시에 웨이퍼와 로딩 수단(로봇 암)의 수평 불량으로 발생하는 로딩 동작의 실패를 막을 수 있어 웨이퍼의 파손 및 시간 손실을 줄이는 효과가 있다.
또한 웨이퍼의 수평을 자동으로 보상하므로 해당 장비의 표준 캐리어가 아닌 임의의 캐리어를 사용해도 된다.
그러므로 웨이퍼를 표준 캐리어에 옮겨 담을 필요가 없어 웨이퍼 이동시에 발생하는 웨이퍼의 파손 및 이물질의 점착을 막을 수 있다.
Claims (6)
- 일정 길이를 갖는 복수개의 연결축에 의해 서로 고정 연결되는 상부, 하부 캐리어 플레이트와,상기 연결축과 상부 캐리어 플레이트와 맞닿는 부분에 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여지는 웨이퍼의 무게를 감지해내는 압전 센서와,상기 상부, 하부 캐리어 플레이트의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여진 웨이퍼의 장수를 감지해내는 카운팅 신호 발생부 그리고 카운팅 신호 검출부와,상기 상부, 하부 캐리어 플레이트의 이동축을 중심으로 양측에 서로 대응되게 구성되어 상부 캐리어 플레이트상에 놓여진 웨이퍼의 수평 상태를 감지해내는 레벨링 신호 발생부 그리고 레벨링 신호 검출부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 연결축과 하부 캐리어 플레이트와 맞닿는 부분에 구성되어연결축과 하부 캐리어 플레이트를 고정시켜주는 플레이트 연결축 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치.
- 제 1 항에 있어서,웨이퍼의 수평 상태를 감지하기 위한 레베링 신호 발생부는 카운팅 신호 발생부의 상측에 구성되고, 레벨링 신호 검출부는 카운팅 신호 검출부의 상측에 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치.
- 제 3 항에 있어서,레벨링 신호 발생부는 서로 다른 위치에 구성되는 최소한 3개 이상의 LED를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치.
- 제 1 항에 있어서,상부 캐리어 플레이트상에 놓여진 웨이퍼를 로딩하는 로봇 암 등의 로딩 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치.
- 제 1 항에 있어서,연결축은 압전 센서에서 감지되는 웨이퍼 무게의 변화에 따른 상부 캐리어 플레이트의 높이를 보상해주는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치.
Priority Applications (1)
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| KR1019960052213A KR100215844B1 (ko) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019960052213A KR100215844B1 (ko) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR19980034225A true KR19980034225A (ko) | 1998-08-05 |
| KR100215844B1 KR100215844B1 (ko) | 1999-08-16 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960052213A KR100215844B1 (ko) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치 |
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|---|---|
| KR (1) | KR100215844B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100387525B1 (ko) * | 2001-02-05 | 2003-06-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 위치 상태 감지시스템 및 그 방법 |
| KR100748731B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-08-13 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 제조용 웨이퍼 인스펙션 장치 및 인터락 방법 |
-
1996
- 1996-11-06 KR KR1019960052213A patent/KR100215844B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100387525B1 (ko) * | 2001-02-05 | 2003-06-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 위치 상태 감지시스템 및 그 방법 |
| KR100748731B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-08-13 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 제조용 웨이퍼 인스펙션 장치 및 인터락 방법 |
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| KR100215844B1 (ko) | 1999-08-16 |
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