KR102638343B1 - Tray conveying apparatus and vacuum deposition device comprising the same - Google Patents

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Abstract

일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치는, 가이드를 따라 이동 가능한 베이스; 트레이를 지지 가능한 지지 프레임; 및 상기 베이스 및 지지 프레임을 연결하고, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 독립적으로 조절 가능한 조절부를 포함할 수 있다.A tray transport device according to an embodiment includes a base movable along a guide; A support frame capable of supporting the tray; and an adjustment unit that connects the base and the support frame and can independently adjust an angle formed by the support frame with respect to the guide and a distance between the support frame and the guide.

Figure R1020190046115
Figure R1020190046115

Description

트레이 운반 장치 및 이를 포함하는 진공 성막 장치{TRAY CONVEYING APPARATUS AND VACUUM DEPOSITION DEVICE COMPRISING THE SAME}Tray transport device and vacuum film deposition device including the same {TRAY CONVEYING APPARATUS AND VACUUM DEPOSITION DEVICE COMPRISING THE SAME}

아래의 설명은 트레이 운반 장치 및 이를 포함하는 진공 성막 장치에 관한 것이다.The description below relates to a tray transport device and a vacuum film forming device including the same.

성막 장치에서 기판은 트레이에 장착된 상태로 성막 과정을 거친다. 성막 장치는 트레이를 운반하기 위한 트레이 운반 장치를 포함한다. 트레이 운반 장치는 가이드를 따라서 왕복 운동 가능하다. 예를 들어, 가이드는 지면에 대해 평행하게 마련될 수 있다. 기판은 트레이 운반 장치에 의해 운반되는 트레이에 장착될 수 있다. 트레이는 일반적으로 2개의 레이어, 상부 레이어 및 하부 레이어로 구성된다. 하부 레이어는 사각형 형상의 테두리부와, 테두리부를 연결하는 연결부를 포함할 수 있다. 하부 레이어의 테두리부는 기판의 테두리를 지지할 수 있고, 하부 레이어의 연결부는 기판의 중앙부를 지지할 수 있다. 트레이 운반 장치가 기판 및 트레이를 운반할 때, 트레이 운반 장치는 기판의 중앙부가 불룩하게 변형되는 것을 방지하고, 대형 기판의 경우 파손을 방지하기 위해, 기판 및 트레이를 지면에 대해 80~90도 정도로 유지한 상태로 운반한다.In a film forming device, the substrate undergoes a film forming process while mounted on a tray. The deposition apparatus includes a tray transport device for transporting the tray. The tray transport device is capable of reciprocating movement along the guide. For example, the guide may be provided parallel to the ground. The substrate may be mounted on a tray carried by a tray transport device. Trays generally consist of two layers, an upper layer and a lower layer. The lower layer may include a rectangular edge portion and a connection portion connecting the edge portion. The edge portion of the lower layer may support the edge of the substrate, and the connection portion of the lower layer may support the central portion of the substrate. When the tray transport device transports the substrate and tray, the tray transport device prevents the central part of the substrate from bulging and deforming, and in the case of large substrates, holds the substrate and tray at an angle of about 80 to 90 degrees with respect to the ground to prevent damage. Transport in a maintained state.

성막 장치에서 기판은 트레이와 함께 다수의 챔버 내로 순차적으로 이동하게 된다. 예를 들어, 기판은 챔버에서 성막 과정을 거칠 수 있다. 챔버에서 기판과 트레이는 레일을 따라서 이동할 수 있다. 챔버는 트레이 운반 장치로부터 기판과 트레이를 수용하기 위한 입구 레일과, 트레이 운반 장치로 다시 기판과 트레이를 전달하기 위한 출구 레일과, 입구 레일 및 출구 레일을 연결하는 연결 레일을 포함할 수 있다. 기판 및 트레이는, 성막의 균일성(uniformity)을 높이면서도 이물질이 기판에 묻는 현상을 방지하기 위해, 챔버 내부에서도 지면에 대해 80~90도 정도로 유지한 상태로 이동된다. 이와 같은 이유로 인해, 입구 레일 및 출구 레일은 지면에 대해 약 4도 정도 기울어져 있으며, 트레이 운반 장치 부근에서 높이 차이가 있다. 따라서, 입구 레일 및 출구 레일의 높이 차이를 극복하기 위한 발명이 요구되는 실정이다.In a deposition device, the substrate is sequentially moved into a plurality of chambers along with the tray. For example, the substrate may undergo a film forming process in a chamber. In the chamber, substrates and trays can move along rails. The chamber may include an inlet rail for receiving substrates and trays from the tray transport device, an outlet rail for transferring the substrates and trays back to the tray transport device, and a connecting rail connecting the inlet rail and the outlet rail. The substrate and tray are moved within the chamber at an angle of about 80 to 90 degrees with respect to the ground in order to increase the uniformity of film formation and prevent foreign substances from sticking to the substrate. For this reason, the inlet and outlet rails are inclined at approximately 4 degrees relative to the ground and have a height difference near the tray transport device. Therefore, there is a need for an invention to overcome the height difference between the inlet rail and the outlet rail.

또한, 앞서 설명한 바와 같이, 기판 및 트레이는 지면에 대해 80~90도 기울어진 상태로 이동하게 되며, 성막을 마친 기판은 트레이와 함께 트레이 스톡에 저장되게 되는데, 기판 및 트레이가 지면에 대해 80~90도 기울어져 있으므로 공간을 많이 차지하게 되는 문제가 있다. 이러한 문제점을 해소하여, 기판 및 트레이를 효과적으로 저장하기 위한 발명이 요구되는 실정이다.In addition, as previously explained, the substrate and tray are moved at an angle of 80 to 90 degrees with respect to the ground, and the substrate after film formation is stored in the tray stock together with the tray, where the substrate and tray are tilted at an angle of 80 to 90 degrees to the ground. Since it is tilted at 90 degrees, it has the problem of taking up a lot of space. There is a need for an invention to solve these problems and effectively store substrates and trays.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공증에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.The above-mentioned background technology is possessed or acquired by the inventor in the process of deriving the present invention, and cannot necessarily be said to be known technology disclosed to the general public before filing the application for the present invention.

일 실시 예의 목적은 트레이의 각도 및 높이를 조절하되, 트레이의 각도를 유지한 채로 높이 조절이 가능하며, 높이를 유지한 채로 각도 조절이 가능한 트레이 운반 장치 및 진공 성막 장치를 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a tray transport device and a vacuum film forming device that can adjust the angle and height of the tray while maintaining the angle of the tray, and that can adjust the angle while maintaining the height.

일 실시 예의 목적은 입구 레일 및 출구 레일의 높이 차이를 보상하여, 안정적으로 트레이를 전달하거나 수용할 수 있는 트레이 운반 장치 및 진공 성막 장치를 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a tray transport device and a vacuum film deposition device that can stably deliver or receive a tray by compensating for a height difference between an inlet rail and an outlet rail.

일 실시 예의 목적은 트레이 스톡에 트레이를 저장할 때, 트레이를 지면에 대해 수직하게 세워 저장하여, 공간 효율성을 높일 수 있는 트레이 운반 장치 및 진공 성막 장치를 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a tray transport device and a vacuum film forming device that can increase space efficiency by storing the tray vertically with respect to the ground when storing the tray in tray stock.

일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치는, 가이드를 따라 이동 가능한 베이스; 트레이를 지지 가능한 지지 프레임; 및 상기 베이스 및 지지 프레임을 연결하고, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 독립적으로 조절 가능한 조절부를 포함할 수 있다.A tray transport device according to an embodiment includes a base movable along a guide; A support frame capable of supporting the tray; and an adjustment unit that connects the base and the support frame and can independently adjust an angle formed by the support frame with respect to the guide and a distance between the support frame and the guide.

상기 조절부는, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도를 유지하면서, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 조절 가능하고, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 유지하면서, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도를 조절 가능하다.The adjusting unit is capable of adjusting the distance between the support frame and the guide while maintaining the angle formed by the support frame with respect to the guide, and maintaining the distance between the support frame and the guide, while maintaining the distance between the support frame and the guide. The angle formed by the support frame can be adjusted.

상기 조절부는, 상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 메인 액추에이터; 상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되는 연결 링크; 및 상기 베이스 및 연결 링크 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 보조 액추에이터를 포함할 수 있다.The control unit includes a main actuator rotatably connected to each of the base and the support frame and capable of expanding and contracting; a connection link rotatably connected to each of the base and support frame; And it may include an auxiliary actuator rotatably connected to each of the base and the connection link and capable of expanding and contracting.

상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이에 기초하여, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리가 결정될 수 있다.Based on the lengths of the main actuator and the auxiliary actuator, an angle formed by the support frame with respect to the guide and a distance between the support frame and the guide may be determined.

상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터는, 상기 연결 링크를 기준으로 서로 반대편에 배치될 수 있다.The main actuator and the auxiliary actuator may be arranged on opposite sides of each other based on the connection link.

상기 베이스는, 상기 가이드를 따라 슬라이딩 가능한 베이스 바디; 및 상기 베이스 바디 상에 배치되고, 상기 연결 링크를 회전 가능하게 지지하는 사이드 프레임을 포함할 수 있다.The base includes a base body that can slide along the guide; And it may include a side frame disposed on the base body and rotatably supporting the connection link.

상기 연결 링크의 길이는, 상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이 보다 작을 수 있다.The length of the connection link may be shorter than the length of the main actuator and the auxiliary actuator.

상기 트레이 운반 장치는 상기 베이스에 배치되고, 상기 베이스에 대해 상방 또는 하방으로 이동 가능한 승강부를 더 포함할 수 있다.The tray transport device may further include a lifting part that is disposed on the base and can move upward or downward with respect to the base.

상기 조절부는 2개로 구비되고, 상기 2개의 조절부 중 어느 하나의 조절부는 상기 지지 프레임의 좌측부에 연결되고, 다른 하나의 조절부는 상기 지지 프레임의 우측부에 연결될 수 있다.The control unit may be provided in two pieces, and one of the two control units may be connected to the left side of the support frame, and the other control part may be connected to the right side of the support frame.

상기 승강부는, 상기 2개의 조절부 사이에 배치될 수 있다.The lifting unit may be disposed between the two adjusting units.

일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치는, 가이드를 따라 이동 가능한 베이스;상부 레이어 및 하부 레이어로 구성되는 트레이를 지지 가능한 지지 프레임; 상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 메인 액추에이터; 상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되는 연결 링크; 및 상기 베이스 및 연결 링크 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 보조 액추에이터를 포함할 수 있다.A tray transport device according to an embodiment includes: a base movable along a guide; a support frame capable of supporting a tray consisting of an upper layer and a lower layer; a main actuator rotatably connected to each of the base and support frame and capable of expanding and contracting; a connection link rotatably connected to each of the base and support frame; And it may include an auxiliary actuator rotatably connected to each of the base and the connection link and capable of expanding and contracting.

상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이에 기초하여, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리가 결정될 수 있다.Based on the lengths of the main actuator and the auxiliary actuator, an angle formed by the support frame with respect to the guide and a distance between the support frame and the guide may be determined.

상기 지지 프레임이 상기 가이드로부터 이격된 거리는, 상기 지지 프레임이 상기 가이드에 대해 이루는 각도를 유지한 채로 조절될 수 있고, 상기 지지 프레임이 상기 가이드에 대해 이루는 각도는, 상기 지지 프레임이 상기 가이드로부터 이격된 거리를 유지한 채로 조절될 수 있다.The distance that the support frame is separated from the guide can be adjusted while maintaining the angle that the support frame makes with respect to the guide, and the angle that the support frame makes with respect to the guide is the distance that the support frame makes with respect to the guide. It can be adjusted while maintaining the specified distance.

상기 트레이 운반 장치는, 상기 베이스에 배치되고, 상기 베이스에 대해 상방으로 이동하여 상기 상부 레이어 및 하부 레이어를 이격시키는 승강부를 더 포함할 수 있다.The tray transport device may further include a lifting part disposed on the base and moving upward with respect to the base to separate the upper layer and the lower layer.

상기 승강부는, 상기 베이스의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 신장 또는 수축 가능한 승강 액추에이터; 상기 승강 액추에이터에 연결되는 승강 플레이트; 및 상기 승강 플레이트의 테두리부의 연직 방향으로 배치되고, 상기 하부 레이어의 내측을 통과하여 상기 상부 레이어를 지지 가능한 복수 개의 트레이 지지 로드를 포함할 수 있다.The lifting unit includes: a lifting actuator capable of expanding or contracting in a direction perpendicular to the moving direction of the base; A lifting plate connected to the lifting actuator; And it may include a plurality of tray support rods disposed in a vertical direction of the edge of the lifting plate and capable of supporting the upper layer by passing through the inside of the lower layer.

상기 승강부는, 상기 승강 플레이트의 연직 방향으로 배치되고, 상기 트레이 지지 로드보다 낮은 높이를 갖는 복수 개의 기판 지지 로드를 더 포함할 수 있다.The lifting unit may further include a plurality of substrate support rods disposed in a vertical direction of the lifting plate and having a lower height than the tray support rod.

일 실시 예에 따른 진공 성막 장치는, 가이드를 따라 이동 가능한 베이스와, 트레이를 지지 가능한 지지 프레임과, 상기 베이스 및 지지 프레임을 연결하고, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 독립적으로 조절 가능한 조절부를 포함하는 트레이 운반 장치; 및 상기 트레이 운반 장치로부터 상기 트레이를 전달 받는 입구 레일과, 상기 입구 레일로부터 연장되는 연결 레일과, 상기 연결 레일로부터 연장되고 상기 트레이 운반 장치로 상기 트레이를 전달하는 출구 레일을 포함하는 챔버를 포함하고, 상기 입구 레일 및 출구 레일은 상기 가이드에 대해 이루는 각도는 동일하되, 상기 가이드로부터 이격된 거리는 서로 상이하고, 상기 트레이 운반 장치는, 상기 지지 프레임을 상기 입구 레일 및 출구 레일 각각에 정렬시킬 수 있다.A vacuum film forming apparatus according to an embodiment includes a base movable along a guide, a support frame capable of supporting a tray, connecting the base and the support frame, an angle formed by the support frame with respect to the guide, and an angle formed by the support frame with respect to the guide, and a support frame capable of supporting a tray. A tray transport device including an adjuster capable of independently adjusting the distance at which the support frames are spaced apart. and a chamber including an inlet rail for receiving the tray from the tray transport device, a connection rail extending from the inlet rail, and an outlet rail extending from the connection rail for delivering the tray to the tray transport device. , the angles of the inlet rail and the outlet rail with respect to the guide are the same, but the distances spaced apart from the guide are different from each other, and the tray transport device may align the support frame to each of the inlet rail and the outlet rail. .

상기 조절부는, 상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 메인 액추에이터; 상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되는 연결 링크; 및 상기 베이스 및 연결 링크 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 보조 액추에이터를 포함하고, 상기 트레이 운반 장치는, 상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이를 조절하여, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도를 유지한 채로, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 조절 가능하다.The control unit includes a main actuator rotatably connected to each of the base and the support frame and capable of expanding and contracting; a connection link rotatably connected to each of the base and support frame; and an auxiliary actuator rotatably connected to each of the base and the connection link and capable of expanding and contracting, wherein the tray transport device adjusts the lengths of the main actuator and the auxiliary actuator so that the support frame is positioned relative to the guide. While maintaining the angle formed, the distance between the support frame and the guide can be adjusted.

상기 진공 성막 장치는 상기 트레이를 저장할 수 있는 트레이 스톡을 더 포함하고, 상기 트레이 운반 장치는 상기 지지 프레임을 상기 가이드에 대해 수직하게 세운 뒤, 상기 트레이 스톡과 상기 트레이를 주고 받을 수 있다.The vacuum deposition apparatus further includes a tray stock capable of storing the tray, and the tray transport device can exchange the tray stock and the tray after setting the support frame perpendicular to the guide.

일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치 및 진공 성막 장치는, 트레이의 각도 및 높이를 조절하되, 트레이의 각도를 유지한 채로 높이 조절이 가능하며, 높이를 유지한 채로 각도 조절이 가능하다.A tray transport device and a vacuum film forming device according to an embodiment adjust the angle and height of the tray, but the height can be adjusted while maintaining the angle of the tray, and the angle can be adjusted while maintaining the height.

또한, 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치 및 진공 성막 장치는, 입구 레일 및 출구 레일의 높이 차이를 보상하여, 안정적으로 트레이를 전달하거나 수용할 수 있다.Additionally, the tray transport device and the vacuum film forming device according to one embodiment can stably deliver or receive trays by compensating for the height difference between the inlet rail and the outlet rail.

또한, 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치 및 진공 성막 장치는, 트레이 스톡에 트레이를 저장할 때, 트레이를 지면에 대해 수직하게 세워 저장하여, 공간 효율성을 높일 수 있다.In addition, the tray transport device and the vacuum film forming device according to one embodiment can increase space efficiency by storing the tray in a vertical position with respect to the ground when storing the tray in the tray stock.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 진공 성막 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 진공 성막 장치의 일부분을 개략적으로 도시한 부분 절개 사시도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치와 챔버의 레일들의 측면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 트레이를 챔버의 입구 레일에 정렬시킨 모습을 도시하는 측면도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 지지 프레임의 각도를 유지한 채로 지지 프레임이 가이드로부터 이격된 거리를 증가시킨 모습을 도시하고, 트레이가 출구 레일로 이동된 모습을 도시하는 측면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 출구 레일에 있는 트레이와 정렬된 모습을 도시하는 측면도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 트레이를 수직하게 세워 트레이 스톡에 저장하는 모습을 도시하는 측면도이다.
도 9는 일 실시 예에 따른 승강 플레이트를 도시하는 사시도이다.
도 10은 일 실시 예에 따른 상부 레이어, 하부 레이어 및 기판을 도시하는 분해 사시도이다.
도 11 내지 도 14는 일 실시 예에 따른 승강부에 작동 모습을 개략적으로 도시하는 측면도이다.The following drawings attached to this specification illustrate a preferred embodiment of the present invention, and serve to further understand the technical idea of the present invention along with the detailed description of the invention, so the present invention is limited to the matters described in such drawings. It should not be interpreted in a limited way.
1 is a perspective view of a tray transport device according to one embodiment.
Figure 2 is a plan view schematically showing a vacuum film forming apparatus according to an embodiment.
Figure 3 is a partially cut-away perspective view schematically showing a portion of a vacuum film forming apparatus according to an embodiment.
4 is a side view of rails of a tray transport device and chamber according to one embodiment.
Figure 5 is a side view showing a tray transport device according to one embodiment aligning a tray with an entrance rail of a chamber.
FIG. 6 is a side view illustrating a tray transport device according to an embodiment in which the distance between the support frame and the guide is increased while maintaining the angle of the support frame, and the tray is moved to an exit rail.
Figure 7 is a side view showing a tray transport device aligned with a tray on an exit rail, according to one embodiment.
Figure 8 is a side view showing a tray transport device according to an embodiment of storing a tray in a tray stock by standing it vertically.
Figure 9 is a perspective view showing a lifting plate according to one embodiment.
Figure 10 is an exploded perspective view showing an upper layer, a lower layer, and a substrate according to one embodiment.
11 to 14 are side views schematically showing the operation of the lifting unit according to an embodiment.

이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, embodiments will be described in detail through illustrative drawings. When adding reference numerals to components in each drawing, it should be noted that identical components are given the same reference numerals as much as possible even if they are shown in different drawings. Additionally, when describing an embodiment, if a detailed description of a related known configuration or function is judged to impede understanding of the embodiment, the detailed description will be omitted.

또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. Additionally, in describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, sequence, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected," "coupled," or "connected" to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but there is no need for another component between each component. It should be understood that may be “connected,” “combined,” or “connected.”

어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Components included in one embodiment and components including common functions will be described using the same names in other embodiments. Unless stated to the contrary, the description given in one embodiment may be applied to other embodiments, and detailed description will be omitted to the extent of overlap.

도 1은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 진공 성막 장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 진공 성막 장치의 일부분을 개략적으로 도시한 부분 절개 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a tray transport device according to an embodiment, FIG. 2 is a plan view schematically showing a vacuum film forming device according to an embodiment, and FIG. 3 is a schematic view of a portion of the vacuum film forming device according to an embodiment. This is a partially cut perspective view.

도면에 있어서, x, y 및 z축은 상호 직교하는 3축 방향을 나타내고 있고, x축은 베이스의 이동 방향, 즉 가이드의 길이 방향을, y축은 베이스의 폭 방향을, z축은 지면에 대해 수직한 방향을 각각 나타내고 있다(이하 각 도면에서도 마찬가지임).In the drawing, the x, y and z axes represent three axes orthogonal to each other, the x-axis is the moving direction of the base, that is, the longitudinal direction of the guide, the y-axis is the width direction of the base, and the z-axis is a direction perpendicular to the ground. (the same applies to each drawing below).

도 1 내지 도 3을 참조하면, 진공 성막 장치(100)는 기판에 성막 등의 작업을 수행할 수 있다. 진공 성막 장치(100)는, 하우징(110), 트레이 운반 장치(1), 트레이 스톡(120), 기판 공급부(140), 복수 개의 챔버(9A, 9B, 9C)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 to 3 , the vacuum film forming apparatus 100 can perform operations such as forming a film on a substrate. The vacuum film deposition apparatus 100 may include a housing 110, a tray transport device 1, a tray stock 120, a substrate supply unit 140, and a plurality of chambers 9A, 9B, and 9C.

하우징(110)은 트레이 운반 장치(1)를 수용할 수 있다. 하우징(110)은 트레이 운반 장치(1) 상으로 트레이(T)가 이동할 수 있도록, 트레이(T)에 기판이 안정적으로 장착될 수 있도록 공간을 마련할 수 있다. 하우징(110)은 트레이 운반 장치(1)에 불순물이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 하우징(110)은 외부 공간으로부터 내부 공간을 폐쇄시킬 수 있다. 하우징(110)은 내부 공간의 압력 및 습도를 설정 값으로 일정하게 유지할 수 있다. 상기 설정 값은 기판의 사양에 따라 적절하게 조절될 수 있다. 하우징(110)은 기판 통과부(150)를 포함할 수 있다.Housing 110 can accommodate tray transport device 1. The housing 110 may provide space so that the tray T can be moved on the tray transport device 1 and the substrate can be stably mounted on the tray T. The housing 110 can prevent impurities from penetrating into the tray transport device 1. For example, the housing 110 may close the interior space from the exterior space. The housing 110 can keep the pressure and humidity of the internal space constant at set values. The setting value can be appropriately adjusted depending on the specifications of the substrate. The housing 110 may include a substrate passing portion 150.

기판 통과부(150)는 하우징(110) 및 기판 공급부(140)를 연결할 수 있다. 기판 통과부(150)는 기판을 통과시킬 수 있는 형상, 예를 들어 직사각형 형상의 통로를 가질 수 있다. 기판은 지면에 수평하게 기판 통과부(150)를 통과하여, 트레이 운반 장치(1) 상에 배치된 트레이(T) 상에 안착될 수 있다.The substrate passing part 150 may connect the housing 110 and the substrate supply part 140. The substrate passing part 150 may have a shape that allows a substrate to pass through, for example, a rectangular passage. The substrate may pass through the substrate passing part 150 horizontally to the ground and be seated on the tray T disposed on the tray transport device 1.

트레이 운반 장치(1)는 가이드(G)를 따라 이동하는 방식으로, 트레이(T)를 운반할 수 있다. 예를 들어, 트레이 운반 장치(1)는 하우징(110) 내부 공간의 바닥에 마련된 가이드(G)를 따라 이동할 수 있다. 가이드(G)는 일직선 형상인 것으로 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않음을 밝혀 둔다. 예를 들어, 가이드(G)는 커브 경로를 형성할 수도 있다. 트레이 운반 장치(1)는 트레이 교체 포지션과 기판 교체 포지션에 위치할 수 있다. 트레이 교체 포지션은 하우징(110) 중 트레이 스톡(120)에 인접한 포지션을 의미하며, 트레이 운반 장치(1)가 트레이 스톡(120)으로부터 트레이(T)를 전달받거나, 트레이 스톡(120)으로 트레이(T)를 전달할 수 있는 포지션을 의미한다. 기판 교체 포지션은 하우징(110) 중 기판 공급부(140)에 인접한 포지션이며, 트레이 운반 장치(1)가 기판 공급부(140)로부터 기판을 전달받거나, 기판 공급부(140)로 기판을 전달할 수 있는 포지션을 의미한다.The tray transport device 1 can transport the tray T by moving along the guide G. For example, the tray transport device 1 may move along a guide G provided at the bottom of the inner space of the housing 110. The guide G is shown as having a straight shape, but it should be noted that it is not limited thereto. For example, the guide G may form a curved path. The tray transport device 1 can be positioned in a tray exchange position and a substrate exchange position. The tray replacement position refers to a position adjacent to the tray stock 120 in the housing 110, where the tray transport device 1 receives the tray (T) from the tray stock 120 or transfers the tray (T) to the tray stock 120. This refers to a position that can deliver T). The substrate replacement position is a position adjacent to the substrate supply unit 140 in the housing 110, and is a position where the tray transport device 1 can receive a substrate from the substrate supply unit 140 or deliver a substrate to the substrate supply unit 140. it means.

트레이 운반 장치(1)는 베이스(11), 지지 프레임(12), 조절부(13) 및 승강부(14)를 포함한다.The tray transport device 1 includes a base 11, a support frame 12, an adjusting portion 13, and a lifting portion 14.

베이스(11)는 트레이 운반 장치(1)의 몸체를 구성하며, 가이드(G)를 따라 이동 가능하다. 베이스(11)는 가이드(G)에 접촉한 상태로 이동 가능한 베이스 바디(111)와, 베이스 바디(111)의 측방(+y방향 및 -y방향)에 형성되고 후술하는 연결 링크(132)를 회전 가능하게 지지하는 사이드 프레임(112)과, 베이스 바디(111)의 중앙부에 형성되는 센터 프레임(113)을 포함할 수 있다.The base 11 constitutes the body of the tray transport device 1 and is movable along the guide G. The base 11 includes a base body 111 that can move while in contact with the guide G, and a connection link 132 formed on the side (+y direction and -y direction) of the base body 111 and described later. It may include a side frame 112 that rotatably supports and a center frame 113 formed in the center of the base body 111.

지지 프레임(12)은 트레이(T)를 지지 가능하다. 지지 프레임(12)은 대략 사각 띠 형상을 가질 수 있다. 지지 프레임(12)은 트레이(T)의 테두리부를 지지 가능하다. 지지 프레임(12)의 중앙부에는 승강부(14)가 통과하기 위한 홀이 마련된다.The support frame 12 is capable of supporting the tray (T). The support frame 12 may have a substantially rectangular strip shape. The support frame 12 is capable of supporting the edge portion of the tray T. A hole is provided in the center of the support frame 12 for the lifting part 14 to pass through.

조절부(13)는 베이스(11) 및 지지 프레임(12)을 연결하고, 가이드(G)에 대해 지지 프레임(12)이 이루는 각도와, 가이드(G)로부터 지지 프레임(12)이 이격된 거리를 독립적으로 조절 가능하다. 여기서, "독립적으로 조절"이라는 뜻은, 각도와 거리를 개별적으로 조절 가능하다는 것을 의미한다. 다시 말하면, 조절부(13)는 가이드(G)에 대해 지지 프레임(12)이 이루는 각도를 유지하면서, 가이드(G)로부터 지지 프레임(12)이 이격된 거리를 조절 가능할 뿐만 아니라, 조절부(13)는 가이드(G)로부터 지지 프레임(12)이 이격된 거리를 유지하면서, 가이드(G)에 대해 지지 프레임(12)이 이루는 각도를 조절 가능하다. 여기서, 지지 프레임(12)의 각도 및 거리에 대한 기준점을 가이드(G)로 설정하였으나, 이와 달리 기준점은 지면(ground) 또는 하우징(110)의 바닥면으로 설정될 수도 있음을 밝혀 둔다.The adjusting unit 13 connects the base 11 and the support frame 12, and the angle formed by the support frame 12 with respect to the guide G, and the distance between the support frame 12 and the guide G can be adjusted independently. Here, “independently adjustable” means that the angle and distance can be adjusted individually. In other words, the adjuster 13 not only maintains the angle formed by the support frame 12 with respect to the guide G, but also adjusts the distance between the support frame 12 and the guide G. 13) is capable of adjusting the angle formed by the support frame 12 with respect to the guide (G) while maintaining the distance between the support frame 12 and the guide (G). Here, the reference point for the angle and distance of the support frame 12 is set to the guide G, but it should be noted that, alternatively, the reference point may be set to the ground or the bottom surface of the housing 110.

트레이 운반 장치(1)는 기판의 중앙부가 불룩해지는 현상을 방지하거나, 대형 기판이 깨지는 현상을 방지하기 위해, 트레이(T)를 가이드(G, 지면일 수 있음)에 대해 80~90도 기울인 상태로 이동하게 된다. 또한, 복수 개의 챔버(9A, 9B, 9C)에서도 마찬가지로, 기판의 중앙부가 불룩해지는 현상을 방지하거나, 대형 기판이 깨지는 현상을 방지하거나, 성막의 균일성을 높이기 위해서, 또는 이물질이 묻는 현상을 줄이기 위해 기판을 86도 정도 기울인 상태로 챔버(9A, 9B, 9C) 내에서 이동시킨다. 이와 같은 이유로 인해, 챔버의 입구 레일(91A, 91B, 91C)과, 출구 레일(93A, 93B, 93C) 사이에는 높이 차이가 발생하게 된다. 높이 차이에 대해서는 도 4를 참조하여, 보다 구체적으로 설명하기로 한다. 조절부(13)는 이와 같은 레일간 높이 차이를 보상할 수 있다. 조절부(13)는, 지지 프레임(12)이 가이드(G)에 대해 이루는 각도는 유지한 상태로, 지지 프레임(12)이 가이드(G)로부터 이격된 거리만을 조절하여, 지지 프레임(12)을 입구 레일 및 출구 레일 각각에 정렬시킬 수 있다. 또한, 조절부(13)는 트레이(T)를 80~90도 기울인 상태로 이동시키다가, 트레이 교체 포지션에 도달할 경우, 지지 프레임(12)의 각도를 조절함으로써, 트레이(T)를 수직하게 세운 상태로 트레이 스톡(120)에 저장할 수 있다. 이 경우, 트레이(T)는 보다 촘촘하게 저장될 수 있으며, 진공 성막 장치의 공간이 효율적으로 사용될 수 있다.The tray transport device (1) tilts the tray (T) at an angle of 80 to 90 degrees with respect to the guide (G, which may be the ground) to prevent the central part of the substrate from bulging or to prevent large substrates from breaking. moves to . In addition, in the plurality of chambers 9A, 9B, and 9C, it is also used to prevent the central part of the substrate from bulging, to prevent the large substrate from breaking, to increase the uniformity of film formation, or to reduce the phenomenon of foreign substances. For this purpose, the substrate is moved within the chambers 9A, 9B, and 9C with the substrate tilted at approximately 86 degrees. For this reason, a height difference occurs between the inlet rails 91A, 91B, and 91C of the chamber and the outlet rails 93A, 93B, and 93C. The height difference will be described in more detail with reference to FIG. 4. The adjusting unit 13 can compensate for the height difference between rails. The adjuster 13 maintains the angle formed by the support frame 12 with respect to the guide G and adjusts only the distance at which the support frame 12 is separated from the guide G, thereby maintaining the support frame 12. can be aligned to the inlet rail and outlet rail, respectively. In addition, the adjuster 13 moves the tray (T) in a tilted state of 80 to 90 degrees, and when it reaches the tray replacement position, adjusts the angle of the support frame 12 to vertically adjust the tray (T). It can be stored in the tray stock (120) in an upright position. In this case, the tray T can be stored more densely, and the space of the vacuum film forming apparatus can be used efficiently.

조절부(13)는 메인 액추에이터(131), 연결 링크(132) 및 보조 액추에이터(133)를 포함할 수 있다. The control unit 13 may include a main actuator 131, a connecting link 132, and an auxiliary actuator 133.

메인 액추에이터(131)는 베이스(11) 및 지지 프레임(12) 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능하다. 메인 액추에이터(131)는 신장하면서 지지 프레임(12)을 전방(+x 방향)으로 기울여, 지지 프레임(12)이 가이드(G)에 대해 이루는 각도를 증가시킨다. 다시 말하면, 지지 프레임(12)을 세운다. 한편, 메인 액추에이터(131)는 수축하면서 지지 프레임(12)을 후방(-x 방향)으로 기울여, 지지 프레임(12)이 가이드(G)에 대해 이루는 각도를 감소시킨다. 다시 말하면, 지지 프레임(12)을 눕힌다.The main actuator 131 is rotatably connected to each of the base 11 and the support frame 12, and is capable of expanding and contracting. The main actuator 131 extends and tilts the support frame 12 forward (+x direction) to increase the angle formed by the support frame 12 with respect to the guide (G). In other words, erect the support frame 12. Meanwhile, the main actuator 131 contracts and tilts the support frame 12 backward (-x direction), thereby reducing the angle formed by the support frame 12 with respect to the guide (G). In other words, the support frame 12 is laid down.

연결 링크(132)는 베이스(11) 및 지지 프레임(12) 각각에 회전 가능하게 연결된다. 연결 링크(132) 중 베이스(11)에 회전 가능하게 연결된 지점은, 메인 액추에이터(131) 중 베이스(11)에 회전 가능하게 연결된 지점보다 상방(+z 방향)에 위치할 수 있다. 연결 링크(132)는 그 크기가 작게 형성될 수 있고, 지지 프레임(12)의 이동 범위가 작게 형성될 수 있다. 예를 들어, 연결 링크(132)는 사이드 프레임(112) 상에 배치될 수 있다.The connection link 132 is rotatably connected to each of the base 11 and the support frame 12. The point of the connection link 132 rotatably connected to the base 11 may be located above (+z direction) than the point of the main actuator 131 rotatably connected to the base 11. The connecting link 132 may be formed to be small in size, and the movement range of the support frame 12 may be formed to be small. For example, the connecting link 132 may be placed on the side frame 112.

보조 액추에이터(133)는 베이스(11) 및 연결 링크(132) 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능하다. 보조 액추에이터(133)는 연결 링크(132)의 중앙부에 회전 가능하게 연결될 수 있다. 보조 액추에이터(133)는 신장하면서 연결 링크(132)를 후방(-x 방향)으로 회전시킬 수 있다. 한편, 보조 액추에이터(133)는 수축하면서 연결 링크(132)를 전방(x 방향)으로 회전시킬 수 있다.The auxiliary actuator 133 is rotatably connected to each of the base 11 and the connecting link 132, and is capable of expanding and contracting. The auxiliary actuator 133 may be rotatably connected to the central portion of the connection link 132. The auxiliary actuator 133 may rotate the connection link 132 backward (-x direction) while expanding. Meanwhile, the auxiliary actuator 133 may rotate the connection link 132 forward (x direction) while contracting.

트레이 스톡(120)은 트레이 교체 포지션에 위치한 트레이 운반 장치(1)와 트레이(T)를 주고 받을 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 챔버(9A, 9B, 9C) 중 적어도 하나 이상의 챔버에서 1회 이상의 성막을 진행한 트레이(T) 상에는 성막 물질이 쌓일 수 있다. 트레이(T) 상에 쌓인 성막 물질은 성막 품질을 저하시킬 수 있으므로, 트레이(T)는 교체될 필요가 있다. 성막 물질이 쌓인 트레이(T)는 트레이 운반 장치(1)로부터 트레이 스톡(120)으로 전달될 수 있고, 깨끗한 트레이(T)가 트레이 스톡(120)으로부터 트레이 운반 장치(1)로 전달될 수 있다. The tray stock 120 can exchange a tray (T) with the tray transport device 1 located at the tray replacement position. For example, film-forming material may be accumulated on the tray T where one or more film-forming processes have been performed in at least one of the plurality of chambers 9A, 9B, and 9C. Since the deposition material accumulated on the tray T may deteriorate the deposition quality, the tray T needs to be replaced. The tray (T) on which the deposition material is piled can be transferred from the tray transport device (1) to the tray stock (120), and the clean tray (T) can be transferred from the tray stock (120) to the tray transport device (1). .

트레이 스톡(120)은 지면에 대해 수직한 상태로 복수 개의 트레이(T)를 보관할 수 있는 보관부(120a)를 포함할 수 있다. 보관부(120a)는 지면에 대해 80~90도로 기울어진 트레이(T)를 보관하는 것이 아니라, 지면에 대해 90도로 기울어진, 다시 말하면 지면에 직교하는 트레이(T)를 보관하는 것이므로, 복수 개의 트레이(T)를 촘촘하게 저장할 수 있다. 예를 들어, 보관부(120a)가 지면에 대해 80~90도 기울어진 트레이(T)를 저장하게 될 경우, 보관부(120a)의 폭은 기울어진 트레이(T)를 온전하게 수용하기 위해 트레이(T)의 폭 보다 커야 하며, 트레이(T)는 상대적으로 촘촘하게 배열되기 힘들다.The tray stock 120 may include a storage portion 120a that can store a plurality of trays T in a state perpendicular to the ground. The storage unit 120a does not store the tray (T) inclined at 80 to 90 degrees with respect to the ground, but rather stores the tray (T) tilted at 90 degrees with respect to the ground, that is, perpendicular to the ground, so it stores a plurality of trays (T). Trays (T) can be stored tightly. For example, when the storage unit 120a stores a tray (T) inclined at an angle of 80 to 90 degrees with respect to the ground, the width of the storage unit 120a is adjusted to the width of the tray to fully accommodate the inclined tray (T). It must be larger than the width of (T), and it is difficult to arrange the tray (T) relatively tightly.

기판 공급부(140)는 기판 교체 포지션에 위치한 트레이 운반 장치(1)와 기판을 주고받을 수 있다. 기판 공급부(140)는 복수 개의 기판(미도시)을 구비할 수 있다. 트레이 운반 장치(1)가 기판 교체 포지션에 위치할 경우, 기판은 기판 공급부(140)로부터 트레이 운반 장치(1)로 전달될 수 있다.The substrate supply unit 140 can exchange substrates with the tray transport device 1 located at the substrate replacement position. The substrate supply unit 140 may include a plurality of substrates (not shown). When the tray transport device 1 is located in the substrate replacement position, the substrate may be transferred from the substrate supply unit 140 to the tray transport device 1.

복수 개의 챔버(9A, 9B, 9C)는 하우징(110)의 측부에 마련될 수 있다. 복수 개의 챔버(9A, 9B, 9C) 각각은 내부로 트레이(T) 및 기판을 수용하여, 기판에 성막 등의 공정을 수행할 수 있다. 복수 개의 챔버(9A, 9B, 9C) 각각은 하우징(110) 내의 트레이 운반 장치(1)로부터 트레이(T) 및 기판을 수용하기 위한 입구부(7A, 7B, 7C)와, 하우징(110) 내의 트레이 운반 장치(1)로 기판을 전달하기 위한 출구부(8A, 8B, 8C)를 포함할 수 있다. 복수 개의 챔버(9A, 9B, 9C) 각각은 입구 레일(91A, 91B, 91C)와, 연결 레일(92A, 92B, 92C)와, 출구 레일(93A, 93B, 93C)를 포함할 수 있으며, 중복된 설명을 피하기 위해, 이하, 챔버, 입구 레일, 연결 레일 및 출구 레일 각각의 도면부호를 9, 91, 92, 93으로 지칭하여 설명하기로 한다.A plurality of chambers 9A, 9B, and 9C may be provided on the side of the housing 110. Each of the plurality of chambers 9A, 9B, and 9C can accommodate a tray T and a substrate therein, and perform a process such as forming a film on the substrate. Each of the plurality of chambers 9A, 9B, 9C has an entrance portion 7A, 7B, 7C for receiving the tray T and the substrate from the tray transport device 1 within the housing 110, and an inlet portion 7A, 7B, 7C within the housing 110. It may include outlet portions 8A, 8B, and 8C for transferring the substrate to the tray transport device 1. Each of the plurality of chambers (9A, 9B, 9C) may include an inlet rail (91A, 91B, 91C), a connecting rail (92A, 92B, 92C), and an outlet rail (93A, 93B, 93C), and may be redundant. In order to avoid repeated explanations, hereinafter, the chamber, the inlet rail, the connecting rail, and the outlet rail will be described with reference numerals 9, 91, 92, and 93, respectively.

조절부(13)는 2개로 구비되고, 2개의 조절부(13) 중 어느 하나의 조절부는 지지 프레임(12)의 좌측부에 연결되고, 다른 하나의 조절부는 지지 프레임(12)의 우측부에 연결된다.There are two adjustment units 13, one of the two adjustment units 13 is connected to the left side of the support frame 12, and the other adjustment part is connected to the right side of the support frame 12. do.

승강부(14)는 2개의 조절부 사이에 배치되고, 베이스(11)에 대해 상방 또는 하방으로 이동 가능하다. 승강부(14)가 2개의 조절부 사이에 배치되므로, 승강부(14)는 안정적으로 트레이(T)를 승하강 시킬 수 있다.The lifting part 14 is disposed between the two adjusting parts and can move upward or downward with respect to the base 11. Since the lifting unit 14 is disposed between the two adjusting units, the lifting unit 14 can stably raise and lower the tray T.

도 4는 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치와 챔버의 레일들의 측면도이다.4 is a side view of rails of a tray transport device and chamber according to one embodiment.

도 4를 참조하면, 입구 레일(91) 및 출구 레일(93)은 진공 성막 장치의 측면에서 바라볼 때, 가이드(G)에 대해 상대적으로 일정한 각도를 이루고 있다. 입구 레일(91) 및 출구 레일(93)은 가이드(G)에 대해 대략 86도 기울어진 트레이(T)를 수용하기 위해 기울어져 있는데, 연결 레일(92)에 의해 서로 거리(L)만큼 이격되어 있으므로, 높이 차(H)가 발생한다. 예를 들어, 트레이(T)가 가이드(G)에 대해 86도 기울어져 있다고 할 때, 입구 레일(91) 및 출구 레일(93)이 가이드(G)에 대해 이루는 각도(Θ)는 4도라고 볼 수 있다. 이 경우, 높이 차(H)는 L*tan(Θ)로 결정될 수 있다.Referring to FIG. 4, the inlet rail 91 and the outlet rail 93 form a relatively constant angle with respect to the guide G when viewed from the side of the vacuum film forming apparatus. The inlet rail 91 and outlet rail 93 are inclined to accommodate a tray (T) inclined at approximately 86 degrees with respect to the guide (G), and are spaced apart from each other by a distance (L) by a connecting rail (92). Therefore, a height difference (H) occurs. For example, when the tray (T) is inclined at 86 degrees with respect to the guide (G), the angle (Θ) formed by the inlet rail 91 and the outlet rail 93 with respect to the guide (G) is considered to be 4 degrees. You can. In this case, the height difference (H) can be determined as L*tan(Θ).

메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133)의 길이에 기초하여, 가이드(G)에 대해 지지 프레임(12)이 이루는 각도는, 가이드(G)로부터 지지 프레임(12)이 이격된 거리가 결정된다. 따라서, 메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133)는 이러한 높이 차(H)를 보상하여, 지지 프레임(12)을 입구 레일(91) 및 출구 레일(93) 각각에 정렬시킬 수 있다. 메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133)는 연결 링크(132)를 기준으로 서로 반대편에 배치될 수 있다. 메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133) 각각의 길이는 적절하게 조절되어, 지지 프레임(12)의 각도 및 높이를 조정할 수 있다. 예를 들어, 진공 성막 장치는 메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133)를 제어하기 위한 제어부(미도시)를 포함할 수 있고, 제어부는 보간 제어를 통해 메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133)를 제어할 수 있다.Based on the lengths of the main actuator 131 and the auxiliary actuator 133, the angle formed by the support frame 12 with respect to the guide G is determined by the distance the support frame 12 is separated from the guide G. . Accordingly, the main actuator 131 and the auxiliary actuator 133 can compensate for this height difference (H) and align the support frame 12 to the inlet rail 91 and the outlet rail 93, respectively. The main actuator 131 and the auxiliary actuator 133 may be disposed on opposite sides of the connection link 132. The length of each of the main actuator 131 and the auxiliary actuator 133 can be adjusted appropriately, so that the angle and height of the support frame 12 can be adjusted. For example, the vacuum film deposition apparatus may include a control unit (not shown) for controlling the main actuator 131 and the auxiliary actuator 133, and the control unit controls the main actuator 131 and the auxiliary actuator 133 through interpolation control. ) can be controlled.

연결 링크(132)는 사이드 프레임(112) 상에 회전 가능하게 지지될 수 있고, 메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133)의 길이 보다 작게 형성될 수 있다. 이와 같은 구조로 인해, 연결 링크(132)의 회전 반경은 작게 형성될 수 있고, 그에 따라 지지 프레임(12)의 이동 범위도 작게 형성될 수 있다. 따라서, 2개의 액추에이터를 통해 지지 프레임(12)을 구동한다 하더라도, 그에 따라 하우징의 크기를 키우는 등의 작업이 요구되지 않을 수 있다.The connection link 132 may be rotatably supported on the side frame 112 and may be formed to be smaller than the length of the main actuator 131 and the auxiliary actuator 133. Due to this structure, the rotation radius of the connecting link 132 can be made small, and accordingly, the movement range of the support frame 12 can also be made small. Therefore, even if the support frame 12 is driven through two actuators, work such as increasing the size of the housing accordingly may not be required.

승강부(14)는 베이스(11)에 대해 상방 또는 하방으로 이동 가능하다. 승강부(14)는, 베이스(11)의 이동 방향(x축)에 대해 수직한 방향(z축)으로 신장 또는 수축 가능한 승강 액추에이터(141)와, 승강 액추에이터(141)에 연결되는 승강 플레이트(142)와, 승강 플레이트(142)의 테두리부의 연직 방향으로 배치되는 복수 개의 트레이 지지 로드(143)와, 승강 플레이트(142)의 연직 방향으로 배치되고 트레이 지지 로드(143)보다 낮은 높이를 갖는 복수 개의 기판 지지 로드(144)를 포함할 수 있다.The lifting unit 14 can move upward or downward with respect to the base 11. The lifting unit 14 includes a lifting actuator 141 capable of expanding or contracting in a direction perpendicular to the moving direction (x-axis) of the base 11 (z-axis), and a lifting plate connected to the lifting actuator 141 ( 142), a plurality of tray support rods 143 arranged in the vertical direction of the edge of the lifting plate 142, and a plurality of tray support rods 143 arranged in the vertical direction of the lifting plate 142 and having a height lower than the tray support rod 143. It may include two substrate support rods 144.

도 5는 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 트레이를 챔버의 입구 레일에 정렬시킨 모습을 도시하는 측면도이고, 도 6은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 지지 프레임의 각도를 유지한 채로 지지 프레임이 가이드로부터 이격된 거리를 증가시킨 모습을 도시하고, 트레이가 출구 레일로 이동된 모습을 도시하는 측면도이다. 도 7은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 출구 레일에 있는 트레이와 정렬된 모습을 도시하는 측면도이다.Figure 5 is a side view showing the tray transport device according to one embodiment aligning the tray with the entrance rail of the chamber, and Figure 6 is a tray transport device according to one embodiment showing the support frame while maintaining the angle of the support frame. This is a side view showing the distance from this guide being increased and the tray being moved to the exit rail. Figure 7 is a side view showing a tray transport device aligned with a tray on an exit rail, according to one embodiment.

먼저, 도 5를 참조하면, 지지 프레임(12)이 입구 레일(91)에 정렬될 수 있다. 이 경우, 지지 프레임(12) 상의 트레이(T)는 입구 레일(91)로 안정적으로 진입할 수 있다.First, referring to FIG. 5 , the support frame 12 may be aligned with the inlet rail 91 . In this case, the tray T on the support frame 12 can stably enter the inlet rail 91.

다음으로, 도 6을 참조하면, 트레이(T)는 입구 레일(91) 및 연결 레일(92)을 지나서 출구 레일(93)에 도달한 상태로 대기할 수 있고, 트레이 운반 장치는 지지 프레임(12)의 각도를 유지한 채로 지지 프레임(12)이 가이드(G)로부터 이격된 거리를 증가시킬 수 있다. 예를 들어, 트레이 운반 장치는 메인 액추에이터(131) 및 보조 액추에이터(133)의 길이를 적절하게 증가시킴으로써, 지지 프레임(12)의 각도는 유지하고 지지 프레임(12)을 상승시킬 수 있다. 상승 전 지지 프레임(12)의 모습이 점선으로 표시된다. 예를 들어, 보조 액추에이터(133)의 길이만 증가할 경우, 지지 프레임(12)은 후방(-x 방향)으로 기울어질 수 있지만, 메인 액추에이터(131)가 적절하게 같이 증가하므로 지지 프레임(12)은 각도를 유지할 수 있다. 이와 같이 지지 프레임(12)이 각도를 유지한 상태로 상방으로 이동될 경우, 지지 프레임(12)은 출구 레일(93)과 정렬될 준비를 마친 것으로 볼 수 있다.Next, referring to FIG. 6, the tray (T) can pass through the inlet rail 91 and the connecting rail 92 and wait in a state where it reaches the outlet rail 93, and the tray transport device supports the support frame 12. ) It is possible to increase the distance between the support frame 12 and the guide G while maintaining the angle. For example, the tray transport device can maintain the angle of the support frame 12 and raise the support frame 12 by appropriately increasing the length of the main actuator 131 and the auxiliary actuator 133. The appearance of the support frame 12 before elevation is indicated by a dotted line. For example, if only the length of the auxiliary actuator 133 increases, the support frame 12 may be tilted rearward (-x direction), but since the main actuator 131 increases appropriately, the support frame 12 can maintain the angle. In this way, when the support frame 12 is moved upward while maintaining the angle, the support frame 12 can be viewed as being ready to be aligned with the exit rail 93.

마지막으로, 도 7을 참조하면, 베이스(11)는 전방으로 이동하고, 지지 프레임(12)은 출구 레일(93)에 정렬되어, 트레이를 전달받을 준비를 마칠 수 있다.Finally, referring to Figure 7, the base 11 is moved forward and the support frame 12 is aligned with the exit rail 93, ready to receive the tray.

도 8은 일 실시 예에 따른 트레이 운반 장치가 트레이를 수직하게 세운 상태로 트레이 스톡에 저장하는 모습을 도시하는 측면도이다.Figure 8 is a side view showing the tray transport device according to one embodiment storing the tray in the tray stock in a vertically standing state.

도 8을 참조하면, 트레이(T)는 가이드(G)에 대해 수직한 상태로 트레이 스톡(120)에 저장될 수 있으므로, 촘촘하게 저장될 수 있다. 트레이 스톡(120)은 지면에 대해 수직한 방향으로 형성된 복수 개의 보관부(120a)를 마련할 수 있다.Referring to Figure 8, the tray (T) can be stored in the tray stock 120 in a state perpendicular to the guide (G), so it can be stored tightly. The tray stock 120 may be provided with a plurality of storage portions 120a formed in a direction perpendicular to the ground.

도 9는 일 실시 예에 따른 승강 플레이트를 도시하는 사시도이고, 도 10은 일 실시 예에 따른 상부 레이어, 하부 레이어 및 기판을 도시하는 분해 사시도이다. 도 9에서 승강부(14)의 승강 액추에이터(141, 도 4 참조)는 생략되었음을 밝혀 둔다.FIG. 9 is a perspective view showing a lifting plate according to an embodiment, and FIG. 10 is an exploded perspective view showing an upper layer, a lower layer, and a substrate according to an embodiment. Note that in Figure 9, the lifting actuator 141 (see Figure 4) of the lifting unit 14 is omitted.

도 9 및 도 10을 참조하면, 트레이(T)는 2개의 레이어를 구비할 수 있다. 트레이(T)는 상부 레이어(T1) 및 하부 레이어(T2)를 구비할 수 있다. 기판(S)은 상부 레이어(T1) 및 하부 레이어(T2) 사이에 배치될 수 있다. 하부 레이어(T2)의 테두리부는 기판(S)의 테두리를 지지할 수 있다. 하부 레이어(T2)는 테두리부 중 서로 마주하는 두 변을 연결하는 연결부를 포함할 수 있다. 연결부는 기판(S)의 중앙부를 지지할 수 있다. 상부 레이어(T1)는 기판의 테두리부를 커버하여, 기판(S)이 이탈하는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIGS. 9 and 10, the tray T may have two layers. The tray (T) may have an upper layer (T1) and a lower layer (T2). The substrate S may be disposed between the upper layer T1 and the lower layer T2. The edge portion of the lower layer T2 may support the edge of the substrate S. The lower layer T2 may include a connection portion connecting two opposing sides of the edge portion. The connection portion may support the central portion of the substrate (S). The upper layer T1 covers the edge of the substrate and can prevent the substrate S from leaving.

승강부(14)는 승강 액추에이터(미도시), 승강 플레이트(142), 복수 개의 트레이 지지 로드(143) 및 복수 개의 기판 지지 로드(144)를 포함할 수 있다. 승강 플레이트(142)는 테두리부(142a), 제 1 연결부(142b) 및 제 2 연결부(142c)를 포함할 수 있다.The lifting unit 14 may include a lifting actuator (not shown), a lifting plate 142, a plurality of tray support rods 143, and a plurality of substrate support rods 144. The lifting plate 142 may include an edge portion 142a, a first connection portion 142b, and a second connection portion 142c.

승강 플레이트(142)의 테두리부(142a)는 사각형 형상을 가질 수 있으나, 이제 제한되지 않음을 밝혀 둔다. 테두리부(142a)의 각 꼭지점에는 트레이 지지 로드(143)가 연직 방향으로 배치될 수 있다. 4개 이상의 트레이 지지 로드(143)는 기판(S)을 안정적으로 지지할 수 있다.The edge portion 142a of the lifting plate 142 may have a square shape, but it should be noted that this is not limited. A tray support rod 143 may be disposed at each vertex of the edge portion 142a in the vertical direction. Four or more tray support rods 143 can stably support the substrate (S).

제 1 연결부(142b)는 테두리부(142a)의 서로 마주하는 어느 2개의 변들을 연결할 수 있다. 제 2 연결부(142c)는 테두리부(142a)의 서로 마주하는 다른 2개의 변들을 연결할 수 있다. 제 2 연결부(142c)는 제 1 연결부(142b)와 교차할 수 있다. 예를 들어, 제 1 연결부(142b) 및 제 2 연결부(142c)는 90도를 이룰 수 있다. 제 1 연결부(142a) 및 제 2 연결부(142b)가 교차하는 부분에 기판 지지 로드(144)가 연직 방향으로 배치될 수 있다.The first connection portion 142b may connect any two sides of the edge portion 142a that face each other. The second connection portion 142c may connect two opposite sides of the edge portion 142a. The second connection portion 142c may intersect the first connection portion 142b. For example, the first connection part 142b and the second connection part 142c may form an angle of 90 degrees. The substrate support rod 144 may be disposed in a vertical direction at a portion where the first connection portion 142a and the second connection portion 142b intersect.

복수 개의 트레이 지지 로드(143)는 승강 플레이트(142)의 테두리부에 연직 방향으로 배치되고, 하부 레이어(T2)의 내측을 통과하여 상부 레이어(T1)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 트레이 지지 로드(143)는 4개가 구비될 수 있고, 각각은 테두리부(142a)의 꼭지점에 배치될 수 있다. 복수 개의 트레이 지지 로드(143) 중 인접한 2개의 트레이 지지 로드(143) 사이의 간격은 기판(S)의 폭 보다 클 수 있다. 기판(S)은 인접한 2개의 트레이 지지 로드(143) 사이로 진입할 수 있다.The plurality of tray support rods 143 are disposed in a vertical direction on the edge of the lifting plate 142 and may pass through the inside of the lower layer T2 to support the upper layer T1. For example, four tray support rods 143 may be provided, and each may be disposed at a vertex of the edge portion 142a. The gap between two adjacent tray support rods 143 among the plurality of tray support rods 143 may be larger than the width of the substrate S. The substrate S may enter between two adjacent tray support rods 143.

복수 개의 기판 지지 로드(144)는 승강 플레이트(142)의 중앙부에 연직 방향으로 배치되고, 트레이 지지 로드(143)보다 낮은 높이를 가질 수 있다. 복수 개의 기판 지지 로드(144)는 기판의 진입 높이 보다 같거나 낮을 수 있다.The plurality of substrate support rods 144 are disposed in a vertical direction at the center of the lifting plate 142 and may have a lower height than the tray support rod 143. The plurality of substrate support rods 144 may be equal to or lower than the entry height of the substrate.

도 11 내지 도 14는 일 실시 예에 따른 승강부에 작동 모습을 개략적으로 도시하는 측면도이다.11 to 14 are side views schematically showing the operation of the lifting unit according to an embodiment.

도 11 내지 도 14를 참조하면, 승강부(14)는 하부 레이어(T2)의 내측을 통과하고, 상부 레이어(T1)를 상방으로 밀어 올릴 수 있다.Referring to FIGS. 11 to 14 , the lifting unit 14 may pass through the inside of the lower layer (T2) and push the upper layer (T1) upward.

먼저, 도 11 및 도 12에서와 같이, 승강 액추에이터(141)는 z축 방향으로 신장될 수 있다. 복수 개의 트레이 지지 로드(143)는 트레이(T)의 상부 레이어(T1)를 상방으로 밀어낼 수 있다. 트레이 지지 로드(143) 및 기판 지지 로드(144)는 하부 레이어(T2)의 내측을 통과할 수 있다. 복수 개의 트레이 지지 로드(143)으로 인해, 상부 레이어(T1) 및 하부 레이어(T2)는 서로 이격될 수 있고, 상부 레이어(T1) 및 하부 레이어(T2) 사이에는 기판이 진입할 수 있는 공간이 마련될 수 있다.First, as shown in FIGS. 11 and 12, the lifting actuator 141 may be extended in the z-axis direction. The plurality of tray support rods 143 may push the upper layer T1 of the tray T upward. The tray support rod 143 and the substrate support rod 144 may pass through the inside of the lower layer T2. Due to the plurality of tray support rods 143, the upper layer (T1) and the lower layer (T2) can be spaced apart from each other, and there is a space between the upper layer (T1) and the lower layer (T2) into which the substrate can enter. It can be provided.

다음으로, 도 13에서와 같이 기판(S)은 상부 레이어(T1) 및 하부 레이어(T2) 사이의 공간으로 진입할 수 있다. 기판(S)이 진입할 경우, 복수 개의 기판 지지 로드(144)는 기판(S)을 지지할 수 있다.Next, as shown in FIG. 13, the substrate S may enter the space between the upper layer T1 and the lower layer T2. When the substrate S enters, the plurality of substrate support rods 144 may support the substrate S.

마지막으로, 도 14에서와 같이, 승강 액추에이터(141)는 수축할 수 있다. 기판(S)은 하부 레이어(T2) 상에 안착될 수 있고, 상부 레이어(T1)는 기판(S)의 상면을 가압할 수 있다.Finally, as shown in Figure 14, the lifting actuator 141 can be retracted. The substrate S may be seated on the lower layer T2, and the upper layer T1 may press the upper surface of the substrate S.

이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.As described above, although the embodiments have been described with limited drawings, various modifications and variations can be made by those skilled in the art from the above description. For example, the described techniques may be performed in a different order than the described method, and/or components of the described structure, device, etc. may be combined or combined in a form different from the described method, or may be used with other components or equivalents. Appropriate results can be achieved even if replaced or substituted by .

Claims (19)

가이드를 따라 이동 가능한 베이스;
트레이를 지지 가능한 지지 프레임; 및
상기 베이스 및 지지 프레임을 연결하고, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 독립적으로 조절 가능한 조절부를 포함하고,
상기 조절부는,
상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 메인 액추에이터;
상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되는 연결 링크; 및
상기 베이스 및 연결 링크 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 보조 액추에이터를 포함하고,
상기 베이스는,
상기 가이드를 따라 슬라이딩 가능한 베이스 바디; 및
상기 베이스 바디 상에 배치되고, 상기 연결 링크를 회전 가능하게 지지하는 사이드 프레임을 포함하는 트레이 운반 장치.
Base movable along guides;
A support frame capable of supporting the tray; and
An adjuster connecting the base and the support frame and independently adjusting an angle formed by the support frame with respect to the guide and a distance between the support frame and the guide,
The control unit,
a main actuator rotatably connected to each of the base and support frame and capable of expanding and contracting;
a connection link rotatably connected to each of the base and support frame; and
It is rotatably connected to each of the base and the connecting link, and includes an auxiliary actuator capable of extending and contracting,
The base is,
a base body that can slide along the guide; and
A tray transport device including a side frame disposed on the base body and rotatably supporting the connecting link.
 제 1 항에 있어서,
상기 조절부는,
상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도를 유지하면서, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 조절 가능하고,
상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 유지하면서, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도를 조절 가능한 트레이 운반 장치.
According to claim 1,
The control unit,
While maintaining the angle formed by the support frame with respect to the guide, the distance at which the support frame is separated from the guide can be adjusted,
A tray transport device capable of adjusting the angle formed by the support frame with respect to the guide while maintaining a distance between the support frame and the guide.
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이에 기초하여, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리가 결정되는 트레이 운반 장치.
According to claim 1,
A tray transport device in which an angle formed by the support frame with respect to the guide and a distance of the support frame from the guide are determined based on the lengths of the main actuator and the auxiliary actuator.
 제 1 항에 있어서,
상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터는, 상기 연결 링크를 기준으로 서로 반대편에 배치되는 트레이 운반 장치.
According to claim 1,
The main actuator and the auxiliary actuator are disposed on opposite sides of each other based on the connection link.
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 연결 링크의 길이는, 상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이 보다 작은 트레이 운반 장치.
According to claim 1,
The length of the connecting link is smaller than the length of the main actuator and the auxiliary actuator.
 제 1 항에 있어서,
상기 베이스에 배치되고, 상기 베이스에 대해 상방 또는 하방으로 이동 가능한 승강부를 더 포함하는 트레이 운반 장치.
According to claim 1,
A tray transport device further comprising a lifting part disposed on the base and movable upward or downward with respect to the base.
 제 8 항에 있어서,
상기 조절부는 2개로 구비되고, 상기 2개의 조절부 중 어느 하나의 조절부는 상기 지지 프레임의 좌측부에 연결되고, 다른 하나의 조절부는 상기 지지 프레임의 우측부에 연결되는 트레이 운반 장치.
According to claim 8,
The tray transport device is provided with two adjustment units, one of the two adjustment units is connected to the left side of the support frame, and the other adjustment part is connected to the right side of the support frame.
 제 9 항에 있어서,
상기 승강부는, 상기 2개의 조절부 사이에 배치되는 트레이 운반 장치.
According to clause 9,
The lifting unit is a tray transport device disposed between the two adjusting units.
 가이드를 따라 이동 가능한 베이스;
상부 레이어 및 하부 레이어로 구성되는 트레이를 지지 가능한 지지 프레임;
상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 메인 액추에이터;
상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되는 연결 링크; 및
상기 베이스 및 연결 링크 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 보조 액추에이터를 포함하고,
상기 베이스는,
상기 가이드를 따라 슬라이딩 가능한 베이스 바디; 및
상기 베이스 바디 상에 배치되고, 상기 연결 링크를 회전 가능하게 지지하는 사이드 프레임을 포함하는 트레이 운반 장치.
Base movable along guides;
A support frame capable of supporting a tray consisting of an upper layer and a lower layer;
a main actuator rotatably connected to each of the base and support frame and capable of expanding and contracting;
a connection link rotatably connected to each of the base and support frame; and
It is rotatably connected to each of the base and the connecting link, and includes an auxiliary actuator capable of extending and contracting,
The base is,
a base body that can slide along the guide; and
A tray transport device including a side frame disposed on the base body and rotatably supporting the connecting link.
 제 11 항에 있어서,
상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이에 기초하여, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리가 결정되는 트레이 운반 장치.
According to claim 11,
A tray transport device in which an angle formed by the support frame with respect to the guide and a distance of the support frame from the guide are determined based on the lengths of the main actuator and the auxiliary actuator.
 제 11 항에 있어서,
상기 지지 프레임이 상기 가이드로부터 이격된 거리는, 상기 지지 프레임이 상기 가이드에 대해 이루는 각도를 유지한 채로 조절될 수 있고,
상기 지지 프레임이 상기 가이드에 대해 이루는 각도는, 상기 지지 프레임이 상기 가이드로부터 이격된 거리를 유지한 채로 조절될 수 있는 트레이 운반 장치.
According to claim 11,
The distance at which the support frame is separated from the guide can be adjusted while maintaining the angle formed by the support frame with respect to the guide,
An angle formed by the support frame with respect to the guide can be adjusted while maintaining a distance between the support frame and the guide.
 제 11 항에 있어서,
상기 베이스에 배치되고, 상기 베이스에 대해 상방으로 이동하여 상기 상부 레이어 및 하부 레이어를 이격시키는 승강부를 더 포함하는 트레이 운반 장치.
According to claim 11,
A tray transport device further comprising a lifting part disposed on the base and moving upward with respect to the base to separate the upper layer and the lower layer.
 제 14 항에 있어서,
상기 승강부는,
상기 베이스의 이동 방향에 대해 수직한 방향으로 신장 또는 수축 가능한 승강 액추에이터;
상기 승강 액추에이터에 연결되는 승강 플레이트; 및
상기 승강 플레이트의 테두리부의 연직 방향으로 배치되고, 상기 하부 레이어의 내측을 통과하여 상기 상부 레이어를 지지 가능한 복수 개의 트레이 지지 로드를 포함하는 트레이 운반 장치.
According to claim 14,
The lifting unit,
a lifting actuator capable of expanding or contracting in a direction perpendicular to the moving direction of the base;
A lifting plate connected to the lifting actuator; and
A tray transport device comprising a plurality of tray support rods disposed in a vertical direction of an edge of the lifting plate and capable of supporting the upper layer by passing through an inside of the lower layer.
 제 15 항에 있어서,
상기 승강부는,
상기 승강 플레이트의 연직 방향으로 배치되고, 상기 트레이 지지 로드보다 낮은 높이를 갖는 복수 개의 기판 지지 로드를 더 포함하는 트레이 운반 장치.
According to claim 15,
The lifting unit,
A tray transport device further comprising a plurality of substrate support rods disposed in a vertical direction of the lifting plate and having a lower height than the tray support rod.
 가이드를 따라 이동 가능한 베이스와, 트레이를 지지 가능한 지지 프레임과, 상기 베이스 및 지지 프레임을 연결하고, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도와, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 독립적으로 조절 가능한 조절부를 포함하는 트레이 운반 장치; 및
상기 트레이 운반 장치로부터 상기 트레이를 전달 받는 입구 레일과, 상기 입구 레일로부터 연장되는 연결 레일과, 상기 연결 레일로부터 연장되고 상기 트레이 운반 장치로 상기 트레이를 전달하는 출구 레일을 포함하는 챔버;
를 포함하고,
상기 입구 레일 및 출구 레일은 상기 가이드에 대해 이루는 각도는 동일하되, 상기 가이드로부터 이격된 거리는 서로 상이하고,
상기 트레이 운반 장치는, 상기 지지 프레임을 상기 입구 레일 및 출구 레일 각각에 정렬시킬 수 있는 진공 성막 장치.
A base that can move along a guide, a support frame that can support a tray, and the base and the support frame are connected, and the angle formed by the support frame with respect to the guide and the distance between the support frame and the guide are independently determined. A tray transport device comprising adjustable controls; and
a chamber including an inlet rail for receiving the tray from the tray transport device, a connection rail extending from the inlet rail, and an outlet rail extending from the connection rail for delivering the tray to the tray transportation device;
Including,
The inlet rail and the outlet rail have the same angle with respect to the guide, but their distances from the guide are different,
The tray transport device is a vacuum deposition device capable of aligning the support frame to each of the inlet rail and outlet rail.
 제 17 항에 있어서,
상기 조절부는,
상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 메인 액추에이터;
상기 베이스 및 지지 프레임 각각에 회전 가능하게 연결되는 연결 링크; 및
상기 베이스 및 연결 링크 각각에 회전 가능하게 연결되고, 신장 및 수축 가능한 보조 액추에이터를 포함하고,
상기 트레이 운반 장치는, 상기 메인 액추에이터 및 보조 액추에이터의 길이를 조절하여, 상기 가이드에 대해 상기 지지 프레임이 이루는 각도를 유지한 채로, 상기 가이드로부터 상기 지지 프레임이 이격된 거리를 조절 가능한 진공 성막 장치.
According to claim 17,
The control unit,
a main actuator rotatably connected to each of the base and support frame and capable of expanding and contracting;
a connection link rotatably connected to each of the base and support frame; and
It is rotatably connected to each of the base and the connecting link, and includes an auxiliary actuator capable of extending and contracting,
The tray transport device is a vacuum film forming device capable of adjusting the distance between the support frame and the guide while maintaining the angle formed by the support frame with respect to the guide by adjusting the lengths of the main actuator and the auxiliary actuator.
 제 17 항에 있어서,
상기 트레이를 저장할 수 있는 트레이 스톡을 더 포함하고,
상기 트레이 운반 장치는 상기 지지 프레임을 상기 가이드에 대해 수직하게 세운 뒤, 상기 트레이 스톡과 상기 트레이를 주고 받을 수 있는 진공 성막 장치.According to claim 17,
Further comprising a tray stock capable of storing the tray,
The tray transport device is a vacuum film forming device that can exchange the tray stock and the tray after setting the support frame perpendicular to the guide.
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