KR102582793B1

KR102582793B1 - Testor socket and manufacturing method thereof

Info

Publication number: KR102582793B1
Application number: KR1020210101331A
Authority: KR
Inventors: 정영배; 윤현식; 이병주
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2021-08-02
Filing date: 2021-08-02
Publication date: 2023-09-26
Also published as: KR20230019610A

Abstract

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 소켓은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고, 상기 도전부는 상기 절연부의 상부에 배치되는 상부 제1 전도성 와이어; 및 상기 상부 제1 전도성 와이어와 연결되고 상기 절연부의 하부에 배치되는 하부 제1 전도성 와이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.A test socket according to a preferred embodiment of the present invention is disposed between a test apparatus and a test subject device to electrically connect the test apparatus and the test subject device, and is connected to a terminal of the test subject device. a plurality of conductive portions, each corresponding to a terminal of the inspection device, electrically connecting a terminal of the inspection device and a terminal of the device to be inspected; and an insulating part for insulating and supporting the conductive parts from each other, wherein the conductive part includes an upper first conductive wire disposed on an upper part of the insulating part. and a lower first conductive wire connected to the upper first conductive wire and disposed below the insulating part.

Description

Test socket and its manufacturing method {TESTOR SOCKET AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 검사용 소켓 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스에 대한 불량여부를 판단하기 위한 검사과정에서 사용되는 검사용 소켓 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection socket and a manufacturing method thereof, and more specifically, to an inspection socket disposed between a device to be inspected and an inspection device and used in an inspection process to determine whether the device to be inspected is defective, and to its manufacture. It's about method.

피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사장치에 접촉되어 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓이 당해 분야에서 사용되고 있다. 검사용 소켓은 검사장치의 전기 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 전기 신호를 검사장치에 전달한다. 이러한 검사용 소켓으로서, 포고핀 소켓과 도전성 러버 시트가 당해 분야에 알려져 있다.For electrical testing of a device to be inspected, a test socket that contacts the device to be inspected and the test device to electrically connect the device to be inspected and the test device is used in the field. The inspection socket transmits the electrical signal of the inspection device to the inspection device and transmits the electrical signal of the inspection device to the inspection device. As such inspection sockets, pogo pin sockets and conductive rubber sheets are known in the art.

포고핀 소켓은 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 대응해 상하 방향으로 눌러지는 포고핀을 갖는다. 포고핀 소켓은, 포고핀을 수용하는 부품을 필요로 하므로, 얇은 두께를 갖기 어렵고, 미세 피치를 갖는 피검사 디바이스의 단자들에 적용되기 어렵다.The pogo pin socket has a pogo pin that is pressed up and down in response to external force applied to the device being inspected. Since the pogo pin socket requires a part to accommodate the pogo pin, it is difficult to have a thin thickness and is difficult to apply to terminals of a device under test having a fine pitch.

도전성 러버 시트는 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있다. 도전성 러버 시트는 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 접속시키는 복수의 도전부와 도전부들을 이격시키는 절연부를 가진다. 절연부는 경화된 실리콘 러버로 이루어질 수 있다. 도전성 러버 시트는, 포고핀 소켓에 비해, 적은 제조 비용으로 제조될 수 있고, 피검사 디바이스의 단자를 손상시키지 않으며, 매우 얇은 두께를 가지는 점에서, 유리하다. 따라서, 포고핀 테스트 소켓을 도전성 러버 시트로 대체하는 시도가 피검사 디바이스의 검사 분야에서 시도되고 있다.The conductive rubber sheet can be elastically deformed in response to external force applied to the device being inspected. The conductive rubber sheet has a plurality of conductive parts that electrically connect a device to be inspected and an inspection apparatus, and an insulating part that separates the conductive parts. The insulating portion may be made of cured silicone rubber. A conductive rubber sheet is advantageous compared to a pogo pin socket in that it can be manufactured at a low manufacturing cost, does not damage the terminal of the device under test, and has a very thin thickness. Therefore, attempts to replace pogo pin test sockets with conductive rubber sheets are being attempted in the field of inspection of devices under test.

이러한 도전성 러버 시트는, 복수의 도전부를 가지고 있는데, 각 도전부는 다수의 도전성 입자가 연질의 탄성 절연물질 내에 상하방향으로 정렬된 상태로 배치된다. 검사과정에서 도전부에 피검사 디바이스의 단자가 접촉되어 가압되면 도전부가 압축되면서 상하방향으로 전기적 도통가능한 상태를 이루게 되고, 이후에 검사장치에서 소정의 전기적 신호가 인가되면 그 신호는 도전부를 통과하여 피검사 디바이스의 단자로 흐르게 되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.This conductive rubber sheet has a plurality of conductive parts, and each conductive part has a large number of conductive particles arranged in a vertical direction within a soft elastic insulating material. During the test process, when the terminal of the device under test is pressed against the conductive part, the conductive part is compressed and electrical conduction is possible in the vertical direction. Later, when a predetermined electrical signal is applied from the test device, the signal passes through the conductive part. As it flows to the terminal of the device being tested, a certain electrical test is performed.

도1 및 2에 종래 검사용 소켓(10)이 도시되어 있다. 도시된 검사용 소켓(10)은 두께방향으로 연장되며 다수의 도전성 입자(11a)가 실리콘 고무 내에 두께방향으로 배열되는 도전부(11)와, 상기 도전부(11)들 사이에 배치되어 상기 도전부(11)들을 지지하며 실리콘 고무로 이루어지는 절연부(12)로 이루어지는 소켓 본체로 이루어진다.1 and 2 show a conventional inspection socket 10. The illustrated inspection socket 10 extends in the thickness direction and has a conductive portion 11 in which a plurality of conductive particles 11a are arranged in the thickness direction within the silicone rubber, and is disposed between the conductive portions 11 to conduct the conductor. It consists of a socket body that supports the parts 11 and includes an insulating part 12 made of silicone rubber.

이러한 검사용 소켓(10)을 검사장치(30)에 안착시킨 상태에서, 피검사 디바이스(20)의 단자(21)를 도전부(11)의 상단에 접촉하여 가압한 후에 검사장치(30)로부터 소정의 전기적인 신호를 인가시키면 상기 전기적 신호는 검사장치(30)의 패드(31)에서 도전부(11)를 거쳐서 피검사 디바이스(20)의 단자(21)로 전달되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.With this inspection socket 10 seated on the inspection device 30, the terminal 21 of the device to be inspected 20 is pressed into contact with the upper end of the conductive portion 11 and then removed from the inspection device 30. When a predetermined electrical signal is applied, the electrical signal is transmitted from the pad 31 of the test device 30 through the conductive part 11 to the terminal 21 of the device under test 20, thereby performing a predetermined electrical test. .

그런데, 이러한 종래 도전성 입자로 된 검사용 소켓은 반복압축하여 사용할 경우 검사용 소켓의 탄성부가 파손되어 도전부(11)의 도전성 입자(11a)들이 본래의 자리에서 이탈하여 입자간 제대로 된 접점을 형성하지 못할 수 있고, 고저항이 발생하거나 절연되어 검사용 소켓을 사용하지 못하는 문제점이 있고, 미세피치 도전부를 구현하는데 한계가 있다.However, when the inspection socket made of conventional conductive particles is repeatedly compressed and used, the elastic part of the inspection socket is damaged and the conductive particles 11a of the conductive portion 11 are separated from their original positions to form proper contact points between the particles. This may not be possible, there is a problem that the test socket cannot be used due to high resistance or insulation, and there are limitations in implementing fine pitch conductive parts.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 도전부에서 원활한 통전이 이루어지고 피검사 디바이스의 전기적 검사를 안정적으로 수행하며 미세피치 도전부에 유리한 검사용 소켓 및 그 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention was conceived to solve the problems of the prior art as described above. An inspection socket that ensures smooth conduction of electricity in the conductive part, stably performs electrical inspection of the device to be inspected, and is advantageous to a fine pitch conductive part, and manufacture thereof. The purpose is to provide a method.

또한, 상기 상부 제1 전도성 와이어는 상기 절연부의 상부를 따라 연장되는 상부 연장부; 및 상기 상부 연장부의 일측에서 절곡되어 상기 절연부에 매립되는 매립부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Additionally, the upper first conductive wire includes an upper extension portion extending along the top of the insulating portion; and an embedded part bent at one side of the upper extension and embedded in the insulating part.

또한, 상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 상부 연장부의 일단에서 상기 절연부 내부로 하향 연장되는 하향연장부; 상기 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부; 및 상기 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Additionally, the embedded portion of the upper first conductive wire includes a downwardly extending portion extending downward from one end of the upper extending portion into the insulating portion; a bent portion bent from the bottom of the downwardly extending portion to the top; and an upwardly extending portion extending upward from the bent portion.

또한, 상기 하부 제1 전도성 와이어는 상기 절연부의 하부를 따라 연장되는 하부 연장부; 및 상기 하부 연장부의 일측에서 절곡되어 상기 절연부에 매립되는 매립부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Additionally, the lower first conductive wire includes a lower extension portion extending along the lower portion of the insulating portion; and an embedded portion bent at one side of the lower extension portion and embedded in the insulating portion.

또한, 상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 상부 연장부의 양측에 배치되고, 상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 하부 연장부의 양측에 배치되며, 상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부와 상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부가 서로 연결되는 것을 특징으로 한다.In addition, the embedded portion of the upper first conductive wire is disposed on both sides of the upper extension portion, the embedded portion of the lower first conductive wire is disposed on both sides of the lower extension portion, and the embedded portion of the upper first conductive wire and the lower The embedded portions of the first conductive wires are connected to each other.

또한, 상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 하부 연장부의 일단에서 상기 절연부 내부로 상향 연장되는 상향연장부; 상기 상향연장부의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부; 및 상기 절곡부에서 하부로 연장되는 하향연장부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Additionally, the embedded portion of the lower first conductive wire includes an upwardly extending portion extending upward from one end of the lower extending portion into the insulating portion; A bent portion bent downward from the top of the upwardly extending portion; and a downward extension extending downward from the bent portion.

또한, 상기 하부 제1 전도성 와이어의 절곡부는 상기 상부 제1 전도성 와이어의 절곡부의 상측에서 서로 접촉하여 연결되는 것을 특징으로 한다.Additionally, the bent portions of the lower first conductive wire may be connected to each other by contacting each other above the bent portion of the upper first conductive wire.

또한, 상기 절연부의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트; 및Additionally, a first insulating sheet disposed above the insulating part; and

상기 절연부의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it further includes a second insulating sheet disposed below the insulating part.

또한, 상기 도전부는 상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제2 전도성 와이어; 및 상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제2 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제2 전도성 와이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Additionally, the conductive portion may include an upper second conductive wire disposed on an upper portion of the insulating portion and crossing the upper first conductive wire; and a lower second conductive wire disposed under the insulating part, connected to the upper second conductive wire, and crossing the lower first conductive wire.

또한, 상기 상부 제2 전도성 와이어는 상기 절연부의 상부에서 상기 상부 제1 전도성 와이어와 직교하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper second conductive wire is disposed perpendicular to the upper first conductive wire at the top of the insulating part.

또한, 상기 도전부는 상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제3 전도성 와이어; 상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제4 전도성 와이어; 상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제3 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제3 전도성 와이어; 및 상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제4 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제4 전도성 와이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. Additionally, the conductive portion may include an upper third conductive wire disposed on an upper portion of the insulating portion and crossing the upper first conductive wire; an upper fourth conductive wire disposed on the upper part of the insulating part and crossing the upper first conductive wire; a lower third conductive wire disposed below the insulating portion, connected to the upper third conductive wire, and crossing the lower first conductive wire; and a lower fourth conductive wire disposed under the insulating portion, connected to the upper fourth conductive wire, and crossing the lower first conductive wire.

본 발명에 따른 검사용 소켓의 제조방법은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓의 제조방법에 있어서, 상기 검사용 소켓은 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고, a) 상기 절연부의 상측에 배치된 상부 제1 전도성 와이어와, 상기 절연부의 하측에 배치된 하부 제1 전도성 와이어를 서로 연결하여 상기 도전부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The method of manufacturing a test socket according to the present invention is disposed between a test apparatus and a test subject device and electrically connects the test equipment and the test subject device, wherein the test socket is a plurality of conductive parts, each corresponding to a terminal of the test device, each corresponding to a terminal of the test device, and electrically connecting the terminal of the test device and the terminal of the test device; and an insulating portion for insulating and supporting the conductive portions from each other, and a) connecting the upper first conductive wire disposed on the upper side of the insulating portion and the lower first conductive wire disposed on the lower side of the insulating portion to each other. It is characterized by comprising the step of forming a conductive part.

또한, b) 상기 a)단계 후 상기 상부 제1 전도성 와이어 및 하부 제1 전도성 와이어의 일부를 각각 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, b) it may further include the step of removing a portion of the upper first conductive wire and the lower first conductive wire, respectively, after step a).

또한, 상기 a)단계에서는 와이어 연결장치를 이용하여 상기 상부 제1 전도성 와이어 및 하부 제1 전도성 와이어를 연결하고, 상기 와이어 연결장치는 상기 상부 제1 전도성 와이어가 삽입되는 삽입부재; 상기 삽입부재에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어를 회전시키는 회전부재; 및 상기 하부 제1 전도성 와이어가 권취 및 권출되는 권취부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in step a), the upper first conductive wire and the lower first conductive wire are connected using a wire connecting device, and the wire connecting device includes an insertion member into which the upper first conductive wire is inserted; a rotating member that rotates the upper first conductive wire inserted into the insertion member; and a winding member on which the lower first conductive wire is wound and unwound.

또한, 상기 a)단계는 a-1) 하부에 상기 상부 제1 전도성 와이어가 삽입되는 삽입공이 형성되는 삽입부재가 상기 절연부를 관통하는 단계; a-2) 상기 삽입공에 삽입된 상기 상부 제1 전도성 와이어의 일부가 회전부재의 일단에 지지된 상태에서 상기 회전부재가 회전하는 단계; 및 a-3) 상기 회전부재에 의해 지지된 상부 제1 전도성 와이어가 상기 하부 제1 전도성 와이어를 감는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, step a) includes the steps of a-1) penetrating the insulating part by an insertion member having an insertion hole formed in the lower part into which the upper first conductive wire is inserted; a-2) rotating the rotating member while a portion of the upper first conductive wire inserted into the insertion hole is supported on one end of the rotating member; and a-3) winding the upper first conductive wire supported by the rotating member around the lower first conductive wire.

본 발명에 따른 검사용 소켓 및 제조방법은 상, 하부 와이어를 직접 연결하여 도전부를 형성함으로써 낮고 균일한 저항을 얻을 수 있고, 핀간 특성 편차 없이 균일한 도전부를 형성할 수 있는 장점이 있다.The inspection socket and manufacturing method according to the present invention have the advantage of forming a conductive portion by directly connecting the upper and lower wires, thereby obtaining a low and uniform resistance, and forming a uniform conductive portion without any deviation in characteristics between pins.

또한, 본 발명에 따른 검사용 소켓은 상, 하부 와이어를 직접 연결하여 도전부를 형성함으로써 미세피치에 유리한 장점이 있다.In addition, the inspection socket according to the present invention has the advantage of fine pitch by forming a conductive portion by directly connecting the upper and lower wires.

도 1은 종래 검사용 소켓을 도시한 도면이고,
도 2는 도1에서 검사를 위해 피검사 디바이스를 검사용 소켓에 접촉하여 가압시킨 상태를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명의 검사용 소켓을 검사장치에 장착한 상태를 도시한 도면이고,
도 4 내지 도 7은 본 발명에 따른 검사용 소켓의 제조공정을 도시한 도면으로서 도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 절연부의 단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 도전부를 형성하기 위해 상하측 와이어를 연결한 상태를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에서 와이어 연결 장치를 이용하여 상하측 와이어를 연결하는것을 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에서 상하측 와이어의 일부를 제거하여 도전부를 형성한 상태를 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이며,
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이고,
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이다.Figure 1 is a diagram showing a conventional inspection socket,
Figure 2 is a diagram illustrating a state in which the device to be tested is pressed into contact with a test socket for the test in Figure 1;
Figure 3 is a diagram showing a state in which the inspection socket of the present invention is mounted on an inspection device;
4 to 7 are diagrams showing the manufacturing process of the inspection socket according to the present invention. Figure 4 is a cross-sectional view of the insulating portion of the inspection socket according to the present invention.
Figure 5 is a diagram showing a state in which the upper and lower wires are connected to form a conductive part in the inspection socket according to the present invention;
Figure 6 is a diagram showing connecting the upper and lower wires using a wire connecting device in the present invention,
Figure 7 is a diagram showing a state in which a conductive portion is formed by removing part of the upper and lower wires in the present invention;
Figure 8 is a plan view of a socket for inspection according to the first embodiment of the present invention;
Figure 9 is a plan view of a socket for inspection according to a second embodiment of the present invention;
Figure 10 is a plan view of a socket for inspection according to a third embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms. The present embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete and that common knowledge in the technical field to which the present invention pertains is not limited. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Accordingly, in some embodiments, well-known process steps, well-known device structures, and well-known techniques are not specifically described in order to avoid ambiguous interpretation of the present invention. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawing, the thickness is enlarged to clearly express various layers and areas. Throughout the specification, similar parts are given the same reference numerals. When a part of a layer, membrane, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only being "directly above" the other part, but also cases where there is another part in between. Conversely, when a part is said to be “right on top” of another part, it means that there is no other part in between. Additionally, when a part of a layer, membrane, region, plate, etc. is said to be “beneath” another part, this includes not only cases where it is “directly below” another part, but also cases where there is another part in between. Conversely, when a part is said to be "right below" another part, it means that there is no other part in between.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.Spatially relative terms such as “below”, “beneath”, “lower”, “above”, “upper”, etc. are used as a single term as shown in the drawing. It can be used to easily describe the correlation between elements or components and other elements or components. Spatially relative terms should be understood as terms that include different directions of the element during use or operation in addition to the direction shown in the drawings. For example, if an element shown in the drawings is turned over, an element described as “below” or “beneath” another element may be placed “above” the other element. Accordingly, the illustrative term “down” may include both downward and upward directions. Elements can also be oriented in other directions, so spatially relative terms can be interpreted according to orientation.

본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 그에 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In this specification, when a part is connected to another part, this includes not only the case where it is directly connected, but also the case where it is connected with another element in between. Additionally, when it is said that a part includes a certain component, this does not mean that other components are excluded, but that it may further include other components, unless specifically stated to the contrary.

본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.In this specification, terms such as first, second, and third may be used to describe various components, but these components are not limited by the terms. The above terms are used for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be named a second or third component, etc., and similarly, the second or third component may also be named alternately.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings that can be commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not to be interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined.

본 발명에서의 검사용 소켓(100)은 두개의 전자 디바이스의 전기적 접속을 위한 것으로서, 상기 두개의 전자 디바이스 중 하나는 검사장치(160)일 수 있고, 다른 하나는 검사장치(160)에 의해 검사되는 피검사 디바이스(150)일 수 있다.The test socket 100 in the present invention is for electrical connection of two electronic devices. One of the two electronic devices may be the test device 160, and the other can be tested by the test device 160. It may be a device to be inspected (150).

본 발명의 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)의 전기적 검사 시에 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150)의 전기적 접속을 위해 사용될 수 있고, 피검사 디바이스(150)의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스(150)의 최종적인 전기적 검사를 위해 사용될 수 있다.The test socket 100 of the present invention can be used for electrical connection between the test device 160 and the test device 150 during electrical testing of the test target device 150, and can be used for the manufacturing of the test target device 150. In post-processing, it can be used for final electrical inspection of the device under test 150.

본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 도3에 도시된 바와 같이 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150) 사이에 배치되며 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150)를 전기적으로 접속시킨다. As shown in Figure 3, the test socket 100 according to the present invention is disposed between the test device 160 and the test device 150 and electrically connects the test device 160 and the test device 150. I order it.

여기서, 피검사 디바이스(150)는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임과 다수의 단자를 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스이다. 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다. 상기 단자로서는 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 피검사 디바이스(150)는 그 하측에 반구형의 다수의 단자(151)를 가진다. Here, the device under test 150 may be a semiconductor package, but is not limited thereto. A semiconductor package is a semiconductor device that packages a semiconductor IC chip, multiple lead frames, and multiple terminals in a hexahedral shape. The semiconductor IC chip can be a memory IC chip or a non-memory IC chip. As the terminal, a pin, solder ball, etc. may be used. The device under test 150 has a plurality of hemispherical terminals 151 on its lower side.

검사장치(160)는 피검사 디바이스(150)의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있고, 검사가 수행되는 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자(161)를 가질 수 있다.The test device 160 can test the electrical characteristics, functional characteristics, operation speed, etc. of the device to be tested 150, and has a plurality of devices capable of outputting an electrical test signal and receiving a response signal within the board on which the test is performed. It may have a terminal 161.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 소켓 몸체를 구성하는 도전성 러버시트(110)와 도전성 러버시트(110)를 지지하는 지지프레임(140)을 포함한다.The inspection socket 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a conductive rubber sheet 110 constituting the socket body and a support frame 140 supporting the conductive rubber sheet 110.

도 3은 본 발명의 검사용 소켓을 검사장치에 장착한 상태를 도시한 도면이다. Figure 3 is a diagram showing a state in which the inspection socket of the present invention is mounted on an inspection device.

피검사 디바이스(150)의 단자(151)는 검사용 소켓(100)을 통해 대응하는 검사장치(160)의 단자(161)와 전기적으로 접속되고, 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 이것에 대응하는 검사장치(160)의 단자(161)를 상하 방향으로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스(150)를 검사하게 된다.The terminal 151 of the device to be inspected 150 is electrically connected to the terminal 161 of the corresponding inspection device 160 through the socket for inspection 100, and the socket for inspection 100 is connected to the device to be inspected 150. ) and the corresponding terminal 161 of the inspection device 160 are electrically connected in the vertical direction to inspect the device to be inspected 150.

본 발명에 따른 검사용 소켓(100)에서 도전성 러버시트(110)는 다수의 도전부(120)와, 절연부(130)를 포함한다.In the inspection socket 100 according to the present invention, the conductive rubber sheet 110 includes a plurality of conductive parts 120 and an insulating part 130.

도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 절연부의 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view of the insulating part in the inspection socket according to the present invention.

상기 절연부(130)는 도전부(120)의 형상을 유지하고 도전부(120)를 상하방향으로 유지시키면서 각 도전부(120)를 서로 절연하고 지지하는 것으로, 절연부(130)는 하나의 탄성체로 형성되고 상하방향과 수평 방향으로 탄성을 가진다.The insulating portion 130 maintains the shape of the conductive portion 120 and maintains the conductive portion 120 in the vertical direction while insulating and supporting each conductive portion 120 from each other. The insulating portion 130 is one It is formed of an elastic material and has elasticity in the vertical and horizontal directions.

절연부(130)는 탄성 절연물질로 이루어지고, 액상의 절연물질이 경화되어 성형된다. 절연부(130)를 구성하는 탄성 절연물질로서는 한 예로서 실리콘, 또는 실리콘 고무가 이용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The insulating portion 130 is made of an elastic insulating material and is formed by hardening the liquid insulating material. As an example, silicone or silicone rubber may be used as an elastic insulating material constituting the insulating portion 130, but is not necessarily limited thereto.

도 4에 도시된 바와 같이 절연부(130)의 상하부에는 제1 절연성 시트(131)와, 제2 절연성 시트(132)가 각각 배치된다.As shown in FIG. 4, a first insulating sheet 131 and a second insulating sheet 132 are disposed on the upper and lower portions of the insulating portion 130, respectively.

절연부(130)의 상부에 배치되는 제1 절연성 시트(131)와, 절연부(130)의 하부에 배치되는 제2 절연성 시트(132)는 절연성을 나타내도록 합성수지 재질로 이루어지고, 각각 절연부(130)의 상측과 하측에 배치되어 절연부(130)를 지지한다. 본 실시예에서 제1 절연성 시트(131)와 제 2절연성 시트(132)는 필름(film)형태로 이루어진다.The first insulating sheet 131 disposed on the upper part of the insulating portion 130 and the second insulating sheet 132 disposed in the lower portion of the insulating portion 130 are made of a synthetic resin material to exhibit insulating properties, and each is an insulating portion. It is disposed on the upper and lower sides of (130) and supports the insulating portion (130). In this embodiment, the first insulating sheet 131 and the second insulating sheet 132 are in the form of a film.

상기 도전부(120)는 피검사 디바이스(150)에서 각각의 단자(151)를 이에 대응하는 검사장치(160)의 단자에 각각 전기적으로 접속되도록 하기 위한 것으로, 이를 위해 각각의 도전부(120)는 절연부(130)에서 피검사 디바이스(150)의 각각의 단자(151)와 대응되는 위치에 배치된다. The conductive portion 120 is intended to electrically connect each terminal 151 of the device to be inspected 150 to the terminal of the corresponding inspection device 160. To this end, each conductive portion 120 is disposed in the insulating portion 130 at a position corresponding to each terminal 151 of the device under test 150.

도 7은 본 발명에서 도전부(120)를 도시한 것으로, 본 발명에서 도전부(120)는 와이어(121, 122)로 이루어지고, 구체적으로 절연부(130)의 상부에 배치되는 상부 제1 전도성 와이어(121)와, 절연부(130)의 하부에 배치되는 하부 제1 전도성 와이어(122)를 포함한다.Figure 7 shows the conductive part 120 in the present invention. In the present invention, the conductive part 120 is made of wires 121 and 122, and is specifically disposed on the upper part of the insulating part 130. It includes a conductive wire 121 and a lower first conductive wire 122 disposed below the insulating portion 130.

본 발명에서 도전부(120)는 피검사 디바이스(150)의 각 단자(151)에 대응되는 위치에서 상부 제1 전도성 와이어(121)와, 상부 제1 전도성 와이어(121)와 연결되는 하부 제1 전도성 와이어(122)로 구성되고, 상부 제1 전도성 와이어(121)와 하부 제1 전도성 와이어(122)가 전기적으로 연결되어 하나의 도전부(120)를 형성하게 된다.In the present invention, the conductive portion 120 is connected to the upper first conductive wire 121 and the upper first conductive wire 121 at positions corresponding to each terminal 151 of the device to be inspected 150. It is composed of a conductive wire 122, and the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are electrically connected to form one conductive portion 120.

상부 제1 전도성 와이어(121)는 도7에 도시된 바와 같이 절연부(130)의 상부, 즉 절연부(130)의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트(131)의 상부면을 따라 연장되는 상부 연장부(121d)와, 상부 연장부(121d)의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함한다. As shown in FIG. 7, the upper first conductive wire 121 extends along the upper surface of the first insulating sheet 131 disposed on the upper part of the insulating part 130, that is, on the upper side of the insulating part 130. It includes an extension portion 121d and embedded portions integrally formed at both ends of the upper extension portion 121d.

각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 상부 연장부(121d)의 일단에서 절곡되어 절연부(130) 내부로 하향 연장되는 하향연장부(121c)와, 하향연장부(121c)의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부(121b)와, 절곡부(121b)에서 상부로 연장되는 상향연장부(121a)가 모두 일체로 형성되어 하나의 와이어로 이루어진다. 그리고, 상향연장부(121a)의 상단은 절연부의 상부 즉, 제1 절연성 시트(131)의 상부로 노출되어 위치한다.Each embedded portion is a portion embedded within the insulating portion 130, and includes a downwardly extending portion 121c that is bent at one end of the upper extending portion 121d and extends downward into the insulating portion 130, and a downwardly extending portion 121c. The bent portion 121b, which is bent from the bottom to the top, and the upwardly extending portion 121a, which extends from the bent portion 121b to the top, are all integrally formed and made of one wire. And, the upper end of the upwardly extending portion 121a is exposed to the upper portion of the insulating portion, that is, the upper portion of the first insulating sheet 131.

하부 제1 전도성 와이어(122)는 절연부(130)의 하부, 즉 절연부(130)의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트(132)의 하부면을 따라 연장되는 하부 연장부(122d)와, 하부 연장부(122d)의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함한다.The lower first conductive wire 122 has a lower extension portion 122d extending along the lower surface of the second insulating sheet 132 disposed below the insulating portion 130, that is, on the lower side of the insulating portion 130, It includes embedded portions integrally formed at both ends of the lower extension portion 122d.

하부 연장부(122d)의 양측에 위치하는 각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 하부 연장부(122d)의 일단에서 절곡되어 절연부(130) 내부로 상향 연장되는 상향연장부(122c)와, 상향연장부(122c)의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부(122b)와, 절곡부(122b)에서 하부로 연장되는 하향연장부(122a)가 모두 일체로 형성되어 하나의 와이어로 이루어진다. 그리고, 하향연장부(122a)의 하단은 절연부의 하부 즉, 제2 절연성 시트(132)의 하부로 노출되어 위치한다.Each embedded part located on both sides of the lower extension part 122d is a part embedded in the inside of the insulating part 130, and an upward extension part is bent at one end of the lower extension part 122d and extends upward into the insulating part 130. (122c), the bent portion (122b) bent downward from the top of the upward extension portion (122c), and the downward extension portion (122a) extending downward from the bent portion (122b) are all formed integrally to form one wire. It consists of And, the lower end of the downwardly extending portion 122a is exposed to the lower portion of the insulating portion, that is, the lower portion of the second insulating sheet 132.

그리고, 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)는 각 절곡부(121b, 122b)에서 서로 연결되어 전기적으로 접속되고, 도시된 바와 같이 하부 제1 전도성 와이어(122)의 절곡부(122b)가 상부 제1 전도성 와이어(121)의 하향연장부(121c) 및 상향연장부(121a) 사이에서 절곡부(121b)의 상측에 위치하여 절곡부(121b)와 접촉하여 절곡부(121b)에 의해 지지된다. In addition, the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are electrically connected to each other at each bent portion 121b and 122b, and as shown, the lower first conductive wire 122 The bent portion 122b is located on the upper side of the bent portion 121b between the downwardly extending portion 121c and the upwardly extending portion 121a of the upper first conductive wire 121 and contacts the bent portion 121b to form the bent portion. Supported by (121b).

본 실시예에서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)는 메탈 소재로 이루어지고, 구체적으로 구리 또는 구리에 금, 은, 백금을 도금한 와이어 등이 사용될 수 있다.In this embodiment, the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are made of a metal material, and specifically, copper or copper plated with gold, silver, or platinum may be used.

본 발명에서 도전부(120)를 형성하는 공정이 도5 내지 도7에 도시되어 있다. 도 5는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 도전부를 형성하기 위해 상하측 와이어를 연결한 상태를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에서 와이어 연결 장치를 이용하여 상하측 와이어를 연결하는 것을 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)의 일부를 제거하여 도전부를 형성한 상태를 도시한 도면이다.The process of forming the conductive portion 120 in the present invention is shown in FIGS. 5 to 7. Figure 5 is a diagram showing a state in which the upper and lower wires are connected to form a conductive part in the inspection socket according to the present invention, and Figure 6 shows connecting the upper and lower wires using a wire connecting device in the present invention. It is a drawing, and FIG. 7 is a diagram illustrating a state in which a conductive portion is formed by removing a portion of the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 in the present invention.

본 발명의 검사용 소켓(100)의 제조에서 도전부(120)의 제조공정은 a) 절연부(130)의 상측에 배치된 상부 제1 전도성 와이어(121)와, 절연부(130)의 하측에 배치된 하부 제1 전도성 와이어(122)를 서로 연결하는 단계; 및 b) 상기 a)단계 후 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)의 일부를 각각 제거하여 다수의 도전부(120)를 형성하는 단계를 포함하고, a) 단계는 a-1) 하부에 상기 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입되는 삽입공(211)이 형성되는 삽입부재(210)가 상기 절연부(130)를 관통하는 단계; a-2) 상기 삽입공(211)에 삽입된 상기 상부 제1 전도성 와이어(121)의 일부가 회전부재(230)의 일단에 지지된 상태에서 상기 회전부재(230)가 회전하는 단계; 및 a-3) 상기 회전부재(230)에 의해 지지된 상부 제1 전도성 와이어(121)가 상기 하부 제1 전도성 와이어(122)를 감는 단계;를 포함한다.In manufacturing the inspection socket 100 of the present invention, the manufacturing process of the conductive portion 120 is a) the upper first conductive wire 121 disposed on the upper side of the insulating portion 130 and the lower side of the insulating portion 130. connecting the lower first conductive wires 122 disposed on each other; and b) forming a plurality of conductive portions 120 by removing a portion of the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 after step a), wherein step a) includes: a-1) penetrating the insulating portion 130 by an insertion member 210 having an insertion hole 211 formed at the lower portion into which the upper first conductive wire 121 is inserted; a-2) rotating the rotating member 230 while a portion of the upper first conductive wire 121 inserted into the insertion hole 211 is supported on one end of the rotating member 230; and a-3) winding the upper first conductive wire 121 supported by the rotating member 230 around the lower first conductive wire 122.

이하에서 도전부(120)의 제조공정에 대해 보다 상세하게 설명한다.Below, the manufacturing process of the conductive portion 120 will be described in more detail.

본 발명에서는 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)를 연결하는 단계에서 별도의 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)를 서로 연결한다.In the present invention, in the step of connecting the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122, the upper and lower first conductive wires 121 and 122 are connected to each other using a separate wire connecting device 200. Connect.

도 6a 내지 도 6d는 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)를 연결하는 과정을 도시한 도면이다.FIGS. 6A to 6D are diagrams illustrating a process of connecting the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 using the wire connecting device 200.

본 발명에서 와이어 연결장치(200)는 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입되는 삽입부재(210)와, 삽입부재(210)에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어(121)의 일부를 회전시키는 회전부재(230)와, 하부 제1 전도성 와이어(122)가 권취 및 권출되는 권취부재(220)를 포함한다.In the present invention, the wire connecting device 200 includes an insertion member 210 into which the upper first conductive wire 121 is inserted, and a portion of the upper first conductive wire 121 inserted into the insertion member 210, as shown. It includes a rotating member 230 that rotates and a winding member 220 on which the lower first conductive wire 122 is wound and unwound.

와이어 연결장치(200)에서 삽입부재(210)는 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입된 상태로 절연부(130)에 삽입되고 절연부(130)를 관통하는 것으로, 삽입부재(210)의 하부에는 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입되는 삽입공(211)이 형성된다. 삽입부재(210)의 하단은 바늘과 같이 뾰족하게 형성되어 절연부를 쉽게 관통할 수 있도록 형성된다. In the wire connection device 200, the insertion member 210 is inserted into the insulating portion 130 with the upper first conductive wire 121 inserted and penetrates the insulating portion 130, and the insertion member 210 An insertion hole 211 into which the upper first conductive wire 121 is inserted is formed in the lower part. The lower end of the insertion member 210 is formed to be sharp like a needle so that it can easily penetrate the insulating part.

상기 회전부재(230)는 삽입부재(210)에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어(121)의 일부를 회전시키고 하부 제1 전도성 와이어(122)를 상부 제1 전도성 와이어(121)에 연결시키기 위한 것으로, 도시된 바와 같이 약3/4의 원호 형태로 이루어지고, 일단에는 상부 제1 전도성 와이어(121)가 안착되는 홈(231)이 형성되며, 절연부(130)의 하측에서 회전수단(미도시)에 의해 권취부재(220)의 주위를 회전한다.The rotating member 230 is used to rotate a portion of the upper first conductive wire 121 inserted into the insertion member 210 and connect the lower first conductive wire 122 to the upper first conductive wire 121. As shown, it is made in the shape of an arc of about 3/4, and at one end is formed a groove 231 in which the upper first conductive wire 121 is seated, and a rotating means (not shown) is formed on the lower side of the insulating part 130. ) rotates around the winding member 220.

상기 권취부재(220)는 하부 제1 전도성 와이어(122)가 권취 및 권출되는 것으로, 절연부(130)의 하측에 배치되어 권취부재(220)에 감긴 하부 제1 전도성 와이어(122)가 상부 제1 전도성 와이어(121)에 연결되면서 권취부재(220)로부터 하부 제1 전도성 와이어(122)가 권출된다. The winding member 220 is one in which the lower first conductive wire 122 is wound and unwound, and is disposed on the lower side of the insulating part 130 and the lower first conductive wire 122 wound around the winding member 220 is the upper first conductive wire 122. 1 The lower first conductive wire 122 is unwound from the winding member 220 while being connected to the conductive wire 121.

도 6a 내지 도 6d를 참조하여 상부 제1 전도성 와이어(121)와 하부 제1 전도성 와이어(122)가 서로 연결되는 과정을 보다 상세하게 설명한다. The process of connecting the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 to each other will be described in more detail with reference to FIGS. 6A to 6D.

먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이 절연부(130)의 상측에서 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입공(211)에 삽입된 상태에서 삽입부재(210)가 절연부(130)의 상측에서 하측까지 관통한다. 즉, 제1 절연성 시트(131)와, 절연부(130)와, 제2 절연성 시트(132)를 순차적으로 관통하고, 제2 절연성 시트(132)를 관통한 삽입부재(210)의 하단은 제2 절연성 시트(132)의 하측에 위치하게 된다. First, as shown in FIG. 6A, the upper first conductive wire 121 is inserted into the insertion hole 211 from the upper side of the insulating portion 130, and the insertion member 210 is inserted from the upper side of the insulating portion 130. Penetrates to the bottom. That is, the lower end of the insertion member 210 that sequentially penetrates the first insulating sheet 131, the insulating portion 130, and the second insulating sheet 132, and penetrates the second insulating sheet 132, is 2 It is located below the insulating sheet 132.

그리고, 삽입부재(210)의 삽입공(211)이 회전부재(230)의 회전운동 궤적에 위치하게 되면 회전부재(230)가 회전하게 되고, 삽입공(211)에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어(121)가 회전부재(230)의 일단에 형성된 홈(231)에 안착된 상태에서 회전부재(230)가 권취부재(220)를 중심으로 권취부재(220) 주위를 회전하게 된다(도 6b 참조). 그리고, 회전부재(230)의 회전과 함께 삽입부재(210)를 다시 절연부(130) 상측으로 이동시킨다.Then, when the insertion hole 211 of the insertion member 210 is located on the rotational movement trajectory of the rotating member 230, the rotating member 230 rotates, and the upper first conductive wire inserted into the insertion hole 211 In a state in which (121) is seated in the groove 231 formed at one end of the rotating member 230, the rotating member 230 rotates around the winding member 220 (see FIG. 6b). ). Then, with the rotation of the rotating member 230, the insertion member 210 is moved back to the upper side of the insulating portion 130.

도 6c에 도시된 바와 같이 회전부재(230)가 회전하면서 회전부재(230)의 선단에 형성된 홈(231)에 안착된 상부 제1 전도성 와이어(121)가 하부 제1 전도성 와이어(122)를 감게 되고, 삽입부재(210)는 절연부(130)의 상측에 위치하게 된다. 이를 보다 상세하게 설명하면 도시된 바와 같이 회전부재(230)의 홈(231)을 중심으로 일측으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분은 권취부재(220)의 상부를 통과하게 되고, 회전부재(230)의 홈(231)을 중심으로 반대쪽으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분(홈(231)에서 삽입공(211)으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분)은 권취부재(220)의 하부를 통과하면서 상부 제1 전도성 와이어(121)가 하부 제1 전도성 와이어(122)를 감게 된다.As shown in FIG. 6C, as the rotating member 230 rotates, the upper first conductive wire 121 seated in the groove 231 formed at the tip of the rotating member 230 winds the lower first conductive wire 122. And the insertion member 210 is located on the upper side of the insulating portion 130. To explain this in more detail, as shown, the portion of the upper first conductive wire 121 extending to one side around the groove 231 of the rotating member 230 passes through the upper part of the winding member 220, The portion of the upper first conductive wire 121 extending in the opposite direction from the groove 231 of the rotating member 230 (the upper first conductive wire 121 extending from the groove 231 to the insertion hole 211) portion) passes through the lower part of the winding member 220 and the upper first conductive wire 121 winds the lower first conductive wire 122.

그 다음 도 6d에 도시된 바와 같이 회전부재(230)가 약 180도 이상 회전하게 되면 상부 제1 전도성 와이어(121)가 회전부재(230) 선단의 홈(231)으로부터 이탈하게 되고, 상부 제1 전도성 와이어(121)가 회전부재(230) 선단의 홈(231)으로부터 이탈하면서 권취부재(220)는 회전부재(230)의 홈(231)을 중심으로 일측으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분과, 반대쪽으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분 사이를 완전히 통과하게 된다. 이와 함께 절연부(130)가 좌측으로 이동되면서 상부 제1 전도성 와이어(121)가 하부 제1 전도성 와이어(122)를 약 한바퀴 정도 감게 된다. 그리고, 절연부(130)를 계속 좌측으로 이동시키면 상부 제1 전도성 와이어(121)와 하부 제1 전도성 와이어(122)가 연결된 부분(도7에서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)의 절곡부(121b, 122b))이 절연부(130) 내에 위치하게 된다. Then, as shown in FIG. 6D, when the rotating member 230 is rotated by about 180 degrees or more, the upper first conductive wire 121 is separated from the groove 231 at the tip of the rotating member 230, and the upper first conductive wire 121 is separated from the groove 231 at the tip of the rotating member 230. As the conductive wire 121 separates from the groove 231 at the tip of the rotating member 230, the winding member 220 forms an upper first conductive wire 121 extending to one side around the groove 231 of the rotating member 230. ) and a portion of the upper first conductive wire 121 extending in the opposite direction. At the same time, as the insulating portion 130 moves to the left, the upper first conductive wire 121 winds the lower first conductive wire 122 about one turn. And, if the insulating part 130 continues to be moved to the left, the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are connected to each other (in FIG. 7, the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are connected to each other). The bent portions 121b and 122b of the wire 122 are located within the insulating portion 130.

이와 같은 과정을 반복하면서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)가 절연부(130)의 상하측에 위치하면서 일정 간격으로 절연부(130) 내부에서 서로 연결된다. While repeating this process, the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are located on the upper and lower sides of the insulating part 130 and are connected to each other at regular intervals within the insulating part 130.

상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)가 서로 연결완료된 상태가 도 5에 도시되어 있다. The state in which the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are completely connected to each other is shown in FIG. 5 .

도 5에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)를 서로 연결한 다음, 절연부(130)의 상측에 위치하는 상부 제1 전도성 와이어(121) 일부를 레이저로 제거하고, 이와 반대쪽에 위치하는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 일부를 마찬가지로 레이저로 제거한다. As shown in FIG. 5, the upper first conductive wire 121 and the lower first conductive wire 122 are connected to each other, and then a portion of the upper first conductive wire 121 located on the upper side of the insulating portion 130 is connected. It is removed with a laser, and a part of the lower first conductive wire 122 located on the opposite side is also removed with a laser.

그러면, 도 7에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121)는 다수개로 분리되고, 마찬가지로 하부 제1 전도성 와이어(122)도 다수개로 분리되며, 분리된 각각의 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)는 서로 연결된 상태가 되는데 서로 연결된 하나의 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하나의 하부 제1 전도성 와이어(122)가 하나의 도전부(120)를 형성하게 된다. Then, as shown in FIG. 7, the upper first conductive wire 121 is divided into multiple pieces, and similarly, the lower first conductive wire 122 is also divided into multiple pieces, and each of the separated upper first conductive wires 121 And the lower first conductive wire 122 is connected to each other, and one upper first conductive wire 121 and one lower first conductive wire 122 connected to each other form one conductive portion 120. .

도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에서는 상부 제1 전도성 와이어(121)에서 상부연장부(121d)의 양측 그리고, 하부 제1 전도성 와이어(122)에서 하부연장부(122d)의 양측이 각각 서로 연결되는 구조로 이루어져서 피검사 디바이스(150)의 검사를 반복 수행하더라도 각 도전부(120)의 구성이 안정적으로 유지되고 지지된다. 다만, 다른 실시예로서 하나의 도전부(120)에서 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)의 일부분이 서로 연결되는 구조로 구현할 수도 있다.As shown in FIG. 7, in the present invention, both sides of the upper extension portion 121d of the upper first conductive wire 121 and both sides of the lower extension portion 122d of the lower first conductive wire 122 are connected to each other. The configuration of each conductive portion 120 is stably maintained and supported even when the inspection target device 150 is repeatedly inspected. However, as another embodiment, a structure may be implemented in which portions of the upper and lower first conductive wires 121 and 122 in one conductive portion 120 are connected to each other.

도 7에서 점선으로 표시된 부분이 하나의 도전부(120)를 형성하게 되고, 이와 같이 형성된 하나의 도전부(120)가 도 3에서와 같이 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 검사장치(160)의 단자(161)를 서로 전기적으로 연결하여 검사를 수행하게 된다. The portion indicated by the dotted line in FIG. 7 forms one conductive portion 120, and the one conductive portion 120 thus formed is connected to the terminal 151 of the device to be inspected 150 and the inspection device as shown in FIG. 3. The test is performed by electrically connecting the terminals 161 of 160 to each other.

본 발명에 따른 검사용 소켓은 전술한 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어와 하부 제1 전도성 와이어를 직접 연결함으로써 낮고 균일한 저항을 얻을 수 있고, 기존 파우더가 배열된 형태의 소켓은 핀간 수명 및 특성 편차가 있는데 반해, 본 발명에서는 상기와 같이 도전부를 형성함으로써 균일한 장점이 있다.As described above, the inspection socket according to the present invention can obtain low and uniform resistance by directly connecting the upper first conductive wire and the lower first conductive wire, and the existing powder-arranged socket has differences in service life and characteristics between pins. On the other hand, in the present invention, there is an advantage of uniformity by forming the conductive portion as described above.

또한, 본 발명에서는 상기와 같이 상부 제1 전도성 와이어와 하부 제1 전도성 와이어를 직접 연결하여 도전부를 형성함으로써 미세피치에 유리한 장점이 있다.In addition, in the present invention, there is an advantage in fine pitch by forming a conductive portion by directly connecting the upper first conductive wire and the lower first conductive wire as described above.

도 8은 전술한 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도로서, 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121)가 평면상에서 일자로 형성되는 각 부분이 하나의 도전부(120)를 형성하게 된다. Figure 8 is a plan view of the inspection socket according to the first embodiment of the present invention described above. As shown, each portion of the upper first conductive wire 121 formed straight on the plane is one conductive portion 120. is formed.

한편, 전술한 제1실시예에서는 절연부(130)의 상하측에 제1,2 절연성 시트(131,132)를 배치하는 예를 참조하여 설명하였으나, 제1,2 절연성 시트(131,132) 없이 절연부(130)의 상하측에 상,하부 제1 전도성 와이어(121, 122)가 직접 배치될 수 있다. Meanwhile, in the above-described first embodiment, the description was made with reference to the example of arranging the first and second insulating sheets 131 and 132 on the upper and lower sides of the insulating part 130, but the insulating part ( The upper and lower first conductive wires 121 and 122 may be placed directly on the upper and lower sides of 130).

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이다.Next, the inspection socket 100 according to the second embodiment of the present invention will be described. Figure 9 is a plan view of a socket for inspection according to a second embodiment of the present invention.

제2실시예가 제1실시예와 다른 점은 도9에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121) 외에 상부 제2 전도성 와이어(123)가 추가된다는 점이다.The difference between the second embodiment and the first embodiment is that, as shown in FIG. 9, an upper second conductive wire 123 is added in addition to the upper first conductive wire 121.

제2실시예에서 상부 제2 전도성 와이어(123)에서 도전성 러버시트(110) 상부로 노출되는 상부 연장부 부분은 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되도록 배치된다. 도9에서는 상부 제2 전도성 와이어(123)가 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)와 직교하는 예를 도시한 것이다.In the second embodiment, the upper extension portion exposed from the upper second conductive wire 123 to the upper part of the conductive rubber sheet 110 is arranged to intersect the upper first conductive wire 121. Figure 9 shows an example in which the upper second conductive wire 123 is perpendicular to the upper first conductive wire 121 in a plane.

상부 제2 전도성 와이어(123) 또한 상부 제1 전도성 와이어(121)와 마찬가지로 절연부(130)의 상부, 즉 절연부(130)의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트(131)의 상부면을 따라 연장되는 상부 연장부와, 상부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 절연부(130)의 내부에 매립되는 각 매립부는 상부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 하향 연장되는 하향연장부와, 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 상향연장부의 상단은 절연부(130)의 상부 즉, 제1 절연성 시트(131)의 상부로 노출되어 위치한다. 상부 제2 전도성 와이어(123)의 상기 상부 연장부, 및 매립부의 하향연장부, 절곡부, 상향연장부는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 상부 연장부(121d), 및 매립부의 하향연장부(121c), 절곡부(121b), 상향연장부(121a)와 동일하다. Like the upper first conductive wire 121, the upper second conductive wire 123 also follows the upper surface of the first insulating sheet 131 disposed on the upper side of the insulating part 130, that is, on the upper side of the insulating part 130. It includes an extending upper extension and an embedded part integrally formed at both ends of the upper extension, and each embedded part embedded in the inside of the insulating part 130 extends downward from one end of the upper extension into the insulating part 130. The extension portion, the bent portion that is bent from the bottom of the downward extension to the top, and the upward extension portion that extends from the bent portion to the top are all formed as one piece. And, the upper end of the upwardly extending portion is exposed to the upper part of the insulating part 130, that is, the upper part of the first insulating sheet 131. The upper extension part of the upper second conductive wire 123, and the downward extension part, bent part, and upward extension part of the embedded part are the upper extension part 121d of the upper first conductive wire 121, and the downward extension part of the embedded part ( 121c), the bent portion 121b, and the upward extension portion 121a.

그리고, 절연부(130)의 하측에는 상부 제2 전도성 와이어(123)와 연결되는 하부 제2 전도성 와이어(미도시)가 배치된다. Also, a lower second conductive wire (not shown) connected to the upper second conductive wire 123 is disposed below the insulating portion 130.

하부 제2 전도성 와이어는 절연부(130)의 하부, 즉 절연부(130)의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트(132)의 하부면을 따라 연장되는 하부 연장부와, 하부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 하부 연장부의 양측에 위치하는 각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 하부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 상향 연장되는 상향연장부와, 상향연장부의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 하부로 연장되는 하향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 하향연장부의 하단은 절연부(130)의 하부 즉, 제2 절연성 시트(132)의 하부로 노출되어 위치한다. 하부 제2 전도성 와이어의 하부 연장부 및 매립부의 상향연장부, 절곡부, 하향연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d), 및 매립부의 상향연장부(122c), 절곡부(122b), 하향연장부(122a)와 동일하다.The lower second conductive wire is integrated with a lower extension part extending along the lower surface of the second insulating sheet 132 disposed below the insulating part 130, that is, at both ends of the lower extension part. It includes an embedded portion formed of a , and each embedded portion located on both sides of the lower extension portion is embedded in the inside of the insulating portion 130 and includes an upwardly extending portion extending upward from one end of the lower extension into the insulating portion 130, The bent portion that is bent downward from the top of the upwardly extending portion and the downwardly extended portion that extends from the bent portion to the lower portion are all formed as one piece. And, the lower end of the downwardly extending portion is exposed to the lower part of the insulating part 130, that is, the lower part of the second insulating sheet 132. The lower extension portion of the lower second conductive wire and the upward extension portion, bent portion, and downward extension portion of the embedded portion include the lower extension portion 122d of the lower first conductive wire 122, and the upwardly extending portion 122c of the embedded portion, and the bent portion. (122b) is the same as the downward extension portion (122a).

그리고, 하부 제2 전도성 와이어(122)의 하부 연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d)와 교차되도록 배치되고 도9와 유사하게 직교하게 배치될 수 있다.Additionally, the lower extension portion of the lower second conductive wire 122 may be disposed to intersect the lower extension portion 122d of the lower first conductive wire 122 and may be disposed orthogonally similar to FIG. 9 .

상부 제2 전도성 와이어(123) 및 하부 제2 전도성 와이어는 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 유사하게 각 절곡부에서 서로 연결되어 전기적으로 접속되고, 상부 제2 전도성 와이어(123) 및 하부 제2 전도성 와이어의 연결공정 또한 전술한 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 동일하게 이루어질 수 있다. 그리고, 상, 하부 제2 전도성 와이어(123) 또한 그 일부를 레이저로 제거하는 공정이 수행될 수 있다. 또한 도 9에서는 도전부(120)가 가로방향으로만 배치된 예를 도시하였으나 세로방향으로도 배치되어 도시된 제2 전도성 와이어(123)의 상하측에 또다른 제2 전도성 와이어(123)가 배치될 수 있다. The upper second conductive wire 123 and the lower second conductive wire are electrically connected to each other at each bend similar to the upper and lower first conductive wires 121 and 122, and the upper second conductive wire 123 And the connection process of the lower second conductive wire may also be performed in the same manner as that of the upper and lower first conductive wires 121 and 122 using the wire connecting device 200 described above. Additionally, a process of removing part of the upper and lower second conductive wires 123 with a laser may be performed. In addition, FIG. 9 shows an example in which the conductive portion 120 is arranged only in the horizontal direction, but another second conductive wire 123 is arranged on the upper and lower sides of the second conductive wire 123, which is also shown in the vertical direction. It can be.

제2 실시예에서는 전술한 바와 같이 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)에 각각 상, 하부 제2 전도성 와이어(123)가 교차되어 배치됨으로써 전기적 접속이 보다 안정적으로 이루어질 수 있고, 검사작업이 반복적으로 수행되더라도 정확한 검사가 이루어질 수 있다.In the second embodiment, as described above, the upper and lower second conductive wires 123 are arranged to cross the upper and lower first conductive wires 121 and 122, respectively, so that electrical connection can be made more stably, and inspection work can be performed more stably. Even if this is performed repeatedly, accurate testing can be achieved.

그 외 구성 및 효과에 대해서는 이전 실시예와 동일하여 여기서는 그 상세한 설명은 생략한다.Other configurations and effects are the same as the previous embodiment, so detailed description thereof will be omitted here.

다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이다.Next, the inspection socket 100 according to the third embodiment of the present invention will be described. Figure 10 is a plan view of a socket for inspection according to a third embodiment of the present invention.

제3실시예가 제1실시예와 다른 점은 도10에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121) 외에 상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어가(125)가 추가된다는 점이다.The difference between the third embodiment and the first embodiment is that, as shown in FIG. 10, in addition to the upper first conductive wire 121, an upper third conductive wire 124 and an upper fourth conductive wire 125 are added. am.

제2실시예에서 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되는 하나의상부 제2 전도성 와이어(123)가 배치되나, 제3실시예에서는 평면상에서 상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어(125)가 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되도록 배치된다. In the second embodiment, one upper second conductive wire 123 is disposed to intersect the upper first conductive wire 121 in a plane, but in the third embodiment, an upper third conductive wire 124 and an upper third conductive wire 124 are disposed in a plane. 4 The conductive wire 125 is arranged to cross the upper first conductive wire 121.

제3실시예에서 상부 제3 전도성 와이어(124)에서 도전성 러버시트(110) 상부로 노출되는 상부 연장부 부분과 상부 제4 전도성 와이어(125)에서 상부로 노출되는 상부 연장부 부분은 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되도록 배치된다. 도10에서는 상부 제3 전도성 와이어(124)가 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)의 우측부분을 기준으로 반시계 방향으로 예각을 이루도록 배치되고, 상부 제4 전도성 와이어(125)가 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)의 좌측부분을 기준으로 시계 방향으로 예각을 이루도록 배치되는 예를 도시한 것이다.In the third embodiment, the upper extension portion exposed from the upper third conductive wire 124 to the upper portion of the conductive rubber sheet 110 and the upper extended portion portion exposed upward from the upper fourth conductive wire 125 are the upper first conductive wire 124. It is arranged to cross the conductive wire 121. In Figure 10, the upper third conductive wire 124 is disposed at an acute angle counterclockwise with respect to the right portion of the upper first conductive wire 121 in the plane, and the upper fourth conductive wire 125 is disposed at the upper part in the plane. This shows an example in which the first conductive wire 121 is arranged at an acute angle clockwise with respect to the left portion.

상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어(125) 각각은 상부 제1 전도성 와이어(121)와 마찬가지로 절연부(130)의 상부, 즉 절연부(130)의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트(131)의 상부면을 따라 연장되는 상부 연장부와, 상부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 절연부(130)의 내부에 매립되는 각 매립부는 상부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 하향 연장되는 하향연장부와, 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 상향연장부의 상단은 절연부(130)의 상부 즉, 제1 절연성 시트(131)의 상부로 노출되어 위치한다. 상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어(125)의 상기 상부 연장부, 및 매립부의 하향연장부, 절곡부, 상향연장부는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 상부 연장부(121d), 및 매립부의 하향연장부(121c), 절곡부(121b), 상향연장부(121a)와 동일하다. Each of the upper third conductive wire 124 and the upper fourth conductive wire 125, like the upper first conductive wire 121, is disposed on the upper part of the insulating part 130, that is, on the upper side of the insulating part 130. It includes an upper extension portion extending along the upper surface of the insulating sheet 131 and an embedded portion integrally formed at both ends of the upper extension portion, and each embedded portion embedded within the insulating portion 130 is insulated from one end of the upper extension portion. The downward extension part that extends downward into the part 130, the bent part that is bent from the bottom of the downward extension to the top, and the upward extension part that extends from the bent part to the top are all formed as one piece. And, the upper end of the upwardly extending portion is exposed to the upper part of the insulating part 130, that is, the upper part of the first insulating sheet 131. The upper extension portions of the upper third conductive wire 124 and the upper fourth conductive wire 125, and the downward extension portion, bent portion, and upward extension portion of the buried portion are upper extension portions 121d of the upper first conductive wire 121. ), and the downward extension part 121c, the bent part 121b, and the upward extension part 121a of the embedded part.

그리고, 절연부(130)의 하측에는 상부 제3 전도성 와이어(124)와 연결되는 하부 제3 전도성 와이어(미도시)가 배치되고, 상부 제4 전도성 와이어(125)와 연결되는 하부 제4 전도성 와이어(미도시)가 배치된다. Additionally, a lower third conductive wire (not shown) connected to the upper third conductive wire 124 is disposed on the lower side of the insulating portion 130, and a lower fourth conductive wire connected to the upper fourth conductive wire 125. (not shown) is placed.

하부 제3 전도성 와이어 및 하부 제4 전도성 와이어 각각은 절연부(130)의 하부, 즉 절연부(130)의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트(132)의 하부면을 따라 연장되는 하부 연장부와, 하부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 하부 연장부의 양측에 위치하는 각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 하부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 상향 연장되는 상향연장부와, 상향연장부의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 하부로 연장되는 하향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 하향연장부의 하단은 절연부(130)의 하부 즉, 제2 절연성 시트(132)의 하부로 노출되어 위치한다. 하부 제3 전도성 와이어 및 하부 제4 전도성 와이어의 하부 연장부 및 매립부의 상향연장부, 절곡부, 하향연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d), 및 매립부의 상향연장부(122c), 절곡부(122b), 하향연장부(122a)와 동일하다.Each of the lower third conductive wire and the lower fourth conductive wire has a lower extension portion extending along the lower surface of the second insulating sheet 132 disposed below the insulating portion 130, that is, the lower side of the insulating portion 130. , It includes embedded parts integrally formed at both ends of the lower extension, and each embedded part located on both sides of the lower extension is a part embedded in the inside of the insulating part 130, and extends upward from one end of the lower extension into the insulating part 130. The upwardly extending portion, the bent portion that is bent downward from the top of the upwardly extended portion, and the downwardly extended portion that extends from the bent portion to the bottom are all formed as one piece. And, the lower end of the downwardly extending portion is exposed to the lower part of the insulating part 130, that is, the lower part of the second insulating sheet 132. The lower extension portion of the lower third conductive wire and the lower fourth conductive wire and the upward extension portion, bent portion, and downward extension portion of the embedded portion are the lower extension portion 122d of the lower first conductive wire 122, and the upward extension portion of the embedded portion. (122c), the bent portion (122b), and the downward extension portion (122a) are the same.

그리고, 하부 제3 전도성 와이어 및 하부 제4 전도성 와이어의 하부 연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d)와 교차되도록 배치되고 도10에 도시된 바와 같이 유사하게 배치될 수 있다.In addition, the lower extension portions of the lower third conductive wire and the lower fourth conductive wire are arranged to intersect the lower extension portion 122d of the lower first conductive wire 122 and may be arranged similarly as shown in FIG. 10. .

상부 제3 전도성 와이어(124)와 하부 제3 전도성 와이어, 상부 제4 전도성 와이어(125)와 하부 제4 전도성 와이어는 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 유사하게 각 절곡부에서 서로 연결되어 전기적으로 접속되고, 상, 하부 제3 전도성 와이어 및 상,하부 제4 전도성 와이어의 연결공정 또한 전술한 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 동일하게 이루어질 수 있다. 그리고, 제3 전도성 와이어(124) 및 제4 전도성 와이어(125) 또한 그 일부를 레이저로 제거하는 공정이 수행될 수 있고, 도 10에서는 도전부(120)가 가로방향으로만 배치된 예를 도시하였으나 세로방향으로도 배치되어 도시된 제3, 4 전도성 와이어(124, 125)의 상하측에 또다른 제3, 4 전도성 와이어(124, 125)가 배치될 수 있다.The upper third conductive wire 124 and the lower third conductive wire, the upper fourth conductive wire 125 and the lower fourth conductive wire are connected to each other at each bend similarly to the upper and lower first conductive wires 121 and 122. They are connected and electrically connected, and the upper and lower third conductive wires and the upper and lower fourth conductive wires are connected using the above-described wire connecting device 200. The upper and lower first conductive wires 121 and 122 are connected to each other electrically. The same can be done. In addition, a process of removing part of the third conductive wire 124 and the fourth conductive wire 125 with a laser may be performed, and FIG. 10 shows an example in which the conductive portion 120 is disposed only in the horizontal direction. However, other third and fourth conductive wires 124 and 125 may be disposed on the upper and lower sides of the third and fourth conductive wires 124 and 125, which are shown to be arranged vertically.

제3 실시예에서는 전술한 바와 같이 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)에 각각 상, 하부 제3, 4 전도성 와이어가 교차되어 배치됨으로써 전기적 접속이 보다 안정적으로 이루어질 수 있고, 검사작업이 반복적으로 수행되더라도 정확한 검사가 이루어질 수 있다.In the third embodiment, as described above, the upper, lower third and fourth conductive wires are arranged to cross each other on the upper and lower first conductive wires 121 and 122, so that electrical connection can be made more stably and inspection work can be performed. Even if it is performed repeatedly, accurate testing can be achieved.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 당해 기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능할 수 있을 것이다. Above, the present invention has been described with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited thereto, and various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as set forth in the claims below. There will be.

100 : 검사용 소켓 110 : 도전성 러버시트
120 : 도전부 130 : 절연부
140 : 지지프레임 150 : 피검사 디바이스
160 : 검사장치 121 : 상부 제1 전도성 와이어
122 : 하부 제1 전도성 와이어 200 : 와이어 연결장치100: Socket for inspection 110: Conductive rubber sheet
120: conductive part 130: insulating part
140: support frame 150: test device
160: Inspection device 121: Upper first conductive wire
122: lower first conductive wire 200: wire connection device

Claims

In the test socket disposed between the test apparatus and the test subject device and electrically connecting the test apparatus and the test subject device,
a plurality of conductive parts, each corresponding to a terminal of the test device, each corresponding to a terminal of the test device, and electrically connecting the terminal of the test device and the terminal of the test device; and
It includes an insulating part for insulating and supporting the conductive parts from each other,
The conductive part
an upper first conductive wire disposed on top of the insulating portion; and
It includes a lower first conductive wire connected to the upper first conductive wire and disposed below the insulating portion,
The upper first conductive wire includes an upper extension portion extending along the top of the insulating portion; and
It includes an embedded part bent at one side of the upper extension and embedded in the insulating part,
The embedded portion of the upper first conductive wire is
a downward extension portion extending downward from one end of the upper extension portion into the insulating portion;
a bent portion bent from the bottom of the downwardly extending portion to the top; and
A socket for inspection including an upward extension extending upward from the bent portion.

delete

According to paragraph 1,
The lower first conductive wire includes a lower extension portion extending along the lower portion of the insulating portion; and
A socket for inspection including an embedded portion that is bent at one side of the lower extension portion and embedded in the insulating portion.

According to paragraph 4,
Embedded portions of the upper first conductive wire are disposed on both sides of the upper extension portion,
Embedded portions of the lower first conductive wire are disposed on both sides of the lower extension portion,
An inspection socket in which an embedded portion of the upper first conductive wire and an embedded portion of the lower first conductive wire are connected to each other.

According to paragraph 4,
The embedded portion of the lower first conductive wire
an upwardly extending portion extending upwardly from one end of the lower extending portion into the insulating portion;
A bent portion bent downward from the top of the upwardly extending portion; and
A socket for inspection including a downward extension extending downward from the bent portion.

According to clause 6,
The embedded portion of the upper first conductive wire is
a downward extension portion extending downward from one end of the upper extension portion into the insulating portion;
a bent portion bent from the bottom of the downwardly extending portion to the top; and
It includes an upward extension extending upward from the bent portion,
A test socket in which the bent portion of the lower first conductive wire contacts and is connected to each other above the bent portion of the upper first conductive wire.

According to paragraph 1,
a first insulating sheet disposed on an upper side of the insulating part; and
An inspection socket further comprising a second insulating sheet disposed below the insulating portion.

In the test socket disposed between the test apparatus and the test subject device and electrically connecting the test apparatus and the test subject device,
a plurality of conductive parts, each corresponding to a terminal of the test device, each corresponding to a terminal of the test device, and electrically connecting the terminal of the test device and the terminal of the test device; and
It includes an insulating part for insulating and supporting the conductive parts from each other,
The conductive part
an upper first conductive wire disposed on top of the insulating portion;
a lower first conductive wire connected to the upper first conductive wire and disposed below the insulating part;
an upper second conductive wire disposed on the upper part of the insulating part and crossing the upper first conductive wire; and
A test socket comprising: a lower second conductive wire disposed below the insulating part, connected to the upper second conductive wire, and crossing the lower first conductive wire.

According to clause 9,
The upper second conductive wire is arranged to be perpendicular to the upper first conductive wire at the top of the insulating part.

According to paragraph 1,
The conductive part
an upper third conductive wire disposed above the insulating portion and crossing the upper first conductive wire;
an upper fourth conductive wire disposed on the upper part of the insulating part and crossing the upper first conductive wire;
a lower third conductive wire disposed below the insulating portion, connected to the upper third conductive wire, and crossing the lower first conductive wire; and
A test socket further comprising a lower fourth conductive wire disposed under the insulating portion, connected to the upper fourth conductive wire, and crossing the lower first conductive wire.

In the method of manufacturing a test socket disposed between a test apparatus and a test subject device to electrically connect the test apparatus and the test subject device,
The test socket includes a plurality of conductive portions corresponding to terminals of the test device and electrically connecting terminals of the test device and terminals of the test device, respectively, corresponding to terminals of the test device. and
It includes an insulating part for insulating and supporting the conductive parts from each other,
a) forming the conductive portion by connecting an upper first conductive wire disposed on an upper side of the insulating portion and a lower first conductive wire disposed on a lower side of the insulating portion; and
b) removing a portion of the upper first conductive wire and the lower first conductive wire after step a), respectively.

delete

According to clause 12,
In step a), the upper first conductive wire and the lower first conductive wire are connected using a wire connecting device,
The wire connection device is
an insertion member into which the upper first conductive wire is inserted;
a rotating member that rotates the upper first conductive wire inserted into the insertion member; and
A method of manufacturing a socket for inspection including a winding member on which the lower first conductive wire is wound and unwound.

According to clause 12,
Step a) above is
a-1) penetrating the insulating part by an insertion member having an insertion hole formed in the lower part into which the upper first conductive wire is inserted;
a-2) rotating the rotating member while a portion of the upper first conductive wire inserted into the insertion hole is supported at one end of the rotating member; and
a-3) wrapping the upper first conductive wire supported by the rotating member around the lower first conductive wire.