KR102131156B1 - Exhaust Activation Device - Google Patents

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KR102131156B1
KR102131156B1 KR1020170117358A KR20170117358A KR102131156B1 KR 102131156 B1 KR102131156 B1 KR 102131156B1 KR 1020170117358 A KR1020170117358 A KR 1020170117358A KR 20170117358 A KR20170117358 A KR 20170117358A KR 102131156 B1 KR102131156 B1 KR 102131156B1
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Abstract

배기활성장치가 개시된다. 일 실시예는, 배기덕트에 설치되는 것으로, 외측면에 형성되는 제1체결부와, 상기 제1체결부 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부와, 상기 제1공압조절부 하단에 형성되는 제1단턱으로 이루어지는 상부몸체; 내측면에 형성되는 제2체결부와, 상기 제2체결부 하부에 형성되는 제2공압조절부와, 상기 제2공압조절부를 관통하여 결합되는 공기유입노즐과, 상기 제2공압조절부 하단에 형성되는 제2단턱으로 이루어지며, 상기 상부몸체의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체;를 포함하고, 상부몸체와 하부몸체의 체결정도에 따라 공압이 조절되는 것이며, 상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재;를 포함하고, 연결부재는 배기덕트에 연결된다.
이에 따르면, 상부몸체와 하부몸체의 체결 정도에 따라 공압조절부의 부피가 가변되어 공압을 조절할 수 있게 되므로, 배기 덕트에서 위치마다 다르게 요구되는 배기압력을 정확하게 설정할 수 있어 배기 능력이 향상될 수 있는 효과가 있다. An exhaust activation device is disclosed. One embodiment, which is installed in the exhaust duct, the first fastening portion formed on the outer surface, the first pneumatic control portion formed by recessing in the circumferential direction below the first fastening portion, and the bottom of the first pneumatic control portion The upper body formed of a first stepped formed on; A second fastening portion formed on the inner surface, a second pneumatic control portion formed under the second fastening portion, an air inlet nozzle coupled through the second pneumatic control portion, and at the bottom of the second pneumatic control portion Consists of a second step formed, the lower body is formed with an inner diameter larger than the outer diameter of the upper body; including, the air pressure is adjusted according to the fastening degree of the upper body and the lower body, the upper body or the outer surface of the lower body It includes; a connecting member formed to have a horizontal contact area; including, the connecting member is connected to the exhaust duct.
According to this, since the volume of the pneumatic control unit is variable depending on the degree of fastening between the upper body and the lower body, the air pressure can be adjusted, so that the required exhaust pressure can be accurately set for each position in the exhaust duct, thereby improving the exhaust capacity. There is.

Description

배기활성장치{Exhaust Activation Device}Exhaust Activation Device

개시되는 내용은 배기활성장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압축공기가 공급되는 공압조절부를 조절하여 공압을 조절할 수 있는 배기활성장치에 관한 것이다. The disclosure relates to an exhaust activation device, and more particularly, to an exhaust activation device capable of adjusting pneumatic pressure by adjusting a pneumatic control unit to which compressed air is supplied.

본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.Unless otherwise indicated herein, the content described in this section is not prior art to the claims of this application and is not admitted to be prior art by inclusion in this section.

이러한 과정에서 많은 화학물질들이 사용되며 공정 챔버로 상기 화학물질들을 공급하는 한편 미 반응된 화학물질 또는 부산물등의 배기 가스를 배기하는 것이 필요하다. In this process, many chemicals are used, and it is necessary to supply the chemicals to the process chamber while exhausting exhaust gas such as unreacted chemicals or byproducts.

이와 관련한 선행기술로써 대한민국 공개특허 제10-2005-0072234호(2005.07.11) 배관을 구비하는 반도체 설비가 개시되어 있다.As a prior art in this regard, a semiconductor equipment having a Republic of Korea Patent Publication No. 10-2005-0072234 (2005.07.11) has been disclosed.

이 종래의 기술은 공정에러를 감소시킬 수 있으며 공정 에러 원인을 쉽게 파악할 수 있는 반도체 설비를 제공한다. This conventional technique provides a semiconductor facility that can reduce process errors and easily identify the cause of process errors.

이 설비는 공정 챔버, 및 상기 공정 챔버에 연결되며 상기 공정 챔버 안의 배기 가스를 배출하는 배관을 구비하며, 상기 배관 내부에 프로펠러가 장착된 것을 특징으로 한다. This facility is connected to a process chamber and a process chamber, and is equipped with a pipe for discharging exhaust gas in the process chamber, and is characterized in that a propeller is installed inside the pipe.

또 다른 선행기술로는 배기덕트 도중에 압축공기를 이용하는 공기 증폭기를 마련하여 많은 배기 가스를 한꺼번에 흡입하고, 그 흡입된 배기가스를 강력히 배출함으로써 펌프보다 작은 콤팩트한 사이즈로 가스박스나 배기덕트 내부의 음압을 유지할 수 있어 가스박스나 스크러버 등을 통해 외부로 인체에 유해한 배기가스가 누출되지 않도록 하고 있다.As another prior art, an air amplifier using compressed air is provided in the middle of the exhaust duct to inhale a lot of exhaust gas at a time, and the sucked exhaust gas is strongly discharged, so the compact size of the gas box or exhaust duct is smaller than the pump. It is possible to prevent the harmful exhaust gas from leaking to the outside through a gas box or a scrubber.

그러나, 이러한 배기 덕트는 위치에 따라 요구되는 공압이 상이함에도 불구하고, 종래의 기술은 압축공기의 압력을 제어하는 기능이 없어 요구되는 공압을 제공하지 못하는 문제점이 있다.However, although the air pressure required for this exhaust duct is different depending on the location, the conventional technology has a problem in that it does not provide the required air pressure because it does not have a function to control the pressure of compressed air.

한편 본 발명자는 한국 실용신안출원 20-2014-0003836호 「반도체 제조 공정용 공압조절 배기활성장치」를 출원한 바 있다. On the other hand, the present inventor has filed Korean Utility Model Application No. 20-2014-0003836 "Pneumatically controlled exhaust activation device for semiconductor manufacturing process".

상기 선행기술은 배기활성장치가 상부몸체와 하부몸체로 체결되어 형성됨으로써, 상기 상부몸체와 하부몸체의 체결 정도에 따라 공압조절부의 부피가 가변되어 공압을 조절할 수 있게 되므로, 반도체 제조용 설비의 배기 덕트에서 위치마다 다르게 요구되는 공압을 제공할 수 있는 반도체 제조 공정용 공압조절 배기활성장치에 관련된 기술이다. In the prior art, since the exhaust activation device is formed by being fastened to the upper body and the lower body, the volume of the pneumatic control unit is variable according to the degree of fastening between the upper body and the lower body, so that the air pressure can be adjusted. It is a technology related to pneumatic control exhaust activation device for semiconductor manufacturing process that can provide different required pneumatics at each location.

한국 실용신안출원 20-2014-0003836호Korea Utility Model Application No. 20-2014-0003836

개시되는 내용은 본 발명자의 선출원 발명인 한국 실용신안출원 20-2014-0003836호를 개선하기 위한 것으로, 하부몸체로부터 배기 가스가 유입되어 상부몸체로 배출되며, 측면의 공압주입구에서 고압공기가 유입되어 벤츄리 효과에 의한 배기 가스의 배출이 가능하도록 하되, 상부몸체와 하부몸체는 나사 결합되며 상부몸체의 체결 깊이에 따라 고압공기의 압력이 조절되어 배기 가스의 배출속도를 조절할 수 있고, 연결부재를 이용하여 상부몸체와 하부몸체를 각기 덕트에 탈부착 가능하게 결합될 수 있어 시공이 용이해질 수 있도록 한 배기활성장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Disclosed is to improve Korean Utility Model Application No. 20-2014-0003836, which is the inventor of the present invention, exhaust gas is introduced from the lower body and discharged to the upper body, and high pressure air is introduced from the pneumatic injection port on the side to venturi. It is possible to discharge the exhaust gas by the effect, but the upper body and the lower body are screwed, and the pressure of the high-pressure air is adjusted according to the fastening depth of the upper body to control the exhaust rate of the exhaust gas. An object of the present invention is to provide an exhaust activation device that makes it possible to easily attach and detach the upper body and the lower body to each duct.

실시예의 목적은, 배기덕트에 설치되는 것으로, 외측면에 형성되는 제1체결부와, 상기 제1체결부 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부와, 상기 제1공압조절부 하단에 형성되는 제1단턱으로 이루어지는 상부몸체; 내측면에 형성되는 제2체결부와, 상기 제2체결부 하부에 형성되는 제2공압조절부와, 상기 제2공압조절부를 관통하여 결합되는 공기유입노즐과, 상기 제2공압조절부 하단에 형성되는 제2단턱으로 이루어지며, 상기 상부몸체의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체;를 포함하고, 상부몸체와 하부몸체의 체결정도에 따라 공압이 조절되는 것이며, 상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재;를 포함하고, 연결부재는 배기덕트에 연결되는 것을 특징으로 하는 배기활성장치에 의해 달성될 수 있다. The purpose of the embodiment is to be installed on the exhaust duct, the first fastening part formed on the outer surface, the first pneumatic control part formed by being recessed in the circumferential direction below the first fastening part, and the bottom of the first pneumatic control part The upper body formed of a first stepped formed on; A second fastening portion formed on the inner surface, a second pneumatic control portion formed under the second fastening portion, an air inlet nozzle coupled through the second pneumatic control portion, and at the bottom of the second pneumatic control portion Consists of a second step formed, the lower body is formed with an inner diameter larger than the outer diameter of the upper body; including, the air pressure is adjusted according to the tightening degree of the upper body and the lower body, the upper body or the outer surface of the lower body It is coupled and is formed to have a horizontal contact area; and a connecting member, it can be achieved by an exhaust activation device characterized in that it is connected to the exhaust duct.

개시된 실시예에 따르면, 상부몸체와 하부몸체의 체결 정도에 따라 공압조절부의 부피가 가변되어 공압을 조절할 수 있게 되므로, 배기 덕트에서 위치마다 다르게 요구되는 배기압력을 정확하게 설정할 수 있어 배기 능력이 향상될 수 있는 효과가 있다.According to the disclosed embodiment, the volume of the pneumatic control unit is variable according to the degree of fastening between the upper body and the lower body, so that the air pressure can be adjusted. It has the effect.

또한 상부몸체와 하부몸체를 각기 배기덕트에 탈부착 가능하게 결합될 수 있어 시공이 용이해질 수 있는 효과가 있다. In addition, since the upper body and the lower body can be detachably coupled to the exhaust ducts, the construction can be facilitated.

도 1은 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 사시도,
도 2는 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 분해사시도,
도 3 및 도 4는 실시예에 따른 배기활성장치의 작동을 나타낸 단면도,
도 5는 제2실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도,
도 6은 제3실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도,
도 7은 제4실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing an exhaust activation device according to an embodiment,
Figure 2 is an exploded perspective view showing the exhaust activation device according to the embodiment,
3 and 4 are cross-sectional views showing the operation of the exhaust activation device according to the embodiment,
Figure 5 is a perspective view showing a'connection member' of the exhaust activation device according to the second embodiment,
Figure 6 is a perspective view showing a'connection member' of the exhaust activation device according to the third embodiment,
7 is a perspective view showing a'connection member' of the exhaust activation device according to the fourth embodiment.

이하 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.The embodiments to be described below are intended to be described in detail to the extent that one of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement the invention, thereby limiting the technical spirit and scope of the present invention. Does not mean

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다. In addition, the size or shape of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description, and terms specifically defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user or operator It should be noted that definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 사시도, 도 2는 실시예에 따른 배기활성장치를 나타낸 분해사시도, 도 3 및 도 4는 실시예에 따른 배기활성장치의 작동을 나타낸 단면도, 도 5는 제2실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도, 도 6은 제3실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도, 도 7은 제4실시예에 따른 배기활성장치의 '연결부재'를 나타낸 사시도이다.Among the accompanying drawings, FIG. 1 is a perspective view showing the exhaust activation device according to the embodiment, FIG. 2 is an exploded perspective view showing the exhaust activation device according to the embodiment, and FIGS. 3 and 4 illustrate the operation of the exhaust activation device according to the embodiment FIG. 5 is a perspective view showing a'connection member' of the exhaust activation device according to the second embodiment, FIG. 6 is a perspective view showing a'connection member' of the exhaust activation device according to the third embodiment, and FIG. 7 is a fourth It is a perspective view showing a'connection member' of the exhaust activation device according to the embodiment.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 배기활성장치는, 배기가스를 배기하는 배기덕트에 설치되어 배기가스의 흐름을 원활히 하는 것으로, 외측면에 형성되는 제1체결부(110)와, 상기 제1체결부(110) 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부(120)와, 상기 제1공압조절부(120) 하단에 형성되는 제1단턱(130)으로 이루어지는 상부몸체(100); 내측면에 형성되는 제2체결부(210)와, 상기 제2체결부(210) 하부에 형성되는 제2공압조절부(220)와, 상기 제2공압조절부(220)를 관통하여 결합되는 공기유입노즐(224)과, 상기 제2공압조절부(220) 하단에 형성되는 제2단턱(230)으로 이루어지며, 상기 상부몸체(100)의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체(200);상기 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되면서 상기 제1단턱(130)과 제2단턱(230) 사이에 형성되는 공간인 공압조절부를 포함하여 이루어진다. 1 to 4, the exhaust activation device according to the embodiment is installed in an exhaust duct for exhausting exhaust gas to facilitate the flow of exhaust gas, and the first fastening unit 110 formed on the outer surface ), a first pneumatic control unit 120 formed by being recessed in the circumferential direction under the first fastening unit 110, and a first step 130 formed at a lower end of the first pneumatic control unit 120. Upper body 100; The second fastening part 210 formed on the inner surface, the second pneumatic adjustment part 220 formed under the second fastening part 210, and the second pneumatic adjustment part 220 through the combined It consists of an air inlet nozzle 224, and a second stepped portion 230 formed at the bottom of the second pneumatic control unit 220, the lower body 200 having an inner diameter larger than the outer diameter of the upper body 100; As the upper body 100 and the lower body 200 are fastened, it comprises a pneumatic control unit, which is a space formed between the first step 130 and the second step 230.

상부몸체(100)는 상부로 갈수록 두께가 얇아지도록 내측면이 경사진 제1경사면(103)이 형성된 가스배출구(101)가 형성되고, 외측면에는 나사산으로 이루어진 제1체결부(110)가 형성되고, 제1체결부(110)이 형성된 외경보다 축소되어 단차지게 제1공압조절부(120)가 형성된다.The upper body 100 is formed with a gas outlet 101 having a first inclined surface 103 with an inclined inner surface so that the thickness becomes thinner toward the upper portion, and a first fastening portion 110 made of a thread is formed on the outer surface. The first pneumatic control part 120 is formed to be stepped by being smaller than the outer diameter where the first fastening part 110 is formed.

제1체결부(110)는 상부몸체(100)에 외주면에 원주방향으로 형성되되 일정폭을 갖고 형성된다. The first fastening portion 110 is formed in the circumferential direction on the outer circumferential surface of the upper body 100, but is formed with a certain width.

제1체결부(110)는 나사산으로 3cm 내지 6cm의 폭을 갖고 형성된다. The first fastening portion 110 is formed with a thread width of 3cm to 6cm.

제1체결부(110)의 하단에는 상기 제1체결부(110)로부터 내측으로 수직하게 이격된 제1걸림턱(112)이 형성된다.At the bottom of the first fastening portion 110, a first engaging jaw 112, which is vertically spaced inwardly from the first fastening portion 110, is formed.

제1걸림턱(112)은 후술될 하부몸체(200)의 제2걸림턱(212)에 걸리게되고, 이로 인해 상부몸체(100)가 하부몸체(200) 내부로 삽입되지 않도록 방지하게 된다.The first locking jaw 112 is caught by the second locking jaw 212 of the lower body 200 to be described later, thereby preventing the upper body 100 from being inserted into the lower body 200.

제1체결부(110) 하부에는 제1공압조절부(120)가 형성된다. The first pneumatic control part 120 is formed under the first fastening part 110.

제1공압조절부(120)는 상기 제1걸림턱(112)보다 내측으로 직경이 작아져 형성되며, 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되면 후술될 제2공압조절부(220)와 대면하면서 제1공압조절부(120)와 제2공압조절부(220) 사이에 공간(V)이 형성되고, 공간(V)에는 공기유입노즐(224)을 통해 들어오는 압축공기가 유입된다. The first pneumatic control unit 120 is formed to be smaller in diameter than the first locking jaw 112, and when the upper body 100 and the lower body 200 are fastened, the second pneumatic control unit 220 will be described later. ), the space (V) is formed between the first pneumatic control unit 120 and the second pneumatic control unit 220, and compressed air entering through the air inlet nozzle 224 is introduced into the space (V). .

제1공압조절부(120)와 제1체결부(110) 사이에는 제1체결부(110)보다 내측으로 이격되어 형성되고, 제1공압조절부(120)보다는 외측으로 이격되어 형성되는 수직면(114)이 형성된다. Between the first pneumatic control unit 120 and the first fastening unit 110 is formed to be spaced inward than the first fastening unit 110, the vertical surface is formed to be spaced outward than the first pneumatic control unit 120 ( 114) is formed.

수직면(114)은 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되면 제2걸림턱(212)에 맞닿게 되는 면이다.The vertical surface 114 is a surface that comes into contact with the second locking jaw 212 when the upper body 100 and the lower body 200 are fastened.

한편 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1공압조절부(120) 하단에는 제1단턱(130)이 형성되는데, 제1단턱(130)은 공기가 공기유입구(222)로 유입되어 공압조절부(V)를 통과하여 배출될 때 상부몸체(100) 방향으로 압축공기가 유연하게 배출될 수 있도록 내측 모서리부가 모따기 되어 만곡면(132)으로 형성된다. Meanwhile, as illustrated in FIGS. 3 and 4, a first step 130 is formed at a lower end of the first pneumatic control part 120, and air is introduced into the air inlet 222 in the first step 130. The inner edge portion is chamfered to form a curved surface 132 so that compressed air can be discharged flexibly toward the upper body 100 when discharged through the adjusting portion V.

만곡면(132)은 둘레방향으로 여러개의 경사면이 형성되어 이루어진다.The curved surface 132 is formed by forming several inclined surfaces in the circumferential direction.

한편 하부몸체(200)는 내측면 상부에 제2체결부(210), 제2공압조절부(220), 제2단턱(230)이 형성되고, 하부에는 하단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 제2경사면(203)이 형성된다. On the other hand, the lower body 200 is formed with a second fastening portion 210, a second pneumatic control portion 220, and a second stepped portion 230 on the inner surface, and the second inclined surface so that the thickness becomes thinner toward the bottom. 203 is formed.

제2체결부(210)에는 상기 제1체결부(110)가 체결되도록 상기 제1체결부(110)의 외경에 상응하는 내경과 폭으로 형성되고, 상기 제2체결부(210)의 하단은 상기 제2체결부(210)로부터 외측으로 수직하게 돌출된 제2걸림턱(212)이 형성되며, 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 결합 상태일때 제1걸림턱(112)이 제2걸림턱(212)에 걸려 상부몸체(100)가 하부몸체(200) 내부로 빠지지 않도록 한다.The second fastening part 210 is formed with an inner diameter and a width corresponding to the outer diameter of the first fastening part 110 so that the first fastening part 110 is fastened, and the lower end of the second fastening part 210 is The second engaging jaw 212 is formed vertically protruding outward from the second fastening part 210, and when the upper body 100 and the lower body 200 are in a coupled state, the first engaging jaw 112 is removed. 2 caught on the hanging jaw 212 so that the upper body 100 does not fall into the lower body 200.

상기 제2체결부(210) 하부에는 제2공압조절부(220)가 형성되는데, 이 제2공압조절부(220)는 상기 제2걸림턱(212)으로부터 내측으로 이격되어 형성되어 상부몸체(100)와 하부몸체(200)가 체결되었을때 제1공압조절부(120)와 제2공압조절부(220) 사이에 발생되는 공간(V)에는 압축공기가 공기유입노즐로부터 유입되어 통과한다. A second pneumatic control unit 220 is formed under the second fastening unit 210, and the second pneumatic control unit 220 is formed to be spaced inwardly from the second locking jaw 212 to form an upper body ( 100) and when the lower body 200 is fastened, compressed air flows in and out of the air inlet nozzle into the space V generated between the first pneumatic control unit 120 and the second pneumatic control unit 220.

한편 제2공압조절부(220)에는 공기유입구(222)가 형성되고, 상기 공기유입구에는 공기유입노즐(224)이 결합된다. Meanwhile, an air inlet 222 is formed in the second pneumatic control part 220, and an air inlet nozzle 224 is coupled to the air inlet.

공기유입구(222)와 공기유입노즐(224)은 나사결합되어 체결 정도를 조절할 수 있다. The air inlet 222 and the air inlet nozzle 224 are screwed to adjust the degree of fastening.

따라서 공기유입노즐(224)을 상기 제1공압조절부(120)에 가깝도록 체결할수록 공압이 높아지게 된다. Therefore, the more the air inlet nozzle 224 is fastened to the first pneumatic control unit 120, the higher the air pressure becomes.

제2공압조절부(220) 하단에는 제2단턱(230)이 형성된다. The second stepped portion 230 is formed at the bottom of the second pneumatic control portion 220.

제2단턱(230)은 상기 제2공압조절부(220)로부터 내측으로 수직하게 연장되어 형성된다. The second step 230 is formed to extend vertically inward from the second pneumatic control unit 220.

제2단턱(230)의 하부에는 가스유입구(201)가 형성된다. The gas inlet 201 is formed under the second stepped 230.

가스유입구(201)는 외측면은 제2단턱(230)만큼 내측으로 이격된 외경으로 형성되고, 내측은 하단으로 갈수록 두께가 얇아지도록 경사진 제2경사면(203)이 형성된다. The gas inlet 201 has an outer surface formed with an outer diameter spaced inwardly by the second stepped surface 230, and an inner sloped second sloped surface 203 is formed such that the thickness becomes thinner toward the lower end.

따라서 가스유입구(201)의 내경은 상부로 갈수록 좁아지기 때문에 배기관을 타고온 가스가 압력차에 의해 유입속도가 촉진될 수 있다. Therefore, since the inner diameter of the gas inlet 201 becomes narrower toward the upper portion, the gas flowing in the exhaust pipe may promote the inflow speed by a pressure difference.

상기 제2단턱(230)은 공기유입노즐(224)로 유입된 압축공기가 제1공압조절부(120)와 제2공압조절부(220)의 사잇 공간(V)을 통과하여 제2단턱(230)에서 상기 제1단턱(130)의 만곡면(132)을 거쳐 가스 배출구(101)로 나가게 된다. The second step 230, the compressed air flowing into the air inlet nozzle 224 passes through the space (V) of the first pneumatic control unit 120 and the second pneumatic control unit 220, the second step ( At 230), it exits through the curved surface 132 of the first stepped 130 to the gas outlet 101.

이때 제1체결부(110)와 제2체결부(210)의 체결 정도에 따라 제1단턱(130)과 제2단턱(230) 사이에 형성되는 공압조절부(A)의 넓이가 조정된다. At this time, according to the fastening degree of the first fastening part 110 and the second fastening part 210, the width of the pneumatic adjustment part A formed between the first step 130 and the second step 230 is adjusted.

상부몸체(100)의 제1체결부(110)와 하부몸체(200)의 제2체결부(210) 간의 깊이를 깊게 체결하면 제1단턱(130)과 제2단턱(230) 사이가 좁아지므로 압축공기의 배출통로인 공압조절부(A)가 좁아져 압력이 높아진다.When the depth between the first fastening part 110 of the upper body 100 and the second fastening part 210 of the lower body 200 is deeply fastened, the distance between the first step 130 and the second step 230 is narrowed. The pressure is increased by narrowing the pneumatic control part (A), which is a discharge passage of compressed air.

상부몸체(100)의 제1체결부(110)와 하부몸체(200)의 제2체결부(210) 간의 깊이를 얕게 체결하면 제1단턱(130)과 제2단턱(230)의 사이가 넓어지므로 공압조절부(A)가 넓어져 압력이 낮아진다.When the depth between the first fastening portion 110 of the upper body 100 and the second fastening portion 210 of the lower body 200 is shallowly fastened, the first step 130 and the second step 230 are widened. As the pressure decreases, the pneumatic regulator (A) widens.

이와 같이 구성된 실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다. The operation of the embodiment configured as described above is as follows.

실시예에 따른 배기활성장치(10)는 반도체 공정에서 생성되는 가스를 배출하는 배기덕트에 연결되고, 발생되는 가스가 배기덕트에 연결된 배기활성장치(10)를 통과하게 된다. The exhaust activation device 10 according to the embodiment is connected to an exhaust duct that discharges gas generated in a semiconductor process, and the generated gas passes through the exhaust activation device 10 connected to the exhaust duct.

물론 본 실시예는 반도체 공정 가스의 배출용도로만 한정되지는 않음을 밝혀둔다. Of course, it should be noted that this embodiment is not limited to the purpose of discharging the semiconductor process gas.

배기활성장치(10)에 압축공기를 배출하는 에어컴프레셔가 연결된다. An air compressor that discharges compressed air is connected to the exhaust activation device 10.

압축공기는 상기 공기유입노즐(224)을 통해 유입되고, 공압조절부(V)를 통과하며 제1단턱(132)의 만곡면을 돌아 상부몸체(100)의 가스배출구(101)로 빠져나간다.Compressed air flows through the air inlet nozzle 224, passes through the pneumatic control unit V, and turns around the curved surface of the first stepped 132 and exits through the gas outlet 101 of the upper body 100.

상기한 압축 공기의 유입은 반도체 제조 공정에서 발생되는 가스의 흐름을 원할하게 한다. The inflow of the compressed air makes the flow of gas generated in the semiconductor manufacturing process smooth.

전술한 배기활성장치(10)는 제1체결부(120)와 제2체결부(120)의 체결 정도를 조절하여 공압조절부(A)를 조정할 수 있다. The above-described exhaust activation device 10 may adjust the degree of fastening between the first fastening part 120 and the second fastening part 120 to adjust the pneumatic control part A.

조정된 공압조절부(A)00에 따라 압축공기의 공압을 설정 할 수 있어 배기덕트에서 요구하는 공압을 제공할 수 있다. The air pressure of the compressed air can be set according to the adjusted pneumatic control part (A)00, thereby providing the air pressure required by the exhaust duct.

한편 상기 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재(4);가 포함되고, 연결부재(4)는 배기덕트에 탈부착 가능하도록 연결된다. On the other hand, it is coupled to the outer surface of the upper body 100 or the lower body 200, and a connecting member 4 formed to have a horizontal contact area; is included, and the connecting member 4 is connected to be detachably attached to the exhaust duct.

연결부재(4)는 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 외면에 끼움결합되는 중앙에 끼움공(42)이 형성되고 환형부재이며, 다수의 볼트체결공(44)이 형성된다.The connecting member 4 is a fitting hole 42 formed in the center that is fitted to the outer surface of the upper body 100 or the lower body 200 and is an annular member, and a plurality of bolt fastening holes 44 are formed.

따라서 연결부재(4)를 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 외면에 끼워 결합시킨 후 용접에 의해 접착시키게 된다. Therefore, the connecting member 4 is fitted to the outer surface of the upper body 100 or the lower body 200 and then bonded by welding.

이후 상,하부에 각기 형성된 연결부재(4)에 배기덕트의 단부가 밀착된 후 패킹이 삽입된 다음 볼트를 볼트체결공(44) 및 배기덕트의 단부에 관통시켜 나사 체결함으로써 결합된다. Thereafter, after the ends of the exhaust duct are in close contact with the connecting members 4 respectively formed on the upper and lower parts, the packing is inserted, and then the bolts are screwed through the bolt fastening holes 44 and the ends of the exhaust duct.

상,하부의 연결부재(4)는 장볼트(46)에 의해 연결되어 일체가 될 수 있다. The upper and lower connecting members 4 may be integrally connected by long bolts 46.

한편 연결부재(5,6,7)와 상부몸체(100) 또는 하부몸체(200)의 결합을 여러가지 실시예로 구현될 수 있다. Meanwhile, the coupling of the connecting members 5, 6, 7 and the upper body 100 or the lower body 200 may be implemented in various embodiments.

도 5에 도시된 바와 같이, 제2실시예(A2)에 따르면, 연결부재(5)는 끼움공(52)의 내주면에 다수의 키홈(54)이 형성되고, 상,하부몸체(100,200)의 외주면에는 다수의 키(56)가 형성되어 이루어진다. As shown in Figure 5, according to the second embodiment (A2), the connecting member 5 is formed with a plurality of key grooves 54 on the inner circumferential surface of the fitting hole 52, the upper and lower body (100,200) A number of keys 56 are formed on the outer circumferential surface.

키홈(54)은 연결부재(5)의 끼움공(52)의 내측으로 오목하게 요입형성되며 단면이 대략 사각형으로 형성된다. The key groove 54 is recessed concavely into the fitting hole 52 of the connecting member 5 and is formed in a substantially rectangular cross section.

키홈(54)에 삽입될 수 있도록 상부몸체(100)의 키(56)는 외부로 돌출된 사각형의 돌기로 이루어진다.The key 56 of the upper body 100 is made of a rectangular projection protruding outward so that it can be inserted into the key groove 54.

따라서 연결부재(5)의 키홈(54)에 상,하부몸체(100,200)의 키(56)가 억지끼움으로 결합됨으로써 연결부재(5)와 상,하부몸체(100,200) 간의 결합이 이루어지게 된다. Therefore, the key 56 of the upper and lower bodies 100 and 200 is coupled to the key groove 54 of the connecting member 5 by interference fitting, so that the connection member 5 and the upper and lower bodies 100 and 200 are coupled.

이때 연결부재(5)의 키홈(54)과 상,하부몸체(100,200)의 키(56)의 결합 깊이를 조절할 수 있으므로 배기덕트의 단부와 이격된 거리 오차를 보상할 수 있어 연결작업이 원활하면서 정확하게 수행될 수 있다. At this time, since the coupling depth of the key groove 54 of the connecting member 5 and the key 56 of the upper and lower bodies 100 and 200 can be adjusted, it is possible to compensate for a distance error separated from the end of the exhaust duct, so that the connection work is smooth. It can be done accurately.

한편 도 6에 도시된 바와 같이, 제3실시예(A3)에 따르면, 연결부재(6)는 끼움공(61)의 내주면에 나사산(63)이 형성되고, 상,하부몸체(100,200)의 외주면에 나사부(65)가 형성되어 연결부재(6)가 나사결합된다. On the other hand, as shown in Figure 6, according to the third embodiment (A3), the connecting member 6 is formed with a thread 63 on the inner circumferential surface of the fitting hole 61, the outer circumferential surface of the upper and lower body (100,200) In the screw portion 65 is formed, the connection member 6 is screwed.

여기서 연결부재(6)를 회전시켜 상,하부몸체(100,200)의 나사부(65)와 나사결합시키되 결합되는 깊이를 적정하게 조절할 수 있어 배기덕트의 단부와 이격 오차를 보상할 수 있어 연결작업이 원활하면서 정확하게 수행될 수 있다. Here, by rotating the connecting member (6), it is screwed with the screw (65) of the upper and lower bodies (100, 200), but it is possible to appropriately adjust the depth to be coupled, so it is possible to compensate for the end and spacing errors of the exhaust duct, making the connection work smoothly. While it can be done accurately.

한편 도 7에 도시된 바와 같이, 제4실시예(A4)에 따르면,연결부재(7)는 끼움공(72)의 내주면에 'ㄱ'자형의 체결홈(75)이 형성되고, 상,하부몸체(100,200)의 외주면에는 체결돌기(78)가 형성된다. On the other hand, as shown in Figure 7, according to the fourth embodiment (A4), the connecting member 7 is formed with a'a' shaped fastening groove 75 on the inner circumferential surface of the fitting hole 72, upper and lower Fastening projections 78 are formed on the outer circumferential surfaces of the bodies 100 and 200.

체결홈(75)은 수직부(751)와 수평부(752)로 이루어져 'ㄱ'자 형상이 되고, 수직부(751)의 단부는 연결부재(7)의 외면과 관통되게 형성된다. The fastening groove 75 consists of a vertical portion 751 and a horizontal portion 752 to form an'A' shape, and an end portion of the vertical portion 751 is formed to penetrate the outer surface of the connecting member 7.

따라서 체결홈(75)의 수직부(751)의 개구된 입구를 통해 체결돌기(78)가 삽입될 수 있다. Therefore, the fastening protrusion 78 may be inserted through the opening of the vertical portion 751 of the fastening groove 75.

체결홈(75)의 절곡부위까지 체결돌기(78)가 삽입된 후 연결부재(7)를 일측으로 회전시키면 체결돌기(78)가 수평부(752)를 타고 이동되면서 연결부재(7)가 견고하게 고정될 수 있다. After the fastening protrusion 78 is inserted to the bent part of the fastening groove 75, and then rotating the connecting member 7 to one side, the fastening protrusion 78 moves on the horizontal part 752, and the connecting member 7 is firm. Can be fixed.

비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.Although described in connection with the preferred embodiment, it will be readily recognized by those skilled in the art that various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the invention, and all such changes and modifications fall within the scope of the appended claims. Is self-explanatory.

4,5,6,7 : 연결부재 10 : 배기활성장치
42 : 끼움공 44 : 볼트체결공
54 : 키홈 56 : 키
63 : 나사산 65 : 나사부
75 : 체결홈 78 : 체결돌기
100 : 상부몸체 101 : 가스배출구
103 : 제1경사면 110 : 제1체결부
112 : 제1걸림턱 114 : 수직면
120 : 제1공압조절부 220 : 제2공압조절부
222 : 공기유입구 224 : 공기유입노즐
230 : 제2단턱 V : 공간
A : 공압조절부4,5,6,7: Connecting member 10: Exhaust activation device
42: fitting hole 44: bolt fastener
54: keyway 56: key
63: thread 65: thread
75: fastening groove 78: fastening projection
100: upper body 101: gas outlet
103: first slope 110: first fastening
112: first engaging jaw 114: vertical plane
120: first pneumatic control unit 220: second pneumatic control unit
222: air inlet 224: air inlet nozzle
230: second step V: space
A: Pneumatic control unit

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 배기덕트에 설치되는 것으로,
외측면에 형성되는 제1체결부와, 상기 제1체결부 하부에 둘레방향으로 함몰되어 형성된 제1공압조절부와, 상기 제1공압조절부 하단에 형성되는 제1단턱으로 이루어지는 상부몸체;
내측면에 형성되는 제2체결부와, 상기 제2체결부 하부에 형성되는 제2공압조절부와, 상기 제2공압조절부를 관통하여 결합되는 공기유입노즐과, 상기 제2공압조절부 하단에 형성되는 제2단턱으로 이루어지며, 상기 상부몸체의 외경보다 큰 내경이 형성된 하부몸체;를 포함하고,
상기 상부몸체와 하부몸체의 체결정도에 따라 공압이 조절되는 것이며,
상기 상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 결합되며 수평하게 접촉면적을 갖도록 형성된 연결부재;를 포함하고, 상기 연결부재는 배기덕트에 연결되는 배기활성장치에 있어서,
상기 연결부재는
상부몸체 또는 하부몸체의 외면에 끼움결합되는 중앙에 끼움공이 형성되고 환형부재이며, 다수의 볼트체결공이 형성된 것이고,
상기 연결부재는 끼움공의 내주면에 다수의 키홈이 형성되고,
상기 상부몸체 또는 하부몸체의 외주면에는 다수의 키가 형성되며,
상기 다수의 키홈은 연결부재의 끼움공의 내측으로 오목하게 요입형성되며 단면이 사각형으로 형성되고,
상기 키홈에 삽입될 수 있도록 상,하부몸체의 키는 외부로 돌출된 사각형의 돌기로 이루어진 것으로,
연결부재의 키홈에 상,하부몸체의 키가 억지끼움으로 결합됨으로써 연결부재와 상,하부몸체 간의 결합이 이루어지게 되고,
상기 연결부재의 키홈과 상,하부몸체의 키의 결합 깊이를 조절할 수 있어 배기덕트의 단부와 이격된 거리 오차를 보상할 수 있도록 한 것이고,
상기 제1단턱의 하단면과 상기 상부몸체의 내측면이 접하는 모서리부는 모따기되어 만곡면이 형성되며,
상기 만곡면은 다수개의 경사면으로 이루어져 상기 모서리부가 완만하게 형성되는 것을 특징으로 하는 배기활성장치. It is installed in the exhaust duct,
An upper body formed of a first fastening part formed on an outer surface, a first pneumatic adjustment part recessed in the circumferential direction below the first fastening part, and a first stepped step formed at a lower end of the first pneumatic adjustment part;
A second fastening portion formed on the inner surface, a second pneumatic control portion formed under the second fastening portion, an air inlet nozzle coupled through the second pneumatic control portion, and at the bottom of the second pneumatic control portion Consists of a second step is formed, the lower body having an inner diameter larger than the outer diameter of the upper body; includes,
The air pressure is adjusted according to the tightening degree of the upper body and the lower body,
Including the connecting member is formed to have a horizontal contact area coupled to the outer surface of the upper body or the lower body, including, the connecting member in the exhaust activation device connected to the exhaust duct,
The connecting member
A fitting hole is formed in the center of the upper body or the lower body to be fitted and is an annular member, and a plurality of bolted holes are formed,
The connecting member has a plurality of key grooves are formed on the inner peripheral surface of the fitting hole,
A number of keys are formed on the outer circumferential surface of the upper body or the lower body,
The plurality of key grooves are recessed concavely inside the fitting hole of the connecting member, and the cross section is formed in a square shape.
The key of the upper and lower body so that it can be inserted into the key groove is made of a rectangular projection protruding outward,
As the keys of the upper and lower bodies are coupled to the key grooves of the connecting members by forcibly fitting, the connection between the connecting members and the upper and lower bodies is made,
It is possible to compensate the distance error spaced apart from the end of the exhaust duct by adjusting the coupling depth of the key grooves of the connecting member and the keys of the upper and lower bodies,
A corner portion in contact with the lower surface of the first step and the inner surface of the upper body is chamfered to form a curved surface,
The curved surface is formed of a plurality of inclined surfaces, the exhaust activation device characterized in that the edge portion is formed gently. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 3항에 있어서,
상기 제1체결부 하단에는 제1걸림턱이 내측으로 연장되어 형성되고,
상기 제2체결부 하단에는 제2걸림턱이 돌출되어 형성되며,
상기 제1걸림턱과 제2걸림턱에 의해 상기 상부몸체가 하부몸체 내부로 이탈되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 배기활성장치. According to claim 3,
At the bottom of the first fastening portion, a first locking jaw is formed to extend inward,
At the bottom of the second fastening portion, a second locking jaw is formed to protrude,
Exhaust activation device, characterized in that to prevent the upper body from being separated into the lower body by the first engaging jaw and the second engaging jaw. 제 3항에 있어서,
상기 하부몸체에는 공기유입구가 형성되고,
상기 공기유입구에 상기 공기유입노즐이 나사결합되어 체결되며,
상기 공기유입노즐의 체결정도에 따라 공압을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 배기활성장치.
According to claim 3,
An air inlet is formed in the lower body,
The air inlet nozzle is screwed and fastened to the air inlet,
Exhaust activation device, characterized in that the air pressure can be adjusted according to the degree of fastening of the air inlet nozzle.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200396420Y1 (en) * 2005-07-08 2005-09-21 (주)신일에이스 Flange type valve of flang coupling structure
KR101139106B1 (en) * 2012-01-12 2012-04-30 이성환 Eyelet
KR200478718Y1 (en) * 2014-05-19 2015-11-10 이병호 Exhaust activated system for exhaust duct

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0960774A (en) * 1995-08-25 1997-03-04 Nagase Chuko Kk Flange type pipe joint
KR20030069301A (en) * 2002-02-19 2003-08-27 삼성전자주식회사 Exhaust apparatus and air supplying apparatus for semiconductor manufacturing equipment having improved pipe connecting structure
KR101185176B1 (en) * 2010-03-16 2012-09-24 (주)한성 Valve connection device
KR101160510B1 (en) * 2011-11-29 2012-06-28 주식회사 우진아이엔에스 Adapter for length adjustment of semiconductor exhaust air duct
KR20140041989A (en) * 2012-09-26 2014-04-07 현대주철산업 주식회사 Structure for fixing flange to water pipe
KR20140003836U (en) 2012-12-13 2014-06-23 장성식 Lighting sheet for safety sign

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200396420Y1 (en) * 2005-07-08 2005-09-21 (주)신일에이스 Flange type valve of flang coupling structure
KR101139106B1 (en) * 2012-01-12 2012-04-30 이성환 Eyelet
KR200478718Y1 (en) * 2014-05-19 2015-11-10 이병호 Exhaust activated system for exhaust duct

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