KR102498680B1

KR102498680B1 - Flow control apparatus and exhaust system for harmful gas having the same

Info

Publication number: KR102498680B1
Application number: KR1020210064172A
Authority: KR
Inventors: 권창구; 김현신
Original assignee: (주)씨에스피
Priority date: 2021-05-18
Filing date: 2021-05-18
Publication date: 2023-02-10
Also published as: KR20220156311A

Abstract

본 발명은 반도체, 디스플레이, LED 분야 등 가스(gas) 사용 공정에서 사용되는 유량 제어 장치 및 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템에 관한 것으로서, 특히, 유체의 유량 및 속도 제어를 통해 유해 가스 배기 시스템의 배관 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되어 배관이 막히거나 부식에 의해 리크가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 유량 제어 장치와 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a flow control device used in a process of using gas such as semiconductor, display, and LED fields, and to a harmful gas exhaust system having the same, and in particular, to a piping of the harmful gas exhaust system by controlling the flow rate and speed of a fluid. The present invention relates to a flow control device capable of effectively preventing leakage due to corrosion or clogging of a pipe due to precipitation of particles or gas powder on an inner wall, and a harmful gas exhaust system having the same.

Description

Flow control apparatus and harmful gas exhaust system having the same {Flow control apparatus and exhaust system for harmful gas having the same}

본 발명은 반도체, 디스플레이, LED 분야 등 가스(gas) 사용 공정에서 사용되는 유량 제어 장치 및 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a flow control device used in a process using gas, such as semiconductor, display, and LED fields, and a harmful gas exhaust system having the same.

유해 가스 배기 시스템은, 반도체, 디스플레이, LED 등의 제조/가공 공정에서 공정챔버에서 발생되는 유해 가스를 펌프를 통해 배기한 후, 스크러버를 통해 유해 가스를 정화하는 과정을 수행하게 된다.The harmful gas exhaust system exhausts harmful gases generated in a process chamber in a manufacturing/processing process of semiconductors, displays, LEDs, etc. through a pump, and then purifies the harmful gases through a scrubber.

이러한 유해 가스 배기 시스템으로는 한국등록특허 제10-0511463호(이하, '특허문헌 1'이라 한다) 및 한국등록특허 제10-2177129호(이하, '특허문헌 2'라 한다)에 기재된 곳이 공지되어 있다.As such a harmful gas exhaust system, the places described in Korean Patent Registration No. 10-0511463 (hereinafter referred to as 'Patent Document 1') and Korean Patent Registration No. 10-2177129 (hereinafter referred to as 'Patent Document 2') are It is known.

유해 가스 배기 시스템은, 공정챔버, 펌프 및 스크러버가 배관으로 연결되어 있어, 유해 가스 배기 시스템을 통한 유해 가스의 정화를 장시간 수행함에 따라, 배관 내벽에 유해 가스의 파티클(particle), 가스 파우더(가스의 부산물로 인해 ㅂ발생되는 gas powder) 등이 쌓여, 펌프 및 스크러버를 연결하는 배관이 막히거나, 침전물로 인해 부식이 발생하고, 그 결과 배관에 리크가 발생하는 문제점이 있었다.In the noxious gas exhaust system, the process chamber, the pump, and the scrubber are connected by a pipe, and as the noxious gas is purified through the noxious gas exhaust system for a long time, particles of noxious gas and gas powder (gas powder) are removed from the inner wall of the pipe. There was a problem in that gas powder) generated due to by-products of the accumulation, clogging of pipes connecting pumps and scrubbers, or corrosion due to deposits, resulting in leaks in pipes.

종래에는, 위와 같은 배관 내벽의 막힘 및 배관 파손을 해결하기 위해, 배관을 높은 온도로 유지시켜 파티클 또는 가스 파우더가 침전되어 쌓이는 것을 방지하고자 하였다.Conventionally, in order to solve the above clogging of the inner wall of the pipe and pipe damage, the pipe is maintained at a high temperature to prevent particles or gas powder from precipitating and accumulating.

특허문헌 1에서는, 배관의 외부에 배관을 보온시키는 히트-자켓(HEAT-JACKET)을 설치하거나, 배관에 핫질소(HOT N₂)를 공급함으로써, 배관 내부의 온도를 높은 온도로 유지시켰으며, 특허문헌 2에서는 반응챔버에서 배출되는 가스의 폐열에 의해 폐가스원에서 공급된 폐가스를 직접적으로 예열하는 이젝터를 통해, 배관 내부의 온도를 높은 온도로 유지시켰다.In Patent Document 1, the temperature inside the pipe was maintained at a high temperature by installing a heat-jacket to keep the pipe warm outside the pipe or supplying hot nitrogen (HOT N ₂ ) to the pipe, In Patent Document 2, the temperature inside the pipe is maintained at a high temperature through an ejector that directly preheats the waste gas supplied from the waste gas source by the waste heat of the gas discharged from the reaction chamber.

그러나, 유해 가스 배기 시스템의 배관의 길이가 길어지고, 배관에 굴절부가 구비됨에 따라, 위와 같은 히터 및 핫 질소만으로는 배관 내부에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것을 충분히 방지할 수 없다.However, as the length of the pipe of the noxious gas exhaust system is increased and the pipe is provided with a bend, it is not possible to sufficiently prevent particles or gas powder from being deposited inside the pipe with only the above heater and hot nitrogen.

한국등록특허 제10-0511463호Korean Patent Registration No. 10-0511463 한국등록특허 제10-2177129호Korean Patent Registration No. 10-2177129

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 유체의 유량 및 속도 제어를 통해 유해 가스 배기 시스템의 배관 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되어 배관이 막히거나 부식에 의해 리크가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 유량 제어 장치와 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-described problems, and effectively prevents clogging of the pipe or leakage due to corrosion due to precipitation of particles or gas powder on the inner wall of the pipe of the harmful gas exhaust system through control of the flow rate and speed of the fluid. It is an object of the present invention to provide a flow control device capable of preventing and a harmful gas exhaust system having the same.

본 발명의 일 특징에 따른 유량 제어 장치는, 공급 유체가 공급되는 공급구; 상기 공급구에 연통된 챔버; 상기 챔버의 내측에 배치되어 상기 챔버와 연통되는 유동부; 및 상기 공급구의 면적을 조절하여 상기 유동부로 유입되는 유입 유체의 속도를 제어하는 제어부재;를 포함한다.Flow control device according to one feature of the present invention, the supply port through which the supply fluid is supplied; a chamber communicating with the supply port; a moving part disposed inside the chamber and communicating with the chamber; and a control unit for controlling the speed of the inflow fluid flowing into the flow unit by adjusting the area of the supply port.

또한, 상기 제어부재는 슬라이드 이동되어 상기 공급구의 면적을 조절한다.In addition, the control member slides to adjust the area of the supply port.

또한, 상기 공급구는, 제1바디의 일측에 구비되는 제1공급구; 및 상기 제1바디의 반대측에 구비되는 제2공급구;를 포함하고, 상기 제어부재는, 상기 제1바디의 제1삽입구에 슬라이드 가능하도록 삽입되어 슬라이드에 의해 상기 제1공급구의 면적을 조절하는 제1제어부재; 및 상기 제1바디의 제2삽입구에 슬라이드 가능하도록 삽입되어 슬라이드에 의해 상기 제2공급구의 면적을 조절하는 제2제어부재;를 포함한다.In addition, the supply port, the first supply port provided on one side of the first body; and a second supply port provided on the opposite side of the first body, wherein the control member is slidably inserted into the first insertion port of the first body to adjust the area of the first supply port by a slide. a first control member; and a second control member that is slidably inserted into the second insertion port of the first body and adjusts the area of the second supply port by a slide.

또한, 상기 제1공급구 및 제2공급구를 통해 공급된 공급 유체는 상기 챔버 내에서 일 방향으로 유동한다.In addition, the supply fluid supplied through the first supply port and the second supply port flows in one direction within the chamber.

또한, 상기 제1제어부재의 일측면에는, 상기 제1공급구를 통해 공급된 공급 유체를 일 방향으로 가이드시키는 제1가이드 경사부가 구비되고, 상기 제2제어부재의 일측면에는, 상기 제2공급구를 통해 공급된 공급 유체를 일 방향으로 가이드시키는 제2가이드 경사부가 구비된다.In addition, a first guide inclined portion for guiding the supply fluid supplied through the first supply port in one direction is provided on one side of the first control member, and on one side of the second control member, the second A second guide inclined portion for guiding the supply fluid supplied through the supply port in one direction is provided.

또한, 상기 챔버는, 상기 공급구와 연통되는 제1챔버; 및 상기 제1챔버와 상기 유동부의 사이에 구비되어 상기 제1챔버와 상기 유동부를 연통시키는 제2챔버;를 포함하고, 상기 제1챔버는, 상기 제1공급구에서 공급된 공급 유체가 유동되는 제1-1챔버; 및 상기 제2공급구에서 공급된 공급 유체가 유동되는 제1-2챔버;를 포함하며, 상기 제1-1챔버와 상기 제1-2챔버는 제1차단벽 및 제2차단벽에 의해 상호 구별되고, 상기 제1차단벽은 상기 제1공급구에서 공급된 공급 유체가 상기 제1-1챔버 내부에서 일 방향으로 유동되도록 유도시키며, 상기 제2차단벽은 상기 제2공급구에서 공급된 공급 유체를 상기 제1-2챔버 내부에서 일 방향으로 유동되도록 유도시킨다.In addition, the chamber may include a first chamber communicating with the supply port; and a second chamber provided between the first chamber and the flow part to communicate with the first chamber and the flow part, wherein the first chamber is configured to flow the supply fluid supplied from the first supply port. 1-1 chamber; and a 1-2 chamber in which the supply fluid supplied from the second supply port flows, wherein the 1-1 chamber and the 1-2 chamber are mutually connected by a first blocking wall and a second blocking wall. The first blocking wall induces the supply fluid supplied from the first supply port to flow in one direction inside the 1-1 chamber, and the second blocking wall induces the fluid supplied from the second supply port to flow in one direction. The supply fluid is induced to flow in one direction inside the first and second chambers.

본 발명의 일 특징에 따른 유해 가스 배기 시스템은, 펌프; 상기 펌프에 연결되어 유해 가스를 정화하는 스크러버; 상기 펌프와 상기 스크러버를 연결하는 배관; 및 상기 배관에 구비되는 유량 제어 장치;를 포함하고, 상기 유량 제어 장치는, 공급 유체가 공급되는 공급구; 상기 공급구에 연통된 챔버; 상기 챔버의 내측에 배치되어 상기 챔버와 연통되며, 상기 배관의 상류 배관과 하류 배관을 연결하며 상류 배관을 통해 유입 유체가 유입되는 유동부; 및 상기 공급구의 면적을 조절하는 제어부재;를 포함한다.Harmful gas exhaust system according to one feature of the present invention, the pump; A scrubber connected to the pump to purify harmful gases; a pipe connecting the pump and the scrubber; and a flow control device provided in the pipe, wherein the flow control device includes: a supply port through which a supply fluid is supplied; a chamber communicating with the supply port; a flow unit disposed inside the chamber, communicating with the chamber, connecting an upstream pipe and a downstream pipe of the pipe, and introducing an inflow fluid through the upstream pipe; and a control member for adjusting the area of the supply port.

또한, 상기 공급구는, 제1바디의 일측에 구비되는 제1공급구; 및 상기 제1바디의 반대측에 구비되는 제2공급구;를 포함하고, 상기 제어부재는, 상기 제1바디의 제1삽입구에 슬라이드 가능하도록 삽입되어 슬라이드에 의해 상기 제1공급구의 면적을 조절하는 제1제어부재; 및 상기 제1바디의 제2삽입구에 슬라이드 가능하도록 삽입되어 슬라이드에 의해 상기 제2공급구의 면적을 조절하는 제2제어부재;를 포함하고, 상기 제1공급구 및 상기 2공급구를 통해 공급된 공급 유체는 상기 챔버 내에서 일 방향으로 유동하며, 상기 제1제어부재 또는 상기 제2제어부재를 통해 상기 제1공급구와 상기 제2공급구의 개폐 면적을 달리하여 상기 유동부 내에 난류를 형성시킨다.In addition, the supply port, the first supply port provided on one side of the first body; and a second supply port provided on the opposite side of the first body, wherein the control member is slidably inserted into the first insertion port of the first body to adjust the area of the first supply port by a slide. a first control member; and a second control member that is slidably inserted into the second insertion port of the first body and adjusts the area of the second supply port by a slide, wherein the supply is supplied through the first supply port and the second supply port. The supply fluid flows in one direction in the chamber, and the opening and closing areas of the first supply port and the second supply port are different through the first control member or the second control member to form a turbulent flow in the flow part.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 유량 제어 장치 및 이를 구비한 유해 가스 배기 시스템에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.As described above, according to the flow control device of the present invention and the noxious gas exhaust system having the same, the following effects are obtained.

유량 제어 장치에 의해 나선 유동하는 에어 장벽층이 형성됨으로써, 배관의 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것을 방지할 수 있으며, 이를 통해, 부식에 의해 리크가 발생하는 등 배관이 파손되는 것을 미연에 방지할 수 있다.By forming an air barrier layer that spirally flows by the flow control device, it is possible to prevent particles or gas powder from depositing on the inner wall of the pipe, and through this, damage to the pipe, such as leakage caused by corrosion, can be prevented in advance. It can be prevented.

공급 유체의 에어 장벽층은 배관 내부를 순간적으로 저압 상태로 만들어, 유동부를 통해 유입되는 공정챔버의 유해 가스 등의 유속을 증폭시킬 수 있으며, 이를 통해, 스크러버로의 유해 가스의 배기가 더욱 신속하게 이루어질 수 있다.The air barrier layer of the supplied fluid can instantaneously lower the inside of the pipe to a low-pressure state, thereby amplifying the flow rate of the harmful gas in the process chamber flowing through the flow part, through which the exhaust of the harmful gas to the scrubber is more rapid. It can be done.

제어부재를 통해 유량 제어 장치에 의해 증폭되는 유입 유체의 유속을 더욱 큰 폭으로 증폭시키거나, 선택적으로 유입 유체의 유속을 증폭시키지 않을 수 있다.Through the control unit, the flow rate of the inflow fluid amplified by the flow control device may be further amplified or selectively not amplified.

유량 제어 장치의 제어부재를 통해 난류를 발생시켜 배관 내부의 침전물을 제거할 수 있다.It is possible to remove deposits inside the pipe by generating turbulence through the control unit of the flow control device.

도 1은 본 발명의 유해 가스 배기 시스템을 도시한 도.
도 2는 도 1의 유해 가스 배기 시스템에 구비되는 유량 제어 장치의 사시도.
도 3 및 도 4는 도 2의 분리 사시도.
도 5는 도 2의 단면 사시도.
도 6은 도 2에서 제1, 2제어부재를 30% 개방했을 때의 평면 단면도.
도 7은 도 2에서 제1, 2제어부재를 50% 개방했을 때의 평면 단면도.
도 8은 도 2에서 제1, 2제어부재를 100% 개방했을 때의 평면 단면도.
도 9는 도 1의 유해 가스 배기 시스템에서, 도 2의 A-A'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 상류 배관과 하류 배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도.
도 10은 도 1의 유해 가스 배기 시스템에서, 도 2의 B-B'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 상류 배관과 하류 배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도.
도 11은 도 6의 상태에서 유량 제어 장치 내부의 공급 유체의 유속을 나타낸 도.
도 12는 도 7의 상태에서 유량 제어 장치 내부의 공급 유체의 유속을 나타낸 도.
도 13은 도 8의 상태에서 유량 제어 장치 내부의 공급 유체의 유속을 나타낸 도.1 is a diagram showing a noxious gas exhaust system of the present invention;
Figure 2 is a perspective view of a flow control device provided in the harmful gas exhaust system of Figure 1;
3 and 4 are separated perspective views of FIG. 2;
Figure 5 is a cross-sectional perspective view of Figure 2;
6 is a plan cross-sectional view when the first and second control members in FIG. 2 are opened by 30%;
7 is a plan cross-sectional view when the first and second control members in FIG. 2 are opened 50%;
8 is a plan cross-sectional view when the first and second control members in FIG. 2 are opened 100%;
9 is a view showing the flow of fluid flowing inside an upstream pipe and a downstream pipe through a side cross-sectional view taken along the line A-A' of FIG. 2 in the noxious gas exhaust system of FIG. 1;
10 is a view showing the flow of fluid flowing inside an upstream pipe and a downstream pipe through a side cross-sectional view taken along line BB′ of FIG. 2 in the noxious gas exhaust system of FIG. 1;
Figure 11 is a diagram showing the flow rate of the supply fluid inside the flow control device in the state of Figure 6;
12 is a diagram showing the flow rate of the supply fluid inside the flow control device in the state of FIG. 7;
13 is a diagram showing the flow rate of the supply fluid inside the flow control device in the state of FIG. 8;

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will become clear with reference to the detailed embodiments described below in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in different forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content will be thorough and complete, and the spirit of the present invention will be sufficiently conveyed to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numbers designate like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.Terms used in this specification are for describing embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, singular forms also include plural forms unless specifically stated otherwise in a phrase. As used herein, 'comprises' and/or 'comprising' means that a stated component, step, operation, and/or element is the presence of one or more other components, steps, operations, and/or elements. or do not rule out additions.

또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. In addition, since it is according to a preferred embodiment, the reference numerals presented according to the order of description are not necessarily limited to the order.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시 도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.In addition, the embodiments described in this specification will be described with reference to cross-sectional views and/or plan views, which are ideal exemplary views of the present invention. In the drawings, the thicknesses of films and regions are exaggerated for effective explanation of technical content. Accordingly, the shape of the illustrated drawings may be modified due to manufacturing techniques and/or tolerances. Therefore, embodiments of the present invention are not limited to the specific shapes shown, but also include changes in shapes generated according to manufacturing processes. Accordingly, the regions illustrated in the drawings have schematic properties, and the shapes of the regions illustrated in the drawings are intended to illustrate a specific shape of a region of a device and are not intended to limit the scope of the invention.

다양한 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 실시 예가 다르더라도 편의상 동일한 명칭 및 동일한 참조번호를 부여하기로 한다. 또한, 이미 다른 실시 예에서 설명된 구성 및 작동에 대해서는 편의상 생략하기로 한다.In describing various embodiments, the same names and the same reference numbers will be given to components performing the same functions even if the embodiments are different. In addition, configurations and operations already described in other embodiments will be omitted for convenience.

이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)에 대해 설명한다.Hereinafter, the noxious gas exhaust system 10 of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 10 .

도 1은 본 발명의 유해 가스 배기 시스템을 도시한 도이고, 도 2는 도 1의 유해 가스 배기 시스템에 구비되는 유량 제어 장치의 사시도이고, 도 3 및 도 4는 도 2의 분리 사시도이고, 도 5는 도 2의 단면 사시도이고, 도 6은 도 2에서 제1, 2제어부재를 30% 개방했을 때의 평면 단면도이고, 도 7은 도 2에서 제1, 2제어부재를 50% 개방했을 때의 평면 단면도이고, 도 8은 도 2에서 제1, 2제어부재를 100% 개방했을 때의 평면 단면도이고, 도 9는 도 1의 유해 가스 배기 시스템에서, 도 2의 A-A'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 상류 배관과 하류 배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도이고, 도 10은 도 1의 유해 가스 배기 시스템에서, 도 2의 B-B'선을 따라 도시한 측면 단면도를 통해 상류 배관과 하류 배관의 내부에서 유동되는 유체의 흐름을 나타낸 도이고, 도 11은 도 6의 상태에서 유량 제어 장치 내부의 공급 유체의 유속을 나타낸 도이고, 도 12는 도 7의 상태에서 유량 제어 장치 내부의 공급 유체의 유속을 나타낸 도이고, 도 13은 도 8의 상태에서 유량 제어 장치 내부의 공급 유체의 유속을 나타낸 도이다.1 is a diagram showing a noxious gas exhaust system of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a flow control device provided in the noxious gas exhaust system of FIG. 1, FIGS. 3 and 4 are separated perspective views of FIG. 2, FIG. 5 is a cross-sectional perspective view of FIG. 2, FIG. 6 is a plan cross-sectional view when the first and second control members in FIG. 2 are opened by 30%, and FIG. 7 is a cross-sectional view when the first and second control members in FIG. 2 are opened by 50%. , FIG. 8 is a plan sectional view when the first and second control members in FIG. 2 are opened 100%, and FIG. 9 is a toxic gas exhaust system of FIG. 1 along the line A-A' in FIG. It is a view showing the flow of the fluid flowing inside the upstream pipe and the downstream pipe through the illustrated side cross-sectional view, and FIG. 10 is a side cross-sectional view taken along line BB' of FIG. 2 in the noxious gas exhaust system of FIG. 1 11 is a diagram showing the flow rate of the supplied fluid inside the flow control device in the state of FIG. 6, and FIG. 12 is in the state of FIG. 7 It is a diagram showing the flow rate of the supply fluid inside the flow control device, and FIG. 13 is a diagram showing the flow rate of the supply fluid inside the flow control device in the state of FIG. 8 .

도 1, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)은, 공정챔버(100);와, 공정챔버(100) 내부의 유해 가스를 배기하는 펌프(200);와, 펌프(200)에 연결되어 유해 가스를 정화하는 스크러버(300);와, 펌프(200)와 스크러버(300)를 연결하는 배관(310);과, 배관(310)에 구비되는 유량 제어 장치(500);를 포함하여 구성될 수 있다.1, 9 and 10, the harmful gas exhaust system 10 of the present invention includes a process chamber 100; and a pump 200 for exhausting harmful gases inside the process chamber 100. and, a scrubber 300 connected to the pump 200 to purify harmful gases; and a pipe 310 connecting the pump 200 and the scrubber 300; and a flow rate control provided in the pipe 310 Device 500; may be configured to include.

공정챔버(100)는 증착장비, 에칭장비, EFEM 등 반도체, 디스플레이, LED 등의 제조 공정이 수행되거나, 반도체, 디스플레이, LED 등이 이송되는 챔버를 통칭한다.The process chamber 100 collectively refers to a chamber in which manufacturing processes such as semiconductors, displays, LEDs, etc., such as deposition equipment, etching equipment, and EFEM are performed, or semiconductors, displays, LEDs, etc. are transferred.

이러한 공정챔버(100)의 내부에는 반도체, 디스플레이, LED 등의 제조 공정시 필요한 반응 가스 등에 의해 유해 가스가 발생하게 된다.Harmful gases are generated inside the process chamber 100 due to reactive gases required during manufacturing processes of semiconductors, displays, LEDs, and the like.

펌프(200)는 배기 배관(310)에 의해 공정챔버(100)와 연결되며, 흡입력을 발생시켜 공정챔버(100) 내부의 가스를 배기하여 공정챔버(100) 내부를 진공상태로 만들어 주며, 이 때, 공정챔버(100) 내부의 유해 가스도 함께 배기된다.The pump 200 is connected to the process chamber 100 by an exhaust pipe 310, generates a suction force to exhaust gas inside the process chamber 100, and creates a vacuum inside the process chamber 100. At this time, harmful gases inside the process chamber 100 are also exhausted.

스크러버(300)는 펌프(200)와 연결되며, 펌프(200)를 통해 배기된 공정챔버(100)의 유해 가스를 정화시키는 기능을 한다.The scrubber 300 is connected to the pump 200 and functions to purify harmful gases from the process chamber 100 exhausted through the pump 200 .

배관(310)은 펌프(200)와 스크러버(300)를 연결하는 기능을 한다.The pipe 310 serves to connect the pump 200 and the scrubber 300.

배관(310)은 상류 배관(311)과 하류 배관(312)을 포함하여 구성될 수 있다.The pipe 310 may include an upstream pipe 311 and a downstream pipe 312 .

배관(310)을 유동하는 유체, 즉, 유해 가스 및 공급 유체는 상류 배관(311)에서 하류 배관(312) 방향으로 유동하게 된다.The fluid flowing through the pipe 310, that is, the noxious gas and the supply fluid flow from the upstream pipe 311 to the downstream pipe 312.

유량 제어 장치(500)는 배관(310)에 구비된다.The flow control device 500 is provided in the pipe 310 .

유량 제어 장치(500)는 배관(310)의 상류 배관(311)과 하류 배관(312) 사이에 개재된다.The flow control device 500 is interposed between the upstream pipe 311 and the downstream pipe 312 of the pipe 310 .

상류 배관(311)은 유량 제어 장치(500)의 유동부(580)의 상류부(581)에 연결되고, 하류 배관(312)은 유량 제어 장치(500)의 유동부(580)의 하류부(582)에 연결된다. The upstream pipe 311 is connected to the upstream part 581 of the flow part 580 of the flow control device 500, and the downstream pipe 312 is connected to the downstream part 582 of the flow part 580 of the flow control device 500. ) is connected to

따라서, 펌프(200)에 의해 배기된 공정챔버(100) 내부의 유해 가스는 유동부(580)의 상류부(581)에서 하류부(582) 방향, 즉, 상류 배관(311)에서 하류 배관(312) 방향으로 유동하게 된다.Therefore, the harmful gas inside the process chamber 100 exhausted by the pump 200 moves from the upstream part 581 to the downstream part 582 of the flow part 580, that is, from the upstream pipe 311 to the downstream pipe 312. ) will flow in the direction

이하, 유량 제어 장치(500)에 대해 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the flow control device 500 will be described in more detail.

유량 제어 장치(500)는, 배관(310)의 내벽에 에어 장벽층(L)을 형성하여 배관(310) 내부를 유동하는 유체에 함유된 파티클 또는 가스 파우더가 배관(310) 내벽에 침전되지 못하도록 하는 기능을 한다.The flow control device 500 forms an air barrier layer (L) on the inner wall of the pipe 310 to prevent particles or gas powder contained in the fluid flowing inside the pipe 310 from precipitating on the inner wall of the pipe 310. function to

또한, 유량 제어 장치(500)는 공급 유체를 통해 나선 유동하는 에어 장벽층(L)을 형성함으로써, 통해 유량 제어 장치(500)의 내부 및 하류 배관(312)의 내부에 유해 가스의 파티클 또는 가스 파우더가 쌓이는 것을 방지하는 것이다.In addition, the flow control device 500 forms an air barrier layer (L) that spirally flows through the supply fluid, so that particles or gases of harmful gas are inside the flow control device 500 and the inside of the downstream pipe 312. This is to prevent the build-up of powder.

도 2 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 유량 제어 장치(500)는, 공급 유체가 공급되는 공급구;와, 공급구에 연통된 챔버;와, 챔버의 내측에 배치되어 챔버와 연통되는 유동부(580);와, 공급구의 면적을 조절하여 유동부(580)로 유입되는 유입 유체의 속도를 제어하는 제어부재;를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIGS. 2 to 8 , the flow control device 500 includes a supply port through which a supply fluid is supplied; and a chamber communicating with the supply port; and a flow part disposed inside the chamber and communicating with the chamber. 580; And, a control member for controlling the speed of the inlet fluid flowing into the flow unit 580 by adjusting the area of the supply port; may be configured to include.

유량 제어 장치(500)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제3바디(510, 520, 530)의 상하 결합에 의해 이루어질 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3 , the flow control device 500 may be formed by upper and lower coupling of the first to third bodies 510 , 520 , and 530 .

제1바디(510)의 중앙에는 상하로 관통된 제1중공(511)이 구비되고, 제1중공(511)과 연통되며 유체가 공급되는 공급구가 구비된다.The center of the first body 510 is provided with a first hollow 511 penetrating vertically and communicates with the first hollow 511 and is provided with a supply port through which fluid is supplied.

제2바디(520)의 중앙에는 상하로 관통된 제2중공(521)이 구비된다.The center of the second body 520 is provided with a second hollow 521 penetrating vertically.

제2바디(520)는 제1중공(511)의 내측에 위치하도록 제1중공(511)의 내부로 삽입되어 제1바디(510)와 결합된다.The second body 520 is inserted into the first hollow 511 to be positioned inside the first hollow 511 and coupled to the first body 510 .

제3바디(530)의 중앙에는 상하로 관통된 제3중공(531)이 구비된다. The center of the third body 530 is provided with a third hollow 531 penetrating vertically.

제3바디(530)는 제2중공(521)의 내측에 위치하도록 그 상부 일부가 제2중공(521)의 내부로 삽입되어 제2바디(520)와 결합된다.An upper part of the third body 530 is inserted into the second hollow 521 so as to be positioned inside the second hollow 521 and coupled with the second body 520 .

제1 내지 제3바디(510, 520, 530)가 결합되면, 제1 내지 제3중공(531)은 서로 연통되어 유동부(580)를 이루게 된다.When the first to third bodies 510, 520, and 530 are coupled, the first to third hollows 531 communicate with each other to form a moving part 580.

제1바디(510)와 제2바디(520)의 결합에 의해 제1챔버 즉, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)가 형성되고, 제2바디(520)와 제3바디(530)의 결합에 의해 제2챔버(570)가 형성된다.The first chamber, that is, the first-first chamber 550 and the first-second chamber 560 are formed by combining the first body 510 and the second body 520, and the second body 520 and The second chamber 570 is formed by combining the third body 530 .

유동부(580)는 유량 제어 장치(500)의 중앙에서 상하로 관통되게 형성된다.The moving part 580 is formed to penetrate vertically from the center of the flow control device 500 .

유동부(580)는 유입 유체 및 공급 유체가 유동되는 통로 기능을 한다. The flow part 580 functions as a passage through which the inlet fluid and the supply fluid flow.

본 발명에서는, 유동부(580)는 유해 가스 및 고압의 공급 유체가 유동되는 통로 기능을 한다.In the present invention, the flow part 580 functions as a passage through which harmful gas and high-pressure supply fluid flow.

유동부(580)의 양단은 상류부(581)와 하류부(582)로 이루어진다.Both ends of the floating part 580 are composed of an upstream part 581 and a downstream part 582 .

유동부(580)로 유입된 유입 유체, 즉, 유해 가스는 상류부(581)에서 하류부(582) 방향으로 유동하게 된다.The inflow fluid introduced into the flow part 580, that is, the noxious gas, flows from the upstream part 581 to the downstream part 582.

유동부(580)의 상류부(581)는 후술할 유해 가스 배기 시스템(10)의 상류 배관(311)과 연결되고, 하류부(582)는 하류 배관(312)과 연결됨으로써, 유량 제어 장치(500)는 상류 배관(311) 및 하류 배관(312)을 연결하도록, 상류 배관(311) 및 하류 배관(312) 사이에 개재된다.The upstream part 581 of the flow part 580 is connected to the upstream pipe 311 of the noxious gas exhaust system 10 to be described later, and the downstream part 582 is connected to the downstream pipe 312, so that the flow control device 500 ) is interposed between the upstream pipe 311 and the downstream pipe 312 so as to connect the upstream pipe 311 and the downstream pipe 312 .

위와 같은 구성에 의해, 상류 배관(311)을 통해 유입된 유입 유체, 즉, 유해 가스는 유동부(580)의 내부를 거쳐 다시 하류 배관(312)으로 유동되어 유량 제어 장치(500)의 외부로 배출될 수 있다.With the above configuration, the inflow fluid introduced through the upstream pipe 311, that is, the harmful gas, passes through the inside of the flow unit 580 and flows back to the downstream pipe 312 to the outside of the flow control device 500. may be discharged.

유동부(580)의 상류부(581) 내벽에는 유동부(580)의 상류부(581)에서 하류부(582) 방향으로 갈수록 상류부(581)의 직경이 더 작아지도록 내측 방향으로 경사진 상류 경사부(583)가 구비된다.On the inner wall of the upstream part 581 of the moving part 580, the upstream slope is inclined inward so that the diameter of the upstream part 581 becomes smaller in the direction from the upstream part 581 to the downstream part 582 of the flowing part 580. A section 583 is provided.

유동부(580)의 하류부(582)의 내벽에는 하류 경사부(584)가 구비된다.A downstream inclined portion 584 is provided on an inner wall of the downstream portion 582 of the floating portion 580 .

하류 경사부(584)는, 제2틈새(571)에서부터 유동부(580)의 상류부(581)에서 하류부(582)의 방향으로 갈수록 하류부(582)의 직경이 더 작아지도록 내측 방향으로 경사진 제1하류 경사부(584a);와, 제1하류 경사부(584a)에서부터 상류부(581)에서 하류부(582) 방향으로 갈수록 유동부(580)의 직경이 더 커지도록 외측 방향으로 경사진 제2하류 경사부(584b);를 포함하여 구성될 수 있다.The downstream inclined portion 584 is inclined inward so that the diameter of the downstream portion 582 becomes smaller as it goes from the second gap 571 to the direction from the upstream portion 581 of the floating portion 580 to the downstream portion 582. A first downstream inclination portion 584a; and a third inclination outward so that the diameter of the moving portion 580 increases from the first downstream inclination portion 584a in the direction from the upstream portion 581 to the downstream portion 582. 2 downstream inclined portion 584b; may be configured to include.

위와 같은, 상류 경사부(583) 및 하류 경사부(584)의 형상으로 인해, 유동부(580) 내벽의 에어 장벽층 형성 및/또는 나선 기류 형성이 더욱 극대화될 수 있다.Due to the shapes of the upstream inclined portion 583 and the downstream inclined portion 584 as described above, formation of an air barrier layer and/or spiral air flow on the inner wall of the flowing portion 580 may be further maximized.

공급구는, 제1바디(510)의 일측에 구비되는 제1공급구(541);와, 제1바디(510)의 중심축을 기준으로 제1공급구(541)와 서로 대칭되게 배치되도록 제1바디(510)의 타측에 구비되는 제2공급구(542);를 포함하여 구성될 수 있다. The supply port includes a first supply port 541 provided on one side of the first body 510; and a first supply port 541 disposed symmetrically with respect to the central axis of the first body 510. A second supply port 542 provided on the other side of the body 510; may be configured to include.

하나의 예로써, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1공급구(541)는 제1바디(510)의 전방에 구비되고, 제2공급구(542)는 제1바디(510)의 후방에 구비될 수 있다. As an example, as shown in FIGS. 2 and 3, the first supply port 541 is provided in front of the first body 510, and the second supply port 542 is provided on the first body 510. It may be provided at the rear of.

챔버는 공급구와 연통되어 내부에 고압의 공급 유체가 유동되는 통로 기능을 한다.The chamber communicates with the supply port and functions as a passage through which a high-pressure supply fluid flows therein.

또한, 챔버는 유동부(580)와 연통되며, 이로 인해, 공급구를 통해 공급된 공급 유체가 유동부(580)로 유동될 수 있다.In addition, the chamber communicates with the flow part 580, so that the supply fluid supplied through the supply port can flow into the flow part 580.

챔버는, 공급구와 연통되는 제1챔버;와, 제1챔버와 유동부(580)의 사이에 구비되어 제1챔버와 유동부를 연통시키는 제2챔버(570);를 포함하여 구성될 수 있다.The chamber may include a first chamber communicating with the supply port; and a second chamber 570 provided between the first chamber and the flow part 580 to communicate with the first chamber and the flow part.

제1챔버는, 제1공급구(541)에서 공급된 공급 유체가 유동되는 제1-1챔버(550);와, 제2공급구(542)에서 공급된 공급 유체가 유동되는 제1-2챔버(560);를 포함하여 구성될 수 있다.The first chamber includes a 1-1 chamber 550 through which the supply fluid supplied from the first supply port 541 flows; and a 1-2-th chamber through which the supply fluid supplied from the second supply port 542 flows. Chamber 560; may be configured to include.

이 경우, 제1-1챔버(550)와 상기 제1-2챔버(560)는 제1차단벽(553) 및 제2차단벽(563)에 의해 상호 구별된다.In this case, the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 are distinguished from each other by a first blocking wall 553 and a second blocking wall 563 .

제1차단벽(553)은 제1공급구(541)에서 공급된 공급 유체가 제1-1챔버(550) 내부에서 일 방향으로 유동되도록 유도시키는 기능을 한다.The first blocking wall 553 serves to induce the supply fluid supplied from the first supply port 541 to flow in one direction inside the 1-1 chamber 550 .

제2차단벽(563)은 제2공급구(542)에서 공급된 공급 유체를 제1-2챔버(560) 내부에서 일 방향으로 유동되도록 유도시키는 기능을 한다.The second blocking wall 563 serves to guide the supply fluid supplied from the second supply port 542 to flow in one direction inside the first and second chambers 560 .

제1차단벽(553)과 제2차단벽(563)은 유량 제어 장치(500)의 중심축을 기준으로 서로 대각선 방향으로 반대측에 배치될 수 있다.The first blocking wall 553 and the second blocking wall 563 may be disposed diagonally opposite to each other with respect to the central axis of the flow control device 500 .

하나의 예로써, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1차단벽(553)은 유량 제어 장치(500)의 중심축을 기준으로 전방 좌측에 배치되고, 제2차단벽(563)은 유량 제어 장치(500)의 중심축을 기준으로 후방 우측에 배치될 수 있다.As an example, as shown in FIG. 6, the first blocking wall 553 is disposed on the front left side with respect to the central axis of the flow control device 500, and the second blocking wall 563 is the flow control device ( 500) may be disposed at the rear right side based on the central axis.

제1챔버는, 제1, 2차단벽(553, 563)에 의해 제1공급구(541)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제1-1챔버(550)와, 제2공급구(542)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제1-2챔버(560)로 상호 구별될 수 있다.The first chamber includes a 1-1 chamber 550 in which the supply fluid supplied from the first supply port 541 flows through the first and second blocking walls 553 and 563, and the second supply port 542. The first and second chambers 560 through which the supplied fluid flows can be distinguished from each other.

제1챔버의 하부에는 제2챔버(570)와 연통되는 제1틈새가 구비될 수 있다.A first gap communicating with the second chamber 570 may be provided below the first chamber.

제1틈새는, 제1-1챔버(550)에 구비되는 제1-1틈새(551);와, 제1-2챔버(560)에 구비되는 제1-2틈새(561)를 포함하여 구성될 수 있다.The first gap includes a 1-1 gap 551 provided in the 1-1 chamber 550; and a 1-2 gap 561 provided in the 1-2 chamber 560. It can be.

제1-1챔버(550)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측에는 제1-1틈새(551)가 형성된다.A 1-1 gap 551 is formed inside the 1-1 chamber 550 in the downstream direction (ie, in the direction of the downstream part 582 of the floating part 580).

제1-1틈새(551)는 제1-1챔버(550)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측을 따라, 형성된다.The 1-1 gap 551 is formed along the inside of the 1-1 chamber 550 in the downstream direction (ie, the downstream part 582 direction of the floating part 580).

제1-1틈새(551)는 제1-1챔버(550)와 제2챔버(570)를 연통시키는 기능을 한다.The 1-1 gap 551 serves to communicate the 1-1 chamber 550 and the second chamber 570 .

제1-2챔버(560)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측에는 제1-2틈새(561)가 형성된다.A 1-2 gap 561 is formed inside the 1-2 chamber 560 in the downstream direction (ie, in the direction of the downstream part 582 of the flow part 580).

제1-2틈새(561)는 제1-2챔버(560)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측을 따라, 형성된다.The 1-2 gap 561 is formed along the inside of the 1-2 chamber 560 in the downstream direction (ie, the downstream part 582 direction of the floating part 580).

제1-2틈새(561)는 제1-2챔버(560)와 제2챔버(570)를 연통시키는 기능을 한다.The 1-2 gap 561 serves to communicate the 1-2 chamber 560 and the second chamber 570 .

제1-1챔버(550)와 제1-2챔버(560)에서 유동하는 공급 유체의 방향은 동일하다. The direction of the supply fluid flowing in the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 is the same.

하나의 예로써, 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)에서 유동하는 공급 유체는 모두 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동된다.As an example, as shown in FIGS. 6 to 8 , the supply fluid flowing in the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 both flow in one direction, that is, clockwise. .

제1-1챔버(550)에는, 제1공급구(541)에서 멀어질수록 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 경사지게 형성되는 제1가이드부(555)가 구비된다.In the 1-1 chamber 550, a first guide portion 555 inclined in a downstream direction (ie, toward the downstream portion 582 of the floating portion 580) as the distance from the first supply port 541 increases. is provided

제1가이드부(555)는 제1-1챔버(550)를 유동하는 공급 유체를 제1-1챔버(550)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 가이드하는 기능을 한다.The first guide part 555 directs the supply fluid flowing in the 1-1 chamber 550 in the downstream direction of the 1-1 chamber 550 (ie, in the direction of the downstream part 582 of the flow part 580). It serves as a guide.

위와 같이, 공급 유체가 제1-1챔버(550)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 가이드 됨에 따라, 제1공급구(541)에서 거리가 먼 영역에서도 공급 유체가 제1-1틈새(551)를 통해 제2챔버(570)로 원활하게 주입될 수 있다. 따라서, 제1공급구(541)과의 거리에 상관 없이, 제1-1챔버(550) 내부에서 비교적 균일한 유동압이 형성될 수 있으며, 이를 통해, 유동부(580)로 주입되는 공급 유체의 유속의 증폭 및 유해 가스의 오염의 증폭이 더욱 효과적으로 달성될 수 있다.As described above, as the supply fluid is guided in the downstream direction of the 1-1 chamber 550 (ie, the downstream part 582 direction of the flow part 580), the region far from the first supply port 541 Also, the supply fluid can be smoothly injected into the second chamber 570 through the 1-1 gap 551. Therefore, regardless of the distance from the first supply port 541, a relatively uniform fluid pressure can be formed inside the 1-1 chamber 550, and through this, the supply fluid injected into the flow part 580 The amplification of the flow rate of the gas and the amplification of the contamination of the harmful gas can be more effectively achieved.

제1가이드부(555)가 구비됨에 따라, 제1공급구(541)에서 멀어질수록 제1-1챔버(550)의 높이가 길어진다.As the first guide part 555 is provided, the height of the 1-1 chamber 550 increases as the distance from the first supply port 541 increases.

따라서, 도 10의 제1공급구(541)에서 상대적으로 먼 제1-1챔버(550)의 높이 'h3' 의 높이가, 도 9의 제1공급구(541)에서 상대적으로 가까운 제1-1챔버(550)의 높이 'h1' 보다 더 길게 형성된다.Therefore, the height of the height 'h3' of the 1-1 chamber 550, which is relatively far from the first supply port 541 in FIG. It is formed longer than the height 'h1' of one chamber 550.

제1-2챔버(560)에는, 제2공급구(542)에서 멀어질수록 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 경사지게 형성되는 제2가이드부(565)가 구비된다.In the 1-2 chamber 560, a second guide part 565 inclined in the downstream direction (ie, in the direction of the downstream part 582 of the floating part 580) as the distance from the second supply port 542 increases. is provided

제2가이드부(565)는 제1-2챔버(560)를 유동하는 공급 유체를 제1-2챔버(560)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 가이드하는 기능을 한다.The second guide part 565 directs the supply fluid flowing through the 1-2 chambers 560 in the downstream direction of the 1-2 chambers 560 (ie, in the direction of the downstream part 582 of the flow part 580). It serves as a guide.

위와 같이, 공급 유체가 제1-2챔버(560)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 가이드 됨에 따라, 제2공급구(542)에서 거리가 먼 영역에서도 공급 유체가 제1-2틈새(561)를 통해 제2챔버(570)로 원활하게 주입될 수 있다. 따라서, 제2공급구(542)과의 거리에 상관 없이, 제1-2챔버(560) 내부에서 비교적 균일한 유동압이 형성될 수 있으며, 이를 통해, 유동부(580)로 주입되는 공급 유체의 유속의 증폭 및 유해 가스의 유속의 증폭이 더욱 효과적으로 달성될 수 있다.As described above, as the supply fluid is guided in the downstream direction of the first and second chambers 560 (ie, the downstream part 582 of the flow part 580), the area far from the second supply port 542 Also, the supply fluid can be smoothly injected into the second chamber 570 through the first-second gap 561. Therefore, regardless of the distance from the second supply port 542, a relatively uniform fluid pressure can be formed inside the 1-2 chambers 560, and through this, the supply fluid injected into the flow part 580 The amplification of the flow rate of the gas and the amplification of the flow rate of the harmful gas can be achieved more effectively.

제2가이드부(565)가 구비됨에 따라, 제2공급구(542)에서 멀어질수록 제1-2챔버(560)의 높이가 길어진다.As the second guide part 565 is provided, the height of the first and second chambers 560 increases as the distance from the second supply port 542 increases.

따라서, 도 10의 제2공급구(542)에서 상대적으로 먼 제1-2챔버(560)의 높이 'h4' 의 높이가, 도 9의 제2공급구(542)에서 상대적으로 가까운 제1-2챔버(560)의 높이 'h2' 보다 더 길게 형성된다.Therefore, the height of the height 'h4' of the 1-2 chamber 560, which is relatively far from the second supply port 542 in FIG. It is formed longer than the height 'h2' of the second chamber 560.

제2챔버(570)는, 제1-1챔버(550)와 제1-2챔버(560) 내측에 구비되어 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)와 유동부(580) 각각을 연통시키는 기능을 한다.The second chamber 570 is provided inside the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 so that the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 and the moving part ( 580) functions to communicate each other.

제2챔버(570)는 링 형상을 갖도록 원형으로 형성된다.The second chamber 570 is formed in a circular shape to have a ring shape.

제2챔버(570)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 외측은 제1-1틈새(551) 및 제1-2틈새(561)에 의해 각각 제1-1챔버(550)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측 및 제1-2챔버(560)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측과 연통된다.The outer side of the second chamber 570 in the downstream direction (ie, the downstream portion 582 direction of the flow part 580) is formed by the 1-1 gap 551 and the 1-2 gap 561, respectively. In the downstream direction of the first chamber 550 (ie, the downstream part 582 of the flow part 580) and the downstream direction of the first and second chambers 560 (ie, the downstream part 582 of the flow part 580) ) direction) communicates with the inner side.

제2챔버(570)의 상류측 방향(즉, 유동부(580)의 상류부(581) 방향)의 외측에는 제2틈새(571)가 형성된다.A second gap 571 is formed outside the second chamber 570 in the upstream direction (that is, in the direction of the upstream part 581 of the flow part 580).

제2틈새(571)는 제2챔버(570)의 상류측 방향(즉, 유동부(580)의 상류부(581) 방향) 내측을 따라, 원형 형상으로 형성된다.The second gap 571 is formed in a circular shape along the inside of the second chamber 570 in the upstream direction (ie, in the upstream part 581 direction of the floating part 580).

제2틈새(571)는 제2챔버(570)와 유동부(580)를 연통시키는 기능을 한다.The second gap 571 serves to communicate the second chamber 570 and the moving part 580.

제어부재는 공급구의 면적을 조절하여 유동부(580)로 유입되는 유입 유체의 속도를 제어하는 기능을 한다. 하나의 예로써, 제어부재는 슬라이드 이동되어 공급구의 면적을 조절할 수 있다.The control member functions to control the speed of the inflow fluid flowing into the flow part 580 by adjusting the area of the supply port. As an example, the control member may slide and adjust the area of the supply port.

상세하게, 제어부재는, 제1바디(510)의 제1삽입구(도면부호 미표시)에 슬라이드 가능하도록 삽입되어 슬라이드에 의해 제1공급구(541)의 면적을 조절하는 제1제어부재(591);와, 제1바디(510)의 제2삽입구(도면부호 미표시)에 슬라이드 가능하도록 삽입되어 슬라이드에 의해 제2공급구(542)의 면적을 조절하는 제2제어부재(592);을 포함하여 구성될 수 있다.In detail, the control member is a first control member 591 that is slidably inserted into the first insertion port (reference numeral not shown) of the first body 510 and adjusts the area of the first supply port 541 by the slide. and a second control member 592 that is slidably inserted into the second insertion port (reference numeral not shown) of the first body 510 and adjusts the area of the second supply port 542 by a slide; can be configured.

제1제어부재(591)는 제1삽입구 내에서 우측 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 제1바디(510)에 설치된다. 따라서, 제1제어부재(591)가 우측 방향으로 슬라이드 이동함에 따라 제1공급구(541)를 막게 되며, 이를 통해, 제1공급구(541)의 면적을 조절하게 된다.The first control member 591 is installed on the first body 510 so as to slide in the right direction within the first insertion port. Therefore, as the first control member 591 slides in the right direction, the first supply port 541 is blocked, and through this, the area of the first supply port 541 is adjusted.

제1제어부재(591)의 일측면, 즉, 본 발명에서 제1제어부재(591)의 우측면에는 제1공급구(541)를 통해 공급된 공급 유체를 일 방향(즉, 우측 방향)으로 가이드시키는 제1가이드 경사부(591a)가 구비될 수 있다.One side of the first control member 591, that is, the right side of the first control member 591 in the present invention guides the supply fluid supplied through the first supply port 541 in one direction (ie, the right direction). A first guide inclined portion 591a may be provided.

제1가이드 경사부(591a)는 제1제어부재(591)의 일측면으로 갈수록 공급 유체의 진입 방향으로 경사지게 형성될 수 있다. 본 발명에서는, 제1가이드 경사부(591a)는 제1제어부재(591)의 우측면으로 갈수록 후방 후방 방향으로 경사지게 형성됨으로써, 제1공급구(541)로 공급된 공급 유체가 원활하게 우측으로 가이드되게 할 수 있다. 따라서, 공급 유체는 제1-1챔버(550) 내에서 시계 방향으로 유동될 수 있다.The first guide inclined portion 591a may be formed to be inclined in an entry direction of the supplied fluid toward one side of the first control member 591 . In the present invention, the first guide inclined portion 591a is formed to be inclined backward toward the right side of the first control member 591, so that the supply fluid supplied to the first supply port 541 is smoothly guided to the right. can make it Accordingly, the supply fluid may flow clockwise in the 1-1 chamber 550 .

제2제어부재(592)는 제2삽입구 내에서 좌측 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 제1바디(510)에 설치된다. 따라서, 제2제어부재(592)가 좌측 방향으로 슬라이드 이동함에 따라 제2공급구(542)를 막게 되며, 이를 통해, 제2공급구(542)의 면적을 조절하게 된다.The second control member 592 is installed on the first body 510 so as to be slidably movable in the left direction within the second insertion port. Therefore, as the second control member 592 slides in the left direction, the second supply port 542 is blocked, and through this, the area of the second supply port 542 is adjusted.

제2제어부재(592)의 일측면, 즉, 본 발명에서 제2제어부재(592)의 좌측면에는 제2공급구(542)를 통해 공급된 공급 유체를 일 방향(즉, 좌측 방향)으로 가이드시키는 제2가이드 경사부(592a)가 구비될 수 있다.One side of the second control member 592, that is, the left side of the second control member 592 in the present invention, supplies fluid supplied through the second supply port 542 in one direction (ie, left direction). A second guide inclined portion 592a for guiding may be provided.

제2가이드 경사부(592a)는 제2제어부재(592)의 일측면으로 갈수록 공급 유체의 진입 방향으로 경사지게 형성될 수 있다. 본 발명에서는, 제2가이드 경사부(592a)는 제2제어부재(592)의 좌측면으로 갈수록 전방 후방 방향으로 경사지게 형성됨으로써, 제2공급구(542)로 공급된 공급 유체가 원활하게 좌측으로 가이드되게 할 수 있다. 따라서, 공급 유체는 제1-2챔버(560) 내에서 시계 방향으로 유동될 수 있다.The second guide inclined portion 592a may be inclined toward one side of the second control member 592 in an entry direction of the supplied fluid. In the present invention, the second guide inclined portion 592a is formed to be inclined forward and backward toward the left side of the second control member 592, so that the supply fluid supplied to the second supply port 542 smoothly moves to the left. can be guided. Accordingly, the supply fluid may flow clockwise in the first and second chambers 560 .

제어부재, 즉, 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)는 낮은 경도를 갖는 연질의 재질로 이루어질 수 있다. 연질의 재질로는 고무, 합성고무, 연질의 합성수지 등일 수 있다. The control member, that is, the first control member 591 and the second control member 592 may be made of a soft material having low hardness. The soft material may include rubber, synthetic rubber, and soft synthetic resin.

위와 같이, 제어부재, 즉, 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)가 플렉시블한 연질의 재질로 이루어짐에 따라, 제1공급구(541) 및 제2공급구(542) 각각으로 공급 유체가 유입될 때, 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)가 각각 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)의 내벽면에 붙게되고 이로 인해, 공급 유체의 일 방향 유동을 위한 공급 유체의 가이드를 더욱 효과적으로 달성할 수 있다.As described above, as the control member, that is, the first control member 591 and the second control member 592 are made of a flexible and soft material, the first supply port 541 and the second supply port 542 respectively When the supply fluid flows in, the first control member 591 and the second control member 592 adhere to the inner wall surfaces of the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560, respectively. , the guide of the supply fluid for the one-way flow of the supply fluid can be achieved more effectively.

유량 제어 장치(500)는, 제1제어부재(591)가 슬라이드되어 제1삽입구 내로 삽입될 때, 삽입 길이를 측정할 수 있도록 제1바디(510)에 구비되는 제1마크부(514);와, 제2제어부재(592)가 슬라이드되어 제2삽입구 내로 삽입될 때, 삽입 길이를 측정할 수 있도록 제1바디(510)에 구비되는 제2마크부(515);를 포함하여 구성될 수 있다.The flow control device 500 includes a first mark unit 514 provided on the first body 510 so as to measure the insertion length when the first control member 591 is slid and inserted into the first insertion hole; And, when the second control member 592 is slid and inserted into the second insertion hole, a second mark portion 515 provided on the first body 510 to measure the insertion length; there is.

제1마크부(514)는 제1바디(510)의 전방에서 좌측으로 돌출되게 구비될 수 있으며, 제1마크부(514)에는 제1제어부재(591)의 삽입 길이를 측정할 수 있도록 눈금이 구비된다.The first mark portion 514 may protrude from the front of the first body 510 to the left, and the first mark portion 514 has a scale to measure the insertion length of the first control member 591. is provided

제2마크부(515)는 제1바디(510)의 후방에서 우측으로 돌출되게 구비될 수 있으며, 제2마크부(515)에는 제2제어부재(592)의 삽입 길이를 측정할 수 있도록 눈금이 구비된다.The second mark portion 515 may protrude from the rear of the first body 510 to the right, and the second mark portion 515 has a scale to measure the insertion length of the second control member 592. is provided

제1마크부(514)는 제1제어부재(591)의 후방에 배치되고, 제2마크부(515)는 제2제어부재(592)의 전방에 배치된다.The first mark unit 514 is disposed behind the first control member 591, and the second mark unit 515 is disposed in front of the second control member 592.

제1마크부(514) 및 제2마크부(515)가 구비됨에 따라, 사용자가 정확하게 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)를 슬라이드 이동 시킬 수 있으며, 이를 통해, 제1공급구(541) 및 제2공급구(542)의 개폐 면적을 원하는대로 설정할 수 있다. As the first mark unit 514 and the second mark unit 515 are provided, the user can accurately slide and move the first control member 591 and the second control member 592, through which, the first Opening and closing areas of the supply port 541 and the second supply port 542 can be set as desired.

전술한 구성을 갖는 유량 제어 장치(500)는, 제1, 2공급구(541, 542)을 통해 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)로 공급된 공급 유체는 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 내에서 일 방향으로 회전하면서 제2챔버(570)로 유동되고, 제2챔버(570)로 유동된 공급 유체는 제2챔버(570) 내에서 일 방향으로 회전하면서 유동부(580)로 주입되고, 유동부(580)로 주입된 공급 유체는 유동부(580)의 하류부(582) 내벽 및 유량 제어 장치(500)에 연결된 배관(310) 내벽에 에어 장벽층(L)을 형성하며 하류부(582) 방향으로 유동함과 동시에 유량 제어 장치(500)에 연결된 배관(310) 내벽에서 하류부(582) 방향으로 나선을 그리며 유동하게 된다.In the flow control device 500 having the above configuration, the supply fluid supplied to the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 through the first and second supply ports 541 and 542 is While rotating in one direction in the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560, it flows into the second chamber 570, and the supply fluid flowing into the second chamber 570 flows into the second chamber 570. ) is injected into the flow part 580 while rotating in one direction in the flow part 580, and the supply fluid injected into the flow part 580 is a pipe connected to the inner wall of the downstream part 582 of the flow part 580 and the flow control device 500 ( 310) An air barrier layer (L) is formed on the inner wall and flows in the direction of the downstream part 582, and at the same time flows in a spiral in the direction of the downstream part 582 from the inner wall of the pipe 310 connected to the flow control device 500.

이하, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 유량 제어 장치(500) 내부의 유체의 흐름에 대해 설명한다.Hereinafter, the flow of the fluid inside the flow control device 500 of the present invention having the above configuration will be described.

고압의 공급 유체가 외부 공급구를 통해 제1공급구(541)으로 공급되면, 제1공급구(541)으로 공급된 공급 유체는 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-1챔버(550) 내부에서 제1차단벽(553)에 막혀 반시계 방향으로 유동하지 못하고, 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동하게 된다.When the high-pressure supply fluid is supplied to the first supply port 541 through the external supply port, the supply fluid supplied to the first supply port 541 is transferred to the 1-1 chamber, as shown in FIGS. 6 to 8 . 550 is blocked by the first blocking wall 553 inside and does not flow in a counterclockwise direction, but flows in one direction, that is, in a clockwise direction.

공급 유체는 제1-1챔버(550)를 따라 유동함과 동시에, 제1-1챔버(550) 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측에 형성된 제1-1틈새(551)를 통해, 제2챔버(570)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 유동된다. 이 경우, 제1가이드부(555)에 의해 제1-1챔버(550)에서 제2챔버(570)로의 주입이 원활하게 이루어진다.The supply fluid flows along the 1-1 chamber 550 and at the same time, the 1-1 formed inside the 1-1 chamber 550 in the downstream direction (ie, the downstream part 582 direction of the flow part 580). It flows in the downstream direction of the second chamber 570 (ie, the downstream part 582 direction of the flow part 580) through one gap 551 . In this case, injection from the 1-1 chamber 550 to the second chamber 570 is smoothly performed by the first guide part 555 .

이렇게 제2챔버(570)로 유동된 공급 유체는, 제1-1챔버(550) 내에서의 유동 방향과 같은 시계 방향으로 링 형상의 제2챔버(570)를 따라 유동하게 된다.The supply fluid flowing into the second chamber 570 in this way flows along the ring-shaped second chamber 570 in the same clockwise direction as the flow direction in the 1-1 chamber 550 .

고압의 공급 유체가 외부 공급구를 통해 제2공급구(542)으로 공급되면, 제2공급구(542)으로 공급된 공급 유체는 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제1-2챔버(560) 내부에서 제2차단벽(563)에 막혀 반시계 방향으로 유동하지 못하고, 일 방향, 즉, 시계 방향으로 유동하게 된다.When the high-pressure supply fluid is supplied to the second supply port 542 through the external supply port, the supply fluid supplied to the second supply port 542 is transferred to the first-second chamber, as shown in FIGS. 6 to 8 . 560 is blocked by the second blocking wall 563 inside and does not flow in a counterclockwise direction, but flows in one direction, that is, in a clockwise direction.

공급 유체는 제1-2챔버(560)를 따라 유동함과 동시에, 제1-2챔버(560) 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향) 내측에 형성된 제1-2틈새(561)를 통해, 제2챔버(570)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 유동된다. 이 경우, 제2가이드부(565)에 의해 제1-2챔버(560)에서 제2챔버(570)로의 주입이 원활하게 이루어진다.The supply fluid flows along the 1-2 chamber 560, and at the same time, the first-second chamber 560 is formed in the downstream direction (ie, the downstream part 582 direction of the flow part 580). It flows in the downstream direction of the second chamber 570 (ie, the downstream part 582 direction of the flow part 580) through the two gaps 561 . In this case, injection into the second chamber 570 from the 1-2 chamber 560 is performed smoothly by the second guide part 565 .

이렇게 제2챔버(570)로 유동된 공급 유체는, 제1-2챔버(560) 내에서의 유동 방향과ㅍ 같은 시계 방향으로 링 형상의 제2챔버(570)를 따라 유동하게 된다.The supply fluid flowing into the second chamber 570 in this way flows along the ring-shaped second chamber 570 in the same clockwise direction as the flow direction in the first and second chambers 560 .

공급 유체는 제2챔버(570)를 따라 유동함과 동시에, 제2챔버(570)의 상류측 방향(즉, 유동부(580)의 상류부(581) 방향) 내측에 형성된 제2틈새(410)를 통해, 유동부(580) 내부로 유동된다.The supply fluid flows along the second chamber 570 and at the same time, the second gap 410 formed inside the upstream direction of the second chamber 570 (ie, the upstream part 581 of the flow part 580). ), it flows into the moving part 580.

유동부(580) 내부로 유동된 공급 유체는, 제1하류 경사부(584a)를 따라, 유동부의 내측 방향으로 유동된 후, 제2하류 경사부(584b)를 따라 유동부의 외측 방향으로 빠르게 유동하게 된다.The supply fluid that has flowed into the flow part 580 flows inward to the flow part along the first downstream slope 584a and then quickly flows outward to the flow part along the second downstream slope 584b. will do

위와 같이, 공급 유체가 유동부(580)의 내벽을 따라 유동됨에 따라, 유동부(580)의 하류부(582) 내벽에 에어 장벽층(L)이 형성된다.As described above, as the supply fluid flows along the inner wall of the flow part 580, the air barrier layer L is formed on the inner wall of the downstream part 582 of the flow part 580.

또한, 공급 유체는 제1-1챔버(550), 제1-2챔버(560) 및 제2챔버(570)에서 시계 방향으로 회전되던 회전력이 그대로 유동부(580)로 유지되어, 유동부(580)의 하류부(582) 내벽에서 하류부(582) 방향으로 나선을 그리며 유동하게 된다.In addition, the supplied fluid maintains the rotational force rotated in the clockwise direction in the 1-1 chamber 550, the 1-2 chamber 560 and the second chamber 570 as it is in the flow part 580, so that the flow part ( 580 flows from the inner wall of the downstream portion 582 toward the downstream portion 582 while drawing a spiral.

위와 같이, 고압의 공급 유체는 제1, 2공급구(541, 542), 제1-1챔버(550), 제1-2챔버(560) 및 제2챔버(570)를 거쳐 유동부(580)로 주입되며, 이 경우, 공급 유체는 유동부(580) 내에서 매우 빠른 유속으로 나선 유동하는 에어 장벽층(L)을 형성하게 된다.As described above, the high-pressure supply fluid passes through the first and second supply ports 541 and 542, the 1-1 chamber 550, the 1-2 chamber 560 and the second chamber 570, and passes through the flow part 580. ), and in this case, the supply fluid forms an air barrier layer (L) that spirally flows at a very high flow rate in the flow part 580.

이러한 에어 장벽층(L)은 유동부(580)의 하류부(582) 즉, 하류 배관(312)측으로 유동하게 된다.The air barrier layer (L) flows toward the downstream portion 582 of the flow portion 580, that is, toward the downstream pipe 312.

공급 유체가 에어 장벽층(L)을 형성하여 매우 빠른 유속으로 제2하류 경사부(584b)를 따라 유동함에 따라, 유동부(580)의 중앙영역은 순간적으로 저압 상태가 되고, 이로 인해, 상류 배관(311)을 통해 유동부(580)의 상류부(581)로 유입된 유해 가스는, 공급 유체와 함께 유동부(580)의 하류부(582) 측에서 유속이 가속되게 되며, 이를 통해, 매우 빠른 속도로 하류 배관(312)으로 유동하게 된다.As the supply fluid forms the air barrier layer L and flows along the second downstream inclined portion 584b at a very high flow rate, the central region of the flow portion 580 is momentarily in a low-pressure state, and as a result, the upstream The toxic gas introduced into the upstream part 581 of the flowing part 580 through the pipe 311 is accelerated along with the supplied fluid at the downstream part 582 of the flowing part 580, and through this, very It flows into the downstream pipe 312 at high speed.

또한, 상류 경사부(583)로 인해, 유동부(580)의 상류부(581) 구간에서 많은 양의 유해 가스가 유동부(580)의 내부로 유입될 수 있음과 동시에, 상류 경사부(583)가 저압 상태가 된 유동부(580)의 중앙영역으로, 유해 가스를 가이드하게 된다. 따라서, 상류 경사부(583)를 통해 유동부(580) 내부로 유입된 유해 가스는 공급 유체와 함께 더욱 빠르게 유속이 가속되어 하류 배관(312)으로 유동하게 된다.In addition, due to the upstream inclined portion 583, a large amount of noxious gas can be introduced into the flowing portion 580 in the upstream portion 581 section of the flowing portion 580, and at the same time, the upstream inclined portion 583 ) guides the harmful gas to the central region of the flow part 580 in a low pressure state. Therefore, the noxious gas introduced into the flow part 580 through the upstream inclined part 583 is accelerated in flow velocity together with the supplied fluid to flow into the downstream pipe 312 .

하류 배관(312)으로 유동된 유해 가스 및 공급 유체는 스크러버(300)로 유동하여 정화된다.Harmful gas and supply fluid flowing through the downstream pipe 312 flow into the scrubber 300 and are purified.

이하, 도 9 및 도 10을 참조하여, 공급 유체를 통해 유해 가스의 속도를 증폭하는 과정에 대해 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 9 and 10 , a process of amplifying the velocity of noxious gas through the supply fluid will be described in more detail.

전술한 바와 같이, 제1공급구(541) 및 제2공급구(542) 각각을 통해, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 내부 각각으로 공급된 공급 유체는 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 내부 각각에서 유동하면서, 제1-1틈새(551) 및 제1-2틈새(561) 각각을 통해 제2챔버(570)로 유동하게 된다.As described above, the supply fluid supplied to the inside of the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 through the first supply port 541 and the second supply port 542, respectively, While flowing inside the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560, respectively, the flow flows into the second chamber 570 through the 1-1 gap 551 and the 1-2 gap 561, respectively. will do

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제1-1틈새(551)로 유동되는 공급 유체는 제1가이드부(555)에 의해 가이드 되어 제1-1챔버(550)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 유동된 후, 제2챔버(570)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(580)의 상류부(581) 방향)으로 유동하게 된다. 이 과정에서, 공급 유체는 제1-1챔버(550)의 내측면과, 제2챔버(570)의 외측면을 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 공급 유체의 속도가 1차로 증폭된다.9 and 10, the supply fluid flowing into the 1-1 gap 551 is guided by the first guide part 555 in the downstream direction of the 1-1 chamber 550 (that is, , After flowing in the downstream part 582 direction of the flowing part 580), in the downstream direction of the second chamber 570 (ie, in the downstream part 582 direction of the flowing part 580) in the upstream direction (ie, It flows in the direction of the upstream part 581 of the flow part 580). In this process, the supply fluid flows along the inner surface of the 1-1 chamber 550 and the outer surface of the second chamber 570, so that the flow is guided and the speed of the supply fluid is primarily amplified.

제1-2틈새(561)로 유동되는 공급 유체는 제2가이드부(565)에 의해 가이드 되어 제1-2챔버(560)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로 유동된 후, 제2챔버(570)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(580)의 상류부(581) 방향)으로 유동하게 된다. 이 과정에서, 공급 유체는 제1-2챔버(560)의 내측면과, 제2챔버(570)의 외측면을 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 공급 유체의 속도가 1차로 증폭된다.The supply fluid flowing into the 1-2 gap 561 is guided by the second guide part 565 in the downstream direction of the 1-2 chamber 560 (that is, the downstream part 582 of the flow part 580). direction) in the downstream direction of the second chamber 570 (ie, the downstream portion 582 of the flowing portion 580) to the upstream direction (ie, the upstream portion 581 of the flowing portion 580). direction). In this process, the supply fluid flows along the inner surface of the first and second chambers 560 and the outer surface of the second chamber 570, so that the flow is guided and the speed of the supply fluid is primarily amplified.

위와 같이, 1차로 증폭된 공급 유체들은 제2챔버(570)의 내부로 유동하면서, 제2틈새(410)를 통해 제2챔버(570)로 유동하게 된다.As described above, the primarily amplified supply fluids flow into the second chamber 570 through the second gap 410 while flowing into the second chamber 570 .

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제2틈새(410)로 유동되는 공급 유체는 제2챔버(570)의 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)에서 상류측 방향(즉, 유동부(580)의 상류부(581) 방향)으로 유동된 후, 유동부(580)로 유동하게 된다. 이 과정에서, 공급 유체는 제2챔버(570)의 내측면과, 유동부(580)의 제1하류 경사부(584a)를 따라 유동하게 됨으로써, 유동 흐름이 가이드되어 공급 유체의 속도가 2차로 증폭된다.As shown in FIGS. 9 and 10 , the supply fluid flowing into the second gap 410 is upstream in the downstream direction of the second chamber 570 (ie, in the direction of the downstream part 582 of the flow part 580). After flowing in the lateral direction (ie, in the direction of the upstream part 581 of the flow part 580), it flows into the flow part 580. In this process, the supply fluid flows along the inner surface of the second chamber 570 and the first downstream slope 584a of the flow unit 580, thereby guiding the flow and increasing the speed of the supply fluid secondarily. amplified

이처럼, 제1, 2공급구(541, 542)을 통해 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 각각으로 공급된 공급 유체는, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 각각에서 제2챔버(570)로 유동할 때 그 속도가 1차 증폭되고, 제2챔버(570)에서 유동부(580)로 유동할 때, 그 속도가 2차 증폭되게 된다.As such, the supply fluid supplied to the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 through the first and second supply ports 541 and 542, respectively, is supplied to the 1-1 chamber 550 and the second chamber 550. When flowing from each of the 1-2 chambers 560 to the second chamber 570, the speed is first amplified, and when flowing from the second chamber 570 to the moving part 580, the speed is second-order amplified. It becomes.

2차로 증폭된 공급 유체는 유해 가스와 함께 유동부(580)의 하류부(582) 방향으로 매우 빠른 속도로 유동되어 하류 배관(312)을 통해 스크러버(300)로 유동하게 된다.The secondly amplified supply fluid flows at a very high speed in the direction of the downstream part 582 of the flow part 580 together with the harmful gas, and flows to the scrubber 300 through the downstream pipe 312.

전술한 바와 같이, 매우 빠른 속도로 증폭되는 공급 유체는 유동부(580)의 하류부(582) 및 하류 배관(312)의 내벽에 나선 유동하는 에어 장벽층(L)을 형성하게 된다.As described above, the supply fluid amplified at a very high speed forms an air barrier layer (L) that spirally flows on the downstream portion 582 of the flow portion 580 and the inner wall of the downstream pipe 312 .

이처럼 나선 유동하는 에어 장벽층(L)에 의해, 유해 가스가 배관(310)의 내벽에 닿지 못하게 된다.As such, the helically flowing air barrier layer L prevents harmful gases from reaching the inner wall of the pipe 310 .

에어 장벽층(L)이 유동부(580)의 내벽 및 배관(310)의 내벽을 따라 나선 기류를 형성하며 유동되므로, 유해 가스는 배관(310)의 내벽에 접하지 않게 되고, 유동부(580)의 내벽 및 배관(310)의 내벽에서 박리되는 에어 장벽층(L)의 일부, 즉, 공급 유체의 일부와 함께 나선 유동을 하며, 하류 배관(312)으로 유동하게 되는 것이다.Since the air barrier layer (L) flows while forming a spiral airflow along the inner wall of the flow part 580 and the inner wall of the pipe 310, noxious gas does not come into contact with the inner wall of the pipe 310, and the flow part 580 ) and a part of the air barrier layer (L) peeled off from the inner wall of the pipe 310, that is, a part of the supply fluid is spirally flowed and flows into the downstream pipe 312.

따라서, 나선 유동하는 에어 장벽층(L)에 의해 배관(310) 내부를 유동하는 유체에 함유된 파티클 또는 가스 파우더가 배관(310) 내벽에 침전하지 못하게 됨으로써, 배관(310)에 파티클 또는 가스 파우더 등 이물질이 쌓이는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. Therefore, particles or gas powder contained in the fluid flowing inside the pipe 310 are prevented from settling on the inner wall of the pipe 310 by the spirally flowing air barrier layer L, so that the particles or gas powder in the pipe 310 It can effectively prevent the accumulation of foreign matter.

이는 종래의 배관의 경우, 배관의 내벽으로 갈수록 배관 내부의 유속이 느려지는 유속 분포를 갖고 있으나, 본 발명의 경우, 유량 제어 장치(500)의 에어 장벽층(L)에 의해 배관(310)의 내벽의 유속이 가장 빠른 유속 분포를 갖게 되므로, 유해 가스의 파티클 또는 가스 파우더가 유동부(580)의 내벽 및 하류 배관(312)의 내벽에 침전되지 못하는 것이다.In the case of a conventional pipe, this has a flow velocity distribution in which the flow velocity inside the pipe becomes slower toward the inner wall of the pipe, but in the case of the present invention, the air barrier layer (L) of the flow control device 500 controls the flow rate of the pipe 310. Since the flow velocity of the inner wall has the fastest flow velocity distribution, noxious gas particles or gas powders are not precipitated on the inner wall of the flow part 580 and the inner wall of the downstream pipe 312 .

또한, 에어 장벽층(L)은 나선 유동, 즉, 나선 기류를 형성함으로써, 유량 제어 장치(500)의 하류측의 배관(310)까지 에어 장벽층(L)이 유지될 수 있으며, 이를 통해, 하류 배관(312)의 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.In addition, the air barrier layer (L) can be maintained up to the pipe 310 on the downstream side of the flow control device 500 by forming a spiral flow, that is, a spiral air flow, through which, Precipitation of particles or gas powder on the inner wall of the downstream pipe 312 can be more effectively prevented.

위와 같이, 배관(310)의 내벽에 파티클 또는 가스 파우더가 침전되는 것이 방지됨에 따라, 파티클 또는 가스 파우더의 침전에 의해 배관(310)의 내부 직경이 좁아져 잦은 청소 및 유지 보수의 필요성이 생략되고, 심하게는 배관(310)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.As described above, as the precipitation of particles or gas powder on the inner wall of the pipe 310 is prevented, the inner diameter of the pipe 310 is narrowed by the precipitation of the particles or gas powder, so the need for frequent cleaning and maintenance is omitted , Seriously, it is possible to prevent the pipe 310 from being damaged.

나아가, 종래에는 배관 내부의 파티클 또는 가스 파우더의 침전에 의해 배관에 부식이 발생하고, 그 결과 배관에 리크가 발생하였으나, 본 발명에서는 배관(310) 내부의 침전을 방지시킴으로써, 종래의 배관의 리크의 문제점이 해결될 수 있다.Furthermore, in the prior art, corrosion occurs in the pipe due to precipitation of particles or gas powder inside the pipe, and as a result, leakage occurs in the pipe. problem can be solved.

또한, 유량 제어 장치(500)는, 제1, 2공급구(541, 542)에서 각각 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)로 공급된 공급 유체가 제1-1틈새(551) 및 제1-2틈새(561)를 통해, 제2챔버(570)로 주입된 후, 제2틈새(571)를 통해, 유동부(580)로 주입된다. 이처럼, 고압의 공급 유체가 제2챔버(570)를 거쳐 유동부(580)로 주입됨에 따라, 제1, 2공급구(541, 542) 각각의 거리와 상관없이 비교적 균일한 압력으로 공급 유체가 유동부(580)로 주입될 수 있다.In addition, the flow control device 500, the supply fluid supplied to the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 from the first and second supply ports 541 and 542, respectively, the 1-1 After being injected into the second chamber 570 through the gap 551 and the first and second gaps 561 , it is injected into the flow part 580 through the second gap 571 . As such, as the high-pressure supply fluid is injected into the flow part 580 via the second chamber 570, the supply fluid is supplied at a relatively uniform pressure regardless of the distance between the first and second supply ports 541 and 542, respectively. It may be injected into the moving part 580.

상세하게 설명하면, 다음과 같다.In detail, it is as follows.

공급 유체가 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 각각을 따라 유동함과 동시에 제1-1틈새(551) 및 제1-2틈새(561) 각각을 통해, 제2챔버(570)로 주입된 후, 다시 제2챔버(570)를 따라 유동함과 동시에 제2틈새(571)를 통해, 유동부(580)로 주입된다. The supply fluid flows along each of the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 and simultaneously through the 1-1 gap 551 and the 1-2 gap 561, respectively, the second After being injected into the chamber 570, it flows again along the second chamber 570 and is injected into the flow part 580 through the second gap 571.

제1-1틈새(551), 제1-2틈새(561) 및 제2틈새(571)의 높이는 제1-1챔버(550), 제1-2챔버(560) 및 제2챔버(570)의 높이에 비해 상대적으로 매우 작은 높이를 갖으므로, 제1-1챔버(550), 제1-2챔버(560) 및 제2챔버(570)로 유동되는 공급 유체는 상대적으로 적은 유량으로 각각 제1-1틈새(551), 제1-2틈새(561) 및 제2틈새(571)를 통해 제2챔버(570) 및 유동부(580)로 주입된다.The heights of the 1-1 gap 551, the 1-2 gap 561 and the second gap 571 are the 1-1 chamber 550, the 1-2 chamber 560 and the second chamber 570 Since it has a relatively very small height compared to the height of , the supply fluid flowing into the 1-1 chamber 550, the 1-2 chamber 560, and the second chamber 570 is each controlled at a relatively small flow rate. It is injected into the second chamber 570 and the flow part 580 through the 1-1 gap 551 , the 1-2 gap 561 and the second gap 571 .

따라서, 제1-1틈새(551) 및 제1-2틈새(561)를 통해 각각 제2챔버(570)로 주입된 공급 유체는 제2챔버(570) 내부에서 제2챔버(570) 내부를 어느 정도 채운 뒤에, 유동부(580)로 주입되게 되며, 이 과정에서, 제2챔버(570) 내부의 압력이 높아져, 균일한 유동압을 형성하게 된다. Therefore, the supply fluid injected into the second chamber 570 through the 1-1 gap 551 and the 1-2 gap 561, respectively, flows from the inside of the second chamber 570 to the inside of the second chamber 570. After filling to a certain extent, it is injected into the flow part 580, and in this process, the pressure inside the second chamber 570 increases, forming a uniform flow pressure.

또한, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)에서 제2챔버(570)로 공급 유체가 주입시, 하부에서 상부 방향으로 주입되고, 제2챔버(570)에서 유동부(580)로 공급 유체가 주입시, 상부에서 하부 방향으로 주입되므로, 위와 같이 제2챔버(570) 내부에 유체가 차오르는 것이 더욱 효과적으로 달성되어, 제2챔버(570) 내부에 높은 압력의 균일한 유동압이 형성된다.In addition, when the supply fluid is injected from the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 to the second chamber 570, it is injected from the bottom to the top, and in the second chamber 570, the flow part When the supply fluid is injected into the 580, since it is injected from the top to the bottom, the filling of the fluid inside the second chamber 570 is more effectively achieved as described above, so that a high pressure inside the second chamber 570 is uniform. fluid pressure is formed.

위와 같이, 제2챔버(570) 내부에서 높은 압력의 균일한 유동압이 형성됨으로써, 제2틈새(571)를 따라 주입되는 공급 유체의 유속 증폭이 더욱 크게 발생될 수 있는 것이다.As described above, since a high-pressure, uniform flow pressure is formed inside the second chamber 570, the amplification of the flow rate of the supply fluid injected along the second gap 571 can be more greatly generated.

또한, 비교적 균일한 유동압을 갖는 제2챔버(570) 내부의 공급 유체가 유동부(580)로 주입되므로, 유동부(580) 내에서 난류가 발생되지 않아, 더욱 높은 유속이 보장될 수 있다.In addition, since the supply fluid inside the second chamber 570 having a relatively uniform flow pressure is injected into the flow part 580, turbulence does not occur in the flow part 580, and a higher flow rate can be guaranteed. .

전술한 유량 제어 장치(500)의 공급구, 즉, 제1, 2공급구(541, 542)을 통해 공급되는 공급 유체는 고압으로 압축된 핫 질소(N₂)인 것이 바람직하다.It is preferable that the supply fluid supplied through the supply port of the aforementioned flow control device 500, ie, the first and second supply ports 541 and 542, is hot nitrogen (N ₂ ) compressed at a high pressure.

이는, 질소(N₂)가 유해 가스와 혼합되지 않아, 유해 가스의 배기 및 정화에 적합하고, 가열된 핫 질소(N₂)로 인해, 유해 가스의 온도를 상승시켜 주므로, 유해 가스에 함유된 파티클 또는 가스 파우더가 배관(310)에 침전되는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있기 때문이다.This is because nitrogen (N ₂ ) is not mixed with harmful gases, which is suitable for exhausting and purifying harmful gases, and because heated hot nitrogen (N ₂ ) raises the temperature of harmful gases, This is because it is possible to more effectively prevent particles or gas powder from being deposited in the pipe 310 .

본 발명의 유량 제어 장치(500)는 제1, 2차단벽(553, 563)을 통해, 제1실시 예처럼 제1, 2공급구(541, 542)을 편심으로 배치하지 않더라도, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 내부에서 공급 유체의 흐름을 일 방향으로 동일하게 유동시킬 수 있다.The flow control device 500 of the present invention through the first and second blocking walls 553 and 563, even if the first and second supply ports 541 and 542 are not eccentrically arranged as in the first embodiment, the first - Inside the first chamber 550 and the first and second chambers 560, the supply fluid may flow equally in one direction.

제1-1챔버(550), 제1-2챔버(560) 및 제2챔버(570)에서 일 방향으로 공급 유체의 흐름이 발생함에 따라, 제1-1챔버(550), 제1-2챔버(560) 및 제2챔버(570) 내부의 난류 발생이 최소화되어 유동부(580)로 주입되는 공급 유체의 높은 압력이 보장될 수 있다.As the supply fluid flows in one direction in the 1-1 chamber 550, the 1-2 chamber 560 and the second chamber 570, the 1-1 chamber 550, the 1-2 Turbulence inside the chamber 560 and the second chamber 570 is minimized so that a high pressure of the supply fluid injected into the flow part 580 can be guaranteed.

또한, 제1, 2가이드부(555, 565)에 의해 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 각각에서 하류측 방향(즉, 유동부(580)의 하류부(582) 방향)으로의 유동 흐름이 원활하게 유도될 수 있으며, 이를 통해, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560)의 균일한 유동압을 생성하여, 유동부(580)에서의 높은 속도로 증폭된 유체를 배출시킬 수 있다.In addition, the first and second guide parts 555 and 565 in the downstream direction in each of the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 (that is, the downstream part 582 of the flowing part 580) direction) can be smoothly induced, and through this, a uniform flow pressure of the 1-1 chamber 550 and the 1-2 chamber 560 is generated, and in the flow part 580 It is possible to expel the amplified fluid at high speed.

제2챔버(570)에는, 제1-1챔버(550)에서 제1-1틈새(551)를 통해, 제2챔버(570)로 주입된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키는 제3차단벽(미도시)과, 제1-2챔버(560)에서 제1-2틈새(561)를 통해, 제2챔버(570)로 주입된 공급 유체를 일 방향으로 유도시키는 제4차단벽(미도시)이 구비될 수 있다.In the second chamber 570, a third blocking wall (which guides the supply fluid injected into the second chamber 570 in one direction through the 1-1 gap 551 in the 1-1 chamber 550) ) and a fourth blocking wall (not shown) for guiding the supply fluid injected into the second chamber 570 in one direction through the 1-2 gap 561 in the 1-2 chamber 560. may be provided.

이 경우, 제2챔버는, 제3, 4차단벽에 의해 제1-1챔버(550)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제2-1챔버(미도시)와, 제1-2챔버(560)에서 공급된 공급 유체가 유동하는 제2-2챔버로 상호 구별될 수 있다.In this case, the second chamber includes a 2-1 chamber (not shown) in which the supply fluid supplied from the 1-1 chamber 550 flows through the third and fourth blocking walls, and the 1-2 chamber 560 ) can be distinguished from each other by the 2-2 chamber in which the supplied fluid flows.

위와 같이, 제2챔버(570)가 제2-1챔버 및 제2-2챔버로 구별됨에 따라, 제2-1챔버 및 제2-2챔버 내부에서 난류 발생이 최소화되어, 유동부(580)를 통해 배출되는 유속의 높은 증폭을 달성할 수 있다.As described above, as the second chamber 570 is divided into the 2-1 chamber and the 2-2 chamber, generation of turbulence is minimized in the 2-1 chamber and the 2-2 chamber, and the flow part 580 Through this, it is possible to achieve high amplification of the discharged flow rate.

제1-1틈새(551)는 제1공급구(541)에서 멀어질수록 그 높이가 더 길어지게 형성될 수 있다. 위와 같이, 제1-1틈새(551)의 높이가 제1공급구(541)에서 멀어질수록 더 길어지게 형성됨에 따라, 제1공급구(541)에서 멀어지더라도, 많은 양의 공급 유체가 제1-1틈새(551)를 통해 제2챔버(570) 내부로 주입될 수 있다. 따라서, 제1-1챔버(550) 내부 및 제2챔버(570)의 균일한 유동압이 형성될 수 있다.The height of the 1-1 gap 551 may increase as the distance from the first supply port 541 increases. As described above, as the height of the 1-1 gap 551 becomes longer as the distance from the first supply port 541 increases, even if the distance from the first supply port 541 increases, a large amount of supply fluid It may be injected into the second chamber 570 through the 1-1 gap 551 . Accordingly, a uniform fluid pressure inside the 1-1 chamber 550 and the second chamber 570 can be formed.

제1-2틈새(561)는 제2공급구(542)에서 멀어질수록 그 높이가 더 길어지게 형성될 수 있다. 위와 같이, 제1-2틈새(561)의 높이가 제2공급구(542)에서 멀어질수록 더 길어지게 형성됨에 따라, 제2공급구(542)에서 멀어지더라도, 많은 양의 공급 유체가 제1-2틈새(561)를 통해 제2챔버(570) 내부로 주입될 수 있다. 따라서, 제1-2챔버(560) 내부 및 제2챔버(570)의 균일한 유동압이 형성될 수 있다.The height of the 1-2 gap 561 may increase as the distance from the second supply port 542 increases. As described above, as the height of the 1-2 gap 561 becomes longer as the distance from the second supply port 542 increases, even if the distance from the second supply port 542 increases, a large amount of supply fluid It may be injected into the second chamber 570 through the first-second gap 561 . Accordingly, a uniform fluid pressure inside the first and second chambers 560 and the second chamber 570 can be formed.

도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)가 슬라이드 이동됨으로써, 제1공급구(541) 및 제2공급구(542)를 통해 유량 제어 장치(500) 내부로 공급되는 공급 유체의 속도가 제어될 수 있다.As shown in FIGS. 6 to 8, the first control member 591 and the second control member 592 are slidably moved to control the flow rate through the first supply port 541 and the second supply port 542. The speed of the supply fluid supplied into the device 500 may be controlled.

도 11 내지 도 13을 살펴보면, 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)가 제1공급구(541) 및 제2공급구(542) 각각의 면적을 작게 만들수록, 제1제어부재(591) 및 제1공급구(541)의 틈새를 통해 제1-1챔버(550)로 유동되는 공급 유체의 유속과, 제2제어부재(592) 및 제2공급구(542)의 틈새를 통해 제1-2챔버(560)로 유동되는 공급 유체의 유속이 순간적으로 빨라지게 된다.11 to 13, as the first control member 591 and the second control member 592 reduce the area of each of the first supply port 541 and the second supply port 542, the first control The flow rate of the supply fluid flowing into the 1-1 chamber 550 through the gap between the member 591 and the first supply port 541 and the gap between the second control member 592 and the second supply port 542 Through this, the flow rate of the supply fluid flowing into the first and second chambers 560 is instantaneously increased.

따라서, 위의 공급 유체가 제2챔버(570)를 거쳐 유입부(580)로 주입되면, 최종적으로 유입 유체 및 유해 가스의 유속 증폭량이 더욱 커진게 된다.Therefore, when the above supplying fluid is injected into the inlet 580 through the second chamber 570, the amplified flow rate of the inlet fluid and harmful gas is finally increased.

다시 말해, 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)를 통해, 제1공급구(541) 및 제2공급구(542)의 공급 면적을 작게 할수록 유량 제어 장치(500)를 통해 유동부(580)의 하류부(582)로 유동하는 유입 유체 및 유해 가스의 유속은 더욱 빨라지게 되는 것이다. 따라서, 아래와 같은 관계식을 만족하게 된다.In other words, through the first control member 591 and the second control member 592, as the supply area of the first supply port 541 and the second supply port 542 is reduced, the flow control device 500 The flow rate of the inlet fluid and harmful gas flowing to the downstream part 582 of the flow part 580 becomes faster. Therefore, the following relational expression is satisfied.

'제1, 2제어부재(591, 592)를 30% 개방했을 때, 유동부(580)의 하류부(582)로 유동하는 유입 유체 및 유해 가스의 유속 > 제1, 2제어부재(591, 592)를 50% 개방했을 때, 유동부(580)의 하류부(582)로 유동하는 유입 유체 및 유해 가스의 유속 > 제1, 2제어부재(591, 592)를 100% 개방했을 때, 유동부(580)의 하류부(582)로 유동하는 유입 유체 및 유해 가스의 유속''When the first and second control members 591 and 592 are opened by 30%, the flow rate of the inflow fluid and harmful gas flowing to the downstream part 582 of the flow part 580 > the first and second control members 591 and 592 ) is opened 50%, the flow rate of the inflow fluid and harmful gas flowing to the downstream part 582 of the flow part 580 > when the first and second control members 591 and 592 are opened 100%, the flow part ( The flow rate of the inlet fluid and noxious gas flowing to the downstream portion 582 of 580'

위와 같이, 본 발명의 유량 제어 장치(500)는 제1, 2제어부재(591, 592)를 통해, 제1, 2공급구(541, 542) 각각으로 공급되는 공급 유체의 유속을 제어함으로써, 유입 유체 및 유해 가스의 유속을 제어할 수 있다. 따라서, 동일한 공급 유체의 공급압력에서, 유입 유체의 유속을 보다 높게 증폭시킬 수 있어 유해 가스의 배기를 더욱 효과적으로 달성할 수 있다.As described above, the flow control device 500 of the present invention controls the flow rate of the supply fluid supplied to the first and second supply ports 541 and 542 through the first and second control members 591 and 592, respectively, It is possible to control the flow rate of inlet fluid and noxious gas. Therefore, at the same supply pressure of the supply fluid, the flow rate of the inflow fluid can be amplified to a higher level, so that harmful gas can be exhausted more effectively.

본 발명의 유해 가스 배기 시스템(10)은 유해 가스 및 파티클 등이 하류 배관(312)의 내벽에 침전된다 하여도, 유량 제어 장치(500)를 통해, 난류를 생성하여 하류 배관(312)의 내벽에 침전된 침전물을 효과적으로 제거할 수 있다.In the harmful gas exhaust system 10 of the present invention, even if harmful gases and particles are precipitated on the inner wall of the downstream pipe 312, turbulence is generated through the flow control device 500 to It is possible to effectively remove the precipitate deposited on the

이하, 유량 제어 장치(500)를 통한 난류 생성 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a method of generating turbulence through the flow control device 500 will be described.

먼저, 유해 가스 배기 시스템(10)은 하류 배관(312)에 구비되어 내부 압력을 측정하는 센서(미도시)와, 제1제어부재(591) 및 제2제어부재(592)를 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.First, the noxious gas exhaust system 10 includes a sensor (not shown) provided in the downstream pipe 312 to measure the internal pressure, and a controller for controlling the first control member 591 and the second control member 592 ( Not shown) may be configured to include.

만약, 센서의 압력이 기설정된 압력보다 높게 측정될 경우, 제어부는 하류 배관(312)에 유해 가스가 침전되어 압력이 상승한 것으로 판단할 수 있다.If the pressure of the sensor is measured to be higher than the predetermined pressure, the control unit may determine that the pressure has risen due to the precipitation of harmful gas in the downstream pipe 312 .

제어부는 제1제어부재(591) 또는 제2제어부재(592)를 통해 제1공급구(541)와 제2공급구(542)의 개폐 면적을 다르게 제어한다. 이처럼 제1공급구(541) 및 제2공급구(542)의 개폐 면적이 달라짐에 따라, 제1공급구(541) 및 제2공급구(542)를 통해, 제1-1챔버(550) 및 제1-2챔버(560) 각각으로 공급되는 공급 유체의 유속이 달라지며, 이로 인해, 제1-1챔버(550), 제1-2챔버(560) 및 제2챔버(570) 내에서 난류가 발생하게 된다. 이렇게 발생된 난류는 유동부(580)로 주입되고 난 후에도 영향을 미치게 되어 유동부(580) 내에서 계속적으로 난류를 형성하게 된다.The control unit differently controls opening and closing areas of the first supply port 541 and the second supply port 542 through the first control member 591 or the second control member 592 . As the opening and closing areas of the first supply port 541 and the second supply port 542 change, the 1-1 chamber 550 is opened through the first supply port 541 and the second supply port 542. And the flow rate of the supply fluid supplied to each of the 1-2 chambers 560 is different, and due to this, in the 1-1 chamber 550, the 1-2 chamber 560 and the second chamber 570 turbulence occurs. The turbulence generated in this way continues to have an effect even after being injected into the flow part 580, thereby continuously forming turbulence within the flow part 580.

이 후, 유동부(580)를 통해 하류 배관(312)으로 유동된 난류는 침전물을 효과적으로 제거할 수 있게 된다.Thereafter, the turbulent flow flowing into the downstream pipe 312 through the flow part 580 can effectively remove the sediment.

전술한 바와 같이 제어부는 유량 제어 장치(500)를 통해 난류를 생성시킴으로써, 하류 배관(312)의 내부를 유동하는 유체에 함유된 파티클이 내벽에 침전될 경우, 침전된 침전물을 효과적으로 제거할 수 있다.As described above, the control unit generates turbulent flow through the flow control device 500, so that when particles contained in the fluid flowing inside the downstream pipe 312 are precipitated on the inner wall, the precipitate can be effectively removed. .

본 발명은 도면에 도시된 실시 예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the attached claims.

10: 유해 가스 배기 시스템
100: 공정챔버 200: 펌프
210: 배기 배관 300: 스크러버
310: 배관 311: 상류 배관
312: 하류 배관
500: 유량 제어 장치
510: 제1바디 511: 제1중공
512: 제1삽입구 513: 제2삽입구
514: 제1마크부 515: 제2마크부
520: 제2바디 521: 제2중공
530: 제3바디 531: 제3중공
541: 제1공급구 542: 제2공급구
550: 제1-1챔버 551: 제1-1틈새
553: 제1차단벽 555: 제1가이드부
560: 제1-2챔버 561: 제1-2틈새
563: 제2차단벽 565: 제2가이드부
570: 제2챔버 571: 제2틈새
580: 유동부 581: 상류부
582: 하류부 583: 상류 경사부
584: 하류 경사부 584a: 제1하류 경사부
584b: 제2하류 경사부 591: 제1제어부재
591a: 제1가이드 경사부 592: 제2제어부재
592a: 제2가이드 경사부10: harmful gas exhaust system
100: process chamber 200: pump
210: exhaust pipe 300: scrubber
310: piping 311: upstream piping
312 downstream piping
500: flow control device
510: first body 511: first hollow
512: first insertion port 513: second insertion port
514: first mark portion 515: second mark portion
520: second body 521: second hollow
530: third body 531: third hollow
541: first supply port 542: second supply port
550: 1-1 chamber 551: 1-1 gap
553: first blocking wall 555: first guide unit
560: first-second chamber 561: first-second gap
563: second blocking wall 565: second guide unit
570: second chamber 571: second gap
580: moving part 581: upstream part
582: downstream part 583: upstream slope part
584: downstream slope 584a: first downstream slope
584b: second downstream slope 591: first control member
591a: first guide inclined portion 592: second control member
592a: second guide inclined portion

Claims

a supply port through which supply fluid is supplied;
a chamber communicating with the supply port;
a moving part disposed inside the chamber and communicating with the chamber; and
A control unit for controlling the speed of the inlet fluid flowing into the flow unit by adjusting the area of the supply port;
The supply port,
Including; a first supply port provided on one side of the first body,
The control material,
A first control member that is slidably inserted into the first insertion port of the first body and adjusts the area of the first supply port by a slide; including, the flow rate control device.

According to claim 1,
The supply fluid supplied through the first supply port flows in one direction in the chamber,
On one side of the first control member, a first guide inclined portion for guiding the supply fluid supplied through the first supply port in one direction is provided, the flow control device.

According to claim 1,
The supply port,
A second supply port provided on the opposite side of the first body; further comprising,
The control material,
A second control member that is slidably inserted into the second insertion port of the first body and adjusts the area of the second supply port by a slide; further comprising a flow rate control device.

According to claim 3,
The supply fluid supplied through the first supply port and the second supply port flows in one direction in the chamber, the flow control device.

According to claim 4,
A first guide inclined portion for guiding the supply fluid supplied through the first supply port in one direction is provided on one side of the first control member, and on one side of the second control member, the second supply port , Flow control device provided with a second guide inclined portion for guiding the supply fluid supplied through in one direction.

According to claim 3,
the chamber,
a first chamber communicating with the supply port; and
A second chamber provided between the first chamber and the moving part to communicate with the first chamber and the moving part;
The first chamber,
a 1-1 chamber in which the supply fluid supplied from the first supply port flows; and
Including; 1-2 chambers in which the supply fluid supplied from the second supply port flows,
The 1-1 chamber and the 1-2 chamber are mutually distinguished by a first blocking wall and a second blocking wall,
The first blocking wall guides the supply fluid supplied from the first supply port to flow in one direction inside the 1-1 chamber, and the second blocking wall guides the supply fluid supplied from the second supply port. Flow control device for inducing flow in one direction in the first-second chamber.

Pump;
A scrubber connected to the pump to purify harmful gases;
a pipe connecting the pump and the scrubber; and
Including; a flow control device provided in the pipe;
The flow control device,
a supply port through which supply fluid is supplied;
a chamber communicating with the supply port;
a flow unit disposed inside the chamber, communicating with the chamber, connecting an upstream pipe and a downstream pipe of the pipe, and introducing an inflow fluid through the upstream pipe; and
Including; control member for adjusting the area of the supply port,
The supply port,
Including; a first supply port provided on one side of the first body,
The control material,
A harmful gas exhaust system comprising: a first control member that is slidably inserted into the first insertion port of the first body and adjusts an area of the first supply port by a slide.

According to claim 7,
The supply port,
A second supply port provided on the opposite side of the first body; further comprising,
The control material,
A second control member that is slidably inserted into the second insertion port of the first body and adjusts the area of the second supply port by a slide;
The supply fluid supplied through the first supply port and the second supply port flows in one direction in the chamber,
A harmful gas exhaust system, wherein turbulence is formed in the flow part by varying opening and closing areas of the first supply port and the second supply port through the first control member or the second control member.