KR102503960B1 - Apparatus for manufacturing the supporter - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 서포터 제조장치는, 센터바와, 상기 센터바에 연결가능하게 구성되는 복수의 서포트암을 포함하는 서포터를 제조하는 서포터 제조장치로서, 베이스프레임, 상기 센터바를 고정하도록 마련되는 클램프, 상기 베이스프레임의 둘레를 따라 이격배치되는 복수의 지지프레임 및 상기 복수의 서포트암이 고정되는 고정프레임으로서, 상기 센터바의 설정된 결합위치에 상기 복수의 서포트암이 위치하도록 상기 복수의 지지프레임에 결합가능하게 구성되는 고정프레임을 포함할 수 있다.An apparatus for manufacturing a supporter according to the present invention manufactures a supporter including a center bar and a plurality of support arms configured to be connectable to the center bar, including a base frame, a clamp provided to fix the center bar, and the base A plurality of support frames spaced apart along the circumference of the frame and a fixed frame to which the plurality of support arms are fixed, capable of being coupled to the plurality of support frames so that the plurality of support arms are positioned at the set coupling position of the center bar It may include a fixed frame configured.

Description

서포터 제조장치{Apparatus for manufacturing the supporter}Supporter manufacturing device {Apparatus for manufacturing the supporter}

본 발명은 서포터 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 구조를 개선한 서포터 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a supporter manufacturing apparatus, and more particularly, to a supporter manufacturing apparatus having an improved structure.

일반적으로 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼 상에 박막을 증착하는 증착 공정과, 웨이퍼 상에 형성된 박막을 식각하는 식각 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 반도체 제조 공정의 대부분은 공정 효율의 향상을 위해 혹은 공정 자체를 가능하게 하기 위해 대기압보다 낮은 진공 분위기에서 이루어지므로, 기밀한 공간을 제공하는 공정 챔버 내에 웨이퍼를 배치시켜 각종 공정을 수행하게 된다.In general, in a semiconductor manufacturing process, a deposition process of depositing a thin film on a wafer and an etching process of etching the thin film formed on the wafer are repeatedly performed. Since most of these semiconductor manufacturing processes are performed in a vacuum atmosphere lower than atmospheric pressure to improve process efficiency or enable the process itself, various processes are performed by placing wafers in a process chamber providing an airtight space.

공정 챔버 내부에는 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 지지대가 구비되고, 웨이퍼 지지대의 하부에는 웨이퍼 리프트가 설치될 수 있다. 웨이퍼 리프트는 웨이퍼를 지지하는 복수의 암바디를 구비하고, 웨이퍼를 지지 및 승강되도록 구성된다. A wafer support on which a wafer is seated is provided inside the process chamber, and a wafer lift may be installed below the wafer support. The wafer lift includes a plurality of arm bodies for supporting wafers, and is configured to support and lift the wafers.

그러나, 웨이퍼는 복수의 암바디를 통해 지지되므로, 복수의 암바디에서 웨이퍼를 지지하는 부분의 직각도나 평면도가 설정된 수치구간을 벗어나는 경우 웨이퍼에 대한 안정적인 지지가 어렵게 되고, 복수의 암바디 간의 차이에 의해 들뜸이 발생하거나 공차가 발생하게 된다. 그러므로 복수의 암바디에서 일정한 직각도와 평면도를 갖는 웨이퍼리프트가 요구된다.However, since the wafer is supported by a plurality of arm bodies, it is difficult to stably support the wafer when the perpendicularity or flatness of the part supporting the wafer in the plurality of arm bodies is out of the set numerical range, and the difference between the plurality of arm bodies This causes a gap or a gap to occur. Therefore, a wafer lift having a certain perpendicularity and flatness in a plurality of arm bodies is required.

본 발명의 일 측면은 구조를 개선한 서포터 제조장치를 제공한다.One aspect of the present invention provides a supporter manufacturing apparatus having an improved structure.

본 발명의 일 측면은 웨이퍼리프트와 같은 서포터의 품질을 향상시킬 수 있는 서포터 제조장치를 제공한다.One aspect of the present invention provides a supporter manufacturing apparatus capable of improving the quality of a supporter such as a wafer lift.

본 발명의 일 측면은 서포터의 공차를 최소화할 수 있는 서포터 제조장치를 제공한다.One aspect of the present invention provides a supporter manufacturing apparatus capable of minimizing the tolerance of a supporter.

본 발명의 사상에 따른 서포터 제조장치는 센터바와, 상기 센터바에 연결가능하게 구성되는 복수의 서포트암을 포함하는 서포터를 제조하는 서포터 제조장치로서, 베이스프레임; 상기 센터바를 고정하도록 마련되는 클램프; 상기 베이스프레임의 둘레를 따라 이격배치되는 복수의 지지프레임; 및 상기 복수의 서포트암이 고정되는 고정프레임으로서, 상기 센터바의 설정된 결합위치에 상기 복수의 서포트암이 위치하도록 상기 복수의 지지프레임에 결합가능하게 구성되는 고정프레임;을 포함한다.An apparatus for manufacturing a supporter according to the spirit of the present invention is a supporter manufacturing apparatus for manufacturing a supporter including a center bar and a plurality of support arms configured to be connectable to the center bar, including a base frame; a clamp provided to fix the center bar; A plurality of support frames spaced apart along the circumference of the base frame; and a fixing frame to which the plurality of support arms are fixed, configured to be coupled to the plurality of support frames so that the plurality of support arms are located at the set coupling position of the center bar.

상기 고정프레임은, 상기 복수의 지지프레임들에 모두 연결 및 고정되도록 구성될 수 있다.The fixing frame may be configured to be connected and fixed to all of the plurality of support frames.

상기 고정프레임은, 원주방향으로 상호 이격되게 배열되는 상기 복수의 지지프레임의 상부에 대응되도록 환형으로 구성될 수 있다.The fixing frame may be configured in an annular shape to correspond to upper portions of the plurality of support frames arranged to be spaced apart from each other in the circumferential direction.

상기 복수의 서포트암은, 일단이 상기 센터바의 상기 결합위치에 연결가능하게 구성되는 암바디; 및 상기 암바디 타단에 연결되어, 리프트핀이 지지가능하게 구성되는 지지부재;를 포함하고, 상기 고정프레임은, 상기 복수의 서포트암의 지지부재들이 안착되는 고정프레임몸체; 및 상기 고정프레임몸체에 결합가능하게 구성되는 복수의 부재고정부로서, 상기 고정프레임몸체와 상기 복수의 부재고정부 사이에 각각 개재된 상기 지지부재들을 고정하도록 구성되는 복수의 부재고정부;를 포함할 수 있다.The plurality of support arms may include arm bodies, one end of which is configured to be connectable to the coupling position of the center bar; and a support member connected to the other end of the arm body and configured to support a lift pin, wherein the fixing frame includes: a fixing frame body on which support members of the plurality of support arms are seated; and a plurality of member fixing parts configured to be coupled to the fixed frame body, and configured to fix the support members respectively interposed between the fixed frame body and the plurality of member fixing parts. can do.

상기 지지프레임은, 상기 고정프레임이 안착되는 프레임안착부;를 포함하고, 상기 프레임안착부는, 상기 부재고정부가 안착되는 부재안착부; 및 상기 고정프레임에 고정된 상기 복수의 서포트암의 상기 암바디가 안착되는 바디안착부;를 포함할 수 있다.The support frame includes a frame seating portion on which the fixing frame is seated, and the frame seating portion includes a member seating portion on which the member fixing portion is seated; and a body seating portion on which the arm bodies of the plurality of support arms fixed to the fixing frame are seated.

상기 프레임안착부는, 상기 부재안착부와 인접하게 배치되어, 상기 고정프레임의 결합위치를 정렬하도록 구성되는 정렬부로서, 상기 부재안착부로부터 단차지게 구성되는 정렬부;를 포함할 수 있다.The frame seating portion may include an aligning portion disposed adjacent to the member seating portion and configured to align a coupled position of the fixing frame, and configured to be stepped from the member seating portion.

상기 바디안착부는, 상기 암바디가 일정각도 기울어지게 지지되도록, 상기 지지프레임의 상면으로부터 경사지게 오목한 홈으로 형성될 수 있다.The body mounting portion may be formed as a concave groove inclined from an upper surface of the support frame so that the arm body is supported at a predetermined angle.

상기 복수의 지지프레임은, 상기 클램프와 상기 고정프레임을 이격시키도록, 상기 서포터의 높이에 대응되는 높이로 구성될 수 있다.The plurality of support frames may be configured to have a height corresponding to the height of the supporter so as to separate the clamp and the fixing frame.

상기 클램프는, 상기 센터바를 상기 베이스프레임에 대해 직각상태로 고정하도록 상기 베이스프레임에 구비될 수 있다.The clamp may be provided on the base frame to fix the center bar at a right angle to the base frame.

상기 클램프는, 상기 센터바가 배치되는 파지공간을 형성하는 제 1 클램프; 및 상기 제 1 클램프에 대해 이동가능하게 구성되어 상기 파지공간에 삽입된 상기 센터바를 고정하는 제 2 클램프;를 포함할 수 있다.The clamp may include a first clamp forming a gripping space in which the center bar is disposed; and a second clamp configured to be movable with respect to the first clamp and fixing the center bar inserted into the gripping space.

본 발명의 일 측면에 따르면 서포터 고정구조를 개선하여, 서포터의 품질을 향상시킬 수 있다.According to one aspect of the present invention, the quality of the supporter may be improved by improving the supporter fixing structure.

본 발명의 일 측면에 따르면 서포터의 직각도와 평면도를 일정하게 유지할 수 있다.According to one aspect of the present invention, the perpendicularity and planarity of the supporter may be constantly maintained.

본 발명의 일 측면에 따르면 서포터의 제조효율을 향상시킬 수 있다.According to one aspect of the present invention, the manufacturing efficiency of the supporter can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터가 배치되는 공정챔버에 관한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터의 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치의 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치의 분해사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치의 단면도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치에 서포터를 장착하는 동작에 관한 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치에 서포터가 고정배치된 것을 도시한 도면.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치에 서포터의 서포트암이 고정배치된 것을 도시한 도면.1 is a view of a process chamber in which a supporter is disposed according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a supporter according to an embodiment of the present invention;
3 is a front view of a supporter according to an embodiment of the present invention;
4 is a perspective view of a supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view of an apparatus for manufacturing a supporter according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of an apparatus for manufacturing a supporter according to an embodiment of the present invention.
7 is a view related to an operation of mounting a supporter to a supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing supporters fixedly arranged in the supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 is a view showing a support arm of a supporter being fixedly disposed in the supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 개시된 발명의 바람직한 일 예에 불과할 뿐이며, 본 출원의 출원시점에 있어서 본 명세서의 실시예와 도면을 대체할 수 있는 다양한 변형 예들이 있을 수 있다.The embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one preferred example of the disclosed invention, and there may be various modifications that can replace the embodiments and drawings in this specification at the time of filing of the present application.

또한, 본 명세서의 각 도면에서 제시된 동일한 참조번호 또는 부호는 실질적으로 동일한 기능을 수행하는 부품 또는 구성요소를 나타낸다.In addition, the same reference numerals or numerals presented in each drawing in this specification indicate parts or components that perform substantially the same function.

또한, 본 명세서에서 사용한 용어는 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 개시된 발명을 제한 및/또는 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는다.In addition, terms used in this specification are used to describe embodiments, and are not intended to limit and/or limit the disclosed invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as "include" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It does not preclude in advance the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

또한, 본 명세서에서 사용한 “제1”, “제2” 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않으며, 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. “및/또는” 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.In addition, terms including ordinal numbers such as “first” and “second” used herein may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms, and the terms It is used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first element may be termed a second element, and similarly, a second element may be termed a first element, without departing from the scope of the present invention. The term “and/or” includes a combination of a plurality of related recited items or any one of a plurality of related recited items.

또한, "~부", "~기", "~블록", "~부재", "~모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미할 수 있다. 예를 들어, 상기 용어들은 FPGA (field-programmable gate array)/ ASIC (application specific integrated circuit) 등 적어도 하나의 하드웨어, 메모리에 저장된 적어도 하나의 소프트웨어 또는 프로세서에 의하여 처리되는 적어도 하나의 프로세스를 의미할 수 있다.In addition, terms such as "~ unit", "~ group", "~ block", "~ member", and "~ module" may mean a unit that processes at least one function or operation. For example, the terms may mean at least one hardware such as a field-programmable gate array (FPGA)/application specific integrated circuit (ASIC), at least one software stored in a memory, or at least one process processed by a processor. there is.

이하에서는 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following drawings attached to this specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and serve to further understand the technical idea of the present invention together with the contents of the above-described invention, so the present invention is described in such drawings should not be construed as limited to

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터가 배치되는 공정챔버에 관한 도면이다.1 is a view of a process chamber in which a supporter is disposed according to an embodiment of the present invention.

공정챔버(3) 내부에 웨이퍼(미도시)가 놓여지는 서셉터(susceptor)(1)가 배치될 수 있다. 서셉터(1)는 서셉터 서포트(1b)에 의해 지지될 수 있다. 서셉터(1)는 공정중에 웨이퍼(미도시)를 안정적으로 지지하도록 구성될 수 있다. 이를 위해 서셉터(1)의 상면에는 웨이퍼를 고정하기 위한 수단으로 기계력, 정전력, 진공 흡입력 등을 이용하는 다양한 척부재가 마련될 수 있다. 서셉터(1)에는 주로 정전기력에 의해 웨이퍼를 고정시키는 정전척이 주로 사용되나, 이에 한정되지 않는다. 서셉터(1)는 그 몸체의 상하를 관통하는 복수의 리프트핀홀(1a)을 포함할 수 있다. 복수의 리프트핀홀(1a)을 통해, 이후 설명하는 리프트핀(19)이 승강가능하게 배치될 수 있다. A susceptor 1 in which a wafer (not shown) is placed may be disposed inside the process chamber 3 . The susceptor 1 may be supported by the susceptor support 1b. The susceptor 1 may be configured to stably support a wafer (not shown) during a process. To this end, various chuck members using mechanical force, electrostatic force, vacuum suction force, etc. may be provided on the upper surface of the susceptor 1 as a means for fixing the wafer. An electrostatic chuck for fixing a wafer by electrostatic force is mainly used for the susceptor 1, but is not limited thereto. The susceptor 1 may include a plurality of lift pin holes 1a penetrating the top and bottom of the body. Through the plurality of lift pin holes 1a, the lift pins 19 to be described later can be arranged to move up and down.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터의 사시도, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터의 정면도이다.2 is a perspective view of a supporter according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a front view of a supporter according to an embodiment of the present invention.

서셉터(1)의 하부에는 서포터(10)가 배치될 수 있다. 본 실시예에서 서포터(10)는 도 1 내지 3과 같이 웨이퍼를 승강하는 웨이퍼리프트를 일례로 들었다. 그러나 이에 한정되지 않고, 서포터(10)는 앞서 언급한 서셉터 서포트(1b)일 수도 있다. 서포터(10)는 센터바(18)와 복수의 서포트암(12)을 통해 대상물을 승강하거나 지지하도록 마련되는 구성이면 이를 만족한다. 서포터(10)의 종류는 한정되지 않는다.A supporter 10 may be disposed under the susceptor 1 . In this embodiment, the supporter 10 takes a wafer lift that lifts a wafer as shown in FIGS. 1 to 3 as an example. However, it is not limited thereto, and the supporter 10 may be the aforementioned susceptor support 1b. The supporter 10 satisfies this as long as it is configured to elevate or support an object through the center bar 18 and the plurality of support arms 12 . The type of supporter 10 is not limited.

서포터(10)는 복수의 서포트암(12)과, 복수의 서포트암(12)이 지지되는 센터바(18)를 포함할 수 있다. 서포터(10)는 별도의 승강부재(미도시)에 의해 상하로 이동될 수 있으며, 복수의 서포트암(12)에 의해 지지되는 복수의 리프트핀(19)은 서포터(10)와 일체로 상하로 이동될 수 있으며,, 복수의 리프트핀(19)은 리프트핀홀(1a)을 관통하여 웨이퍼를 승강시킬 수 있다.The supporter 10 may include a plurality of support arms 12 and a center bar 18 on which the plurality of support arms 12 are supported. The supporter 10 can move up and down by a separate lifting member (not shown), and the plurality of lift pins 19 supported by the plurality of support arms 12 move up and down integrally with the supporter 10. The wafer may be moved, and the plurality of lift pins 19 may pass through the lift pin hole 1a to elevate the wafer.

복수의 서포트암(12)은 도 2에서와 같이 상호간에 일정간격 이격되게 센터바(18)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 복수의 서포트암(12)은 센터바(18)에 고정되게 설치될 수 있다. 복수의 서포트암(12)은 설정된 결합위치(17)에서 센터바(18)에 용접, 융접 등의 방식을 통해 결합될 수 있다.As shown in FIG. 2 , the plurality of support arms 12 may be arranged along the circumference of the center bar 18 to be spaced apart from each other at a predetermined interval. A plurality of support arms 12 may be fixedly installed on the center bar 18 . The plurality of support arms 12 may be coupled to the center bar 18 at the set coupling position 17 through welding, fusion, or the like.

복수의 서포트암(12)은 암바디(14)와 지지부재(16)를 포함할 수 있다. 암바디(14)와 지지부재(16)는 일체로 형성될 수 있다. 복수의 암바디(14)와 복수의 지지부재(16)는 안정적인 웨이퍼의 지지를 위해 상호간에 이격되게 배치될 수 있다. 암바디(14)의 일단은 센터바(18)의 결합위치(17)에 결합되도록 구성될 수 있으며, 타단에는 지지부재(16)가 연결될 수 있다.The plurality of support arms 12 may include arm bodies 14 and support members 16 . The arm body 14 and the support member 16 may be integrally formed. The plurality of arm bodies 14 and the plurality of support members 16 may be spaced apart from each other for stable wafer support. One end of the arm body 14 may be configured to be coupled to the coupling position 17 of the center bar 18, and the support member 16 may be connected to the other end.

복수의 지지부재(16)는 플레이트형상으로 구성될 수 있다. 복수의 지지부재(16)에는 리프트핀(19, 도 1 참고)이 지지될 수 있다. 복수의 지지부재(16)는 센터바(18)와의 관계에서 직각도(perpendicularity)가 중요한 요소이며, 웨이퍼와의 관계에서 평면도(flatness)가 중요한 요소이다. 즉, 웨이퍼의 안정적인 지지를 위해 복수의 지지부재(16)의 직각도(perpendicularity)와 평면도(flatness)가 중요한 요소이다. A plurality of support members 16 may be configured in a plate shape. Lift pins 19 (see FIG. 1 ) may be supported by the plurality of support members 16 . In the plurality of support members 16, perpendicularity is an important factor in relation to the center bar 18, and flatness is an important factor in relation to the wafer. That is, the perpendicularity and flatness of the plurality of support members 16 are important factors for stable support of the wafer.

그러나 복수의 서포트암(12)을 센터바(18)에 결합하는 과정에서, 복수의 서포트암(12)의 지지부재(16)가 각기 다른 직각도와 평면도로 배치되거나, 결합공정에 의해 직각도와 평면도가 설정된 범위를 초과하도록 결합될 경우, 문제가 될 수 있다.However, in the process of coupling the plurality of support arms 12 to the center bar 18, the support members 16 of the plurality of support arms 12 are arranged in different orthogonality and planarity, or the orthogonality and planarity by the coupling process When combined to exceed the set range, it can be a problem.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치의 사시도, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치의 분해사시도, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치의 단면도이다.Figure 4 is a perspective view of a supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is an exploded perspective view of a supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention it is a cross section

서포터 제조장치(20)는 서포터(10)를 안정적으로 지지함으로써 바람직한 직각도와 평면도를 만족하는 서포터(10)를 제조할 수 있도록 구성될 수 있다. 서포터 제조장치(20)는 고온에서 견딜 수 있도록 고내열성 재질로 구성될 수 있다. 일례로 서포터 제조장치(20)는 카본재질, 세라믹재질 등을 포함할 수 있다. The supporter manufacturing apparatus 20 may be configured to stably support the supporter 10 so as to manufacture the supporter 10 satisfying desirable perpendicularity and planarity. The supporter manufacturing apparatus 20 may be made of a highly heat-resistant material to withstand high temperatures. For example, the supporter manufacturing apparatus 20 may include a carbon material, a ceramic material, and the like.

서포터 제조장치(20)는 베이스프레임(30)과 클램프(40)를 포함할 수 있다.The supporter manufacturing apparatus 20 may include a base frame 30 and a clamp 40 .

베이스프레임(30)은 설치면에 안착될 수 있으며, 서포터 제조장치(20)의 바닥면을 형성할 수 있다.The base frame 30 may be seated on the installation surface and may form the bottom surface of the supporter manufacturing apparatus 20 .

클램프(40)는 베이스프레임(30)에 배치될 수 있다. 클램프(40)는 서포터(10)의 센터바(18)를 고정하도록 구성될 수 있다. 클램프(40)는 센터바(18)가 수직한 방향으로 배치된 상태로 센터바(18)를 지지할 수 있다.The clamp 40 may be disposed on the base frame 30 . The clamp 40 may be configured to fix the center bar 18 of the supporter 10 . The clamp 40 may support the center bar 18 in a state in which the center bar 18 is disposed in a vertical direction.

클램프(40)는 제 1 클램프(41)와, 제 2 클램프(42)를 포함할 수 있다. 제 1 클램프(41)는 베이스프레임(30)에 고정되게 배치되며, 제 2 클램프(42)는 제 1 클램프(41)에 대해 이동가능하게 구성되어, 제 1 클램프(41)와의 사이에 파지공간(44)을 형성할 수 있다. 센터바(18)는 파지공간(44)에 삽입되며, 제 2 클램프(42)는 제 1 클램프(41)로 이동되어, 파지공간(44)에 삽입된 센터바(18)를 고정시킬 수 있다.The clamp 40 may include a first clamp 41 and a second clamp 42 . The first clamp 41 is fixedly disposed on the base frame 30, and the second clamp 42 is configured to be movable with respect to the first clamp 41, and the gripping space between the first clamp 41 and the first clamp 41 (44) can be formed. The center bar 18 is inserted into the gripping space 44, and the second clamp 42 is moved to the first clamp 41 to fix the center bar 18 inserted into the gripping space 44. .

클램프(40)는 푸쉬부(46)를 포함할 수 있다. 푸쉬부(46)는 베이스프레임(30)에 고정될 수 있다. 푸쉬부(46)는 이동가능하게 구성되는 제 2 클램프(42)에 결합되어, 제 2 클램프(42)를 이동시킬 수 있다. 푸쉬부(46)는, 베이스프레임(30)에 고정되는 푸쉬바디(46b)와, 푸쉬바디(46b)에 이동가능하게 결합되는 푸쉬돌기(46a)를 포함할 수 있다. 자세하게는, 푸쉬부(46)는, 제 2 클램프(42)의 고정홈(42a)에 결합되는 푸쉬돌기(46a)를 포함하고, 푸쉬돌기(46a)의 제어를 통해 제 2 클램프(42)의 이동거리를 조절할 수 있다.The clamp 40 may include a push part 46 . The push unit 46 may be fixed to the base frame 30 . The push unit 46 is coupled to the second clamp 42 configured to be movable, and can move the second clamp 42 . The push unit 46 may include a push body 46b fixed to the base frame 30 and a push protrusion 46a movably coupled to the push body 46b. In detail, the push unit 46 includes a push protrusion 46a coupled to the fixing groove 42a of the second clamp 42, and the push protrusion 46a controls the movement of the second clamp 42. You can adjust the travel distance.

클램프(40)는 프로브(미도시)를 포함할 수 있다. 프로브는 클램프(40)에 고정된 센터바(18)의 직각도(perpendicularity)를 측정할 수 있다. 즉, 프로브는 베이스프레임(30)의 상면에 대한 센터바(18)의 직각도를 측정함으로서, 센터바(18)의 고정상태를 감지할 수 있다.The clamp 40 may include a probe (not shown). The probe may measure the perpendicularity of the center bar 18 fixed to the clamp 40. That is, the probe can detect the fixed state of the center bar 18 by measuring the perpendicularity of the center bar 18 with respect to the upper surface of the base frame 30 .

서포터 제조장치(20)는 복수의 지지프레임(50)과 고정프레임(60)을 포함할 수 있다.The supporter manufacturing apparatus 20 may include a plurality of support frames 50 and a fixing frame 60 .

복수의 지지프레임(50)은 베이스프레임(30)에 고정되게 배치될 수 있다. 복수의 지지프레임(50)은 서포터(10)의 높이에 대응되는 높이를 갖도록 구성될 수 있다. 복수의 지지프레임(50)은 이후 설명하는 고정프레임(60)과 함께 복수의 서포트암(12)을 고정 및 지지하도록 구성될 수 있다.The plurality of support frames 50 may be fixedly disposed on the base frame 30 . The plurality of support frames 50 may be configured to have a height corresponding to the height of the supporter 10 . The plurality of support frames 50 may be configured to fix and support the plurality of support arms 12 together with the fixing frame 60 to be described later.

복수의 지지프레임(50)은 베이스프레임(30)에 둘레를 따라 원주방향으로 상호 간에 일정간격 이격되게 배치될 수 있다. 복수의 지지프레임(50)의 이격배치는 복수의 서포트암(12)의 이격배치와 대응되도록 구성될 수 있다. 본 실시예에서는 서포터(10)는 서포트암(12)이 세 개 배치되고, 이에 대응되는 복수의 지지프레임(50)도 세 개가 배치되는 것을 일례로 들었다. 이들 세 개의 서포트암(12)과 지지프레임(50)은 각각 120도 간격으로 이격되게 배치되는 것을 일례로 들었다. 그러나 서포트암(12)과 지지프레임(50)의 개수는 한정되지 않으며, 그 이격각도도 한정되지 않는다.The plurality of support frames 50 may be spaced apart from each other at regular intervals in the circumferential direction along the circumference of the base frame 30 . The spaced arrangement of the plurality of support frames 50 may be configured to correspond to the spaced arrangement of the plurality of support arms 12 . In the present embodiment, as an example, the supporter 10 includes three support arms 12 and three support frames 50 corresponding thereto. As an example, the three support arms 12 and the support frame 50 are spaced apart at intervals of 120 degrees. However, the number of the support arm 12 and the support frame 50 is not limited, and the separation angle is also not limited.

서포터 제조장치(20)는 고정프레임(60)을 포함할 수 있다.The supporter manufacturing apparatus 20 may include a fixing frame 60 .

고정프레임(60)은 복수의 지지프레임(50)의 상부에서 복수의 지지프레임(50)에 결합되도록 구성될 수 있다. 고정프레임(60)은 하나의 부재로 구성되어, 복수의 지지프레임(50)들 상부에 모두 연결 및 고정될 수 있다. The fixed frame 60 may be configured to be coupled to the plurality of support frames 50 at the top of the plurality of support frames 50 . The fixing frame 60 is composed of a single member, and may be connected and fixed to all of the upper portions of the plurality of support frames 50 .

고정프레임(60)은 서포트암(12)들이 고정되도록 구성될 수 있다. 자세하게는 고정프레임(60)은 서포트암(12)들의 지지부재(16)들을 고정하도록 구성될 수 있다. 고정프레임(60)은 서포트암(12)들의 지지부재(16)들이 고정된 상태에서 지지프레임(50)에 결합될 수 있다. 또한 고정프레임(60)은 복수의 서포트암(12)들이 센터바(18)의 설정된 결합위치(17)에 위치하도록 복수의 지지프레임(50)에 결합될 수 있다.The fixing frame 60 may be configured such that the support arms 12 are fixed. In detail, the fixing frame 60 may be configured to fix the support members 16 of the support arms 12 . The fixed frame 60 may be coupled to the support frame 50 in a state in which the support members 16 of the support arms 12 are fixed. In addition, the fixing frame 60 may be coupled to the plurality of support frames 50 so that the plurality of support arms 12 are positioned at the set coupling positions 17 of the center bar 18 .

고정프레임(60)은 고정프레임몸체(61)와 부재고정부(66)를 포함할 수 있다.The fixed frame 60 may include a fixed frame body 61 and a member fixing part 66 .

고정프레임몸체(61)는 환형의 형상을 가지도록 구성될 수 있다. 고정프레임몸체(61)는 복수의 지지프레임(50)의 각각의 상부에 배치되도록 구성될 수 있다.The fixed frame body 61 may be configured to have an annular shape. The fixed frame body 61 may be configured to be disposed on top of each of the plurality of support frames 50 .

고정프레임몸체(61)는 하나의 부재로 구성될 수 있다. 이를 통해, 복수의 지지부재(16)를 하나의 고정프레임(60)으로 고정시킴으로서, 고정프레임(60)의 직각도와 평면도를 조절함으로서, 복수의 지지부재(16)의 직각도와 평면도를 설정된 범위내에서 일정하게 조절할 수 있다. 설정된 직각도는 0mm이상 0.1mm이하일 수 있다. 지지부재(16)의 직각도의 기준은 센터바(18)일 수 있으나, 그 기준은 한정되지 않는다. 설정된 평면도는 0mm이상 0.1mm이하일 수 있다. 지지부재(16)의 평면도의 기준은 베이스프레임(30) 또는 베이스프레임(30)의 상면일 수도 있다. 또한 평면도의 기준은 설치면일 수도 있다. 또한 평면도의 기준은 복수의 지지부재(16)들 서로가 기준이 될 수 있다. 일례로 복수의 지지부재(16)들 중 어느 하나의 지지부재(16)가 형성하는 가상의 평면이 기준이 될 수도 있으며, 나머지 지지부재(16)들은 상기 가상의 평면을 기준으로 평면도가 측정될 수도 있다.The fixed frame body 61 may be composed of one member. Through this, by fixing the plurality of support members 16 as one fixing frame 60, by adjusting the perpendicularity and flatness of the fixing frame 60, the perpendicularity and the flatness of the plurality of support members 16 are within the set range. can be constantly adjusted. The set perpendicularity may be 0 mm or more and 0.1 mm or less. The criterion of the perpendicularity of the support member 16 may be the center bar 18, but the criterion is not limited. The set flatness may be 0 mm or more and 0.1 mm or less. The reference of the plan view of the support member 16 may be the base frame 30 or the upper surface of the base frame 30 . Also, the standard of the floor plan may be the installation surface. In addition, the basis of the plan view may be a plurality of support members 16 each other. For example, a virtual plane formed by any one of the plurality of support members 16 may be a reference, and the plan view of the remaining support members 16 may be measured based on the virtual plane. may be

고정프레임몸체(61)는 지지부재(16)가 수용 또는 안착되도록 수용공간(62)을 형성하며, 고정프레임몸체(61)의 하면보다 오목하게 형성되는 수용홈(64)을 포함할 수 있다. The fixed frame body 61 forms an accommodating space 62 so that the support member 16 is accommodated or seated therein, and may include an accommodating groove 64 concavely formed from the lower surface of the fixed frame body 61 .

부재고정부(66)는 고정프레임몸체(61)에 분리가능하게 결합될 수 있다. 부재고정부(66)는 플레이트형상으로 구성되어 수용공간(62)을 덮도록 구성될 수 있다. The member fixing part 66 may be detachably coupled to the fixing frame body 61. The member fixing part 66 may be configured in a plate shape to cover the accommodation space 62 .

부재고정부(66)는 지지부재(16)들에 대응되도록 복수개가 구비될 수 있다. 복수의 부재고정부(66)는 고정프레임몸체(61)의 수용공간(62)에 배치된 서포트암(12)의 지지부재(16)들을 각각 고정하도록 고정프레임몸체(61)에 결합될 수 있다. 즉, 서포트암(12)의 지지부재(16)들은 고정프레임몸체(61)의 수용홈(64)과 복수의 부재고정부(66)사이에 각각 개재될 수 있다. 지지부재(16)의 상면은 고정프레임몸체(61)의 수용홈(64)에 접촉하고, 지지부재(16)의 하면은 부재고정부(66)에 접촉할 수 있다. 서포트암(12)의 지지부재(16)가 개재된 상태에서 부재고정부(66)를 고정프레임몸체(61)에 결합시킴으로서, 서포트암(12)을 고정프레임(60)에 대해 고정시킬 수 있다.A plurality of member fixing parts 66 may be provided to correspond to the support members 16 . The plurality of member fixing parts 66 may be coupled to the fixing frame body 61 to fix the support members 16 of the support arm 12 disposed in the receiving space 62 of the fixing frame body 61, respectively. . That is, the support members 16 of the support arm 12 may be interposed between the receiving groove 64 of the fixing frame body 61 and the plurality of member fixing parts 66, respectively. The upper surface of the support member 16 may contact the receiving groove 64 of the fixed frame body 61, and the lower surface of the support member 16 may contact the member fixing part 66. By coupling the member fixing part 66 to the fixing frame body 61 in a state where the support member 16 of the support arm 12 is interposed, the support arm 12 can be fixed to the fixing frame 60. .

복수의 지지프레임(50)은 프레임안착부(52)를 포함할 수 있다.The plurality of support frames 50 may include frame seating parts 52 .

프레임안착부(52)는 고정프레임(60)이 안착 및 결합되도록 구성될 수 있다. 자세하게는 프레임안착부(52)에는 서포트암(12)이 고정된 고정프레임(60)이 안착 및 결합될 수 있다.The frame seating portion 52 may be configured to seat and couple the fixing frame 60 . In detail, the fixing frame 60 to which the support arm 12 is fixed may be seated and coupled to the frame seating portion 52 .

프레임안착부(52)는 부재안착부(54)와 바디안착부(56)를 포함할 수 있다.The frame mounting portion 52 may include a member mounting portion 54 and a body mounting portion 56 .

부재안착부(54)는 고정프레임(60)이 안착 또는 수용되도록 구성될 수 있다. 자세하게는 부재안착부(54)는 고정프레임(60)의 부재고정부(66)가 안착 또는 수용되도록 구성될 수 있다. 부재안착부(54)는 부재고정부(66)의 하면이 지지되도록 구성될 수 있다.The member seating portion 54 may be configured such that the fixing frame 60 is seated or accommodated. In detail, the member seating portion 54 may be configured such that the member fixing portion 66 of the fixing frame 60 is seated or accommodated. The member seating portion 54 may be configured such that the lower surface of the member fixing portion 66 is supported.

바디안착부(56)는 서포트암(12)의 암바디(14)를 수용하도록 구성될 수 있다. 고정프레임(60)이 부재안착부(54)에 안착될 때, 바디안착부(56)에는 고정프레임(60)에 고정된 서포트암(12)들의 암바디(14)들이 수용될 수 있다.The body seating portion 56 may be configured to accommodate the arm body 14 of the support arm 12 . When the fixing frame 60 is seated on the member seating portion 54, the arm bodies 14 of the support arms 12 fixed to the fixing frame 60 may be accommodated in the body seating portion 56.

바디안착부(56)는 지지프레임(50)의 상면(51)보다 오목한 홈의 형상으로 형성될 수 있다. 암바디(14)는 센터바(18)에 대해 일정각도 기울어지게 결합되므로, 바디안착부(52)도 지지프레임(50)의 몸체상면에서 일정각도 기울어지도록 오목하게 형성될 수 있다.The body seating portion 56 may be formed in the shape of a groove more concave than the upper surface 51 of the support frame 50 . Since the arm body 14 is coupled at a predetermined angle with respect to the center bar 18, the body mounting portion 52 may also be formed concave to be inclined at a predetermined angle from the upper surface of the body of the support frame 50.

프레임안착부(52)는 정렬부(58)를 포함할 수 있다.The frame seating part 52 may include an alignment part 58 .

정렬부(58)는 부재안착부(54)와 인접하게 배치되어, 고정프레임(60)의 복수의 지지프레임(50)에 대한 결합위치를 정렬하도록 구성될 수 있다. 정렬부(58)는 부재안착부(54)의 내측에서 부재안착부(54)로부터 단턱지게 구성될 수 있다. 정렬부(58)는 복수의 지지프레임(50)에 대응되도록 세 개가 배치될 수 있으며, 부재안착부(54)보다 내측 또는 원심방향에 배치됨으로서, 고정프레임(60)이 프레임안착부(52)에 안착될 때, 위치가 정렬되도록 구성될 수 있다. 즉, 정렬부(58)는 부재안착부(54)에 안착된 부재고정부(66)를 단턱구조에 의해 이동을 제한함으로서, 복수의 지지프레임(50)에 대한 고정프레임(60)의 위치를 정렬할 수 있다. 고정프레임(60)의 결합홈(67)과 정렬부(58)은 볼팅결합됨으로서, 정렬된 고정프레임(60)은 복수의 지지프레임(50)에 결합될 수 있다. The aligning unit 58 may be disposed adjacent to the member seating unit 54 to align the coupling positions of the fixing frame 60 with respect to the plurality of support frames 50 . The alignment unit 58 may be configured to be stepped from the member seating portion 54 on the inside of the member seating portion 54 . Three aligning units 58 may be arranged to correspond to the plurality of support frames 50, and are disposed in the inner or centrifugal direction than the member seating portion 54, so that the fixed frame 60 is the frame seating portion 52 When seated on, the position may be configured to align. That is, the aligning unit 58 limits the movement of the member fixing unit 66 seated on the member seating unit 54 by a stepped structure, thereby changing the position of the fixing frame 60 relative to the plurality of support frames 50. can be sorted As the coupling groove 67 and the alignment part 58 of the fixed frame 60 are bolted together, the aligned fixed frame 60 can be coupled to a plurality of support frames 50 .

서포터 제조장치(20)는 보조지지프레임(70)을 포함할 수 있다.The supporter manufacturing apparatus 20 may include an auxiliary support frame 70 .

보조지지프레임(70)은 복수의 지지프레임(50)을 연결하도록 구성될 수 있다. 보조지지프레임(70)은 복수의 지지프레임(50)간의 간격이 유지되도록 복수의 지지프레임(50)을 지지하되, 센터바(18)가 프레임홀(70a)을 관통할 수 있도록 구성될 수 있다.Auxiliary support frame 70 may be configured to connect a plurality of support frames (50). The auxiliary support frame 70 supports the plurality of support frames 50 so that a distance between the plurality of support frames 50 is maintained, but the center bar 18 may be configured to pass through the frame hole 70a. .

자세하게는 복수의 지지프레임(50)은 그 내측에 오목한 결합홈(59)을 각각 구비하고, 보조지지프레임(70)은 복수의 지지프레임(50)의 결합홈(59)들에 장착될 수 있다. 보조지지프레임(70)은 서포터 제조장치(20)의 서포터(10)가 안착되는 안착공간(20a, 도 4 참고)에 배치되므로, 결합홈(59)들도 안착공간(20a)을 향하도록 배치될 수 있다.In detail, each of the plurality of support frames 50 has concave coupling grooves 59 therein, and the auxiliary support frame 70 may be mounted in the coupling grooves 59 of the plurality of support frames 50. . Since the auxiliary support frame 70 is disposed in the seating space 20a (see FIG. 4) in which the supporter 10 of the supporter manufacturing apparatus 20 is seated, the coupling grooves 59 are also arranged facing the seating space 20a. It can be.

이를 통해 보조지지프레임(70)은 복수의 지지프레임(50)간의 이격간격을 유지할 수 있으며, 복수의 지지프레임(50)을 안정적으로 지지할 수 있다.Through this, the auxiliary support frame 70 can maintain a distance between the plurality of support frames 50 and stably support the plurality of support frames 50 .

또한 앞서 설명한 바와 같이, 보조지지프레임(70)은 센터바(18)의 단면형상과 대응되는 형상으로 형성되는 프레임홀(70a)을 구비할 수 있다. 센터바(18)는 클램프(40)에 의해 고정되되, 보조지지프레임(70)의 프레임홀(70a)을 관통하여 보조지지프레임(70)에 의해 측면이 지지됨으로서, 수직된 상태로 지지될 수 있다.In addition, as described above, the auxiliary support frame 70 may have a frame hole 70a formed in a shape corresponding to the cross-sectional shape of the center bar 18 . The center bar 18 is fixed by the clamp 40, and as the side surface is supported by the auxiliary support frame 70 through the frame hole 70a of the auxiliary support frame 70, it can be supported in a vertical state. there is.

이하는 상기 구성에 따른 서포터 제조장치(20)에 의한 서포터(10)의 제조방법에 대해서 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the supporter 10 by the supporter manufacturing apparatus 20 according to the above configuration will be described.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치에 서포터를 장착하는 동작에 관한 도면, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치에 서포터가 고정배치된 것을 도시한 도면, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포터 제조장치에 서포터의 서포트암이 고정배치된 것을 도시한 도면이다.7 is a view showing an operation of mounting a supporter in the supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a view showing supporters fixedly arranged in the supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. 9 is a view showing that the support arm of the supporter is fixedly arranged in the supporter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

센터바(18)를 베이스프레임(30)에 배치된 클램프(40)에 고정시킬 수 있다. 프로브를 통해 클램프(40)의 고정된 센터바(18)의 직각도를 감지할 수 있으며, 센터바(18)가 수직한 상태가 되도록 구성될 수 있다. 수직의 기준은 베이스프레임(30)의 상면일 수도 있으며, 설치면일 수도 있다.The center bar 18 may be fixed to the clamp 40 disposed on the base frame 30 . The perpendicularity of the fixed center bar 18 of the clamp 40 can be detected through the probe, and the center bar 18 can be configured to be in a vertical state. The vertical reference may be the upper surface of the base frame 30 or may be the installation surface.

복수의 서포트암(12)을 고정프레임(60)에 고정시킬 수 있다. 자세하게는 서포트암(12)의 지지부재(16)를 고정프레임(60)의 고정프레임몸체(61)와 부재고정부(66)사이에 개재 및 고정시킴으로서, 복수의 서포트암(12)을 도 7과 같이 고정프레임(60)에 고정시킬 수 있다.A plurality of support arms 12 may be fixed to the fixing frame 60 . In detail, by interposing and fixing the support member 16 of the support arm 12 between the fixed frame body 61 of the fixed frame 60 and the member fixing part 66, a plurality of support arms 12 are formed in FIG. It can be fixed to the fixed frame 60 as such.

복수의 서포트암(12)이 고정된 고정프레임(60)을 복수의 지지프레임(50)에 안착 및 고정 시킬 수 있다. 자세하게는 고정프레임(60)의 부재고정부(66)를 부재안착부(54)에 안착시키고, 고정프레임(60)을 정렬부(58)의 단턱형상을 통해 설정된 위치에 정렬시킬 수 있다. 정렬부(58)와 고정프레임(60)의 결합홀(67)이 일치하도록 위치시키고, 볼팅결합함으로서, 고정프레임(60)을 지지프레임(50)에 고정시킬 수 있다. The fixing frame 60 to which the plurality of support arms 12 are fixed may be seated and fixed to the plurality of support frames 50 . In detail, the member fixing part 66 of the fixing frame 60 may be seated on the member seating part 54, and the fixing frame 60 may be aligned at a set position through the stepped shape of the aligning part 58. The fixing frame 60 can be fixed to the support frame 50 by positioning the aligning part 58 and the coupling hole 67 of the fixing frame 60 to match, and combining with bolting.

고정프레임(60)을 복수의 지지프레임(50)에 결합시킴으로서, 서포트암(12)의 지지부재(16)는 설정된 직각도와 평면도를 갖도록 고정배치될 수 있다. 지지부재(16)의 직각도의 기준은 센터바(18)일 수 있다. 또한 지지부재(16)의 평면도의 기준은 베이스프레임(30)의 상면일 수도 있다. 또한 그 기준은 설치면일 수도 있다. 또한 앞서 언급한 바와 같이, 복수의 지지부재(16)들 서로가 기준이 될 수도 있다.By coupling the fixed frame 60 to the plurality of support frames 50, the support member 16 of the support arm 12 can be fixedly arranged to have a set perpendicularity and plan view. The criterion for perpendicularity of the support member 16 may be the center bar 18 . Also, the base of the plan view of the support member 16 may be the upper surface of the base frame 30 . Also, the criterion may be the installation surface. Also, as mentioned above, the plurality of support members 16 may be referenced to each other.

이와 같이 센터바(18)는 클램프(40)에 의해 고정될 수 있으며, 서포트암(12)들은 고정프레임(60)에 의해 고정될 수 있다. 서포트암(12)들의 암바디(14)들 단부는 고정프레임(60)이 지지프레임(50)들에 결합되면서, 센터바(18)의 결합위치(17)들에 위치할 수 있다. In this way, the center bar 18 may be fixed by the clamp 40, and the support arms 12 may be fixed by the fixing frame 60. End portions of the arm bodies 14 of the support arms 12 may be positioned at coupling positions 17 of the center bar 18 while the fixing frame 60 is coupled to the support frames 50 .

이와 같이 서포터 제조장치(20)를 통해, 센터바(18)와 서포트암(12)들은 각각 고정된 상태에서 결합위치(17)에서의 용접, 접합과 같은 결합공정이 수행될 수 있다. 이를 통해 결합공정과정에서 양 구성들간의 배치각도, 배치위치가 달라짐으로서, 서포트암(12)의 지지부재(16)의 직각도와 평면도가 설정된 범위로부터 벗어나는 것을 방지할 수 있으며, 서포터(10)의 제조품질을 향상시키고, 공차발생을 최소화할 수 있다.In this way, through the supporter manufacturing apparatus 20, the center bar 18 and the support arms 12 may be coupled to each other in a fixed state, such as welding and joining at the coupling position 17. Through this, as the arrangement angle and arrangement position of both components are changed in the course of the coupling process, it is possible to prevent the orthogonality and flatness of the support member 16 of the support arm 12 from being out of the set range, and the supporter 10 Manufacturing quality can be improved and tolerances can be minimized.

이상에서는 특정의 실시예에 대하여 도시하고 설명하였다. 그러나, 상기한 실시예에만 한정되지 않으며, 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경 실시할 수 있을 것이다.In the above, specific embodiments have been illustrated and described. However, it is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art will be able to make various changes without departing from the gist of the technical idea of the invention described in the claims below. .

1 : 서셉터 1a : 리프트핀홀
3 : 공정챔버 10 : 서포터
12 : 서포트암 14 : 암바디
16 : 지지부재 18 : 센터바
19 : 리프트핀
20 : 서포터 제조장치 30 : 베이스프레임
40 : 클램프 50 : 지지프레임
52 : 고정프레임 안착부 54 : 부재안착부
56 : 바디안착부 58 : 정렬부
60 : 고정프레임 61 : 고정프레임몸체
66 : 부재고정부 1: susceptor 1a: lift pinhole
3: process chamber 10: supporter
12: support arm 14: arm body
16: support member 18: center bar
19: lift pin
20: supporter manufacturing device 30: base frame
40: clamp 50: support frame
52: fixed frame seating part 54: member seating part
56: body seating part 58: alignment part
60: fixed frame 61: fixed frame body
66: member fixing part

Claims (10)

센터바와, 상기 센터바에 연결가능하게 구성되는 복수의 서포트암을 포함하는 서포터를 제조하는 서포터 제조장치로서,
베이스프레임;
상기 센터바를 고정하도록 마련되는 클램프;
상기 베이스프레임의 둘레를 따라 이격배치되는 복수의 지지프레임; 및
상기 복수의 서포트암이 고정되는 고정프레임으로서, 상기 센터바의 설정된 결합위치에 상기 복수의 서포트암이 위치하도록 상기 복수의 지지프레임에 결합가능하게 구성되는 고정프레임;을 포함하는 서포터 제조장치.A supporter manufacturing apparatus for manufacturing a supporter including a center bar and a plurality of support arms configured to be connectable to the center bar,
base frame;
a clamp provided to fix the center bar;
A plurality of support frames spaced apart along the circumference of the base frame; and
A supporter manufacturing apparatus comprising: a fixing frame to which the plurality of support arms are fixed, and configured to be coupled to the plurality of support frames so that the plurality of support arms are positioned at the set coupling position of the center bar. 제 1 항에 있어서,
상기 고정프레임은,
상기 복수의 지지프레임들에 모두 연결 및 고정되도록 구성되는 서포터 제조장치.According to claim 1,
The fixed frame,
A supporter manufacturing apparatus configured to be connected and fixed to all of the plurality of support frames. 제 1 항에 있어서,
상기 고정프레임은,
원주방향으로 상호 이격되게 배열되는 상기 복수의 지지프레임의 상부에 대응되도록 환형으로 구성되는 서포터 제조장치.According to claim 1,
The fixed frame,
Supporter manufacturing apparatus configured in an annular shape to correspond to the upper portions of the plurality of support frames arranged spaced apart from each other in the circumferential direction. 제 1 항에 있어서,
상기 복수의 서포트암은,
일단이 상기 센터바의 상기 결합위치에 연결가능하게 구성되는 암바디; 및
상기 암바디 타단에 연결되어, 리프트핀이 지지가능하게 구성되는 지지부재;를 포함하고,
상기 고정프레임은,
상기 복수의 서포트암의 지지부재들이 안착되는 고정프레임몸체; 및
상기 고정프레임몸체에 결합가능하게 구성되는 복수의 부재고정부로서, 상기 고정프레임몸체와 상기 복수의 부재고정부 사이에 각각 개재된 상기 지지부재들을 고정하도록 구성되는 복수의 부재고정부;를 포함하는 서포터 제조장치.According to claim 1,
The plurality of support arms,
an arm body having one end connectable to the coupling position of the center bar; and
A support member connected to the other end of the arm body and configured to support a lift pin;
The fixed frame,
a fixed frame body on which support members of the plurality of support arms are seated; and
A plurality of member fixing parts configured to be coupled to the fixed frame body, and configured to fix the support members interposed between the fixed frame body and the plurality of member fixing parts, respectively; Supporter manufacturing device. 제 4 항에 있어서,
상기 지지프레임은,
상기 고정프레임이 안착되는 프레임안착부;를 포함하고,
상기 프레임안착부는,
상기 부재고정부가 안착되는 부재안착부; 및
상기 고정프레임에 고정된 상기 복수의 서포트암의 상기 암바디가 안착되는 바디안착부;를 포함하는 서포터 제조장치.According to claim 4,
The support frame,
Including; a frame seating portion on which the fixed frame is seated,
The frame mounting part,
a member seating portion on which the member fixing portion is seated; and
A supporter manufacturing apparatus comprising: a body seating portion on which the arm bodies of the plurality of support arms fixed to the fixing frame are seated. 제 5 항에 있어서,
상기 프레임안착부는,
상기 부재안착부와 인접하게 배치되어, 상기 고정프레임의 결합위치를 정렬하도록 구성되는 정렬부로서, 상기 부재안착부로부터 단차지게 구성되는 정렬부;를 포함하는 서포터 제조장치.According to claim 5,
The frame mounting part,
An aligning unit disposed adjacent to the member seating portion and configured to align the coupled position of the fixing frame, the aligning unit configured to be stepped from the member seating portion. 제 5 항에 있어서,
상기 바디안착부는,
상기 암바디가 일정각도 기울어지게 지지되도록, 상기 지지프레임의 상면으로부터 경사지게 오목한 홈으로 형성되는 서포터 제조장치.According to claim 5,
The body mounting part,
Supporter manufacturing apparatus formed as a concave groove inclined from the upper surface of the support frame so that the arm body is supported at a predetermined angle. 제 1 항에 있어서,
상기 복수의 지지프레임은,
상기 클램프와 상기 고정프레임을 이격시키도록, 상기 서포터의 높이에 대응되는 높이로 구성되는 서포터 제조장치.According to claim 1,
The plurality of support frames,
Supporter manufacturing apparatus configured to have a height corresponding to the height of the supporter so as to separate the clamp and the fixing frame. 제 1 항에 있어서,
상기 클램프는,
상기 센터바를 상기 베이스프레임에 대해 직각상태로 고정하도록 상기 베이스프레임에 구비되는 서포터 제조장치.According to claim 1,
The clamp,
Supporter manufacturing apparatus provided on the base frame to fix the center bar in a perpendicular state to the base frame. 제 9 항에 있어서,
상기 클램프는,
상기 센터바가 배치되는 파지공간을 형성하는 제 1 클램프; 및
상기 제 1 클램프에 대해 이동가능하게 구성되어 상기 파지공간에 삽입된 상기 센터바를 고정하는 제 2 클램프;를 포함하는 서포터 제조장치.
According to claim 9,
The clamp,
a first clamp forming a gripping space in which the center bar is disposed; and
and a second clamp configured to be movable relative to the first clamp and fixing the center bar inserted into the gripping space.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000260851A (en) 1999-02-12 2000-09-22 Applied Materials Inc Wafer-support device in semiconductor manufacturing apparatus
JP2003073177A (en) 2001-08-31 2003-03-12 Kyocera Corp Ceramic compact bonding device and method of manufacturing ceramic bonded compact
JP2006232576A (en) 2005-02-22 2006-09-07 Ngk Insulators Ltd Ceramic sintered compact joining device and ceramic sintered compact joining method
JP2014192364A (en) 2013-03-27 2014-10-06 Epicrew Inc Susceptor support part and epitaxial growth system with the same
KR101586426B1 (en) 2014-07-25 2016-02-02 공준호 Repair method for susceptor

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101432916B1 (en) * 2013-01-04 2014-08-21 주식회사 엘지실트론 Wafer lift apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000260851A (en) 1999-02-12 2000-09-22 Applied Materials Inc Wafer-support device in semiconductor manufacturing apparatus
JP2003073177A (en) 2001-08-31 2003-03-12 Kyocera Corp Ceramic compact bonding device and method of manufacturing ceramic bonded compact
JP2006232576A (en) 2005-02-22 2006-09-07 Ngk Insulators Ltd Ceramic sintered compact joining device and ceramic sintered compact joining method
JP2014192364A (en) 2013-03-27 2014-10-06 Epicrew Inc Susceptor support part and epitaxial growth system with the same
KR101586426B1 (en) 2014-07-25 2016-02-02 공준호 Repair method for susceptor

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