KR102587140B1 - 개선된 스트레인 게이지를 갖는 압력 센서 - Google Patents

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센사타 테크놀로지스, 인크
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Abstract

장치가, 유체 매체로부터의 유체의 압력을 감지한다. 장치는, 내부 채널을 둘러싸는 둘레 벽을 갖는, 포트 몸체를 구비한다. 내부 채널은, 포트 몸체 상의 다이아프램과 유체를 수용하기 위한 개구 사이에서 연장된다. 스트레인 게이지가, 포트 몸체 상에 배치된다. 스트레인 게이지는, 입력/출력 패드들과 접지 패드들 사이에 연장되는, 2개 이상의 저항 소자를 구비한다. 저항 소자들은, 이동성 이온 이주를 감소시키기 위해 접지 패드로부터 실질적으로 등거리로 이격된다.

Description

개선된 스트레인 게이지를 갖는 압력 센서{PRESSURE SENSOR WITH IMPROVED STRAIN GAUGE}
본 개시는, 압력 감지 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로, 개선된 스트레인 게이지 성능을 갖는 압력 센서에 관한 것이다.
미세융합 실리콘 스트레인 게이지(Microfused silicon strain gauge: MSG) 압력 센서들이, 다수의 산업에서 널리 사용된다. 자동차 산업에서, MSG들은, 브레이크, 변속기 및 연료 압력 센서들에서부터 탑승자 체중 감지에 이르는 범위의 응용분야들을 위해 사용된다. 그러한 압력 센서들은 일반적으로, 스틸 포트 몸체의 스테인리스 스틸 다이아프램에 유리 접합되는, 실리콘 스트레인 게이지 요소들을 포함한다. 휘트스톤 브리지, 또는 다른 스트레인 게이지 구성들이, 교정에 의해 스틸 다이아프램 상의 가해진 압력에 직접적으로 비례하는, 선형 전압 출력을 생성하기 위해 때때로 사용된다.
그러나, 부정확성이, 전형적인 MSG들에서 다수의 방식으로 발생하는 경향이 있다. 예를 들어, 온도가 섭씨 110도 위로 상승할 때, 화학적 분해가, 이동성 이온들을 생성하도록 유리 내부에서 발생하는 경향이 있다. 스틸 포트 몸체가 접지될 때, 이동성 이온들은, 공급 전압에 가장 근접한 저항 소자들을 향해 모일 것이다. 저항 소자들을 가로지르는 이종 이온(Disparate ion) 축적이, 센서 신호 이동(sensor signal drift)으로 이어질 수 있다. 더불어, 센서 신호 이동을 회피하고자 하는 설계들은, 감소된 민감도, 불리한 저항 소자 또는 패드 위치 설정, 또는 다른 부정확성을 동반하는 센서들을 생성할 수 있다.
이상에 설명된 필요성의 관점에서, 적어도 하나의 양태에서, 상당한 신호 이동(signal drift) 없이 압력을 정확하게 감지할 수 있는, 비용 효율적인 압력 센서 및 스트레인 게이지에 대한 필요성이 존재한다.
적어도 하나의 양태에서, 대상의 기술은, 유체 매체로부터의 유체의 압력을 감지하기 위한 장치에 관련된다. 장치는, 유체 매체로부터 유체를 수용하기 위한 내부 채널을 둘러싸는 둘레 벽을 갖는 포트 몸체를 구비하고, 내부 채널은, 포트 몸체 상의 다이아프램과 유체 매체 사이에서 연장된다. 스트레인 게이지는, 유리 기판에 의해 포트 몸체에 부착된다. 스트레인 게이지는, 제1 입력/출력(I/O) 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 저항 소자, 제2 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 저항 소자, 제3 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제3 저항 소자, 및 제4 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제4 저항 소자를 구비한다. 4개의 전류 소스가 각각, 균일하고 일정한 전류를 I/O 패드들 중의 하나에 제공한다. 제1 출력부가, 전압을 측정하기 위해 제1 I/O 패드와 제2 I/O 패드 사이에 전기적으로 연결된다. 제2 출력부가, 전압을 측정하기 위해 제3 I/O 패드와 제4 I/O 패드 사이에 전기적으로 연결된다. 각 저항 소자는, 저항 소자들을 가로지르는 균일한 이동성 이온 축적을 촉진하도록, 접지 패드로부터 실질적으로 등거리로 이격된다. 또한, 다이아프램이 유체로부터의 압력을 받을 때, 제2 저항 소자 및 제3 저항 소자는 인장력을 받으며, 그리고 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자는 압축력을 받는다.
다른 양태에서, 대상의 기술은, 내부 채널을 둘러싸는 둘레 벽을 갖는 포트 몸체를 구비하는, 유체 매체로부터의 유체의 압력을 감지하기 위한 장치를 포함한다. 내부 채널은, 포트 몸체 상의 다이아프램과 유체를 수용하기 위한 개구 사이에서 연장된다. 제1 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 저항 소자, 제2 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 저항 소자, 제3 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제3 저항 소자, 및 제4 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제4 저항 소자를 구비하는, 스트레인 게이지가, 포트 몸체 상에 배치된다. 각 저항 소자는, 이동성 이온 이주를 감소시키기 위해 접지 패드로부터 실질적으로 등거리에 놓이며, 그리고 균일한 입력이, 동시에 각 저항 소자를 통해 인가된다. 일부 실시예에서, 제1 I/O 패드 및 제2 I/O 패드는, 접지 패드의 제1 측부 상에 배치되며, 그리고 제3 I/O 패드 및 제4 I/O 패드는, 접지 패드의 제2 측부 상에 배치된다. I/O 패드들 및 접지 패드는, 평행한 열로 배열될 수 있으며, 그리고 저항 소자들은, 압전 저항 소자들일 수 있다.
일부 실시예에서, 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자는 둘레 벽에 인접하게 배치되며, 그리고 제2 저항 소자 및 제3 저항 소자는 다이아프램에 인접하게 배치되어, 내부 채널 내의 유체가, 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자가 압축을 받는 가운데 제2 저항 소자 및 제3 저항 소자가 인장을 받는 것을 야기하도록 한다. 일부 실시예에서, 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자는, I/O 패드들을 통과하는 횡방향 축에 대해, 제2 저항 소자 및 제3 저항 소자와 대칭이다. 일부의 경우에, 접지 패드는 종방향 축을 따라 신장되며, 그리고 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자는, 종방향 축에 대해, 제4 저항 소자 및 제3 저항 소자와 대칭이다.
적어도 하나의 양태에서, 대상의 기술은, 스트레인 게이지를 갖는, 유체 매체로부터의 유체의 압력을 감지하기 위한 장치에 관련된다. 스트레인 게이지는, 제1 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 저항 소자, 제2 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 저항 소자, 및 제1 I/O 패드와 제2 I/O 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 출력부를 구비한다. 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자는, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자를 가로지르는 균일한 이동성 이온 축적을 촉진하도록 접지 패드로부터 이격된다. 일부 실시예에서, 저항 소자들은, 접지 패드로부터 실질적으로 등거리로 이격된다. 일정한 전류가, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자를 통해 인가될 수 있으며, 일정한 전류는 균일하다. 일부의 경우에, 일정한 전류는, 제1 I/O 패드를 통해 제1 저항 소자에 그리고 제2 I/O 패드를 통해 제2 저항 소자에 인가되고, 상기 제1 출력부는, 제1 I/O 패드와 제2 I/O 패드 사이의 전압 변화를 측정한다.
일부 실시예에서, 제1 I/O 패드, 제2 I/O 패드, 및 접지 패드는, 횡방향 축을 따라 정렬되고, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자는 횡방향 축에 대해 대칭이다. 일부 실시예에서, 일정한 전압이, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자를 통해 인가되며, 일정한 전압은 균일하다. 스트레인 게이지는, 제3 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제3 저항 소자, 제4 I/O 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제4 저항 소자, 및 제3 I/O 패드와 제4 I/O 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 출력부를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 장치는, 유체 매체로부터의 유체를 수용하기 위한 내부 채널을 한정하는 포트 몸체를 포함하며, 그리고 스트레인 게이지는, 포트 몸체 상에 배치된다. 포트 몸체는, 도전성일 수 있으며 그리고 접지된다. 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자는, 내부 채널을 둘러싸는 포트 몸체의 둘레 벽에 인접하게 배치되어, 채널 내의 유체가, 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자가 압축력을 받는 것을 야기하도록 한다. 더불어, 제2 저항 소자 및 제3 저항 소자는, 포트 몸체 내부에서, 내부 채널 노출되는 다이아프램에 인접하게 배치되어, 채널 내의 유체가, 제2 저항 소자 및 제3 저항 소자가 인장력을 받는 것을 야기하도록 한다.
일부 실시예에서, 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자는 제1 저항 소자 쌍을 형성하고, 제2 저항 소자 및 제3 저항 소자는 제2 저항 소자 쌍을 형성하며, 그리고 제1 저항 소자 쌍과 제2 저항 소자 쌍은 횡방향 축에 대해 대칭이다. 다른 실시예에서, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자는 제1 저항 소자 쌍을 형성하고, 제3 저항 소자 및 제4 저항 소자는 제2 저항 소자 쌍을 형성하며, 그리고 제1 저항 소자 쌍과 제2 저항 소자 쌍은 종방향 축에 대해 대칭이다.
따라서, 개시된 시스템이 속하는 기술 분야의 통상적인 기술을 갖는 자들은, 어떻게 개시된 시스템을 제작하고 사용하는지를 더욱 용이하게 이해할 것이고, 뒤따르는 도면들을 참조할 수 있을 것이다.
도 1은 종래기술의 압력 센서의 단면도이다.
도 2는 휘트스톤 브리지를 형성하는 종래기술의 스트레인 게이지의 개략도이다.
도 3은 작동 중의 종래기술의 휘트스톤 브리지의 작동을 도시하는 블록도이다.
도 4는 대상의 기술에 따른 스트레인 게이지의 단면도이다.
도 5a는 대상의 기술에 따른 스트레인 게이지의 평면도이다.
도 5b는 도 5a의 스트레인 게이지의 단순화된 회로도이다.
도 6은 도 5a의 스트레인 게이지의 블록도이다.
도 7은 도 5a의 스트레인 게이지의 회로도이다.
도 8a는, 대상의 기술에 따라 설계된 스트레인 게이지들에 대한 시간에 걸친 신호 이동을 나타내는 시험 데이터를 도시하는 그래프이다.
도 8b는, 종래기술의 스트레인 게이지들에 대한 시간에 걸친 신호 이동을 나타내는 시험 데이터를 도시하는 그래프이다.
대상의 기술은, 압력 센서들과 연관되는 많은 종래기술의 문제점들을 극복한다. 개략적 개요에서, 대상의 기술은, 종래기술의 센서들과 비교하여 신호 이동을 상당히 감소시키는, 압력 센서 및 상응하는 스트레인 게이지를 제공한다. 본 명세서에 개시되는 시스템들 및 방법들에 대한 이점들 및 다른 특징부들이, 본 발명의 대표적인 실시예들을 기술하는, 도면들과 함께 취해지는 특정 바람직한 실시예들에 대한 뒤따르는 상세한 설명으로부터, 당업자에게 더욱 쉽게 명백해질 것이다. 동일한 참조 부호들이, 본 명세서에서, 동일한 부분들을 지시하기 위해, 사용된다. 더불어, "상측", "하측", "원위측", 및 "근위측"과 같은 방향을 지시하는 단어들은 단지, 서로에 대해 구성요소들의 위치를 설명하는 것을 돕기 위해 사용된다. 예를 들어, 부분의 "상측" 표면은 단지, 그러한 동일한 부분의 "하측" 표면과 별개인 표면을 설명하는 것으로 의미하게 된다. 방향을 지시하는 단어들은, 절대적 방향(즉, "상측" 부분이 항상 상부에 놓여야만 하는 경우)을 설명하기 위해 사용되지 않는다.
더불어, 부호가 부여되는 본 명세서에서 설명되는, 저항 소자들 및 다른 특징부들은, 단지 서로에 대한 그러한 특징부들의 논의를 용이하게 하기 위해, 부호가 부여된다. 각 구성요소의 부호들은, 임의의 특정 순서(예를 들어 1은 반드시 2 이전이어야만 함)를 지칭하지 않으며, 그리고 다양한 실시예에서, 하나의 구성요소에 대한 임의의 수는, 다른 부호를 갖는 구성요소와 번호들을 전환할 수 있다. 예를 들어, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자가 설명되는 경우, 이전에 제1 저항 소자로 지칭되던 저항 소자가 제2 저항 소자로 지칭되는 가운데, 제2 저항 소자는, 적절하게 제1 저항 소자로서 간주될 수 있다. 부가적으로, 다수의 유사한 구성요소들이 유사한 참조 부호들로 식별될 때(예를 들어, 2개의 저항 소자에, 참조 부호 140a 및 140b가 주어짐), 구성요소들은 동시에, 총체적으로 단일 참조 부호(예를 들어, 단지 140)로 지칭된다.
지금부터 도 1을 참조하면, 종래기술의 압력 센서의 단면도가, 도시된다. 압력 센서는, 자동차와 같은, 다양한 응융분야에서의 사용을 위해 구성된다. 예를 들어, 압력 센서(100)는, 변속기 오일, 브레이크 오일, 또는 엔진 오일의 압력을 측정할 수 있다.
커넥터(110), 하우징(112), 및 견고한 스틸 포트 몸체(114)가, 압력 센서(100)의 다른 구성요소들을 에워싸도록 함께 결합된다. 포트 몸체(114) 내의 원위측 개구(116)가, 유체가 유체 매체로부터 포트 몸체(114)의 둘레 벽들(120)에 의해 한정되는 내부 채널(118) 내로 유동하는 것을 허용한다. 포트 몸체(114)의 외표면(124) 상의 릿지들(122)이, 유체 매체에 유동적으로 연결되는 내부 채널(118)을 유지하도록, 유체 매체를 둘러싸는 구조물(128)에 대한 포트 몸체(114)의 원위측 단부(126)의 고정을 허용한다.
포트 몸체(114)는 또한, 내부 채널(118)의 근위측 단부(132)의 다이아프램(130)을 포함한다. 다이아프램(130)은, 포트 몸체(114)의 둘레 벽들(120)과 비교하여 상대적으로 더 얇은, 스틸 벽으로 형성된다. 압력 매체로부터의 유체가, 내부 채널(118)에 진입하고 채워짐에 따라, 유체 압력은, 다이아프램(130)이 휘도록 야기한다. 미세융합 실리콘 스트레인 게이지(MSG)와 같은 스트레인 게이지(134)가, 예를 들어 접착 층 또는 기판 층에 의해, 다이아프램(130)의 상면(136)에 부착된다. 스트레인 게이지(134)는, 저항 소자들 또는 압전 저항 소자와 같은, 다이아프램(130)의 휨과 관련하여 휠 때 저항값을 변화시키는, 다수의 감지 소자를 포함한다. 저항 소자들의 저항값은, 내부 채널(118) 내부의 압력을 그리고 그에 따라 압력 매체 내부의 압력을 결정하기 위해, 의존된다. 이러한 저항값은, 예를 들어, 휘트스톤 브리지를 형성하도록 스트레인 게이지(134) 및 상응하는 저항 소자들을 구성함에 의해, 계산될 수 있다. 커넥터 핀들(111)이, 스트레인 게이지(134)에 대한 신호들이 외부 전자기기들(도시되지 않음)로 운반되는 것을 허용한다.
지금부터 도 2를 참조하면, 휘트스톤 브리지를 형성하는 종래기술의 스트레인 게이지(134)의 회로에 대한 개략도가 도시된다. 이상에 설명된 바와 같이, 스트레인 게이지(134) 및 관련 처리 회로는, 저항 소자들(140)의 저항값에 기초하여 압력을 계산하도록 작용한다. 예를 들어, 전압 공급원(142)이, 휘트스톤 브리지에 전압을 인가한다. 좌측에 도시되는, 휘트스톤 브리지의 일 측부 상에서, 전기적 연결이, 전압 공급원(142), 제1 브리지 출력 전압부(144), 그리고 접지 패드(146) 사이에 형성된다. 제1 저항 소자(140a)가, 전기적 연결 상에서 전압 공급원(142)과 브리지 출력 전압부(144) 사이에 배치되며, 그리고 제2 저항 소자(140b)가, 제1 브리지 출력 전압부(144)와 접지 패드(146) 사이에 배치된다. 휘트스톤 브리지의 우측부 상에서, 전압 공급원(142)은, 제2 브리지 출력 전압부(148) 및 접지 패드(146)에 전기적으로 연결된다. 제3 저항 소자(140c)가, 전기적 연결 상에서 전압 공급원(142)과 제2 브리지 출력 전압부(148) 사이에 배치되며, 그리고 제4 저항 소자(140d)가, 제2 브리지 출력 전압부(148)와 접지 패드(146) 사이에 배치된다.
압력이 다이아프램(130)에 인가될 때, 다이아프램(130)의 휨은, 하나 이상의 저항 소자(140)에 대한 저항값의 변화를 야기한다. 일정한 전압이, 전압 공급원(142)을 통해 스트레인 게이지(134) 내로 입력되고 있다. 그에 따라, 저항 소자들(140) 중의 하나의 저항값의 변화가, 브리지 출력 전압부들(144, 148) 중의 하나에서의 상응하는 변화를 야기할 것이다. 출력 전압의 변화는, 다이아프램 내의 휨의 양을 그리고 채널(118) 내부 및 그에 따른 유체 매체 내부의 상응하는 압력 변화를, 계산하기 위해 사용된다. 특히, 본 명세서에 사용되는 바와 같은 용어 "휘트스톤 브리지"는 단지, 하나 이상의 저항 소자(140)의 저항값을 결정하기 위해 의존될 수 있는 신호를 생성하도록 작용하는, 접촉 패드들 및 저항 소자들(140)과 같은 구성요소들의 배열을 지칭하기 위해 사용된다. 궁극적으로 압력을 결정하기 위해 의존되는 처리 회로는, 여기에 도시되는 스트레인 게이지(134)로부터 분리될 수 있을 것이다.
지금부터 도 3을 참조하면, 종래기술의 스트레인 게이지(134)의 작동을 도시하는 블록도가, 도시된다. 주어진 예에서, 스트레인 게이지(134)는, 자동차 응용분야의 부품과 같은 혹독한 환경에서 작동하고 있으며, 그리고 (즉, 섭씨 100도 위의) 높은 온도에 종속된다. 일부의 경우에, 온도는, 심지어 (즉, 섭씨 110도 위의) 매우 높은 온도 또는 더 높은 온도에 도달할 수 있을 것이다. 도 2에 도시된 바와 같은, 휘트스톤 브리지의 레이아웃으로 인해, 제1 저항 소자(140a)는, 제2 저항 소자(140b)와 비교하여 전압 공급원(142)에 상대적으로 더 가깝게 배치된다. 한편, 제2 저항 소자(140b)는, 제1 저항 소자(140a)와 비교하여, 접지 패드(146)에 상대적으로 더 가깝게 배치된다.
계속 도 3을 참조하면, 혹독한 환경은, 스트레인 게이지(134)를 높은 온도에 종속시키도록, 차량이 계속해서 주행할 것을 요구했다. 스트레인 게이지(134)는, 다수의 이동성 이온(152)의 생성을 야기하도록, 스틸 포트가 접지된 가운데 전력이 공급되는 상태로 유지되었다. 이동성 이온들(152)은, 저항 소자들(140) 상에, 그리고 전압 공급원(142)에 가장 가깝고 접지 패드(146)로부터 가장 멀게 놓이는 그러한 저항 소자들(140) 내부의 영역들 상에, 축적될 것이다. 저항 소자들(140)을 가로질러 축적되는 이종 이동성 이온들(152)은, 센서 신호 이동으로 이어지는 저항 소자들(140)에 관한 충전 효과(charging effect)를 생성할 수 있는, 균형 잡히지 않은 저항값 변화를 동반하는 이동성 이온 분포를 야기할 것이다.
도 3에 도시된 예에서, 각 저항 소자(140a, 140b) 아래의 분포 그래프들(154a, 154b)(개괄적으로, 154)은, 그러한 저항 소자들(140a, 140b)을 가로지르는 이동성 이온 분포의 강도를 나타낸다. 이동성 이온 분포에 대한 그래픽 묘사(154)의 높이는, 저항 소자(140)의 상응하는 영역(즉, 분포 그래프(154)의 그러한 부분 바로 위의 각 저항 소자(140)의 영역)에서의 평균적인 총 이동성 이온(152) 축적에 대응한다. 전압 공급원(142)에 더 가깝게 그리고 접지 패드(146)로부터 더 멀리 놓이는 제1 저항 소자(140a)는, 더 큰 이동성 이온 축적을, 그리고 그에 따라, 제2 저항 소자(140b)의 이동성 이온 분포(154b)보다, 더 높은 이동성 이온 분포(154a)를 갖는다. 유사하게, 각 저항 소자(140a, 140b)의 이동성 이온 분포 그래프들(154a, 154b)은, 전압 공급원(142)에 대한 근접성 및 접지 패드(146)로부터의 거리에 따라 증가한다.
지금부터 도 4를 참조하면, 대상의 기술에 따른 압력 센서(400)의 단면도가, 도시된다. 커넥터(410), 하우징(412), 및 견고한 스틸 포트 몸체(414)가, 압력 센서(400)의 다른 구성요소들을 에워싸도록 함께 결합된다. 포트 몸체(414) 내의 원위측 개구(416)가, 유체가 유체 매체로부터 포트 몸체(414)의 둘레 벽들(420)에 의해 한정되는 내부 채널(418) 내로 유동하는 것을 허용한다. 포트 몸체(414)의 외표면(424) 상의 릿지들(422)이, 유체 매체에 유동적으로 연결되는 내부 채널(418)을 유지하도록, 유체 매체를 둘러싸는 구조물(428)에 대한 포트 몸체(414)의 원위측 단부(426)의 고정을 허용한다.
포트 몸체(414)는 또한, 내부 채널(418)의 근위측 단부(432)의 다이아프램(430)을 포함한다. 다이아프램(430)은, 포트 몸체(414)의 둘레 벽들(420)과 비교하여 비교적 얇은, 스틸 벽으로 형성된다. 압력 매체로부터의 유체가 내부 채널(418)에 진입하고 채워짐에 따라, 포트 몸체(414)의 둘레 벽들(420)은 그들의 형상을 유지하기에 충분할 정도로 두꺼운 가운데, 유체 압력은, 다이아프램(430)이 휘도록 야기한다. 미세융합 실리콘 스트레인 게이지(MSG)와 같은 스트레인 게이지(434)가, 예를 들어 접착 층 또는 기판 층(예를 들어, 유리 기판(438))에 의해, 다이아프램(430)의 상면(436)에 부착된다. 스트레인 게이지(434)는, 저항 소자들(440)(도 5a 참조) 또는 압전 저항 소자들과 같은, 다이아프램(430)의 휨과 관련하여 휠 때 저항값을 변화시키는, 다수의 감지 소자를 포함한다. 저항 소자들(440)의 저항값은, 내부 채널(418) 내부의 압력을 그리고 그에 따라 압력 매체 내부의 압력을 결정하기 위해, 의존된다. 스트레인 게이지(434)는, 커넥터 핀들(422)을 통해 디스플레이 또는 처리를 위해, 외부 구성요소들(미도시)로 출력 신호를 전송할 수 있다. 압력 센서(400)는 종래기술의 압력 센서(400)와 일부 유사한 특징부들을 구비하는 가운데, 가장 중요한 차이점들이, 여기에서 설명되고 도시된다. 특히, 도시된 실시예에서, 저항 소자들(440)은, 포트 몸체(414)에 직접적으로 부착되고, 유일한 개입 층은, 유리 기판(438) 또는 접착제이다.
하나의 실시예에서, 대상의 기술의 압력 센서(400)는, 다이아프램(430) 위에 절반만큼 그리고 포트 몸체(414)의 더 두꺼운 둘레 벽들(420) 위에 절반만큼 배치되는, 스트레인 게이지(434)를 포함한다. 결과적으로, 다이아프램(430)이 휠 때, 다이아프램(430) 위의 스트레인 게이지(434)의 부분은, 늘어나고 인장 상태에 놓이는 가운데, 상대적으로 휠 수 없는 둘레 벽들(420) 위의 스트레인 게이지(434)의 부분은, 압축 상태에 놓인다. 따라서, 이는, 다이아프램(430) 위의 저항 소자들(440)이 인장력을 받는 가운데, 둘레 벽들(420) 위의 저항 소자들(440)이 압축력을 받도록, 야기한다. 압력 센서(100)를 동반하는 경우와 같이, 저항 소자들(440)의 저항값은, 내부 채널(418) 내부의 압력을 그리고 그에 따라 압력 매체 내부의 압력을 결정하기 위해, 의존된다. 압력 센서(400)의 경우에, 저항 소자들(440)이 압전 저항 소자들일 때, 인장 상태의 저항 소자들(440)과 압축 상태의 저항 소자들(440) 사이의 저항값의 차이는 추가로, 감지 정확성을 향상시키기 위해 의존된다.
지금부터 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 대상의 기술에 따른 스트레인 게이지(434)의 기계적 구성에 대한 평면도뿐만 아니라, 대상의 기술에 따른 스트레인 게이지(434)의 단순화된 회로도가, 개별적으로, 도시된다. 단지 스트레인 게이지(434)만이 단순함을 위해 도시되지만, 스트레인 게이지(434)는 여기에 도시되고 설명되는 다른 구성요소들에 따라 활용될 것이 예상된다는 것을, 알아야 한다. 예를 들어, 스트레인 게이지(434)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 유리 기판(438)을 통해 압력 센서(400)에 부착될 수 있다.
계속해서 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 스트레인 게이지(434)는, 4개의 입력/출력 패드(I/O 패드)(442, 444, 448, 450) 및 중앙에 배치되는 접지 패드(446)를 포함한다. I/O 패드들(442, 444, 448, 450)은, 이들이 모두 종방향 축(y)을 따라 평행하게 놓이도록, 횡방향 축 "x"를 따라 정렬되며 그리고 종방향 축 "y"를 따라 신장된다. 종방향 축(y)은, 접지 패드(446)의 중심을 길이 방향으로 통과하는 가운데, 횡방향 축(x)은, 접지 패드(446)의 중심을 폭 방향으로 통과한다. 스트레인 게이지(434)는 또한, 4개의 저항 소자(440a, 440b, 440c, 440d)(개괄적으로, 440)를 포함한다. 제1 저항 소자(440a)가, 제1 I/O 패드(444)를 접지 패드(446)에 전기적으로 연결한다. 제1 저항 소자(440a)는, 종방향 축(y)의 제1 측부(456a)에 그리고 횡방향 축(x)의 제1 측부(456b)에 위치하게 된다. 종방향 축(y)의 제1 측부(456a)에 그리고 횡방향 축(x)의 제2 측부(456c)에 위치하게 되는, 제2 저항 소자(440b)가, 제2 I/O 패드(442)를 접지 패드(446)에 연결한다. 횡방향 축(x)의 제2 측부(456c)에 그리고 종방향 축(y)의 제2 측부(456d)에 배치되는, 제3 저항 소자(440c)가, 제3 I/O 패드(448)를 접지 패드(446)에 연결한다. 횡방향 축(x)의 제1 측부(456b)에 그리고 종방향 축(y)의 제2 측부(456d)에 배치되는, 제4 저항 소자(440d)가, 제4 I/O 패드(450)를 접지 패드(446)에 연결한다. x축 및 y축에 대한 저항 소자들(440)의 위치는 또한, 사분면들로서 설명될 수 있다. 예를 들어, x축 및 y축은, 개별적으로 제1 사분면(456a, 456b), 제2 사분면(456a, 456c), 제3 사분면(456d, 456c), 및 제4 사분면(456d, 456b) 내부에 배치되는, 제1 저항 소자(440a), 제2 저항 소자(440b), 제3 저항 소자(440c), 및 제4 저항 소자(440d)를 갖는, 4개의 사분면을 형성한다.
4개의 저항 소자(440)는 또한 2개의 저항 소자 쌍을 형성하는 것으로, 쌍들은 x축 및 y축 중의 하나 이상에 대해 대칭인 것으로 설명될 수 있다. 예를 들어, 제1 저항 소자(440a) 및 제4 저항 소자(440d)는 제1 저항 소자 쌍을 형성할 수 있는 가운데, 제2 저항 소자(440b) 및 제3 저항 소자(440c)는 제2 저항 소자 쌍을 형성할 수 있다. 그러한 경우에, 제1 저항 소자 쌍과 제2 저항 소자 쌍은 횡방향 축(x)에 대해 대칭이다. 유사하게, 제1 저항 소자(440a) 및 제2 저항 소자(440b)는 제1 저항 소자 쌍을 형성할 수 있는 가운데, 제3 저항 소자(440c) 및 제4 저항 소자(440d)는 제2 저항 소자 쌍을 형성할 수 있다. 제1 저항 소자 쌍과 제2 저항 소자 쌍은 이때, 종방향 축(y)에 대해 대칭이다. 도시된 예에서, 모든 저항 소자들(440) 사이의 축들에 대한 대칭이 존재한다. 스트레인 게이지(434) 내부에서의 이러한 대칭적인 저항 소자 배향은, 저항 소자들(440) 사이의 압력 비선형성을 감소시킨다. 또한, 중앙 접지 패드(446)를 둘러싸는 대칭적인 I/O 패드들(442, 444, 448, 450)을 동반하는, 5개의 패드(442, 444, 446, 448, 450) 배향은, 스트레인 게이지(434)의 조립을 더 신속하고 더욱 비용 효율적으로 만들도록, 와이어 본딩 프로세스를 용이하게 한다. 대칭적인 저항 소자 배향은 또한, 저항 소자들이 포트 몸체(414)의 요구되는 위치에 더욱 용이하게 배치되는 것을 허용한다. 예를 들어, 스트레인 게이지(434)는, 제1 저항 소자(440a) 및 제4 저항 소자(440d)가 스트레인 게이지(434)의 둘레 벽들(420) 위에 배치되도록 그리고 제2 저항 소자(440b) 및 제3 저항 소자(440c)가 다이아프램(430) 위에 배치되도록, 배치될 수 있다. 이러한 구성에서, 채널(418)에 진입하는 유체는, 다이아프램(430)에 압력을 가하여, 제1 저항 소자 및 제4 저항 소자(440d)가 압축 상태에 놓이는 가운데 제2 저항 소자(440b) 및 제3 저항 소자(440c)가 인장 상태에 놓이게 되는 것을 야기하도록 한다.
도 6을 참조하면, 도 5a 및 도 5b의 스트레인 게이지(434)의 블록도가 도시된다. 주어진 예에서, 스트레인 게이지(434)는, 자동차 응용분야의 부품과 같은 혹독한 환경에서 작동하고 있으며, 그리고 (즉, 섭씨 100도 위의) 높은 온도에 종속된다. 일부의 경우에, 온도는, 심지어 (즉, 섭씨 110도 위의) 매우 높은 온도 또는 더 높은 온도에 도달할 수 있을 것이다. 스트레인 게이지(434) 및 회로류는, 유리 기판(438)을 통해 포트 몸체(414)에 부착된다. 입력 전류가, I/O 패드들(442, 444)을 통해 스트레인 게이지(434)에 인가된다. 회로의 레이아웃으로 인해, 제2 저항 소자(440b)는, 제1 저항 소자(440a)와 비교하여, 접지 패드(446)로부터 실질적으로 등거리에 배치된다. 양자 모두의 저항 소자(440a, 440b)는 또한, 그들의 대응하는 I/O 패드(442, 444)로부터 실질적으로 등거리에 배치된다. 실질적으로 등거리는, 0 내지 200 마이크로미터로 규정된다. 도시된 실시예에서, 포트 몸체(414)는, 접지에 전기적으로 연결되는 도전성 재료이다. 그에 따라, 스트레인 게이지(434)의 접지 패드(446)는, 접지 패드(446)와 포트 몸체(414) 사이의 연결에 의해 접지된다.
계속해서 도 6을 참조하면, 혹독한 환경은, 다수의 이동성 이온(452)의 생성을 야기했다. 이동성 이온들(452)은, 저항 소자들(440) 상에, 그리고 I/O 패드들(442, 444)로부터의 공급 전류에 가장 가깝고 접지 패드(446)로부터 멀리 놓이는 그러한 저항 소자들(440) 내부의 영역들 상에, 축적될 것이다. 도 6에 도시된 예에서, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자(440a, 440b)는, 제1 저항 소자 및 제2 저항 소자(440a, 440b)를 가로지르는 균일한 이동성 이온(452) 축적을 촉진하도록 접지 패드(446)로부터 이격된다. 달리 표현하면, 각 저항 소자(440)는, 저항 소자들(440)을 가로지르는 균일한 이동성 이온(452) 축적을 촉진하도록, 접지 패드(446)로부터 실질적으로 등거리로 이격된다. 제1 저항 소자(440a)를 가로지르는 이동성 이온(452) 축적은 이동성 이온 분포 그래프(454a)에 의해 그래프로 묘사되며, 그리고 제2 저항 소자(440b)를 가로지르는 이동성 이온(452) 축적은 이동성 이온 분포 그래프(454b)에 의해 그래프로 묘사된다. 접지 패드(446)로부터 실질적으로 등거리에 놓이는 각 저항 소자(440)의 구성은, 이동성 이온(452) 이주를 감소시킨다. 그에 따라, 제1 저항 소자(440a)는, 제2 저항 소자(440b)에 대한 이동성 이온(452) 축적 및 분포 그래프(454b)와, 대략 동일한 이동성 이온(452) 축적 및 대략 동일한 이동성 이온 분포 그래프(454a)를 갖는다. 이동성 이온 분포(454)에 대한 그래픽 묘사(454)의 높이는, 각 저항 소자(440a, 440b)의 상응하는 영역(예를 들어, 중앙의 접지 패드(446)로부터 유사한 거리의 각 저항 소자(440a, 440b)의 영역)에서의 평균적인 총 이동성 이온(452) 축적에 대응한다는 것을 알아야 한다. 저항 소자들(440a, 440b)을 가로질러 축적되는 균형 잡힌 이동성 이온(452)은, 균형 잡힌 저항값 변화(즉, 제1 저항 소자(440a)는, 제2 저항 소자(440b)와 동일한 비율로 감소함)를 야기한다. 이는 유리하게, 저항 소자들(440)에 관한 충전 효과의 생성을 방지하며, 그리고 센서 신호 이동을 감소시키거나 제거한다.
도 7을 참조하면, 도 5a 및 도 5b의 스트레인 게이지의 더욱 완전한 회로도가, 도시된다. 제1 저항 소자(440a)가, 제1 I/O 패드(444)와 접지 패드(446) 사이에 전기적으로 연결된다. 제2 저항 소자(440b)가, 제2 I/O 패드(442)와 접지 패드(446) 사이에 전기적으로 연결된다. 부가적으로, 제3 저항 소자(440c)가, 제3 I/O 패드(448)와 접지 패드(446) 사이에 전기적으로 연결되는 가운데, 제4 저항 소자(440d)가, 제4 I/O 패드(450)와 접지 패드(446) 사이에 전기적으로 연결된다. 각 저항 소자(440)는, 저항 소자들(440)을 가로지르는 균일한 이동성 이온(452) 축적을 촉진하기 위해, 접지 패드(446)로부터 실질적으로 등거리에 놓이도록 배치된다. 4개의 전류 소스(458a, 458b, 458c, 458d)(개괄적으로, 458)가 각각, 균일한 일정한 전류를, I/O 패드들(442, 444, 448, 450) 중의 하나에 제공한다. 제1 출력부(460a)가, 제1 I/O 패드(444)와 제2 I/O 패드(442) 사이에 전기적으로 연결되며, 그리고 제2 출력부(460b)가, 제3 I/O 패드(448)와 제4 I/O 패드(450) 사이에 전기적으로 연결되고, 출력부(460)는 전압의 변화를 측정하도록 구성된다. 더욱 구체적으로, 저항 소자들(440)의 저항값이 압력으로 인해 변화할 때, 출력부들(460)은, 압력을 계산하기 위해 사용될 수 있는 상응하는 전압 변화를 감지한다. 다른 실시예에서, 일정한 전압이, 전류 소스들(458) 대신에 입력으로서 인가될 수 있으며, 그리고 출력부들(460)은, 전류의 변화를 측정하도록 구성될 수 있다.
특히, 4개의 저항 소자(440)의 전기적 구성이 도시되지만, 이는 중복성(redundancy)을 위한 것이며, 그리고 단지 2개의 저항 소자(440)만이 일부 실시예에서 사용될 필요가 있다. 예를 들어, 스트레인 게이지(434)는, 단지 저항 소자들(440a, 440b), 출력부(460a), 접지 패드(446), 그리고 제1 I/O 패드(442) 및 제2 I/O 패드(444)만을 갖도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 저항 소자(440a)는, 그가 압축력을 받도록, 포트 몸체(414)의 둘레 벽들(420) 위에 배치되는 가운데, 제2 저항 소자(440b)는, 인장력을 받도록 다이아프램(430) 위에 배치될 것이다. 출력부(460a)는 이때, 저항 소자들(440b, 440a)이 개별적으로 인장 및 압축 상태에 놓여 있을 때 생성되는, 저항값 차이를 (예를 들어 회로를 가로지르는 전압 또는 전류를 감지함에 의해) 측정할 것이다. 유사하게, 도시된 4개의 저항 소자(440) 구성을 갖는 경우, 출력부(460b)가 저항값 차이를 측정하도록, 제3 저항 소자(440c)는 인장 상태에 놓일 수 있는 가운데, 제4 저항 소자(440d)는 압축 상태에 놓일 수 있다. 그에 따라, 4개의 저항 소자(440)를 구비하는 것은, 각 쌍의 저항 소자들(예를 들어, (440a, 440b) 및 (440c, 440d))이, 다른 쌍에 관한 검사요소로서 역할을 하는 것을 허용한다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 여러 스트레인 게이지들의 신호 이동을 도시하는 시험 데이터를 도시하는 그래프들(802, 804)이 도시된다. 도 8a의 그래프(802)가, 대상의 기술에 따라 구성되는 다수의 스트레인 게이지에 관한 시험들의 신호 이동 데이터를 나타내는 가운데, 도 8b의 그래프(804)가, 종래기술의 스트레인 게이지들의 신호 이동을 나타낸다. 데이터를 생성하기 위해, 고온 침투 시험(hot soak test)이, 전력이 공급되는 스트레인 게이지들에 관해 300시간 동안 섭씨 140도에서 실행되었다. 확인될 수 있는 바와 같이, 종래기술의 스트레인 게이지들(그래프(804))의 신호 이동은, 시험의 8일째의 시점에 6.00%에 도달했다. 대조적으로, 대상의 기술의 모든 스트레인 게이지들(그래프(802))의 오류는, 8일째에 0.2% 미만이었다. 전체적으로, 새로운 설계는, 평균적으로 대략 95%만큼, 신호 이동을 감소시켰다.
여러 요소들의 기능들이, 대안적인 실시예에서, 더 적은 수의 요소들 또는 단일 요소에 의해 수행될 수 있다는 것이, 연관된 분야의 당업자에서 인식될 것이다. 유사하게, 일부 실시예에서, 임의의 기능적 요소가, 예시된 실시예에 대해 설명된 것보다, 더 적은 수의 또는 상이한, 작동을 수행할 수 있을 것이다. 또한, 예시의 목적으로 별개로 도시되는 기능적 요소들(예를 들어, 전자기기들, 입력 및 출력 소스들, 연결 패드들, 및 이와 유사한 것)은, 특정 구현예에서, 다른 기능적 요소들 내부에 통합될 수 있을 것이다.
대상의 기술은 바람직한 실시예에 관해 설명되었지만, 당업자는, 다양한 변경 및/또는 수정이, 대상의 기술의 사상 또는 범위로부터 벗어남 없이, 대상의 기술에 대해 이루어질 수 있다는 것을, 쉽게 인식할 것이다. 예를 들어, 각 청구항은, 심지어 본래 그렇게 청구되지 않았음에도, 다중 종속 방식으로 임의의 또는 모든 청구항을 인용할 수 있을 것이다.

Claims (21)

  1. 유체 매체로부터의 유체의 압력을 감지하기 위한 장치로서:
    유체 매체로부터 유체를 수용하기 위한 내부 채널을 둘러싸는 둘레 벽을 갖는 포트 몸체로서, 내부 채널은, 포트 몸체 상의 다이아프램과 유체 매체 사이에서 연장되는 것인, 포트 몸체;
    유리 기판에 의해 포트 몸체에 부착되는 스트레인 게이지로서:
    제1 입력/출력 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 저항 소자;
    제2 입력/출력 패드와 상기 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 저항 소자;
    제3 입력/출력 패드와 상기 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제3 저항 소자; 및
    제4 입력/출력 패드와 상기 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제4 저항 소자
    를 포함하는 것인, 스트레인 게이지;
    4개의 전류 소스로서, 각각 균일하고 일정한 전류를 상기 입력/출력 패드들 중의 하나에 제공하는 것인, 4개의 전류 소스;
    전압을 측정하기 위해 제1 입력/출력 패드와 제2 입력/출력 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 출력부; 및
    전압을 측정하기 위해 제3 입력/출력 패드와 제4 입력/출력 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 출력부
    를 포함하고,
    각 저항 소자는, 상기 저항 소자들을 가로지르는 균일한 이동성 이온 축적을 촉진하도록, 상기 접지 패드로부터 실질적으로 등거리로 이격되며; 그리고 상기 다이아프램이 유체로부터의 압력을 받을 때, 상기 제2 저항 소자 및 상기 제3 저항 소자는 인장력을 받으며, 그리고 상기 제1 저항 소자 및 상기 제4 저항 소자는 압축력을 받는 것인, 압력 감지 장치.
  2. 유체 매체로부터의 유체의 압력을 감지하기 위한 장치로서:
    내부 채널을 둘러싸는 둘레 벽을 갖는 포트 몸체로서, 내부 채널은, 포트 몸체 상의 다이아프램과 유체를 수용하기 위한 개구 사이에서 연장되는 것인, 포트 몸체; 및
    포트 몸체 상에 배치되는 스트레인 게이지로서:
    제1 입력/출력 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 저항 소자;
    제2 입력/출력 패드와 상기 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 저항 소자;
    제3 입력/출력 패드와 상기 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제3 저항 소자; 및
    제4 입력/출력 패드와 상기 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제4 저항 소자
    를 포함하는 것인, 스트레인 게이지;
    를 포함하고,
    각 저항 소자는, 이동성 이온 이주를 감소시키기 위해 상기 접지 패드로부터 실질적으로 등거리에 놓이고
    상기 제1 저항 소자 및 상기 제4 저항 소자는 상기 둘레 벽에 인접하게 배치되며, 그리고 상기 제2 저항 소자 및 상기 제3 저항 소자는 상기 다이아프램에 인접하게 배치되어, 상기 내부 채널 내의 유체가, 상기 제1 저항 소자 및 상기 제4 저항 소자가 압축을 받는 가운데 상기 제2 저항 소자 및 상기 제3 저항 소자가 인장을 받는 것을 야기하도록 하는 것인, 압력 감지 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    균일한 입력이, 동시에 각 저항 소자를 통해 인가되는 것인, 압력 감지 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 입력/출력 패드 및 상기 제2 입력/출력 패드는, 상기 접지 패드의 제1 측부에 배치되며; 그리고
    상기 제3 입력/출력 패드 및 상기 제4 입력/출력 패드는, 상기 접지 패드의 제2 측부에 배치되는 것인, 압력 감지 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 저항 소자들은 압전 저항 소자들인 것인, 압력 감지 장치.
  6. 유체 매체로부터의 유체의 압력을 감지하기 위한 장치로서:
    스트레인 게이지로서:
    제1 입력/출력 패드와 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 저항 소자;
    제2 입력/출력 패드와 상기 접지 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제2 저항 소자;
    상기 제1 입력/출력 패드와 상기 제2 입력/출력 패드 사이에 전기적으로 연결되는 제1 출력부;
    상기 제2 저항 소자와 함께 제1 저항 소자 쌍을 형성하는 제3 저항 소자; 및
    상기 제1 저항 소자와 함께 제2 저항 소자 쌍을 형성하는 제4 저항 소자;
    를 포함하는 것인, 스트레인 게이지
    를 포함하며,
    상기 제1 저항 소자 및 상기 제2 저항 소자는, 상기 제1 저항 소자 및 상기 제2 저항 소자를 가로지르는 균일한 이동성 이온 축적을 촉진하도록 상기 접지 패드로부터 이격되며; 그리고 상기 제1 저항 소자 쌍 및 상기 제2 저항 소자 쌍은 횡방향 축에 대해 대칭이고,
    상기 제1 저항 소자 및 상기 제4 저항 소자는, 내부 채널을 둘러싸는 포트 몸체의 둘레 벽에 인접하게 배치되어, 상기 채널 내의 유체가, 상기 제1 저항 소자 및 상기 제4 저항 소자가 압축력을 받는 것을 야기하도록 하며; 그리고 상기 제2 저항 소자 및 상기 제3 저항 소자는, 상기 포트 몸체 내부에서, 상기 내부 채널 노출되는 다이아프램에 인접하게 배치되어, 상기 채널 내의 유체가, 상기 제2 저항 소자 및 상기 제3 저항 소자가 인장력을 받는 것을 야기하도록 하는 것인, 압력 감지 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    일정한 전류가, 상기 제1 저항 소자 및 상기 제2 저항 소자를 통해 인가되며, 일정한 전류는 균일한 것인, 압력 감지 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    일정한 전류는, 상기 제1 입력/출력 패드를 통해 상기 제1 저항 소자에 인가되고; 일정한 전류는, 상기 제2 입력/출력 패드를 통해 상기 제2 저항 소자에 인가되며; 그리고 상기 제1 출력부는, 상기 제1 입력/출력 패드와 상기 제2 입력/출력 패드 사이의 전압의 변화를 측정하는 것인, 압력 감지 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    일정한 전압이, 상기 제1 저항 소자 및 상기 제2 저항 소자를 통해 인가되며, 일정한 전압은 균일한 것인, 압력 감지 장치.
  10. 삭제
  11. 제 6항에 있어서,
    상기 포트 몸체는, 도전성이며 그리고 접지되는 것인, 압력 감지 장치.
  12. 제 6항에 있어서,
    상기 제1 저항 소자 및 상기 제2 저항 소자는 제1 저항 소자 쌍을 형성하고; 상기 제3 저항 소자 및 상기 제4 저항 소자는 제2 저항 소자 쌍을 형성하며; 그리고 상기 제1 저항 소자 쌍과 상기 제2 저항 소자 쌍은 종방향 축에 대해 대칭인 것인, 압력 감지 장치.
  13. 삭제
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  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
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