KR102491539B1 - Clamping device transport device for surface treatment - Google Patents

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유윤상
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(주)선우하이테크
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Abstract

Disclosed is a mobile hanger device for substrate treatment. The mobile hanger device for substrate treatment comprises: a substrate detaching clamp gripping a substrate to fix the substrate for wet treatment; a moving hanger part movably installed on a moving support of a wet treatment tank to move the substrate detaching clamp along the wet treatment tank; and a hanger moving guide part provided on the moving hanger part to come contact with the moving support to guide the movement of the moving hanger part and prevent a vertical movement of the moving hanger part. Therefore, the present invention prevents the moving hanger part moving along the moving support of the wet treatment tank for treating a substrate from being lifted upwards in a moving direction to stably move and treat the substrate.

Description

기판 처리용 이동형 클램핑 장치{Clamping device transport device for surface treatment}Mobile clamping device for substrate treatment {Clamping device transport device for surface treatment}

본 발명은 기판 처리용 이동형 클램핑 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 처리를 위하여 습식 처리조의 이동 지지대를 따라 이동하는 이동 행거부가 이동 방향을 따라 상측으로 들리는 현상을 방지하여, 기판의 안정적인 이동과 처리가 가능하도록 하는 기판 처리용 이동형 클램핑 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a movable clamping device for processing a substrate, and more particularly, to prevent a phenomenon in which a movable hanger moving along a movable support of a wet treatment tank is lifted upward along a moving direction for substrate processing, thereby providing stable movement of the substrate It relates to a movable clamping device for substrate processing that enables overprocessing.

통상 표면처리(Plating, 도금, 착색, 피막 등)는 물질의 표면 상태를 개선할 목적으로 물질의 표면에 다른 물질로 된 박막을 피복하는 것이다.In general, surface treatment (plating, plating, coloring, coating, etc.) is to coat a thin film of another material on the surface of a material for the purpose of improving the surface state of the material.

이러한 표면처리의 목적은 여러 가지가 있으나 대표적으로 첫째 원재료의 내식성 부족을 보완하고자 특정한 환경 속에서도 견딜 수 있는 금속박막을 입히는 방식(防蝕), 둘째 마모에 견딜 수 있도록 원재료보다 단단한 금속박막을 입히는 표면경화, 셋째 원재료의 표면에 귀금속 또는 색채가 아름다운 금속 합금의 박막을 붙이는 표면 미화, 넷째 빛 또는 열의 반사율을 높인다든지 또는 평활한 표면과 광택을 위해 금속 박막을 붙이는 표면의 평활화 및 반사율 개선을 위해 사용된다.There are several purposes of this surface treatment, but the first is a method of coating a metal thin film that can withstand a specific environment in order to compensate for the lack of corrosion resistance of the raw material, and the second is surface hardening that coats a metal thin film that is harder than the raw material to withstand abrasion. Thirdly, it is used for surface beautification by attaching a thin film of precious metal or metal alloy with beautiful color to the surface of raw materials, fourth to increase the reflectance of light or heat, or to smooth and improve the reflectance of the surface to which a thin metal film is attached for a smooth surface and gloss. .

또한, 표면처리 방식은 크게 습식표면처리와 건식표면처리로 구분되며, 습식표면처리는 습한환경 예를 들어 처리용액에 가공물을 함침시켜 표면을 처리하고, 건식표면처리는 진공의 용기에서 플라즈마나 아크, 가열증기를 이용하여 표면을 처리한다.In addition, surface treatment methods are largely classified into wet surface treatment and dry surface treatment. , treat the surface using heated steam.

이중 습식표면처리 방식은 표면처리 공정 전후 및 공정 중 이전 공정에서 사용되었던 반응액 및 도금액 등을 제거하기 위해 세정단계를 진행하여야 한다. 또한, 기판을 표면처리 할 때 기판을 홀딩장치에 고정하여 반응액 및 도금액에 함침하고, 기판에 전류를 인가하여 표면처리를 진행하게 된다.The double wet surface treatment method requires a cleaning step to remove the reaction solution and plating solution used in the previous process before and after the surface treatment process and during the process. In addition, when the substrate is surface treated, the substrate is fixed to a holding device, impregnated with a reaction solution and a plating solution, and a current is applied to the substrate to perform the surface treatment.

그리고 기판을 반응액과 도금액 등에 함침하기 위하여 홀딩장치를 습식 처리조를 따라 이동시키게 된다.In addition, the holding device is moved along the wet treatment tank in order to impregnate the substrate with the reaction solution and the plating solution.

그러나 상기와 같은 종래 기술의 습식표면 처리장치는, 기판이 고정된 홀딩장치를 습식 처리조를 따라 이동하는 과정에서 홀딩장치가 습식 처리조의 레일에서 움직이는 문제점이 발생하게 된다. 특히, 기판의 표면에 처리액이 묻어 있는 상태에서 기판이 기울어지면 표면에 층도금이 생기고, 딤플(Dimple) 또는 미도금 현상이 발생하여 기판 불량이 발생하게 된다.However, in the wet surface treatment apparatus of the related art as described above, a problem arises in that the holding device moves on the rail of the wet treatment tank while moving the holding device to which the substrate is fixed along the wet treatment tank. In particular, if the substrate is tilted while the processing liquid is on the surface of the substrate, layer plating is generated on the surface, and dimples or non-plating occur, resulting in defective substrates.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve this.

한편, 한편, 국내 공개특허 제10-2009-0040781호(공개일:2009.04.27)에는 "습식세정장치 및 기판처리방법"가 개시되어 있고, 등록특허 제10-1479442호(등록일:2014.12.29)에는 "습식표면처리 라인용 캐리어"가 개시되어 있다.On the other hand, on the other hand, Korean Patent Publication No. 10-2009-0040781 (published date: 2009.04.27) discloses "wet cleaning device and substrate treatment method", and Patent Registration No. 10-1479442 (registration date: 2014.12.29) ) discloses a "carrier for a wet surface treatment line".

본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 기판의 처리를 위하여 습식 처리조의 이동 지지대를 따라 이동하는 이동 행거부가 이동 방향을 따라 상측으로 들리는 현상을 방지하여 기판의 안정적인 이동과 처리가 가능하므로, 불량률을 줄이고, 생산성을 향상할 수 있는 기판 처리용 이동형 클램핑 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created due to the above needs, and the moving hanger moving along the moving support of the wet treatment tank for substrate processing prevents the phenomenon of being lifted upward along the moving direction, thereby enabling stable movement and processing of the substrate. , It is an object of the present invention to provide a movable clamping device for substrate processing that can reduce the defect rate and improve productivity.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치는, 습식 처리를 위한 기판을 파지하여 고정하는 기판 탈착 클램프와, 상기 기판 탈착 클램프를 습식 처리조를 따라 이동시킬 수 있도록 상기 습식 처리조의 이동 지지대에 이동 가능하게 설치되는 이동 행거부와, 상기 이동 지지대에 접촉되도록 상기 이동 행거부에 구비되어 상기 이동 행거부의 이동을 가이드하며, 상기 이동 행거부의 상하유동을 방지하는 행거이동 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a movable hanger device for substrate processing according to an aspect of the present invention includes a substrate detachable clamp for gripping and fixing a substrate for wet treatment, and the substrate detachable clamp can be moved along a wet treatment tank A movable hanger movably installed on the movable support of the wet treatment tank, and provided in the movable hanger to come into contact with the movable support to guide the movement of the movable hanger and prevent the movable hanger from moving up and down. It is characterized in that it comprises a movement guide.

또한, 본 발명에서 상기 이동 행거부는, 일단부에 상기 행거이동 가이드부가 결합되는 수평지지부재와, 상기 수평지지부재의 타단부에 결합되며, 하단부에 상기 기판탈착 클팸프가 결합되는 수직지지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the movable hanger unit includes a horizontal support member to which the hanger movement guide unit is coupled to one end, and a vertical support member coupled to the other end of the horizontal support member and to which the substrate detachable clamp is coupled to the lower end. It is characterized by including.

또한, 본 발명에서 상기 행거이동 가이드부는, 상기 이동 지지대의 일측면에 접촉하도록 상기 수평지지부재에 결합되는 제1가이드 롤러부와, 상기 이동 지지대의 타측면에 접촉하도록 상기 수평지지부재에 결합되어 상기 이동 지지대의 하면에 지지되는 제2가이드 롤러부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, in the present invention, the hanger moving guide unit is coupled to the horizontal support member so as to contact the first guide roller unit coupled to the horizontal support member to contact one side of the movable support and the other side of the movable support, It characterized in that it comprises a second guide roller supported on the lower surface of the movable support.

또한, 본 발명에서 상기 제1가이드 롤러부는, 상기 수평지지부재의 상단부에 결합되며, 상기 이동 지지대의 상면에 안착되는 제1롤러 고정브래킷과, 상기 제1롤러 고정브래킷에 결합되어 상기 이동 지지대의 측면에 접촉되는 제1롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the first guide roller unit is coupled to the upper end of the horizontal support member, and is coupled to the first roller fixing bracket seated on the upper surface of the movable support, and coupled to the first roller fixing bracket to support the movable support. It is characterized in that it includes a first roller in contact with the side.

또한, 본 발명에서 상기 제2가이드 롤러부는, 상기 수평지지부재의 하단부에 결합되는 제2롤러 고정브래킷과, 상기 이동 지지대에 접촉하도록 상기 제2롤러 고정브래킷에 구비되는 제2롤러와, 상기 이동 지지대의 측면과 하면에 접촉하도록 상기 제2롤러 고정브래킷에 구비되어 상기 행거이동 가이드부가 상측으로 들리는 것을 방지하는 유동 방지롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the second guide roller unit includes a second roller fixing bracket coupled to the lower end of the horizontal support member, a second roller provided on the second roller fixing bracket to contact the movable support, and the movement It is characterized in that it includes a flow prevention roller provided on the second roller fixing bracket so as to come into contact with the side surface and the lower surface of the support and prevent the hanger movement guide from being lifted upward.

또한, 본 발명에서 상기 유동 방지롤러는, 상기 이동 지지대의 하부에 위치하도록 외면에 지지돌부가 돌출 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the anti-flow roller is characterized in that a support protrusion is formed protruding on the outer surface so as to be located at the bottom of the movable support.

또한, 본 발명에서 상기 기판 처리용 이동형 행거장치는, 상기 이동 행거부 또는 상기 행거이동 가이드부에 결합되어 상기 이동 지지대를 중심으로 상기 행거이동 가이드부의 밸런스를 유지시키는 웨이트부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the movable hanger device for substrate processing further comprises a weight unit coupled to the movable hanger unit or the hanger movement guide unit to maintain the balance of the hanger movement guide unit around the movable support. do.

또한, 본 발명에서 상기 웨이트부는, 상기 수평지지부재에 정렬되도록 상기 행거이동 가이드부에 결합되는 장착브래킷과, 볼트 및 너트를 통해 상기 장착브래킷에 고정되는 중량체를 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, in the present invention, the weight unit is characterized in that it includes a mounting bracket coupled to the hanger movement guide unit so as to be aligned with the horizontal support member, and a weight body fixed to the mounting bracket through bolts and nuts.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치는 종래 기술과는 달리 기판의 처리를 위하여 습식 처리조의 이동 지지대를 따라 이동하는 이동 행거부가 이동 지지대에서 상측으로 들리는 현상을 방지할 수 있으므로, 기판의 안정적인 이동과 처리가 가능하여 기판 처리시 불량률을 줄이고, 생산성을 높일 수 있는 효과를 가진다.As described above, the movable hanger device for substrate processing according to one aspect of the present invention, unlike the prior art, prevents the movable hanger moving along the movable support of the wet treatment tank from being lifted upward from the movable support. Since it can be prevented, it is possible to stably move and process the substrate, thereby reducing the defect rate and increasing productivity during substrate processing.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 요부 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제2가이드 롤러부를 설명하기 위한 사시도이다.1 is a front view illustrating a movable hanger device for processing a substrate according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view illustrating a movable hanger device for processing a substrate according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view illustrating a movable hanger device for processing a substrate according to an embodiment of the present invention.
4 is an enlarged view of a main part for explaining a movable hanger device for processing a substrate according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view for explaining a second guide roller unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 위치 기판 처리용 이동형 행거장치의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, a preferred embodiment of a movable hanger device for positioning substrate processing according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of lines or the size of components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of a user or operator. Therefore, definitions of these terms will have to be made based on the content throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 측면도이다.1 is a front view for explaining a movable hanger device for substrate processing according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view for explaining a movable hanger device for substrate processing according to an embodiment of the present invention, FIG. is a side view for explaining a movable hanger device for processing a substrate according to an embodiment of the present invention.

또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치를 설명하기 위한 요부 확대도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제2가이드 롤러부를 설명하기 위한 사시도이다.In addition, Figure 4 is an enlarged view of a main part for explaining a movable hanger device for substrate processing according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a perspective view for explaining a second guide roller unit according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치(100)는, 표면처리 설비(도시생략)에 설치되어 습식 처리를 위한 기판이 선택적으로 장착되며, 습식 처리조를 따라 이동할 수 있도록 습식 처리조의 이동 지지대(10)에 슬라이딩 이동 가능하게 장착된다. 이때, 이동 지지대(10)는 직사각형의 레일 형상을 가지며, 습식 처리조에 일자 형태로 설치된다.1 to 5, the movable hanger device 100 for substrate processing according to an embodiment of the present invention is installed in a surface treatment facility (not shown) to selectively mount a substrate for wet treatment, and wet It is slidably mounted on the movable support 10 of the wet treatment tank so as to move along the treatment tank. At this time, the movable support 10 has a rectangular rail shape and is installed in a straight line in the wet treatment tank.

또한, 본 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치(100)는 이동 지지대(10)를 따라 슬라이딩 이동될 때 기울어짐 없이 수평으로 안정되게 이동 가능하도록 이루어진다.In addition, the movable hanger device 100 for substrate processing according to the present embodiment is made to be stably movable horizontally without tilting when sliding along the movable support 10 .

이를 위하여, 본 실시 예에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치(100)는 크게 기판이 선택적으로 탈착되는 기판 탈착 클램프(110), 기판 탈착 클램프(110)가 결합되는 이동 행거부(120)와, 이동 행거부(120)를 이동 지지대(10)에 슬라이딩 가능하게 설치하기 위한 행거이동 가이드부(130)와, 이동 행거부(120)의 균형을 맞추기 위한 웨이트부(140)를 포함한다.To this end, the movable hanger device 100 for substrate processing according to the present embodiment includes a substrate detachable clamp 110 to which a substrate is selectively detached, a movable hanger 120 to which the substrate detachable clamp 110 is coupled, and a movement It includes a hanger moving guide 130 for slidably installing the hanger 120 on the movable support 10 and a weight 140 for balancing the movable hanger 120 .

이러한 기판 처리용 이동형 행거장치(100)는, 이동 지지대(10)를 따라 이동할 때 행거이동 가이드부(130)에 의해 이동 지지대(10)에 안정되게 접촉된 상태에서 상하 유동 없이 안정되게 슬라이딩 이동이 가능하며, 웨이트부(140)에 의해 이동 지지대(10)를 중심으로 이동 행거부(120)의 무게 중심이 안정되게 유지된 상태에서 이동된다.When the movable hanger device 100 for substrate processing moves along the movable support 10, the hanger movement guide 130 provides a stable sliding movement without vertical movement in a state of being in stable contact with the movable support 10. It is possible, and the center of gravity of the movable hanger 120 is moved around the movable support 10 by the weight unit 140 while being stably maintained.

기판 탈착 클램프(110)는 이동 행거부(120)에 결합되는 고정형 집게부(111)와, 고정형 집게부(111)에 이동 가능하게 구비되는 폭 조절형 집게부(113)로 이루어진다. 이러한 기판 탈착 클램프(110)는 기판의 크기에 따라 고정형 집게부(111)의 양측에 각각 위치하는 폭 조절형 집게부(113)의 위치를 조절하여 다양한 크기의 기판을 안정적으로 고정할 수 있다.The substrate detachable clamp 110 is composed of a fixed clamp 111 coupled to the movable hanger 120 and a width-adjustable clamp 113 movably provided to the fixed clamp 111 . The substrate detachable clamp 110 can stably fix substrates of various sizes by adjusting the position of the width-adjustable tongs 113 positioned on both sides of the fixed tongs 111 according to the size of the substrate.

이동 행거부(120)는, 기판 탈착 클램프(110)가 결합되며, 행거이동 가이드부(130)를 통해 이동 지지대(10)에 이동 가능하게 설치되어 기판 탈착 클램프(110)를 습식 처리조를 따라 이동시키게 된다. 이러한 이동 행거부(120)는 일단부에 행거이동 가이드부(130)가 결합되는 수평지지부재(121)와, 수평지지부재(121)의 타단부에 결합되는 수직지지부재(123)로 이루어진다.The movable hanger 120 is coupled with the substrate detachable clamp 110 and is movably installed on the movable support 10 through the hanger move guide 130 to move the substrate detachable clamp 110 along the wet treatment tank. will move The movable hanger 120 includes a horizontal support member 121 to which the hanger movement guide 130 is coupled to one end and a vertical support member 123 coupled to the other end of the horizontal support member 121 .

이때, 수평지지부재(121)는 그 중량을 줄일 수 있도록 사각의 중공체 형상으로 형성되고, 수직지지부재(123)는 판형태로 형성된다. 그리고 수평지지부재(121)의 하단부에는 기판 탈착 클램프(110)가 고정된다.At this time, the horizontal support member 121 is formed in a rectangular hollow body shape to reduce its weight, and the vertical support member 123 is formed in a plate shape. And, the substrate detachable clamp 110 is fixed to the lower end of the horizontal support member 121 .

또한, 수평지지부재(121)는 일단부에 행거이동 가이드부(130)를 결합할 수 있도록 고정블록(125)이 접합되며, 고정블록(125)에 행거이동 가이드부(130)가 볼트의 체결을 통해 고정된다.In addition, a fixing block 125 is connected to one end of the horizontal support member 121 so that the hanger movement guide 130 can be coupled, and the hanger movement guide 130 is fastened to the fixing block 125 with bolts. fixed through

본 실시 에에 따른 행거이동 가이드부(130)는, 이동 지지대(10)에 접촉되어 장착도록 고정블록(125)에 결합되며, 이동 지지대(10)를 따라 슬라이딩 이동한다. 이러한, 행거이동 가이드부(130)는 기판 처리용 이동형 행거장치(100)가 슬라이딩 이동할 때 이동 행거부(120)의 무게 등에 의해 상측으로 들이는 행거업(hanger up) 현상을 방지한다.The hanger movement guide unit 130 according to the present embodiment is coupled to the fixing block 125 so as to be mounted in contact with the movable support 10, and slides along the movable support 10. The hanger movement guide unit 130 prevents a hanger up phenomenon caused by the weight of the movable hanger unit 120 or the like when the movable hanger device 100 for substrate processing slides.

이를 위하여 행거이동 가이드부(130)는 이동 지지대(10)이 일측면에 접촉하도록 고정블록(125)의 상단부에 결합되는 제1가이드 롤러부(131)와, 이동 지지대(10)의 타측면에 접촉하도록 고정블록(125)의 하단부에 결합되는 제2가이드 롤러부(133)를 포함한다. 이때, 행거이동 가이드부(130)는 제2가이드 롤러부(133)가 이동 지지대(10)의 하면에 근접하도록 설치되어 이동 지지대(10)에서 들리는 현상이 방지된다.To this end, the hanger movement guide part 130 is connected to the first guide roller part 131 coupled to the upper end of the fixing block 125 so that the movable support 10 contacts one side and the other side of the movable support 10. It includes a second guide roller unit 133 coupled to the lower end of the fixing block 125 to contact. At this time, the hanger movement guide part 130 is installed so that the second guide roller part 133 is close to the lower surface of the movable support 10 to prevent lifting from the movable support 10 .

제1가이드 롤러부(131)는, 수평지지부재(121)의 고정블록(125) 상단부에 결합되며, 이동 지지대(10)의 상단에 안착되어 이동 지지대(10)의 측면에 접촉된다. 예를 들어 제1가이드 롤러부(131)는 수평지지부재의 상단부에 결합되어 이동 지지대(10)의 상면에 안착되는 제1롤러 고정브래킷(131a)과, 제1롤러 고정브래킷(131a)에 결합되어 이동 지지대의 일측면 상단에 접촉되는 제1롤러(131b)를 구비한다.The first guide roller unit 131 is coupled to the upper end of the fixing block 125 of the horizontal support member 121, and is seated on the upper end of the movable support 10 to contact the side surface of the movable support 10. For example, the first guide roller unit 131 is coupled to the upper end of the horizontal support member and is coupled to the first roller fixing bracket 131a seated on the upper surface of the movable support 10 and the first roller fixing bracket 131a. It is provided with a first roller (131b) in contact with the upper end of one side of the movable support.

제1롤러(131b)는 제1롤러 고정브래킷(131a)의 길이방향을 따라 4개가 이격되게 설치되며, 이동 지지대(10)와의 접촉 면적을 줄여 마찰력을 감소시킬 도록 외면이 곡선형으로 형성된다.Four first rollers 131b are installed spaced apart along the longitudinal direction of the first roller fixing bracket 131a, and the outer surface is formed in a curved shape to reduce the frictional force by reducing the contact area with the movable support 10.

이러한 제1가이드 롤러부(131)는 제2가이드 롤러부(133)와 함께 행거이동 가이드부(130)의 이동을 안정적으로 가이드하며, 이동 행거부(120)가 무게에 의해 하측 방향으로 길울어 지는 것을 방지한다. The first guide roller unit 131 stably guides the movement of the hanger moving guide unit 130 together with the second guide roller unit 133, and the moving hanger unit 120 is elongated downward by the weight. prevent losing

제2가이드 롤러부(133)는 이동 지지대(10)의 타측면에 하단부에 접촉하도록 수평지지부재(121)에 결합되며, 행거이동 가이드부(130)가 이동 지지대(10)에서 상측으로 들리는 것을 방지한다.The second guide roller 133 is coupled to the horizontal support member 121 so as to contact the lower end of the other side of the movable support 10, and the hanger movement guide 130 is lifted upward from the movable support 10. prevent.

이를 위하여 제2가이드 롤러부(133)는 수평지지부재(121)의 고정블록(125) 하단부에 볼트의 체결을 통해 결합되는 제2롤러 고정브래킷(134)과, 이동 지지대(10)에 접촉하도록 제2롤러 고정브래킷(134)에 구비되는 제2롤러(135)와, 이동 지지대(10)의 측면과 하면에 접촉하도록 제2롤러 고정브래킷(134)에 구비되는 유동 방지롤러(136)를 포함한다.To this end, the second guide roller unit 133 contacts the second roller fixing bracket 134 coupled to the lower end of the fixing block 125 of the horizontal support member 121 through fastening of bolts and the movable support 10. Includes a second roller 135 provided on the second roller fixing bracket 134 and a flow prevention roller 136 provided on the second roller fixing bracket 134 so as to contact the side and bottom surfaces of the movable support 10 do.

이러한, 제2가이드 롤러부(133)는 유동 방지롤러(136)가 이동 지지대(10)의 측면에 접촉됨과 동시에 이동 지지대(10)의 하면과 미세하게 이격되게 제2롤러 고정브래킷(134)에 회전 가능하게 결합되어 기판 처리용 이동형 행거장치(100)가 슬라이딩 이동하는 과정에서 상측으로 들리는 현상을 방지한다.The second guide roller unit 133 is attached to the second roller fixing bracket 134 so that the anti-flow roller 136 contacts the side surface of the movable support 10 and is slightly spaced from the lower surface of the movable support 10. It is rotatably coupled to prevent a phenomenon in which the movable hanger device 100 for substrate processing is lifted upward in the course of sliding movement.

또한, 제2가이드 롤러부(133)는 제2롤러 고정브래킷(134)의 일단부에 제2롤러(135)가 설치되고, 제2롤러 고정브래킷(134)의 타단부에 유동 방지롤러(136)가 설치되며, 제2롤러(135)와 유동 방지롤러(136)의 크기가 제1롤러(131b)의 크기보다 크게 형성된다.In addition, in the second guide roller unit 133, the second roller 135 is installed at one end of the second roller fixing bracket 134, and the anti-flow roller 136 is installed at the other end of the second roller fixing bracket 134. ) is installed, and the size of the second roller 135 and the anti-flow roller 136 is larger than that of the first roller 131b.

더하여 제2롤러(135)와 유동 방지롤러(136)는 이동 지지대(10)와의 접촉 면적을 줄여 마찰력을 감소시킬 도록 외면이 곡선형으로 형성된다. 여기서 유동 방지롤러(136)는 이동 지지대(10)의 하면과 미세하게 이격되는 지지돌부(136)가 돌출 형성되고, 행거이동 가이드부(130)가 상측으로 미세하게 움직이면 지지돌부(136)가 이동 지지대(10)의 하면에 접촉되어 행거이동 가이드부(130)의 들림을 방지한다.In addition, the outer surface of the second roller 135 and the anti-flow roller 136 is formed in a curved shape to reduce the contact area with the movable support 10 to reduce the frictional force. Here, in the flow prevention roller 136, a support protrusion 136 slightly spaced apart from the lower surface of the movable support 10 protrudes, and the support protrusion 136 moves when the hanger moving guide 130 moves upward. It comes into contact with the lower surface of the support 10 to prevent lifting of the hanger movement guide 130 .

한편, 제2롤러 고정브래킷(134)은 제2롤러(135)와 유동 방지롤러(136)의 고정위치를 조절할 수 있는 장공부(134a)가 형성된다. 이때 장공부(134a)에는 제2롤러 고정브래킷(134)의 양단부에 각각 형성되며, 볼트와 너트의 체결을 통해 제2롤러(135)와 유동 방지롤러(136)가 결합된다.On the other hand, the second roller fixing bracket 134 is formed with a long part 134a capable of adjusting the fixing positions of the second roller 135 and the anti-flow roller 136. At this time, the long part 134a is formed at both ends of the second roller fixing bracket 134, and the second roller 135 and the flow prevention roller 136 are coupled through fastening of bolts and nuts.

그리고, 제2롤러 고정브래킷(134)에는 렌치볼트를 체결하여 장공부(134a)에 설치되는 제2롤러(135)와 유동 방지롤러(136)를 이동 지지대(10)에 밀착시킬 수 있도록 렌치볼트가 체결되는 간격조절홀(134b)이 형성된다. 이를 통해 제1롤러, 제2롤러(135) 및 유동 방지롤러(136)가 마모되어 이동 지지대(10)와 유격이 발생할 경우, 간격조절홀(134b)에 렌치볼트를 더 삽입하여 제2롤러(135)와 유동 방지롤러(136)를 이동 지지대(10)로 밀착할 수 있다.In addition, a wrench bolt is fastened to the second roller fixing bracket 134 so that the second roller 135 and the flow prevention roller 136 installed in the long hole 134a can be closely attached to the movable support 10. A spacing adjustment hole 134b is formed to which is fastened. Through this, when the first roller, the second roller 135, and the flow prevention roller 136 are worn and a gap with the movable support 10 occurs, a wrench bolt is further inserted into the gap adjustment hole 134b to remove the second roller ( 135) and the anti-flow roller 136 can be brought into close contact with the movable support 10.

본 실시 예에 따른 웨이트부(140)는 제1롤러 고정브래킷(131a)에 결합되어 이동 지지대(10)를 중심으로 이동 행거부(120)와 행거이동 가이드부(130)의 밸런스()를 안정되게 유지시킨다. 이를 통해 이동 지지대(10)를 따라 슬라이딩 이동하는 기판 처리용 이동형 행거장치(100)의 무게 중심이 안정되게 유지된다.The weight unit 140 according to the present embodiment is coupled to the first roller fixing bracket 131a to stabilize the balance of the movable hanger 120 and the hanger moving guide 130 around the movable support 10. keep it so Through this, the center of gravity of the movable hanger device 100 for substrate processing sliding along the movable support 10 is maintained stably.

예를 들어 웨이트부(140)는 볼트의 체결을 통해 제1롤러 고정브래킷(131a)에 결합되는 장착브래킷(141)과, 볼트 및 너트를 통해 장착 브래킷에 고정되는 중량체(143)를 구비한다. 장착브래킷(141)은 수평지지부재(121)에 정렬하도록 수평지지부재(121)의 연장선상에 위치한다. 중량체(143)는 장착브래킷(141)에 복수개 결합될 수 있다. 여기서, 본 실시 예에 따른 장착브래킷(141)은 "∩"형상으로 형성될 수 있다.For example, the weight unit 140 includes a mounting bracket 141 coupled to the first roller fixing bracket 131a through fastening of bolts, and a weight body 143 fixed to the mounting bracket through bolts and nuts. . The mounting bracket 141 is positioned on the extension line of the horizontal support member 121 so as to align with the horizontal support member 121 . A plurality of weight bodies 143 may be coupled to the mounting bracket 141 . Here, the mounting bracket 141 according to the present embodiment may be formed in a “∩” shape.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 처리용 이동형 행거장치(100)는 제2가이드 롤러부(133)의 유동 방지롤러(136)가 이동 지지대(10)의 측면에 하면을 따라 가이드되므로, 행거이동 가이드부(130)가 이동 지지대(10)를 따라 이동하는 과정에서 상측으로 들리는 현상을 방지하게 된다.In the movable hanger device 100 for substrate processing according to the present invention configured as described above, since the flow prevention roller 136 of the second guide roller unit 133 is guided along the lower surface of the side surface of the movable support 10, the hanger moves. In the process of moving the guide part 130 along the movable support 10, lifting upwards is prevented.

이를 통해 기판의 처리를 위하여 운반하는 과정에서 기판이 기울어지는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 표면에 층도금이 생기거나, 딤플(Dimple) 또는 미도금 현상이 발생하는 방지할 수 있다. 즉, 기판 처리시 불량률을 줄이고, 생산성을 높일 수 있다.Through this, since the substrate can be prevented from tilting in the process of transporting the substrate for processing, layer plating, dimples, or non-plating can be prevented from occurring on the surface of the substrate. That is, it is possible to reduce the defect rate and increase productivity during substrate processing.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but this is only exemplary, and those skilled in the art can make various modifications and equivalent other embodiments. will understand

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the claims.

100 : 기판 처리용 이동형 행거장치 10 : 이동 지지대
110 : 기판 탈착 클램프 111 : 고정형 집게부
113 : 이동형 집게부 120 : 이동 행거부
121 : 수평지지부재 123 : 수직지지부재
125 : 고정블록 130 : 행거이동 가이드부
131 : 제1가이드 롤러부 131a : 제1롤러 고정브래킷
131b : 제1롤러 133 : 제2가이드 롤러부
134 : 제2롤러 고정브래킷 134a : 장공부
134b : 간격조절홀 135 : 제2롤러
136 : 유동 방지롤러 136a : 지지돌부
140 : 웨이트부 141 : 장착브래킷
143 : 중량체100: movable hanger device for substrate processing 10: movable support
110: substrate detachable clamp 111: fixed clamp
113: movable tongs 120: movable hanger
121: horizontal support member 123: vertical support member
125: fixed block 130: hanger moving guide part
131: first guide roller unit 131a: first roller fixing bracket
131b: first roller 133: second guide roller unit
134: second roller fixing bracket 134a: long hole
134b: spacing adjustment hole 135: second roller
136: flow prevention roller 136a: support protrusion
140: weight part 141: mounting bracket
143: weight body

Claims (5)

습식 처리를 위한 기판을 파지하여 고정하는 기판 탈착 클램프; 상기 기판 탈착 클램프를 습식 처리조를 따라 이동시킬 수 있도록 상기 습식 처리조의 이동 지지대에 이동 가능하게 설치되는 이동 행거부; 상기 이동 지지대에 접촉되도록 상기 이동 행거부에 구비되어 상기 이동 행거부의 이동을 가이드하며, 상기 이동 행거부의 상하유동을 방지하는 행거이동 가이드부; 및 상기 이동 행거부의 균형을 맞추기 위한 웨이트부;를 포함하며,
상기 이동 행거부는, 일단부에 상기 행거이동 가이드부가 결합되는 수평지지부재; 및 상기 수평지지부재의 타단부에 결합되며, 하단부에 상기 기판탈착 클팸프가 결합되는 수직지지부재;를 포함하며,
상기 행거이동 가이드부는, 상기 이동 지지대의 일측면에 접촉하도록 상기 수평지지부재에 결합되는 제1가이드 롤러부; 및 상기 이동 지지대의 타측면에 접촉하도록 상기 수평지지부재에 결합되어 상기 이동 지지대의 하면에 지지되는 제2가이드 롤러부;를 포함하고,
상기 제1가이드 롤러부는, 상기 수평지지부재의 상단부에 결합되며, 상기 이동 지지대의 상면에 안착되는 제1롤러 고정브래킷; 및 상기 제1롤러 고정브래킷에 결합되어 상기 이동 지지대의 측면에 접촉되는 제1롤러;를 포함하며,
상기 제2가이드 롤러부는, 상기 수평지지부재의 하단부에 결합되는 제2롤러 고정브래킷; 상기 이동 지지대에 접촉하도록 상기 제2롤러 고정브래킷에 구비되는 제2롤러; 및 상기 이동 지지대의 측면과 하면에 접촉하도록 상기 제2롤러 고정브래킷에 구비되어 상기 행거이동 가이드부가 상측으로 들리는 것을 방지하는 유동 방지롤러;를 포함하고, 상기 유동 방지롤러는, 상기 이동 지지대의 하부에 위치하도록 외면에 지지돌부가 돌출 형성되며,
상기 웨이트부는, 상기 제1롤러 고정브래킷에 결합되는 "∩"형상의 장착브래킷; 및 볼트 및 너트를 통해 상기 장착 브래킷에 복수개 결합되는 중량체;를 포함하고,
상기 제2롤러 고정브래킷은 상기 제2롤러와 상기 유동 방지롤러의 고정위치를 조절할 수 있는 장공부와, 렌치볼트의 체결을 위한 간격조절홀부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 이동형 행거장치.A substrate detachable clamp for gripping and fixing a substrate for wet processing; a movable hanger movably installed on a movable support of the wet treatment tank to move the substrate detachable clamp along the wet treatment tank; a hanger movement guide unit provided in the movable hanger unit to contact the movable supporter to guide the movement of the movable hanger unit and prevent vertical movement of the movable hanger unit; And a weight unit for balancing the movable hanger unit; includes,
The movable hanger part may include a horizontal support member coupled to one end of the hanger movable guide part; And a vertical support member coupled to the other end of the horizontal support member and to which the substrate detachable clamp is coupled to the lower end.
The hanger movement guide unit may include a first guide roller unit coupled to the horizontal support member to contact one side surface of the movable support unit; And a second guide roller unit coupled to the horizontal support member to contact the other side of the movable support and supported on the lower surface of the movable support,
The first guide roller unit may include a first roller fixing bracket coupled to an upper end of the horizontal support member and seated on an upper surface of the movable support; and a first roller coupled to the first roller fixing bracket and contacting a side surface of the movable support,
The second guide roller unit may include a second roller fixing bracket coupled to the lower end of the horizontal support member; a second roller provided on the second roller fixing bracket to contact the movable support; and a flow prevention roller provided on the second roller fixing bracket to contact the side surface and bottom surface of the movable support to prevent the hanger movement guide from being lifted upward, wherein the flow prevention roller comprises a lower portion of the movable support. A support protrusion is formed protruding from the outer surface so as to be located at
The weight unit may include a “∩”-shaped mounting bracket coupled to the first roller fixing bracket; And a plurality of weights coupled to the mounting bracket through bolts and nuts; includes,
The second roller fixing bracket is a movable hanger device for substrate processing, characterized in that a long part capable of adjusting the fixing position of the second roller and the anti-flow roller, and a gap adjusting hole for fastening a wrench bolt. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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