KR102498673B1

KR102498673B1 - Flow control apparatus

Info

Publication number: KR102498673B1
Application number: KR1020210064163A
Authority: KR
Inventors: 권창구; 김현신
Original assignee: (주)씨에스피
Priority date: 2021-05-18
Filing date: 2021-05-18
Publication date: 2023-02-10
Also published as: KR20220156307A; KR20230004374A

Abstract

본 발명은 반도체 공정 분야에서 사용되는 유량 제어 장치에 관한 것으로서, 특히, 유량 제어 장치 내부에서 유동하는 공급 유체의 안정된 유동압 및 흐름을 형성함으로써, 유동부로 유입되는 유체의 속도를 코안다 효과로 원활하게 증폭시킬 수 있고, 제조 및 유지 보수가 용이한 유량 제어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flow control device used in the semiconductor process field, and more particularly, by forming a stable flow pressure and flow of a supply fluid flowing inside the flow control device, the speed of the fluid flowing into the flow unit is smoothed by the Coanda effect. It relates to a flow control device capable of amplifying the flow rate and being easy to manufacture and maintain.

Description

Flow control apparatus {Flow control apparatus}

본 발명은 반도체 공정 분야에서 사용되는 유량 제어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flow control device used in the field of semiconductor processing.

유량 제어 장치는, 공급 유체를 동력원으로 하여 유동부로 유입된 유체의 속도를 증폭시켜 유동부로 유입된 유체의 유량을 제어하는 장치이다.The flow control device is a device that controls the flow rate of the fluid introduced into the flow unit by amplifying the velocity of the fluid introduced into the flow unit using the supplied fluid as a power source.

유량 제어 장치는, 유량 제어 장치의 공급부을 통해 공급 유체가 유입되고, 상기 공급 유체가 유로를 따라 유동하면서, 유로 상에 형성된 유체 주입부를 통해 유동부로 주입되게 된다.In the flow control device, supply fluid is introduced through a supply unit of the flow control device, and while the supply fluid flows along the flow path, it is injected into the flow unit through a fluid injection unit formed on the flow path.

유량 제어 장치로 공급되는 공급 유체는 고압의 압축 유체를 사용하게 되며, 이로 인해 유동부로 주입된 고압의 공급 유체는 코안다 효과(Coanda Effect)에 의해 유동부의 내면을 타고 흐르게 된다. 따라서, 유동부의 안쪽 영역은 순간적으로 저압 상태가 되어 유동부를 통해 유입된 유체가 증폭되어 유량 제어 장치 외부로 유동된다.The supply fluid supplied to the flow control device uses a high-pressure compressed fluid, and thus the high-pressure supply fluid injected into the flow part flows along the inner surface of the flow part by the Coanda effect. Therefore, the inner region of the flow part is momentarily in a low pressure state, and the fluid introduced through the flow part is amplified and flows out of the flow control device.

위와 같이, 유량 제어 장치는 팬(Fan)이 없어도 유체의 속도를 증폭시킬 수 있어, 모터에 의한 진동이나 열발생 등의 문제가 없을 뿐만 아니라, 유량 제어 장치 자체에서 소비되는 전력이 없다.As described above, the flow control device can amplify the speed of the fluid even without a fan, so there is no problem such as vibration or heat generation by the motor, and no power is consumed by the flow control device itself.

이러한 유량 제어 장치는 오염가스가 빈번하게 발생하는 기술분야, 특히, 반도체 공정 분야에서 오염가스를 배출하는 기술로 널리 사용된다.Such a flow control device is widely used as a technology for discharging pollutant gases in technical fields where pollutant gases are frequently generated, in particular, in semiconductor processing fields.

종래의 유량 제어 장치의 경우, 공급부에서 유로 내로 공급 유체가 공급될 때, 유로 내에 공급부와 가까운 영역 및 먼 영역이 발생하게 된다. 이처럼, 공급부의 위치에 따른 편차로 인해, 유로 내부에서 유동하는 공급 유체의 유동압의 불균일이 발생한다. 이러한 유로 내부의 유동압의 불균일은, 유체 주입부를 통해 유동부로 주입되는 공급 유체의 주입 압력의 불균일을 야기시키며, 이를 통해, 유동부 내에서 난류가 발생할 수 있다. 따라서, 코안다 효과에 의한 증폭이 제대로 이루어지지 못해, 유동부로 유입되는 유속의 증폭이 제대로 이루어지지 않는 문제점이 발생하게 된다.In the case of a conventional flow control device, when a supply fluid is supplied from a supply unit into a flow path, a region close to the supply unit and a region far from the supply unit occur within the flow path. As such, due to the deviation according to the position of the supply unit, non-uniform flow pressure of the supply fluid flowing inside the passage occurs. The non-uniformity of the flow pressure inside the passage causes the non-uniformity of the injection pressure of the supply fluid injected into the flow part through the fluid injection part, and through this, turbulence may occur in the flow part. Therefore, since the amplification by the Coanda effect is not properly performed, a problem arises in that the amplification of the flow rate flowing into the moving part is not properly performed.

또한, 종래의 유량 제어 장치의 경우, 내부 구조의 형상이 복잡하여 제조 및 유지보수가 어렵다는 문제점이 있다.In addition, in the case of the conventional flow control device, there is a problem that manufacturing and maintenance are difficult due to the complicated shape of the internal structure.

한국등록특허 제10-0567433호Korean Patent Registration No. 10-0567433 한국등록특허 제10-0582235호Korean Patent Registration No. 10-0582235

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 유량 제어 장치 내부에서 유동하는 공급 유체의 안정된 유동압 및 흐름을 형성함으로써, 유동부로 유입되는 유체의 속도를 코안다 효과로 원활하게 증폭시킬 수 있고, 제조 및 유지 보수가 용이한 유량 제어 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and by forming a stable flow pressure and flow of the supply fluid flowing inside the flow control device, the speed of the fluid flowing into the flow unit can be smoothly amplified by the Coanda effect. It is an object of the present invention to provide a flow control device that is easy to manufacture and maintain.

본 발명의 일 특징에 따른 유량 제어 장치는, 상하로 관통된 제1중공이 중앙에 구비되고, 상기 제1중공과 연통되며 공급 유체가 공급되는 공급부가 구비된 제1바디; 상하로 관통된 제2중공이 중앙에 구비되고, 상기 제1중공의 내측에 위치하도록 상기 제1중공의 내부로 삽입되어 결합되는 제2바디; 및 상하로 관통된 제3중공이 중앙에 구비되고, 제3바디 상부가 상기 제2중공의 내측에 위치하도록 상기 제2중공의 내부로 삽입되어 결합되는 제3바디;를 포함하고, 상기 제1중공의 내측면과 상기 제2바디의 제2바디 하부의 외측면은 상기 공급부과 연통되는 제1챔버를 이루고, 상기 제2바디 하부의 내측면과 상기 제3바디의 제3바디 상부의 외측면은 상기 제1챔버와 연통되는 제2챔버를 이루고, 상기 제1 내지 제3중공은 상호 연통되어 유동부를 이루고, 상기 유동부와 상기 제2챔버는 서로 연통되어 상기 공급부를 통해 공급된 공급 유체에 의해 상기 유동부로 유입되는 유입 유체의 속도가 증폭된다.Flow control device according to one feature of the present invention, a first body having a first hollow through the upper and lower is provided in the center, communicates with the first hollow and is provided with a supply unit through which a supply fluid is supplied; a second body having a second hollow penetrating vertically at the center and being inserted into and coupled to the inside of the first hollow to be positioned inside the first hollow; And a third body having a third hollow penetrating vertically at the center and being inserted into and coupled to the inside of the second hollow so that an upper portion of the third body is positioned inside the second hollow, The inner surface of the hollow and the outer surface of the lower part of the second body of the second body form a first chamber communicating with the supply unit, and the inner surface of the lower part of the second body and the outer surface of the upper part of the third body of the third body forms a second chamber communicating with the first chamber, the first to third hollows communicate with each other to form a flow part, and the flow part and the second chamber communicate with each other to supply the supply fluid supplied through the supply part. As a result, the velocity of the inflowing fluid flowing into the flow part is amplified.

또한, 상기 제2바디의 제2바디 상부에는 상기 제2바디 상부의 외측 둘레를 따라 상기 제2바디의 외측 방향으로 돌출된 채 연속적으로 형성된 제1돌출면이 구비되고, 상기 제1중공의 내측면의 하부와 상기 제2바디 하부의 외측면의 하부 사이는 상호 이격되어 제1틈새가 형성되고, 상기 제1챔버의 상부는 상기 제1돌출면에 의해 막혀 있고, 상기 제1챔버의 하부는 상기 제1틈새에 의해 상기 제2챔버와 연통된다. In addition, a first protruding surface continuously formed along an outer circumference of the upper portion of the second body while protruding outwardly of the second body is provided on the upper portion of the second body of the second body, and the interior of the first hollow The lower part of the side surface and the lower part of the outer surface of the lower part of the second body are spaced apart from each other to form a first gap, the upper part of the first chamber is blocked by the first protruding surface, and the lower part of the first chamber is It communicates with the second chamber through the first gap.

또한, 상기 제2바디 상부의 내측에는 내측 방향으로 돌출된 제2돌출면이 구비되고, 상기 제2돌출면과 상기 제3바디 상부의 상면 사이는 상호 이격되어 제2틈새가 형성되고, 상기 제2챔버는 상기 제2틈새에 의해 상기 유동부와 연통된다.In addition, a second protruding surface protruding inward is provided on the inside of the upper part of the second body, and a second gap is formed by being spaced apart from each other between the second protruding surface and the upper surface of the third body. The two chambers communicate with the moving part through the second gap.

또한, 상기 제2바디 하부는 하부로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성되어 상기 제1챔버의 내측면 및 상기 제2챔버의 외측면은 하부로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성된다.In addition, the lower part of the second body is formed to be inclined outward toward the bottom, and the inner surface of the first chamber and the outer surface of the second chamber are formed to be inclined outward toward the bottom.

또한, 상기 제1중공의 상부에는 하부로 갈수록 내측 방향으로 경사지게 형성되는 제1경사면이 구비되고, 상기 제2중공의 상부에는 하부로 갈수록 내측 방향으로 경사지게 형성되며, 상기 제1경사면과 연결되는 제2경사면이 구비되고, 상기 제3바디 상부의 내측면에는 하부로 갈수록 내측 방향으로 경사지게 형성되는 제3경사면과, 상기 제3경사면에 연결되며 하부로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성되는 제4경사면이 구비된다.In addition, a first inclined surface is provided on the upper part of the first hollow and inclined inwardly toward the lower part, and the upper part of the second hollow is formed inclined inwardly toward the lower part and is connected to the first inclined surface. 2 inclined surfaces are provided, and the inner surface of the upper part of the third body is provided with a third inclined surface formed inclined inwardly toward the bottom and a fourth inclined surface connected to the third inclined surface and formed inclined outwardly toward the lower part. do.

또한, 상기 공급부는, 상기 제1바디의 일측에 구비되는 제1공급부; 및 상기 제1바디의 중심축을 기준으로 상기 제1공급부와 서로 대칭되게 배치되도록 상기 제1바디의 타측에 구비되는 제2공급부;를 포함한다.In addition, the supply unit, a first supply unit provided on one side of the first body; and a second supply unit provided on the other side of the first body so as to be symmetrically disposed with respect to the central axis of the first body.

또한, 상기 제2바디의 제2바디 하부에는, 상기 제1공급부에서 공급된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키도록 상기 제2바디 하부의 외측 방향으로 돌출되게 형성되는 제1차단벽과, 상기 제2공급부에서 공급된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키는 제2차단벽이 구비된다.In addition, a first blocking wall formed in the lower part of the second body of the second body to protrude outward from the lower part of the second body so as to guide the supply fluid supplied from the first supply unit in one direction; A second blocking wall is provided to guide the supply fluid supplied from the second supply unit in one direction.

또한, 상기 제1챔버는, 상기 제1차단벽에 의해 상기 제1공급부에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제1-1챔버와, 상기 제2차단벽에 의해 상기 제2공급부에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제1-2챔버로 상호 구별된다.In addition, the first chamber includes a 1-1 chamber in which the supply fluid supplied from the first supply unit flows by the first blocking wall, and the supply fluid supplied from the second supply unit by the second blocking wall. are distinguished from each other by the first and second chambers in which the flows.

또한, 상기 제1차단벽의 하부에는 상기 제1공급부에서 공급된 공급 유체를 상기 제1-1챔버의 하부에 형성된 제1-1틈새로 유도시키는 제1가이드부가 구비되고, 상기 제2차단벽의 하부에는 상기 제2공급부에서 공급된 공급 유체를 상기 제1-2챔버의 하부에 형성된 제1-2틈새로 유도시키는 제2가이드부가 구비된다.In addition, a first guide part for guiding the supply fluid supplied from the first supply part to the 1-1 gap formed in the lower part of the 1-1 chamber is provided below the first blocking wall, and the second blocking wall A second guide unit for guiding the supply fluid supplied from the second supply unit to the 1-2 gap formed in the lower part of the 1-2 chamber is provided at the lower part of the .

또한, 상기 제1 내지 제3바디는 상호 분리 가능하게 결합된다.In addition, the first to third bodies are detachably coupled to each other.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 유량 제어 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the flow control device of the present invention as described above, the following effects are obtained.

제1 내지 제3바디의 결합으로 이루어져 있으므로, 복잡한 제1, 2차단벽, 제1, 2가이드부, 제1, 2챔버 형상 형상을 쉽게 제조할 수 있다는 장점이 있다.Since it consists of a combination of the first to third bodies, there is an advantage in that complex first and second blocking walls, first and second guide parts, and first and second chamber shapes can be easily manufactured.

또한, 제1 내지 제3바디의 분리 결합을 통해, 유량 제어 장치의 유지보수 측면에서 유리하다는 장점이 있다.In addition, through the separation and coupling of the first to third bodies, there is an advantage in terms of maintenance of the flow control device.

제1챔버 내부에서 공급 유체의 흐름을 일방향으로 동일하게 유동시킬 수 있다. 따라서, 제1챔버 내부의 난류 발생이 최소화되어 유동부(700)로 주입되는 공급 유체의 높은 압력이 보장될 수 있어 종래의 유량 제어 장치보다 유동부(700)의 하부로 배출되는 유체의 속도가 높게 증폭될 수 있다.Inside the first chamber, the supply fluid may flow equally in one direction. Therefore, the generation of turbulence inside the first chamber can be minimized and high pressure of the supply fluid injected into the flow part 700 can be guaranteed, so that the speed of the fluid discharged to the lower part of the flow part 700 is higher than that of the conventional flow control device. can be highly amplified.

또한, 제1, 2가이드부에 의해 제1-1챔버 및 제1-2챔버 각각에서 하부 방향으로의 유동 흐름이 원활하게 유도될 수 있으며, 이를 통해, 제1-1챔버 및 제1-2챔버의 균일한 유동압을 생성하여, 유동부에서의 높은 속도로 증폭된 유체를 배출시킬 수 있다.In addition, the flow in the lower direction can be smoothly induced in the 1-1 and 1-2 chambers, respectively, by the first and second guide units, and through this, the 1-1 chamber and the 1-2 By creating a uniform flow pressure in the chamber, it is possible to discharge the amplified fluid at a high velocity in the flow section.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치의 사시도.
도 2는 도 1의 분리 사시도.
도 3은 도 2의 C-C'선을 따라 도시한 측면 단면도.
도 4는 도 2의 D-D'선을 따라 도시한 측면 단면도.
도 5는 도 1의 A-A'선을 따라 도시한 측면 단면도.
도 6은 도 1의 B-B'선을 따라 도시한 측면 단면도.
도 7은 도 1의 평면 단면도.
도 8은 도 5의 유체의 흐름을 도시한 측면 단면도.
도 9는 도 6의 유체의 흐름을 도시한 측면 단면도.
도 10은 본 발명의 제2실시 예에 따른 유량 제어 장치의 평면 단면도.1 is a perspective view of a flow control device according to a first embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view of Figure 1;
3 is a side cross-sectional view taken along the line C-C′ of FIG. 2;
4 is a side cross-sectional view taken along the line D-D' of FIG. 2;
5 is a side cross-sectional view taken along the line A-A′ of FIG. 1;
6 is a side cross-sectional view taken along line BB′ of FIG. 1;
Figure 7 is a plan sectional view of Figure 1;
Figure 8 is a side cross-sectional view showing the flow of the fluid of Figure 5;
Figure 9 is a side cross-sectional view showing the flow of the fluid of Figure 6;
10 is a plan cross-sectional view of a flow control device according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will become clear with reference to the detailed embodiments described below in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in different forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content will be thorough and complete, and the spirit of the present invention will be sufficiently conveyed to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numbers designate like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.Terms used in this specification are for describing embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, singular forms also include plural forms unless specifically stated otherwise in a phrase. As used herein, 'comprises' and/or 'comprising' means that a stated component, step, operation, and/or element is the presence of one or more other components, steps, operations, and/or elements. or do not rule out additions.

또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. In addition, since it is according to a preferred embodiment, the reference numerals presented according to the order of description are not necessarily limited to the order.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시 도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.In addition, the embodiments described in this specification will be described with reference to cross-sectional views and/or plan views, which are ideal exemplary views of the present invention. In the drawings, the thicknesses of films and regions are exaggerated for effective explanation of technical content. Accordingly, the shape of the illustrated drawings may be modified due to manufacturing techniques and/or tolerances. Therefore, embodiments of the present invention are not limited to the specific shapes shown, but also include changes in shapes generated according to manufacturing processes. Accordingly, the regions illustrated in the drawings have schematic properties, and the shapes of the regions illustrated in the drawings are intended to illustrate a specific shape of a region of a device and are not intended to limit the scope of the invention.

다양한 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 실시 예가 다르더라도 편의상 동일한 명칭 및 동일한 참조번호를 부여하기로 한다. 또한, 이미 다른 실시 예에서 설명된 구성 및 작동에 대해서는 편의상 생략하기로 한다.In describing various embodiments, the same names and the same reference numbers will be given to components performing the same functions even if the embodiments are different. In addition, configurations and operations already described in other embodiments will be omitted for convenience.

본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)Flow control device 10 according to the first embodiment of the present invention

이하, 도 1 내지 도 9를 참조하여, 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 1 to 9, a flow control device 10 according to a first embodiment of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 분리 사시도이고, 도 3은 도 2의 C-C'선을 따라 도시한 측면 단면도이고, 도 4는 도 2의 D-D'선을 따라 도시한 측면 단면도이고, 도 5는 도 1의 A-A'선을 따라 도시한 측면 단면도이고, 도 6은 도 1의 B-B'선을 따라 도시한 측면 단면도이고, 도 7은 도 1의 평면 단면도이고, 도 8은 도 5의 유체의 흐름을 도시한 측면단면도이고, 도 9는 도 6의 유체의 흐름을 도시한 측면 단면도이다.1 is a perspective view of a flow control device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of FIG. 1, FIG. 3 is a side cross-sectional view taken along line C-C′ of FIG. 2, FIG. is a side cross-sectional view taken along line D-D' in FIG. 2, FIG. 5 is a side cross-sectional view taken along line A-A' in FIG. 1, and FIG. 6 is taken along line B-B' in FIG. One side cross-sectional view, Figure 7 is a planar cross-sectional view of Figure 1, Figure 8 is a side cross-sectional view showing the flow of the fluid of Figure 5, Figure 9 is a side cross-sectional view showing the flow of the fluid in FIG.

도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)는, 상하로 관통된 제1중공(710)이 중앙에 구비되고, 제1중공(710)과 연통되며 유체가 공급되는 공급부(400)가 구비된 제1바디(100);와, 상하로 관통된 제2중공(720)이 중앙에 구비되고, 제1중공(710)의 내측에 위치하도록 제1중공(710)의 내부로 삽입되어 결합되는 제2바디(200);와, 상하로 관통된 제3중공(730)이 중앙에 구비되고, 제3바디 상부(310)가 제2중공(720)의 내측에 위치하도록 제2중공(720)의 내부로 삽입되어 결합되는 제3바디(300);를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIGS. 1 to 9, the flow control device 10 according to the first embodiment of the present invention is provided with a first hollow 710 penetrating vertically in the center, the first hollow 710 A first body 100 communicated with and provided with a supply unit 400 through which fluid is supplied; and a second hollow 720 penetrating vertically is provided in the center and is located inside the first hollow 710 A second body 200 inserted into and coupled to the first hollow 710; and a third hollow 730 penetrating vertically is provided in the center, and the upper third body 310 is formed in the second hollow ( 720) to be positioned inside the second hollow 720 and coupled to the third body 300; may be configured to include.

제1바디(100)의 중앙에는 상하로 관통된 제1중공(710)이 구비된다.The center of the first body 100 is provided with a first hollow 710 penetrating vertically.

제1중공(710)의 상부에는 제1중공(710)의 하부로 갈수록 내측 방향으로 경사지게 형성되는 제1경사면(711)이 구비된다.The upper part of the first hollow 710 is provided with a first inclined surface 711 formed to be inclined inward toward the lower part of the first hollow 710 .

공급부(400)는, 제1바디(100)의 일측에 구비되는 제1공급부(410);와, 제1바디(100)의 중심축을 기준으로 제1공급부(410)와 서로 대칭되게 배치되도록 제1바디(100)의 타측에 구비되는 제2공급부(420);를 포함하여 구성될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 제1공급부(410)는 제1바디(100)의 전방에 구비되고, 제2공급부(420)는 제1바디(100)의 후방에 구비될 수 있다. The supply unit 400 includes a first supply unit 410 provided on one side of the first body 100; and disposed symmetrically with the first supply unit 410 based on the central axis of the first body 100. It may be configured to include; a second supply unit 420 provided on the other side of one body 100. As shown in FIG. 1 , the first supply unit 410 may be provided at the front of the first body 100 and the second supply unit 420 may be provided at the rear of the first body 100 .

이러한 제1공급부(410) 및 제2공급부(420)는 제1중공(710)과 연통된다.The first supply unit 410 and the second supply unit 420 communicate with the first hollow 710 .

제1공급부(410) 및 제2공급부(420)를 통해, 유량 제어 장치(10)에 공급 유체가 공급되며, 공급된 공급 유체는 유입 유체와 함께 유동부(700)의 하부로 유동한다. 따라서, 공급부(즉, 제1, 2공급부(410, 420))를 통해 공급된 공급 유체에 의해 유동부(700)로 유입되는 유입 유체의 속도가 증폭된다.The supply fluid is supplied to the flow control device 10 through the first supply unit 410 and the second supply unit 420, and the supplied supply fluid flows to the lower portion of the flow unit 700 together with the inlet fluid. Therefore, the speed of the inlet fluid flowing into the flow part 700 is amplified by the supply fluid supplied through the supply part (ie, the first and second supply parts 410 and 420 ).

제2바디(200)는 제1바디(100)의 내측에 위치하도록 제1중공(710) 내부에 삽입되어 제1바디(100)와 상하로 결합된다.The second body 200 is inserted into the first hollow 710 so as to be positioned inside the first body 100 and coupled with the first body 100 vertically.

제2바디(200)의 중앙에는 상하로 관통된 제2중공(720)이 구비된다. 따라서, 제1바디(100)와 제2바디(200)가 결합시 제1중공(710)과 제2중공(720)은 연통된다.The center of the second body 200 is provided with a second hollow 720 penetrating vertically. Therefore, when the first body 100 and the second body 200 are coupled, the first hollow 710 and the second hollow 720 communicate with each other.

제2바디(200)는 제2바디 상부(210)와 제2바디 하부(220)로 나뉘어진다.The second body 200 is divided into an upper second body 210 and a lower second body 220 .

제2중공(720)의 상부에는 하부로 갈수록 내측 방향으로 경사지게 형성되며, 제1중공(710)의 제1경사면(711)과 연결되는 제2경사면(721)이 구비된다.The upper part of the second hollow 720 is formed to be inclined inward as it goes downward, and a second inclined surface 721 connected to the first inclined surface 711 of the first hollow 710 is provided.

제2중공(720)의 상부는 제2바디 상부(210)의 내측면으로 볼 수 있다. 따라서, 제2경사면(721)은 제2바디 상부(210)의 내측면에 구비된다.The upper part of the second hollow 720 can be seen as an inner surface of the upper part of the second body 210 . Accordingly, the second inclined surface 721 is provided on the inner surface of the upper part 210 of the second body.

제2바디 상부(210)에는 제2바디 상부(210)의 외측 둘레를 따라 제2바디(200)의 외측 방향으로 돌출된 채 연속적으로 형성된 제1돌출면(211)이 구비된다.The upper part of the second body 210 is provided with a first protruding surface 211 continuously formed along the outer circumference of the upper part of the second body 210 while protruding outwardly of the second body 200 .

제1돌출면(211)은 제2바디 상부(210)와 제2바디 하부(220)의 경계를 이룬다.The first protruding surface 211 forms a boundary between the upper second body 210 and the lower second body 220 .

제1챔버(500)가 제1바디(100) 및 제2바디(200)에 의해 이루어질 때, 제1돌출면(211)은 제1챔버(500)의 상부를 막게 된다.When the first chamber 500 is formed by the first body 100 and the second body 200, the first protruding surface 211 blocks the upper portion of the first chamber 500.

제2바디 상부(210)의 내측에는 내측 방향으로 돌출된 제2돌출면(212)이 구비된다. 제2돌출면(212)은 제2경사면(721)의 하면이다.A second protruding surface 212 protruding inward is provided on the inner side of the second body upper part 210 . The second protruding surface 212 is a lower surface of the second inclined surface 721 .

제2돌출면(212)과 제3바디(300)의 제3바디 상부(310)의 상면 사이는 상호 이격되어 제2틈새(611)가 형성된다.The second protruding surface 212 and the upper surface of the upper part 310 of the third body 300 are spaced apart from each other to form a second gap 611 .

제2바디 하부(220)는 하부로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성된다. 또한, 제2바디 하부(220)는 제1챔버(500)의 내측면 및 제2챔버(600)의 외측면을 이룬다. 즉, 제1챔버(500)와 제2챔버(600)의 경계 벽을 이룬다. 따라서, 제1챔버(500)의 내측면 및 제2챔버(600)의 외측면은 하부로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성된다. 다시 말해, 제1챔버(500) 및 제2챔버(600)는 제2바디 하부(220)의 형상으로 인해, 하부로 갈수록 외측 방향으로 기울어진 챔버 형상을 갖게 된다.The lower part of the second body 220 is inclined outward toward the lower part. In addition, the lower part of the second body 220 forms an inner surface of the first chamber 500 and an outer surface of the second chamber 600 . That is, it forms a boundary wall between the first chamber 500 and the second chamber 600 . Accordingly, the inner surface of the first chamber 500 and the outer surface of the second chamber 600 are formed to be inclined outward toward the bottom. In other words, due to the shape of the lower part 220 of the second body, the first chamber 500 and the second chamber 600 have a chamber shape inclined outward toward the lower part.

제2바디 하부(220)에는 제1공급부(410)에서 공급된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키도록 제2바디 하부(220)의 외측 방향으로 돌출되게 형성되는 제1차단벽(221)과, 제2공급부(420)에서 공급된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키는 제2차단벽(222)이 구비된다.In the lower part of the second body 220, a first blocking wall 221 formed to protrude outward from the lower part of the second body 220 so as to guide the supply fluid supplied from the first supply unit 410 in one direction; A second blocking wall 222 is provided to guide the supply fluid supplied from the second supply unit 420 in one direction.

제1차단벽(221)은 제1돌출면(211)에 연장되게 형성되며, 제1공급부(410)의 일측의 형상과 동일하도록 반원으로 개구된 형상을 갖는다. 또한, 제1공급부(410)의 중심점은 반원으로 개구된 형상의 제1차단벽(221)의 직선부의 중심점과 동심을 갖도록 제1차단벽(221)이 배치된다. 따라서, 제1공급부(410)로 공급된 공급 유체는 제1차단벽(221)에 의해 막혀 일 방향으로 유도된다.The first blocking wall 221 extends from the first protruding surface 211 and has a semicircular opening shape identical to that of one side of the first supply unit 410 . In addition, the first blocking wall 221 is disposed so that the center point of the first supply unit 410 is concentric with the center point of the linear portion of the first blocking wall 221 having a semicircular opening. Therefore, the supply fluid supplied to the first supply unit 410 is blocked by the first blocking wall 221 and guided in one direction.

제1차단벽(221)의 하부에는 제1가이드부(226)가 구비된다.A first guide part 226 is provided below the first blocking wall 221 .

제1가이드부(226)는 제1차단벽(221)에서 제1-1챔버(510)에서 공급 유체가 유동하는 방향으로 갈수록 하부로 경사지게 형성된다. 따라서, 제1가이드부(226)는 제1공급부(410)에서 공급된 공급 유체를 제1-1챔버(510)의 하부에 형성된 제1-1틈새(511)로 유도시키는 기능을 한다.The first guide part 226 is formed to be inclined downward from the first blocking wall 221 toward the direction in which the supply fluid flows in the 1-1 chamber 510 . Accordingly, the first guide part 226 serves to guide the supply fluid supplied from the first supply part 410 to the 1-1 gap 511 formed in the lower part of the 1-1 chamber 510 .

제2차단벽(222)은 제1차단벽(221)의 반대측에서 제1돌출면(211)에 연장되게 형성되며, 제2공급부(420)의 일측의 형상과 동일하도록 반원으로 개구된 형상을 갖는다. 또한, 제2공급부(420)의 중심점은 반원으로 개구된 형상의 제1차단벽(221)의 직선부의 중심점과 동심을 갖도록 제2차단벽(222)이 배치된다. 따라서, 제2공급부(420)로 공급된 공급 유체는 제2차단벽(222)에 의해 막혀 일 방향으로 유도된다.The second blocking wall 222 is formed to extend from the opposite side of the first blocking wall 221 to the first protruding surface 211, and has a semicircular opening shape identical to that of one side of the second supply unit 420. have In addition, the second blocking wall 222 is disposed so that the center point of the second supply unit 420 is concentric with the center point of the linear portion of the first blocking wall 221 having a semicircular opening. Therefore, the supply fluid supplied to the second supply unit 420 is blocked by the second blocking wall 222 and guided in one direction.

제2차단벽(222)의 하부에는 제2가이드부(227)가 구비된다.A second guide part 227 is provided below the second blocking wall 222 .

제2가이드부(227)는 제2차단벽(222)에서 제1-2챔버(520)에서 공급 유체가 유동하는 방향으로 갈수록 하부로 경사지게 형성된다. 따라서, 제2가이드부(227)는 제2공급부(420)에서 공급된 공급 유체를 제1-2챔버(520)의 하부에 형성된 제1-2틈새(521)로 유도시키는 기능을 한다.The second guide part 227 is formed to be inclined downward from the second blocking wall 222 in the direction in which the supply fluid flows in the first and second chambers 520 . Accordingly, the second guide part 227 serves to guide the supply fluid supplied from the second supply part 420 to the first-second gap 521 formed in the lower part of the first-second chamber 520 .

제1차단벽(221)과 제2차단벽(222)은 유량 제어 장치(10)의 중심선을 기준으로 서로 대각선 방향으로 반대측에 배치될 수 있다. The first blocking wall 221 and the second blocking wall 222 may be disposed on opposite sides of each other in a diagonal direction based on the center line of the flow control device 10 .

하나의 예로써, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1차단벽(221)은 유량 제어 장치(10)의 중심축을 기준으로 전방 좌측에 배치되고, 제2차단벽(222)은 유량 제어 장치(10)의 중심축을 기준으로 후방 우측에 배치될 수 있다.As an example, as shown in FIG. 7, the first blocking wall 221 is disposed on the front left side with respect to the central axis of the flow control device 10, and the second blocking wall 222 is the flow control device ( 10) can be placed on the rear right side based on the central axis.

따라서, 제1공급부(410) 및 제2공급부(420)로 공급된 공급 유체가 제1차단벽(221) 및 제2차단벽(222)에 의해 제1-1챔버(510) 및 제1-2챔버(520) 내에서 일 방향(도 7에서 시계 방향)으로 유동되게 된다.Therefore, the supply fluid supplied to the first supply unit 410 and the second supply unit 420 is supplied to the 1-1 chamber 510 and the 1-1 chamber 510 by the first blocking wall 221 and the second blocking wall 222. It flows in one direction (clockwise in FIG. 7) within the two chambers 520.

제3바디(300)는 제2바디(200)의 내측에 위치하도록 제2중공(720) 내부에 삽입되어 제1바디(100) 및 제2바디(200)와 상하로 결합된다.The third body 300 is inserted into the second hollow 720 so as to be located inside the second body 200 and coupled with the first body 100 and the second body 200 vertically.

제3바디(300)의 중앙에는 상하로 관통된 제3중공(730)이 구비된다. 따라서, 제1바디(100), 제2바디(200) 및 제3바디(300)가 결합시 제1중공(710), 제2중공(720) 및 제3중공(730)은 연통된다.The center of the third body 300 is provided with a third hollow 730 penetrating vertically. Therefore, when the first body 100, the second body 200, and the third body 300 are coupled, the first hollow 710, the second hollow 720, and the third hollow 730 communicate with each other.

제3바디(300)는 제3바디 상부(310)와 제3바디 하부(320)로 나뉘어진다.The third body 300 is divided into an upper third body 310 and a lower third body 320 .

제3중공(730)에는 하부로 갈수록 내측 방향으로 경사지게 형성되는 제3경사면(731)과, 제3경사면(731)에 연결되며 하부로 갈수록 외측 방향으로 경사지게 형성되는 제4경사면(732)이 구비된다.The third hollow 730 is provided with a third inclined surface 731 inclined inward toward the bottom and a fourth inclined surface 732 connected to the third inclined surface 731 and inclined toward the outside toward the bottom. do.

제3중공(730)의 상부는 제3바디 상부(310)의 내측면으로 볼 수 있고, 제3중공(730)의 하부는 제3바디 하부(320)의 내측면으로 볼 수 있다. 따라서, 제3경사면(731)은 제3바디 상부(310)의 내측면에 구비되고, 제4경사면(732)은 그 상부 일부가 제3바디 상부(310)의 내측면에 구비되고, 그 하부 일부가 제3바디 하부(320)의 내측면에 구비된다.The upper part of the third hollow 730 can be viewed as an inner surface of the upper third body 310, and the lower part of the third hollow 730 can be viewed as an inner surface of the lower third body 320. Therefore, the third inclined surface 731 is provided on the inner surface of the upper third body 310, and the fourth inclined surface 732 has an upper part provided on the inner surface of the upper third body 310, and a lower portion thereof. A part is provided on the inner surface of the lower third body 320.

제3바디 상부(310)의 최상부에는 제3바디 상부(310)의 외측 둘레를 따라 제3바디(300)의 외측 방향으로 돌출된 채 연속적으로 형성된 제3돌출면(330)이 구비된다.The uppermost part of the upper part of the third body 310 is provided with a third protruding surface 330 continuously formed while protruding outwardly of the third body 300 along the outer circumference of the upper part of the third body 310 .

제3돌출면(330)은 제3바디 상부(310)의 최상부에 구비되므로, 제3돌출면(330)의 상면은 제3바디 상부(310)의 상면을 이루게 된다.Since the third protruding surface 330 is provided at the top of the upper third body 310 , the upper surface of the third protruding surface 330 forms the upper surface of the upper third body 310 .

제3돌출면(330)(또는 제3바디 상부(310))의 상면과, 제2돌출면(212)(또는 제2바디 상부(210))의 하면의 사이는 상호 이격되어 제2틈새(611)가 형성된다. The upper surface of the third protruding surface 330 (or the upper part of the third body 310) and the lower surface of the second protruding surface 212 (or the upper part of the second body 210) are spaced apart from each other so that the second gap ( 611) is formed.

위와 같이, 제3돌출면(330)과 제2돌출면(212)에 의해 제2틈새(611)가 형성된다.As above, the second gap 611 is formed by the third protruding surface 330 and the second protruding surface 212 .

유량 제어 장치(10)에는 공급부에서 공급된 공급 유체가 유동되는 제1챔버(500)와, 제2챔버(600)가 구비된다.The flow control device 10 includes a first chamber 500 and a second chamber 600 through which the supply fluid supplied from the supply unit flows.

제1챔버(500)는 제1중공(710)의 내측면과 제2바디(200)의 제2바디 하부(220)의 외측면에 의해 이루어진다. 다시 말해, 제1챔버(500)는 제1중공(710)의 내측면과 제2바디 하부(220)의 외측면에 의해 형성된 공간으로 이루어진다. 이러한 제1챔버(500)는 공급부(400) 및 제2챔버(600)와 연통된다.The first chamber 500 is formed by the inner surface of the first hollow 710 and the outer surface of the lower part 220 of the second body 200 . In other words, the first chamber 500 consists of a space formed by the inner surface of the first hollow 710 and the outer surface of the lower part 220 of the second body. This first chamber 500 communicates with the supply unit 400 and the second chamber 600 .

제1중공(710)의 내측면의 하부와 제2바디 하부(220)의 외측면의 하부 사이는 상호 이격되어 제1틈새가 형성된다.The lower part of the inner surface of the first hollow 710 and the lower part of the outer surface of the lower part of the second body 220 are spaced apart from each other to form a first gap.

제1챔버(500)의 상부는 제1돌출면(211)에 의해 막혀 있고, 제1챔버(500)의 하부는 제1틈새에 의해 제2챔버(600)와 연통된다.The upper part of the first chamber 500 is blocked by the first protruding surface 211, and the lower part of the first chamber 500 communicates with the second chamber 600 through the first gap.

제1챔버(500)는 제1차단벽(221)에 의해 제1공급부(410)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제1-1챔버(510)와, 제2차단벽(222)에 의해 제2공급부(420)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제1-2챔버(520)로 상호 구별된다.The first chamber 500 is formed by the 1-1 chamber 510 in which the supply fluid supplied from the first supply unit 410 flows through the first blocking wall 221 and the second blocking wall 222. They are distinguished from each other by the first and second chambers 520 in which the supply fluid supplied from the second supply unit 420 flows.

제1-1챔버(510)의 내측 하부에는 제1-1틈새(511)가 형성된다.A 1-1 gap 511 is formed in the inner lower portion of the 1-1 chamber 510 .

제1-1틈새(511)는 제1-1챔버(510)의 내측 하부를 따라 형성된다.The 1-1 gap 511 is formed along the inner lower portion of the 1-1 chamber 510 .

제1-1틈새(511)는 제1-1챔버(510)와 제2챔버(600)를 연통시키는 기능을 한다.The 1-1 gap 511 serves to communicate the 1-1 chamber 510 and the second chamber 600 .

제1-2챔버(520)의 내측 하부에는 제1-2틈새(521)가 형성된다.A first-second gap 521 is formed at the inner lower portion of the first-second chamber 520 .

제1-2틈새(521)는 제1-2챔버(520)의 내측 하부를 따라 형성된다.The 1-2 gap 521 is formed along the inner lower part of the 1-2 chamber 520 .

제1-2틈새(521)는 제1-2챔버(520)와 제2챔버(600)를 연통시키는 기능을 한다.The 1-2 gap 521 serves to communicate the 1-2 chamber 520 and the second chamber 600 .

제1-1챔버(510)와 제1-2챔버(520)에서 유동하는 공급 유체의 방향은 동일하다. The direction of the supply fluid flowing in the 1-1 chamber 510 and the 1-2 chamber 520 is the same.

하나의 예로써, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-1챔버(510) 및 제1-2챔버(520)에서 유동하는 공급 유체는 모두 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동된다.As an example, as shown in FIG. 8 , the supply fluid flowing in the 1-1 chamber 510 and the 1-2 chamber 520 both flow in one direction, that is, clockwise.

제1-1챔버(510)에는, 제1공급부(410)에서 멀어질수록 하부로 경사지게 형성되는 제1가이드부(226)가 구비된다.The 1-1 chamber 510 is provided with a first guide part 226 that is inclined downward as the distance from the first supply part 410 increases.

제1가이드부(226)는 제1-1챔버(510)를 유동하는 공급 유체를 제1-1챔버(510)의 하부 방향으로 가이드하는 기능을 한다.The first guide part 226 serves to guide the supply fluid flowing in the 1-1 chamber 510 to the lower direction of the 1-1 chamber 510 .

위와 같이, 공급 유체가 제1-1챔버(510)의 하부 방향으로 가이드 됨에 따라, 제1공급부(410)에서 거리가 먼 영역에서도 공급 유체가 제1-1틈새(511)를 통해 제2챔버(600)로 원활하게 주입될 수 있다. 따라서, 제1공급부(410)와의 거리에 상관 없이, 제1-1챔버(510) 내부에서 비교적 균일한 유동압이 형성될 수 있으며, 이를 통해, 유동부(700)로 배출되는 유체의 유속의 증폭이 더욱 효과적으로 달성될 수 있다.As described above, as the supply fluid is guided in the lower direction of the 1-1 chamber 510, even in a region far from the first supply unit 410, the supply fluid flows into the second chamber through the 1-1 gap 511. (600) can be smoothly injected. Therefore, regardless of the distance from the first supply unit 410, a relatively uniform flow pressure can be formed inside the 1-1 chamber 510, and through this, the flow rate of the fluid discharged to the flow unit 700 Amplification can be achieved more effectively.

제1가이드부(226)가 구비됨에 따라, 제1공급부(410)에서 멀어질수록 제1-1챔버(510)의 높이가 길어진다.As the first guide part 226 is provided, the height of the 1-1 chamber 510 increases as the distance from the first supply part 410 increases.

따라서, 도 9의 제1공급부(410)에서 상대적으로 먼 제1-1챔버(510)의 높이 'h3' 의 높이가, 도 8의 제1공급부(410)에서 상대적으로 가까운 제1-1챔버(510)의 높이 'h1' 보다 더 길게 형성된다.Therefore, the height of the height 'h3' of the 1-1 chamber 510 relatively far from the first supply part 410 in FIG. 9 is the height of the 1-1 chamber relatively close to the first supply part 410 in FIG. It is formed longer than the height 'h1' of 510.

제1-2챔버(520)에는, 제2공급부(420)에서 멀어질수록 하부로 경사지게 형성되는 제2가이드부(227)가 구비된다.The first and second chambers 520 are provided with a second guide part 227 inclined downward as the distance from the second supply part 420 increases.

제2가이드부(227)는 제1-2챔버(520)를 유동하는 공급 유체를 제1-2챔버(520)의 하부 방향으로 가이드하는 기능을 한다.The second guide part 227 serves to guide the supply fluid flowing in the 1-2 chambers 520 to the lower direction of the 1-2 chambers 520 .

위와 같이, 공급 유체가 제1-2챔버(520)의 하부 방향으로 가이드 됨에 따라, 제2공급부(420)에서 거리가 먼 영역에서도 공급 유체가 제1-2틈새(521)를 통해 제2챔버(600)로 원활하게 주입될 수 있다. 따라서, 제2공급부(420)과의 거리에 상관 없이, 제1-2챔버(520) 내부에서 비교적 균일한 유동압이 형성될 수 있으며, 이를 통해, 유동부(700)로 배출되는 유체의 유속의 증폭이 더욱 효과적으로 달성될 수 있다.As described above, as the supply fluid is guided in the lower direction of the 1-2 chamber 520, even in a region far from the second supply unit 420, the supply fluid flows into the second chamber through the 1-2 gap 521. (600) can be smoothly injected. Therefore, regardless of the distance from the second supply unit 420, a relatively uniform fluid pressure can be formed inside the 1-2 chambers 520, and through this, the flow rate of the fluid discharged to the flow unit 700 Amplification of can be achieved more effectively.

제2가이드부(227)가 구비됨에 따라, 제2공급부(420)에서 멀어질수록 제1-2챔버(520)의 높이가 길어진다.As the second guide part 227 is provided, the height of the first and second chambers 520 increases as the distance from the second supply part 420 increases.

따라서, 도 9의 제2공급부(420)에서 상대적으로 먼 제1-2챔버(520)의 높이 'h4' 의 높이가, 도 8의 제2공급부(420)에서 상대적으로 가까운 제1-2챔버(520)의 높이 'h2' 보다 더 길게 형성된다.Therefore, the height 'h4' of the 1-2 chamber 520 relatively far from the second supply part 420 in FIG. 9 is the height of the 1-2 chamber relatively close to the second supply part 420 in FIG. It is formed longer than the height 'h2' of 520.

제2챔버(600)는 제2바디 하부(220)의 내측면과 제3바디 상부(310)의 외측면에 의해 이루어진다. 다시 말해, 제2챔버(600)는 제2바디 하부(220)의 내측면과 제3바디 상부(310)의 외측면에 의해 형성된 공간으로 이루어진다. 이러한 제2챔버(600)는 제1챔버(500) 및 유동부(700)와 연통된다. The second chamber 600 is formed by the inner surface of the lower second body 220 and the outer surface of the upper third body 310 . In other words, the second chamber 600 is composed of a space formed by the inner surface of the lower part 220 of the second body and the outer surface of the upper part 310 of the third body. The second chamber 600 communicates with the first chamber 500 and the moving part 700 .

제2챔버(600)는 링 형상을 갖도록 원형으로 형성된다.The second chamber 600 is formed in a circular shape to have a ring shape.

제2챔버(600)는 제1틈새에 의해 제1챔버(500)와 연통되고, 제2틈새(611)에 의해 유동부(700)와 연통된다.The second chamber 600 communicates with the first chamber 500 through the first gap and communicates with the moving part 700 through the second gap 611 .

제1틈새에 의해 제1챔버(500)의 하부와 제2챔버(600)의 하부가 연통되고, 제2틈새(611)에 의해 제2챔버(600)의 상부와 유동부(700)의 측면이 연통된다.The lower part of the first chamber 500 communicates with the lower part of the second chamber 600 through the first gap, and the upper part of the second chamber 600 and the side surface of the moving part 700 through the second gap 611 this is connected

유동부(700)는 제1 내지 제3중공(710, 720, 730)의 연통에 의해 이루어진다. 따라서, 유동부(700)는 유량 제어 장치(10)의 중앙에서 상하로 관통되게 형성된다.The moving part 700 is formed by communication between the first to third hollows 710, 720, and 730. Therefore, the moving part 700 is formed to penetrate vertically from the center of the flow control device 10 .

유동부(700)는 유입 유체가 유동되는 통로 기능을 한다.The flow part 700 functions as a passage through which the inflow fluid flows.

유동부(700)의 상부 및 하부 각각은 상부 배관 및 하부 배관에 연결될 수 있다.Upper and lower portions of the moving part 700 may be connected to an upper pipe and a lower pipe, respectively.

상부 배관을 통해 유입된 유입 유체는 유동부(700)의 내부를 거쳐 다시 하부 배관으로 유동되어 배출될 수 있다.The inflow fluid introduced through the upper pipe may pass through the inside of the flow unit 700 and flow back to the lower pipe to be discharged.

다시 말해, 유동부(700)가 상, 하부 배관 사이에 연통됨으로써, 유량 제어 장치(10)가 상, 하부 배관을 유동하는 유입 유체의 유량의 속도를 제어할 수 있는 것이다.In other words, since the flow unit 700 communicates between the upper and lower pipes, the flow control device 10 can control the flow rate of the inflow fluid flowing through the upper and lower pipes.

이하, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10) 내부의 유체의 흐름에 대해 설명한다.Hereinafter, the flow of the fluid inside the flow control device 10 according to the first embodiment of the present invention having the above configuration will be described.

이하의 설명에서 언급되는 공급 유체는, 외부 공급부에서 고압으로 공급부(400)에 공급되고, 공급부(400)를 통해 유량 제어 장치(10)의 내부로 유동되는 고압의 유체이다.The supply fluid referred to in the following description is a high-pressure fluid that is supplied to the supply unit 400 at high pressure from an external supply unit and flows into the flow control device 10 through the supply unit 400 .

고압의 공급 유체가 외부 공급부를 통해 제1공급부(410)으로 공급되면, 제1공급부(410)으로 공급된 공급 유체는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-1챔버(510) 내부에서 제1차단벽(221)에 막혀 반시계 방향으로 유동하지 못하고, 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동하게 된다.When the high-pressure supply fluid is supplied to the first supply unit 410 through the external supply unit, the supply fluid supplied to the first supply unit 410 is removed from the inside of the 1-1 chamber 510 as shown in FIG. 8 . It is blocked by the first blocking wall 221 and does not flow in a counterclockwise direction, but flows in one direction, that is, in a clockwise direction.

공급 유체는 제1-1챔버(510)를 따라 유동함과 동시에, 제1-1챔버(510) 내측 하부에 형성된 제1-1틈새(511)를 통해, 제2챔버(600)의 하부로 유동된다. 이 경우, 제1가이드부(226)에 의해 제1-1챔버(510)에서 제2챔버(600)로의 주입이 원활하게 이루어진다.The supply fluid flows along the 1-1 chamber 510 and at the same time flows to the lower part of the second chamber 600 through the 1-1 gap 511 formed in the inner lower part of the 1-1 chamber 510. it flows In this case, injection from the 1-1 chamber 510 to the second chamber 600 is smoothly performed by the first guide part 226 .

이렇게 제2챔버(600)로 유동된 공급 유체는, 제1-1챔버(510) 내에서의 유동 방향과 같은 시계 방향으로 링 형상의 제2챔버(600)를 따라 유동하게 된다.The supply fluid flowing into the second chamber 600 in this way flows along the ring-shaped second chamber 600 in the same clockwise direction as the flow direction in the 1-1 chamber 510 .

고압의 공급 유체가 외부 공급부를 통해 제2공급부(420)으로 공급되면, 제2공급부(420)으로 공급된 공급 유체는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-2챔버(520) 내부에서 제2차단벽(222)에 막혀 반시계 방향으로 유동하지 못하고, 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동하게 된다.When the high-pressure supply fluid is supplied to the second supply unit 420 through the external supply unit, the supply fluid supplied to the second supply unit 420 is removed from the inside of the first-second chamber 520 as shown in FIG. 8 . It is blocked by the second blocking wall 222 and does not flow in a counterclockwise direction, but flows in one direction, that is, in a clockwise direction.

공급 유체는 제1-2챔버(520)를 따라 유동함과 동시에, 제1-2챔버(520) 내측 하부에 형성된 제1-2틈새(521)를 통해, 제2챔버(600)의 하부로 유동된다. 이 경우, 제2가이드부(227)에 의해 제1-2챔버(520)에서 제2챔버(600)로의 주입이 원활하게 이루어진다.The supply fluid flows along the 1-2 chamber 520 and at the same time flows to the lower part of the second chamber 600 through the 1-2 gap 521 formed in the inner lower part of the 1-2 chamber 520. it flows In this case, injection into the second chamber 600 from the 1-2 chamber 520 is performed smoothly by the second guide part 227 .

이렇게 제2챔버(600)로 유동된 공급 유체는, 제1-2챔버(520) 내에서의 유동 방향과 같은 시계 방향으로 링 형상의 제2챔버(600)를 따라 유동하게 된다.The supply fluid flowing into the second chamber 600 in this way flows along the ring-shaped second chamber 600 in the same clockwise direction as the flow direction in the first and second chambers 520 .

공급 유체는 제2챔버(600)를 따라 유동함과 동시에, 제2챔버(600)의 내측 상부에 형성된 제2틈새(611)를 통해, 유동부(700) 내부로 유동된다.The supply fluid flows along the second chamber 600 and at the same time flows into the inside of the flow part 700 through the second gap 611 formed in the inner upper portion of the second chamber 600 .

제1경사면(711) 및 제2경사면(721)을 따라 유동부(700) 내부로 유동된 공급 유체는, 코안다 효과에 의해 제3경사면(731)을 따라, 유동부의 내측 방향으로 유동된 후, 제4경사면(732)을 따라 유동부(700)의 외측 방향으로 빠르게 유동하게 된다.The supply fluid flowing into the flow part 700 along the first inclined surface 711 and the second inclined surface 721 flows toward the inside of the flowing part along the third inclined surface 731 by the Coanda effect, and then , It flows rapidly outwardly of the moving part 700 along the fourth inclined surface 732 .

공급 유체가 매우 빠른 유속으로 제4경사면(732)을 따라 유동함에 따라, 유동부(700)의 중앙영역은 순간적으로 저압 상태가 되고, 이로 인해, 유입 유체가 빠르게 상부 배관을 통해 유입된 후, 유입 유체와 공급 유체의 유속이 가속되어 매우 빠른 속도로 하부 배관으로 배출되게 된다.As the supply fluid flows along the fourth inclined surface 732 at a very high flow rate, the central region of the flow part 700 is momentarily in a low pressure state, and as a result, the inflow fluid quickly flows in through the upper pipe, The flow velocity of the inlet fluid and the supply fluid is accelerated and discharged into the lower pipe at a very high speed.

또한, 유동부(700)의 제1 내지 제4경사면(732) 구조로 인해, 유동부(700)의 상부 구간에서 많은 양의 유입 유체가 유동부(700)의 내부로 유입될 수 있음과 동시에, 제1, 2경사면(711, 721)이 코안다 효과에 의해 저압 상태가 된 유동부(700)의 중앙 영역으로, 유입 유체를 가이드하게 된다. 따라서, 제1, 2경사면(711, 721)를 통해 유동부(700) 내부로 유입된 유입 유체는 공급 유체의 코안다 효과와 더불어 유동부(700) 외부로 배출되는 유체의 유속을 가속시키는 기능을 하게 된다.In addition, due to the structure of the first to fourth inclined surfaces 732 of the moving part 700, a large amount of inflow fluid can flow into the moving part 700 in the upper section of the moving part 700 and at the same time , The first and second inclined surfaces 711 and 721 guide the inflow fluid to the central region of the moving part 700 in a low pressure state due to the Coanda effect. Therefore, the inflow fluid introduced into the flow part 700 through the first and second slopes 711 and 721 accelerates the flow rate of the fluid discharged to the outside of the flow part 700 together with the Coanda effect of the supplied fluid. will do

위와 같이, 유량 제어 장치(10)는 코안다 효과에 의해 공급 유체 및 유입 유체의 유속이 코안다 효과로 증폭되어 유동부(700)를 통해 유량 제어 장치(10)의 외부로 배출됨으로써, 유입 유체의 속도를 증폭시킬 수 있게 된다.As described above, in the flow control device 10, the flow velocity of the supply fluid and the inflow fluid is amplified by the Coanda effect and discharged to the outside of the flow control device 10 through the flow unit 700, so that the inflow fluid speed can be amplified.

전술한 구성을 갖는 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)는 제1 내지 제3바디(100, 200, 300)의 결합으로 이루어져 있으므로, 복잡한 형상의 제1챔버(500) 및 제2챔버(600) 등을 쉽게 제조할 수 있다는 장점이 있다.Since the flow control device 10 according to the first embodiment of the present invention having the above configuration is composed of a combination of the first to third bodies 100, 200, and 300, the first chamber 500 having a complicated shape and There is an advantage that the second chamber 600 and the like can be easily manufactured.

또한, 분리 결합을 통해, 유량 제어 장치(10)의 유지보수 측면에서 유리하다는 장점이 있다.In addition, through separation and coupling, there is an advantage in terms of maintenance of the flow control device 10.

이하, 도 8 및 도 9를 통해 코안다 효과에 의한 유체의 속도 증폭에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the velocity amplification of the fluid by the Coanda effect will be described in detail with reference to FIGS. 8 and 9 .

전술한 바와 같이, 제1공급부(410) 또는 제2공급부(420)를 통해, 제1-1챔버(510) 및 제1-2챔버(520) 내부 각각으로 공급된 공급 유체는 제1-1챔버(510) 및 제1-2챔버(520) 내부 각각에서 유동하면서, 제1-1틈새(511) 및 제1-2틈새(521) 각각을 통해 제2챔버(600)로 유동하게 된다.As described above, the supply fluid supplied into the 1-1 chamber 510 and the 1-2 chamber 520 through the first supply unit 410 or the second supply unit 420, respectively, is While flowing inside the chamber 510 and the 1-2 chamber 520, respectively, it flows into the second chamber 600 through the 1-1 gap 511 and the 1-2 gap 521, respectively.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1-1틈새(511)로 유동되는 공급 유체는 제1가이드부(226)에 의해 가이드 되어 제1-1챔버(510)의 하부로 유동된 후, 제2챔버(600)의 하부에서 상부 방향으로 유동하게 된다. 이 과정에서, 공급 유체는 제1-1챔버(510)의 내측면과, 제2챔버(600)의 외측면을 따라 유동하게 됨으로써, 코안다 효과에 의해 공급 유체의 속도가 1차로 증폭된다.As shown in FIGS. 8 and 9, the supply fluid flowing into the 1-1 gap 511 is guided by the first guide part 226 and flows to the lower part of the 1-1 chamber 510, and then , flows from the lower part of the second chamber 600 to the upper part. In this process, the supplied fluid flows along the inner surface of the 1-1 chamber 510 and the outer surface of the second chamber 600, so that the velocity of the supplied fluid is primarily amplified by the Coanda effect.

제1-2틈새(521)로 유동되는 공급 유체는 제2가이드부(227)에 의해 가이드 되어 제1-2챔버(520)의 하부로 유동된 후, 제2챔버(600)의 하부에서 상부 방향으로 유동하게 된다. 이 과정에서, 공급 유체는 제1-2챔버(520)의 내측면과, 제2챔버(600)의 외측면을 따라 유동하게 됨으로써, 코안다 효과에 의해 공급 유체의 속도가 1차로 증폭된다.The supply fluid flowing into the 1-2 gap 521 is guided by the second guide part 227 and flows to the lower part of the 1-2 chamber 520, and then moves from the lower part of the second chamber 600 to the upper part. move in the direction In this process, the supply fluid flows along the inner surface of the first and second chambers 520 and the outer surface of the second chamber 600, so that the velocity of the supply fluid is primarily amplified by the Coanda effect.

위와 같이, 1차로 증폭된 공급 유체들은 제2챔버(600)의 내부로 유동하면서, 제2틈새(611)를 통해 제2챔버(600)로 유동하게 된다.As described above, the primarily amplified supply fluids flow into the second chamber 600 through the second gap 611 while flowing into the second chamber 600 .

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제2틈새(611)로 유동되는 공급 유체는 제2챔버(600)의 하부에서 상부로 유동된 후, 유동부(700)로 유동하게 된다. 이 과정에서, 공급 유체는 제2챔버(600)의 내측면과, 유동부(700)의 제3경사면(731)를 따라 유동하게 됨으로써, 코안다 효과에 의해 공급 유체의 속도가 2차로 증폭된다.As shown in FIGS. 8 and 9 , the supply fluid flowing through the second gap 611 flows from the bottom to the top of the second chamber 600 and then flows into the flow part 700 . In this process, the supplied fluid flows along the inner surface of the second chamber 600 and the third inclined surface 731 of the flow part 700, so that the velocity of the supplied fluid is amplified secondarily by the Coanda effect. .

이처럼, 공급부(400), 즉, 제1, 2공급부(410, 420)를 통해 제1챔버(500)로 공급된 공급 유체는, 제1챔버(500)에서 제2챔버(600)로 유동할 때 그 속도가 코안다 효과로 1차 증폭되고, 제2챔버(600)에서 유동부(700)로 유동할 때, 그 속도가 코안다 효과로 2차 증폭되게 된다.In this way, the supply fluid supplied to the first chamber 500 through the supply unit 400, that is, the first and second supply units 410 and 420, flows from the first chamber 500 to the second chamber 600. At this time, the speed is first amplified by the Coanda effect, and when flowing from the second chamber 600 to the moving part 700, the speed is amplified second by the Coanda effect.

2차로 증폭된 공급 유체는 유동부(700)의 하부를 따라 매우 빠른 속도로 유량 제어 장치(10)의 외부로 배출되게 된다.The secondly amplified supply fluid is discharged to the outside of the flow control device 10 at a very high speed along the lower part of the flow part 700 .

전술한 구성을 갖는 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)는 제1, 2차단벽(221, 222)을 통해, 제1, 2공급부(410, 420)를 편심으로 배치하지 않더라도, 제1-1챔버(510) 및 제1-2챔버(520) 내부에서 공급 유체의 흐름을 일방향으로 동일하게 유동시킬 수 있다.The flow control device 10 according to the first embodiment of the present invention having the above configuration does not eccentrically dispose the first and second supply units 410 and 420 through the first and second blocking walls 221 and 222. Even if not, the flow of supply fluid can be made to flow equally in one direction inside the 1-1st chamber 510 and the 1-2nd chamber 520.

이처럼, 제1-1챔버(510), 제1-2챔버(520) 및 제2챔버(600) 내부의 난류 발생이 최소화되어 유동부(700)로 주입되는 공급 유체의 높은 압력이 보장될 수 있다. 따라서, 종래의 유량 제어 장치보다 유동부(700)의 하부로 배출되는 유체의 속도가 높게 증폭될 수 있다.As such, the generation of turbulence inside the 1-1 chamber 510, the 1-2 chamber 520, and the second chamber 600 is minimized, so that high pressure of the supply fluid injected into the flow part 700 can be guaranteed. there is. Therefore, the speed of the fluid discharged to the lower portion of the flow unit 700 can be amplified higher than in the conventional flow control device.

또한, 제1, 2가이드부(226, 227)에 의해 제1-1챔버(510) 및 제1-2챔버(520) 각각에서 하부 방향으로의 유동 흐름이 원활하게 유도될 수 있으며, 이를 통해, 제1-1챔버(510) 및 제1-2챔버(520)의 균일한 유동압을 생성하여, 유동부(700)에서의 높은 속도로 증폭된 유체를 배출시킬 수 있다.In addition, the flow in the downward direction in each of the 1-1 chamber 510 and 1-2 chamber 520 can be smoothly induced by the first and second guide parts 226 and 227, through which , By generating a uniform flow pressure in the 1-1 chamber 510 and the 1-2 chamber 520, it is possible to discharge the amplified fluid at a high speed in the flow unit 700.

제2챔버(600)에는, 제1-1챔버(510)에서 제1-1틈새(511)를 통해, 제2챔버(600)로 주입된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키는 제3차단벽(미도시)과, 제1-2챔버(520)에서 제1-2틈새(521)를 통해, 제2챔버(600)로 주입된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키는 제4차단벽(미도시)이 구비될 수 있다.In the second chamber 600, a third blocking wall (which guides the supply fluid injected into the second chamber 600 in one direction through the 1-1 gap 511 in the 1-1 chamber 510) ) and a fourth blocking wall (not shown) for guiding the supply fluid injected into the second chamber 600 in one direction through the 1-2 gap 521 in the 1-2 chamber 520. may be provided.

이 경우, 제2챔버는, 제3, 4차단벽에 의해 제1-1챔버(510)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제2-1챔버(미도시)와, 제1-2챔버(520)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제2-2챔버로 상호 구별될 수 있다.In this case, the second chamber includes a 2-1 chamber (not shown) in which the supply fluid supplied from the 1-1 chamber 510 flows through the third and fourth blocking walls, and the 1-2 chamber 520 ) can be distinguished from each other by the 2-2 chamber in which the supplied fluid flows.

위와 같이, 제2챔버(600)가 제2-1챔버 및 제1-2챔버로 구별됨에 따라, 제2-1챔버 및 제1-2챔버 내부에서 난류 발생이 최소화되어, 유동부(700)를 통해 배출되는 유속의 높은 증폭을 달성할 수 있다.As described above, as the second chamber 600 is divided into the 2-1 chamber and the 1-2 chamber, generation of turbulence is minimized in the 2-1 chamber and the 1-2 chamber, and the moving part 700 Through this, it is possible to achieve high amplification of the discharged flow rate.

제1-1틈새(511)는 제1공급부(410)에서 멀어질수록 그 높이가 더 길어지게 형성될 수 있다. 위와 같이, 제1-1틈새(511)의 높이가 제1공급부(410)에서 멀어질수록 더 길어지게 형성됨에 따라, 제1공급부(410)에서 멀어지더라도, 많은 양의 공급 유체가 제1-1틈새(511)를 통해 제2챔버(600) 내부로 주입될 수 있다. 따라서, 제1-1챔버(510) 내부 및 제2챔버(600)의 균일한 유동압이 형성될 수 있다.The height of the 1-1 gap 511 may increase as the distance from the first supply unit 410 increases. As described above, as the height of the 1-1 gap 511 is formed to become longer as the distance from the first supply part 410 increases, even if it moves away from the first supply part 410, a large amount of supply fluid is supplied to the first It may be injected into the second chamber 600 through the -1 gap 511 . Accordingly, a uniform fluid pressure inside the 1-1 chamber 510 and the second chamber 600 can be formed.

제1-2틈새(521)는 제2공급부(420)에서 멀어질수록 그 높이가 더 길어지게 형성될 수 있다. 위와 같이, 제1-2틈새(521)의 높이가 제2공급부(420)에서 멀어질수록 더 길어지게 형성됨에 따라, 제2공급부(420)에서 멀어지더라도, 많은 양의 공급 유체가 제1-2틈새(521)를 통해 제2챔버(600) 내부로 주입될 수 있다. 따라서, 제1-2챔버(520) 내부 및 제2챔버(600)의 균일한 유동압이 형성될 수 있다.The height of the 1-2 gap 521 may increase as the distance from the second supply unit 420 increases. As described above, as the height of the 1-2 gap 521 is formed to become longer as the distance from the second supply part 420 increases, even if it moves away from the second supply part 420, a large amount of supply fluid is supplied to the first It can be injected into the second chamber 600 through the -2 gap 521 . Accordingly, a uniform fluid pressure inside the first and second chambers 520 and the second chamber 600 can be formed.

전술한 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)는 제1 내지 제3바디(100, 200, 300)가 상호 분리 가능하게 결합될 수 있다. In the above-described flow control device 10 according to the first embodiment of the present invention, the first to third bodies 100, 200, and 300 may be coupled to each other so as to be separable.

하나의 예로써, 제1바디(100)의 제1중공(710) 내부와 제2바디(200)의 외주면 중 어느 하나에 나사산이 구비되고, 나머지 하나에 암나사가 구비되어 나사 결합에 의해 제1바디(100) 및 제2바디(200)가 결합됨으로써, 제1바디(100) 및 제2바디(200)가 상호 분리 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 제2바디(200)의 제2중공(720) 내부와 제3바디(300)의 외주면 중 어느 하나에 나사산이 구비되고, 나머지 하나에 암나사가 구비되어 나사 결합에 의해 제2바디(200) 및 제3바디(300)가 결합됨으로써, 제2바디(200) 및 제3바디(300)가 상호 분리 가능하게 결합될 수 있다. As an example, a screw thread is provided on one of the inside of the first hollow 710 of the first body 100 and the outer circumferential surface of the second body 200, and a female screw is provided on the other one, so that the first body 100 is screwed together. By combining the body 100 and the second body 200, the first body 100 and the second body 200 can be coupled to each other detachably. In addition, a screw thread is provided on one of the inside of the second hollow 720 of the second body 200 and the outer circumferential surface of the third body 300, and a female screw is provided on the other, so that the second body 200 is screwed together. ) and the third body 300 are coupled, the second body 200 and the third body 300 can be mutually detachably coupled.

본 발명의 제2실시 예에 따른 유량 제어 장치(10')Flow control device 10' according to the second embodiment of the present invention

이하, 도 10을 참조하여, 본 발명의 제2실시 예에 따른 유량 제어 장치(10')에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to FIG. 10, a flow control device 10' according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 10은 본 발명의 제2실시 예에 따른 유량 제어 장치의 평면 단면도이다.10 is a plan cross-sectional view of a flow control device according to a second embodiment of the present invention.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시 예에 따른 유량 제어 장치(10')는, 제1바디(100')에 구비되는 공급부(400)를 통해 제1챔버(500')로 공급되는 공급 유체가 제1챔버(500') 내에서 일 방향으로 유동하도록 유량 제어 장치(10')의 중심축으로부터 편심되게 배치되는 것을 특징으로 한다. As shown in FIG. 10, the flow control device 10' according to the second embodiment of the present invention is supplied to the first chamber 500' through the supply unit 400 provided in the first body 100'. It is characterized in that the supplied fluid is disposed eccentrically from the central axis of the flow control device 10' so that the supplied fluid flows in one direction in the first chamber 500'.

또한, 제1챔버(500') 내에 별도의 차단벽 및 가이드부가 없고, 제1챔버(500')는 제링 형상을 갖도록 원형으로 형성된다. 따라서, 공급부(400')를 통해 공급된 공급 유체는 제1챔버(500') 내에서 일 방향으로 회전하여 유동한다. 제1챔버(500')가 하나의 챔버로 이루어지므로, 제1챔버(500')의 하부에는 제1틈새(미도시)가 구비되고, 제1틈새는 제1챔버(500')와 제2챔버(600)를 연통시킨다. 제1틈새 또한 링 형상을 갖도록 원형으로 형성된다.In addition, there is no separate blocking wall and guide part in the first chamber 500', and the first chamber 500' is formed in a circular shape to have a zerring shape. Accordingly, the supply fluid supplied through the supply unit 400' rotates and flows in one direction within the first chamber 500'. Since the first chamber 500' is composed of one chamber, a first gap (not shown) is provided in the lower part of the first chamber 500', and the first gap is formed between the first chamber 500' and the second chamber 500'. The chamber 600 is brought into communication. The first gap is also formed in a circular shape to have a ring shape.

위와 같이, 본 발명의 제2실시 예에 따른 유량 제어 장치(10')는 전술한 본 발명의 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)와 비교하여, 제1챔버(500')의 형상이 상이하고, 공급부(200')가 유량 제어 장치(10')의 중심축으로부터 편심되게 배치된다는 점에서 차이가 있을 뿐 나머지 구성요소는 동일하다. 따라서, 이하의 설명에서는 제1실시 예에 따른 유량 제어 장치(10)와의 차이점을 중점적으로 설명하며, 중복되는 설명은 생략한다.As described above, the flow control device 10' according to the second embodiment of the present invention is compared to the flow control device 10 according to the first embodiment of the present invention described above, and the shape of the first chamber 500' This is different, and there is a difference in that the supply unit 200' is disposed eccentrically from the central axis of the flow control device 10', but the rest of the components are the same. Therefore, in the following description, the difference from the flow control device 10 according to the first embodiment will be mainly described, and overlapping descriptions will be omitted.

공급부(400')는, 유량 제어 장치(10')의 중심축을 기준으로 편심되게 배치되는 제1공급부(410');와, 유량 제어 장치(10')의 중심축을 기준으로 편심되게 배치되며 제1공급부(410')와 대각선 방향으로 반대측에 배치되는 제2공급부(420');를 포함하여 구성될 수 있다.The supply unit 400' includes a first supply unit 410' disposed eccentrically with respect to the central axis of the flow control device 10'; and disposed eccentrically with respect to the central axis of the flow control device 10'. It may be configured to include; a second supply unit 420' disposed on the opposite side in a diagonal direction from the first supply unit 410'.

위와 같이, 제1공급부(410')와 제2공급부(420')가 유량 제어 장치(10')의 중심축을 기준으로 편심되게 배치됨에 따라, 제1챔버(500') 및 제2챔버(600) 내에서 공급 유체가 일방향으로 유동할 수 있다. As described above, as the first supply unit 410' and the second supply unit 420' are disposed eccentrically relative to the central axis of the flow control device 10', the first chamber 500' and the second chamber 600 ), the supply fluid can flow in one direction.

상세하게 설명하면, 제1공급부(410')은 제1바디(100')의 전방 우측에 배치되고, 제2공급부(420')은 제1바디(100')의 후방 좌측에 배치된다. 제1공급부(410')으로 공급된 공급 유체는 제1챔버(500') 내부에서 시계 방향으로 유동하며, 제1틈새(미도시)를 통해, 제2챔버(600)로 주입된다. 제2공급부(420')으로 공급된 공급 유체 또한, 제1챔버(500') 내부에서 시계 방향으로 유동하며, 제1틈새를 통해, 제2챔버(600)로 주입된다.In detail, the first supply unit 410' is disposed on the front right side of the first body 100', and the second supply unit 420' is disposed on the rear left side of the first body 100'. The supply fluid supplied to the first supply unit 410' flows clockwise inside the first chamber 500' and is injected into the second chamber 600 through a first gap (not shown). The supply fluid supplied to the second supply unit 420' also flows clockwise inside the first chamber 500' and is injected into the second chamber 600 through the first gap.

제2챔버(600) 내부로 주입된 공급 유체는 제1챔버(500')와 마찬가지로 시계 방향으로 유동하면서, 제2틈새(611)를 통해, 유동부(700)로 주입된다.The supply fluid injected into the second chamber 600 is injected into the flow part 700 through the second gap 611 while flowing clockwise like the first chamber 500'.

제1공급부(410')과 제2공급부(420')의 편심 배치로 인해, 제1챔버(500') 및 제2챔버(600) 내부에서 시계 방향, 즉, 일 방향으로의 공급 유체의 유동이 발생한다.Due to the eccentric arrangement of the first supply unit 410' and the second supply unit 420', the supply fluid flows in a clockwise direction inside the first chamber 500' and the second chamber 600, that is, in one direction. this happens

위와 같은 제2실시 예의 유량 제어 장치(10')는 별도의 차단벽 및 가이드부 없이 공급 유체를 일 방향으로 유동시킬 수 있어, 이처럼, 제1챔버(500') 및 제2챔버(600) 내부의 난류 발생이 최소화되어 유동부(500)로 주입되는 공급 유체의 높은 압력이 보장될 수 있다.The flow control device 10 'of the second embodiment as described above can flow the supply fluid in one direction without a separate blocking wall and guide, and thus, the inside of the first chamber 500' and the second chamber 600 Generation of turbulence is minimized, and high pressure of the supply fluid injected into the flow part 500 can be guaranteed.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the attached claims.

10, 10': 유량 제어 장치
100, 100': 제1바디 200: 제2바디
210: 제2바디 상부 211: 제1돌출면
212: 제2돌출면 220: 제2바디 하부
221: 차단벽 222: 제2차단벽
226: 제1가이드부 227: 제2가이드부
300: 제3바디 310: 제3바디 상부
320: 제3바디 하부 400, 400': 공급부
410, 410': 제1공급부 420, 420': 제2공급부
500, 500': 제1챔버 510: 제1-1챔버
511: 제1-1틈새 520: 제1-2챔버
521: 제1-2틈새 600, 600': 제2챔버
611: 제2틈새 700: 유동부
710: 제1중공 711: 제1경사면
720: 제2중공 721: 제2경사면
730: 제3중공 731: 제3경사면
732: 제4경사면10, 10': flow control device
100, 100': first body 200: second body
210: upper part of the second body 211: first protruding surface
212: second protruding surface 220: lower part of the second body
221: barrier wall 222: second barrier wall
226: first guide part 227: second guide part
300: 3rd body 310: 3rd body upper part
320: lower third body 400, 400': supply unit
410, 410': first supply unit 420, 420': second supply unit
500, 500': first chamber 510: first-first chamber
511: 1-1 gap 520: 1-2 chamber
521: first-second gap 600, 600': second chamber
611: second gap 700: moving part
710: first hollow 711: first slope
720: second hollow 721: second slope
730: third hollow 731: third slope
732: fourth slope

Claims

a first body having a central first hollow which penetrates vertically and having a supply unit communicating with the first hollow and supplying a supply fluid;
a second body having a second hollow penetrating vertically at the center and being inserted into and coupled to the inside of the first hollow to be positioned inside the first hollow; and
A third body having a third hollow penetrating vertically at the center and being inserted into and coupled to the inside of the second hollow so that an upper portion of the third body is located inside the second hollow,
The inner surface of the first hollow and the outer surface of the lower part of the second body of the second body form a first chamber communicating with the supply unit,
The inner surface of the lower part of the second body and the outer surface of the upper part of the third body of the third body form a second chamber communicating with the first chamber;
The first to third hollows communicate with each other to form a flow part, and the flow part and the second chamber communicate with each other to amplify the speed of the inlet fluid flowing into the flow part by the supply fluid supplied through the supply part. flow control device.

According to claim 1,
The upper part of the second body of the second body is provided with a first protruding surface continuously formed while protruding outwardly of the second body along an outer circumference of the upper part of the second body,
A first gap is formed by being spaced apart from each other between the lower part of the inner surface of the first hollow and the lower part of the outer surface of the lower part of the second body,
An upper portion of the first chamber is blocked by the first protruding surface, and a lower portion of the first chamber communicates with the second chamber through the first gap.

According to claim 1,
A second protruding surface protruding inward is provided on the inside of the upper part of the second body of the second body,
The second protruding surface and the upper surface of the third body are spaced apart from each other to form a second gap,
The second chamber is in communication with the flow part by the second gap, the flow control device.

According to claim 1,
The lower part of the second body is formed to be inclined in an outward direction toward the bottom, and the inner surface of the first chamber and the outer surface of the second chamber are formed to be inclined outward toward the bottom.

According to claim 1,
The upper part of the first hollow is provided with a first inclined surface formed to be inclined inward as it goes downward,
The upper part of the second hollow is formed to be inclined inward as it goes downward, and a second inclined surface connected to the first inclined surface is provided,
The inner surface of the upper part of the third body is provided with a third inclined surface formed to be inclined inward toward the bottom and a fourth inclined surface connected to the third inclined surface and formed to be inclined outward toward the lower part. Flow control device.

According to claim 1,
the supply unit,
a first supply unit provided on one side of the first body; and
A flow control device comprising a; second supply part provided on the other side of the first body so as to be disposed symmetrically with the first supply part based on the central axis of the first body.

According to claim 6,
A first blocking wall formed under the second body of the second body to protrude outward from the lower portion of the second body so as to guide the supply fluid supplied from the first supply unit in one direction, and the second supply unit A flow control device provided with a second blocking wall for guiding the supply fluid supplied from in one direction.

According to claim 7,
The first chamber includes a 1-1 chamber in which the supply fluid supplied from the first supply unit flows through the first blocking wall, and the supply fluid supplied from the second supply unit flows through the second blocking wall. Distinguished from each other as the first and second chambers, the flow control device.

According to claim 8,
A first guide part is provided at the lower part of the first blocking wall to guide the supply fluid supplied from the first supply part to the 1-1 gap formed in the lower part of the 1-1 chamber, and the lower part of the second blocking wall Is provided with a second guide unit for guiding the supply fluid supplied from the second supply unit to the 1-2 gap formed in the lower portion of the 1-2 chamber, the flow rate control device.

According to claim 1,
Wherein the first to third bodies are detachably coupled to each other, the flow control device.