KR19980017451U - 스테퍼 장치 - Google Patents
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Abstract
스테퍼 장치에 관한 것이다.
베이스와, 베이스상의 평면상에서 이동이 가능한 플레이트 스테이지와, 플레이트 스테이지상에 설치되어 플레이트를 흡착하는 진공 척과, 진공 척에 형성된 중공부내에서 상승 · 하강운동 가능하도록 설치되어 플레이트를 진공 척상에 안착시키는 실린더를 포함하고, 실린더는 흡착기를 장착하는 것을 특징으로 하는 스테퍼 장치이다.
이와 같이 실린더 끝단에 흡착기를 장착함으로써 위치 오차를 최소화함에 따라 플레이트 정렬시 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
Description
본 고안은 스테퍼 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정 디스플레이 소자용 플레이트를 진공 척에 장착시키는 실린더의 구조가 개선된 스테퍼 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 소자의 제작에는 평판 유리나 반도체 웨이퍼같은 플레이트 위에 전극을 형성하는 노광 공정이 포함된다. 노광 공정에 사용되는 액정 디스플레이 소자용 스테퍼 장치는 회로 패턴이 형성된 레티클(reticle)을 장착하는 레티클 스테이지와 플레이트를 흡착 고정하거나 고정 상태에서 소정의 위치로 이동시키는 플레이트 스테이지로 구성된다. 상기 두 가지 스테이지 사이에는 노광용 광을 집속시키는 렌즈들이 배치된다. 또한 플레이트 상에서 필요한 부분에만 레티클을 통해 광을 조명할 수 있도록 블라인더(blinder)와 같은 장치가 설치된다.
상기와 같은 스테퍼 장치에 있어서, 플레이트 스테이지는 플레이트를 흡착시키는 진공 척(vacuum chuck)을 구비한다. 또한, 진공 척은 플레이트 로더에 의하여 운반된 플레이트를 상승· 하강운동으로 진공 척상에 안착시키는 복수개의 실린더를 구비한다.
종래의 스테퍼 장치에 대한 내용은 다음과 같다.
도 1은 액정 디스플레이 소자용 스테퍼 장치에 대한 사시도이다. 도 1에서와 같이, 스테퍼 장치(10)에는 베이스(14)상에서 평면 이동이 가능한 플레이트 스테이지(13)가 배치되며, 상기 플레이트 스테이지(13) 상부에는 진공 척(12)이 설치된다. 상기 진공 척(12)은 그 상부에 놓인 액정 표시 소자용 플레이트(11)를 흡착하여 고정한다.
진공 척(12)에 플레이트(11)가 안착되는 과정은 도 2를 참고하여 설명한다. 별도의 이동 수단(도시 아니함)에 의하여 플레이트 로더(22)상에서 운반된 플레이트(11)가 진공 척(12)상에 위치하게 되면, 상기 진공 척(12)에 설치된 복수개의 실린더(21)(도 4 참조)가 상승하여 플레이트(11)의 저면에 밀착하게 된다. 그런 다음, 플레이트 로더(22)는 역방향으로 움직이게 되고, 플레이트(11)는 실린더(21)의 하강운동으로 진공 척(12)상에 안착하게 된다.
도 3은 도 2에 도시된 진공 척(12)의 평면도이다. 진공 척(12)의 평면에는 다수개의 지지부(supporter)(31)가 형성되어 있는데, 이것은 평면으로부터 소정의 동일한 높이로 일정한 간격을 유지하며 돌출한 육면체들이다. 이들 지지부(31)는 그 위에 놓인 플레이트(11)를 지지함으로써 플레이트(11)가 뒤틀리는 것을 방지한다. 또한 진공 척(12)에는 복수개의 실린더(21)가 설치되어 있는데, 이들 실린더(21)는 상승 · 하강 운동으로 플레이트(11)를 진공 척(12)상의 지지부(31)에 안착시키는 역할을 한다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 4의 상태에서, 플레이트(11)는 진공 척(12)에 형성된 중공부(12a)내에서 상승 · 하강운동 가능하도록 설치된 실린더(21)의 하강 운동으로 진공 척(12) 상의 지지부(31)에 안착된다. 이후 실린더(21)는 진공 척(12) 하부로 이동하게 되고, 지지부(31)를 제외한 진공 척의 상면과 플레이트(11) 사이에는 밀폐 공간이 형성된다. 밀폐 공간의 공기를 진공 척에 형성된 공기 흡입구(vacuum hole)(도시 아니함)를 통해 흡입하면 진공부(42)가 형성되고, 따라서 플레이트(11)는 진공 척(12)에 흡착 고정된다.
그러나 실린더(21)를 하강시켜 플레이트(11)를 진공 척(12)상에 올려놓는 과정에서, 플레이트(11)가 각각의 실린더(21)의 하강 속도 차이에 의해서 진공 척(12)상에 접촉하는 순서가 달라지거나, 또는 진공 척(12)에 접촉하는 순간에 공기 유막이 형성되어 진공 척(12)상에서 미끄러지게 되어 정확한 위치에 안착하지 못할 수가 있다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 액정 디스플레이 소자용 플레이트를 진공 척에 안착시키는 실린더의 구조를 개선하여 플레이트의 위치 오차를 최소화하는 스테퍼 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 액정 디스플레이 소자용 스테퍼 장치에 대한 사시도.
도 2는 도 1의 스테퍼 장치의 진공 척에 안착된 플레이트에 대한 사시도.
도 3은 진공 척의 평면도.
도 4는 종래의 스테퍼 장치에 있어서, 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 절단한 단면도.
도 5는 본 고안의 스테퍼 장치에 있어서, 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 절단한 단면도.
도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명
10. 스테퍼 장치11. 플레이트
12. 진공 척12a. 중공부
13. 플레이트 스테이지14. 베이스
21, 51. 실린더22. 플레이트 로더
31. 지지부42, 52. 진공부
53. 흡착기
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 스테퍼 장치는 베이스, 상기 베이스상의 평면상에서 이동이 가능한 플레이트 스테이지, 상기 플레이트 스테이지상에 설치되어 플레이트를 흡착하는 진공 척, 상기 진공 척에 형성된 중공부내에서 상승 · 하강운동 가능하도록 설치되어 플레이트를 진공 척상에 안착시키는 실린더를 포함하고, 상기 실린더는 흡착기를 장착하는 것을 그 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착기는 일체형으로 상기 실린더 끝단에 장착되는 것을 그 특징으로 한다. 또한, 상기 흡착기는 탄성을 유지하도록 연질 재료로 제작되는 것을 그 특징으로 한다.
따라서 플레이트의 위치 오차를 최소화함에 따라 플레이트의 정렬을 위한 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 고안에 따른 실시예를 상세히 설명하고자 한다. 종래의 기술과 마찬가지로 도 1에 도시된 바와 같이 스테퍼 장치(10)에는 베이스(14)의 평면상에서 이동하는 플레이트 스테이지(13)가 배치되며, 상기 플레이트 스테이지 (13) 상부에는 액정 소자용 플레이트(11)를 고정시키는 진공 척(12)이 설치된다.
진공 척(12)에 플레이트(11)가 안착되는 과정을 살펴보면, 도 2와 같이 별도의 이동 수단(도시 아니함)에 의하여 플레이트 로더(22)상에서 운반된 플레이트(11)가 진공 척(12)상에 위치하게 되면, 상기 진공 척(12)상에 설치된 복수개의 실린더(51)(도 5 참조)가 상승하여 플레이트(11)를 지지한다. 플레이트 로더(22)가 역방향으로 이동한 후, 플레이트(11)는 실린더(51)의 하강 운동으로 진공 척(12)상에 안착된다.
상기 진공 척(12)에는 종래 기술과 마찬가지로 도 3에 도시한 것과 같이 평면으로부터 동일한 높이로 돌출한 복수개의 지지부(31)가 형성되어 있다. 이것은 플레이트(11)가 진공 척(12)상에 안착시 저면과 접촉하여 휨 등을 방지하게 된다.
본 고안이 종래의 기술과 현저하게 다른 점은, 본 고안에 따른 스테퍼 장치(10)에 있어서 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 선을 절단한 도 5에 나타낸 것과 같이, 실린더(51)의 끝단에 일체형으로 흡착기(53)를 장착하는 점이다. 상기 흡착기(53)는 플레이트 로더(22)에 의하여 운반된 플레이트(11)의 저면에 밀착하게 된다. 상기 흡착기(53)와 이와 접촉하는 플레이트(11) 사이에 진공을 형성시켜 일시적으로 고정된 상태에서, 플레이트(11)는 진공 척(12)에 형성된 중공부(12a)내에서 상승·하강운동 가능하도록 설치된 실린더(51)의 하강 운동으로 진공 척(12)상의 지지부(31)에 안착된다. 이때 진공의 공급 및 차단은 실린더(51) 내부를 통하여 외부의 진공원(도시 아니함)에 연결되어 솔레노이드 밸브(도시 아니함)에 의하여 전기적으로 제어된다.
또한, 흡착기(53)는 각각의 실린더(51)의 하강 속도 차이에서 오는 미세 각도의 오차 또는 진공 척(12)에 접촉하는 순간의 플레이트(11) 손상을 방지하기 위하여 탄성력을 가진 연질 재료를 사용한다. 지지부(31)를 제외한 진공 척(12)의 상면과 플레이트(11) 사이에는 밀폐 공간이 형성되는데, 밀폐 공간의 공기를 진공 척(12)에 형성된 공기 흡입구(vacuum hole)(도시 아니함)를 통해 흡입하면 진공부(52)가 형성되고, 따라서 플레이트(11)는 진공 척(12) 상단에 흡착 고정된다. 실린더(51)의 끝단에 장착된 흡착기(53)에 작용된 진공은 솔레노이드 밸브에 의하여 제거된다.
이상의 설명에서와 같이 본 고안에 의한 스테퍼 장치는 플레이트를 진공 척 상에 이동시킬 때 실린더 끝단에 흡착기를 장착함으로써, 위치 오차를 줄일 수 있기 때문에 플레이트의 정렬을 위한 공정 시간을 단축하게 된다.
본 고안은 액정 디스플레이 패널 또는 반도체 웨이퍼를 가공하는데 있어 노광 공정에 적용되는 경우를 가정하여 설명되었다. 그러나 본 고안은 상기와 같은 실시예에 한정되지 않고 당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 노광 장비에서뿐만 아니라 여타 다른 기술 분야에서도 사용될 수 있음을 이해할 것이다. 예를 들면, 본 고안에 따른 스테퍼 장치는 흡착기 부착 메카니즘의 3차원 정밀 측정기나 정밀 가공기 등에 폭넓게 사용될 수 있다.
Claims (3)
- 베이스 ;상기 베이스상의 평면상에서 이동이 가능한 플레이트 스테이지 ;상기 플레이트 스테이지상에 설치되어 플레이트를 흡착하는 진공 척;상기 진공 척에 형성된 중공부내에서 상승 · 하강운동 가능하도록 설치되어 플레이트를 진공 척상에 안착시키는 실린더를 포함하고, 상기 실린더는 흡착기를 장착하는 것을 특징으로 하는 스테퍼 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 흡착기는 일체형으로 상기 실린더에 장착되는 것을 특징으로 하는 스테퍼 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 흡착기는 탄성을 유지하도록 연질 재료로 제작된 것을 특징으로 하는 스테퍼 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960030824U KR19980017451U (ko) | 1996-09-23 | 1996-09-23 | 스테퍼 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019960030824U KR19980017451U (ko) | 1996-09-23 | 1996-09-23 | 스테퍼 장치 |
Publications (1)
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| KR19980017451U true KR19980017451U (ko) | 1998-07-06 |
Family
ID=53977061
Family Applications (1)
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| KR2019960030824U KR19980017451U (ko) | 1996-09-23 | 1996-09-23 | 스테퍼 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980017451U (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100894045B1 (ko) * | 2002-11-07 | 2009-04-20 | 삼성전자주식회사 | 로드락 챔버 |
-
1996
- 1996-09-23 KR KR2019960030824U patent/KR19980017451U/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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