KR102493115B1 - 진공 디포지션 설비 및 기재를 코팅하는 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 챔버를 포함하는 진공 디포지션 설비 내부에 적어도 하나의 금속으로 형성된 코팅을 주행 기재 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법, 기재의 양측에서 적어도 하나의 금속으로 코팅되는 코팅된 기재, 및 진공 디포지션 설비에 관한 것이다.

Description

진공 디포지션 설비 및 기재를 코팅하는 방법

본 발명은 금속 또는 금속 합금으로 형성된 코팅을 기재 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이 방법에 사용되는 진공 디포지션 설비에 관한 것이다.

강 스트립과 같은 기재 상에, 결국에 합금들로 구성된 금속 코팅을 디포짓팅하기 위한 다양한 공정들이 공지되어 있다. 이들 중에서, 용융 코팅, 전착 및 또한 다양한 진공 디포지션 공정들, 예를 들면 진공 증발 및 마그네트론 스퍼터링을 언급할 수 있다.

500 m/s 보다 큰 속도로 추진되는 금속 증기 스프레이가 기재와 접촉하는 강 기재의 연속적인 코팅을 위한 방법이 WO 97/47782 에 공지되어 있다. 디포지션 방법을 제트 기상 디포지션이라고 한다.

EP 2940191 은 Zn-Mg 합금 도금 강판을 제조하는 방법을 개시하고, 상기 방법은: 베이스 강판을 제조하는 단계; 및 베이스 강판의 표면에 디포짓팅되는 Zn-Mg 합금 소스를 증발시킴으로써 Zn-Mg 도금층을 형성하는 단계를 포함하고, Zn-Mg 도금층의 Mg 함량은 8 wt% 이하 (그러나 0 wt% 초과) 이고, Zn-Mg 도금층이 그 위에 디포짓팅되기 전후의 베이스 강 시트의 온도는 60 ℃ 이하이다.

이 특허 출원에서, 베이스 강시트의 온도를 조절하기 위해, 디포지션 프로세스 전후의 베이스 강 시트를 냉각시키는 방법은 냉각 롤들을 설치함으로써 수행되는 것이 언급된다. 냉각 디바이스에 관하여, 진공 상태에서 양호한 냉각 효율을 얻기 위해서는, 단일의 냉각 롤 보다는 오히려 복수의 냉각 롤러가 설치되어 인터페이스를 상당히 증가시킬 수도 있다. 특히, 강 시트의 온도 상승은 코팅 응축 엔탈피로 인해 코팅 프로세스 후에 상당해질 수도 있다. 따라서, 코팅 프로세스 후에, 냉각 효율을 증가시키는 것 그리고 냉각 롤의 개수 또는 크기를 증가시킴으로써 상대적으로 낮아지는 냉각 롤의 온도를 관리하는 것이 바람직할 수도 있다.

그럼에도 불구하고, 여러 냉각 롤을 사용함으로써, 베이스 강 시트의 온도가 충분히 균일하지 않아서 냉각 이질성으로 인한 편평도 문제로 이어지는 위험이 있다. 실제로, 금속 증기가 기재 상에 응축되면, 열 에너지가 방출되어 기재의 탄성 변형으로 이어진다. 탄성 변형은 냉각 롤러 이후에 편평도 문제로 이어질 수 있는데, 왜냐하면 코팅된 금속 기재와 냉각 롤러 사이의 일정한 압력이 균일하지 않기 때문이다. 결과적으로, EP 2940191 에서 사용된 복수의 냉각 롤러가 강을 변형시키는 위험이 있는데, 왜냐 하면 코팅된 강 시트와 냉각 롤러 사이의 인터페이스가 상당히 증가되었기 때문이다.

코팅이 금속 기재의 양측에 디포짓팅되는 경우에, 금속 기재의 온도를 제어하는 것이 또한 중요하다. 실제로, 코팅된 금속 기재의 편평도가 개선되면, 예를 들어, 그의 기계적 특성들의 균질성, 코팅의 표면 양태를 포함하여, 코팅된 금속 기재의 품질은 증가한다.

그러므로, 본 발명의 목적은, 코팅된 금속 기재의 편평도가 매우 향상되도록, 주행 기재의 양측에 코팅을 디포짓팅하는 최적화된 방법을 제공하는 것이다.

이는 청구항 1 에 따른 주행 기재 상에 코팅을 디포짓팅하는 방법을 제공함으로써 달성된다. 이 방법은 또한 청구항 2 내지 청구항 14 의 어떠한 특징들을 포함할 수 있다.

본 발명은 또한 청구항 15 내지 청구항 17 에 따른 코팅된 기재를 포함한다.

본 발명은 또한 청구항 18 또는 청구항 19 에 따른 진공 설비를 포함한다.

본 발명을 설명하기 위해, 비한정적인 예들의 다양한 실시형태들 및 시도들이 특히 다음의 도면을 참조하여 설명될 것이다.

도 1 은 본 발명에 따른 진공 디포지션 설비 내부의 두 개의 증기 이젝터들로 코팅된 기재의 평면도를 도시한다.
도 2 는 본 발명에 따른 진공 디포지션 설비 내부의 두 개의 증기 이젝터들로 코팅된 기재의 다른 실시예의 평면도를 도시한다.
도 3 은 본 발명에 따른 진공 디포지션 설비 내부의 적어도 하나의 금속으로 코팅된 기재의 측면도를 도시한다.
도 4 은 바람직한 실시형태에 따른 진공 디포지션 설비 내부의 적어도 하나의 금속으로 코팅된 기재의 측면도를 도시한다.
도 5a 및 도 5b 는 본 발명에서 규정된 바와 같이 최대 변형을 도시한다.
도 6a 내지 도 6c 는 진공 디포지션 설비 내 상이한 위치들을 가지는 두 개의 이젝터 증기들로 코팅되는 기재의 평면도를 도시한다.

본 발명의 다른 특징들 및 이점들은 본 발명의 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.

본 발명은 진공 챔버를 포함하는 진공 디포지션 설비 내부에 적어도 하나의 금속으로 형성된 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법에 관한 것으로서,

이 방법은, 상기 진공 챔버에서, 금속 증기가 적어도 두 개의 증기 이젝터들을 통하여 주행 기재의 양측을 향해 배출되고, 배출된 증기의 응축에 의해 각측에 적어도 하나의 금속층이 형성되는 단계를 포함하고, 서로 대면하는 적어도 두 개의 증기 이젝터들은 각각 α 및 α' 의 각도로 위치되고, 이 각도는 증기 이젝터와 기재의 주행 방향에 수직인 축 (A) 사이에 있으며, 상기 축은 기재의 평면에 있고, α 및 α' 는 모두 다음 식을 만족하고:

, 이 때 0°< α < 82°및

, 이 때 0°< α' < 82°,

D1 및 D2 는 이젝터들과 각각의 기재 가장자리 사이의 축 (A) 을 따른 거리이고, Ws 는 기재 폭이며, 상기 증기 이젝터들은 세장형 형상을 가지고, 슬롯을 포함하며, 슬롯 폭 (We) 에 의해 규정되며, 상기 증기 이젝터들은 동일한 회전 축을 가진다.

어떠한 이론에도 구속되지 않고, 본 발명에 따른 방법으로, 편평하게 코팅된 금속 기재를 얻을 수 있다고 여겨진다. 실제로, 본 발명자들은, 두 개의 증기 이젝터들이 특정 각도로 위치되어야 하고, 두 개의 이젝터들이 서로 마주하여, 금속 디포지션 동안, 기재 폭을 통한 온도 분포가 금속 디포지션 동안 대칭이 된다는 것을 발견하였다. 기재 폭을 따르는 열적 프로파일은 균일하다. 따라서, Zn 디포지션 후에 기재를 따르는 탄성 변형 프로파일은 대칭이 되어 기재와 제 1 냉각 롤 사이의 균일한 접촉 압력으로 이어진다. 결과적으로, 코팅된 기재는 편평하게 유지된다.

도 1 을 참조하면, 본 발명에 따른 설비 (1) 는 우선 진공 챔버 (2) 및 챔버를 통해 기재를 주행시키기 위한 수단을 포함한다. 이러한 진공 챔버 (2) 는, 바람직하게는 10^-8 ~ 10^-3 bar 의 압력으로 유지되는 밀폐식으로-밀봉가능한 박스이다. 이 진공 챔버는 진입 로크 및 배출 로크 (이들은 도시 생략됨) 를 가지고, 진입 로크와 배출 로크 사이에서, 예를 들면 강 스트립과 같은 기재 (S) 가 주행 방향으로 주어진 경로 (P) 를 따라 주행할 수 있다.

적어도 두 개의 증기 이젝터들 (3, 3') 은 주행 기재의 양측에서 음속으로 금속 증기를 배출한다. 증기 이젝터들 모두는 각각 증기 이젝터와 기재의 주행 방향에 수직인 축 (A) 사이에서 α 및 α' 의 각도로 위치되며, 상기 축은 기재의 평면에 있고, α 및 α' 는 모두 다음 식을 만족한다:

, 이 때 0°< α < 82°및

, 이 때 0°< α' < 82°.

이젝터들은 직사각형 형상 또는 사다리꼴 형상과 같은 상이한 형상들을 가질 수 있다. 도 1 에 도시된 바와 같이, D1 및 D2 의 상이한 거리값이 가능하다. 바람직하게는, D1 및 D2 는 축 (A) 을 따라 이젝터의 가장자리들과 기재 가장자리들 사이의 최저 거리를 나타낸다.

바람직하게는, D1 및 D2 는 0 mm 미만, 동일, 또는 초과일 수 있다. D1 및 D2 가 0 mm 초과인 경우, 이젝터의 가장자리들은 기재 가장자리들을 넘어서 연장되지 않는다. D1 및 D2 가 0 mm 미만인 경우, 이젝터의 가장자리들은 도 2 에 도시된 바와 같이 기재 가장자리들을 넘어서 연장된다. D1 및 D2 가 0 mm 과 동일한 경우, 기재 가장자리들은 이젝터의 가장자리들과 동일한 평면에 있다. 바람직하게는, D1 및 D2 는 0 mm 초과이거나 미만이다.

바람직하게는, D1 및 D2 는 서로 독립적이고, 1 mm 초과, 유리하게는 5 ~ 100 mm, 더 바람직하게는 30 ~ 70 mm 이다. 바람직한 실시형태에서, D1 은 D2 와 동일하다.

바람직하게는, 기재 폭 (Ws) 은 최대 2200 mm 이다. 유리하게는, Ws 는 최소 200 mm 이다. 예를 들어, Ws 는 1000 ~ 2000 mm 이다.

바람직하게는, We 는 최대 2400 mm 이다. 유리하게는, We 는 최소 400 mm 이다.

바람직한 실시형태에서, Ws 는 We 와 동일하거나 그 보다 작다.

바람직하게는, α' 는 절대항에서 α-α' < 10°, 보다 바람직하게는 α-α' < 5°, 유리하게는 α-α' < 3° 가 되도록 한다. 예를 들어, α- α' 는 0° 와 동일하다.

바람직하게는, α 는 절대항에서 0 ~ 60°, 유리하게는 10 ~ 50°, 예를 들어 절대항에서 20 ~ 35° 이다.

진공 챔버는 주행 기재의 양측에 위치한 3 개 또는 여러 개의 증기 이젝터들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 진공 챔버는 금속 기재의 각 측에 위치한 두 개의 증기 이젝터들을 포함할 수 있다.

도 3 에 도시된 바와 같이, 기재 (S) 는 상기 기재의 성질 및 형상에 따라 임의의 적합한 수단에 의해 주행되도록 될 수 있다. 강 스트립이 지지되는 회전 지지 롤러 (4) 가 특히 사용될 수 있다.

도 4 에 도시된 바와 같이, 진공 챔버 (2) 는 중심 케이싱 (6) 을 더 포함할 수 있다. 이는, 주행 방향으로 주어진 길이, 통상적으로 일측당 하나의 이젝터의 경우에 2 ~ 8 m 길이에서 기재 경로 (P) 를 둘러싸는 박스이다. 그 벽들은 공동을 경계짓는다. 이는 두 개의 개구들, 즉 중심 케이싱의 두 개의 반대측들에 위치된 기재 진입구 (7) 및 기재 배출구 (8) 를 포함한다. 바람직하게는, 중심 케이싱은 폭이 코팅될 기재들보다 약간 더 큰 평행육면체이다.

바람직하게는, 중심 케이싱의 내부벽들은 금속 또는 금속 합금 증기의 응축 온도 초과의 온도로 가열되는데 적합하다. 이러한 가열은, 예를 들어 유도 가열기, 발열 저항체들, 전자 빔과 같은 임의의 적합한 수단에 의해 행해질 수도 있다. 가열 수단은 그 위의 금속 또는 금속 합금 증기의 응축을 피하는데 충분히 높은 온도에서 중심 케이싱의 내부벽들을 가열하는데 적합하다. 바람직하게는, 중심 케이싱의 벽들은 아연 증기 또는 아연-마그네슘 합금 증기의 응축을 피하도록, 디포짓팅될 코팅을 형성하는 금속 원소들의 응축 온도를 초과하여, 통상적으로 500℃ 초과하여, 예를 들면 500℃ ~ 700℃ 로 가열되는데 적합하다. 이들 가열 수단으로 인해, 중심 케이싱의 내부벽들은 막히지 않고 설비는 종종 세척을 위해 정지될 필요도 없다. 더욱이, 내부벽들상에서 금속 또는 금속 합금 증기의 응축이 방지된다.

특히, 본 발명에 따른 방법으로, 기재의 양측에 적어도 하나의 금속으로 코팅된 금속 기재를 얻을 수 있고, 기재는 최대 종방향 변형이 2 mm 미만이고 최대 횡방향 변형이 5 mm 미만이 되도록 되어 있다. 도 5a 에 도시된 바와 같이, 최대 종방향 변형은 코팅된 기재의 길이를 따라서 최소 피크 높이와 피크 최대 높이 사이의 차이를 나타낸다. 도 5b 에 도시된 바와 같이, 최대 횡방향 변형은 코팅된 기재의 폭을 따라서 최소 피크 높이와 최대 피크 높이 사이의 차이를 나타낸다.

본 발명에서, 적어도 하나의 금속은 바람직하게는 아연, 크롬, 니켈, 티타늄, 망간, 마그네슘, 규소, 알루미늄 또는 이들의 혼합물 중에서 선택된다. 바람직하게는, 금속은 선택적으로 마그네슘과 함께 아연이다.

바람직하게는, 금속 기재는 강 기재이다. 실제로, 어떠한 이론에도 구속되지 않고, 강 기재를 사용할 때 편평도가 더욱 향상된다고 여겨진다.

코팅의 두께는 바람직하게 0.1 ~ 20 ㎛ 일 것이다. 한편으로는, 0.1 ㎛ 미만에서는 기재의 내부식성이 불충분할 위험이 있다. 다른 한편으로는, 특히 자동차 또는 건설 분야에서 요구되는 내부식성의 레벨을 갖도록 20 ㎛ 초과로 될 필요가 없다. 일반적으로, 두께는 자동차 적용을 위해 10 ㎛ 로 제한될 수도 있다.

마지막으로, 본 발명은, 적어도 하나의 금속으로 형성된 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하기 위한 본 발명에 따른 방법을 위한 진공 디포지션 설비에 관한 것이고, 상기 설비 (1) 는 기재 (3) 가 주어진 경로를 따라 주행할 수 있는 진공 챔버 (2) 를 포함하며,

상기 진공 챔버는 서로 대면하는 적어도 두 개의 증기 이젝터들을 포함하고, 상기 이젝터들은 각각 α 및 α' 의 각도로 위치되고, 이 각도는 증기 이젝터와 기재의 주행 방향에 수직인 축 (A) 사이에 있으며, 축은 기재의 평면에 있고, α 및 α' 는 모두 다음 식을 만족하고:

, 이 때 0°< α < 82°및

, 이 때 0°< α' < 82°,

D1 및 D2 는 이젝터들과 기재 가장자리 사이의 축 (A) 을 따른 거리이고, Ws 는 기재 폭이며, 상기 증기 이젝터들은 세장형 형상을 가지고, 슬롯을 포함하며, 슬롯 폭 (We) 에 의해 규정되며, 상기 증기 이젝터들은 동일한 회전 축을 가진다.

바람직한 실시형태에서, 적어도 두 개의 증기 이젝터들은 α 및 α' 가 조절되도록 증기 공급원에 연결된 공급 파이프 주위를 회전할 수 있도록 장착된다.

실시예들

본 방법의 효율을 평가하기 위해 아연 증기를 배출하는 두 개의 증기 이젝터들을 포함하는 진공 디포지션 설비에서 모델링 시험을 수행하였다.

모든 시도들에 대해, 상이한 위치들과 각도들 (α 및 α') 이 본 발명에 따른 방법의 효율을 결정하기 위해 테스트되었다.

모든 시도들에 대해, 강 기재 폭 (Ws) 은 We = 1710 mm 인 두 개의 증기 이젝터들을 포함하는 진공 챔버 내에서 1000 ~ 1710 mm 에서 변했다. D1 및 D2 는 0 mm 와 동일하고 동등했다. 진공 압력은 10^-1 mBar 이었다.

편평도는 제 1 냉각 롤 후에 최대 변형을 갖는 코팅된 기재 피크에 의해 규정되었다. 그 결과는 하기 표 1 과 같다:

본 발명에 따른 시도들은 비교예에 비해 변형이 없거나 거의 없다. 따라서, 편평도는 본 발명에 따른 방법에 의해 더 높아진다.

Claims (19)

1. 진공 챔버 (2) 를 포함하는 진공 디포지션 설비 (1) 내부에 적어도 하나의 금속으로 형성된 코팅을 주행 기재 (S; running substrate) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법으로서,
   상기 방법은, 상기 진공 챔버에서, 적어도 두 개의 증기 이젝터들 (3, 3') 을 통하여 상기 주행 기재의 양측을 향해 금속 증기가 배출되고, 배출된 증기의 응축에 의해 각측에 적어도 하나의 금속층이 형성되는 단계를 포함하고, 서로 대면하는 상기 적어도 두 개의 증기 이젝터들은 각각 α 및 α' 의 각도로 위치되고, 이 각도는 증기 이젝터와 상기 기재의 주행 방향에 수직인 축 (A) 사이에 있으며, 상기 축은 상기 기재의 평면에 있고, α 및 α' 는 모두 다음 식을 만족하고:
   

   

   , 이 때 0°< α < 82°및
   

   

   , 이 때 0°< α' < 82°,
   D1 및 D2 는 상기 이젝터들과 각각의 기재 가장자리 사이의 상기 축 (A) 을 따른 거리이고, Ws 는 기재 폭이며, 상기 증기 이젝터들은 세장형 형상을 가지고, 슬롯을 포함하며, 슬롯 폭 (We) 에 의해 규정되며, 상기 증기 이젝터들은 동일한 회전 축을 가지는, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 이젝터와 상기 기재 가장자리들 사이의 거리 (D1 및 D2) 는 0 mm 초과이고, 즉 상기 이젝터의 가장자리들은 상기 기재 가장자리들을 넘어서 연장되지 않는, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
3. 제 1 항에 있어서,
   D1 및 D2 는 0 mm 이고, 즉 상기 기재 가장자리들은 상기 이젝터의 가장자리들과 동일한 평면에 있는, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
4. 제 1 항에 있어서,
   D1 및 D2 는 0 mm 미만이고, 즉 상기 이젝터의 가장자리들이 상기 기재 가장자리들을 넘어서 연장되는, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 기재 폭 (Ws) 은 최대 2200 mm 인, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
6. 제 1 항에 있어서,
   Ws 는 최소 200 mm 인, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
7. 제 1 항에 있어서,
   α' 은 절대항으로 α-α' < 10° 가 되도록 하는, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
8. 제 7 항에 있어서,
   α 는 절대항으로 0 ~ 60° 인, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
9. 제 8 항에 있어서,
   α 는 절대항으로 10 ~ 50° 인, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
10. 제 9 항에 있어서,
    α 는 절대항으로 20 ~ 35° 인, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 이젝터들 (3, 3') 은 직사각형 형상 또는 사다리꼴 형상을 가지는, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
12. 제 1 항에 있어서,
    D1 은 D2 와 동일한, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
13. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 상기 기재를 둘러싸는 중심 케이싱 (6) 을 더 포함하고, 상기 중심 케이싱은 상기 적어도 두 개의 증기 이젝터 및 상기 중심 케이싱의 두 개의 반대측들에 위치한 기재 유입구 (7) 및 기재 유출구 (8) 를 포함하는, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 중심 케이싱 (6) 의 내부벽들은 금속 또는 금속 합금 증기의 응축 온도 초과의 온도에서 가열되는데 적합한, 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하는 방법.
15. 기재의 양측에서 적어도 하나의 금속으로 코팅된 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로부터 얻을 수 있는 금속 기재로서,
    상기 기재는 최대 종방향 변형이 2 mm 미만이고 최대 횡방향 변형이 5 mm 미만이도록 되어 있는, 금속 기재.
16. 제 15 항에 있어서,
    상기 금속은 아연, 크롬, 니켈, 티타늄, 망간, 마그네슘, 규소 및 알루미늄 또는 이들의 혼합물로부터 선택되는, 금속 기재.
17. 제 15 항에 있어서,
    상기 금속 기재는 강 기재인, 금속 기재.
18. 적어도 하나의 금속으로 형성된 코팅을 주행 기재 (S) 상에 연속적으로 디포짓팅하기 위한 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 방법을 위한 진공 디포지션 설비로서,
    상기 설비 (1) 는 상기 기재 (S) 가 주어진 경로를 따라 주행할 수 있는 진공 챔버 (2) 를 포함하며, 상기 진공 챔버는 서로 대면하는 상기 적어도 두 개의 증기 이젝터들을 포함하고, 상기 이젝터들은 각각 α 및 α' 의 각도로 위치되고, 이 각도는 증기 이젝터와 상기 기재의 주행 방향에 수직인 축 (A) 사이에 있으며, 상기 축은 상기 기재의 평면에 있고, α 및 α' 는 모두 다음 식을 만족하고:
    

    

    , 이 때 0°< α < 82°및
    

    

    , 이 때 0°< α' < 82°,
    D1 및 D2 는 상기 이젝터들과 각각의 기재 가장자리 사이의 상기 축 (A) 을 따른 거리이고, Ws 는 기재 폭이며, 상기 증기 이젝터들은 세장형 형상을 가지고, 슬롯을 포함하며, 슬롯 폭 (We) 에 의해 규정되며, 상기 증기 이젝터들은 동일한 회전 축을 가지는, 진공 디포지션 설비.
19. 제 18 항에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 증기 이젝터들은 α 및 α' 가 조절되도록 증기 공급원에 연결된 공급 파이프 주위를 회전할 수 있도록 장착되는, 진공 디포지션 설비.

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