KR102502062B1 - 구동 및 검출 겸용 mems 요레이트 센서 - Google Patents

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로베르트 보쉬 게엠베하
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Abstract

본 발명은 주 연장 평면을 구비한 기판과, 기판에 대해 상대 운동이 가능한 하나 이상의 구조를 포함하는 요레이트 센서에 관한 것이며, 구조는 주 연장 평면에 대해 실질적으로 평행한 구동 방향에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 진동을 하도록 구조 자신의 휴지 위치로부터 여기될 수 있고, 상기 요레이트 센서는 진동의 여기를 위해 구조와 함께 종동하는 하나 이상의 빗 모양 전극과, 기판에 상대적으로 고정되어 있는 하나 이상의 빗 모양 전극을 포함하고, 종동형 빗 모양 전극 및/또는 고정형 빗 모양 전극으로의 전압 인가를 통해 여기가 야기될 수 있으며, 종동형 빗 모양 전극 및 고정형 빗 모양 전극은, 구동 방향에 대해 실질적으로 수직인 검출 방향을 따르는 힘 성분으로 구조에 작용하는 힘 작용이 구동 방향에 대해 실질적으로 수직으로, 그리고 검출 방향에 대해 실질적으로 수직으로 연장되는 축을 중심으로 하는 요레이트 센서의 요레이트를 기반으로 검출될 수 있도록 형성된다.

Description

구동 및 검출 겸용 MEMS 요레이트 센서
본 발명은 청구항 제1항의 전제부에 따르는 요레이트 센서(yaw rate sensor)에 관한 것이다.
상기 유형의 요레이트 센서는 예컨대 DE 10 2007 030 120 A1호로부터 공지되어 있다.
본 발명에 따른 요레이트 센서는, 종래 기술에 비해, 요레이트 센서가 종래 기술에 비해 작은 기판 면적 상에서 가능해진다는 장점을 갖는데, 그 이유는 요레이트 센서의 미소 기계식 구조의 경우 종래 기술에 비해 작은 기판 면적만이 요레이트의 검출을 위해 요구되기 때문이다.
이는, 본 발명에 따른 요레이트 센서의 경우, 종동형 빗 모양 전극(concomitantly moved comb-shaped electrode)과 고정형 빗 모양 전극(stationary comb-shaped electrode)은, 구동 방향에 대해 실질적으로 수직인 검출 방향을 따르는 힘 성분으로 구조에 작용하는 힘 작용이 구동 방향에 대해 실질적으로 수직으로, 그리고 검출 방향에 대해 실질적으로 수직으로 연장되는 축을 중심으로 하는 요레이트 센서의 요레이트를 기반으로 검출될 수 있도록 형성되는 것을 통해 달성된다.
이로써, 요레이트 센서는, 간단하고 기계적으로 견고하며 비용 효과적인 방식으로, 종래 기술에 비해 작은 기판 면적으로 제공된다. 이로써, 특히 요레이트 센서의 코어 면적(core area)의 분명한 감소가 가능해진다. 또한, 그에 따라, 구동 구조를 위한 별도의 구조 부재들이 필요하지 않도록, 면적에 있어 상대적으로 큰 구동 구조의 영역이 MEMS 구조 내에 통합되는 점도 가능해진다. 특히 종래 기술과 비교되는 장점들은, 구동을 위해서뿐만 아니라, 요레이트에 대한 척도로서의 코리올리스 힘(Coriolis force)을 기반으로 하는 힘 작용의 검출을 위해서도 종동형 빗 모양 전극 및 고정형 빗 모양 전극의 다중 사용이 제공되는 것을 통해 가능해진다. 이 경우, 코리올리스 프레임과 검출 프레임으로의 구조의 분할은 생략되며, 두 프레임 또는 질량 또는 구조는 하나의 구조에 통합된다. 이런 통합을 통해, 요레이트 센서의 면적 중 최대 20 ~ 40%까지 절약되며, 이는 제조 비용의 절감으로 이어진다.
본 발명의 바람직한 구현예들 및 개선예들은 종속 청구항들에서뿐 아니라 도면들을 참조로 한 기재내용에서도 확인될 수 있다.
바람직한 개선예에 따라서, 본원의 요레이트 센서는, 구조가 구동 방향에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분 및/또는 검출 방향에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 편향될 수 있는 방식으로, 기판에 고정되어 구조를 기판에 대해 상대 운동이 가능하게 현수하기 위한 하나 이상의 현수 수단(hanging means)을 포함한다. 이로써, 바람직한 방식으로, 본 발명에 따른 요레이트 센서의 진동 거동이 가능해지는 방식으로, 구조가 기판에 대해 상대 운동이 가능하게 현수되는 점이 가능해진다.
바람직한 개선예에 따라서, 현수 수단은 실질적으로 구동 방향으로, 그리고/또는 실질적으로 검출 방향으로 변형될 수 있는 하나 이상의 스프링을 포함한다. 이로써, 바람직하게는, 간단하고 기계적으로 견고하며 비용 효과적인 현수 수단이 제공된다.
바람직한 개선예에 따라서, 종동형 빗 모양 전극은 하나 이상의 제1 전극을 포함하고, 고정형 빗 모양 전극은 하나 이상의 제2 전극 및 하나 이상의 제3 전극을 포함한다. 이로써, 바람직한 방식으로, 용량성 구동 및/또는 용량성 요레이트 검출이 가능해진다. 또한, 그에 따라, 빗 모양 전극들이 전극 핑거부들(electrode finger)을 포함하는 점도 가능하다. 또한, 그에 따라, 구조의 구동을 위해서뿐만 아니라, 요레이트 센서에 인가되는 요레이트에 대한 척도로서 구조에 작용하는 코리올리스 힘, 또는 구조의 코리올리스 편향의 검출을 위해서도 용량성 전극 핑거부들의 다중 사용이 가능하다.
바람직한 개선예에 따라서, 구조가 제1 전위에 의해, 그리고/또는 제2 전위에 의해 진동을 하도록 휴지 위치로부터 여기될 수 있는 방식으로, 종동형 빗 모양 전극은 제1 전위를 인가받을 수 있고, 그리고/또는 고정형 빗 모양 전극은 제2 전위를 인가받을 수 있다. 이로써, 표유 자계(stray field)의 효과가 진동의 여기를 위해 바람직하게 이용된다.
바람직한 개선예에 따라서, 구조에 대한 힘 작용이 제1 정전용량 변화량에 의해, 그리고/또는 제2 정전용량 변화량에 의해 검출될 수 있는 방식으로, 제1 전극과 제2 전극 사이의 제1 정전용량 변화량 및/또는 제1 전극과 제3 전극 사이의 제2 정전용량 변화량이 측정될 수 있다. 그에 따라, 바람직한 방식으로, 구조의 여기를 위해서뿐만 아니라 요레이트 센서에 인가되는 요레이트에 대한 척도로서 구조에 작용하는 코리올리스 힘의 검출을 위해서도 종동형 빗 모양 전극 및 고정형 빗 모양 전극의 다중 사용이 가능하다.
바람직한 개선예에 따라서, 구조는 기판에 대해 상대 운동이 가능한 하나 이상의 제1 부분 구조와, 기판에 대해 그리고 제1 부분 구조에 대해 상대 운동이 가능한 하나 이상의 제2 부분 구조를 포함하고, 제1 부분 구조 및 제2 부분 구조는, 구동 방향에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 각각의 휴지 위치로부터 여기될 수 있으며; 요레이트 센서는, 역위상 진동의 여기를 위해, 고정형 빗 모양 전극과의 각각의 상호작용을 위한, 제1 부분 구조와 함께 종동하는 하나 이상의 빗 모양 전극 및 제2 부분 구조와 함께 종동하는 하나 이상의 빗 모양 전극을 포함하고, 제1 부분 구조와 함께 종동하는 빗 모양 전극 및 제2 부분 구조와 함께 종동하는 빗 모양 전극 및/또는 고정형 빗 모양 전극으로의 전압 인가를 통해 역위상 진동의 여기가 야기될 수 있으며; 제1 부분 구조와 함께 종동하는 빗 모양 전극 및 제2 부분 구조와 함께 종동하는 빗 모양 전극 및 고정형 빗 모양 전극은, 검출 방향에 대해 실질적으로 평행하고 실질적으로 역위상인 힘 성분으로 제1 부분 구조에 대한 제1 추가 힘 작용 및 제2 부분 구조에 대한 제2 추가 힘 작용이 요레이트를 기반으로 검출될 수 있는 방식으로 형성된다. 그에 따라, 바람직한 방식으로, 기생 선형 가속도(parasitic linear acceleration)에 대해 견고한 요레이트 센서는 종래 기술에 비해 작은 기판 면적 상에서 간단하고 기계적으로 견고하며 비용 효과적인 방식으로 가능해진다.
바람직한 개선예에 따라서, 본원의 요레이트 센서는, 제1 부분 구조 및 제2 부분 구조가 역위상 진동을 하도록 여기될 수 있는 방식으로, 그리고/또는 제1 힘 작용 및 제2 힘 작용이 검출될 수 있는 방식으로 제2 부분 구조와 제1 부분 구조를 결합하기 위한 커플링 구조를 포함한다. 그에 따라, 바람직하게는, 기생 선형 가속도에 대한 견고성은 증가된다. 바람직하게는, 커플링 구조는, 제1 부분 구조 및 제2 부분 구조가 역위상 진동을 하도록 편향될 수 있는 점, 및/또는 제1 부분 구조 및 제2 부분 구조가 실질적으로 제1 힘 작용을 따라서, 또는 제2 힘 작용을 따라서 추가 역위상 진동을 하도록 편향될 수 있는 점을 가능하게 한다.
바람직한 개선예에 따라서, 커플링 구조는 실질적으로 검출 방향으로 변형될 수 있는 하나 이상의 추가 스프링을 포함한다. 그에 따라, 간단하고 기계적으로 견고하며 비용 효과적인 방식으로, 제1 부분 구조 및 제2 부분 구조가 추가 역위상 진동을 하도록 편향될 수 있는 점이 보장된다.
도 1은 본 발명의 예시의 제1 실시형태에 따르는 요레이트 센서를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 예시의 제2 실시형태에 따르는 요레이트 센서의 확대된 부분 영역을 도시한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 예시의 제3 실시형태에 따르는 요레이트 센서를 도시한 개략도이다.
다양한 도면들에서, 동일한 부재들에는 항상 동일한 도면부호들이 부여되며, 그로 인해 동일한 부재들은 일반적으로 각각 한 번만 명명되고 언급된다.
도 1에는, 본 발명의 예시의 제1 실시형태에 따르는 요레이트 센서(1)의 개략도가 도시되어 있으며, 요레이트 센서(1)는 주 연장 평면(100)을 구비한 기판(3)과, 기판(3)에 대해 상대 운동이 가능한 구조(5)를 포함한다. 이 경우, 구조(5)는, 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 진동을 하도록, 구조(5)의 도 1에 도시된 휴지 위치로부터 여기될 수 있다. 진동의 여기를 위해, 본원의 요레이트 센서(1)는, 구조(5)와 함께 종동하는, 예를 들어 2개인 빗 모양 전극(9)과, 기판(3)에 상대적으로 고정되어 있는, 예를 들어 2개인 빗 모양 전극(11)을 포함한다. 이로써, 종동형 빗 모양 전극들(9) 및/또는 고정형 빗 모양 전극들(11)로의 전압 인가를 통해 여기가 야기될 수 있다. 또한, 종동형 빗 모양 전극들(9) 및 고정형 빗 모양 전극들(11)은, 검출 방향(13)을 따르는 힘 성분으로 구조(5)에 작용하는 힘 작용이 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 수직으로, 그리고 검출 방향(13)에 대해 실질적으로 수직으로 연장되는 축을 중심으로 하는 요레이트 센서(1)의 요레이트를 기반으로 검출될 수 있는 방식으로 형성된다. 바람직하게는, 종동형 빗 모양 전극들(9) 및 고정형 빗 모양 전극들(11)은 한 쌍씩 전위로 전기 제어될 수 있는 캄 핑거부들(comb finger)을 각각 포함한다. 바람직하게는 종동형 빗 모양 전극들(9) 및 고정형 빗 모양 전극들(11)은 구동을 위해서뿐만 아니라 검출을 위해서도 이용된다.
그에 따라, 조합된 코리올리스 및 검출 프레임과 전극들의 다중 사용에 대해 가능한 실시형태가 제공된다. 조합된 코리올리스 및 검출 프레임 상에는 캄 핑거부들이 장착되며, 캄 핑거부들은, 기판 상에 고정되어 한 쌍씩 전위로 전기 제어될 수 있는 고정형 핑거부들 내에 자신들의 상대 부재(counterpart)를 포함한다. 상기 전극들은 구동을 위해서뿐만 아니라 검출을 위해서도 이용된다.
또한, 도 1에는, 본원의 요레이트 센서(1)가, 기판에 고정되어 구조(5)를 기판(3)에 대해 상대 운동이 가능하게 현수하기 위한, 예를 들어 6개인 현수 수단(15)을 포함하는 점이 도시되어 있다. 이로써, 구조(5)는 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분 및/또는 검출 방향(13)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 편향될 수 있다. 6개의 현수 수단(15) 각각은 실질적으로 구동 방향(7)으로, 그리고/또는 실질적으로 검출 방향(13)으로 변형될 수 있는 스프링(27)을 포함한다.
예컨대, 요레이트 센서의 상이한 영역들, 특히 코리올리스 및 검출 프레임들은, 각각의 스프링 유형에 따라서 일측 방향으로 연성이고 타측 방향으로는 상대적으로 강성인 스프링들을 통해 기계적으로 결합된다. 예컨대, 스프링 유형 A 및 B는 구동 방향으로 연성이고 검출 방향으로는 매우 강성이다. 예시의 스프링 유형 C는 구동 방향으로 매우 강성이고 검출 방향으로는 연성이다. 비록 상기 구분은 이미 기계 시스템에서 구동과 검출을 분리한다는 장점을 갖기는 하지만, 그러나 상응하는 면적을 요구한다. 전형적으로, 표준 캄 핑거부들을 포함하는 순수한 구동 섹션은 요레이트 센서의 코어 면적 중 약 1/4를 요구한다.
예시로서, 스프링들(27)은, 스프링 유형 D의 스프링이 2개의 방향으로, 다시 말해 구동 방향 및 검출 방향으로 변형될 수 있다는 점에서 스프링 유형들 A ~ C와 구분되는 스프링 유형 D이다.
도 2에는, 본 발명의 예시의 제2 실시형태에 따르는 요레이트 센서(1)의 확대된 부분 영역의 개략도가 도시되어 있다. 도 2에는, 예시로서, 종동형 빗 모양 전극(9)이 3개의 제1 전극(17)을 포함하고, 고정형 빗 모양 전극(11)은 3개의 제2 전극(19) 및 3개의 제3 전극(21)을 포함하는 점이 도시되어 있다. 이 경우, 구조(5)가 제1 전위에 의해, 그리고/또는 제2 전위에 의해 진동을 하도록 휴지 위치로부터 여기될 수 있는 방식으로, 종동형 빗 모양 전극(9), 또는 3개의 제1 전극(17)은 제1 전위를 인가받을 수 있고, 그리고/또는 고정형 빗 모양 전극(11), 또는 3개의 제2 전극(19) 및 3개의 제3 전극(21)은 제2 전위를 인가받을 수 있다. 일측 방향으로의 구동 동안, DC 정전압(constant DC-voltage)은 제2 전극들(19)과 제3 전극들(21) 사이에서, 다시 말하면 예컨대 고정 전극들(C1 및 C2)과 3개의 제1 전극(17), 다시 말해 예컨대 침지 전극들(CM)(dipping electrode) 사이에서 가동형 구조(movable structure)에 인가된다. 이 경우, 제2 전극(19), 다시 말해 예컨대 C1에서의 제2 전위, 및 제3 전극(21), 다시 말해 예컨대 C2에서의 제2 전위는, 제1 전위, 다시 말해 예컨대 CM과는 다른 동일 DC 전위로 인가된다. 침지 전극 전방에서의 표유 자계로 인해, 센서, 또는 구조(5)는, 전극 방향에 대해 평행하게 편향된다. 또한, 바람직하게는, 종동형 빗 모양 전극(9)은 제2 전극들(19) 및 제3 전극들(21)을 포함하고, 고정형 빗 모양 전극(11)은 제1 전극들(17)을 포함한다.
또한, 인접한 제1 전극들(17)과 제2 전극들(19) 사이의 제1 정전용량 변화량 및/또는 인접한 제1 전극들(17)과 제3 전극들(21) 사이의 제2 정전용량 변화량은, 구조(5)에 대한 힘 작용이 제1 정전용량 변화량에 의해, 그리고/또는 제2 정전용량 변화량에 의해 검출될 수 있는 방식으로 측정될 수 있다. 그에 따라, 구동 동안, 인가된 DC 전압에 추가로, 전극들 CM <-> C1 사이 및 CM <-> C2 사이의 정전용량 변화량이 측정된다. 이로써, 구동 동안, 검출을 위해서도, 다시 말해 예컨대 전극 방향에 대해 수직으로의 편향을 위해서도 제1 전극들(17), 제2 전극들(19) 및 제3 전극들(21)을 사용할 수 있다. 인가된 DC 전압에 추가로 구동 동안 제1 정전용량 변화량 및 제2 정전용량 변화량을 측정하는 것은 예컨대 인가된 DC 신호 또는 다중화(multiplexing)에 대한 시간상 매우 짧은 중첩을 통해 가능해진다. 다중화 동안, 전극들 사이에서 검출 방향(13)으로 정전용량 변화량을 측정하기 위해, 구동을 위한 전압은 단시간 인출(take-off)된다.
도 3에는, 본 발명의 예시의 제3 실시형태에 따르는 요레이트 센서(1)의 개략도가 도시되어 있다. 도 3에 도시된 실시예의 경우, 구조(5)는, 기판(3)에 대해 상대 운동이 가능한 제1 부분 구조(23)와, 기판(3)에 대해 그리고 제1 부분 구조(23)에 대해 상대 운동이 가능한 제2 구분 구조(25)를 포함한다. 이 경우, 제1 부분 구조(23) 및 제2 부분 구조(25)는, 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록, 각각의 휴지 위치로부터 여기될 수 있다. 또한, 역위상 진동의 여기를 위한 도 3에 도시된 실시예는, 도 3에 예시로서 도시된 4개의 고정형 빗 모양 전극(11)과의 각각의 상호작용을 위해, 제1 부분 구조(23)와 함께 종동하는 2개의 빗 모양 전극(9)과, 제2 부분 구조(25)와 함께 종동하는 2개의 빗 모양 전극(9)을 포함한다. 또한, 제1 부분 구조(23)와 함께 종동하는 2개의 빗 모양 전극들(9) 및 제2 부분 구조(25)와 함께 이동되는 2개의 종동형 빗 모양 전극(9) 및/또는 4개의 고정형 빗 모양 전극(11)으로의 전압 인가를 통해 역위상 진동의 여기가 야기될 수 있다. 이 경우, 제1 부분 구조(23)와 함께 종동하는 2개의 빗 모양 전극들(9) 및 제2 부분 구조(25)와 함께 이동되는 2개의 종동형 빗 모양 전극(9) 및 4개의 고정형 빗 모양 전극(11)은, 검출 방향(13)에 대해 실질적으로 평행하고 실질적으로 역위상인 힘 성분으로 제1 부분 구조(23)에 작용하는 제1 추가 힘 작용 및 제2 부분 구조(25)에 작용하는 제2 추가 힘 작용이 요레이트를 기반으로 검출될 수 있는 방식으로 형성된다.
도 3에는, 추가로 예시로서, 제1 부분 구조(23) 및 제2 부분 구조(25)가 역위상 진동을 하도록 여기될 수 있는 방식으로, 그리고/또는 제1 힘 작용 및 제2 힘 작용이 검출될 수 있는 방식으로, 도 3에 도시된 요레이트 센서(1)는 제2 부분 구조(25)와 제1 부분 구조(23)를 기계적으로 결합하기 위한 커플링 구조(29)를 포함한다. 이 경우, 커플링 구조(29)는 실질적으로 검출 방향(13)으로 변형될 수 있는, 예를 들어 4개의 추가 스프링(31)을 포함한다. 바람직하게는, 요레이트가 인가된 경우, 제1 부분 구조(23) 및 제2 부분 구조(25)는 실질적으로 검출 방향(13)을 따르는, 실질적으로 역위상인 추가 진동을 하도록 편향될 수 있다. 이 경우, 커플링 구조(29)는, 두 역위상 이동이 구동 시뿐 아니라 검출 시에도 가능한 점을 보장한다.
반대칭 구동부를 포함하여 도 3에 예시로 도시된 기계적으로 결합되고 실질적으로 반사 대칭인 부분 구조들(23, 25), 또는 결합된 부분 진동자들(partial oscillator)을 통해, 구동 주파수에서 기생 선형 가속도로부터, 요레이트에 대한 반응으로서의 코리올리스 힘을 기반으로 하는 검출 구조의 이동(예: 차량 내 진동)을 구분하는 점이 가능해진다. 이 경우, 부분 진동자들은 예컨대 반사 대칭으로 형성되며, 그리고 커플링 크로스 스프링(coupling cross spring)을 통해 기계적으로 결합된다. 예컨대 요레이트가 인가된 경우, Z 방향으로 두 부분 영역은 마찬가지로 반대칭으로 편향된다. 이 경우, 커플링 크로스 스프링은, 구동 및 검출의 두 반대칭 이동이 가능해지는 점을 보장한다. 예컨대 현수는 스프링 유형 D에 의해 실현된다. 구동 및 코리올리스 검출을 위한 캄 핑거부들은 도 2의 실시예에서와 비교 가능하게 형성된다.
도 2에 도시된 종동형 빗 모양 전극(9) 및 고정형 빗 모양 전극(11)은 바람직하게는 도 1의 실시예를 위해서뿐만 아니라 도 3의 실시예를 위해서도 제공된다.
본원에서 설명한 실시예들은, 코어 면적의 분명한 감소를 가능하게 하는 오메가 Z 요레이트 센서를 예시로서 기재한 것이다. 그러나 본원에서 설명되는 특징들의 이용은 또 다른 요레이트 센서들을 위해서도 제공된다.

Claims (9)

  1. 기판(3)과, 기판(3)에 대해 상대 운동이 가능한 하나 이상의 구조(5)를 포함하는 요레이트 센서(1)로서, 구조(5)는 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 진동을 하도록 구조(5) 자신의 휴지 위치로부터 여기될 수 있고, 요레이트 센서(1)는 진동의 여기를 위해 구조(5)와 함께 종동하는 하나 이상의 빗 모양 전극(9)과, 기판(3)에 상대적으로 고정되어 있는 하나 이상의 빗 모양 전극(11)을 포함하고, 종동형 빗 모양 전극(9) 및/또는 고정형 빗 모양 전극(11)으로의 전압 인가를 통해 여기가 야기될 수 있는, 상기 요레이트 센서에 있어서,
    종동형 빗 모양 전극(9) 및 고정형 빗 모양 전극(11)은, 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 수직인 검출 방향(13)을 따르는 힘 성분으로 구조(5)에 작용하는 힘 작용이 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 수직으로, 그리고 검출 방향(13)에 대해 실질적으로 수직으로 연장되는 축을 중심으로 하는 요레이트 센서(1)의 요레이트를 기반으로 검출될 수 있도록 형성되고,
    종동형 빗 모양 전극(9)은 하나 이상의 제1 전극(17)을 포함하고, 고정형 빗 모양 전극(11)은 하나 이상의 제2 전극(19) 및 하나 이상의 제3 전극(21)을 포함하고,
    구조(5)에 대한 힘 작용이 제1 정전용량 변화량에 의해, 그리고/또는 제2 정전용량 변화량에 의해 검출될 수 있는 방식으로, 제1 전극(17)과 제2 전극(19) 사이의 제1 정전용량 변화량 및/또는 제1 전극(17)과 제3 전극(21) 사이의 제2 정전용량 변화량이 측정될 수 있는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  2. 제1항에 있어서, 요레이트 센서(1)는, 구조(5)가 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분 및/또는 검출 방향(13)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 편향될 수 있는 방식으로, 기판에 고정되어 구조(5)를 기판(3)에 대해 상대 운동이 가능하게 현수하기 위한 하나 이상의 현수 수단(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  3. 제2항에 있어서, 하나 이상의 현수 수단(15)은 실질적으로 구동 방향(7)으로, 그리고/또는 실질적으로 검출 방향(13)으로 변형될 수 있는 하나 이상의 스프링(27)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  4. 삭제
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 구조(5)가 제1 전위에 의해, 그리고/또는 제2 전위에 의해 진동을 하도록 휴지 위치로부터 여기될 수 있는 방식으로, 종동형 빗 모양 전극(9)은 제1 전위를 인가받을 수 있고, 그리고/또는 고정형 빗 모양 전극(11)은 제2 전위를 인가받을 수 있는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  6. 삭제
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 구조(5)는 기판(3)에 대해 상대 운동이 가능한 하나 이상의 제1 부분 구조(23)와, 기판(3)에 대해 그리고 제1 부분 구조(23)에 대해 상대 운동이 가능한 하나 이상의 제2 부분 구조(25)를 포함하고, 제1 부분 구조(23) 및 제2 부분 구조(25)는, 구동 방향(7)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 각각의 휴지 위치로부터 여기될 수 있으며; 요레이트 센서(1)는, 역위상 진동의 여기를 위해, 고정형 빗 모양 전극(11)과의 각각의 상호작용을 위한, 제1 부분 구조(23)와 함께 종동하는 하나 이상의 빗 모양 전극(9) 및 제2 부분 구조(25)와 함께 종동하는 하나 이상의 빗 모양 전극(9)을 포함하고, 제1 부분 구조(23)와 함께 종동하는 빗 모양 전극(9) 및 제2 부분 구조(25)와 함께 종동하는 빗 모양 전극(9) 및/또는 고정형 빗 모양 전극(11)으로의 전압 인가를 통해 역위상 진동의 여기가 야기될 수 있으며; 제1 부분 구조(23)와 함께 종동하는 빗 모양 전극(9) 및 제2 부분 구조(25)와 함께 종동하는 빗 모양 전극(9) 및 고정형 빗 모양 전극(11)은, 검출 방향(13)에 대해 실질적으로 평행하고 실질적으로 역위상인 힘 성분으로 제1 부분 구조(23)에 작용하는 제1 추가 힘 작용 및 제2 부분 구조(25)에 작용하는 제2 추가 힘 작용이 요레이트를 기반으로 검출될 수 있는 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  8. 제7항에 있어서, 요레이트 센서(1)는, 제1 부분 구조(23) 및 제2 부분 구조(25)가 역위상 진동을 하도록 여기될 수 있는 방식으로, 그리고/또는 제1 힘 작용 및 제2 힘 작용이 검출될 수 있는 방식으로, 제2 부분 구조(25)와 제1 부분 구조(23)를 결합하기 위한 커플링 구조(29)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  9. 제8항에 있어서, 커플링 구조(29)는 실질적으로 검출 방향(13)으로 변형될 수 있는 하나 이상의 추가 스프링(31)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
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