JP4843877B2

JP4843877B2 - 半導体力学量センサ

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Publication number: JP4843877B2
Application number: JP2001221697A
Authority: JP
Inventors: 晋二吉原; 康利鈴木
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2001-01-31
Filing date: 2001-07-23
Publication date: 2011-12-21
Anticipated expiration: 2021-07-23
Also published as: FR2820201B1; DE10203631A1; FR2820201A1; DE10203631B4; US20020100948A1; US6658948B2; JP2002373991A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、センサ出力と故障診断用出力とを検出可能とすべくゲージ抵抗によってブリッジ回路が形成されたダイアフラム型の半導体力学量センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のセンサは、圧力や加速度等の力学量の印加によって歪むダイアフラムを有する半導体基板と、この半導体基板の一面側に形成されダイアフラムの歪みにより発生する応力に基づいて抵抗値が変化する複数個のゲージ抵抗とを備え、複数個のゲージ抵抗により２つのブリッジ回路を構成したものであり、２つのブリッジ回路の一方の出力をセンサ出力として検出するとともに、他方の出力を故障診断用出力として用いるようにしている。
【０００３】
このような半導体力学量センサとしては、特表平１０−５０６７１８号公報や特許第３０４９５３２号明細書に記載のものが提案されており、具体的には、センサ特性の初期値変動量を検出するために、各々４個のゲージ抵抗からなる第１および第２のブリッジ回路を並列に接続し配置し、２つのブリッジ回路からの出力信号を比較し出力信号の変化を監視することで故障診断可能となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、２つのブリッジ回路において各ブリッジ回路を構成する４個のゲージ抵抗は、ダイアフラムの外周端部近傍に配置された２個のもの（端部ゲージ抵抗対）と、この端部ゲージ抵抗対よりもダイアフラムの中心部寄りに配置された２個のもの（中央部ゲージ抵抗対）とよりなる。
【０００５】
しかしながら、本発明者等は、ダイアフラムの歪みにより発生する応力の分布を求め、この応力分布に基づいて検討したところ、上記従来のセンサにおいては、同一のゲージ抵抗対における互いのゲージ抵抗は、当該応力分布の異なる部位に配置されているため、ゲージ抵抗の配置に位置ずれが生じた場合、各ブリッジ回路における出力の変動が大きくなるという問題が発生することがわかった。
【０００６】
そこで、本発明は上記問題に鑑み、センサ出力と故障診断用出力とを検出可能とすべくゲージ抵抗によってブリッジ回路が形成されたダイアフラム型の半導体力学量センサにおいて、ゲージ抵抗の位置ずれによる検出感度の変動を抑制することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明においては、２個の中点（Ｂ、Ｃ）における電位差（Ｖｏｕｔ１）をセンサ出力として用いるようにしたブリッジ回路を構成するための４個のゲージ抵抗（Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄ）を、それぞれ複数個に分割された分割ゲージ抵抗（Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２）とし、複数個の分割ゲージ抵抗における分割された間を結ぶ端子のうち力学量が印加されていない状態において電位が等しい組合せの端子（Ｂ１、Ｃ１）における電位差（Ｖｏｕｔ２）を、故障診断用出力として用い、さらに、複数個の分割ゲージ抵抗を、ダイアフラムの中心寄りに位置し互いに応力の分布が均一となるような位置に配置された分割ゲージ抵抗（Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２）よりなる第１の群と、この第１の群よりもダイアフラムの外周端部寄りに位置し互いに応力の分布が均一となるような位置に配置された分割ゲージ抵抗（Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２）よりなる第２の群とよりなるものとしたことを特徴としている。
【０００８】
本発明によれば、まず、ブリッジ回路を構成する４個のゲージ抵抗を、それぞれ複数個の分割ゲージ抵抗に分割し、複数個の分割ゲージ抵抗における分割された間を結ぶ端子のうち力学量が印加されていない状態において電位が等しい組合せの端子における電位差を故障診断用出力として用いることにより、１つのブリッジ回路によりセンシングと故障診断とを行うことができる。
【０００９】
そして、ブリッジ回路を構成する４個のゲージ抵抗を、それぞれ複数個の分割ゲージ抵抗に分割しているから、分割ゲージ抵抗は、ダイアフラムの中心寄りに位置するものよりなる第１の群と、ダイアフラムの外周端部寄りに位置するものよりなる第２の群とにより、構成されたものとなる。
【００１０】
ここにおいて、本発明では、第１の群の分割ゲージ抵抗を、互いに応力分布が均一となるような位置に配置し、且つ、第２の群の分割ゲージ抵抗を、互いに応力分布が均一となるような位置に配置しているため、個々の分割ゲージ抵抗の位置が多少ずれたとしても、ゲージ抵抗の位置ずれによる検出感度の変動を抑制することができる。
【００１１】
ここで、ダイアフラム（１４）における応力の分布は、請求項２に記載の発明のように、ダイアフラムの中心が最大であって当該中心からダイアフラムの外周端部に向かって同心円状に小さくなっているものとすることができる。このような同心円状の応力分布を有するダイアフラムとしては、平面形状が正方形であるもの（請求項３の発明）や円形であるものを採用することができる。
【００１２】
また、上記同心円状の応力分布を有するダイアフラムにおいては、請求項４に記載の発明のように、第１の群の分割ゲージ抵抗（Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２）、第２の群の分割ゲージ抵抗（Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２）を、それぞれ、ダイアフラム（１４）の中心を通り相直交する第１の軸（Ｘ）および第２の軸（Ｙ）によって区画される４つの象限に別れて位置するようにダイアフラムの中心に対して点対称に配置することにより、適切に請求項１に記載の作用効果を実現できる。
【００１３】
ところで、上記各手段におけるブリッジ回路（２０）では、各分割ゲージ抵抗の間をつなぐ配線による配線抵抗が存在する。この配線抵抗によって、ダイアフラム（１４）に力学量が印加されていない状態（ダイアフラムが歪んでいない状態）であっても、上記センサ出力や故障診断用出力に、オフセット電圧が発生する。すると、あたかも、力学量が印加されたり、故障が存在したりするかの如く、センサが判断してしまう可能性がある。
【００１４】
そこで、上記したオフセット電圧の発生を防止して検出感度の変動抑制という効果をより向上させるべく、ブリッジ回路における配線抵抗について検討を進め、以下の発明を創出するに至った。
【００１５】
すなわち、請求項６に記載の発明では、ブリッジ回路（２０）における第１の電位点（Ａ）と分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ５、Ｈ６）、第２の電位点（Ｄ）と分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ１、Ｈ１０）、中点（Ｂ、Ｃ）と分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ８１、Ｈ８２）および分割ゲージ抵抗間の配線（Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ９１、Ｈ９２）のうち、ブリッジ回路にて２個の中点を結ぶ線に対して対称な位置関係にある配線同士の配線抵抗が、同一となっていることを特徴としている。
【００１６】
それによれば、ダイアフラムが歪んでいない状態で、ブリッジ回路において、第１の電位点（Ａ）と第２の電位点（Ｄ）との間に電位が加わった状態で、第１の電位点（Ａ）と中点（Ｂ、Ｃ）との間の電位差と、中点（Ｂ、Ｃ）と第２の電位点（Ｄ）との間の電位差との両電位差を等しくすることができる。
【００１７】
もし、ブリッジ回路における配線抵抗の関係が、請求項６の発明の関係を満足していないと、第１の電位点−中点間の電位差と中点−第２の電位点間の電位差とが異なり、力学量が印加されていない状態であっても、２個の中点間に電位差（オフセット電圧）が発生し、センサ出力の誤差となる。
【００１８】
その点、本発明によれば、両中点（Ｂ、Ｃ）間のオフセット電圧の発生を防止でき、センサ出力（Ｖｏｕｔ１）にオフセット電圧が乗ってこない。そのため、正確な出力特性を実現でき、検出感度の変動抑制のためには好ましい。
【００１９】
さらに、請求項７に記載の発明では、請求項６の構成に加えて、ブリッジ回路（２０）における配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）のうち、ブリッジ回路にて第１の電位点（Ａ）と第２の電位点（Ｄ）を結ぶ線に対して対称な位置関係にある配線同士の配線抵抗が、同一となっていることを特徴としている。
【００２０】
それによれば、故障診断用出力（Ｖｏｕｔ２）に対しても、オフセット電圧の発生を防止することができ、好ましい。
【００２１】
ここで、請求項８に記載の発明のように、配線抵抗が同一となっている配線の対が、それぞれ配線抵抗を画定する矩形部を有する場合、当該配線の対において、矩形部の縦寸法と横寸法との比を互いに同一とすれば、配線抵抗を適切に同一にすることができる。
【００２２】
さらに、請求項９に記載の発明のように、ブリッジ回路（２０）における配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）の全てが、配線抵抗が同一となっていれば、簡単なブリッジ回路構成とすることができる。
【００２３】
また、請求項１０に記載の発明のように、ブリッジ回路（２０）における配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）が、それぞれ配線抵抗を画定する矩形部を有する場合、全ての配線における矩形部の縦寸法と横寸法との比を同一とすれば、結果的に、全ての配線の配線抵抗を同一にすることができるから、請求項９の発明と同様の効果を実現することができる。
【００２４】
また、上記請求項６〜請求項１０に記載の半導体力学量センサにおいて、上記オフセット電圧の発生を防止すべく、ブリッジ回路（２０）における配線（Ｈ１〜Ｈ１０）の配線抵抗を調整する場合には、請求項１１に記載の発明のように、当該配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）に、切り込みを入れることにより形成された抵抗調整部（５０）を設けることが好ましい。
【００２５】
それによれば、配線形状を拡大したり引き伸ばしたりすることなく、配線抵抗を変化させることができるため、配線も含めたセンサ部の占有面積を大きくすることなく、配線抵抗を調整することができる。
【００２６】
ここで、請求項１２に記載の発明のように、複数個の分割ゲージ抵抗（Ｒａ１〜Ｒｄ１、Ｒａ２〜Ｒｄ２）が、所定方向に長手方向を有する折り返し形状を持つものである場合、抵抗調整部（５０）は、ブリッジ回路（２０）における配線に対して、分割ゲージ抵抗における長手方向とは直交する方向に切り込みを入れることにより形成されたものにすることが、好ましい。
【００２７】
これは、複数個の分割ゲージ抵抗は、その長手方向に沿った抵抗値にて検出を行うものであるため、もし、抵抗調整部を形成するにあたって、ブリッジ回路における配線に対して、分割ゲージ抵抗における長手方向に切り込みを入れてしまうと、抵抗調整部自体がゲージ抵抗を形成してしまい、圧力印加によって抵抗値が変動してしまうためである。
【００２８】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。本実施形態は、本発明の半導体力学量センサを半導体圧力センサに具体化したものとして説明する。図１は、本実施形態に係る半導体圧力センサＳ１の概略平面図、図２は図１中のＺ−Ｚ線に沿った概略断面図である。この半導体圧力センサＳ１は、周知の半導体製造技術を用いて製造することができる。
【００３０】
１０はシリコン等の半導体よりなる半導体基板であり、本例では、主表面である一面１１の面方位が（１１０）面であるシリコン単結晶基板を用いている。図１の平面図は、この（１１０）面が示されており、一点鎖線にて示すＸ軸（第１の軸）、Ｙ軸（第２の軸）はそれぞれ、（００１）結晶軸、（１１０）結晶軸である。
【００３１】
半導体基板１０には、その他面１２側からエッチング等により凹部１３を形成することにより、薄肉部としてのダイアフラム（図１では破線にて図示）１４が形成されている。このダイアフラム１４は、半導体基板１０の一面１１側または他面１２側から圧力が印加されることにより、歪み可能なものである。本例ではダイアフラム１４は平面が正方形であり、厚さは加工上の誤差範囲を許容しつつ略均一なものである。
【００３２】
半導体基板１０の一面１１側には、ダイアフラム１４の歪み応力に基づいて抵抗値が変化する歪みゲージとしての４個のゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄが、イオン注入や拡散等により形成されている。
【００３３】
これら４個のゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄは、感度の良い（１１０）結晶軸（Ｙ軸）を利用して後述するブリッジ回路２０（後述の図３参照）を構成するために、ダイアフラム１４の中心（図１中のＸ軸とＹ軸の交点）近傍に配置された２個のゲージ抵抗（中央部ゲージ抵抗）Ｒａ、Ｒｄと、これら中央部ゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｄよりもダイアフラム１４の外周端部近傍に配置された２個のゲージ抵抗（端部ゲージ抵抗）Ｒｂ、Ｒｃとよりなる。
【００３４】
中央部ゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｄは、ダイアフラム１４の外周端部よりも中心寄りの部位に位置しており、端部ゲージ抵抗Ｒｂ、Ｒｃは、中央部ゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｄよりもダイアフラム１４の中心から離れ外周端部寄りに位置する。本例では、端部ゲージ抵抗Ｒｂ、Ｒｃは、ダイアフラム１４の外周端部の外側に位置する。
【００３５】
そして、中央部ゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｄと端部ゲージ抵抗Ｒｂ、Ｒｃとでは、圧力が印加されたときのダイアフラム１４の応力（引っ張り応力と圧縮応力）の方向が反対であるため、抵抗値変化の方向も反対となるものである。
【００３６】
４個のゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄの各々は折り返し形状をなしており、さらに、それぞれが２分割されて分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２となっている。本例では、これら８個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２は同一の抵抗値となっている。
【００３７】
また、半導体基板１０の一面１１側には、各分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２を直列に接続して上記ブリッジ回路２０を構成するための引き出し部１５および当該ブリッジ回路２０の入力端子、出力端子となるコンタクト部１６、各配線部が、イオン注入や拡散等により形成されている。なお、図１では、各ゲージ抵抗、各引き出し部１５、各コンタクト部１６、各配線部には、識別のため斜線ハッチングを施してある。
【００３８】
ここで、各引き出し部１５は、上記ブリッジ回路２０において抵抗値を無視できるように大きく作られており、図１に示す例では略正方形をなしている。そして、上記コンタクト部１６は、図示しない外部回路に電気的に接続されるようになっている。
【００３９】
図３は、上記４個のゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄ（８個の分割ゲージ抵抗）により構成されたブリッジ回路２０の等価回路図である。このブリッジ回路２０は、４つのゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄを有するホイートストンブリッジで構成されている。
【００４０】
なお、図３に示す各端子Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｂ１、Ｃ１に対応するコンタクト部１６には、図１中、符号１６の後に括弧付きで例えば１６（Ａ）、１６（Ｂ１）というように示してある。また、図１中、コンタクト部１６（Ａ）のように同じものが２個ある場合、これら２個は共通の配線にて電気的に接続され、上記外部回路へ接続されるようになっている。
【００４１】
このホイートストンブリッジは、ゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄが互いに直列接続されて４辺形の閉回路を形成し、相対する中点としての接続点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄをそれぞれ、入力電圧（入力信号）Ｖｉｎを入力するための入力端子Ａ、Ｄと、センサ出力となる差電圧（出力信号）Ｖｏｕｔ１を発生させるための出力端子Ｂ、Ｃとした構成となっている。ここで、本例では、入力端子Ａが電源側（第１の電位点）、入力端子ＤがＧＮＤ側（第２の電位点）となっている。
【００４２】
このブリッジ回路２０において、上述したように、各ゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄはそれぞれ２つの分割ゲージ抵抗に等分割されている。すなわち、入力端子Ａと出力端子Ｂとの間に配置されたゲージ抵抗Ｒａは分割ゲージ抵抗Ｒａ１とＲａ２に、出力端子Ｂと入力端子Ｄとの間に配置されたゲージ抵抗Ｒｂは分割ゲージ抵抗Ｒｂ１とＲｂ２に、入力端子Ａと出力端子Ｃとの間に配置されたゲージ抵抗Ｒｃは分割ゲージ抵抗Ｒｃ１とＲｃ２に、出力端子Ｃと入力端子Ｄとの間に配置されたゲージ抵抗Ｒｄは分割ゲージ抵抗Ｒｄ１とＲｄ２に、それぞれ分割されている。
【００４３】
また、中央部ゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｄにおける各分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２（第１の群）と、端部ゲージ抵抗Ｒｂ、Ｒｃにおける分割ゲージ抵抗Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２（第２の群）とは、抵抗値変化の方向が互いに反対方向となっている。
【００４４】
また、各分割ゲージ抵抗の接点（分割ゲージ抵抗における分割された間を結ぶ端子、以下、中間端子という）としては、抵抗Ｒａ１とＲａ２の中間端子、抵抗Ｒｂ１とＲｂ２の中間端子Ｂ１、抵抗Ｒｃ１とＲｃ２の中間端子及び抵抗Ｒｄ１とＲｄ２の中間端子Ｃ１があるが、本例では、各中間端子のうちの任意の２個を組み合せた場合、その組み合せは、圧力が印加されていない状態において電位が等しくなる組み合わせとなる。
【００４５】
本例では、図３に示す様に、中央部ゲージ抵抗Ｒｄにおける中間端子Ｃ１と端部ゲージ抵抗Ｒｂにおける中間端子Ｂ１との電位差Ｖｏｕｔ２が故障診断用出力として用いられている。具体的には、中間端子Ｂ１の電位と中間端子Ｃ１の電位との差電圧Ｖｏｕｔ２が、上記外部回路に設けられたアンプ（増幅回路）によって増幅され、このアンプの出力電位が故障診断用（検査用）出力として用いられている。
【００４６】
ここで、本実施形態においては、８個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２は、ダイアフラム１４の歪みにより発生する応力の分布状態を考慮して配置されている。この配置の様子を図４を参照して述べる。
【００４７】
図４中の線Ｌ０〜Ｌ８は、ＦＥＭ（有限要素法）等によるシミュレーション解析により求めた、ダイアフラム１４およびその近傍における応力分布を示す線（分布線）である。図４では、地図でいう等高線の如く、応力分布は、応力の値が均一な範囲を分布線Ｌ０〜Ｌ８で区切って示してある。分布線Ｌ０を応力０として、応力が均一な各領域における具体的な応力の値は、ｋｇ／ｍｍ²を単位として図中に示してある。
【００４８】
なお、図４に示す応力の値は、半導体基板１０の一面１１からダイアフラム１４に圧力が加わった場合、すなわち、図４中の応力０の分布線Ｌ０を境としてダイアフラム１４の外周側が引っ張り応力、ダイアフラム１４の中心側が圧縮応力の場合にて示してある。また、応力分布は、Ｘ軸に対称であるため、図４では、Ｘ軸の下側の分布は省略してある。
【００４９】
本例のダイアフラム１４は面方位が（１１０）であって平面正方形であるため、ダイアフラム１４における応力分布は、ダイアフラム１４の中心が最大であって当該中心からダイアフラム１４の外周端部に向かって略同心円状に小さくなっている。なお、本実施形態では、このような同心円状の応力分布を持つダイアフラムであればよく、平面円形のダイアフラムであっても良い。
【００５０】
具体的には、ダイアフラム１４の中心近傍が−９．６と応力の大きさが最大であり、ダイアフラム１４の中心から外周端部近傍の応力０の分布線に向かって、同心円状に−８．１、−６．７、−５．２、−３．８、−２．３というように小さくなっていく。また、ダイアフラム１４の外周端部の外側では、当該外周端部近傍に０．５と応力の大きい部分がある。
【００５１】
そして、本実施形態では、このような応力分布を持つ半導体基板１０において、ダイアフラム１４の中心近傍に位置する分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２（第１の群）は互いに応力分布が均一となるように配置されており、且つ、ダイアフラム１４の外周端部近傍に位置する分割ゲージ抵抗Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２（第２の群）は互いに応力分布が均一となるように配置された独自の構成を採用している。
【００５２】
つまり、上記第１及び第２の群において同一の群の分割ゲージ抵抗は、互いに応力分布が均一な部位に配置され、その均一性の度合は、図４に示す具体的な応力の値によって明らかである。例えば、第１群である抵抗Ｒｄ１とＲａ１とは、応力が−９．６の部位と−８．１の部位に同じように位置するように配置され、第２群である抵抗Ｒｂ１とＲｂ２は、大部分が応力が０．５の部位に位置するように配置されている。
【００５３】
このような本実施形態独自の分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２の配置の全体は、図１に示される。すなわち、第１の群の４個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２、第２の群の４個の分割ゲージ抵抗Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２が、それぞれ、ダイアフラム１４の中心に対して点対称に配置され、各群の４個は、相直交するＸ軸およびＹ軸によって区画される４つの象限に１個ずつ別れて位置している。
【００５４】
次に、上記図３に基づき本センサＳ１の検出動作について述べる。本センサＳ１では、１個の入力信号Ｖｉｎに対し、出力電圧Ｖｏｕｔ１、Ｖｏｕｔ２を２系統持っており、センサ出力用の出力端子Ｂ、Ｃと、それを監視する故障診断用出力用の出力端子Ｂ１、Ｃ１が存在する。
【００５５】
入力信号Ｖｉｎがブリッジ回路２０に入力された状態で、ダイアフラム１４が圧力を受けて歪んだときに、４個のゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄのバランスが崩れ、印加圧力の大きさに応じて差電圧（出力信号）Ｖｏｕｔ１が変動するため、このＶｏｕｔ１を外部回路に取り出すことでセンサ出力は求められ、圧力を検出することができる。
【００５６】
また、故障検出については、センサ出力となる出力端子Ｂ−Ｃ間の差電圧Ｖｏｕｔ１と、中間端子Ｂ１−Ｃ１間の差電圧Ｖｏｕｔ２とを比較することで検出可能となる。本例では、各分割ゲージ抵抗の抵抗値は同一であり、Ｒｄ１とＲｄ２との比、Ｒｂ１とＲｂ２との比は各々１：１となるため、正常時では、センサ出力となる差電圧Ｖｏｕｔ１に対し、故障診断用出力となる差電圧Ｖｏｕｔ２は常に１／２となる。
【００５７】
この関係を、横軸に圧力（Ｐ）、縦軸に電圧値（Ｖ）をとって図示すると図５に示す関係となる。この関係を用いて、例えば、Ｖｏｕｔ２を上記外部回路にて２倍に増幅し、正常時ではＶｏｕｔ１に対して、１：１の関係となるようにして比較する。
【００５８】
しかし、ダイアフラム１４に不均一な応力が加わったり、抵抗の断線が生じたり等、異常時には、Ｒｄ１とＲｄ２との比、あるいはＲｂ１とＲｂ２との比が１：１でなくなり、センサ出力に対する故障診断用出力は１／２ではなくなる。つまり、上記のように２倍に増幅したＶｏｕｔ２とＶｏｕｔ１とが１：１の関係が崩れる。こうして、センサＳ１の異常を判断することができる。
【００５９】
ちなみに、もし、故障診断用出力Ｖｏｕｔ２が無く、センサ出力Ｖｏｕｔ１のみであると、例えばセンサ出力Ｖｏｕｔ１が０になった場合、ダイアフラムの破損か、ゲージ抵抗の異常か、外部回路の故障か、あるいは実際に圧力が０なのか、判断できない。
【００６０】
それに対して、例えば、センサ出力Ｖｏｕｔ１が０になった場合でも、故障診断用出力Ｖｏｕｔ２が正常であれば、圧力が０ではないし、外部回路の故障でもなく、ダイアフラムまたはゲージ抵抗の異常であるとわかる。また、故障診断用出力Ｖｏｕｔ２も０であれば、外部回路の故障または実際に圧力が０であるとわかる。
【００６１】
このように、本実施形態によれば、センシング用のブリッジ回路２０を構成する４個のゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄを、それぞれ２つの分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２に分割し、８個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２の中間端子のうち圧力が印加されていない状態において電位が等しい組合せの中間端子Ｂ１、Ｃ１における電位差Ｖｏｕｔ２を故障診断用出力として用いることにより、１つのブリッジ回路によりセンシングと故障診断とを行うことができる。
【００６２】
そして、本実施形態では、第１の群の４個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２を、互いに応力分布が均一となるような位置に配置し、且つ、第２の群の４個の分割ゲージ抵抗Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２を、互いに応力分布が均一となるような位置に配置しているため、個々の分割ゲージ抵抗の位置が多少ずれたとしても、その位置ずれによる検出感度の変動を抑制することができる。
【００６３】
ちなみに、本実施形態の半導体基板１０において、４個のゲージ抵抗（分割されてない）Ｒａ〜Ｒｄを従来の形態にて配置した構成を比較例として、図６に示す。図６に示す比較例では、２個の中央部ゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｄは、Ｘ軸上にあり且つＹ軸に対して互いに軸対称に配置されている。
【００６４】
この比較例において、各中央部ゲージ抵抗Ｒａ、Ｒｄを２分割した場合、例えば、ダイアフラム１４の中心寄りの分割ゲージ抵抗と、ダイアフラム１４の外周端部寄りの分割ゲージ抵抗とに分割されるため、互いの分割ゲージ抵抗は応力分布（図３参照）の異なる部位に配置されてしまう。
【００６５】
それに対して、図１、図３に示す様なゲージ抵抗の配置構成を採用した本実施形態では、中央部ゲージ抵抗における４個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２がそれぞれ、ダイアフラム１４の中心から略等距離にあり、互いに応力分布の均一な部位に配置されるため、個々の分割ゲージ抵抗の位置ずれによる検出感度の変動を抑制することができる。
【００６６】
また、応力分布の異なる部位同士では、温度変化が発生したとき、互いの応力分布の変化度合も異なる。そのため、従来のように、端部ゲージ抵抗対および中央部ゲージ抵抗対により構成されるブリッジ回路において、同一のゲージ抵抗対における個々のゲージ抵抗が応力分布の異なる部位に配置されていると、各ゲージ抵抗が狙い通りの位置にあったとしても、温度変化によって検出感度の変動が大きくなる。
【００６７】
その点、本実施形態では、そのような温度変化による検出感度の変動も抑制することができる。従って、本実施形態によれば、上記した独自のゲージ配置構成により、検出感度の温度特性の改善と位置ずれによる特性変化を小さくすることができる。
【００６８】
また、上記特許第３０４９５３２号明細書では、ダイアフラムに環状溝を形成することにより、ダイアフラムを厚肉部と薄肉部とにより構成されたものとしているが、本実施形態でも、このようなダイアフラムを採用することはできる。しかし、ダイアフラム形状が複雑となり、加工によるダイアフラムの形状ずれが発生して応力分布が変化しやすくなるため、本例では、厚さの均一なダイアフラム１４を採用し、そのような問題を抑制している。また、ダイアフラム１４の加工コストも低減することができる。
【００６９】
また、本実施形態においては、ブリッジ回路２０においてゲージ抵抗以外の引き出し部１５等の抵抗値がばらつくと、検出感度に影響するため、各々の引き出し部１５の大きさや形状が同一となるように調整することが肝要である。
【００７０】
ここで、本実施形態におけるゲージ抵抗の配置構成は、上記図１に示す例に限定されるものではなく、例えば、次の図７に示す他の例の様であっても良い。上記図１では、中央部ゲージ抵抗における４個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２において、Ｒａ１とＲａ２及びＲｄ１とＲｄ２がＸ軸対称であり、Ｒａ１とＲｄ１及びＲａ２とＲｄ２がＹ軸対称であったが、図７では、Ｒａ１とＲａ２及びＲｄ１とＲｄ２がＹ軸対称であり、Ｒａ１とＲｄ１及びＲａ２とＲｄ２がＸ軸対称としている。
【００７１】
図８は、図７の例におけるブリッジ回路２０の等価回路図である。図８では、各ゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄの並び方が上記図３とは異なってはいるが、各端子Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｂ１、Ｃ１の役割は上記図３と同一であり、上記した本実施形態の作用効果を奏することができる。
【００７２】
また、本実施形態においては、２個の中間端子間の差電圧を故障診断用出力として用いることができるが、その２個の中間端子の組合せは、圧力が印加されていない状態において電位が等しくなる組み合わせであれば任意である。例えば、上記図３において、抵抗Ｒａ１とＲａ２との接続部から引き出された端子と、抵抗Ｒｃ１とＲｃ２との接続部から引き出された端子との間の差電圧（出力）でも故障検出できることは言うまでもない。
【００７３】
さらには、中間端子の組合せは１個（つまり１個の故障診断用の差電圧）だけでなく、故障診断の検出精度を向上するために中間端子の組合せは複数個（複数個の故障診断用の差電圧）であっても良い。
【００７４】
例えば、上記図３において、Ｂ１−Ｃ１間の差電圧Ｖｏｕｔ２以外に、抵抗Ｒａ１とＲａ２との接続部及び抵抗Ｒｃ１とＲｃ２との接続部から引き出された端子間の差電圧（出力）も取り出し、故障診断用出力を２出力とするか、あるいは、この２個の故障診断用出力を演算比較して１出力としてもよい。
【００７５】
また、８個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２は同一の抵抗値でなくとも良い。その例を図３の変形として図９に示す。図９に示す例では、Ｒｄ１とＲｄ２との比、Ｒｂ１とＲｂ２との比は各々１：２となるため、正常時では、センサ出力となる差電圧Ｖｏｕｔ１は、故障診断用出力となる差電圧Ｖｏｕｔ２の３／２倍となる。
【００７６】
この関係が崩れれば、センサＳ１の異常が判断できる。つまり、中間端子とは、Ｒｂ１：Ｒｂ２＝Ｒｄ１：Ｒｄ２となるように分割された間を結ぶ端子であればよい。
【００７７】
また、上記実施形態では、４個のゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄを、それぞれ２つの分割ゲージ抵抗に分割したが、各ゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄの分割数は、３個、４個以上でも良い。３個以上の場合でも、複数個の分割ゲージ抵抗における分割された間を結ぶ端子のうち力学量が印加されていない状態において電位が等しい組合せの端子における電位差を、故障診断用出力として用いれば良い。
【００７８】
ところで、上記ブリッジ回路２０においては、センサ出力となる差電圧Ｖｏｕｔ１と故障診断用出力となる差電圧Ｖｏｕｔ２との双方の出力に、オフセット電圧が存在する。オフセット電圧とは、ダイアフラム１４に圧力が印加されていない状態で、上記両出力に発生する電圧であり、誤差要因となるものである。
【００７９】
ブリッジ回路２０における各分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ１の間を接続する配線の配線抵抗がゼロであれば、オフセット電圧は発生せず、理想的であるが、実際には、配線抵抗が存在する。
【００８０】
図１０は、上記図１において、各分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２及び各配線部の部分を拡大して示すものであり、上記オフセット電圧の発生を防止すべく、各抵抗及び配線のパターンを、上記図１に対して一部変形してある。また、図１１は、上記図３において配線抵抗を含んだブリッジ回路２０を示す等価回路図である。
【００８１】
図１０では、上記引き出し部１５の部分に、識別上、斜線ハッチングを施してある。そして、図１０に示す各引き出し部１５が、図１１に示す各分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ１の間を接続する各配線Ｈ１〜Ｈ１０に相当するものであり、各引き出し部１５に対応する配線を、図１０中にて、符号１５の後の括弧内に、１５（Ｈ１）、１５（Ｈ２１）、……というように示してある。
【００８２】
また、配線Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ９１、Ｈ９２は、分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ２間の配線であり、すなわち複数個の分割ゲージ抵抗における分割された間を結ぶ配線である。
【００８３】
また、配線Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ８１、Ｈ８２は、中点Ｂ、Ｃと分割ゲージ抵抗との間を結ぶ配線であり、配線Ｈ５、Ｈ６は、第１の電位点（電源側の入力端子）Ａと分割ゲージ抵抗との間を結ぶ配線であり、配線Ｈ１、Ｈ１０は、第２の電位点（ＧＮＤ側の入力端子）Ｄと分割ゲージ抵抗との間を結ぶ配線である。
【００８４】
ここで、配線Ｈ２１と配線Ｈ２２との境界は、引き出し部１５からコンタクト部１６へ引き出された細線部１７の中心軸（図１０中の一点鎖線）であり、また、Ｈ３１とＨ３２、Ｈ４１とＨ４２、Ｈ７１とＨ７２、Ｈ８１とＨ８２、Ｈ９１とＨ９２の各配線対についても同様であって、図１０中の一点鎖線がそれぞれ境界である。
【００８５】
このように、ブリッジ回路２０においては、センサ出力を検出するための２個の中点Ｂ、Ｃのそれぞれから第１の電位点（電源側の入力端子）Ａに向かって順番に、中点Ｂ、Ｃと分割ゲージ抵抗との間を接続する配線（Ｈ３１、Ｈ８１）、分割ゲージ抵抗間を接続する配線（Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ７１、Ｈ７２）、分割ゲージ抵抗と第１の電位点Ａとの間を接続する配線（Ｈ５、Ｈ６）が位置している。
【００８６】
一方、２個の中点Ｂ、Ｃのそれぞれから第２の電位点（ＧＮＤ側の入力端子）Ｄに向かって順番に、中点Ｂ、Ｃと分割ゲージ抵抗との間を接続する配線（Ｈ３２、Ｈ８２）、分割ゲージ抵抗間を接続する配線（Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ９１、Ｈ９２）、分割ゲージ抵抗と第２の電位点Ｄとの間を接続する配線（Ｈ１、Ｈ１０）が位置している。
【００８７】
ここにおいて、本実施形態では、上記オフセット電圧を低減するために、中点Ｂ、Ｃから第１の電位点Ａ側に位置する配線と、中点Ｂ、Ｃから第２の電位点Ｄ側に位置する配線とを比べて、各中点Ｂ、Ｃからの順番に対応する配線同士の配線抵抗が同一となっている。
【００８８】
このことは、換言すれば、ブリッジ回路２０における第１の電位点Ａと分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ５、Ｈ６）、第２の電位点Ｄと分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ１、Ｈ１０）、中点Ｂ、Ｃと分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ８１、Ｈ８２）および分割ゲージ抵抗間の配線（Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ９１、Ｈ９２）のうち、ブリッジ回路２０にて２個の中点Ｂ、Ｃを結ぶ線に対して対称な位置関係にある配線同士の配線抵抗が、同一となっている。
【００８９】
つまり、具体的に、図１１を参照して、配線Ｈ１とＨ５、配線Ｈ２２とＨ４１、配線Ｈ２１とＨ４２、配線Ｈ３２とＨ３１、配線Ｈ１０とＨ６、配線Ｈ９２とＨ７１、配線Ｈ９１とＨ７２、配線Ｈ８２とＨ８１の各対において、互いの配線抵抗が同一となっている。以下、この構成を、「Ｂ−Ｃ軸に対称な配線抵抗構成」という。
【００９０】
それによれば、ダイアフラム１４が歪んでいない状態で、ブリッジ回路２０において、第１の電位点Ａと第２の電位点Ｄとの間に電位が加わった状態で、第１の電位点Ａと中点Ｂとの間の電位差（Ａ−Ｂ間電位差）と、中点Ｂと第２の電位点Ｄとの間の電位差（Ｂ−Ｄ間電位差）との両電位差を等しくすることができ、一方、第１の電位点Ａと中点Ｃとの間の電位差（Ａ−Ｃ間電位差）と、中点Ｃと第２の電位点Ｄとの間の電位差（Ｃ−Ｄ間電位差）との両電位差を等しくすることができる。
【００９１】
もし、ブリッジ回路における配線抵抗の関係が、上記の「Ｂ−Ｃ軸に対称な配線抵抗構成」を満足していないと、ダイアフラム１４に圧力が印加されていない状態であっても、Ａ−Ｂ間電位差とＢ−Ｄ間電位差とが異なり、また、Ａ−Ｃ間電位差とＣ−Ｄ間電位差とが異なる。そして、２個の中点Ｂ、Ｃ間に電位差（オフセット電圧）が発生し、センサ出力Ｖｏｕｔ１の誤差となる。
【００９２】
その点、本実施形態によれば、圧力が印加されていない状態では両中点Ｂ、Ｃ間のオフセット電圧は０となり、Ｂ−Ｃ間のオフセット電圧の発生を防止できることから、センサ出力Ｖｏｕｔ１にオフセット電圧が乗るのを防止することができる。
【００９３】
そのため、「Ｂ−Ｃ軸に対称な配線抵抗構成」を採用することによって、正確な出力特性を実現することができ、結果的に、ゲージ抵抗の位置ずれによる検出感度の変動を抑制するという、本実施形態の効果をより好適に実現できる。
【００９４】
さらに、上記した「Ｂ−Ｃ軸に対称な配線抵抗構成」に加えて、ブリッジ回路２０における配線Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０のうち、ブリッジ回路２０にて第１の電位点Ａと第２の電位点Ｄを結ぶ線に対して対称な位置関係にある配線同士の配線抵抗が、同一となっていることが好ましい。
【００９５】
つまり、具体的に、図１１を参照して、配線Ｈ１とＨ１０、配線Ｈ２２とＨ９２、配線Ｈ２１とＨ９１、配線Ｈ３２とＨ８２、配線Ｈ３１とＨ８１、配線Ｈ４２とＨ７２、配線Ｈ４１とＨ７１、配線Ｈ５とＨ６の各対において、互いの配線抵抗が同一となっている。以下、この構成を、「Ａ−Ｄ軸に対称な配線抵抗構成」という。
【００９６】
それによれば、ダイアフラム１４が歪んでいない状態で、ブリッジ回路２０において、第１の電位点Ａと第２の電位点Ｄとの間に電位が加わった状態で、中間端子Ｂ１と第２の電位点Ｄとの間の電位差（Ｂ１−Ｄ間電位差）と、第２の電位点Ｄと中間端子Ｃ１との間の電位差（Ｄ−Ｃ１間電位差）との両電位差を等しくすることができる。
【００９７】
両中間端子Ｂ１、Ｃ１間の電位差Ｖｏｕｔ２は、ブリッジ回路２０の構成上、Ｂ１−Ｃ１間の配線抵抗により決まる。例えば、図１１において、もし、配線Ｈ１と配線Ｈ１０との配線抵抗が異なると、Ｂ１−Ｄ間電位差とＤ−Ｃ１間電位差とが異なることによるオフセット電圧が発生する。
【００９８】
その点、「Ａ−Ｄ軸に対称な配線抵抗構成」を採用すれば、圧力が印加されていない状態ではＢ１−Ｃ１間のオフセット電圧は０となり、両中間端子Ｂ１、Ｃ１間のオフセット電圧の発生を防止できる。そのため、故障診断用出力Ｖｏｕｔ２に対しても、オフセット電圧の発生を防止することができ、より正確な故障検出を行うことができる。
【００９９】
ここで、上記した「Ｂ−Ｃ軸に対称な配線抵抗構成」及び「Ａ−Ｄ軸に対称な配線抵抗構成」を容易に実現するには、ブリッジ回路２０における配線Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０の全てが、配線抵抗が同一となっていれば良い。それにより、簡単なブリッジ回路構成とすることができる。
【０１００】
また、本例では、上記した各分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ１の間を接続する各配線Ｈ１〜Ｈ１０（引き出し部１５）は、図１０に示す様に、矩形形状をなしており、この矩形部の寸法により、各配線の配線抵抗が画定されるようになっている。
【０１０１】
ここで、図１１のブリッジ回路２０におけるＡ−Ｂ−Ｄ間、つまり、分割ゲージ抵抗Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｂ１、Ｒｂ２を含む片側の部分の形状を、図１２に示す。
【０１０２】
各ゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄ及び各引き出し部１５（配線Ｈ１〜Ｈ１０）は、シリコン基板１０に対し、ボロン等のイオン注入や熱拡散を行うことにより、形成される。ここで、これらの配線抵抗Ｒは、シート抵抗ρｓ、配線長（縦寸法）Ｌ、配線幅（横寸法）Ｗとしたとき、Ｒ＝ρｓ・Ｌ／Ｗで決まる。
【０１０３】
シート抵抗ρｓは、イオン注入条件及び拡散温度で決まり、ゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄと引き出し部１５とを、同一のイオン注入条件及び拡散温度にて形成すれば、抵抗値Ｒは、配線パターンのＬ／Ｗ（図１２中では、Ｌ１／Ｗ１、Ｌ２／Ｗ２、Ｌ３／Ｗ３、Ｌ４／Ｗ４）で決まる。
【０１０４】
従って、本例のように、配線抵抗が同一となっている配線の対が、それぞれ配線抵抗を画定する矩形部を有する場合、当該配線の対において、矩形部の縦寸法と横寸法との比Ｌ／Ｗを互いに同一とすれば、配線抵抗を適切に同一にすることができる。この比Ｌ／Ｗに関する構成については、イオン注入時のマスクパターンを調整することで実現できる。
【０１０５】
具体的には、図１２を参照して、Ｌ１／Ｗ１（配線Ｈ１）とＬ５／Ｗ５（配線Ｈ５）とが同一であり、Ｌ２２／Ｗ２（配線Ｈ２２）とＬ４１／Ｗ４（配線Ｈ４１）とが同一であり、Ｌ２１／Ｗ２（配線Ｈ２１）とＬ４２／Ｗ４（配線Ｈ４２）とが同一であり、Ｌ３２／Ｗ３（配線Ｈ３２）とＬ３１／Ｗ３（配線Ｈ３１）とが同一である。
【０１０６】
同様のことが、ブリッジ回路２０におけるＡ−Ｃ−Ｄ間、つまり、分割ゲージ抵抗Ｒｃ１、Ｒｃ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２を含む片側の部分についても言える。このようにすることで、上記した「Ｂ−Ｃ軸に対称な配線抵抗構成」を実現することができる。
【０１０７】
さらに、ブリッジ回路２０にて第１の電位点Ａと第２の電位点Ｄを結ぶ線に対して対称な位置関係にある配線同士についても、比Ｌ／Ｗを同一にすれば、上記した「Ａ−Ｄ軸に対称な配線抵抗構成」を実現することができる。
【０１０８】
そして、ブリッジ回路２０の全ての配線Ｈ１〜Ｈ１０における矩形部の縦寸法と横寸法との比Ｌ／Ｗを同一とすれば、全ての配線Ｈ１〜Ｈ１０の配線抵抗を同一にすることができる。
【０１０９】
また、製造プロセスにおいて加工ばらつきがあるため、各分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ１の間を接続する各配線Ｈ１〜Ｈ１０の抵抗値のばらつき精度を、さらに向上させるには、配線の拡散濃度（不純物濃度）を上げて（例えば、１×１０²⁰ｃｍ^-3程度）、抵抗値を下げる（上記シート抵抗ρｓを小さくする）ことが望ましい。
【０１１０】
また、配線抵抗を小さくするために、各配線Ｈ１〜Ｈ１０の拡散濃度をゲージ抵抗Ｒａ〜Ｒｄの拡散濃度よりも大きくすることで、さらに、オフセット電圧は改善される。その方法としては、各配線Ｈ１〜Ｈ１０の拡散濃度を、コンタクト部１６の拡散濃度と同程度の濃度とすれば、工程数を増加することなく実現できる。
【０１１１】
ところで、上記図１や図１０に示す様な構成において、上記オフセット電圧の発生を防止すべく、ブリッジ回路２０における配線Ｈ１〜Ｈ１０の配線抵抗を調整する場合、単純には、イオン注入時のマスクパターンを調整して、ブリッジ回路２０の配線Ｈ１〜Ｈ１０における矩形部の形状を拡大したり引き伸ばしたりすることで、配線抵抗を変化させれば良い。
【０１１２】
しかしながら、配線形状の拡大や引き伸ばしによる調整では、形状を多少変形させても、配線抵抗変化が小さいため、オフセット電圧を小さくするには限界がある。そのため、配線Ｈ１〜Ｈ１０の面積を大きくして抵抗変化を大きくすると、配線も含めたセンサ部の占有面積が大きくなり、結果、センサの大型化につながってしまう。
【０１１３】
そこで、配線抵抗を調整する場合の好ましい形態を、図１３に示す。図１３は、上記図１０を一部変形したものであり、ブリッジ回路２０における配線Ｈ１〜Ｈ１０の配線抵抗を調整するために、当該配線Ｈ１〜Ｈ１０に対して、切り込みを入れることにより抵抗調整部５０を形成したものである。
【０１１４】
図１３においては、配線Ｈ３２、Ｈ５、Ｈ８１、Ｈ１０に切り込みが入れられ、抵抗調整部５０が形成されている。ここで、複数個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ１、Ｒａ２〜Ｒｄ２が、図中のＸ軸（（００１）結晶軸）方向に長手方向を有する折り返し形状を持つものであり、抵抗調整部５０は、配線Ｈ３２、Ｈ５、Ｈ８１、Ｈ１０に対して、該分割ゲージ抵抗における長手方向とは直交するＹ軸（（１１０）結晶軸）方向に切り込みを入れることで形成されている。
【０１１５】
そして、図１３における配線Ｈ３２、Ｈ５、Ｈ８１、Ｈ１０は、この切れ込みにより幅の細い部分としての抵抗調整部５０を有することにより、図１０におけるものに比べて、抵抗値を大幅に変化させたものになる。
【０１１６】
このように、抵抗調整部５０を形成することにより、配線形状を拡大したり引き伸ばしたりすることなく、配線抵抗を変化させることができるため、配線も含めたセンサ部の占有面積を大きくすることなく、配線抵抗を調整することができる。
【０１１７】
また、本例では、分割ゲージ抵抗における長手方向とは直交する方向に切り込みを入れることにより形成されたものここで、請求項１２に記載の発明のように、ことが、好ましい。
【０１１８】
また、複数個の分割ゲージ抵抗Ｒａ１〜Ｒｄ１、Ｒａ２〜Ｒｄ２は、その長手方向に沿った抵抗値にて検出を行うものであるが、本例では、抵抗調整部５０は、分割ゲージ抵抗における長手方向とは直交する方向に切り込みを入れることにより形成されたものであるため、印加圧力に対して実質的に感度を持たないものにできる。
【０１１９】
もし、抵抗調整部を形成するにあたって、ブリッジ回路における配線に対して、分割ゲージ抵抗における長手方向に切り込みを入れてしまうと、抵抗調整部自体がゲージ抵抗を形成してしまい、圧力印加によって抵抗値が変動してしまうためである。
【０１２０】
このような抵抗調整部５０は、配線Ｈ１〜Ｈ１０を形成する際のイオン注入時のマスクパターンを調整することにより、容易に形成することができる。
【０１２１】
（他の実施形態）
なお、本発明は、中空筒状の金属ステムの一端側に閉塞された薄肉部を形成し、他端側に開口部を形成し、該薄肉部上に半導体基板を搭載した半導体圧力センサにも適用可能である。このセンサは、金属ステムの開口部から導入される圧力によって薄肉部が歪み、その薄肉部の歪みを受けて半導体基板自体がダイアフラムとして歪むものである。
【０１２２】
また、本発明は、加速度が加わった場合の衝撃によってダイアフラムが歪み、その歪み応力をゲージ抵抗にて検出するようにした加速度センサに対しても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体圧力センサを示す概略平面図である。
【図２】図１中のＺ−Ｚ線に沿った概略断面図である。
【図３】図１に示すセンサにおけるブリッジ回路を示す等価回路図である。
【図４】ダイアフラムの歪みにより発生する応力分布とゲージ抵抗との関係を示す図である。
【図５】センサ出力と故障診断用出力との関係の一例を示す図である。
【図６】比較例として従来のゲージ抵抗の配置構成を示す図である。
【図７】上記実施形態に係る半導体圧力センサの他の例を示す概略平面図である。
【図８】図７に示すセンサにおけるブリッジ回路を示す等価回路図である。
【図９】上記図３に示すブリッジ回路において各分割ゲージ抵抗の抵抗値が異なる例を示す図である。
【図１０】上記図１の部分拡大図である。
【図１１】上記図３に示すブリッジ回路において配線抵抗を含んだ回路構成を示す等価回路図である。
【図１２】上記図１０におけるブリッジ回路に関わるパターンの片側半分を拡大して示す図である。
【図１３】配線に抵抗調整部を設けた例を示す概略平面図である。
【符号の説明】
１０…半導体基板、１４…ダイアフラム、２０…ブリッジ回路、５０…抵抗調整部、
Ａ…入力端子（第１の電位点）、Ｂ、Ｃ…出力端子（中点）、Ｄ…入力端子（第２の電位点）、Ｂ１、Ｃ１…中間端子、Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄ…ゲージ抵抗、Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２…分割ゲージ抵抗、Ｖｏｕｔ１…センサ出力に用いられる差電圧、Ｖｏｕｔ２…故障診断用出力に用いられる差電圧、Ｘ…（００１）結晶軸（第１の軸）、Ｙ…（１１０）結晶軸（第２の軸）、Ｈ１、Ｈ１０…第２の電位点Ｄと分割ゲージ抵抗との間の配線、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ９１、Ｈ９２…分割ゲージ抵抗間の配線、Ｈ３１、Ｈ３２…中点Ｂと分割ゲージ抵抗との間の配線、Ｈ８１、Ｈ８２…中点Ｃと分割ゲージ抵抗との間の配線、Ｈ５、Ｈ６…第１の電位点Ａと分割ゲージ抵抗との間の配線。

Claims

力学量の印加によって歪むダイアフラム（１４）を有する半導体基板（１０）と、
この半導体基板の一面側に形成され、前記ダイアフラムの歪みにより発生する応力に基づいて抵抗値が変化する４個のゲージ抵抗（Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄ）とを備え、
これら４個のゲージ抵抗によりブリッジ回路（２０）が構成され、このブリッジ回路の２個の中点（Ｂ、Ｃ）における電位差（Ｖｏｕｔ１）をセンサ出力として用いるようにした半導体力学量センサにおいて、
前記４個のゲージ抵抗は、それぞれ複数個に分割された分割ゲージ抵抗（Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２）となっており、
前記複数個の分割ゲージ抵抗における分割された間を結ぶ端子のうち前記力学量が印加されていない状態において電位が等しい組合せの端子（Ｂ１、Ｃ１）における電位差（Ｖｏｕｔ２）が、故障診断用出力として用いられており、
前記複数個の分割ゲージ抵抗は、前記ダイアフラムの中心寄りに位置し互いに前記応力の分布が均一となるような位置に配置された分割ゲージ抵抗（Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２）よりなる第１の群と、前記第１の群よりも前記ダイアフラムの外周端部寄りに位置し互いに前記応力の分布が均一となるような位置に配置された分割ゲージ抵抗（Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２）よりなる第２の群とよりなることを特徴とする半導体力学量センサ。
前記ダイアフラム（１４）における前記応力の分布は、前記ダイアフラムの中心が最大であって当該中心から前記ダイアフラムの外周端部に向かって同心円状に小さくなっているものであることを特徴とする請求項１に記載の半導体力学量センサ。
前記ダイアフラム（１４）の平面形状が正方形あるいは円形であることを特徴とする請求項２に記載の半導体力学量センサ。
前記ダイアフラム（１４）の中心を通り相直交する第１の軸（Ｘ）および第２の軸（Ｙ）を想定したとき、
前記第１の群の分割ゲージ抵抗（Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒｄ１、Ｒｄ２）および前記第２の群の分割ゲージ抵抗（Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｃ１、Ｒｃ２）は、それぞれ、前記第１及び第２の軸によって区画される４つの象限に別れて位置するように前記ダイアフラムの中心に対して点対称に配置されていることを特徴とする請求項２または３に記載の半導体力学量センサ。
前記複数個の分割ゲージ抵抗（Ｒａ１〜Ｒｄ１、Ｒａ２〜Ｒｄ２）は、全て同じ抵抗値を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の半導体力学量センサ。
前記ブリッジ回路（２０）における第１の電位点（Ａ）と前記分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ５、Ｈ６）、第２の電位点（Ｄ）と前記分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ１、Ｈ１０）、前記中点（Ｂ、Ｃ）と前記分割ゲージ抵抗との間の配線（Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ８１、Ｈ８２）および前記分割ゲージ抵抗間の配線（Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ９１、Ｈ９２）のうち、前記ブリッジ回路にて前記２個の中点を結ぶ線に対して対称な位置関係にある配線同士の配線抵抗が、同一となっていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の半導体力学量センサ。
前記ブリッジ回路（２０）における前記配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）のうち、前記ブリッジ回路にて前記第１の電位点（Ａ）と前記第２の電位点（Ｄ）を結ぶ線に対して対称な位置関係にある配線同士の配線抵抗が、同一となっていることを特徴とする請求項６に記載の半導体力学量センサ。
前記配線抵抗が同一となっている配線の対は、それぞれ配線抵抗を画定する矩形部を有し、前記矩形部の縦寸法と横寸法との比が互いに同一となっていることを特徴とする請求項６または７に記載の半導体力学量センサ。
前記ブリッジ回路（２０）における前記配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）は、全て配線抵抗が同一となっていることを特徴とする請求項６ないし８のいずれか１つに記載の半導体力学量センサ。
前記ブリッジ回路（２０）における前記配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）は、それぞれ配線抵抗を画定する矩形部を有し、
全ての前記配線における前記矩形部の縦寸法と横寸法との比が同一となっていることを特徴とする請求項６ないし８のいずれか１つに記載の半導体力学量センサ。
前記ブリッジ回路（２０）における前記配線（Ｈ１、Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ３１、Ｈ３２、Ｈ４１、Ｈ４２、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７１、Ｈ７２、Ｈ８１、Ｈ８２、Ｈ９１、Ｈ９２、Ｈ１０）には、切り込みを入れることにより形成された抵抗調整部（５０）が設けられていることを特徴とする請求項６ないし１０のいずれか１つに記載の半導体力学量センサ。
前記複数個の分割ゲージ抵抗（Ｒａ１〜Ｒｄ１、Ｒａ２〜Ｒｄ２）は、所定方向に長手方向を有する折り返し形状を持つものであり、
前記抵抗調整部（５０）は、前記ブリッジ回路（２０）における前記配線に対して、前記分割ゲージ抵抗における長手方向とは直交する方向に切り込みを入れることにより形成されたものであることを特徴とする請求項１１に記載の半導体力学量センサ。