KR102583198B1 - 축회전 리니어 모터 - Google Patents

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Abstract

기존의 리니어 모터와 기존의 회전 모터를 이용하여 제조 비용을 저감 가능한 축회전 리니어 모터를 제공한다.
축회전 리니어 모터는, 직선 이동축을 갖는 리니어 모터와, 회전축을 갖는 회전 모터와, 상기 직선 이동축과 평행하고 상기 회전축과 동축에 배치되는 직선 이동 회전축과, 상기 직선 이동축의 직선 이동 운동을 상기 직선 이동 회전축에 전달하는 직선 이동 전달부와, 상기 회전축의 회전 운동을 상기 직선 이동 회전축에 전달하는 회전 전달부를 가진다. 상기 회전 전달부의 일단은 상기 회전축에 고정되고, 타단은 상기 직선 이동 회전축에 연결된다.

Description

축회전 리니어 모터{Shaft rotation linear motor}
본 발명은 축회전 리니어 모터에 관한 것이다.
알려져 있는 리니어 모터에서는, 자석으로부터 발생하는 자계 및 코일에 흐르는 전류에 의해, 축부재가 전기자에 대해 상대적으로 직선 운동한다. 또한, 예를 들어 스마트폰 및 칩마운터 등의 반도체 제조 장치에서는, 직진 및 회전이 가능한 축회전 리니어 모터(Z-θ 모터)가 이용될 수 있다. 특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 회전 가능한 제2축이 리니어 모터에 의해 구동될 수 있는 구조를 가지고 있다. 이에 의해, 제2축(회전축)이 회전 운동과 직선 이동 운동을 행할 수 있다.
특허문헌 1: 일본특허 제5552566호 공보
특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 예를 들어 종래의 회전 모터와는 다른, 회전과 직선 이동이 가능한 회전축을 갖는 특수한 회전 모터가 필요하다. 따라서, 기존의 회전 모터를 이용하기 어렵다. 그 때문에, 새로운 제조 라인을 마련하는 것 등에 기인하는, 특수한 회전 모터의 제조 비용이 높아진다. 따라서, 최종적인 축회전 리니어 모터의 제조 비용도 보다 높아진다는 문제가 있다.
또한, 특허문헌 1에 기재된 장치에서는, 칩 부품을 흡착하기 위해, 공기의 통로에 설치되는, 공기를 흡입하기 위한 부품, 예를 들어 파이프(튜브)류가 회전 및 직선 이동을 행하는 중공의 제2축과 연동하여, 회전하면서 직선 이동될 필요가 있다. 따라서, 공기를 흡입하기 위한 부품, 예를 들어 파이프(튜브)류의 구성이 번잡해진다. 이 때문에, 장치의 신뢰성이 손상되고, 장치의 장기적인 동작의 안정성 및 안전성이 악화된다는 문제가 있다.
본 발명에서의 하나의 목적은, 이하와 같은 축회전 리니어 모터를 제공하는 것에 있다. 이 축회전 리니어 모터에서는, 기존의 리니어 모터와 기존의 회전 모터를 이용할 수 있으므로, 제조 비용을 저감하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명에서의 다른 목적은, 축회전 리니어 모터에서의 칩 부품 등의 흡착 기구의 신뢰성을 향상시키는 것에 있다.
본 발명의 일 태양에 관한 축회전 리니어 모터(직진 및 회전 모터)는, 리니어 모터와 회전 모터 양쪽에 의해 구동되는 제3 축부재에 관한 직진 및 회전 기구를 구비하고 있다. 이에 의해, 리니어 모터 및 회전 모터가 함께 제3축에 관한 직진 및 회전 기구만을 구동한다. 따라서, 리니어 모터 및 회전 모터의 부하를 최소로 억제하면서 현행 리니어 모터 및 현행 회전 모터를 그대로 사용할 수 있다. 이 때문에, 소형화와 저비용을 실현할 수 있는 직진 및 회전 모터를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 관점에 의하면, 직선 이동축을 갖는 리니어 모터와, 회전축을 갖는 회전 모터와, 상기 직선 이동축과 평행하고 상기 회전축과 동축에 배치되는 직선 이동 회전축과, 상기 직선 이동축의 직선 이동 운동을 상기 직선 이동 회전축에 전달하는 직선 이동 전달부와, 상기 회전축의 회전 운동을 상기 직선 이동 회전축에 전달하는 회전 전달부를 가지며, 상기 회전 전달부의 일단은 상기 회전축에 고정되고, 타단은 상기 직선 이동 회전축에 연결되는 축회전 리니어 모터가 제공된다.
상기 회전 전달부는, 공간부가 설치된 통형 부재이어도 된다. 상기 공간부는, 상기 직선 이동 회전축의 축방향으로 형성되고, 상기 직선 이동 회전축 측에 개구를 가지며, 상기 직선 이동 회전축을 수용 가능한 것이 바람직하다. 상기 직선 이동 회전축은 볼 스플라인 샤프트이고, 상기 회전 전달부는 볼 스플라인 부시인 것이 바람직하다. 축회전 리니어 모터는, 상기 리니어 모터와 상기 회전 모터를 고정하는 고정 부재를 더 갖고 있는 것이 바람직하다.
상기 직선 이동 회전축에는, 축방향으로 연장되는 제1 통로와, 상기 제1 통로와 연통하는 제2 통로가 형성되고, 상기 직선 이동 전달부에는, 상기 제2 통로와 연통하며 상기 직선 이동 전달부의 외주면까지 도달하는 제3 통로가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 직선 이동 전달부는, 상기 직선 이동 회전축이 삽입되는 관통공을 가지며, 상기 관통공의 내주면에서의, 상기 제3 통로에 통하는 위치에 오목부가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 오목부가 설치되어 있음으로써, 상기 관통공에 상기 직선 이동 회전축이 삽입되었을 때에 상기 직선 이동 회전축의 외주에, 예를 들어 환상 공간(공기의 통로)이 형성된다.
본 발명에 의하면, 기존의 리니어 모터와 기존의 회전 모터를 이용하여 제조 비용을 저감한 축회전 리니어 모터를 제공할 수 있다. 또한, 공기를 흡입하기 위한 부품, 예를 들어 파이프(튜브)류는, 회전 동작 혹은 슬라이드 동작(직선 이동 동작) 중 어느 하나의 동작만을 행하게 된다. 이 때문에, 모터 동작의 신뢰성과 모터의 장기적인 안전 사용을 양립시키는 것이 가능하다.
도 1의 (a)는 본 발명의 제1 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터의 측면도 및 정면도로서, 측면의 주요부의 측단면도를 포함한다. 도 1의 (b)는 도 1의 (a)에 도시된 직선 이동 회전축이 회전 모터 측으로 직선 이동한 경우의 축회전 리니어 모터의 측면도 및 정면도로서, 측면의 주요부의 측단면도를 포함한다.
도 2는, 도 1에 도시된 샤프트 연결부의 일 구성예를 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 3은, 제1 실시형태에 관한 회전 전달부의 일 구성예를 나타내는 측단면도 및 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터의 측면도 및 정면도로서, 측면의 주요부의 측단면도를 포함한다.
도 5는, 도 4에 도시된 샤프트 연결부의 일 구성예를 나타내는 정면도, 평면도 및 측단면도이다.
도 6의 (a)는, 제2 실시형태에 관한 직선 이동 회전축의 일 구성예를 나타내는 측면도, 평면도 및 정면도이다. 도 6의 (b)는, 이 직선 이동 회전축의 일 구성예를 나타내는 측단면도, 평면도 및 정면도이다.
도 7의 (a) 및 도 7의 (b)는, 제2 실시형태에 관한 샤프트 연결부 및 직선 이동 회전축을 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
(제1 실시형태)
도 1 내지 도 3은, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터의 일 구성예를 나타내는 도면이다. 도 1은 본 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터의 측면도 및 정면도로서, 측면의 주요부의 측단면도를 포함한다. 또한, 도 1의 (a) 및 도 1의 (b)는, 직선 이동 회전축이 직선 이동에 의해 변위하는 모습을 나타내고 있다. 도 2는, 도 1에 도시된 직선 이동 전달부(샤프트 연결부)의 일 구성예를 나타내는 정면도 및 측단면도이다. 도 3은, 회전 전달부의 일 구성예를 나타내는 측단면도 및 정면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터(A)는, 리니어 모터(1)와 회전 모터(41)와 회전 전달부(61)와 직선 이동 전달부(21)를 가진다. 리니어 모터(1)는, 제1축인 직선 이동축(리니어 모터축)(5)을 직선 이동시킨다. 회전 모터(41)는, 제2축인 중공의 회전축(회전 모터축)(43)을 회전시킨다. 회전 전달부(61)는, 제3축인 중공의 직선 이동 회전축(볼 스플라인 축)(31)을 회전 운동시킨다. 직선 이동 전달부(21)는, 직선 이동 회전축(볼 스플라인 축)(31)을 직선 이동 운동시키기 위해 제1축인 직선 이동축(5)과 연결되어 있다. 또한, 축회전 리니어 모터(A)에는 고정 부재(51)가 설치된다. 고정 부재(51)는, 리니어 모터(1)와 회전 모터(41)와 회전 전달부(61)를 서로 고정 및 일체화한다.
리니어 모터(1)로서는 공지의 구성의 것을 이용할 수 있다. 리니어 모터(1)로서 예를 들어 특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 리니어 모터를 이용할 수 있다. 또한, 회전 모터(41)에 관해서도 일반적인 구조의 것을 이용할 수 있다. 따라서, 본 명세서에서는 리니어 모터 및 회전 모터의 상세한 구조 설명은 생략한다.
리니어 모터(1)로서는, 주지의 리니어 모터를 이용할 수 있다. 이 리니어 모터에서는, 예를 들어 도시하지 않은 자석으로부터 발생하는 자계 및 코일에 흐르는 전류에 의해 전기자에 대해 직선 이동축(리니어 모터축)(5)이 상대적으로 직선 운동한다. 리니어 모터(1)에는, 하우징(3), 직선 이동축(5) 및, 리니어 인코더(7)를 구비한 기판부(8)가 설치되어 있다. 리니어 인코더(7)로부터는 배선(11)이 연장되어 있다. 이 배선(11)에 의해, 리니어 인코더 헤드에 전원이 공급되거나 신호가 출력된다. 기판부(8)에 리니어 스케일이 첩부되어 있다. 직선 이동축(5)은, 리니어 인코더(7) 측과는 반대측에서 직선 이동 전달부(21)에 의해 제3축인 직선 이동 회전축(31)과 연결되어 있다. 여기서, 직선 이동축(5)과 직선 이동 회전축(31)은 서로 평행하게 배치되어 있다.
직선 이동 전달부(21)에는, 직선 이동축(5)을 연결하기 위한 관통공(21b)과, 직선 이동 회전축(31)이 관통하는 관통공(21a)이 설치되어 있다. 또한, 직선 이동 전달부(21)에는, 볼 베어링 기구(33)를 마련하기 위한 공간(21c)이 형성되어 있다. 직선 이동축(5)은, 관통공(21b)을 통과하여 볼트(15)에 의해 직선 이동 전달부(21)에 고정되어 있다. 따라서, 리니어 모터(1)의 직선 이동축(5)의 직선 이동은 직선 이동 회전축(31)에 전달된다. 아울러, 직선 이동 회전축(31)은, 볼베어링 기구(33)에 의해 직선 이동 전달부(21) 내의 관통공(21a)에서 회전 운동하는 것이 가능하다.
회전 모터(41)는, 제2축인 중공의 회전축(43)을 회전시킨다. 회전축(43)의, 직선 이동 전달부(21) 측의 단부(45)는, 고정용 관통공(67)에서 회전 전달부(61)와 고정되어 있다. 관통공(67)은, 도 3에 도시된 바와 같은 구조를 갖는 통형의 회전 전달부(61)의 일단에 설치된다. 따라서, 회전축(43)의 회전 운동은 회전 전달부(61)에 전달된다.
리니어 모터(1)와 회전 모터(41)는, 직선 이동축(5)과 회전축(43)이 서로 평행이 되고, 또한 리니어 모터(1)와 회전 모터(41)가 직선 이동 방향으로 상대적으로 이동하지 않도록, 고정 부재(51)에 의해 고정되어 있다. 고정 부재(51)는, 예를 들어 회전 모터(41)를 리니어 모터(1)의 출력측 단면으로부터 스트로크 방향의 반(反)출력측으로 어긋난 위치에 고정한다. 그리고, 리니어 모터(1)와 회전 모터(41)는 함께 직선 이동 회전축(31)을 구동한다. 고정 부재(51)는 볼트(53)에 의해 리니어 모터(1)에 고정되어 있다. 회전축(43), 회전 전달부(61) 및 직선 이동 회전축(31)은 각각 동축인 것이 바람직하다.
회전 전달부(61)는, 예를 들어 통형 부재이다. 회전 전달부(61)는, 그 내부에 직선 이동 회전축(31)의 직선 이동을 허락하는 개구를 가진다. 또한, 회전 전달부(61)에는, 공간부(63)가 축방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 공간부(63)는, 직선 이동 회전축(31)이 직선 이동하는 공간을 확보하기 위한 공간이다. 또한, 회전 전달부(61)에는 수용부(68)가 형성되어 있다. 수용부(68)는, 그 직선 이동 전달부(21) 측의 단부에 개구를 가진다. 또한, 수용부(68) 내(내면측)에 볼 스플라인 부시(65)가 형성되어 있다.
공지의 볼 스플라인 부시를 이용하면, 축에 설치된 홈을 볼이 구른다. 이에 의해, 허용 하중이 리니어 부시보다 커지고 직선 운동과 함께 토크(동력을 전달하는 회전축에 작용하는 힘의 모멘트) 전달도 할 수 있다. 보다 구체적으로는, 직선 이동 회전축(31)은, 예를 들어 도 1에 도시된 볼 받침 홈부(32)를 구비한 볼 스플라인 샤프트이다. 이 볼 받침 홈부(32)를 따라 볼 스플라인 부시(65)의 볼이 구른다. 이에 의해, 직선 이동 회전축(31)이 원활하게 직선 동작한다. 볼 스플라인 부시(65)는, 회전 전달부(61)에 고정된 회전 베어링에 지지되어 있다. 따라서, 회전 모터(41)에 의해 볼 스플라인 부시(65)를 구동함으로써, 볼 스플라인 부시(65)와 함께 직선 이동 회전축(31)을 회전 동작시키는 것이 가능하다. 볼 받침 홈부(32)는, 도 6의 측면도에서 보다 명확하게 나타나 있다.
이와 같이, 볼 스플라인 부시(65)는, 직선 이동 회전축(31)을 받아들여 직선 이동 회전축(31)에 회전 전달부(61)의 회전 운동을 전달한다. 또한, 볼 스플라인 부시(65)는, 직선 이동축(5)의 직선 이동에 연동하여 직선 이동하는 직선 이동 회전축(31)의 직선 이동을 허용한다. 즉, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 직선 이동 회전축(31)이 직선 이동한 경우에서도 공간부(63)가 직선 이동 회전축(31)을 받아들일 수 있다. 이 때문에, 직선 이동 회전축(31)의 직선 이동이 방해되지 않는다. 또한, 공간부(63)의 축방향 길이를 조정함으로써, 직선 이동 회전축(31)의 직선 이동 범위를 조정할 수 있다.
또한, 중공의 직선 이동 회전축(31) 및 중공의 회전축(43)을 이용함으로써, 검은 화살표로 나타낸 바와 같은 공기 통로를 형성할 수 있다. 이 공기 통로는, 직선 이동 회전축(31)의 단부에서 전자 부품 등을 흡착하여 보유지지하기 위해 이용될 수 있다.
이상과 같이, 회전 전달부(61)는 이하의 구성 및 기능을 가진다.
1) 회전 전달부(61)는, 제2축(회전축(43))의 회전 운동을 제3축(직선 이동 회전축(31))에 전달한다.
2) 회전 전달부(61)는, 제3축의 직선 이동을 제2축에 전달하지 않는다.
3) 회전 전달부(61)는, 제3축의 직선 이동을 허용하는 공간을 갖는 통형 부재이다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터(A)는, 상기의 특징을 갖는 회전 전달부(61), 기존의 리니어 모터(1) 및 기존의 회전 모터(41)를 이용하여 구성할 수 있다. 또한, 직선 이동 회전축(31)만이 직선 이동 및 회전 동작된다. 이 때문에, 리니어 모터(1)의 부하 및 회전 모터(41)의 부하를 줄일 수 있다는 이점이 있다. 회전축(43)의 반출력측에는, 도시되지 않은 흡착을 위해 공기를 흡입하기 위한 부품, 예를 들어 파이프(튜브)류가 설치되어 있다. 이들은 회전축(43)과 함께 회전하지만 직선 이동은 하지 않는다. 따라서, 이들 부품 등을 포함한 흡착 기구 등의 구성을 간단하게 할(이들 구성이 번잡해지는 것을 억제할) 수 있다.
(제2 실시형태)
도 4 내지 도 6은, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터의 일 구성예를 나타내는 도면으로, 제1 실시형태의 도 1 내지 도 3에 대응하는 도면이다. 도 4는 본 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터의 측면도 및 정면도로서, 측면의 주요부의 측단면도를 포함한다. 또한, 도 4는 제2축이 직선 이동하는 모습을 나타내고 있다. 도 5는, 도 4에서의 직선 이동 전달부(21)의 일 구성예를 나타내는 정면도, 평면도 및 측단면도이다. 도 6의 (a)는, 직선 이동 회전축(31)의 일 구성예를 나타내는 측면도, 평면도 및 정면도이다. 도 6의 (b)는, 직선 이동 회전축(31)의 일 구성예를 나타내는 측단면도, 평면도 및 정면도이다. 도 7의 (a) 및 도 7의 (b)는, 샤프트 연결부와 직선 이동 회전축을 나타내는 단면도이다.
본 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터(A)의 기본적인 동작 및 구조는 제1 실시형태와 마찬가지이기 때문에, 그 상세한 설명을 생략한다. 본 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터(A)가 볼 스플라인 부시(65)를 구비한 회전 전달부(61)를 갖는 점은 제1 실시형태와 마찬가지이다. 도 6에 도시된 직선 이동 회전축(31)의 양 측면에는, 도 1에도 도시된 볼 받침 홈부(32)가 설치되어 있다.
본 실시형태의 특징은, 회전축(43)이 중실(中實)이고, 직선 이동 회전축(31)이 반중공인 점이다. 반중공의 직선 이동 회전축(31)에는, 도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이 공기의 통로로서의 제1 통로(31a)가 형성되어 있다. 이 제1 통로(31a)는, 직선 이동 회전축(31)의 직선 이동 전달부(21) 측, 즉 축방향에서의 회전 모터(41)와는 반대측의 단부로부터 축방향으로 어떤 소정의 위치까지 혹은 그 소정의 위치를 넘어 축방향으로 연장되어 있다. 직선 이동 회전축(31)에는, 하나의 제2 통로(31b)(천공)가 형성되어 있다. 제2 통로(31b)는, 직선 이동 회전축(31)의 제1 통로(31a)가 형성되어 있는 위치로부터 축의 지름방향의 외방으로 향하여 연장되어 제1 통로(31a)와 연통한다. 직선 이동 전달부(21)에는, 제3 통로(25)가 형성되어 있다. 제3 통로(25)는, 제2 통로(31b)와 연통하며 직선 이동 전달부(21)의 외주면까지 도달한다.
직선 이동 전달부(21)의, 직선 이동 회전축(31)이 관통하는 관통공(21a)의 내주면에서의, 제3 통로(25)에 통하는 축방향 위치에 오목부(23)가 형성되어 있다. 오목부(23)는, 관통공(21a)의 내면을 따라 둘레방향으로 연속적으로 설치되어 있어도 되고, 단속(斷續)적으로 설치되어 있어도 된다. 오목부(23)가 형성되어 있음으로써, 관통공(21a)에 직선 이동 회전축(31)이 삽입되었을 때에 직선 이동 회전축(31)의 외주에, 예를 들어 환상 공간이 형성된다. 따라서, 직선 이동 회전축(31)이 회전하고 있는 경우에도 도 7의 (a) 및 도 7의 (b)에서 화살표로 나타내는 공기의 통로가 계속 형성된다.
도 7의 (a)는, 직선 이동 회전축(31)이 회전하여 제2 통로(31b)가 수직이 되는 상태를 나타내는 단면도 및 정면도이다. 도 7의 (b)는, 직선 이동 회전축(31)이 회전하여 제2 통로(31b)가 수평이 되는 상태를 나타내는 단면도 및 정면도이다. 도 7의 (a)에 도시된 상태에서는, 제2 통로(31b)와 제3 통로(25)가 연통되어 있다. 이 때문에, 이 상태는 화살표로 나타내는 바와 같이 공기가 가장 흐르기 쉬운 상태이다. 도 7의 (b)에 도시된 상태에서는, 제2 통로(31b)가 수평이 되어 있다. 이 때문에, 이 상태는 공기가 가장 흐르기 어려운 상태이다. 단, 오목부(23)를 형성해 둠으로써, 도 7의 (b)에 도시된 상태에서도 제2 통로(31b)와 제3 통로(25) 사이의 공기 통로를 형성할 수 있다.
직선 이동 회전축(31)은 회전하고 있기 때문에, 도 7의 (a)와 도 7의 (b) 사이의 상태도 존재한다. 이 상태에서도 오목부(23)를 형성해 둠으로써, 제2 통로(31b)와 제3 통로(25) 사이의 공기 통로를 확보할 수 있다. 따라서, 직선 이동 회전축(31)이 회전해도, 공기는 오목부(23)를 통과하여 제3 통로(25)로부터 토출된다. 즉, 도 4에 검은 화살표로 나타낸 바와 같은 연통한 공기 통로를 형성할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 회전축(43)이 중실이라도 제3 통로(25)의 개구로부터의 흡기를 행할 수 있다. 이 때문에, 직선 이동 회전축(31)의, 직선 이동 전달부(21) 측의 단부에서 칩 부품을 흡착할 수 있다. 또한, 상기의 구조를 이용하면, 도시하지 않은 공기를 흡입하기 위한 부품, 예를 들어 파이프(튜브)류는 회전될 필요가 없고 직선 이동축(5)과 함께 이루어지는 직선 이동 동작의 영향만을 받는다. 이 때문에, 파이프류 등은 회전될 필요가 없으므로, 칩 흡착 공기를 간단하게 공급할 수 있다.
이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 전자 부품을 흡착하는 공기 통로를 간단하게 형성할 수 있다.
(정리)
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시형태에 관한 축회전 리니어 모터(A)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
1) 직선 이동 회전축(31)이 리니어 모터(1) 및 회전 모터(41)에 의해 구동된다. 이에 의해, 두 모터의 부하가 작아지고, 또한 구동원 모터의 신규 설계 및 개발이 필요 없어진다.
2) 직선 이동 회전축(31)의 직진 및 회전 기구만이 직진 및 회전된다. 이 때문에, 구동 모터(리니어 모터(1) 및 회전 모터(41))의 부하가 작아져서 고속 직진 및 회전을 실현할 수 있다.
3) 직선 이동 구동 회전축(직선 이동 회전축(31))은, 중공 혹은 반중공 구조를 가진다. 이에 의해, 전자 부품을 흡착하는 공기 통로를 간단하게 형성할 수 있다.
4) 일반적인 모터(리니어 모터, 회전 모터)를 개변하지 않고 그대로 사용할 수 있다. 이 때문에, 제조 비용을 낮출 수 있다.
상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 구성 등은 이들에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절히 변경되는 것이 가능하다. 이들 구성은, 본 발명의 목적의 범위를 벗어나지 않는 한 적절히 변경하여 실시되는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 각 구성요소는 임의로 취사선택될 수 있고, 취사선택된 구성을 구비하는 발명도 본 발명에 포함된다.
본 발명은, 축회전 리니어 모터에 이용 가능하다.
A…축회전 리니어 모터
1…리니어 모터
5…직선 이동축(리니어 모터축)
7…리니어 인코더
21…직선 이동 전달부(샤프트 연결부)
23…오목부
25…제3 통로
31…직선 이동 회전축(볼 스플라인 축)
31a…제1 통로
31b…제2 통로
32…볼 받침 홈부
41…회전 모터
43…회전축(회전 모터축)
51…고정 부재
61…회전 전달부
63…공간부
65…볼 스플라인 부시
68…수용부

Claims (6)

  1. 직선 이동축을 갖는 리니어 모터와,
    회전축을 갖는 회전 모터와,
    상기 직선 이동축과 평행하고 상기 회전축과 동축에 배치되는 직선 이동 회전축과,
    상기 직선 이동축의 직선 이동 운동을 상기 직선 이동 회전축에 전달하는 직선 이동 전달부와,
    상기 회전축의 회전 운동을 상기 직선 이동 회전축에 전달하는 회전 전달부를 가지며,
    상기 회전 전달부의 일단은 상기 회전축에 고정되고, 타단은 상기 직선 이동 회전축에 연결되며,
    상기 회전 전달부는 공간부가 설치된 통형 부재이고,
    상기 공간부는, 상기 직선 이동 회전축의 축방향으로 형성되고, 상기 직선 이동 회전축 측에 개구를 가지며, 상기 직선 이동 회전축을 수용 가능한 축회전 리니어 모터.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 직선 이동 회전축은 볼 스플라인 샤프트이고,
    상기 회전 전달부는 볼 스플라인 부시인 축회전 리니어 모터.
  4. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 리니어 모터와 상기 회전 모터를 고정하는 고정 부재를 더 갖는 축회전 리니어 모터.
  5. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 직선 이동 회전축에는, 축방향으로 연장되는 제1 통로와, 상기 제1 통로와 연통하는 제2 통로가 형성되고,
    상기 직선 이동 전달부에는, 상기 제2 통로와 연통하며 상기 직선 이동 전달부의 외주면까지 도달하는 제3 통로가 형성되어 있는 축회전 리니어 모터.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 직선 이동 전달부는 상기 직선 이동 회전축이 삽입되는 관통공을 가지며,
    상기 관통공의 내주면에서의, 상기 제3 통로에 통하는 위치에 오목부가 설치되어 있는 축회전 리니어 모터.
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