DE102018122522A1 - Drucksensor mit verbessertem Dehnungsmessstreifen - Google Patents
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Abstract
Eine Vorrichtung erfasst einen Druck eines Fluids von einem Fluidmedium. Die Vorrichtung weist einen Anschlusskörper mit einer Umfangswand auf, die einen inneren Kanal umgibt. Der innere Kanal erstreckt sich zwischen einer Membran auf dem Anschlusskörper und einer Öffnung zum Empfangen des Fluids. Ein Dehnungsmessstreifen ist auf dem Anschlusskörper angeordnet. Der Dehnungsmessstreifen weist zwei oder mehr Widerstände auf, die zwischen Eingang/Ausgang-Pads und Erdungspads verbunden sind. Die Widerstände sind im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad beabstandet, um eine Wanderung beweglicher Ionen zu verringern.
Description
- GEBIET DER ERFINDUNG
- Die Gegenstand-Offenbarung betrifft Druckerfassungsvorrichtungen und insbesondere Drucksensoren mit verbesserter Dehnungsmessstreifenleistung.
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- Microfused Silicon Strain Gauge (MSG) Drucksensoren werden weit verbreitet überall in einer Anzahl von Industrien verwendet. In der Automobilindustrie werden MSGs für Anwendungen verwendet, die von Brems-, Getriebe- und Kraftstoff-Drucksensoren zu Insassengewichtskrafterfassung reichen. Derartige Drucksensoren umfassen typischerweise Silizium-Dehnungsmessstreifenelemente, die mit einer Membran aus rostfreiem Stahl eines Stahlanschlusskörpers glasgebondet sind. Eine Wheatstone-Brücke oder andere Dehnungsmessstreifen-Konfigurationen werden manchmal benutzt, um einen linearen Spannungsausgang zu ergeben, der direkt proportional zu dem angelegten Druck auf der Stahlmembran durch Kalibrierung ist.
- Ungenauigkeiten neigen in typischen MSGs dazu, in einer Anzahl von Wegen aufzutreten. Wenn die Temperatur beispielsweise über 110 Grad Celsius ansteigt, neigt chemische Zersetzung dazu, innerhalb der Glas-erzeugenden beweglichen Ionen aufzutreten. Wenn der Stahlanschlusskörper geerdet ist, werden die beweglichen Ionen in Richtung der Widerstände zusammenströmen, die am nächsten zu der Versorgungsspannung sind. Ungleichartige Ionen, die sich über den Widerständen ansammeln, können zu Sensorsignaldrift führen. Ferner können Ausgestaltungen, die sich bemühen, Sensorsignaldrift zu vermeiden, zu Sensoren mit verringerter Empfindlichkeit, ungünstigem Widerstand oder ungünstiger Pad-Positionierung oder anderen Ungenauigkeiten führen.
- ABRISS DER ERFINDUNG
- Angesichts der oben beschriebenen Bedürfnisse gibt es in mindestens einem Aspekt einen Bedarf für einen kostengünstigen Drucksensor und Dehnungsmessstreifen, die einen Druck ohne erheblichen Signaldrift genau erfassen können.
- In mindestens einem Aspekt betrifft die Gegenstand-Technologie eine Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluids von einem Fluidmedium. Die Vorrichtung umfasst einen Anschlusskörper mit einer Umfangswand, die einen inneren Kanal zum Empfangen des Fluids von dem Fluidmedium umgibt, wobei sich der innere Kanal zwischen dem Fluidmedium und einer Membran auf dem Anschlusskörper erstreckt. Ein Dehnungsmessstreifen ist an dem Anschlusskörper durch ein Glassubstrat befestigt. Der Dehnungsmessstreifen weist auf: einen ersten Widerstand, der zwischen einem ersten Eingang/Ausgang(E/A)-Pad und einem Erdungspad elektrisch verbunden (bzw. geschaltet) ist, einen zweiten Widerstand, der zwischen einem zweiten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, einen dritten Widerstand, der zwischen einem dritten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, und einen vierten Widerstand, der zwischen einem vierten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist. Vier Stromquellen stellen jeweils einen gleichmäßigen konstanten Strom an einem der E/A-Pads bereit. Ein erster Ausgang ist zwischen dem ersten E/A-Pad und dem zweiten E/A-Pad zum Messen von Spannung elektrisch verbunden. Ein zweiter Ausgang ist zwischen dem dritten E/A-Pad und dem vierten E/A-Pad zum Messen von Spannung elektrisch verbunden. Jeder Widerstand ist im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad beabstandet, um eine gleichmäßige Ansammlung von beweglichen Ionen über die Widerstände zu treiben. Ferner erfahren, wenn die Membran Druck von dem Fluid erfährt, der zweite Widerstand und der dritte Widerstand eine Spannungskraft/Zugspannungskraft, und der erste Widerstand und der vierte Widerstand erfahren eine Kompressionskraft.
- In einem anderen Aspekt umfasst die Gegenstand-Technologie eine Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluid von einem Fluidmedium, die einen Anschlusskörper mit einer Umfangswand aufweist, die einen inneren Kanal umgibt. Der innere Kanal erstreckt sich zwischen einer Membran auf dem Anschlusskörper und einer Öffnung zum Empfangen des Fluids. Ein Dehnungsmessstreifen ist auf dem Anschlusskörper angeordnet, der einen ersten Widerstand, der zwischen einem ersten Eingang/Ausgang(E/A)-Pad und einem Erdungspad elektrisch verbunden ist, einen zweiten Widerstand, der zwischen einem zweiten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, einen dritten Widerstand, der zwischen einem dritten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, und einen vierten Widerstand, der zwischen einem vierten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, aufweist. Jeder Widerstand ist im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad, um eine Wanderung beweglicher Ionen zu verringern, und eine gleichmäßige Eingabe wird durch jeden Widerstand gleichzeitig angewendet. In einigen Ausführungsformen sind das erste E/A-Pad und das zweite E/A-Pad auf einer ersten Seite des Erdungspads angeordnet und das dritte E/A-Pad und das vierte E/A-Pad sind auf einer zweiten Seite des Erdungspads angeordnet. Die E/A-Pads und das Erdungspad können in einer parallelen Reihe angeordnet werden und die Widerstände können piezoresistive Elemente sein.
- In einigen Ausführungsformen sind der erste Widerstand und der vierte Widerstand benachbart der Umfangswand positioniert und der zweite Widerstand und der dritte Widerstand sind benachbart der Membran positioniert, so dass Fluid in dem inneren Kanal bewirkt, dass die ersten und vierten Widerstände eine Kompression erfahren, während die zweiten und dritten Widerstände eine Spannung/Zugspannung erfahren. In einigen Ausführungsformen sind der erste Widerstand und der vierte Widerstand symmetrisch zu dem zweiten Widerstand und dem dritten Widerstand um/in Bezug auf eine laterale Achse, die durch die E/A-Pads läuft. In einigen Ausführungsformen ist das Erdungspad entlang einer longitudinalen Achse verlängert/länglich ausgebildet und der erste Widerstand und der zweite Widerstand sind symmetrisch um/in Bezug auf die longitudinale Achse zu dem vierten Widerstand und dem dritten Widerstand.
- In mindestens einem Aspekt betrifft die Gegenstand-Technologie eine Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluids von einem Fluidmedium mit einem Dehnungsmessstreifen. Der Dehnungsmessstreifen weist einen ersten Widerstand, der zwischen einem ersten E/A-Pad und einem Erdungspad elektrisch verbunden ist, einen zweiten Widerstand, der zwischen einem zweiten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, und einen ersten Ausgang, der zwischen dem ersten E/A-Pad und dem zweiten E/A-Pad elektrisch verbunden ist, auf. Die ersten und zweiten Widerstände sind von dem Erdungspad beabstandet, um eine gleichmäßige Ansammlung von beweglichen Ionen über die ersten und zweiten Widerstände zu treiben. In einigen Ausführungsformen sind die Widerstände im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad beabstandet. Ein konstanter Strom wird durch den ersten Widerstand und den zweiten Widerstand angelegt, wobei der konstante Strom gleichmäßig ist. In einigen Fällen wird der konstante Strom an den ersten Widerstand über das erste E/A-Pad angelegt und an den zweiten Widerstand über das zweite E/A-Pad angelegt, wobei das Ausgangspad eine Änderung in der Spannung zwischen dem ersten E/A-Pad und dem zweiten E/A-Pad misst.
- In einigen Ausführungsformen sind das erste E/A-Pad, das zweite E/A-Pad und das Erdungspad entlang einer lateralen Achse ausgerichtet, wobei der erste Widerstand und der zweite Widerstand symmetrisch um/in Bezug auf die laterale Achse sind. In einigen Ausführungsformen wird eine konstante Spannung durch den ersten Widerstand und den zweiten Widerstand angelegt, wobei die konstante Spannung gleichmäßig ist. Der Dehnungsmessstreifen kann ferner einen dritten Widerstand, der zwischen einem dritten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, einen vierten Widerstand, der zwischen einem vierten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, und einen zweiten Ausgang, der zwischen dem dritten E/A-Pad und dem viertem E/A-Pad elektrisch verbunden ist, umfassen.
- In einigen Ausführungsformen umfasst die Vorrichtung einen Anschlusskörper, der einen inneren Kanal zum Empfangen des Fluids von dem Fluidmedium umfasst, und der Dehnungsmessstreifen ist auf dem Anschlusskörper angeordnet. Der Anschlusskörper kann leitend und geerdet sein. Der erste Widerstand und der vierte Widerstand können benachbart zu einer den inneren Kanal umgebenden Umfangswand des Anschlusskörpers positioniert sein, so dass Fluid im Kanal bewirkt, dass der erste Widerstand und der vierte Widerstand eine Kompressionskraft erfahren. Ferner kann der zweite Widerstand und der dritte Widerstand benachbart zu einer Membran innerhalb des Anschlusskörpers positioniert sein, wobei die Membran dem inneren Kanal ausgesetzt wird, so dass Fluid im Kanal bewirkt, dass der zweite Widerstand und der dritte Widerstand eine Spannungskraft/Zugspannungskraft erfahren.
- In einigen Ausführungsformen bilden der erste Widerstand und der vierte Widerstand ein erstes Widerstandspaar, der zweite Widerstand und der dritte Widerstand bilden ein zweites Widerstandspaar, und das erste Widerstandspaar und das zweite Widerstandspaar sind symmetrisch um/in Bezug auf eine laterale Achse. In anderen Ausführungsformen bilden der erste Widerstand und der zweite Widerstand ein erstes Widerstandspaar, der dritte Widerstand und der vierte Widerstand bilden ein zweites Widerstandspaar, und das erste Widerstandspaar und das zweite Widerstandspaar sind symmetrisch um/in Bezug auf eine longitudinale Achse.
- Figurenliste
- So dass diejenigen mit gewöhnlichen Kenntnissen in der Technik, auf die sich das offenbarte System bezieht, leichter verstehen werden, wie dasselbe herzustellen und zu verwenden ist, kann Bezug auf die folgenden Zeichnungen genommen werden.
-
1 ist eine Querschnittsansicht eines Drucksensors des Standes der Technik. -
2 ist eine schematische Ansicht eines Dehnungsmessstreifens des Standes der Technik, der eine Wheatstone-Brücke bildet. -
3 ist ein Blockdiagramm, das den Betrieb einer Wheatstone-Brücke des Standes der Technik in Betrieb zeigt. -
4 ist eine Querschnittsansicht eines Dehnungsmessstreifens gemäß der Gegenstand-Technologie. -
5A ist eine Draufsicht eines Dehnungsmessstreifens gemäß der Gegenstand-Technologie. -
5B ist ein vereinfachtes Schaltbild des Dehnungsmessstreifens von5A . -
6 ist ein Blockdiagramm des Dehnungsmessstreifens von5A . -
7 ist ein Schaltbild des Dehnungsmessstreifens von5A . -
8A ist eine Verteilungskurve, die Prüfungsdaten zeigt, die einen Signaldrift als Funktion der Zeit für Dehnungsmessstreifen darstellen, die gemäß der Gegenstand-Technologie ausgestaltet sind. -
8B ist eine Verteilungskurve, die Prüfungsdaten zeigt, die einen Signaldrift als Funktion der Zeit für Dehnungsmessstreifen des Standes der Technik darstellen. - AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
- Die Gegenstand- Technologie überwindet viele der Probleme des Standes der Technik, die Drucksensoren zugeordnet sind. Kurz zusammengefasst stellt die Gegenstand-Technologie einen Drucksensor und entsprechende Dehnungsmessstreifen bereit, die einen Signaldrift im Vergleich mit Sensoren des Standes der Technik erheblich verringern. Die Vorteile und andere Merkmale der hier offenbarten Systeme und Verfahren werden ohne Weiteres denjenigen mit gewöhnlichen Kenntnissen in der Technik aus der folgenden ausführlichen Beschreibung von bestimmten bevorzugten Ausführungsformen in Verbindung mit den Zeichnungen leichter offensichtlich, die repräsentative Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung darlegen. Ähnliche Bezugszeichen werden hier verwendet, um ähnliche Teile zu bezeichnen. Ferner werden Wörter, die eine Orientierung bezeichnen, wie beispielsweise „obere“, „untere“, „distal“ und „nächstliegend“ lediglich verwendet, um zu helfen, den Ort von Komponenten mit Bezug zueinander zu beschreiben. Beispielsweise ist eine „obere“ Oberfläche eines Teils lediglich dazu bestimmt, eine Oberfläche zu beschreiben, die von der „unteren“ Oberfläche des gleichen Teils getrennt ist. Keine Wörter, die eine Orientierung bezeichnen, werden verwendet, um eine absolute Orientierung zu beschreiben (d.h. wo ein „oberes“ Teil immer oben sein muss).
- Ferner werden Widerstände und andere hier beschriebene Merkmale, die nummeriert sind, lediglich nummeriert, um eine Erläuterung dieser Merkmale mit Bezug zueinander zu erleichtern. Die Nummern jeder Komponente beziehen sich nicht auf irgendeine besondere Reihenfolge (z.B., wo eins vor zwei kommen muss) und in verschiedenen Ausführungsformen kann jede Nummer einer Komponente Nummern mit einer anderen nummerierten Komponente tauschen. Wenn ein erster und zweiter Widerstand beschrieben werden, könnte beispielsweise der zweite Widerstand geeigneter Weise ebenso als der erste Widerstand angesehen werden, während der ehemals erste Widerstand der zweite Widerstand genannt wird. Außerdem werden, wenn eine Anzahl von ähnlichen Komponenten mit ähnlichen Bezugszeichen gekennzeichnet (z.B. zwei Widerständen werden Bezugszeichen 140a und 140b gegeben), die Komponenten manchmal zusammen mit einem einzigen Bezugszeichen (z.B. lediglich 140) bezeichnet.
- Bezugnehmend nun auf
1 wird eine Querschnittsansicht eines Drucksensors100 des Standes der Technik gezeigt. Der Drucksensor ist zum Gebrauch innerhalb verschiedener Anwendungen, wie beispielsweise einem motorisierten Fahrzeug, konfiguriert. Beispielsweise kann der Drucksensor100 den Druck von Getriebefluid, Bremsfluid oder Motoröl messen. - Ein Verbinder
110 , ein Gehäuse112 und ein massiver Stahlanschlusskörper114 werden zusammengekoppelt, um die anderen Komponenten des Drucksensors100 zu umschließen. Eine distale Öffnung116 im Anschlusskörper114 ermöglicht Fluid, von einem Fluidmedium in einen inneren Kanal118 zu strömen, der durch Umfangswände120 des Anschlusskörpers114 definiert wird. Erhöhungen122 auf dem Äußeren124 des Anschlusskörpers114 ermöglichen das Befestigen des distalen Endes126 des Anschlusskörpers114 mit einer Struktur128 , die das Fluidmedium umgibt, wobei der innere Kanal118 fluidmäßig mit dem Fluidmedium in Verbindung gehalten wird. - Der Anschlusskörper
114 umfasst ebenfalls eine Membran130 an einem nächstliegenden Ende132 des inneren Kanals118 . Die Membran130 ist aus einer Stahlwand gebildet, die im Vergleich mit den Umfangswänden120 des Anschlusskörpers114 relativ dünner ist. Wenn Fluid von dem Druckmedium eintritt und den inneren Kanal118 füllt, veranlasst der Fluiddruck, dass sich die Membran130 biegt. Ein Dehnungsmessstreifen134 , wie beispielsweise ein Microfused Silicon Strain Gauge (MSG) Dehnungsmessstreifen, wird an dem Oberteil136 der Membran130 beispielsweise durch einen Klebstoff oder eine Substratschicht befestigt. Der Dehnungsmessstreifen134 umfasst eine Anzahl von Erfassungselementen, wie beispielsweise Widerstände oder piezoresistive Elemente, die den Widerstandswert ändern, wenn sie sich in Verbindung mit dem Biegen der Membran130 biegen. Der Widerstandswert der Widerstände wird herangezogen, um den Druck innerhalb des inneren Kanals118 und somit den Druck innerhalb des Druckmediums zu bestimmen. Dieser Widerstandswert kann beispielsweise durch Konfigurieren des Dehnungsmessstreifens134 und entsprechender Widerstände berechnet werden, um eine Wheatstone-Brücke zu bilden. Verbinderstifte111 ermöglichen, dass Signale für die Dehnungsmessstreifen134 an externe Elektronik (hier nicht gezeigt) geliefert werden können. - Bezugnehmend nun auf
2 wird ein Schaltbild der Schaltungen eines Dehnungsmessstreifens134 des Standes der Technik gezeigt, der eine Wheatstone-Brücke bildet. Wie oben beschrieben, kann der Dehnungsmessstreifen134 und verwandte Verarbeitungsschaltungen wirken, um einen Druck basierend auf dem Widerstandswert der Widerstände140 zu berechnen. Beispielsweise legt eine Spannungsversorgung142 eine Spannung an die Wheatstone-Brücke an. Auf einer Seite der Wheatstone-Brücke, hier zur linken gezeigt, ist eine elektrische Verbindung zwischen der Spannungsversorgung142 , einer ersten Brückenausgangsspannung144 und einem Erdungspad146 ausgebildet. Ein erster Widerstand140a ist auf der elektrischen Verbindung zwischen der Spannungsversorgung142 und der Brückenausgangsspannung144 und ein zweiter Widerstand140b ist zwischen der ersten Brückenausgangsspannung144 und dem Erdungspad146 angeordnet. Auf der rechten Seite der Wheatstone-Brücke ist die Spannungsversorgung142 mit einer zweiten Brückenausgangsspannung148 und dem Erdungspad146 elektrisch verbunden. Ein dritter Widerstand140c ist auf der elektrischen Verbindung zwischen der Spannungsversorgung142 und dem zweiten Brückenausgangsspannung148 und ein vierter Widerstand140d ist zwischen der zweiten Brückenausgangsspannung148 und dem Erdungspad146 angeordnet. - Wenn ein Druck an die Membran
130 angelegt wird, verursacht die Biegung der Membran130 eine Änderung im Widerstandswert an einem oder mehreren der Widerstände140 . Eine konstante Spannung wird in den Dehnungsmessstreifen134 über die Spannungsversorgung142 eingegeben. Daher wird eine Änderung im Widerstandswert von einer der Widerstände140 eine entsprechende Änderung in einer der Brückenausgangsspannungen144 ,148 verursachen. Die Änderung in der Ausgangsspannung wird verwendet, um den Betrag der Biegung in der Membran und eine entsprechende Druckänderung innerhalb des Kanals118 und daher innerhalb des Fluidmediums zu berechnen. Bemerkenswerterweise wird der Begriff „Wheatstone-Brücke“, wie hier verwendet, lediglich verwendet, um auf eine Anordnung von Komponenten, wie beispielsweise Kontaktpads und Widerstände140 , Bezug zu nehmen, die arbeiten, um ein Signal zu erzeugen, das herangezogen werden kann, um den Widerstandswert von einem oder mehreren Widerständen140 zu bestimmen. Die Verarbeitungsschaltungen, die herangezogen werden, um schließlich einen Druck zu bestimmen, können von dem hier gezeigten Dehnungsmessstreifen134 getrennt sein. - Bezugnehmend nun auf
3 wird ein Blockdiagramm gezeigt, das den Betrieb eines Dehnungsmessstreifens134 des Standes der Technik zeigt. In dem gegebenen Beispiel arbeitet der Dehnungsmessstreifen134 in einer rauen Umwelt, wie beispielsweise im Rahmen einer Automobilanwendung, und wird einer hohen Temperatur (d.h. über 100 Grad Celsius) ausgesetzt. In einigen Fällen kann die Temperatur sogar eine sehr hohe Temperatur (d.h. über 110 Grad Celsius) oder größer erreichen. Aufgrund der Auslegung der Wheatstone-Brücke ist, wie in2 gezeigt, der erste Widerstand140a relativ näher an der Versorgungsspannung142 im Vergleich mit dem zweiten Widerstand140b positioniert. Derweil ist der zweite Widerstand140b relativ näher an der Erde146 im Vergleich mit dem ersten Widerstand140a positioniert. - Weiterhin bezugnehmend auf
3 erforderte die raue Umwelt, dass das Fahrzeug kontinuierlich läuft, wodurch der Dehnungsmessstreifen134 einer hohen Temperatur unterworfen wird. Der Dehnungsmessstreifen134 blieb mit geerdetem Stahlanschluss angeschaltet, was zu der Erzeugung einer Anzahl von beweglichen Ionen152 führt. Die beweglichen Ionen152 werden sich auf den Widerständen140 und Bereichen innerhalb jener Widerstände140 ansammeln, die am nächsten zu der Versorgungsspannung142 und am entferntesten von dem Erdungspad146 sind. Ungleichartige bewegliche Ionen152 , die sich über die Widerstände140 ansammeln, werden zu einer bewegliche Ionenverteilung mit einer unausgeglichenen Widerstandswertänderung führen, was eine Ladewirkung auf den Widerständen140 erzeugen kann, die zu Sensorsignaldrift führt. - In dem in
3 gezeigten Beispiel stellen die Verteilungskurven154a ,154b (allgemein 154) unter jedem Widerstand140a ,140b die Stärke der beweglichen Ionenverteilung über diese Widerstände140a ,140b dar. Die Höhe der graphischen Darstellung der beweglichen Ionenverteilung154 entspricht der mittleren gesamten Ansammlung beweglicher Ionen152 bei dem entsprechenden Bereich des Widerstands140 (d.h. dem Bereich jedes Widerstands140 direkt oberhalb dieses Abschnitts der Verteilungskurve154 ). Der erste Widerstand140a , der näher an der Spannungsversorgung142 und entfernter von dem Erdungspad146 ist, weist eine größere Ansammlung von beweglichen Ionen und somit eine höhere bewegliche Ionenverteilung154a als die bewegliche Ionenverteilung154b des zweiten Widerstands140b auf. Auf ähnliche Weise nehmen die Verteilungskurven154a ,154b der beweglichen Ionenverteilung jedes Widerstands140a ,140b gemäß der Nähe zu der Spannungsversorgung142 und der Entfernung von dem Erdungspad146 zu. - Bezugnehmend nun auf
4 wird eine Querschnittsansicht eines Drucksensors400 gemäß der Gegenstand-Technologie gezeigt. Ein Verbinder410 , ein Gehäuse412 und ein massiver Stahlanschlusskörper414 werden zusammengekoppelt, um die anderen Komponenten des Drucksensors400 zu umschließen. Eine distale Öffnung416 im Anschlusskörper414 ermöglicht, dass Fluid von einem Fluidmedium in einen inneren Kanal418 strömen kann, der durch Umfangswände420 des Anschlusskörpers414 definiert wird. Erhöhungen422 auf dem Äußeren424 des Anschlusskörpers414 ermöglichen, das distale Ende426 des Anschlusskörpers414 mit einer Struktur428 zu befestigen, die das Fluidmedium umgibt, wobei der innere Kanal418 mit dem Fluidmedium fluidmäßig verbunden gehalten bleibt. - Der Anschlusskörper
414 umfasst ebenfalls eine Membran430 an einem nächstliegenden Ende432 des inneren Kanals418 . Die Membran430 ist aus einer Stahlwand gebildet, die im Vergleich mit den Umfangswänden420 des Anschlusskörpers414 relativ dünner ist. Wenn Fluid von dem Druckmedium in den der innere Kanal418 eindringt und diesen füllt, bewirkt der Fluiddruck, dass sich die Membran430 biegt, während die Umfangswände420 des Anschlusskörpers414 dick genug sind, um ihre Form zu halten. Ein Dehnungsmessstreifen434 , wie beispielsweise ein MSG, ist an dem Oberteil436 der Membran430 beispielsweise durch einen Klebstoff oder eine Substratschicht (z.B. ein einer ersten Seite456a der longitudinalen Achse y und einer ersten Seite456b der lateralen Achsex lokalisiert. Ein zweiter Widerstand440b , der auf der ersten Seite456a der longitudinalen Achsey und einer zweiten Seite456c der lateralen Achsex lokalisiert ist, verbindet das zweite E/A-Pad442 mit dem Erdungspad446 . Ein dritter Widerstand440c , der auf der zweiten Seite456c der lateralen Achsex und der zweiten Seite456d der longitudinalen Achsey positioniert ist, verbindet das dritte E/A-Pad448 mit dem Erdungspad446 . Ein vierter Widerstand440d , der auf der ersten Seite456b der ersten lateralen Achsex und der zweiten Seite456d der longitudinalen Achse y positioniert ist, verbindet das vierte E/A-Pad450 mit dem Erdungspad446 . Die Position der Widerstände440 kann mit Bezug auf die x- und y-Achsen ebenfalls als Quadranten beschrieben werden. Beispielsweise bilden die x- und y-Achsen vier Quadranten, wobei die ersten440a , zweiten440b , dritten440c und vierten440d Widerstände jeweils innerhalb der ersten456a ,456b , zweiten456a ,456c , dritten456d ,456c und vierten456d ,456b Quadranten positioniert werden. - Die vier Widerstände
440 können ebenfalls als die Bildung zweier Paare von Widerständen beschrieben werden, wobei die Paare symmetrisch um/in Bezug auf eine oder mehrere der Achsenx ,y sind. Beispielsweise kann der erste Widerstand440a und der vierte Widerstand440d ein erstes Widerstandspaar bilden, während der zweite Widerstand440b und der dritte Widerstand440c ein zweites Widerstandspaar bilden können. In einem derartigen Fall sind das erste Widerstandspaar und das zweite Widerstandspaar symmetrisch um/in Bezug auf die laterale Achsex . Auf ähnliche Weise können der erste Widerstand440a und der zweite Widerstand440b ein erstes Widerstandspaar bilden, während der dritte Widerstand440c und der vierte Widerstand440d ein zweites Widerstandspaar bilden. Das erste Widerstandspaar und das zweite Widerstandspaar würden dann symmetrisch um/in Bezug auf die longitudinale Achse y sein. In dem gezeigten Beispiel gibt es eine Symmetrie zwischen allen Widerständen440 um die Achsen. Diese symmetrische Widerstandorientierung innerhalb des Dehnungsmessstreifens434 verringert Drucknichtlinearität zwischen den Widerständen440 . Ferner erleichtert die Fünf-Pad(442 ,444 ,446 ,448 ,450 )-Orientierung mit symmetrischen E/A-Pads442 ,444 ,448 ,450 , die das zentrale Erdungspad446 umgeben, das Drahtbondverfahren, was den Zusammenbau der Dehnungsmessstreifen434 schneller und kosteneffizienter macht. Die symmetrische Widerstandsorientierung ermöglicht den Widerständen ebenfalls, leichter an einem gewünschten Ort des Anschlusskörpers414 platziert zu werden. Beispielsweise kann der Dehnungsmessstreifen434 mit dem ersten Widerstand440a und vierten Widerstand440d an den Umfangswänden420 des Dehnungsmessstreifens434 platziert werden, während der zweite Widerstand440b und dritte Widerstand440c oberhalb der Membran430 /über die Membran430 platziert werden. In dieser Konfiguration wird Fluid, das in den Kanal418 eintritt, einen Druck an die Membran430 anlegen, was bewirkt, dass der erste Widerstand und der vierte Widerstand440d in Kompression sind, während der zweite Widerstand440b und dritte Widerstand440c in Kompression sind. - Bezugnehmend auf
6 wird ein Blockdiagramm des Dehnungsmessstreifens434 von5A-5B gezeigt. In dem gegebenen Beispiel arbeitet der Dehnungsmessstreifen434 in einer rauen Umwelt, wie beispielweise Teil einer Automobilanwendung, und wird einer hohen Temperatur (d.h. oberhalb 100 Grad Celsius) unterworfen. In einigen Fällen kann die Temperatur sogar eine sehr hohe Temperatur (d.h. oberhalb 110 Grad Celsius) oder größer erreichen. Der Dehnungsmessstreifen434 und Schaltungen sind an dem Anschlusskörper414 über ein Glassubstrat438 befestigt. Ein Eingangsstrom wird an den Dehnungsmessstreifen434 über die E/A-Pads442 ,444 angelegt. Aufgrund der Auslegung der Schaltungen ist der zweite Widerstand440b im Wesentlichen äquidistant von der Erde446 im Vergleich mit dem ersten Widerstand440a positioniert. Beide Widerstände440 ,440b sind ebenfalls im Wesentlichen äquidistant von ihrem entsprechenden E/A-Pad442 ,444 positioniert. Im Wesentlichen wird äquidistant als 0 bis 200 Mikrometer definiert. In der gezeigten Ausführungsform ist der Anschlusskörper414 ein leitendes Material, das mit der Erde elektrisch verbunden ist. Daher wird das Erdungspad446 des Dehnungsmessstreifens434 durch eine Verbindung zwischen dem Erdungspad446 und dem Anschlusskörper414 geerdet. - Weiterhin bezugnehmend auf
6 führte die raue Umwelt zu der Erzeugung einer Anzahl von beweglichen Ionen452 . Die bewegliche Ionen452 werden sich auf den Widerständen440 und Bereichen innerhalb jener Widerstände440 ansammeln, die am nächsten zu dem Versorgungsstrom von den E/A-Pads442 ,444 und entfernt von der Erde446 sind. In dem in6 gezeigten Beispiel sind die ersten und zweiten Widerstände440a ,440b von dem Erdungspad446 beabstandet, um eine gleichmäßige Ansammlung der beweglichen Ionen452 über die ersten und zweiten Widerstände440a ,440b zu treiben. Mit anderen Worten ist jeder Widerstand440 im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad446 beabstandet, um eine gleichmäßige Ansammlung beweglicher Ionen452 über die Widerstände440 zu treiben. Die Ansammlung beweglicher Ionen452 über den ersten Widerstand440a wird durch eine Verteilungskurve454a beweglicher Ionen graphisch dargestellt und die Ansammlung beweglicher Ionen452 über den zweiten Widerstand440b wird durch eine Verteilungskurve454b beweglicher Ionen graphisch dargestellt. Die Konfiguration jedes Widerstands440 , der im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad446 ist, verringert die Wanderung von beweglichen Ionen452 . Somit weist der erste Widerstand440a ungefähr die gleiche Ansammlung beweglicher Ionen452 und ungefähr die gleiche Verteilungskurve454a der beweglichen Ionen wie die Ansammlung beweglicher Ionen452 und die Verteilungskurve454b für den zweiten Widerstand440b auf. Man beachte, dass die Höhe der graphischen Darstellungen454 der beweglichen Ionenverteilung454 der mittleren gesamten Ansammlung beweglicher Ionen452 bei dem entsprechenden Bereich jedes Widerstands440a ,440b entspricht (z.B. bei dem entsprechenden Bereich jedes Widerstands440a ,440b bei einer ähnlichen Entfernung von dem zentralen Erdungspad446 ). Ausgeglichene bewegliche Ionen452 , die sich über den Widerständen440a ,440b ansammeln, führen zu einer ausgeglichenen Widerstandsladung (d.h. der erste Widerstand440a verringert sich mit der gleichen Rate wie der zweite Widerstand440b) . Dies verhindert vorteilhafterweise die Erzeugung einer Ladewirkung an den Widerständen440 und verringert oder beseitigt Sensorsignaldrift. - Bezugnehmend auf
7 wird ein vollständigeres Schaltbild des Dehnungsmessstreifens von5A-5B gezeigt. Ein erster Widerstand440a ist zwischen einem ersten E/A-Pad444 und einem Erdungspad446 elektrisch verbunden. Ein zweiter Widerstand440b ist zwischen einem zweiten E/A-Pad442 und dem Erdungspad446 elektrisch verbunden. Außerdem ist ein dritter Widerstand440c zwischen einem dritten E/A-Pad448 und dem Erdungspad446 elektrisch verbunden, während ein vierter Widerstand440d zwischen einem vierten E/A-Pad450 und dem Erdungspad446 elektrisch verbunden ist. Jeder Widerstand440 ist positioniert, um im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad446 zu sein, um eine gleichmäßige Ansammlung von beweglichen Ionen452 über die Widerstände440 zu treiben. Vier Stromquellen458a ,458b ,458c ,458d (allgemein 458) stellen jeweils einen gleichmäßigen konstanten Strom an einem der E/A-Pads442 ,444 ,448 ,450 bereit. Ein erster Ausgang460a ist zwischen dem erstem E/A-Pad444 und dem zweiten E/A-Pad442 elektrisch verbunden und ein zweiter Ausgang460b ist zwischen dem dritten E/A-Pad448 und dem vierten E/A-Pad450 elektrisch verbunden, wobei der Ausgang460 konfiguriert ist, um eine Änderung in der Spannung zu messen. Genauer gesagt erfassen, wenn sich der Widerstandswert der Widerstände440 aufgrund von Druck ändert, die Ausgänge460 eine entsprechende Spannungsänderung, die verwendet werden kann, um Druck zu berechnen. In anderen Ausführungsformen kann eine konstante Spannung als ein Eingang anstatt von Stromquellen458 angewendet werden und die Ausgänge460 können konfiguriert sein, um eine Änderung im Strom zu messen. - Während eine elektrische Konfiguration von vier Widerständen
440 gezeigt wird, ist dies für Redundanz, und lediglich zwei Widerstände440 müssen bemerkenswerterweise in einigen Ausführungsformen verwendet werden. Beispielsweise könnte der Dehnungsmessstreifen434 lediglich mit den Widerständen440a und440b , dem Ausgang460a , dem Erdungspad446 und den ersten und zweiten E/A-Pads442 ,444 konfiguriert sein. In einigen Ausführungsformen würde der erste Widerstand440a oberhalb/über den Umfangswänden420 des Anschlusskörpers414 platziert werden, so dass er eine Kompressionskraft erfahren würde, während der zweite Widerstand440b oberhalb/über der Membran430 , platziert werden würde, um eine Spannungskraft/Zugspannungskraft zu erfahren. Der Ausgang460a würde dann die Widerstandsdifferenz (z.B. durch Erfassen einer Spannung oder Strom über die Schaltung) messen, die erzeugt wird, wenn die Widerstände440b ,440a in Spannung bzw. Kompression platziert werden würden. Auf ähnliche Weise könnte mit der gezeigten Konfiguration mit vier Widerständen440 der dritte Widerstand440c in Spannung/unter Zugspannung platziert werden, während der vierte Widerstand440d in Kompression platziert wird, so dass der Ausgang460b die Widerstandsdifferenz misst. Vier Widerstände440 aufzuweisen ermöglicht daher, dass jedes Paar von Widerständen (z.B.440a ,440b und440c ,440d ) als eine Prüfung auf das andere Paar dienen kann. - Bezugnehmend auf
8A und8B werden Verteilungskurven802 ,804 von Prüfdaten gezeigt, die den Signaldrift von verschiedenen Dehnungsmessstreifen zeigen. Die Verteilungskurve802 von8A stellt die Signaldriftdaten von Tests an einer Anzahl von Dehnungsmessstreifen dar, die gemäß der Gegenstand-Technologie konfiguriert sind, während die Verteilungskurve804 von8B den Signaldrift von Dehnungsmessstreifen des Standes der Technik darstellt. Um die Daten zu erzeugen, wurde ein heißer Einweichtest bei 140 Grad Celsius für 300 Stunden an angeschalteten Dehnungsmessstreifen durchgeführt. Wie erkennbar ist, näherte sich der Signaldrift der Dehnungsmessstreifen dem Stand der Technik (Verteilungskurve804 ) zeitweilig auf 6,00% am achten Tag des Testens an. Im Gegensatz dazu war der Fehler aller Dehnungsmessstreifen der Gegenstand-Technologie (Verteilungskurve802 ) geringer als 0,2% am achten Tag. Insgesamt verringert die neue Ausgestaltung den Signaldrift im Mittel um ungefähr 95%. - Es wird von denjenigen mit gewöhnlichen Kenntnissen in der betreffenden Technik erkannt, dass die Funktionen von mehreren Elementen in alternativen Ausführungsformen durch weniger Elementen oder einem einzigen Element ausgeführt werden können. Auf ähnliche Weise kann in einigen Ausführungsformen jedes Funktionselement weniger oder unterschiedliche Operationen wie diejenigen durchführen, die mit Bezug auf die veranschaulichte Ausführungsform beschrieben werden. Funktionselemente (z.B., Elektronik, Eingangs- und Ausgangsquellen, Verbindungpads und dergleichen), die für Veranschaulichungszwecke als eigenständig gezeigt werden, können ebenfalls innerhalb anderer Funktionselemente in einer bestimmten Implementierung aufgenommen werden.
- Während die Gegenstand-Technologie mit Bezug auf bevorzugte Ausführungsformen beschrieben wurde, werden Fachleute ohne Weiteres erkennen, dass verschiedene Änderungen and/oder Modifikationen an der Gegenstand-Technologie durchgeführt werden können, ohne vom Wesen oder Umfang der Gegenstand-Technologie abzuweichen. Beispielsweise kann jeder Anspruch von irgendeinem oder allen Ansprüchen in einer mehrfachen abhängigen Art und Weise abhängen, obwohl derartiges sogar ursprünglich nicht beansprucht wurde.
Claims (21)
- Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluids von einem Fluidmedium, umfassend: einen Anschlusskörper, der eine Umfangswand aufweist, die einen inneren Kanal zum Empfangen des Fluids von dem Fluidmedium umgibt, wobei sich der innere Kanal zwischen dem Fluidmedium und einer Membran auf dem Anschlusskörper erstreckt; einen Dehnungsmessstreifen, der an dem Anschlusskörper durch ein Glassubstrat befestigt ist, wobei der Dehnungsmessstreifen umfasst: einen ersten Widerstand, der zwischen einem ersten Eingang/Ausgang(E/A)-Pad und einem Erdungspad elektrisch verbunden ist; einen zweiten Widerstand, der zwischen einem zweiten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; einen dritten Widerstand, der zwischen einem dritten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; und einen vierten Widerstand, der zwischen einem vierten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; vier Stromquellen, wobei jede Stromquelle einen gleichmäßigen konstanten Strom an einem der E/A-Pads bereitstellt; einen ersten Ausgang, der zwischen dem ersten E/A-Pad und dem zweiten E/A-Pad zum Messen von Spannung elektrisch verbunden ist; und einen zweiten Ausgang, der zwischen dem dritten E/A-Pad und dem vierten E/A-Pad zum Messen von Spannung elektrisch verbunden ist, wobei: jeder Widerstand im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad beabstandet ist, um eine gleichmäßige Ansammlung von beweglichen Ionen über die Widerstände zu treiben; und wenn die Membran Druck von dem Fluid erfährt: der zweite Widerstand und der dritte Widerstand eine Spannungskraft/Zugspannungskraft erfahren; und der erste Widerstand und der vierte Widerstand eine Kompressionskraft erfahren.
- Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluid von einem Fluidmedium, umfassend: einen Anschlusskörper, der eine Umfangswand aufweist, die einen inneren Kanal umgibt, wobei sich der innere Kanal zwischen einer Membran auf dem Anschlusskörper und einer Öffnung zum Empfangen des Fluids erstreckt; und einen Dehnungsmessstreifen, der auf dem Anschlusskörper angeordnet ist, der umfasst: einen ersten Widerstand, der zwischen einem ersten Eingang/Ausgang(E/A)-Pad und einem Erdungspad elektrisch verbunden ist; einen zweiten Widerstand, der zwischen einem zweiten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; einen dritten Widerstand, der zwischen einem dritten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; und einen vierten Widerstand, der zwischen einem vierten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist, wobei jeder Widerstand im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad ist, um eine Wanderung beweglicher Ionen zu verringern.
- Vorrichtung gemäß
Anspruch 2 , wobei eine gleichmäßige Eingabe durch jeden Widerstand gleichzeitig angelegt wird. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 2 , wobei: das erste E/A-Pad und das zweite E/A-Pad auf einer ersten Seite des Erdungspads angeordnet sind; und das dritte E/A-Pad und das vierte E/A-Pad auf einer zweiten Seite des Erdungspads angeordnet sind. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 4 , wobei die E/A-Pads und das Erdungspad in einer parallelen Reihe angeordnet sind. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 2 , wobei die Widerstände piezoresistive Elemente sind. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 2 , wobei: der erste Widerstand und der vierte Widerstand benachbart der Umfangswand positioniert sind und der zweite Widerstand und der dritte Widerstand benachbart der Membran positioniert sind, so dass Fluid in dem inneren Kanal bewirkt, dass die ersten und vierten Widerstände eine Kompression erfahren, während die zweiten und dritten Widerstände eine Spannung/Zugspannung erfahren. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 2 , wobei der erste Widerstand und der vierte Widerstand symmetrisch zu dem zweiten Widerstand und dem dritten Widerstand um/in Bezug auf eine laterale Achse sind, die durch die E/A-Pads läuft. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 2 , wobei: das Erdungspad entlang einer longitudinalen Achse verlängert ist/länglich ausgebildet ist; und der erste Widerstand und der zweite Widerstand symmetrisch um/in Bezug auf die longitudinale Achse mit dem vierten Widerstand und dem dritten Widerstand sind. - Vorrichtung zum Erfassen eines Drucks eines Fluids von einen Fluidmedium, umfassend: einen Dehnungsmessstreifen, der umfasst: einen ersten Widerstand, der zwischen einem ersten Eingang/Ausgang(E/A)-Pad und einem Erdungspad elektrisch verbunden ist; einen zweiten Widerstand, der zwischen einem zweiten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; und einen ersten Ausgang, der zwischen dem ersten E/A-Pad und dem zweiten E/A-Pad elektrisch verbunden ist, wobei die ersten und zweiten Widerstände von dem Erdungspad beabstandet sind, um eine gleichmäßige Ansammlung von beweglichen Ionen über die ersten und zweiten Widerstände zu treiben.
- Vorrichtung gemäß
Anspruch 10 , wobei die Widerstände im Wesentlichen äquidistant von dem Erdungspad beabstandet sind. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 10 , wobei ein konstanter Strom durch den ersten Widerstand und den zweiten Widerstand angelegt wird, wobei der konstante Strom gleichmäßig ist. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 12 , wobei: der konstante Strom an den ersten Widerstand über das erste E/A-Pad angelegt wird; der konstante Strom an den zweiten Widerstand über das zweite E/A-Pad angelegt wird; und der Ausgang eine Änderung in der Spannung zwischen dem ersten E/A-Pad und dem zweiten E/A-Pad misst. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 13 , wobei das erste E/A-Pad, das zweite E/A-Pad und das Erdungspad entlang einer lateralen Achse ausgerichtet sind, wobei der erste Widerstand und der zweite Widerstand symmetrisch um/in Bezug auf die laterale Achse sind. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 10 , wobei eine konstante Spannung durch den ersten Widerstand und den zweiten Widerstand angelegt wird, wobei die konstante Spannung gleichmäßig ist. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 10 , wobei der Dehnungsmessstreifen ferner umfasst: einen dritten Widerstand, der zwischen einem dritten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; einen vierten Widerstand, der zwischen einem vierten E/A-Pad und dem Erdungspad elektrisch verbunden ist; und einen zweiten Ausgang, der zwischen dem dritten E/A-Pad und dem viertem E/A-Pad elektrisch verbunden ist. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 16 , ferner umfassend einen Anschlusskörper, der einen inneren Kanal zum Empfangen des Fluids von dem Fluidmedium umfasst, wobei der Dehnungsmessstreifen auf dem Anschlusskörper angeordnet ist. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 17 , wobei der Anschlusskörper leitend und geerdet ist. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 17 , wobei: der erste Widerstand und der vierte Widerstand benachbart einer den inneren Kanal umgebenden Umfangswand des Anschlusskörpers positioniert sind, so dass Fluid im Kanal bewirkt, dass der erste Widerstand und der vierte Widerstand eine Kompressionskraft erfahren; und der zweite Widerstand und der dritte Widerstand benachbart zu einer Membran innerhalb des Anschlusskörpers positioniert sind, wobei die Membran dem inneren Kanal ausgesetzt wird, so dass Fluid im Kanal bewirkt, dass der zweite Widerstand und der dritte Widerstand eine Spannungskraft/Zugspannungskraft erfahren. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 10 , wobei: der erste Widerstand und der vierte Widerstand ein erstes Widerstandspaar bilden; der zweite Widerstand und der dritte Widerstand ein zweites Widerstandspaar bilden; und das erste Widerstandspaar und das zweite Widerstandspaar um/in Bezug auf eine laterale Achse symmetrisch sind. - Vorrichtung gemäß
Anspruch 10 , wobei: der erste Widerstand und der zweite Widerstand ein erstes Widerstandspaar bilden; der dritte Widerstand und der vierte Widerstand ein zweites Widerstandspaar bilden; und das erste Widerstandspaar und das zweite Widerstandspaar um/in Bezug auf eine longitudinale Achse symmetrisch sind.
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11137241B2 (en) | 2019-03-27 | 2021-10-05 | Vishay Advanced Technologies, Ltd. | Three dimensional strain gage |
EP3969287A1 (de) * | 2019-05-15 | 2022-03-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Integrierte schaltungen mit dehnungsmessstreifensensoren |
CN113865757A (zh) * | 2021-09-16 | 2021-12-31 | 歌尔微电子股份有限公司 | 压阻式压力传感器的检测电路、检测方法和电子设备 |
US11898920B2 (en) * | 2022-05-10 | 2024-02-13 | Sensata Technologies, Inc. | Electromagnetic interference absorbing sensor connector |
Family Cites Families (180)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4072058A (en) | 1976-05-03 | 1978-02-07 | Honeywell Inc. | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection |
US4131088A (en) | 1976-11-08 | 1978-12-26 | The Bendix Corporation | Multiple function pressure sensor |
US4287772A (en) | 1978-05-18 | 1981-09-08 | Gulton Industries, Inc. | Strain gage transducer and process for fabricating same |
CA1162243A (en) | 1979-12-26 | 1984-02-14 | Jonathon H. Katz | Test pin |
US4347745A (en) | 1980-12-22 | 1982-09-07 | Bourns Instruments, Inc. | Pressure measuring apparatus |
US4400681A (en) | 1981-02-23 | 1983-08-23 | General Motors Corporation | Semiconductor pressure sensor with slanted resistors |
FR2520305B1 (fr) | 1982-01-28 | 1985-09-06 | Aerospatiale | Suspension a bras oscillants pour un train de deux roues d'un vehicule et systeme de rappel elastique et de couplage anti-roulis pour une telle suspension |
US4462018A (en) * | 1982-11-05 | 1984-07-24 | Gulton Industries, Inc. | Semiconductor strain gauge with integral compensation resistors |
GB8610088D0 (en) * | 1986-04-24 | 1986-05-29 | Renishaw Plc | Probe |
US4771427A (en) | 1986-10-02 | 1988-09-13 | United Technologies Corporation | Equalization in redundant channels |
EP0312605A4 (en) * | 1987-04-24 | 1992-06-17 | Kabushiki Kaisha Nexy Kenkyusho | Detector for force, acceleration and magnetism using resistor element |
US4825876A (en) | 1988-02-23 | 1989-05-02 | Abbott Laboratories | Encapsulated blood pressure transducer |
US5144843A (en) | 1988-07-26 | 1992-09-08 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Pressure sensor |
US4903164A (en) | 1988-12-08 | 1990-02-20 | Texas Instruments Incorporated | O-ring/back-up ring seal for high pressure transducers |
US4888662A (en) | 1988-12-08 | 1989-12-19 | Texas Instruments Incorporated | High pressure package for pressure transducers |
US5184515A (en) | 1989-06-22 | 1993-02-09 | Ic Sensors, Inc. | Single diaphragm transducer with multiple sensing elements |
US5181417A (en) | 1989-07-10 | 1993-01-26 | Nippon Soken, Inc. | Pressure detecting device |
CN1024842C (zh) * | 1989-08-25 | 1994-06-01 | 株式会社长野计器制作所 | 应变检测元件及使用它的压力变换器 |
US5060108A (en) | 1990-01-25 | 1991-10-22 | Texas Instruments Incorporated | Packaging and sealing for pressure transducer |
JPH03293534A (ja) | 1990-04-12 | 1991-12-25 | Nissan Motor Co Ltd | 圧力センサの実装装置 |
US5173766A (en) | 1990-06-25 | 1992-12-22 | Lsi Logic Corporation | Semiconductor device package and method of making such a package |
JPH0465643A (ja) | 1990-07-05 | 1992-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
DE4023420A1 (de) | 1990-07-24 | 1992-01-30 | Pfister Gmbh | Drucksensor |
KR950005891B1 (ko) | 1990-11-28 | 1995-06-02 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 압력센서 |
US5184107A (en) | 1991-01-28 | 1993-02-02 | Honeywell, Inc. | Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal |
GB9116245D0 (en) * | 1991-07-27 | 1991-09-11 | Renishaw Metrology Ltd | Sensing circuit for position-sensing probe |
US5231301A (en) | 1991-10-02 | 1993-07-27 | Lucas Novasensor | Semiconductor sensor with piezoresistors and improved electrostatic structures |
CA2062543C (en) | 1992-03-09 | 1996-09-17 | Douglas Milne | Cable bolt monitoring device |
JPH0637334A (ja) | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Copal Electron Co Ltd | 圧力センサの構造 |
US5331857A (en) | 1992-08-21 | 1994-07-26 | General Automotive Specialty Co., Inc. | Pressure transducer |
US5425371A (en) | 1992-10-05 | 1995-06-20 | Metatech Corporation | Fiberoptic pressure transducer |
DE4407212C1 (de) | 1992-10-12 | 1995-08-03 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
DE4234289C1 (de) | 1992-10-12 | 1993-11-25 | Fibronix Sensoren Gmbh | Drucksensor |
US5349865A (en) | 1993-08-30 | 1994-09-27 | Kavlico Corporation | Wide-pressure-range, adaptable, simplified pressure transducer |
US5457988A (en) | 1993-10-28 | 1995-10-17 | Panex Corporation | Side pocket mandrel pressure measuring system |
US5448444A (en) | 1994-01-28 | 1995-09-05 | United Technologies Corporation | Capacitive pressure sensor having a reduced area dielectric spacer |
JPH0821775A (ja) | 1994-07-08 | 1996-01-23 | Fuji Koki Seisakusho:Kk | 圧力センサ |
JPH08178778A (ja) | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力検出装置 |
DE59504814D1 (de) | 1995-03-31 | 1999-02-25 | Endress Hauser Gmbh Co | Drucksensor |
MX9707606A (es) | 1995-04-28 | 1997-12-31 | Rosemount Inc | Transmisor de presion con grupo de montaje aislador de alta presion. |
DE19521832A1 (de) * | 1995-06-16 | 1996-12-19 | Bosch Gmbh Robert | Druckmeßvorrichtung |
USRE38557E1 (en) | 1995-10-03 | 2004-07-20 | Nt International, Inc. | Non-contaminating pressure transducer module |
US5869766A (en) | 1995-10-03 | 1999-02-09 | Nt International, Inc. | Non-contaminating pressure transducer module |
DE19547890A1 (de) | 1995-12-21 | 1997-06-26 | Bosch Gmbh Robert | Dichtungseinheit für einen Kraftstoffdrucksensor |
US5802912A (en) | 1996-01-25 | 1998-09-08 | Delco Electronics Corporation | Electrical terminal apparatus |
US5629486A (en) | 1996-01-25 | 1997-05-13 | Delco Electronics Corporation | Pressure sensor apparatus with integrated circuit mounted thereon |
US6033544A (en) | 1996-10-11 | 2000-03-07 | Sarnoff Corporation | Liquid distribution system |
US5741975A (en) | 1996-07-31 | 1998-04-21 | Motorola, Inc. | Media isolated differential pressure sensor and fluid injection method |
US6700174B1 (en) | 1997-09-25 | 2004-03-02 | Integrated Micromachines, Inc. | Batch fabricated semiconductor thin-film pressure sensor and method of making same |
JP4161410B2 (ja) | 1997-07-25 | 2008-10-08 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
US20040099061A1 (en) | 1997-12-22 | 2004-05-27 | Mks Instruments | Pressure sensor for detecting small pressure differences and low pressures |
DE19811970C2 (de) | 1998-03-19 | 2000-05-18 | Klaus Kobold | Meßanzeigevorrichtung |
US6204594B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-03-20 | Cooper Automotive Products, Inc. | Spark plug with pressure sensor |
JP3309808B2 (ja) | 1998-08-04 | 2002-07-29 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
FR2791430B1 (fr) | 1999-03-25 | 2001-09-21 | Denso Corp | Capteur de pression a tige metallique fixee a un boitier pouvant etre assujetti directement a un dispositif, et procede pour fabriquer celui-ci |
JP2001041838A (ja) | 1999-08-03 | 2001-02-16 | Yamatake Corp | 圧力センサおよびその製造方法 |
JP4281178B2 (ja) | 1999-10-06 | 2009-06-17 | 株式会社デンソー | 半導体圧力センサ |
JP3911930B2 (ja) | 1999-10-28 | 2007-05-09 | 株式会社デンソー | 燃焼圧センサ付きグロープラグ |
JP4300663B2 (ja) | 1999-12-24 | 2009-07-22 | 株式会社デンソー | 燃焼圧センサ構造体 |
US6453747B1 (en) | 2000-01-12 | 2002-09-24 | Peter A. Weise | Hermetic pressure transducer |
US6550337B1 (en) | 2000-01-19 | 2003-04-22 | Measurement Specialties, Inc. | Isolation technique for pressure sensing structure |
DE10031120A1 (de) | 2000-06-30 | 2002-01-17 | Grieshaber Vega Kg | Druckmittler |
US6568276B1 (en) | 2000-08-04 | 2003-05-27 | Measurement Specialties, Inc. | Strain gauge based sensor with improved linearity |
US6434456B1 (en) | 2000-09-07 | 2002-08-13 | Kelsey-Hayes Company | High reliability pressure sensor |
US6351998B1 (en) | 2000-09-19 | 2002-03-05 | General Motors Corporation | Method for designing a load cell |
US6487911B1 (en) | 2000-11-21 | 2002-12-03 | Texas Instruments Incorporated | Pressure sensor apparatus |
US6556939B1 (en) | 2000-11-22 | 2003-04-29 | Smartsignal Corporation | Inferential signal generator for instrumented equipment and processes |
US6505398B2 (en) | 2000-12-04 | 2003-01-14 | Kavlico Corporation | Very high pressure miniature sensing and mounting technique |
JP4843877B2 (ja) | 2001-01-31 | 2011-12-21 | 株式会社デンソー | 半導体力学量センサ |
GB2369889B (en) * | 2001-07-13 | 2004-06-09 | John David Barnett | Strain sensing installation |
WO2003008921A1 (en) | 2001-07-17 | 2003-01-30 | Measurement Specialties, Inc. | Isolation technique for pressure sensing structure |
US6536287B2 (en) | 2001-08-16 | 2003-03-25 | Honeywell International, Inc. | Simplified capacitance pressure sensor |
CN2541830Y (zh) * | 2001-12-25 | 2003-03-26 | 湖南长沙索普测控技术有限公司 | 用于周边固支圆形平膜片钢杯的薄膜应变电阻 |
US7322246B2 (en) | 2002-03-13 | 2008-01-29 | Ip Development, Llc | Pressure sensor with pressure translation |
DE10223357A1 (de) | 2002-05-25 | 2003-12-04 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Druckmessung |
US6952042B2 (en) | 2002-06-17 | 2005-10-04 | Honeywell International, Inc. | Microelectromechanical device with integrated conductive shield |
DE10228000A1 (de) | 2002-06-22 | 2004-01-08 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Druckmessung |
US6782758B2 (en) | 2002-07-10 | 2004-08-31 | Texas Instruments Incorporated | Hermetic pressure transducer |
US6715357B2 (en) | 2002-07-10 | 2004-04-06 | Texas Instruments Incorporated | Hermetic pressure transducer |
US6763724B2 (en) | 2002-07-10 | 2004-07-20 | Texas Instruments Incorporated | Hermetic pressure transducer |
US6845664B1 (en) | 2002-10-03 | 2005-01-25 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of National Aeronautics And Space Administration | MEMS direct chip attach packaging methodologies and apparatuses for harsh environments |
FR2849192B1 (fr) | 2002-12-20 | 2005-03-04 | Siemens Vdo Automotive | Appareil de detection de la pression dans la chambre de combustion d'un moteur |
US20040132900A1 (en) | 2003-01-08 | 2004-07-08 | International Business Machines Corporation | Polyimide compositions and use thereof in ceramic product defect repair |
US6846184B2 (en) | 2003-01-24 | 2005-01-25 | High Connection Density Inc. | Low inductance electrical contacts and LGA connector system |
US6815071B2 (en) | 2003-01-24 | 2004-11-09 | Delphi Technologies, Inc. | Glass frit bond line |
US7570065B2 (en) | 2006-03-01 | 2009-08-04 | Loadstar Sensors Inc | Cylindrical capacitive force sensing device and method |
US7082834B2 (en) * | 2003-06-18 | 2006-08-01 | New Jersey Institute Of Technology | Flexible thin film pressure sensor |
JP2005037310A (ja) | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP4774678B2 (ja) | 2003-08-29 | 2011-09-14 | 富士電機株式会社 | 圧力センサ装置 |
JP4075776B2 (ja) | 2003-11-13 | 2008-04-16 | 株式会社デンソー | 物理量センサおよび圧力センサ |
US6945118B2 (en) | 2004-01-13 | 2005-09-20 | Honeywell International Inc. | Ceramic on metal pressure transducer |
EP1560012B1 (de) | 2004-01-30 | 2010-06-02 | Danfoss A/S | Druckmittler |
US7207214B1 (en) | 2004-02-17 | 2007-04-24 | Wlodarczyk Marek T | Glow plug integrated pressure sensor |
DE102005009351B4 (de) | 2004-03-03 | 2013-05-23 | Denso Corporation | Drucksensor und Verfahren zu seinem Zusammenbau |
US7270010B2 (en) | 2004-08-27 | 2007-09-18 | Ashcroft-Nagano, Inc. | System and method for pressure measurement |
US7100455B2 (en) | 2004-08-27 | 2006-09-05 | Dresser-Nagano, Inc. | System and method for pressure measurement |
US7252009B2 (en) | 2004-08-27 | 2007-08-07 | Ashcroft-Nagano, Inc. | System and method for pressure measurement |
JP4419847B2 (ja) | 2004-09-16 | 2010-02-24 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
DE102004048367B4 (de) | 2004-10-01 | 2010-10-28 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers |
US7302855B2 (en) | 2004-10-28 | 2007-12-04 | Denso Corporation | Pressure detection device |
US7032456B1 (en) | 2004-12-30 | 2006-04-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Isostatic piezoresistive pressure transducer with temperature output |
JP4742593B2 (ja) | 2005-01-19 | 2011-08-10 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置の製造方法 |
US7197937B2 (en) | 2005-01-26 | 2007-04-03 | Sensata Technologies, Inc. | Hermetic pressure sensing device |
US7884432B2 (en) | 2005-03-22 | 2011-02-08 | Ametek, Inc. | Apparatus and methods for shielding integrated circuitry |
JP4421511B2 (ja) | 2005-05-30 | 2010-02-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体圧力センサ |
US7021147B1 (en) | 2005-07-11 | 2006-04-04 | General Electric Company | Sensor package and method |
US7284438B2 (en) * | 2005-11-10 | 2007-10-23 | Honeywell International Inc. | Method and system of providing power to a pressure and temperature sensing element |
TWI286383B (en) | 2005-12-23 | 2007-09-01 | Delta Electronics Inc | Semiconductor piezoresistive sensor and operation method thereof |
DE102006008351A1 (de) | 2006-02-21 | 2007-08-23 | Robert Bosch Gmbh | Druckmesseinrichtung |
DE102006008584A1 (de) | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Atmel Germany Gmbh | Fertigungsprozess für integrierte Piezo-Bauelemente |
US7475597B2 (en) | 2006-02-27 | 2009-01-13 | Auxitrol S.A. | Stress isolated pressure sensing die |
US7726197B2 (en) | 2006-04-26 | 2010-06-01 | Honeywell International Inc. | Force sensor package and method of forming same |
DE602007009988D1 (de) | 2006-06-08 | 2010-12-02 | Nxp Bv | Hren |
JP4848904B2 (ja) | 2006-09-13 | 2011-12-28 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
DE102006047395A1 (de) | 2006-10-06 | 2008-04-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Sensorbauelements und Sensorbauelement |
JP2010509065A (ja) | 2006-11-15 | 2010-03-25 | キム,ジョン−フン | 超小型線形振動装置 |
JP2008151738A (ja) | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Denso Corp | 圧力センサ |
US20080222884A1 (en) | 2007-03-14 | 2008-09-18 | Honeywell International Inc. | Packaging for chip-on-board pressure sensor |
JP5568315B2 (ja) | 2007-03-19 | 2014-08-06 | ボストン サイエンティフィック ニューロモデュレイション コーポレイション | Rf/mri適合リード線 |
US7383737B1 (en) | 2007-03-29 | 2008-06-10 | Delphi Technologies, Inc | Capacitive pressure sensor |
JP5008188B2 (ja) | 2007-05-31 | 2012-08-22 | ミネベア株式会社 | 3軸力センサ及び3軸力検出方法 |
DE102007031980A1 (de) | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Robert Bosch Gmbh | Anschlusseinheit für eine Druckmesszelle |
US8056752B2 (en) | 2007-09-12 | 2011-11-15 | Carnevali Jeffrey D | Dripless lid for beverage container |
US7862391B2 (en) | 2007-09-18 | 2011-01-04 | Delaware Capital Formation, Inc. | Spring contact assembly |
US7647835B2 (en) | 2007-09-19 | 2010-01-19 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor stress isolation pedestal |
US7578194B1 (en) | 2008-02-11 | 2009-08-25 | Sensata Technologies, Inc. | Differential fluid pressure measurement apparatus |
DE102008001509A1 (de) | 2008-04-30 | 2009-11-05 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensoranordnung |
US8360669B2 (en) | 2008-06-23 | 2013-01-29 | Silverbrook Research Pty Ltd | Retractable electronic pen with sensing arrangement |
EP2138820B1 (de) | 2008-06-25 | 2016-09-21 | Sensata Technologies, Inc. | Piezoresistiver Druckmessungsstecker für einen Verbrennungsmotor |
DE102008040180A1 (de) | 2008-07-04 | 2010-01-14 | Robert Bosch Gmbh | Vormontagebaugruppe für eine Kontaktanordnung einer Sensorbaugruppe |
US8164007B2 (en) | 2008-07-16 | 2012-04-24 | Honeywell International | Conductive elastomeric seal and method of fabricating the same |
US8258799B2 (en) * | 2008-11-07 | 2012-09-04 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | MEMS dosimeter |
US8024978B2 (en) | 2009-01-21 | 2011-09-27 | Honeywell International Inc. | Media isolated pressure transducer having boss comprising single metal diaphragm |
US7775119B1 (en) | 2009-03-03 | 2010-08-17 | S3C, Inc. | Media-compatible electrically isolated pressure sensor for high temperature applications |
US20100267291A1 (en) | 2009-04-20 | 2010-10-21 | Scott Chabineau-Lovgren | Swaging process for improved compliant contact electrical test performance |
JP2010256187A (ja) | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 圧力センサ |
US7861595B2 (en) | 2009-05-11 | 2011-01-04 | Honeywell International Inc. | Pressure sensing device for harsh environments |
US8215176B2 (en) | 2009-05-27 | 2012-07-10 | Continental Automotive Systems, Inc. | Pressure sensor for harsh media sensing and flexible packaging |
DE102009030702A1 (de) | 2009-06-26 | 2010-12-30 | Trafag Ag | Drucksensormesselement sowie damit versehener Drucksensor |
PL2312290T3 (pl) | 2009-10-16 | 2020-06-01 | First Sensor Mobility Gmbh | Czujnik ciśnienia i jego zastosowanie w zbiorniku płynu |
DE202009017430U1 (de) | 2009-12-23 | 2011-05-05 | Liebherr-Werk Ehingen Gmbh | Sensor |
US8256300B2 (en) | 2010-05-27 | 2012-09-04 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor |
US8156816B2 (en) | 2010-05-27 | 2012-04-17 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor |
US8129624B2 (en) | 2010-05-27 | 2012-03-06 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor |
EP2390641B1 (de) | 2010-05-27 | 2019-06-26 | Sensata Technologies, Inc. | Drucksensor |
WO2011155054A1 (ja) | 2010-06-11 | 2011-12-15 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の制御装置 |
DE102010030488A1 (de) | 2010-06-24 | 2011-12-29 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Verfahren zum Abgleich eines Messgerätes in der Prozessanalysetechnik |
DE102010041169A1 (de) | 2010-09-22 | 2012-03-22 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensor, insbesondere für Bremsvorrichtung |
EP2444786B1 (de) | 2010-10-20 | 2013-07-17 | Sensata Technologies, Inc. | Druckmessglühkerze für einen Verbrennungsmotor |
DE112011104403T5 (de) | 2010-12-15 | 2013-09-19 | Panasonic Corporation | Halbleiterdrucksensor |
DE102011078557A1 (de) | 2011-07-01 | 2013-01-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Verfahren zum Betreiben eines Absolut- oder Relativdrucksensors mit einem kapazitiven Wandler |
US20130052936A1 (en) | 2011-08-31 | 2013-02-28 | John C. Jordan | Heating and cooling ventilation system |
DE102011088044A1 (de) | 2011-12-08 | 2013-06-13 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensoranordnung zur Erfassung eines Drucks eines fluiden Mediums in einem Messraum |
EP2610602A3 (de) | 2011-12-29 | 2016-12-28 | Parker Hannifin Corporation | Elektroaktiver Polymer-Drucksensor |
WO2013110045A1 (en) | 2012-01-20 | 2013-07-25 | Hydra Electric Company | High dielectric strength and dc insulation for pressure sensors and switches |
US20130192379A1 (en) | 2012-01-27 | 2013-08-01 | Neil S. Petrarca | Small form factor microfused silicon strain gage (msg) pressure sensor packaging |
WO2013118843A1 (ja) | 2012-02-09 | 2013-08-15 | 富士電機株式会社 | 物理量センサおよび物理量センサの製造方法 |
US8516897B1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-27 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
US8813580B2 (en) | 2012-03-05 | 2014-08-26 | Honeywell International Inc. | Apparatus and processes for silicon on insulator MEMS pressure sensors |
DE102012204904A1 (de) | 2012-03-27 | 2013-10-02 | Robert Bosch Gmbh | Sensoreinheit |
US9003897B2 (en) | 2012-05-10 | 2015-04-14 | Honeywell International Inc. | Temperature compensated force sensor |
US9278849B2 (en) | 2012-06-15 | 2016-03-08 | The Boeing Company | Micro-sensor package and associated method of assembling the same |
EP2730905B1 (de) | 2012-11-12 | 2019-01-02 | Sensata Technologies, Inc. | Druckmessungsstecker für einen Verbrennungsmotor |
EP2730904A1 (de) | 2012-11-12 | 2014-05-14 | Sensata Technologies, Inc. | Druckmessungsstecker für einen Verbrennungsmotor |
EP2735855A1 (de) * | 2012-11-21 | 2014-05-28 | Sensata Technologies, Inc. | Messvorrichtung zur Messung einer physischen Menge |
JP5883771B2 (ja) * | 2012-11-26 | 2016-03-15 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力センサ |
WO2014117093A1 (en) | 2013-01-25 | 2014-07-31 | Bal Seal Engineering, Inc. | Coil springs with complex coil configurations, assemblies with coil springs, and related methods |
JP6090742B2 (ja) | 2013-02-28 | 2017-03-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力検出装置 |
US9063033B2 (en) | 2013-03-12 | 2015-06-23 | Solar Turbines Incorporated | Sensor housing for use with gas turbine engines |
TWI633289B (zh) | 2013-03-13 | 2018-08-21 | 不二工機股份有限公司 | 壓力感測器 |
CN110061018B (zh) | 2013-05-21 | 2023-11-28 | 弗托斯传感与算法公司 | 全光透镜在光传感器衬底上的单片集成 |
CN103454032A (zh) | 2013-08-16 | 2013-12-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种带热敏电阻的压力敏感芯体 |
EP2848908B1 (de) | 2013-09-16 | 2020-01-01 | ams international AG | Kapazitiver drucksensor |
US20150135853A1 (en) | 2013-11-18 | 2015-05-21 | Mark P. McNeal | Mems pressure sensor field shield layout for surface charge immunity in oil filled packaging |
GB2521163A (en) * | 2013-12-11 | 2015-06-17 | Melexis Technologies Nv | Semiconductor pressure sensor |
CN204177507U (zh) * | 2014-11-04 | 2015-02-25 | 徐兴才 | 一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器 |
US9903777B2 (en) | 2015-03-12 | 2018-02-27 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure transducer |
US9714876B2 (en) | 2015-03-26 | 2017-07-25 | Sensata Technologies, Inc. | Semiconductor strain gauge |
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