KR102474206B1 - 잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 프린팅 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치는 기판에 잉크를 분사하는 잉크분사유닛과, 기판을 잉크분사유닛에 대해 상대 이동 가능하게 지지하는 스테이지와, 스테이지의 이동 방향을 따라 잉크분사유닛의 전단 및 후단에 배치되며 각각 에어블로잉부와 석션부를 구비한 한 쌍의 공조유닛을 포함한다.

Description

잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 프린팅 방법 {Inkjet printing apparatus and printing method using the same}
본 발명의 실시예들은 잉크젯으로 대상체 표면에 박막을 형성하는 잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 프린팅 방법에 관한 것이다.
예컨대 유기 발광 표시 장치의 발광층 형성과 같은 박막 제조 공정에는 대상체 표면으로 잉크를 분사하여 원하는 형태의 박막을 형성하는 잉크젯 프린팅(Inkjet printing) 공정이 많이 이용된다. 즉, 대상체인 기판의 소정 위치에 잉크를 분사함으로써 기판 상에 원하는 패턴의 박막이 인쇄되게 하는 것이다.
그런데, 이와 같은 잉크젯 프린팅 공정을 진행할 때 정밀한 박막 형성을 보장하기 위해서는, 잉크가 분사되는 영역 안으로 외부 기류가 혼입되지 않게 하여야 하며, 또한 박막 형성에 기여하지 못하고 남은 미스트(mist) 형태의 잉크 잔여물은 기판 상의 뜻하지 않은 지점을 오염시키지 않도록 신속하게 회수할 수 있어야 한다.
본 발명의 실시예들은 잉크가 분사되는 영역 안으로 외부 기류가 혼입되는 것을 효과적으로 방지하고 잉크 잔여물을 효율적으로 신속히 회수할 있도록 개선된 잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 프린팅 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 기판에 잉크를 분사하는 잉크분사유닛과, 상기 기판을 상기 잉크분사유닛에 대해 상대 이동 가능하게 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지의 이동 방향을 따라 상기 잉크분사유닛의 전단 및 후단에 배치되며 각각 에어블로잉부와 석션부를 구비한 한 쌍의 공조유닛을 포함하는 잉크젯 프린팅 장치를 제공한다.
상기 석션부가 상기 잉크분사유닛과 인접한 내측에 배치되고, 상기 에어블로잉부가 상기 석션부 외측에 배치될 수 있다.
상기 에어블로잉부는 상기 내측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 내측에어블로잉부와, 상기 외측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 외측에어블로잉부를 포함할 수 있다.
상기 내측에어블로잉부 및 상기 외측에어블로잉부에 상기 에어 분사를 선택적으로 차단하는 개폐밸브가 각각 설치될 수 있다.
상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 단일 홀일 수 있다.
상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 복수 개로 나뉜 분할 홀일 수 있다.
상기 에어블로잉부는 상기 기판과 상기 잉크분사유닛 사이의 잉크젯 공간으로 외부 기류가 혼입되거나 상기 잉크분사유닛에서 분사된 잉크의 잔여물이 상기 잉크젯 공간으로부터 외부로 비산되지 않게 상기 잉크젯 공간의 앞뒤로 에어커튼을 형성할 수 있다.
상기 석션부는 상기 기판과 상기 잉크분사유닛 사이의 잉크젯 공간에서 상기 기판에 프린팅되지 않고 남은 잉크 잔여물을 흡입하여 외부로 배기시킬 수 있다.
상기 석션부에 상기 잉크 잔여물 흡입을 선택적으로 차단하는 개폐밸브가 설치될 수 있다.
상기 스테이지는 상기 기판을 상기 잉크분사유닛에 대해 상대적으로 왕복이동시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는 기판에 잉크를 분사하는 잉크분사유닛과, 상기 기판을 상기 잉크분사유닛에 대해 상대 이동 가능하게 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지의 이동 방향을 따라 상기 잉크분사유닛의 전단 및 후단에 배치되며 각각 에어블로잉부와 석션부를 구비한 한 쌍의 공조유닛을 준비하는 단계; 상기 스테이지를 상기 잉크분사유닛에 대해 일방향으로 상대 이동시키는 단계; 상기 잉크분사유닛에서 잉크를 분사하여 상기 기판에 박막을 형성하는 단계; 상기 에어블로잉부에서 에어를 분사하여 상기 잉크분사유닛과 상기 기판 사이의 잉크젯 공간 앞뒤에 에어커튼을 형성하는 단계; 및 상기 석션부에서 상기 박막 형성에 기여하지 못한 잉크 잔여물을 흡입하여 외부로 배기하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린팅 방법을 제공한다.
상기 석션부가 상기 잉크분사유닛과 인접한 내측에 배치되고, 상기 에어블로잉부가 상기 석션부 외측에 배치될 수 있다.
상기 에어블로잉부는 상기 내측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 내측에어블로잉부와, 상기 외측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 외측에어블로잉부를 포함할 수 있다.
상기 스테이지의 이동 방향을 기준으로 상기 잉크분사유닛의 전단에 배치된 에어블로잉부는 상기 외측에어블로잉부만 가동하고, 상기 잉크분사유닛의 후단에 배치된 에어블로잉부는 상기 내측에어블로잉부만 가동할 수 있다.
상기 잉크분사유닛과 상기 공조유닛을 저울판 위로 이동시켜서 잉크 분사량을 검사하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 잉크 분사량을 검사하는 단계에서, 상기 한 쌍의 잉크분사유닛 모두 상기 외측에어블로잉부만 가동할 수 있다.
상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 단일 홀일 수 있다.
상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 복수 개로 나뉜 분할 홀일 수 있다.
상기 에어블로잉부에 의해 형성된 에어커튼은 상기 기판과 상기 잉크분사유닛 사이의 잉크젯 공간으로 외부 기류가 혼입되거나 상기 잉크분사유닛에서 분사된 잉크의 잔여물이 상기 잉크젯 공간으로부터 외부로 비산되지 않게 할 수 있다.
상기 스테이지를 타방향으로 이동시키며 상기 잉크분사유닛에 의한 박막 형성과 상기 에어블로잉부에 의한 에어커튼 형성 및 상기 석션부에 의한 배기를 반복하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 프린팅 방법은 공조유닛을 통해 잉크가 분사되는 영역 안으로 외부 기류가 혼입되는 것을 효과적으로 방지하고 잉크 잔여물을 효율적으로 신속히 회수할 수 있게 해주므로, 이를 사용하면 박막 형성의 정밀도가 향상되고 주변의 오염도 최소화할 수 있어서 제품의 품질이 대폭 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 잉크젯 프린팅 장치의 구조를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 잉크젯 프린팅 장치의 저면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 잉크젯 프린팅 장치를 이용한 잉크젯 프린팅 과정을 도시한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 잉크젯 프린팅 장치의 검사 과정을 도시한 단면도이다.
도 6은 도 2에 도시된 저면 구조의 변형 가능한 예를 보인 저면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 잉크젯 프린팅 장치로 제조할 수 있는 대상체의 예로서 유기 발광 표시장치의 구조를 개략적으로 도시한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치의 구조를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치는, 기판(30)에 잉크를 분사하는 잉크분사유닛(200)과, 상기 기판(30)을 잉크분사유닛(200)에 대해 상대 이동 가능하게 지지하는 스테이지(300)와, 상기 스테이지(300)가 이동하는 방향을 따라 잉크분사유닛(200)의 전단 및 후단에 배치된 한 쌍의 공조유닛(110)(120)을 구비하고 있다.
상기 스테이지(300)는 도면의 좌측과 우측으로 왕복이동하면서 기판(30)을 잉크분사유닛(200)에 대해 상대이동시킨다. 물론, 상대이동의 다른 방법으로 스테이지(300)를 고정시키고 잉크분사유닛(200)과 공조유닛(110)(120)을 기판(30)에 대해 왕복 이동시킬 수도 있다.
상기 한 쌍의 공조유닛(110)(120)은 각각 잉크분사유닛(200)에 인접한 내측의 석션부(112)(122)와, 그 외측에서 에어를 불어주는 에어블로잉부(111)(121)를 구비하고 있다. 편의 상 도면의 좌측에 있는 공조유닛(110)을 제1공조유닛으로, 우측에 있는 공조유닛(120)을 제2공조유닛으로 부르기로 한다.
그리고, 제1,2공조유닛(110)(120)의 에어블로잉부(111)(121)는 개폐밸브(111c)(111d)(121c)(121d)로 분사구가 선택 개폐되는 외측에어블로잉부(111a)(121a)와 내측에어블로잉부(111b)(121b)를 구비하고 있다.
상기 내측에어블로잉부(111b)(121b)는 내측 즉, 잉크분사유닛(200)과 기판(30) 사이의 잉크젯 공간 쪽을 향한 경사각으로 기판(30)에 에어를 분사하며, 외측에어블로잉부(111a)(121a)는 그와 반대쪽인 외측을 향한 경사각으로 기판(30)에 에어를 분사한다. 그러니까 내측에어블로잉부(111b)(121b)와 외측에어블로잉부(111a)(121a)는 분사방향이 서로 반대측을 향하게 되며, 어디로 에어가 분사될 지는 상기 개폐밸브(111c)(111d)(121c)(121d)에 의해 컨트롤된다.
상기 잉크분사유닛(200)의 저면에는 도 2에 도시된 바와 같이 다수의 노즐부(210)가 배치되어 있고, 상기 내측에어블로잉부(111b)(121b)와 외측에어블로잉부(111a)(121a)의 분사구 및 상기 석션부(112)(122)의 흡입구(112a)(122a)는 각각 장공 형태의 단일 홀로 형성되어 있다.
참조부호 112b와 122b는 상기 석션부(112)(122)의 흡입구(112a)(122a)를 통한 흡입 작업을 선택하기 위한 개폐밸브를 나타낸다.
이와 같은 잉크젯 프린팅 장치를 이용한 박막 인쇄 과정에 대해서는 후술하기로 하고, 그 전에 이 장치로 인쇄할 수 있는 대상 기판(30)의 예를 간략히 소개하기로 한다.
도 7은 본 발명의 잉크젯 프린팅 장치를 이용하여 박막을 인쇄할 수 있는 대상 기판(30)의 예로서 상기 유기 발광 표시 장치의 구조를 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 베이스판(30a)상에 버퍼층(33)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(33) 위에 박막트랜지스터(31)와 유기 발광 소자(32)가 형성되어 있다.
박막트랜지스터(31)는 활성층(31a)과, 이 활성층(31a)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(34)과, 게이트 절연막(34) 상부의 게이트 전극(31b)을 갖는다.
게이트 전극(31b)을 덮도록 층간 절연막(35)이 형성되며, 층간 절연막(35)의 상부에 소스전극(31c) 및 드레인 전극(31d)이 형성된다.
소스전극(31c) 및 드레인 전극(31d)은 게이트 절연막(34) 및 층간 절연막(35)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(31a)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다.
그리고, 상기 드레인 전극(31d)에 유기 발광 소자(32)의 화소전극(32a)이 연결된다. 화소전극(32a)은 평탄화막(36) 상부에 형성되어 있으며, 이 화소전극(32a) 위에 서브화소 영역을 구획하는 화소정의막(Pixel defining layer: 37)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(37)의 개구부에 유기 발광 소자(32)의 발광층(32b)이 형성되고, 이들 상부에 대향전극(32c)이 증착된다. 즉, 화소정의막(37)으로 둘러싸인 개구부가 적색화소(R), 녹색화소(G), 및 청색화소(B)와 같은 한 서브화소의 영역이 되며, 그 안에 해당 색상의 발광층(32b)이 형성되는 것이다. 여기서는 하나의 서브화소를 도시한 것이고, 실제 디스플레이부에는 이러한 서브화소들이 행과 열의 방향으로 다수개가 배치되어 있다고 보면 된다.
이와 같은 유기 발광 표시 장치의 박막들을 상기한 잉크젯 프린팅 장치로 인쇄하여 형성할 수 있으며, 예컨대 상기 발광층(32b)에 대응하는 위치에 잉크를 분사하면 원하는 패턴의 발광층(32b)을 형성할 수 있다.
이제 상기한 잉크젯 프린팅 장치를 이용한 박막 인쇄 공정을 도 3 및 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.
전술한 바대로 인쇄 작업 동안 스테이지(300)는 기판(30)을 좌우로 왕복 이동시키는데, 도 3은 도면의 우측으로 기판(30)이 이동하면서 인쇄가 진행되는 상황을 묘사한 것이고, 도 4는 도면의 좌측으로 기판(30)이 이동하면서 인쇄가 진행되는 상황을 묘사한 것이다.
먼저, 도 3과 같이 스테이지(300)가 기판(30)을 우측으로 이동시키면서 박막을 인쇄하는 과정은 다음과 같이 진행된다.
일단, 기판(10)이 우측으로 이동하는 동안 상기 잉크분사유닛(200)의 노즐부(210)에서는 원하는 박막의 형성 위치에 대응하여 잉크를 분사하게 된다. 이때 분사된 잉크의 일부가 박막 형성에 기여하게 되며, 박막 형성에 기여하지 못한 잉크 잔여물이 미스트(mist) 형태로 부유하게 된다. 이를 그대로 방치하면 엉뚱한 지점에 이 미스트가 달라붙어서 오염을 일으킬 수 있기 때문에 상기 제1,2공조유닛(110)(120)의 석션부(112)(122)로 잉크 잔여물을 바로 흡입해서 배기시킨다. 당연히 흡입구(112a)(122a)를 통한 배기경로는 개폐밸브(112b)(122b)에 의해 열림 상태가 된다.
그리고, 제1,2공조유닛(110)(120)의 에어블로잉부(111)(121)는 내측과 외측이 서로 반대로 가동하게 된다. 즉, 제1공조유닛(110)의 에어블로잉부(111)는 외측에어블로잉부(111a)의 개폐밸브(111c)를 열고 내측에어블로잉부(111b)의 개폐밸브(111d)는 닫은 상태로 에어를 불어주게 되며, 제2공조유닛(120)의 에어블로잉부(121)는 외측에어블로잉부(121a)의 개폐밸브(121c)를 닫고 내측에어블로잉부(121b)의 개폐밸브(121d)는 연 상태로 에어를 불어준다. 그러니까, 두 에어블로잉부(111)(121) 모두 기판(30)이 이동하는 방향과 반대방향을 향하는 경사각으로 에어를 불어주는 것이다. 이것은 잉크분사유닛(200)과 기판(30) 사이의 잉크젯 영역으로 외부 기류가 혼입되거나 그 잉크젯 영역에 부유하는 잉크 잔여물이 밖으로 비산되지 않게 막아주는 에어커튼 효과를 극대화시켜주는 효과가 있다.
즉, 잉크분사유닛(200)과 기판(30) 사이의 잉크젯 영역에 부유하는 잉크 잔여물은 기판(30)의 이동 방향을 따라 우측으로 빠져나가려는 경향을 띠게 된다. 따라서, 잉크분사유닛(200) 후단에 있는 제2공조유닛의 에어블로잉부(121)는 내측에어블로잉부(121b)를 개방하여 기판(30) 이동방향과 역방향으로 에어를 불어줌으로써 잉크젯 영역 밖으로 나가려는 유체의 흐름을 강하게 저지한다.
그리고 잉크분사유닛(200) 전단 쪽에서는 기판(30)의 이동을 따라 외부 기류가 잉크젯 영역 안으로 딸려 들어오려는 경향을 띠게 된다. 따라서, 잉크분사유닛(200) 전단에 있는 제1공조유닛의 에어블로잉부(111)는 외측에어블로잉부(111a)를 개방하여 기판(30) 이동방향과 역방향으로 에어를 불어줌으로써 외부 기류가 잉크젯 영역 안으로 들어오려는 유체 흐름을 강하게 저지한다.
이와 같이 잉크젯 영역의 앞뒤로 강력한 에어커튼이 형성된 상태에서 상기 석션부(112)(122)로 잉크 잔여물을 배기시키므로, 외부 기류 혼입이나 잉크 잔여물의 오염에 의한 인쇄 불량이 충분히 억제되고, 정밀한 박막 인쇄 품질이 보장될 수 있게 된다. 여기서, 제1공조유닛의 에어블로잉부(111)가 외부 기류 혼입만 막고 제2공조유닛의 에어블로잉부(121)는 잉크 잔여물의 비산만 막는 것은 아니고, 둘 다 외부 기류 혼입과 잉크 잔여물의 비산을 막는 에어커튼의 역할을 하는데, 특히 상기와 같은 전,후단의 효과가 각각 극대화되도록 에어의 방향을 제어하면 주변 오염과 같은 불량을 더 효과적으로 막을 수 있다는 것이다. 도 3과 같이 기판(30)이 우측으로 이동하며 박막을 인쇄하는 경우를 밸브 개방 상태로 정리하면, 제1공조유닛(110)의 외측에어블로잉부(111a) 개폐밸브(111c), 제2공조유닛(120)의 내측에어블로잉부(121b) 개폐밸브(111d), 그리고 양측의 석션부(112)(122) 개폐밸브(112b)(122b)는 개방되고, 제1공조유닛(110)의 내측에어블로잉부(111b) 개폐밸브(111d) 및 제2공조유닛(120)의 외측에어블로잉부(121a) 개폐밸브(121c)는 닫힌 상태로 작업이 진행된다.
이렇게 기판(30)을 우측으로 이동시키면서 박막을 인쇄하고 나면, 바로 이어서 도 4와 같이 기판(30)을 좌측으로 이동시키면서 박막을 인쇄하게 되는데, 이때에는 이동방향이 반대가 됨에 따라 에어를 불어주는 방향도 바뀌게 된다.
즉, 제2공조유닛(120)의 에어블로잉부(121)는 외측에어블로잉부(121a)의 개폐밸브(121c)를 열고 내측에어블로잉부(121b)의 개폐밸브(121d)를 닫은 상태로 에어를 불어주게 되며, 제1공조유닛(110)의 에어블로잉부(111)는 외측에어블로잉부(111a)의 개폐밸브(111c)를 닫고 내측에어블로잉부(111b)의 개폐밸브(111d)를 연 상태로 에어를 불어준다. 마찬가지로, 두 에어블로잉부(111)(121) 모두 기판(30)이 이동하는 방향과 반대방향을 향하는 경사각으로 에어를 불어주는 것이다.
이에 따라, 잉크분사유닛(200)과 기판(30) 사이의 잉크젯 영역에 부유하는 잉크 잔여물이 기판(30)의 이동 방향을 따라 좌측으로 빠져나가려는 것도, 잉크분사유닛(200) 전단 쪽에서는 기판(30)의 이동을 따라 외부 기류가 잉크젯 영역 안으로 딸려 들어오려는 것도, 기판(30) 이동방향과 역방향으로 에어를 불어줌으로써 강하게 저지할 수 있게 된다.
역시 잉크젯 영역의 앞뒤로 강력한 에어커튼이 형성된 상태에서 상기 석션부(112)(122)로 잉크 잔여물을 배기시키므로, 외부 기류 혼입이나 잉크 잔여물의 오염에 의한 인쇄 불량이 충분히 억제되고, 정밀한 박막 인쇄 품질이 보장될 수 있게 된다. 도 4와 같이 기판(30)이 좌측으로 이동하며 박막을 인쇄하는 경우를 밸브 개방 상태로 정리하면, 제1공조유닛(110)의 내측에어블로잉부(111b) 개폐밸브(111d), 제2공조유닛(120)의 외측에어블로잉부(121a) 개폐밸브(121c), 그리고 양측의 석션부(112)(122) 개폐밸브(112b)(122b)는 개방되고, 제1공조유닛(110)의 외측에어블로잉부(111a) 개폐밸브(111c) 및 제2공조유닛(120)의 내측에어블로잉부(121b) 개폐밸브(121d)는 닫힌 상태로 작업이 진행된다.
이와 같은 방식으로 잉크젯 영역의 앞뒤로 효과적인 에어커튼을 형성하고 잉크 잔여물의 배기함으로써, 외부 기류 혼입이나 오염에 의한 불량 가능성을 효과적으로 차단할 수 있다.
한편, 상기 잉크젯 프린팅 장치는 적정량의 잉크가 분사되고 있는지를 확인하는 검사공정도 주기적으로 거치게 된다.
이를 위해서는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 잉크분사유닛(200)과 제1,2공조유닛(110)(120)을 스테이지(300)가 아닌 저울판(400) 위로 이동시켜서 잉크분사유닛(200)으로 저울판(400) 위에 잉크를 분사한 다음, 원하는 중량이 제대로 분사되었는지를 계측하게 된다. 이때에는 저울판(400)의 상대 이동이 있는 것도 아니고, 잉크 잔여물이 생길 만큼 잉크를 계속해서 분사하는 것도 아니라, 외기의 혼입만 막으면 된다. 따라서, 제1,2공조유닛(110)(120) 공히 외측에어블로잉부(111a)(121a)를 개방하여 에어커튼을 형성해주고, 내측블로잉부(111b)(121b)와 석션부(112)(122)는 닫아둔다.
이와 같이 박막 인쇄 공정 뿐 아니라, 검사공정에서도 최적의 에어블로잉 방향을 선택하여 사용할 수 있게 된다.
한편, 전술한 실시예에서는 도 2에 도시된 바와 같이 내측에어블로잉부(111b)(121b)와 외측에어블로잉부(111a)(121a)의 분사구 및 상기 석션부(112)(122)의 흡입구(112a)(122a)가 각각 장공 형태의 단일 홀로 형성된 경우를 예시하였는데, 도 6에 도시된 바와 같이 다수의 노즐부(210) 위치에 대응하여 이들 모두를 다수의 분할 홀로 나눠서 형성할 수도 있다
이상에서 설명한 바와 같은 잉크젯 프린팅 장치 및 그것을 이용한 잉크젯 프린팅 방법을 이용하면, 공조유닛을 통해 잉크가 분사되는 영역 안으로 외부 기류가 혼입되는 것을 효과적으로 방지하고 잉크 잔여물을 효율적으로 신속히 회수할 수 있으므로, 이를 사용하면 박막 형성의 정밀도가 향상되고 주변의 오염도 최소화할 수 있어서 제품의 품질이 대폭 향상될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
110,120: 제1,2공조유닛 111: 에어블로잉부
112: 석션부 200: 잉크분사유닛
320: 스테이지 400: 저울판

Claims (20)

  1. 기판에 잉크를 분사하는 잉크분사유닛;
    상기 기판을 상기 잉크분사유닛에 대해 상대 이동 가능하게 지지하는 스테이지; 및
    상기 스테이지의 이동 방향을 따라 상기 잉크분사유닛의 전단 및 후단에 배치되며, 각각 에어블로잉부와 석션부를 구비한 한 쌍의 공조유닛;을 포함하되,
    상기 석션부는 상기 잉크분사유닛과 인접한 내측에 배치되고,
    상기 에어블로잉부는 상기 석션부 외측에 배치되며,
    상기 에어블로잉부는 상기 내측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 내측에어블로잉부와, 상기 외측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 외측에어블로잉부를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측에어블로잉부 및 상기 외측에어블로잉부에 상기 에어 분사를 선택적으로 차단하는 개폐밸브가 각각 설치된 잉크젯 프린팅 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 단일 홀인 잉크젯 프린팅 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 복수 개로 나뉜 분할 홀인 잉크젯 프린팅 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어블로잉부는 상기 기판과 상기 잉크분사유닛 사이의 잉크젯 공간으로 외부 기류가 혼입되거나 상기 잉크분사유닛에서 분사된 잉크의 잔여물이 상기 잉크젯 공간으로부터 외부로 비산되지 않게 상기 잉크젯 공간의 앞뒤로 에어커튼을 형성하는 잉크젯 프린팅 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 석션부는 상기 기판과 상기 잉크분사유닛 사이의 잉크젯 공간에서 상기 기판에 프린팅되지 않고 남은 잉크 잔여물을 흡입하여 외부로 배기시키는 잉크젯 프린팅 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 석션부에 상기 잉크 잔여물 흡입을 선택적으로 차단하는 개폐밸브가 설치된 잉크젯 프린팅 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 기판을 상기 잉크분사유닛에 대해 상대적으로 왕복이동시키는 잉크젯 프린팅 장치.
  11. 기판에 잉크를 분사하는 잉크분사유닛과, 상기 기판을 상기 잉크분사유닛에 대해 상대 이동 가능하게 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지의 이동 방향을 따라 상기 잉크분사유닛의 전단 및 후단에 배치되며 각각 에어블로잉부와 석션부를 구비한 한 쌍의 공조유닛을 준비하는 단계;
    상기 스테이지를 상기 잉크분사유닛에 대해 일방향으로 상대 이동시키는 단계;
    상기 잉크분사유닛에서 잉크를 분사하여 상기 기판에 박막을 형성하는 단계;
    상기 에어블로잉부에서 에어를 분사하여 상기 잉크분사유닛과 상기 기판 사이의 잉크젯 공간 앞뒤에 에어커튼을 형성하는 단계; 및
    상기 석션부에서 상기 박막 형성에 기여하지 못한 잉크 잔여물을 흡입하여 외부로 배기하는 단계;를 포함하되,
    상기 석션부는 상기 잉크분사유닛과 인접한 내측에 배치되고,
    상기 에어블로잉부는 상기 석션부 외측에 배치되며,
    상기 에어블로잉부는 상기 내측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 내측에어블로잉부와, 상기 외측을 향한 경사각으로 상기 기판에 에어를 분사하는 외측에어블로잉부를 포함하는 잉크젯 프린팅 방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 스테이지의 이동 방향을 기준으로 상기 잉크분사유닛의 전단에 배치된 에어블로잉부는 상기 외측에어블로잉부만 가동하고, 상기 잉크분사유닛의 후단에 배치된 에어블로잉부는 상기 내측에어블로잉부만 가동하는 잉크젯 프린팅 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 잉크분사유닛과 상기 공조유닛을 저울판 위로 이동시켜서 잉크 분사량을 검사하는 단계를 더 포함하는 잉크젯 프린팅 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 잉크 분사량을 검사하는 단계에서, 상기 한 쌍의 잉크분사유닛 모두 상기 외측에어블로잉부만 가동하는 잉크젯 프린팅 방법.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 단일 홀인 잉크젯 프린팅 방법.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측에어블로잉부와 상기 외측에어블로잉부의 분사구와 상기 석션부의 흡입구는 각각 복수 개로 나뉜 분할 홀인 잉크젯 프린팅 방법.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 에어블로잉부에 의해 형성된 에어커튼은 상기 기판과 상기 잉크분사유닛 사이의 잉크젯 공간으로 외부 기류가 혼입되거나 상기 잉크분사유닛에서 분사된 잉크의 잔여물이 상기 잉크젯 공간으로부터 외부로 비산되지 않게 하는 잉크젯 프린팅 방법.
  20. 제 11 항에 있어서,
    상기 스테이지를 타방향으로 이동시키며 상기 잉크분사유닛에 의한 박막 형성과 상기 에어블로잉부에 의한 에어커튼 형성 및 상기 석션부에 의한 배기를 반복하는 단계를 더 포함하는 잉크젯 프린팅 방법.
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