KR102654186B1 - 클리닝수단을 구비한 레이저 리페어용 조명장치 - Google Patents

Abstract

클리닝수단을 구비한 레이저 리페어용 조명장치가 제공된다. 상기 레이저 리페어용 조명장치는 제1 관통홀을 구비하는 조명블록과 상기 제1 관통홀의 내주면에 배치된 광원부를 포함하는 조명수단과, 상기 조명블록의 하부에 배치되고, 상기 제1 관통홀과 연결되는 제2 관통홀을 구비하는 클리닝기판 및 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀을 통해 기판 상에 레이저를 조사하는 레이저 조사장치를 구비하고, 상기 클리닝기판은 상기 기판 상에 분사되는 공기를 가이드하는 공기 가이드홈과 상기 기판으로부터 흡입되는 공기를 가이드하는 공기흡입홈을 구비하여 조명의 시인성을 향상시키고 레이저 리페어 작업 환경을 효과적으로 개선할 수 있다.

Description

클리닝수단을 구비한 레이저 리페어용 조명장치{Lighting device for laser repair with cleaning means}

본 발명은 조명장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 레이저 리페어용 조명장치에 관한 것이다.

반도체 및 디스플레이(display) 제조 과정 중에는 이러한 전자부품에서 발생하는 결함(defect)을 검출하고, 검출된 결함을 수리하는 리페어(repair) 공정이 수반된다. 최근에는 레이저(laser) 광학계를 구비하여 집속된 레이저광을 조사함으로써 전자부품의 결함 부위를 비접촉식으로 가공하여 수정하는 레이저 리페어 장치가 많이 사용되고 있다.

일반적으로 레이저 리페어 장치는 전자부품이 배치되는 작업대(stage)와, 레이저 빔(laser beam)을 통해 작업대에 놓인 전자부품을 리페어하는 레이저 조사기와, 레이저 조사기로 빛을 전달하는 광공급부 및 전자부품의 결함 부위가 가공되는 상태를 실시간으로 감시하기 위한 카메라(camera)가 구비된 비전(vision) 장비 등으로 구성된다. 이에, 카메라를 통해 전자부품의 결함 부위를 모니터링한 후, 레이저를 투사하여 리페어를 수행한다.

그러나, 종래의 레이저 리페어 장치는 카메라와 연결된 경통 일측에 동축 조명(coaxial light) 장치를 배치하여 결함부위에 광을 조사함에 따라 조명의 시인성(visibility)이 높지 않고, 시인성이 낮은 조명으로 인해 카메라의 영상 품질이 저하되면서 가공성이 떨어지는 문제점이 있다.

이에, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 레이저 리페어 시, 작업대에 공급되는 조명의 광 전달 효율 및 조명이 조사되는 영역을 최적화할 수 있는 레이저 리페어용 조명장치를 제공하는 데에 목적이 있다.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 이루기 위하여 본 발명은, 제1 관통홀을 구비하는 조명블록과 상기 제1 관통홀의 내주면에 배치된 광원부를 포함하는 조명수단, 상기 조명블록의 하부에 배치되고, 상기 제1 관통홀과 연결되는 제2 관통홀을 구비하는 클리닝기판 및 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀을 통해 기판 상에 레이저를 조사하는 레이저 조사장치를 구비하고, 상기 클리닝기판은 상기 기판 상에 분사되는 공기를 가이드하는 공기가이드홈과 상기 기판으로부터 흡입되는 공기를 가이드하는 공기흡입홈을 구비하는 레이저 리페어용 조명장치를 제공한다.

상기 공기가이드홈의 일단부는, 상기 제2 관통홀을 향해 경사지도록 구비된 경사면을 포함할 수 있다.

상기 공기가이드홈 및 상기 공기흡입홈은 각각 복수개로 구비될 수 있다.

상기 복수개의 공기가이드홈들은 서로 인접하여 배치되고, 상기 복수개의 공기흡입홈들은 서로 인접하여 배치되며, 상기 복수개의 공기가이드홈들과 상기 복수개의 공기흡입홈들은 상기 제2 관통홀을 중심으로 방사상으로 배치될 수 있다.

상기 공기가이드홈과 상기 공기흡입홈은 상기 제2 관통홀을 중심으로 서로 마주보게 배치될 수 있다.

상기 조명장치는 상기 기판 상에 상기 공기가이드홈을 통해 공기를 분사하는 공기분사모듈과, 상기 기판으로부터 상기 공기흡입홈을 통해 공기를 흡입하는 흡입모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 조명장치는 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀과 연결되는 중공부가 구비되며, 상기 조명수단, 상기 클리닝기판, 상기 공기분사모듈 및 상기 흡입모듈이 장착되는 베이스블록을 더 포함할 수 있다.

상기 베이스블록은 상기 베이스블록의 상면 일측에 구비되며 상기 조명수단을 수용하는 제1 오목부와, 상기 제1 오목부의 외주부에 구비되며 상기 공기분사모듈과 상기 흡입모듈이 장착되는 가드부와, 상기 베이스블록의 하면 일측에 구비되며 상기 클리닝기판을 수용하는 제2 오목부를 포함할 수 있다.

상기 공기분사모듈은 상기 가드부 일측을 관통하도록 배치된 공기분사포트와, 상기 공기분사포트에 공기를 공급하는 공기공급부와, 상기 공기분사포트와 상기 공기공급부를 연결하는 공기분사덕트를 포함할 수 있다.

상기 흡입모듈은 상기 가드부 타측을 관통하도록 배치된 흡입포트와, 상기 흡입포트를 통해 기판 상에 흡입력을 제공하는 집진부와, 상기 흡입포트와 상기 집진부를 연결하는 흡입덕트를 포함할 수 있다.

상기 조명장치는 상기 중공부, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀과 연결되는 제3 관통홀이 구비되고, 상기 베이스블록과 상기 클리닝기판 사이에 배치되며, 상기 장치 내에 유입된 공기의 누출을 방지하는 커버기판을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 기판과 최소거리로 이격하여 배치할 수 있고 광원부가 제1 관통홀 내주면에 배치되어, 레이저 리페어 영역과 가까운 거리에서 광이 조사됨에 따라 조명의 시인성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 클리닝기판과 공기분사모듈 및 흡입모듈을 이용한 클리닝을 통해 레이저 리페어가 이뤄지는 영역에서 생성되는 파티클을 제거함으로써 작업환경을 개선할 수 있다.

본 발명의 기술적 효과들은 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치가 장착된 레이저 리페어용 설비를 나타낸 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 분해사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 투시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 클리닝기판의 평면도, 절단사시도 및 절단단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 실제 이미지이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치에서의 공기분사모듈과 흡입모듈 작동 시 공기 및 파티클의 이동경로를 나타낸 모식도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 공기분사모듈과 흡입모듈 작동 시 클리닝기판의 단면을 도시한 모식도이다.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다.

층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

비록 제1, 제2 등의 용어가 여러 가지 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들을 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 이러한 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들은 이러한 용어에 의해 한정되어서는 안 된다는 것을 이해할 것이다.

이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실험예(example)를 제시한다. 다만, 하기의 실험예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 것일 뿐, 본 발명이 하기의 실험예에 의해 한정되는 것은 아니다.

실시예

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치가 장착된 레이저 리페어용 설비를 나타낸 모식도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 사시도이며, 도 3은 분해사시도이고, 도 4는 투시도이며, 도 5는 클리닝기판의 평면도, 절단사시도 및 절단단면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치(1)는 레이저 리페어용 장비에 장착되어 사용할 수 있다. 상기 레이저 리페어용 장비는 통상의 레이저 리페어 장치를 모두 적용할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 레이저 리페어용 장비는 기판 상에 배치된 레이저 리페어 대상물을 측정하는 카메라(10), 일단부가 상기 카메라(10) 하부와 연결되며 타단부는 상기 기판을 향하도록 구비되는, 중공의 원통 쉘(shell) 형상을 가진 경통(20), 상기 경통(20)의 일측에 구비되어 상기 경통(20) 내부로 레이저를 조사하는 레이저 조사부(30), 상기 경통(20)의 타측에 구비되어 상기 레이저 조사부(30)에서 조사되는 레이저를 반사하여 상기 기판을 향하도록 방향을 바꿔주는 미러(40), 상기 미러(40)에 의해 반사된 레이저를 상기 기판 상에 집중시키는 렌즈(50)를 포함할 수 있다. 이 때, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치(1)는 상기 렌즈(50)의 하단부에 장착될 수 있다. 이에, 상기 레이저는 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치(1)에 구비된 관통홀을 통해 기판에 조사될 수 있고, 조사된 레이저는 상기 기판 상에 배치된 상기 레이저 리페어 대상물을 리페어할 수 있다. 사용자는 상기 카메라(10) 또는 상기 카메라(10)와 연결된 제어부(미도시) 등을 통해 레이저와 동일 축선상에서 레이저 리페어 대상물을 측정하며 레이저 리페어를 수행할 수 있다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 제1 관통홀(210)을 구비하는 조명블록(220)과 상기 제1 관통홀(210)의 내주면에 배치된 광원부(230)를 포함하는 조명수단(200), 상기 조명블록(220)의 하부에 배치되고, 상기 제1 관통홀(210)과 연결되는 제2 관통홀(310)을 구비하는 클리닝기판(320) 및 상기 제1 관통홀(210) 및 상기 제2 관통홀(310)을 통해 기판(미도시) 상에 레이저를 조사하는 레이저 조사장치(미도시)를 구비하고, 상기 클리닝기판(320)은 상기 기판 상에 분사되는 공기를 가이드하는 공기가이드홈(321,322)과 상기 기판으로부터 흡입되는 공기를 가이드하는 공기흡입홈(323,324)을 구비할 수 있다.

상기 기판은 상면에 레이저 리페어 대상물을 포함하는 것으로, 상기 기판의 상면에서 레이저 리페어가 수행될 수 있다. 실시예에 따라, 상기 기판은 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치가 장착된 레이저 리페어용 장비의 스테이지(stage) 상에 배치될 수 있다.

상기 조명수단(200)은 기판 및 상기 기판 상의 레이저 리페어 대상물에 광을 공급할 수 있다.

상기 조명블록(220)은 상기 기판 상에 광을 공급하기 위하여 제1 관통홀(210)을 구비할 수 있다. 또한, 상기 조명블록(220)은 상기 광원부(230)를 수용하고 이를 지지할 수 있다. 구체적으로, 상기 조명블록(220)은 평평한 기판 또는 육면체로 형성될 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 조명블록(220)은 소정의 두께를 갖는 블록 형상으로 형성될 수 있다. 이에, 상기 조명블록(220)에 구비된 제1 관통홀(210)의 내주면이 일정 높이를 가질 수 있어 상기 광원부(230)를 수용할 수 있는 공간을 확보할 수 있다.

상기 광원부(230)는 상기 제1 관통홀(210)의 내주면에 수용될 수 있는 크기로 형성될 수 있다. 상기 광원부(230)는 상기 제1 관통홀(210)의 내주면에 복수개의 광원이 연속적으로 배치된 구조로 형성될 수 있다. 또는, 상기 광원부(230)는 하나의 링 구조를 갖는 광원을 상기 제1 관통홀(210)의 내주면에 장착할 수 있다. 예를 들어, 상기 광원부(230)는 발광다이오드(LED)로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 상기 광원부(230)는 상기 제1 관통홀(210)의 내주면에 구비되어 상기 기판 상에 광을 조사할 수 있다. 이에, 상기 기판 상에는 레이저 리페어를 수행하기에 적절한 광이 공급됨에 따라 레이저 리페어 공정 시 조명의 시인성을 향상시킬 수 있다.

구체적으로, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 상기 기판과 상기 조명수단(200)이 최소의 거리만을 유지한 상태로 최대한 가까이 배치할 수 있어 상기 기판에 공급되는 광의 세기를 높일 수 있다. 또한, 상기 조명수단(200)은 상기 제1 관통홀(210)의 내주면에서 상기 기판을 향해 광이 조사됨에 따라 상기 기판 상에 상기 제1 관통홀(210)이 배치되는 영역에만 광이 집속될 수 있다. 이를 통해, 종래의 레이저 리페어용 장비에 장착되는 조명장치가 기판과 상대적으로 먼 거리에서 광을 조사하여 조명의 시인성이 저하되었던 문제를 효과적으로 해결할 수 있다.

상기 조명수단(200)은 상기 광원부(230)와 외부 전원을 연결하는 케이블(미도시)과, 상기 조명블록(220)의 일측에 배치되어 상기 케이블을 수용하는 케이블수용부(250)를 더 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 케이블은 상기 광원부(230)에 전원을 공급하기 위한 것으로, 상기 광원부(230)와 외부 전원을 각각 연결하도록 구비될 수 있다. 통상적으로 상기 케이블은 광원에 전원을 공급하는 전선부재를 모두 사용할 수 있다. 상기 케이블의 일측은 상기 조명블록(220)의 내부에 내장되도록 구비될 수 있다.

상기 케이블수용부(250)는 상기 케이블을 수용하기 위한 공간을 제공할 수 있다. 상기 케이블수용부(250)는 도 2 및 도 3에 제시된 형상 이외에도 상기 케이블을 수용하기 위한 형상이라면, 모두 적용할 수 있다. 구체적으로 예를 들어, 상기 케이블수용부(250)는 상기 조명블록(220)의 일측에 연결되어 상기 케이블을 상기 조명블록(220)의 내부에 내장하여 구비하도록 할 수 있다. 상기 케이블수용부(250)를 통해 레이저 리페어 공정 수행시에도 상기 케이블을 레이저로부터 보호할 수 있으며, 작업자의 작업 환경 개선 및 작업의 안정성을 높일 수 있다.

실시예에 따라, 상기 조명수단(200)은 레이저 리페어 장비에 장착될 수 있다. 이를 위하여, 상기 조명수단(200)은 레이저 리페어 장비와의 장착을 위한 장착부재(미도시)가 더 구비될 수 있다.

상기 클리닝기판(320)은 레이저 리페어 공정 수행시 리페어 대상물의 레이저 가공으로 인해 생성되는 파티클(particle)을 제거하기 위해 구비될 수 있다. 상기 파티클은 레이저 가공으로 인해 형성되는 입자를 모두 총칭하는 것으로, 예를 들어, 파티클은 분진, 흄(fume) 등을 포함할 수 있다.

상기 클리닝기판(320)에는 제2 관통홀(310)이 구비될 수 있다. 상기 제2 관통홀(310)을 통해 상기 기판 상에 생성된 파티클을 제거할 수 있다. 상세하게는, 상기 파티클은 상기 클리닝기판(320)의 일측으로부터 상기 기판 상에 분사된 공기에 의해 이동되고, 상기 클리닝기판(320)의 타측으로부터 제공되는 흡입력에 의해 상기 기판으로부터 공기가 흡입됨에 따라, 흡입되는 공기와 함께 파티클이 상기 기판을 벗어나 장치의 외부로 배출될 수 있다.

상기 클리닝기판(320)은 파티클의 클리닝이 수행되는 공간을 제공할 수 있다. 상기 클리닝기판(320)은 상기 기판과 수평하게 배치되도록 하면이 평평한 판(plate)상 형태로 형성될 수 있다. 상기 클리닝기판(320)은 상기 조명블록(220)의 하부에 배치될 수 있다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 공기가이드홈(321,322)은 상기 클리닝기판(320)의 상면 일측에 구비되며, 상기 기판 상에 분사되는 공기가 파티클을 향하도록 안내할 수 있다. 상기 공기가이드홈(321,322)을 따라 흐르며 파티클을 향해 분사되는 공기에 의해 파티클은 상기 기판 상에서 이동하여 상기 클리닝기판(320)의 타측, 즉 상기 공기흡입홈(323,324)으로 이동할 수 있다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 상기 기판 상에 상기 공기가이드홈(321,322)을 통해 공기를 분사하는 공기분사모듈(330)과, 상기 기판으로부터 상기 공기흡입홈(323,324)을 통해 공기를 흡입하는 흡입모듈(340)을 더 포함할 수 있다.

상기 공기분사모듈(330)은 상기 클리닝기판(320)과 연결되도록 배치되어 상기 기판 상에 공기를 분사할 수 있다. 상기 공기분사모듈(330)에서 분사된 공기는 상기 기판 상에 생성된 파티클을 상기 흡입모듈(340) 방향으로 이동시킬 수 있다. 실시예에 따라, 상기 공기분사모듈(330)은 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 본 발명의 도면 및 상세한 설명에서 상기 공기분사모듈(330)은 복수개로 구성된 것을 예시로 하였다.

상기 흡입모듈(340)은 상기 클리닝기판(320)과 연결되도록 배치되어 상기 기판으로부터 공기를 흡입하고, 동시에 상기 기판 상에 생성된 파티클을 흡입하여 이를 장치 외부로 배출할 수 있다. 실시예에 따라, 상기 흡입모듈(340)은 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 본 발명의 도면 및 상세한 설명에서 상기 흡입모듈(340)은 복수개로 구성된 것을 예시로 하였다.

상기 공기분사모듈(330)과 상기 흡입모듈(340)은 상기 클리닝기판(320)의 일측에 각각 연결되도록 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 공기분사모듈(330)과 상기 흡입모듈(340)은 상기 클리닝기판(320)의 일측에 각각 연결되도록 상기 조명수단(200)에 장착될 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 공기분사모듈(330)과 상기 흡입모듈(340)은 상기 클리닝기판(320)의 일측에 각각 연결되도록 구비되며, 이들이 장착되기 위한 별도의 부재를 추가로 포함할 수 있다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 구체적으로, 예를 들어, 상기 제1 관통홀(210) 및 상기 제2 관통홀(310)과 연결되는 중공부(110)가 구비되며, 상기 조명수단(200), 상기 클리닝기판(320), 상기 공기분사모듈(330) 및 상기 흡입모듈(340)이 장착되는 베이스블록(100)을 더 포함할 수 있다.

상기 베이스블록(100)은 상기 기판 상에 배치되고, 상기 조명수단(200), 상기 클리닝기판(320), 상기 공기분사모듈(330) 및 상기 흡입모듈(340)을 일측에 장착시켜 이들을 지지할 수 있다. 상기 베이스블록(100)은 상기 기판과 수평하게 배치될 수 있는 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 베이스블록(100)은 평평한 기판 또는 육면체로 형성될 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 베이스블록(100)은 내부에 공간이 형성되며 소정을 두께를 갖는 블록(block) 형상을 가질 수 있다. 이는, 상기 베이스블록(100)에 상기 조명수단(200), 상기 클리닝기판(320), 상기 공기분사모듈(330) 및 상기 흡입모듈(340)이 장착되며, 동시에 레이저 리페어 장비에 장착 시 필요한 결합부재 등을 결합시키기 위함일 수 있다.

상기 베이스블록(100)은 중공부(110)가 구비되며, 상기 중공부(110)는 상기 제1 관통홀(210)과 상기 제2 관통홀(310)과 연결될 수 있다. 이에, 상기 레이저 조사장치에 의해 조사되는 레이저는 상기 중공부(110)와, 상기 제1 관통홀(210)과 상기 제2 관통홀(310)을 관통하여 상기 기판 상에 위치한 레이저 리페어 대상물을 향해 조사될 수 있어, 용이하게 레이저 리페어를 수행할 수 있다.

상기 베이스블록(100)의 일측(이하, 제1 영역)에는 상기 조명수단(200), 상기 클리닝기판(320), 상기 공기분사모듈(330) 및 상기 흡입모듈(340)이 장착되며, 상기 베이스블록(100)의 타측(이하, 제2 영역)에는 레이저 리페어 장비가 장착될 수 있다.

구체적으로, 상기 베이스블록(100)의 제 1영역에서, 상기 베이스블록(100)은 상기 베이스블록의 상면 일측에 구비되며 상기 조명수단을 수용하는 제1 오목부(120)와, 상기 제1 오목부(120)의 외주부에 구비되며 상기 공기분사모듈(330)과 상기 흡입모듈(340)이 장착되는 가드부(130)와, 상기 베이스블록(100)의 하면 일측에 구비되며 상기 클리닝기판(320)을 수용하는 제2 오목부(140)를 포함할 수 있다.

도 3과 같이, 상기 제1 오목부(120)는 상기 베이스블록(100)의 제1 영역에서 상기 베이스블록(100)의 상면 일부가 내부로 움푹 들어가서 오목하게 형성된 공간을 의미하는 것으로, 이러한 공간에 상기 조명수단(200)을 수용할 수 있다. 상기 제1 오목부(120)와 상기 조명수단(200)은 다양한 결합부재(미도시) 등에 의해 결합될 수 있다. 상기 제1 오목부(120)의 형상은 상기 조명수단(200)을 내부에 수용하여 장착할 수 있도록, 상기 조명수단(200)의 형상과 유사한 형상을 가질 수 있다. 상기 중공부(110)는 상기 제1 오목부(120) 내에 배치되어, 상기 조명수단(200)의 제1 관통홀(210)과 연결되도록 구비될 수 있다.

상기 가드부(130)는 상기 제1 오목부(120)의 외주부에 구비되며 상기 가드부(130)의 내주면에 상기 조명수단(200)이 접촉되며 장착될 수 있다. 상기 가드부(130)에는 각각 상기 공기분사모듈(330)과 상기 흡입모듈(340)이 장착될 수 있다. 상기 공기분사모듈(330)과 상기 흡입모듈(340)은 도 2 내지 도 4와 같이, 장착될 수 있으나, 실시예에 따라 이의 형상 및 배치구조는 다양하게 적용할 수 있다.

상기 제2 오목부(140)는 상기 베이스블록(100)의 제1 영역에서 상기 베이스블록(100)의 하면 일부가 내부(하부면에서 상부면 방향으로)로 움푹 들어가서 오목하게 형성된 공간을 의미하는 것으로, 이러한 공간에 상기 클리닝기판(320)을 수용할 수 있다. 상기 제2 오목부(140)와 상기 클리닝기판(320)은 다양한 결합부재 등에 의해 결합될 수 있다. 상기 제2 오목부(140)의 형상은 상기 클리닝기판(320)을 장착할 수 있도록, 상기 클리닝기판(200)의 형상과 유사한 형상을 가질 수 있다. 상기 제2 오목부(140)에 상기 클리닝기판(320)이 장착됨에 따라, 상기 베이스블록(100)은 평평한 하부면을 갖는 하나의 블록 형상을 유지할 수 있다.

상기 베이스블록(100)의 제2 영역에는, 상기 베이스블록(100)을 레이저 리페어 장비에 장착하기 위한 하나 이상의 장비연결부(150)가 구비될 수 있다. 상기 장비연결부(150)는 장비와 연결하기 위한 결합포트 등이 구비되며, 상기 베이스블록(100)을 레이저 리페어 장비에 장착시킬 수 있다. 이에, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 레이저 리페어 장비에 안정적으로 장착될 수 있다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 공기분사모듈(330)은 상기 베이스블록(100)의 일측을 관통하도록 배치된 공기분사포트(331, 332)와, 상기 공기분사포트(331, 332)에 공기를 공급하는 공기공급부(미도시)와, 상기 공기분사포트(331, 332)와 상기 공기공급부를 연결하는 공기분사덕트(335,336)를 포함할 수 있다.

구체적으로, 상기 공기분사포트(331, 332)는 상기 기판으로 공기를 분사하기 위한 공기 주입부로서, 상기 가드부(130)의 일측을 관통하여 배치될 수 있다. 이에, 상기 공기분사포트(331, 332)의 일단은 상기 클리닝기판(320)을 향해 구비되며, 상기 공기분사포트(331, 332)의 타단은 상기 베이스블록(100)의 상면을 향해 구비될 수 있다.

상기 공기공급부(미도시)는 상기 조명장치의 외부에 배치되어 상기 공기분사모듈(330)에 공급할 공기를 수용하고, 수용된 공기를 상기 기판 상에 공급할 수 있다. 구체적으로, 상기 공기공급부는 공기를 수용한 공간을 제공하는 공기공급챔버(미도시)와, 상기 공기를 상기 공기분사포트(331, 332)로 이송하는 공기튜브(미도시)를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 상기 공기공급부는 원활한 공기 공급을 위한 공기펌프(미도시) 등을 더 포함할 수 있다.

상기 공기분사덕트(335,336)는 상기 공기분사포트(331,332)와 상기 공기공급부를 연결하는 연결부재로, 양단부가 상기 공기분사포트(331,332)의 일단과 상기 공기공급부의 일단에 각각 결합된 것일 수 있다. 상기 공기분사덕트(335,336)는 상기 베이스블록(100) 상면을 향해 구비된 상기 공기분사포트(331,332)에 장착되어, 상기 베이스블록(100)의 일측에 돌출되도록 구비될 수 있다. 상기 공기분사덕트(335,336)는 도 2 내지 도 4와 같은 형상일 수 있으나, 실시예에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.

상기 공기분사덕트(335,336)를 통해 상기 공기분사포트(331,332)와 상기 공기공급부가 안전하게 연결되며 상기 공기공급부에서 상기 공기분사포트(331,332)로 이동하는 공기가 유속의 저하없이 원활하게 상기 기판 상으로 이동할 수 있다.

상기 흡입모듈(340)은 상기 가드부(130)의 타측을 관통하도록 배치된 흡입포트(341,342)와, 상기 흡입포트(341,342)를 통해 기판 상에 흡입력을 제공하는 집진부(미도시)와, 상기 흡입포트(341,342)와 상기 집진부를 연결하는 흡입덕트(345,346)를 포함할 수 있다.

상기 흡입포트(341, 342)는 상기 기판 상에 흡입력을 전달하고, 파티클을 흡입하기 위한 통로로, 상기 가드부(130)의 타측을 관통하여 형성될 수 있다. 이에, 상기 흡입포트(341, 342)의 일단은 상기 클리닝기판(320)을 향하도록 구비되며, 상기 흡입포트(341, 342)의 타단은 상기 베이스블록(100)의 상면을 향해 구비될 수 있다.

상기 집진부는 상기 흡입포트(341, 342)를 통해 파티클을 흡입할 수 있는 흡입력을 상기 기판에 제공할 수 있다. 또한, 상기 집진부는 상기 조명장치의 외부에 배치될 수 있다. 상기 집진부는 통상의 흡입력을 생성하는 집진기를 모두 사용할 수 있다.

상기 흡입덕트(345,346)는 상기 흡입포트(341,342)와 상기 집진부를 연결하는 것으로, 양단부가 상기 흡입포트(341,342)의 일단과 상기 집진부의 일단에 각각 연결된 것일 수 있다. 상기 흡입덕트(345,346)는 상기 베이스블록(100)의 상면을 향해 구비된 상기 흡입포트(341,342)에 장착되므로, 상기 베이스블록(100)의 타측에 돌출되도록 구비될 수 있다. 상기 흡입덕트(345,346)는 도 2 내지 도 4와 같은 형상일 수 있으나, 실시예에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 상기 흡입덕트(345,346)를 통해 상기 흡입포트(341,342)와 상기 집진부가 안전하게 연결될 수 있으며, 상기 흡입포트(341,342)를 통해 흡입된 파티클은 상기 집진부로 원활하게 이동할 수 있다.

상기 공기가이드홈(321,322)의 일단부는 상기 제2 관통홀(310)를 향해 경사지도록 구비된 경사면(325, 326)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 공기가이드홈(321,322)의 일단부는 상기 클리닝기판(320) 중 상기 제2 관통홀(310) 부근의 영역을 의미할 수 있다. 상기 공기분사모듈(330)에서 분사된 공기는 상기 공기가이드홈(321,322)을 따라 이동하면서 상기 제2 관통홀(310)에 도달하기 전에 상기 경사면(325, 326)을 통과할 수 있다. 이 때, 상기 경사면(325, 326)은 분사된 공기가 파티클을 원활하게 이동시키는 것을 도울 수 있다.

구체적으로, 상기 경사면(325, 326)의 말단부는 상기 제2 관통홀(310)과 이어지도록 구비될 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 경사면(325, 326)의 말단부는 상기 제2 관통홀(310)과 이어지고, 상기 경사면(325, 326)의 말단부 상부에는 상기 경사면(325, 326)의 말단부와 이격하여 상기 클리닝기판(320)의 상부면이 존재할 수 있다. 이에, 상기 경사면(325, 326)의 말단부는 상기 클리닝기판(320)의 상부면 및 상기 공기가이드홈(321, 322)의 내주면으로 이루어진 동굴 형상의 관통구가 형성되며, 이러한 관통구에 의해 상기 경사면(325, 326)의 말단부는 상기 제2 관통홀(310)로 이어질 수 있다. 따라서, 상기 공기가이드홈(321, 322)을 따라 이동하는 공기는 상기 경사면(325, 326)을 지난 후, 상기 동굴 형상의 관통구를 지나 상기 제2 관통홀(310) 아래에 있는 기판 상에 효과적으로 도달할 수 있다. 이에, 공기분사에 따른 파티클의 이동효과는 더욱 향상될 수 있다.

상기 공기가이드홈(321,322)은 실시예 및 조명장치의 제조 공정 상황에 따라 다양한 형상으로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 공기가이드홈(321,322)은 상기 공기분사포트(331,332)로부터 상기 제2 관통홀(310)까지 직선으로 연결된 일자형상으로 구비될 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 공기가이드홈(321,322)은 역ㄱ(기역)자형으로 구비될 수 있다.

상기 공기가이드홈(321,322)에서, 상기 제2 관통홀(320)과 인접한 홈의 너비는 상기 공기분사모듈(330)과 인접한 홈의 너비보다 클 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 관통홀(320)과 인접한 홈의 너비는 상기 제2 관통홀(320)의 반지름 이상 및 상기 제2 관통홀(320)의 지름 미만의 크기로 형성할 수 있다. 이를 통해 상기 제2 관통홀(320)에 위치된 파티클과 상기 공기가이드홈(321,322)을 따라 파티클이 위치된 방향으로 이동된 공기의 접촉면적을 최대화할 수 있다. 동시에, 상기 공기분사모듈(330) 하부와 인접한 홈의 너비는 상기 제2 관통홀(320)과 인접한 홈의 너비보다 작은 크기로 형성하여 상기 공기분사모듈(330)을 통해 주입되는 공기가 상기 제2 관통홀(320)를 향해 이동하면서 유속 저하 등의 유체의 흐름에 따른 에너지 손실을 최소화할 수 있다.

즉, 상기 제2 관통홀(320)과 인접한 홈의 너비가 파티클과의 접촉면적을 확장시키기 위해 넓은 폭으로 구비됨에 따라 상기 공기가이드홈(321,322)을 이동하는 공기의 유속이 줄어들지 않도록 상기 공기분사모듈(330) 하부와 인접한 홈의 너비는 상기 제2 관통홀(320)과 인접한 홈의 너비보다 작게 형성할 수 있다. 또한, 상기 공기분사모듈(330)에서 분사된 공기는 상기 제2 관통홀(320)과 인접한 영역으로 갈수록 넓어지는 홈의 너비에 의해 난류(turbulence)를 형성할 수 있어, 공기와 파티클과의 접촉 면적을 더욱 증가시킬 수 있다.

도 5를 참조하면, 상기 공기가이드홈(321, 322)은 상기 클리닝기판(320)의 상면에 복수개 일 예로서, 상기 공기가이드홈(321, 322)은 한 쌍으로 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 클리닝기판(320)에는 2개 이상의 공기가이드홈들(321,322)이 형성될 수 있다. 상기 복수개의 공기가이드홈들(321,322)에 각각 공기가 분사됨에 따라 파티클의 이동효율은 더욱 높아질 수 있다.

상기 복수개의 공기가이드홈들(321, 322)은 서로 인접하여 배치될 수 있다. 상기 복수개의 공기가이드홈들(321, 322)이 서로 인접하여 배치됨에 따라 파티클을 향해 일정 범위 내에서 더 큰 세기로 공기를 분사할 수 있다.

도 4를 참조하면, 상기 공기흡입홈(323,324)은 상기 클리닝기판(320)의 상면 타측에 구비되며, 상기 기판 상에서 상기 클리닝기판(320)을 향해 이동되는 파티클이 상기 흡입모듈(340)을 향하도록 안내할 수 있다. 파티클은 상기 공기흡입홈(323,324)을 따라 상기 흡입포트(341,342)와 인접한 영역에 위치할 수 있다.

상기 공기흡입홈(323,324)은 실시예 및 조명장치의 제조 공정 상황에 따라 다양한 형상으로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 공기흡입홈(323,324)은 상기 제2 관통홀(310)로부터 상기 흡입포트(341, 342)까지 직선으로 연결된 일자형상으로 구비될 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 공기흡입홈(323,324)은 역ㄱ(기역)자형으로 구비될 수 있다.

상기 공기흡입홈(323,324)에서, 상기 제2 관통홀(310)와 인접한 홈의 너비는 상기 흡입모듈(340) 하부와 인접한 홈의 너비보다 클 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 관통홀(310)와 인접한 홈의 너비는 상기 제2 관통홀(310)의 반지름 이상 및 상기 제2 관통홀(310)의 지름 미만의 크기로 형성할 수 있다. 이를 통해 상기 흡입모듈(340)에서 공급되는 흡입력과 상기 제2 관통홀(310)에 배치된 파티클의 접촉면적을 확장시켜 파티클의 전체 또는 대다수를 상기 흡입모듈(340)이 위치된 방향으로 효과적으로 이동시킬 수 있다. 동시에, 상기 흡입모듈(340) 하부와 인접한 홈의 너비는 상기 제2 관통홀(310)과 인접한 홈의 너비보다 작은 크기로 형성하여 흡입력을 가속시키면서 상기 흡입모듈(340) 방향으로 이동되는 파티클에 대한 흡입효율을 향상시킬 수 있다.

즉, 상기 제2 관통홀(310)와 인접한 홈의 너비가 파티클과의 접촉면적을 확장시키기 위해 넓은 폭으로 구비됨에 따라 상기 공기흡입홈(323,324)을 이동하는 파티클에 대한 흡입력이 줄어들지 않도록 상기 흡입모듈(340) 하부와 인접한 홈의 너비는 상기 제2 관통홀(310)와 인접한 홈의 너비보다 작게 형성할 수 있다. 이는, 벤츄리 효과(venturi effect)로 볼 수 있으며, 이러한 벤츄리 효과를 통해 상기 흡입모듈(340) 하부와 인접한 홈의 너비를 상대적으로 작은 크기로 형성함에 따라 상기 흡입모듈(340)로 흡입되는 파티클에 대한 흡입력이 더욱 높아질 수 있다.

상기 공기흡입홈(323,324)은 상기 클리닝기판(320)의 상면에 복수개, 일 예로서 한 쌍으로 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 클리닝기판(320)에는 2개 이상의 공기흡입홈들(323,324)이 형성될 수 있다. 상기 복수개의 공기흡입홈들(323,324)에서 파티클을 흡입함에 따라 파티클의 흡입효율은 더욱 높아질 수 있다.

상기 복수개의 공기흡입홈들(323, 324)은 서로 인접하여 배치될 수 있다. 상기 복수개의 공기가이드홈들(323, 324)이 서로 인접하여 배치됨에 따라 파티클을 향해 일정 범위 내에서 더 큰 세기로 공기를 분사할 수 있다.

상기 복수개의 공기가이드홈들(321, 322)과 상기 복수개의 공기흡입홈들(323,324)은 상기 제2 관통홀(310)을 중심으로 방사상으로 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 공기가이드홈(321), 상기 제2 공기가이드홈(322), 제1 공기흡입홈(323)과 제2 공기흡입홈(324)은 상기 제2 관통홀(310)을 중심으로 방사상으로 배치될 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 클리닝기판(320) 상에 제1 공기가이드홈(321)이 위치되고, 상기 제2 공기가이드홈(322)은 상기 제2 관통홀(310)을 중심으로 상기 제1 공기가이드홈(321)을 90°회전한 위치에 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1 공기흡입홈(323)은 제2 관통홀(310)을 중심으로 상기 제2 공기가이드홈(322)을 90°회전한 위치에 형성될 수 있다. 다음으로, 상기 제2 공기흡입홈(324)은 상기 제2 관통홀(310)을 중심으로 상기 제1 공기흡입홈(323)을 90°회전한 위치에 형성될 수 있다. 상기 공기가이드홈(321,322)과 상기 공기흡입홈(323,324)은 상기 제2 관통홀(310)을 중심으로 서로 마주보게 배치될 수 있다. 즉, 도 5와 같이 상기 공기가이드홈(321,322)과 상기 공기흡입홈(323,324)이 서로 마주보도록 배치됨에 따라 상기 공기가이드홈(321,322)을 따라 분사되는 공기는 파티클을 상기 공기흡입홈(323,324)을 향해 이동시키고, 상기 공기흡입홈(323,324)을 향해 이동된 파티클은 상기 공기흡입홈(323,324)을 따라 공기와 함께 상기 흡입모듈(340)에 의해 흡입될 수 있다. 이러한 구조적 특징에 의해 본 발명의 조명장치의 파티클 제거효율은 더욱 향상될 수 있다.

상술한 바와 같이, 상기 클리닝기판(320), 공기가이드홈(321,332), 공기흡입홈(323, 324), 공기분사모듈(330) 및 흡입모듈(340)은 파티클을 클리닝하기 위한 클리닝수단(300)으로 볼 수 있으며, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 클리닝수단(300)을 구비함으로써 레이저 리페어가 이뤄지는 영역에서 생성되는 파티클을 제거하여 레이저 리페어 작업효율을 향상시킬 수 있다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 상기 중공부(110), 상기 제1 관통홀(210) 및 상기 제2 관통홀(310)과 연결되는 제3 관통홀(410)이 구비되고, 상기 베이스블록(100)과 상기 클리닝기판(320) 사이에 배치되며, 장치 내에 유입된 공기의 누출을 방지하는 커버기판(400)을 더 포함할 수 있다. 즉, 상기 커버기판(400)은 상기 베이스블록(100)과 상기 클리닝기판(320) 사이에 배치되므로, 상기 클리닝기판(320)을 커버할 수 있다. 이를 통해 상기 공기분사모듈(330)에서 상기 클리닝기판(320)을 통해 상기 기판 상으로 공급되는 공기가 상기 클리닝기판(320)의 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있어, 상기 클리닝수단(300) 작동 시 작업환경에 주는 영향을 최소화할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 실제 이미지이다.

도 6을 참조하면, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치 내 조명수단(200)의 광원부(230)에서 조명블록(220)의 중앙부에 구비된 제1 관통홀(210)을 통해 광이 효과적으로 조사되는 것을 알 수 있다. 또한, 상기 베이스블록(100)의 제1 영역과 제2 영역에 각각 돌출되도록 구비된 복수개의 공기분사덕트(335,336)와 복수개의 흡입덕트(345, 346)를 확인할 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치에서의 클리닝수단 동작 시 공기 및 파티클의 이동경로를 나타낸 모식도이며, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 리페어용 조명장치의 공기분사모듈과 흡입모듈 작동 시 클리닝기판의 단면을 도시한 모식도이다.

도 7을 참조하면, 복수개의 공기분사덕트(335,336)를 통해 공기(흑색 화살표)가 클리닝기판(320)을 향해 분사되고, 분사된 공기는 공기가이드홈(321, 322)을 따라 제2 관통홀(310)를 향해 이동될 수 있다. 상기 제2 관통홀(310) 영역에 배치된 파티클(백색 화살표)은 분사된 공기에 의해 공기흡입홈(323,324)을 따라 이동하며 복수개의 흡입덕트(345,346)를 통해 장치 외부로 배출될 수 있다.

도 1과 같이, 레이저 리페어 장비에 배치된 레이저 조사부, 미러, 렌즈를 포함하는 레이저 조사장치에 의해 상기 기판 상에 레이저가 조사된다. 레이저가 조사됨에 따라 상기 기판(S) 상에는 파티클이 생성될 수 있다. 상기 기판(S) 상에 생성된 파티클(P)은 본 발명의 조명장치 내 공기분사와 흡입에 의해 외부로 배출될 수 있다. 구체적으로, 도 8은 기판(S) 상에 배치된 클리닝기판(320)의 단면도로, 공기가이드홈(321, 322)을 따라 이동되는 공기가 경사면(325, 326)에 의해 파티클(P)과 접촉되며 파티클(P)을 기판(S)에서 떨어지도록 하고, 이를 공기흡입홈(323,324) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 도 8과 같이, 본 발명의 클리닝수단(300)은 한 쌍의 공기가이드홈(321, 322)의 배치구조를 통해 상기 클리닝기판(320)의 절반영역은 파티클에 공기를 분사하는 블로우 영역(blow area)을 형성할 수 있고, 나머지 절반영역은 한 쌍의 공기흡입홈(323, 324)의 배치구조를 통해 파티클을 흡입하는 석션 영역(suction area)을 형성할 수 있다. 이에, 상기 기판(S)상에 위치된 파티클(P)은 상기 한 쌍의 공기가이드홈(321, 322)과 대응되도록 배치되는 상기 클리닝기판(320)의 타측 영역을 향해 효과적으로 집속될 수 있으며, 상기 클리닝기판(320)으로 이동된 파티클은 상기 한 쌍의 공기흡입홈(323, 324)을 따라 이동하면서 흡입되어 장치 외부로 배출될 수 있다.

상기와 같이, 본 발명의 레이저 리페어용 조명장치는 상술한 구조적 특징을 통해 레이저 리페어 영역과 가까운 거리에서 광을 공급하여 조명의 시인성을 향상시킬 수 있으며, 클리닝수단을 통해 레이저 리페어가 이뤄지는 영역에 생성되는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형 및 변경이 가능하다.

1: 레이저 리페어용 조명장치
10: 카메라 20: 경통
30: 레이저 조사부 40: 미러
50: 렌즈
100: 베이스블록 110: 중공부
120: 제1 오목부 130: 가드부
140: 제2 오목부 150: 장비연결부
200: 조명수단 210: 제1 관통홀
220: 조명블록 230: 광원부
300: 클리닝수단 310: 제2 관통홀
320: 클리닝기판 321, 322: 공기가이드홈
323,324: 공기흡입홈 325, 326: 경사면
330: 공기분사모듈 331, 332: 공기분사포트
335, 336: 공기분사덕트 340: 흡입모듈
341, 342: 흡입포트 345, 346: 흡입덕트
400: 커버기판 410: 제3 관통홀

Claims (11)

1. 제1 관통홀을 구비하는 조명블록과 상기 제1 관통홀의 내주면에 배치된 광원부를 포함하는 조명수단;
   상기 조명블록의 하부에 배치되고, 상기 제1 관통홀과 연결되는 제2 관통홀을 구비하는 클리닝기판; 및
   상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀을 통해 기판 상에 레이저를 조사하는 레이저 조사장치를 구비하고,
   상기 클리닝기판은 상기 기판 상에 분사되는 공기를 가이드하는 공기가이드홈과 상기 기판으로부터 흡입되는 공기를 가이드하는 공기흡입홈을 구비하는, 레이저 리페어용 조명장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 공기가이드홈의 일단부는,
   상기 제2 관통홀을 향해 경사지도록 구비된 경사면을 포함하는, 레이저 리페어용 조명장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 공기가이드홈 및 상기 공기흡입홈은 각각 복수개로 구비되는, 레이저 리페어용 조명장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 복수개의 공기가이드홈들은 서로 이웃하게 배치되고,
   상기 복수개의 공기흡입홈들은 서로 이웃하게 배치되며,
   상기 복수개의 공기가이드홈들과 상기 복수개의 공기흡입홈들은 상기 제2 관통홀을 중심으로 방사상으로 배치되는, 레이저 리페어용 조명장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 공기가이드홈과 상기 공기흡입홈은 상기 제2 관통홀을 중심으로 서로 마주보게 배치되는, 레이저 리페어용 조명장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 기판 상에 상기 공기가이드홈을 통해 공기를 분사하는 공기분사모듈과,
   상기 기판으로부터 상기 공기흡입홈을 통해 공기를 흡입하는 흡입모듈을 더 포함하는, 레이저 리페어용 조명장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀과 연결되는 중공부가 구비되며, 상기 조명수단, 상기 클리닝기판, 상기 공기분사모듈 및 상기 흡입모듈이 장착되는 베이스블록을 더 포함하는, 레이저 리페어용 조명장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 베이스블록은,
   상기 베이스블록의 상면 일측에 구비되며, 상기 조명수단을 수용하는 제1 오목부와,
   상기 제1 오목부의 외주부에 구비되며, 상기 공기분사모듈과 상기 흡입모듈이 장착되는 가드부와,
   상기 베이스블록의 하면 일측에 구비되며, 상기 클리닝기판을 수용하는 제2 오목부를 포함하는, 레이저 리페어용 조명장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 공기분사모듈은,
   상기 가드부 일측을 관통하도록 배치된 공기분사포트와,
   상기 공기분사포트에 공기를 공급하는 공기공급부와,
   상기 공기분사포트와 상기 공기공급부를 연결하는 공기분사덕트를 포함하는, 레이저 리페어용 조명장치.
10. 제8항에 있어서, 상기 흡입모듈은,
    상기 가드부 타측을 관통하도록 배치된 흡입포트와,
    상기 흡입포트를 통해 기판 상에 흡입력을 제공하는 집진부와,
    상기 흡입포트와 상기 집진부를 연결하는 흡입덕트를 포함하는, 레이저 리페어용 조명장치.
11. 제7항에 있어서,
    상기 중공부, 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀과 연결되는 제3 관통홀이 구비되고, 상기 베이스블록과 상기 클리닝기판 사이에 배치되며, 상기 장치 내에 유입된 공기의 누출을 방지하는 커버기판을 더 포함하는, 레이저 리페어용 조명장치.