KR20070080432A - 잉크젯 장치와 이의 제어방법 - Google Patents

잉크젯 장치와 이의 제어방법 Download PDF

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KR20070080432A
KR20070080432A KR1020060011730A KR20060011730A KR20070080432A KR 20070080432 A KR20070080432 A KR 20070080432A KR 1020060011730 A KR1020060011730 A KR 1020060011730A KR 20060011730 A KR20060011730 A KR 20060011730A KR 20070080432 A KR20070080432 A KR 20070080432A
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이동원
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 잉크젯 장치와 이의 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 잉크젯 장치는, 기판이 안착되는 안착영역을 가지는 스테이지와; 스테이지 상에 위치하며 복수의 개구부가 마련된 마스크와; 개구부로 잉크를 제팅하는 복수의 노즐을 가지고 있는 복수의 노즐헤드와; 스테이지를 구동시키는 제1구동부와; 마스크를 구동시키는 제2구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 잉크에 의한 오염을 최소화할 수 있는 잉크젯 장치가 제공된다.

Description

잉크젯 장치와 이의 제어방법{APPARTUS FOR INK-JETTING AND CONTROLLING METHOD THEREOF}
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치의 사시도,
도 2a는 도1의 'A' 평면도,
도 2b는 도 2a의 Ⅱb-Ⅱb를 따른 단면도,
도 3은 잉크젯 장치의 노즐 헤드를 설명하기 위한 도면,
도 4a는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치의 제어 블록도,
도 4b는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치에 기판이 안착된 상태의 요부 확대 단면도,
도 4c는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치의 구동방법을 설명하기 위한 도면,
도 5은 본 발명의 제2실시예에 따른 마스크의 요부 단면도,
도 6a 및 6b는 본 발명의 제3실시예에 따른 잉크젯 장치를 설명하기 위한 도면이다.
* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *
10 : 스테이지 13a : 제1서브구동부
13b : 제2서브구동부 20 : 마스크
21 : 개구부 22 : 차단부
23 : 함몰부 25 : 제2구동부
31 : 헤드 본체 32 : 노즐 헤드
33 : 노즐 50 : 제어부
본 발명은 잉크젯 장치와 이의 제어방법 관한 것으로서, 더 자세하게는, 잉크에 의한 오염을 최소화할 수 있는 잉크젯 장치와 이의 제어방법에 관한 것이다.
기존의 브라운관을 대체하여 액정표시장치와 유기전계발광장치(OLED)와 같은 평판표시장치(flat panel display)가 많이 사용되고 있다. 액정표시장치와 유기전계발광장치(OLED)와 같은 표시장치에는 컬러필터층, 유기반도체층, 및 발광층 등 여러 유기층이 존재하는데, 최근 잉크젯 방식을 이용하여 상기 유기층을 많이 형성하고 있다. 잉크젯 방식은 노광, 현상, 식각 등의 공정 없이도 유기층을 패터닝할 수 있으며, 유기물의 사용량도 절감할 수 있는 장점이 있다.
최근, 기판이 대형화됨에 따라 공정시간을 감소시키기 위하여 복수의 노즐 헤드를 사용하여 유기층을 형성하고 있다. 복수의 노즐 헤드는 헤드 본체에 장착되어 같이 이동하며 노즐 헤드 각각은 복수의 노즐의 가지고 있다. 각 노즐이 유기층이 형성될 영역에 대응하여 정렬 배치되면, 노즐 헤드와 스테이지가 상대운동 하면서 원하는 영역에 유기층을 형성한다.
그러나, 정렬배치의 오차 또는 노즐과 스테이지의 상대운동시 흔들림 등에 의하여 유기물 잉크가 노즐로부터 원하는 영역을 향하여 토출될 때 유기물 잉크의 일부가 원하는 영역 이외의 영역으로 적하되어 유기물 잉크에 의하여 오염이 발생되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 잉크에 의한 오염을 최소화할 수 있는 잉크젯 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 잉크에 의한 오염을 최소화할 수 있는 잉크젯 장치의 제어방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이 안착되는 안착영역을 가지는 스테이지와; 스테이지 상에 위치하며 복수의 개구부가 마련된 마스크와; 개구부로 잉크를 제팅하는 복수의 노즐을 가지고 있는 복수의 노즐헤드와; 스테이지를 구동시키는 제1구동부와; 마스크를 구동시키는 제2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치에 의하여 달성된다.
여기서, 기판에는 노즐로부터 토출된 잉크가 안착될 제팅영역이 정의되어 있으며, 개구부는 제팅영역에 대응하여 마련될 수 있다.
그리고, 개구부가 제팅영역에 대응하도록 스테이지와 마스크를 각각 정렬시키는 제1구동부와 제2구동부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 스테이지와 마스크의 정렬 후, 제어부는 제1구동부와 제2구동부를 연 동시켜 개구부가 노즐에 대응하도록 스테이지와 상기 마스크를 일체로 운동시킬 수 있다.
그리고, 노즐헤드를 구동시키는 제3구동부, 노즐헤드를 지지하는 지지본체 및 지지본체를 구동시키는 제4구동부를 더 포함하며, 스테이지와 마스크의 정렬 후, 제어부는 제3구동부와 제4구동부를 구동시켜 노즐이 개구부에 대응하도록 노즐헤드를 운동시킬 수 있다.
여기서, 마스크는 개구부 사이의 개구부를 벗어나 제팅되는 잉크를 차단하는 차단부를 포함하며, 노즐을 향하는 차단부의 상면에는 소정깊이로 함몰된 함몰부가 마련되어 있을 수 있다.
그리고, 기판과 마스크에는 화소영역과 개구부를 대응 정렬 시키기 위한 정렬키가 각각 마련되어 있을 수 있다.
본 발명의 다른 목적은, 본 발명에 따라, 기판이 안착되는 안착영역을 가지는 스테이지와; 스테이지 상에 위치하며 복수의 개구부가 마련된 마스크와; 개구부로 잉크를 제팅하는 복수의 노즐을 가지고 있는 복수의 노즐헤드와; 스테이지를 구동시키는 제1구동부와; 마스크를 구동시키는 제2구동부와; 제1구동부와 상기 제2구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하며, 제어부는 개구부가 기판 상의 제팅영역에 대응하도록 스테이지와 마스크를 각각 정렬시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 제어방법에 의하여 달성된다.
여기서, 스테이지와 마스크의 정렬 후, 제어부는 제1구동부와 제2구동부를 연동시켜 개구부가 노즐에 대응하도록 스테이지와 마스크를 일체로 운동시킬 수 있 다.
그리고, 노즐헤드를 구동시키는 제3구동부, 노즐헤드를 지지하는 지지본체 및 지지본체를 구동시키는 제4구동부를 더 포함하며, 스테이지와 마스크의 정렬 후, 제어부는 제3구동부와 제4구동부를 구동시켜 노즐이 개구부에 대응하도록 노즐헤드를 운동시킬 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하겠다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하였으며, 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치의 사시도이고, 도 2a는 도1의 'A' 의 확대 평면도이며, 도2b는 도2a의 Ⅱb-Ⅱb를 따른 단면도이고, 도3은 잉크젯 장치의 노즐 헤드를 설명하기 위한 도면이다. 그리고, 도 4a는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치의 제어 블록도, 도4b는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치에 기판이 안착된 상태의 요부 확대 단면도, 도4c는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치의 구동방법을 설명하기 위한 도면이다.
잉크젯 장치(1)는 기판이 안착되는 스테이지(10), 스테이지(10) 상부에 위치하며 복수의 개구부(21)가 마련되어 있는 마스크(20), 마스크(20) 상부에 위치하며 잉크 젯팅을 위한 노즐(33)이 마련되어 있는 노즐 헤드(32)를 포함한다. 그리고, 스테이지(10)와 마스크(20)를 각각 구동시키는 제1구동부(13a, 13b) 및 제2구동부(25)와, 상기 제1 및 제2구동부(13a, 13b, 25)을 제어하는 제어부(50, 도4a참조)를 더 포함한다.
스테이지(10)는 대략 직사각형 형상이며 잉크 젯팅으로 유기층이 형성될 대상인 기판이 안착되는 안착영역(B)을 형성한다. 스테이지(10)에는 안착된 기판을 고정하기 위한 진공척(11)이 마련되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 정전기척 등의 다른 고정수단으로 기판을 고정하는 것도 가능함은 물론이다.
스테이지(10)는 회전스크류(12a, 12b)를 통하여 제1구동부(13a, 13b)에 연결되어 있다. 회전스크류(12a, 12b)는 제1구동부(13a, 13b)의 작동에 따라 정회전 또는 역회전하며, 회전스크류(12a, 12b)의 회전에 따라 스테이지(10)는 스테이지(10)의 장변과 평행한 제1방향 또는 단변과 평행한 제2방향으로 왕복운동하게 된다. 제1구동부(13a, 13b)는 모터를 포함할 수 있으며, 제1방향의 운동을 구동시키는 제1서브구동부(13a)와 제2방향의 운동을 구동시키는 제2서브구동부(13b)를 포함한다. 여기서, 상기 회전스크류(12a, 12b) 및 제1구동부(13a, 13b)는 본 발명을 설명하기 위한 하나의 실시예에 불과하며, 실시예 이외의 스테이지(10)를 제1방향 또는 제2방향으로 왕복운동시키기 위한 다른 수단도 모두 적용될 수 있음은 물론이다.
기판이 안착된 스테이지(10) 상에는 마스크(20)가 위치한다. 마스크(20)는 복수의 개구부(21)와 상기 개구부(21)의 주변에 마련된 차단부(22)를 포함한다.
개구부(21)는 기판에 형성된 제팅영역에 대응하는 패턴과 크기로 마련되어 있다. 여기서, 제팅영역은 잉크가 적하될 영역으로 OLED의 경우에는 격벽에 의하여 형성된 화소영역일 수 있고, 액정표시장치의 박막트랜지스터 기판의 경우에는 소스 전극과 드레인 전극에 의하여 정의되는 채널영역일 수 있으며, 액정표시장치의 컬 러필터 기판의 경우에는 블랙매트릭스에 의하여 형성된 컬러필터층이 안착될 영역일 수 있다. 화소영역에는 발광층이 형성되며, 채널영역에는 유기반도체층이 형성된다. 각각의 개구부(21)는 각각의 노즐(33)에 대응하도록 배치되며, 노즐(33)로부터 토출된 잉크는 개구부(21)를 통과하여 제팅영역에 안착된다.
차단부(22)는 제팅영역 이외의 영역을 가리는 부분으로, 개구부(21)를 벗어나 제팅되는 잉크를 차단하여 잉크에 의한 오염을 최소화한다. 노즐(33)로부터 잉크가 토출될 때, 스테이지(10)와 마스크(20)의 정렬배치의 오차 또는/및 노즐(33)과 스테이지(10)의 상대운동시 흔들림 등에 의하여 잉크의 일부가 제팅영역 이외의 영역으로 제팅될 수 있다. 이런 잉크는 불필요한 영역에 위치하게 됨으로써 잉크에 의한 오염을 야기시키는 문제점이 있다. 그러나, 본 발명과 같이, 기판과 노즐(33) 사이에 제팅영역 이외의 영역을 가리는 마스크(20)를 마련함에 의하여 제팅영역 이외의 영역으로 제팅되는 잉크를 차단할 수 있다. 이에 의하여, 잉크에 의한 오염을 최소화할 수 있다. 특히, 노즐(22)을 향하는 차단부(22)의 상면에는 소정깊이로 함몰된 함몰부(23)가 마련되어 있다. 함몰부(23)는 차단부(22)로 제팅된 잉크가 다른 개구부(21)로 흘러 들어가 혼합되는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 개구부(21) 이외의 영역으로 제팅된 잉크는 함몰부(23)에 가둬지게 되어 차단부(22) 상의 잉크가 다른 개구부(21)로 흘러 들어가는 것이 방지된다. 상기 함몰부(23)의 형상은 단면이 반원, 삼각형, 사각형 등의 다각형 등이 모두 가능하다. 한편, 마스크(20)와 기판에는 개구부(21)와 기판상의 제팅영역을 상호 대응하도록 정렬 배치하기 위한 정렬키가 마련되어 있을 수 있다.
마스크(20)의 가장자리에는 상기 마스크(20)를 구동시키는 제2구동부(25)가 연결되어 있다. 제2구동부(25)는 제어부(50)의 제어에 따라 마스크(20)의 개구부(21)와 제팅영역을 상호 대응하도록 정렬시키며, 마스크(20)가 처지지 않도록 장력을 인가하는 역할을 한다.
스테이지(10)의 상부에는 대략 'ㄷ' 자 형상이며 헤드 본체(31)를 지지하기 위한 지지본체(35)가 마련되어 있다. 헤드 본체(31)에는 복수의 노즐 헤드(32)가 장착되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 헤드본체(31)는 제1방향을 따라 길게 연장된 직사각형 형상이다. 노즐 헤드(32)는 3개의 서브 노즐 헤드(32a, 32b, 32c)로 이루어지며, 이들은 헤드 본체(31)에 장착되어 있다. 각 노즐 헤드(32)는 제1방향과 일정한 각도를 이루고 있는데 이 각도는 잉크젯 대상의 간격에 따라 결정된다. 각 노즐 헤드(32)에는 4개의 노즐(33)이 일렬로 장착되어 있다. 노즐(33)의 숫자는 잉크젯 대상에 따라 달라질 수 있다. 각 노즐 헤드(32)는 별도의 잉크 공급부(미도시)로부터 잉크를 공급 받는다. 잉크공급부(미도시)는 잉크를 저장하는 잉크 탱크(미도시), 잉크 유량을 조절하는 유량조절기(mass flow controller) 및 잉크 탱크(미도시)와 헤드 본체(31)를 연결하는 유로관(미도시)을 포함한다.
도 4a는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉크젯 장치의 제어 블록도이다. 제어부(50)는 각 구동부(13a, 13b, 25)를 제어하여 스테이지(10)와 마스크(20)와의 상대적 위치를 조절하거나, 개구부(21)가 제팅영역에 대응하도록 정렬 배치시킨다. 일예로 OLED의 경우에, 도4b에 도시된 바와 같이, 개구부(21)가 격벽(141) 사이의 영역에 대응하도록 마스크(20)와 스테이지(10)를 정렬 배치시킨다. 즉, 차단부(22) 가 격벽(141)에 대응하도록 정렬 배치된다. OLED는 박막트랜지스터(T), 박막트랜지스터(T)와 연결된 화소전극(132), 화소전극(132) 사이를 구분하는 격벽(141), 격벽(141) 사이의 화소전극(132) 상에 차례로 적층되어 있는정공주입층(151) 및 발광층(152), 및 발광층(152)과 격벽(141)을 덮고 있는 공통전극(161)을 포함한다. 제어부(50)는 또한 잉크 공급부를 제어하여 노즐(33)을 통한 제팅을 실시하거나 정지시킬 수 있다. 이 때 제어부(50)는 각 서브 잉크 공급부별로 제어하여 노즐 헤드(32) 중 일부는 잉크를 제팅하고 나머지는 잉크 제팅을 정지시킬 수 있다. 또한, 제어부(50)는 스테이지(10)와 마스크(20)의 정렬 후, 제1구동부(13a, 13b)와 제2구동부(25)를 연동시켜 개구부(21)가 노즐(33)에 대응하도록 스테이지(10)와 마스크(20)를 일체로 운동시킨다. 즉, 도4c에 도시된 바와 같이, 헤드 본체(31)가 고정된 상태에서 스테이지(10)와 마스크(20)가 일체로 제1방향과 제2방향을 움직이면서 각각의 제팅영역에 잉크를 채운다. 이에 따라, 개구부(21)와 노즐(33)이 상호 대응하도록 정렬하는 것이 용이하여 정렬배치의 오차 또는 노즐과 스테이지의 상대운동시 흔들림 등이 최소화 된다. 그러므로, 잉크가 노즐로부터 제팅영역을 향하여 토출될 때 잉크의 일부가 원하는 영역 이외의 영역으로 적하됨에 의하여 발생하는 잉크에 의하여 오염이 최소화 된다. 특히, 잉크의 일부가 제팅영역 이외로 토출된 잉크는 차단부(22)에 의하여 가려지므로 잉크에 의한 오염이 최소화되며, 차단부(22)로 토출된 잉크는 함몰부(23)에 가둬지게 됨으로 안정적이다. 즉, 차단부(22) 상의 잉크가 다른 개구부(21)로 흘러 들어갈 염려가 최소화되어 혼색의 우려도 방지된다.
이하에서는, 도5을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 대하여 설명한다. 그리 고, 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하여 설명한다. 또한, 제1실시예와 구별되는 특징만 발췌하여 설명하도록 하며, 설명이 생략되거나 요약된 부분은 상술한 제1실시예에 따른다.
도5는 제2실시예에 따르는 마스크(20)의 차단부(22)의 단면을 나타낸 도면이다. 도5에 도시된 바와 같이, 차단부(22)의 하부면은 좁고, 함몰부(23)가 형성된 차단부(22)의 상부면은 넓게 마련되어 있다. 도5의 단면을 갖는 마스크(20)는 제팅시 잉크(60)의 혼색우려가 없는 경우에 적용 가능하다. 즉, 스테이지(10, 도4a참조)와 마스크(20)의 제어가 신뢰할만한 수준에 도달하여, 제팅된 잉크(60)가 다른 개구부(21)로 유입되지 않을 정도의 경우에 적용하는 것이 바람직하다. 이런 경우에, 잉크(60)의 대부분은 원하는 개구부(21)를 향하여 제팅될 것이며, 잉크(60)의 일부는 원하는 개구부(21)에 인접한 차단부(22)의 단부에 위치하게 될 것이다. 절벽(cliff)과 같이 아래쪽으로 갈수록 면적이 좁아지는 구조를 갖는 차단부(22) 단부의 구조에 의하여 차단부(22)의 단부에 위치하는 잉크(60)는 원하는 개구부(21)로 용이하게 유입되게 된다. 이에 따라, 각 제팅영역에 유입되는 잉크(60)의 양이 전체적으로 균일해진다. 또한, 잉크 젯팅의 재현성이 향상되고, 휘도 균일도(Uniformity)가 개선된다.
다른 실시예로, 도시되지 않았으나, 함몰부(23)와 개구부(21) 사이의 차단부(22)에는 산모양의 돌기가 마련될 수 있다. 이런 구조에 의하여 차단부(22)의 단부에 위치하는 잉크(60)는 더욱 용이하게 원하는 개구부(21)로 유입되게 된다.
이하, 도6a 및 도6b를 참조하여 본 발명의 제3실시예에 대하여 설명한다. 그 리고, 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하여 설명한다. 또한, 제1실시예와 구별되는 특징만 발췌하여 설명하도록 하며, 설명이 생략되거나 요약된 부분은 상술한 제1실시예에 따른다.
도6a는 제3실시예에 따른 잉크젯 장치의 사시도이고, 도6b는 제3실시예에 따른 잉크젯 장치의 제어 블록도이다. 제3실시예에 따른 잉크젯 장치(1)는 스테이지(10)가 고정되어 있다. 그리고, 마스크(20)가 움직여 제팅영역과 개구부(21)가 대응하도록 정렬된다. 정렬이 완료되면 스테이지(10)와 마스크(20)는 움직이지 않고, 노즐헤드(31)와 지지본체(35)가 움직여 각각의 제팅영역에 잉크를 제팅시킨다. 즉, 노즐 헤드(31)는 회전스크류(36)를 통하여 제3구동부(34)에 연결되어 있다. 회전스크류(36)는 제3구동부(34)의 작동에 따라 정회전 또는 역회전하며, 회전스크류(36)의 회전에 따라 노즐헤드(31)는 제1방향으로 왕복운동하게 된다. 도시되지 않았으나, 노즐헤드(31)를 지지하는 지지본체(35)는 제4구동부(38)에 연결되어 제2방향으로 왕복운동한다. 이와 같은 구조에서, 제어부(50)는 제3구동부(34)와 제4구동부(38)을 각각 제어하여 노즐이 개구부(21)에 대응하도록 제어하여, 원하는 제팅영역으로 잉크를 토출시킨다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 잉크에 의한 오염을 최소화할 수 있는 잉크젯 장치가 제공된다.
또한 본 발명에 따르면, 잉크에 의한 오염이 감소하는 잉크젯 장치의 제어방법이 제공된다.

Claims (10)

  1. 기판이 안착되는 안착영역을 가지는 스테이지와;
    상기 스테이지 상에 위치하며 복수의 개구부가 마련된 마스크와;
    상기 개구부로 잉크를 제팅하는 복수의 노즐을 가지고 있는 복수의 노즐헤드와;
    상기 스테이지를 구동시키는 제1구동부와;
    상기 마스크를 구동시키는 제2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판에는 상기 노즐로부터 토출된 잉크가 안착될 제팅영역이 정의되어 있으며,
    상기 개구부는 상기 제팅영역에 대응하여 마련된 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 개구부가 상기 제팅영역에 대응하도록 상기 스테이지와 상기 마스크를 각각 정렬시키는 상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 스테이지와 상기 마스크의 정렬 후,
    상기 제어부는 상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 연동시켜 상기 개구부가 상기 노즐에 대응하도록 상기 스테이지와 상기 마스크를 일체로 운동시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 노즐헤드를 구동시키는 제3구동부, 노즐헤드를 지지하는 지지본체 및 상기 지지본체를 구동시키는 제4구동부를 더 포함하며,
    상기 스테이지와 상기 마스크의 정렬 후, 상기 제어부는 상기 제3구동부와 제4구동부를 구동시켜 상기 노즐이 상기 개구부에 대응하도록 상기 노즐헤드를 운동시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 마스크는 상기 개구부 사이의 상기 개구부를 벗어나 제팅되는 잉크를 차단하는 차단부를 포함하며,
    상기 노즐을 향하는 상기 차단부의 상면에는 소정깊이로 함몰된 함몰부가 마련된 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  7. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 기판과 상기 마스크에는 상기 제팅영역과 상기 개구부를 대응 정렬 시키기 위한 정렬키가 각각 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  8. 기판이 안착되는 안착영역을 가지는 스테이지와;
    상기 스테이지 상에 위치하며 복수의 개구부가 마련된 마스크와;
    상기 개구부로 잉크를 제팅하는 복수의 노즐을 가지고 있는 복수의 노즐헤드와;
    상기 스테이지를 구동시키는 제1구동부와;
    상기 마스크를 구동시키는 제2구동부와;
    상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하며,
    상기 제어부는 상기 개구부가 상기 기판 상의 제팅영역에 대응하도록 상기 스테이지와 상기 마스크를 각각 정렬시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 제어방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 스테이지와 상기 마스크의 정렬 후,
    상기 제어부는 상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 연동시켜 상기 개구부가 상기 노즐에 대응하도록 상기 스테이지와 상기 마스크를 일체로 운동시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 제어방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 노즐헤드를 구동시키는 제3구동부, 상기 노즐헤드를 지지하는 지지본체 및 상기 지지본체를 구동시키는 제4구동부를 더 포함하며,
    상기 스테이지와 상기 마스크의 정렬 후, 상기 제어부는 상기 제3구동부와 제4구동부를 구동시켜 상기 노즐이 상기 개구부에 대응하도록 상기 노즐헤드를 운동시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치의 제어방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9526146B2 (en) 2013-04-19 2016-12-20 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly fabrication apparatus and mask assembly fabrication method using the same
WO2021125754A1 (ko) * 2019-12-16 2021-06-24 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린트 장치 및 쌍극자 정렬 방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9526146B2 (en) 2013-04-19 2016-12-20 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly fabrication apparatus and mask assembly fabrication method using the same
US10080269B2 (en) 2013-04-19 2018-09-18 Samsung Display Co., Ltd. Mask assembly fabrication apparatus and mask assembly fabrication method using the same
WO2021125754A1 (ko) * 2019-12-16 2021-06-24 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린트 장치 및 쌍극자 정렬 방법
CN114829149A (zh) * 2019-12-16 2022-07-29 三星显示有限公司 喷墨印刷设备和用于对准偶极子的方法
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