KR102453361B1 - 다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법 - Google Patents

다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102453361B1
KR102453361B1 KR1020190013502A KR20190013502A KR102453361B1 KR 102453361 B1 KR102453361 B1 KR 102453361B1 KR 1020190013502 A KR1020190013502 A KR 1020190013502A KR 20190013502 A KR20190013502 A KR 20190013502A KR 102453361 B1 KR102453361 B1 KR 102453361B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gear
chamber
driving
jog
rotation transmission
Prior art date
Application number
KR1020190013502A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20190132198A (ko
Inventor
지원영
노성기
김민욱
김성수
남웅식
박성규
오세영
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to US16/375,157 priority Critical patent/US11532328B2/en
Priority to CN201910399017.1A priority patent/CN110496749B/zh
Publication of KR20190132198A publication Critical patent/KR20190132198A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102453361B1 publication Critical patent/KR102453361B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • B05C9/12—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation being performed after the application
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/28—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Gear Transmission (AREA)

Abstract

다중 경화 장치가 제공된다. 다중 경화 장치는, 엑츄에이터, 내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버, 내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버, 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 회전 전달 기어 및 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 드라이빙 기어를 포함하는 제1 구동부, 및 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 드라이빙 기어를 포함하는 제2 구동부를 포함하되, 상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 드라이빙 기어를 고정한 상태에서 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시킨다.

Description

다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법{Method for fabricating semiconductor chip by using multi-curing apparatus and multi-curing apparatus}
본 발명은 다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법에 관한 것이다.
반도체, 디스플레이, 및 다양한 전자 기기의 제조에 있어서, 접착제 등과 같은 물질의 경화 공정은 필수적이다. 다양한 경화 공정들 중, 자외선 광을 이용한 경화 공정이 폭넓게 이용되며, 이러한 자외선 경화 공정에는 자외선 경화 장치가 이용된다.
자외선 경화 공정에서, 경화가 필요한 영역에 대해 높은 출력의 자외선 광이 요구된다. 즉, 일반적으로 자외선 경화에는 비교적 매우 높은 단위 면적당 에너지의 자외선 광이 필요하며, 이에 따라, 고 조도의 자외선 광을 방출할 수 있도록 자외선 발광 요소의 집적화가 필요하다. 이러한 자외선 광을 방출하는 자외선 발광 요소로서, 발광 다이오드가 폭넓게 적용된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 하나의 엑츄에이터에 연결된 복수의 챔버 사이의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 하나의 엑츄에이터에 연결된 복수의 챔버 사이의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 다중 경화 장치의 몇몇 실시예는, 엑츄에이터, 내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버, 내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버, 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 회전 전달 기어 및 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 드라이빙 기어를 포함하는 제1 구동부, 및 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 드라이빙 기어를 포함하는 제2 구동부를 포함하되, 상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 드라이빙 기어를 고정한 상태에서 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시킨다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 다중 경화 장치의 다른 몇몇 실시예는, 엑츄에이터, 내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버, 내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버, 상기 엑츄에이터 및 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 구동부, 및 상기 엑츄에이터 및 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 구동부를 포함하되, 상기 제1 구동부는, 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 회전 전달 기어와, 상기 제1 회전 전달 기어 상에 배치되고, 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 드라이빙 기어와, 상기 제1 드라이빙 기어 상에 배치되고, 상기 제1 드라이빙 기어와 연결된 제1 조그 기어와, 상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제1 드라이빙 기어 및 상기 제1 조그 기어를 각각 관통하고, 상기 제1 회전 전달 기어와 연결된 제1 조그(jog)와, 상기 제1 조그와 상기 제1 조그 기어 사이에 탈착 가능하도록 배치되어 상기 제1 조그와 상기 제1 조그 기어를 연결하는 제1 메카로크(mechalock)를 포함하되, 상기 제2 챔버의 위치를 고정한 상태에서, 상기 제1 구동부를 이용하여 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시킨다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 다중 경화 장치의 또 다른 몇몇 실시예는, 엑츄에이터, 상기 엑츄에이터와 각각 기어 결합되고, 동일 평면 상에 배치되는 제1 회전 전달 기어 및 제2 회전 전달 기어, 상기 제1 회전 전달 기어 상에 배치되는 제1 드라이빙 기어, 상기 제2 회전 전달 기어 상에 배치되는 제2 드라이빙 기어, 상기 제1 드라이빙 기어와 기어 결합되는 제1 헤드 기어, 상기 제2 드라이빙 기어와 기어 결합되는 제2 헤드 기어, 상기 제1 헤드 기어 상에 배치되고, 내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버, 상기 제2 헤드 기어 상에 배치되고, 내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버, 상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 드라이빙 기어를 고정한 상태에서 상기 제1 드라이빙 기어를 구동시켜 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시킨다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 다중 경화 장치의 또 다른 몇몇 실시예는, 엑츄에이터, 내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버, 내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버, 상기 엑츄에이터와 연결된 제1 회전 동력 전달부 및 상기 제1 챔버와 연결된 제1 드라이빙 동력 전달부를 포함하는 제1 구동부, 및 상기 엑츄에이터와 연결된 제2 회전 동력 전달부 및 상기 제2 챔버와 연결된 제2 드라이빙 동력 전달부를 포함하는 제2 구동부를 포함하되, 상기 제1 회전 동력 전달부, 상기 제2 회전 동력 전달부 및 상기 제2 드라이빙 동력 전달부를 고정한 상태에서 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시킨다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 반도체 칩의 제조 방법의 몇몇 실시예는, 제1 구동부를 통해 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 챔버 내에 제1 기판을 제공하고, 제2 구동부를 통해 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 챔버 내에 제2 기판을 제공하고, 상기 제2 구동부를 고정한 상태에서 상기 제1 구동부를 구동시켜, 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키고, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 각각에 경화(curing) 공정을 수행하는 것을 포함하되, 상기 제1 구동부는 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 회전 전달 기어 및 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 드라이빙 기어를 포함하고, 상기 제2 구동부는 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 드라이빙 기어를 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 저면도이다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 부분 단면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 저면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 16은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
반도체 장치, LCD, Solar Cell 및 LED 등의 제조 공정 중에서 경화(Curing) 공정은 웨이퍼 전면의 공정 균일성을 높이기 위해 공정의 에너지 소스 헤드를 웨이퍼에 회전시켜 전사한다. 이러한 경화 공정의 생산성을 높이기 위하여 다중 챔버를 이용하여, 동시에 동일 공정을 진행하는데, 이 경우 챔버 간 공정의 특성을 일치화시키는 것이 요구된다.
본 발명은 복수의 챔버 간의 상대적 위치를 동기화시키는 즉, 복수의 챔버들의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치에 관한 것이다.
이하에서, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 다른 다중 경화 장치에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 저면도이다. 도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 부분 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 제1 챔버(10), 제1 디스크(12), 제1 헤드 기어(13), 제2 챔버(20), 제2 디스크(22), 제2 헤드 기어(23), 엑츄에이터(110), 엑츄에이터 기어(111), 제1 구동부(120), 제2 구동부(130), 조그 기어 구동부(도 8의 140), 제3 회전 전달 기어(151) 및 회전 전달 축(152)을 포함한다.
본체(50)는 다중 경화 장치의 베이스 프레임 기능을 수행할 수 있다. 도 2에는 본체(50)가 평판 형상을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 본체(50)의 형상은 제한되지 않는다.
엑츄에이터(110)는 본체(50)의 상면에 연결될 수 있다. 엑츄에이터(110)는 본체(50)를 관통하여 본체(50)의 하면에 배치된 엑츄에이터 기어(111)와 연결될 수 있다. 엑츄에이터 기어(111)는 엑츄에이터(110)에 의해 회전 구동될 수 있다.
회전 전달 축(152)은 엑츄에이터(110)와 이격되어 배치될 수 있다. 제3 회전 전달 기어(151)는 본체(50)의 하면에 배치되어 회전 전달 축(152)을 기준으로 회전될 수 있다.
제3 회전 전달 기어(151)는 엑츄에이터 기어(111)와 기어 결합될 수 있다. 이로 인해, 제3 회전 전달 기어(151)는 엑츄에이터(110)에 의해 회전 구동될 수 있다.
제1 챔버(10)는 평판 형상을 갖는 제1 디스크(12) 상에 배치될 수 있다. 제1 챔버(10)는 제1 디스크(12)의 하부에 배치된 제1 헤드 기어(13)를 통해 엑츄에이터(110)와 연결될 수 있다.
제1 챔버(10)는 내부에 제1 에너지 소스 헤드(11)를 포함할 수 있다. 제1 에너지 소스 헤드(11)는 예를 들어, 자외선(UV)과 같은 에너지 소스를 제1 챔버(10) 내부에 배치된 기판에 제공할 수 있다. 다만, 제1 에너지 소스 헤드(11)가 제공하는 에너지 소스는 자외선(UV)으로 제한되지 않는다.
제2 챔버(20)는 평판 형상을 갖는 제2 디스크(22) 상에 배치될 수 있다. 제2 챔버(20)는 제2 디스크(22)의 하부에 배치된 제2 헤드 기어(23)를 통해 엑츄에이터(110)와 연결될 수 있다.
제2 챔버(20)는 내부에 제2 에너지 소스 헤드(21)를 포함할 수 있다. 제2 에너지 소스 헤드(21)는 예를 들어, 자외선(UV)과 같은 에너지 소스를 제2 챔버(20) 내부에 배치된 기판에 제공할 수 있다. 다만, 제2 에너지 소스 헤드(21)가 제공하는 에너지 소스는 자외선(UV)으로 제한되지 않는다.
도 1 내지 도 4에는 하나의 엑츄에이터(110)에 2개의 챔버(10, 20)가 연결되는 것을 예시적으로 도시되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 하나의 엑츄에이터(110)에 3개 이상의 챔버가 연결될 수 있다.
제1 헤드 기어(13)와 제2 헤드 기어(23)는 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 구동부(120)는 본체(50)에 연결될 수 있다. 제1 구동부(120)는 제1 챔버(10) 및 엑츄에이터(110)와 기어 결합될 수 있다. 제1 구동부(120)는 엑츄에이터(110)로부터 제공된 동력을 제1 챔버(10)에 전달하여 제1 챔버(10)를 회전시킬 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
제1 구동부(120)는 제1 회전 전달 기어(121), 제1 드라이빙 기어(122), 제1 조그 기어(123), 제1 조그(jog)(124), 제1 메카로크(mechalock)(125), 제1 베어링(126), 제2 베어링(127) 및 제1 조그 키 홈(128)을 포함할 수 있다.
도 1에는 제1 회전 전달 기어(121) 및 제1 드라이빙 기어(122) 각각이 기어 형상을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 제1 회전 전달 기어(121)는 기어 이외의 다른 동력 전달 구성을 포함하는 제1 회전 동력 전달부 일 수 있고, 제1 드라이빙 기어(122)는 기어 이외의 다른 동력 전달 구성을 포함하는 제1 드라이빙 동력 전달부 일 수 있다.
제1 조그(124)는 본체(50)를 관통하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 조그(124)는 후술하는 제1 조그 기어(123), 제1 드라이빙 기어(122) 및 제1 회전 전달 기어(121)를 순차적으로 관통하도록 배치될 수 있다.
제1 조그(124)는 후술하는 제1 조그 기어(123) 상으로 노출된 일단에 만입되도록 형성된 제1 조그 키 홈(128)을 포함할 수 있다.
제1 회전 전달 기어(121)는 본체(50)의 하부에 배치될 수 있다. 제1 회전 전달 기어(121)는 제1 조그(124)와 연결되어 제1 조그(124)를 회전 축으로 하여 회전 구동될 수 있다. 이 경우, 제1 회전 전달 기어(121)는 제1 조그(124)와 일체형으로 연결되어 회전 구동될 수 있다.
제1 회전 전달 기어(121)는 제3 회전 전달 기어(151)와 기어 결합될 수 있다. 제1 회전 전달 기어(121)는 제3 회전 전달 기어(151)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 드라이빙 기어(122)는 제1 회전 전달 기어(121) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 드라이빙 기어(122)는 제1 회전 전달 기어(121)와 본체(50) 사이에 배치될 수 있다. 제1 드라이빙 기어(122)는 제1 조그(124)를 회전 축으로 하여 회전 구동될 수 있다.
제1 드라이빙 기어(122)는 제1 헤드 기어(13)와 기어 결합될 수 있다. 제1 드라이빙 기어(122)는 제1 헤드 기어(13)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 구동부(120)는 엑츄에이터(110)로부터 제공된 동력을 엑츄에이터 기어(111), 제3 회전 전달 기어(151), 제1 회전 전달 기어(121), 제1 드라이빙 기어(122), 제1 헤드 기어(13) 및 제1 디스크(12)를 통해 제1 챔버(10)에 전달함으로써 제1 챔버(10)를 회전시킬 수 있다.
제1 조그 기어(123)는 제1 드라이빙 기어(122) 상에 배치될 수 있다. 제1 조그 기어(123)는 본체(50)의 상면 상으로 노출되도록 배치될 수 있다.
제1 조그 기어(123)는 제1 드라이빙 기어(122)와 연결되어 제1 조그(124)를 회전 축으로 하여 회전 구동될 수 있다. 이 경우, 제1 조그 기어(123)는 제1 드라이빙 기어(122)와 일체형으로 연결되어 회전 구동될 수 있다.
제1 메카로크(125)는 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이에 배치될 수 있다. 제1 메카로크(125)는 탈착 가능하도록 배치될 수 있다.
제1 메카로크(125)가 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이에 배치되는 경우, 마찰력을 이용하여 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이를 연결할 수 있다. 이로 인해, 제1 조그(124) 및 제1 조그 기어(123)는 일체형으로 회전 구동될 수 있다.
제1 메카로크(125)가 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이에서 이탈되는 경우, 제1 조그 기어(123)는 제1 조그(124)와 독립적으로 회전 구동될 수 있다.
구체적으로, 제1 메카로크(125)가 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이에서 이탈되는 경우, 제1 조그 기어(123) 및 제1 드라이빙 기어(122)는 제1 조그(124) 및 제1 회전 전달 기어(121)와 독립적으로 회전 구동될 수 있다. 즉, 제1 회전 전달 기어(121)를 고정한 상태에서 제1 드라이빙 기어(122)가 구동될 수 있다.
제1 메카로크(125)는 예를 들어, 볼트를 이용하여 제1 조그 기어(123)에 체결될 수 있지만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 베어링(126)은 제1 회전 전달 기어(121)와 제1 드라이빙 기어(122) 사이에 배치될 수 있다. 제1 베어링(126)은 제1 메카로크(125)가 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이에서 이탈되는 경우, 제1 드라이빙 기어(122)가 제1 회전 전달 기어(121)와 독립적으로 회전 구동되는 것을 가이드 할 수 있다.
제2 베어링(127)은 제1 조그 기어(123)와 본체(50) 사이에 배치될 수 있다. 제2 베어링(127)은 제1 조그 기어(123)가 회전 구동하는 것을 가이드 할 수 있다.
제2 구동부(130)는 본체(50)에 연결될 수 있다. 제2 구동부(130)는 제2 챔버(20) 및 엑츄에이터(110)와 기어 결합될 수 있다. 제2 구동부(130)는 엑츄에이터(110)로부터 제공된 동력을 제2 챔버(20)에 전달하여 제2 챔버(20)를 회전시킬 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
제2 구동부(130)는 제2 회전 전달 기어(131), 제2 드라이빙 기어(132), 제2 구동부 축(134) 및 제3 베어링(137)을 포함할 수 있다.
도 1에는 제2 회전 전달 기어(131) 및 제2 드라이빙 기어(132) 각각이 기어 형상을 갖는 것으로 도시되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 제2 회전 전달 기어(131)는 기어 이외의 다른 동력 전달 구성을 포함하는 제2 회전 동력 전달부 일 수 있고, 제2 드라이빙 기어(132)는 기어 이외의 다른 동력 전달 구성을 포함하는 제2 드라이빙 동력 전달부 일 수 있다.
제2 구동부 축(134)은 본체(50)를 관통하도록 배치될 수 있다. 또한, 제2 구동부 축(134)은 후술하는 제2 드라이빙 기어(132) 및 제2 회전 전달 기어(131)를 순차적으로 관통하도록 배치될 수 있다.
제2 회전 전달 기어(131)는 본체(50)의 하부에 배치될 수 있다. 제2 회전 전달 기어(131)는 제2 구동부 축(134)과 연결되어 제2 구동부 축(134)을 회전 축으로 하여 회전 구동될 수 있다. 이 경우, 제2 회전 전달 기어(131)는 제2 구동부 축(134)과 일체형으로 연결되어 회전 구동될 수 있다.
제2 회전 전달 기어(131)는 제3 회전 전달 기어(151)와 기어 결합될 수 있다. 제2 회전 전달 기어(131)는 제3 회전 전달 기어(151)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
제2 드라이빙 기어(132)는 제2 회전 전달 기어(131) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제2 드라이빙 기어(132)는 제2 회전 전달 기어(131)와 본체(50) 사이에 배치될 수 있다. 제2 드라이빙 기어(132)는 제2 구동부 축(134)을 회전 축으로 하여 회전 구동될 수 있다. 이 경우, 제2 드라이빙 기어(132)는 제2 구동부 축(134)과 일체형으로 연결되어 회전 구동될 수 있다.
제2 드라이빙 기어(132)는 제2 헤드 기어(23)와 기어 결합될 수 있다. 제2 드라이빙 기어(132)는 제2 헤드 기어(23)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 즉, 제2 드라이빙 기어(132)는 제1 드라이빙 기어(122)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
제2 구동부(130)는 엑츄에이터(110)로부터 제공된 동력을 엑츄에이터 기어(111), 제3 회전 전달 기어(151), 제2 회전 전달 기어(131), 제2 드라이빙 기어(132), 제2 헤드 기어(23) 및 제2 디스크(22)를 통해 제2 챔버(20)에 전달함으로써 제2 챔버(20)를 회전시킬 수 있다.
제3 베어링(137)은 제2 구동부 축(134)과 본체(50) 사이에 배치될 수 있다. 제3 베어링(137)은 제2 구동부 축(134)이 회전 구동하는 것을 가이드 할 수 있다.
도 3에 도시된 각각의 기어들의 크기는 설명의 편의를 위해 예시적으로 도시된 것이고, 각각의 기어들의 크기는 제한되지 않는다.
도 8을 참조하면, 조그 기어 구동부(140)는 삽입부(141)와 회전부(142)를 포함할 수 있다. 다만, 도 8에 도시된 조그 기어 구동부(140)의 형상 및 구조는 설명의 편의를 위해 예시적으로 도시된 것이고, 다른 몇몇 실시예에서, 조그 기어 구동부(140)와 유사한 구조 및 기능을 갖는 다른 조그 기어 구동부가 사용될 수 있다.
조그 기어 구동부(140)는 제1 조그(124) 및 제1 조그 기어(123)와 결합될 수 있다. 구체적으로, 조그 기어 구동부(140)의 삽입부(141)는 제1 조그 키 홈(128)에 삽입되어 제1 조그(124)와 결합될 수 있고, 조그 기어 구동부(140)의 회전부(142)는 제1 조그 기어(123)와 기어 결합될 수 있다.
조그 기어 구동부(140)는 제2 챔버(20)를 고정한 상태에서, 제1 구동부(120)를 이용하여 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시키는 경우에 사용될 수 있다.
구체적으로, 조그 기어 구동부(140)는 제1 회전 전달 기어(121), 제2 회전 전달 기어(131) 및 제2 드라이빙 기어(132)를 고정한 상태에서, 제1 드라이빙 기어(122)를 구동시켜 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시키는 경우에 사용될 수 있다. 조그 기어 구동부(140)의 동작에 대한 상세한 설명은 후술한다.
이하에서, 도 2, 도 5 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 설명한다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다. 도 6 내지 도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 설명하기 위한 도면들이다. 도 7 및 도 8에는 설명의 편의상 제1 챔버(10), 제1 디스크(12), 제1 헤드 기어(13), 제2 챔버(20), 제2 디스크(22) 및 제2 헤드 기어(23)의 도시는 생략한다.
도 6을 참조하면, 제1 구동부(도 7의 120)를 통해 엑츄에이터(110)와 기어 결합되고, 제1 에너지 소스 헤드(11)를 포함하는 제1 챔버(10) 내에 제1 기판을 제공한다. 또한, 제2 구동부(도 7의 130)를 통해 엑츄에이터(110)와 기어 결합되고, 제2 에너지 소스 헤드(21)를 포함하는 제2 챔버(20) 내에 제2 기판을 제공한다.
이 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 챔버(10)의 위치와 제2 챔버(20)의 위치는 정렬되지 않을 수 있다. 여기에서 정렬되지 않는다는 의미는 제1 챔버(10)의 일 측면과 제2 챔버(20)의 일 측면이 평행하지 않게 위치하는 것을 의미한다.
이하에서는, 제1 챔버(10)의 위치와 제2 챔버(20)의 위치는 정렬되지 않는 경우를 전제로 설명한다.
도 5 및 도 7을 참조하면, 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이의 결합을 해제한다(S110).
구체적으로, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이에 배치된 제1 메카로크(125)를 이탈시킴으로써 제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이의 결합이 해제될 수 있다.
제1 조그(124)와 제1 조그 기어(123) 사이의 결합이 해제된 경우, 제1 조그 기어(123) 및 제1 드라이빙 기어(122)는 제1 조그(124) 및 제1 회전 전달 기어(121)와 독립적으로 회전 구동될 수 있다. 이로 인해, 제1 회전 전달 기어(121)를 고정한 상태에서 제1 드라이빙 기어(122)가 독립적으로 구동될 수 있다.
도 5 및 도 8을 참조하면, 조그 기어 구동부(140)를 제1 조그 키 홈(128) 및 제1 조그 기어(123)에 결합시킨다(S120).
구체적으로, 조그 기어 구동부(140)의 삽입부(141)는 제1 조그 키 홈(128)에 삽입되어 제1 조그(124)와 결합될 수 있고, 조그 기어 구동부(140)의 회전부(142)는 제1 조그 기어(123)와 기어 결합될 수 있다.
이어서, 제1 조그 기어(123) 및 제1 조그 기어(123)에 연결된 제1 드라이빙 기어(122)를 구동시킨다(S130).
구체적으로, 조그 기어 구동부(140)의 삽입부(141)를 이용하여 조그 기어 구동부(140)를 제1 조그(124)에 고정한 상태에서, 조그 기어 구동부(140)의 회전부(142)를 회전 구동시킴으로써, 제1 조그 기어(123)가 회전 구동될 수 있다. 이로 인해, 제1 조그 기어(123)와 일체형으로 연결된 제1 드라이빙 기어(122)가 회전 구동될 수 있다.
도 5 및 도 2를 참조하면, 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시킨다(S140).
구체적으로, 제2 챔버(20)의 위치를 고정한 상태에서, 제1 구동부(도 7의 120)를 이용하여 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시킬 수 있다.
더욱 구체적으로, 제1 회전 전달 기어(121), 제2 회전 전달 기어(131) 및 제2 드라이빙 기어(132)를 고정한 상태에서, 조그 기어 구동부(140)의 회전부(142)를 회전 구동시킴으로써, 제1 드라이빙 기어(122)를 구동시켜 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시킬 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 조그 기어 구동부(140)를 작업자가 수동으로 구동시켜 복수의 챔버 간의 위치를 정렬시키는 것을 전제로 설명했다.
다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 복수의 챔버 간의 정렬 여부를 작업자가 수동으로 파악하고, 조그 기어 구동부의 구동이 자동으로 수행될 수 있다. 또한, 또 다른 몇몇 실시예에서, 복수의 챔버 간의 정렬 여부 및 조그 기어 구동부의 구동이 모두 자동으로 수행될 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 제2 챔버(20)의 위치를 고정한 상태에서 제1 챔버(10)의 위치를 조절할 수 있도록 배치된 기어들을 이용하여, 하나의 엑츄에이터를 이용하여 복수의 챔버의 위치를 정렬시킬 수 있다.
이로 인해, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 챔버의 탈착 없이 복수의 챔버를 정렬시켜 동시화시킬 수 있고, 유지보수 작업 시간을 단축시킴으로써 경화 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
이하에서, 도 9 및 도 10을 참조하여 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명한다. 도 2 및 도 4에 도시된 다중 경화 장치와의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 10은 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 부분 단면도이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 제2 구동부(220)가 제2 회전 전달 기어(221), 제2 드라이빙 기어(222), 제2 조그 기어(223), 제2 조그(224), 제2 메카로크(225), 제4 베어링(226), 제5 베어링(227) 및 제2 조그 키 홈(228)을 포함할 수 있다.
제2 구동부(220)의 각각의 구성 및 기능은 제1 구동부(120)의 각각의 구성 및 기능과 실질적으로 동일할 수 있다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 제1 회전 전달 기어(121), 제2 회전 전달 기어(221) 및 제2 드라이빙 기어(222)를 고정한 상태에서, 제1 드라이빙 기어(122)를 구동시켜 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 제1 회전 전달 기어(121), 제2 회전 전달 기어(221) 및 제1 드라이빙 기어(122)를 고정한 상태에서, 제2 드라이빙 기어(222)를 구동시켜 제1 챔버(10)의 위치를 기준으로 제2 챔버(20)의 위치를 정렬시킬 수도 있다.
이하에서, 도 11 및 도 12를 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명한다. 도 2 및 도 3에 도시된 다중 경화 장치와의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 11은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 12는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 저면도이다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 하나의 엑츄에이터(110)에 4개의 챔버(10, 20, 30, 40)가 연결될 수 있다.
제3 에너지 소스 헤드(31)를 포함하는 제3 챔버(30)는 제3 디스크(32)의 하부에 배치된 제3 헤드 기어(33)를 통해 제3 구동부(360)에 기어 결합될 수 있다. 또한, 제4 에너지 소스 헤드(41)를 포함하는 제4 챔버(40)는 제4 디스크(42)의 하부에 배치된 제4 헤드 기어(43)를 통해 제4 구동부(470)에 기어 결합될 수 있다.
제3 구동부(360) 및 제4 구동부(470)는 제1 구동부(도 4의 120)와 실질적으로 동일한 구성 및 기능을 가질 수 있다.
제3 구동부(360)를 구동시켜 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제3 챔버(30)의 위치가 정렬시킬 수 있다. 또한, 제4 구동부(470)를 구동시켜 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제4 챔버(40)의 위치가 정렬될 수 있다.
즉, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 하나의 엑츄에이터(110)를 이용하여 4개의 챔버(10, 20, 30, 40)의 위치를 정렬시킬 수 있다.
이하에서, 도 13 내지 도 15를 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명한다. 도 1 내지 도 8에 도시된 다중 경화 장치와의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 13은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 14 및 도 15는 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 13 내지 도 15를 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치는 얼라인 엑츄에이터(510), 얼라인 기어(511), 제1 센서(581), 제2 센서(582), 제1 센싱 핀(591) 및 제2 센싱 핀(592)을 포함할 수 있다.
얼라인 엑츄에이터(510)는 본체(50)의 상면에 연결될 수 있다. 얼라인 엑츄에이터(510)는 본체(50)를 관통하여 본체(50)의 하면에 배치된 얼라인 기어(511)와 연결될 수 있다. 얼라인 기어(511)는 얼라인 엑츄에이터(510)에 의해 회전 구동될 수 있다.
얼라인 기어(511)는 제1 드라이빙 기어(132) 이격되어 배치될 수 있다. 얼라인 기어(511)는 제1 드라이빙 기어와(132) 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
얼라인 기어(511)는 제1 챔버(10)와 기어 결합될 수 있다. 구체적으로, 얼라인 기어(511)는 제1 챔버(10)의 하부에 배치된 제1 헤드 기어(13)와 기어 결합될 수 있다. 얼라인 기어(511)는 제1 헤드 기어(13)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 센서(581)는 본체(50)의 측면에 배치될 수 있다. 도 13에는 제1 센서가 본체(50)의 측면에 직접 연결되는 것으로 도시되어 있지만, 이는 설명의 편의를 위한 것이고, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 제1 센서(581)는 본체(50)와 이격되어 배치될 수 있다.
제2 센서(582)는 본체(50)의 측면에 배치될 수 있다. 도 13에는 제2 센서(582)가 본체(50)의 측면과 이격되어 배치되는 것으로 도시되어 있지만, 이는 설명의 편의를 위한 것이고, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 제2 센서(582)는 본체(50)의 측면에 직접 연결될 수 있다.
제1 센싱 핀(591)은 제1 디스크(12)에 설치될 수 있다. 제1 센싱 핀(591)은 제1 센서(581)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 제1 센서(581)는 제1 센싱 핀(591)을 이용하여 제1 디스크(12) 상에 배치된 제1 챔버(10)의 위치 정보를 센싱할 수 있다.
제2 센싱 핀(592)은 제2 디스크(22)에 설치될 수 있다. 제2 센싱 핀(592)은 제2 센서(582)와 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 제2 센서(582)는 제2 센싱 핀(592)을 이용하여 제2 디스크(22) 상에 배치된 제2 챔버(20)의 위치 정보를 센싱할 수 있다.
도 13 및 도 14는 제1 챔버(10) 내에 제1 기판이 제공된 후에, 제1 챔버(10)의 위치와 제2 챔버(20)의 위치가 정렬되지 않은 상태를 예시적으로 도시한다.
이 경우, 예를 들어 제2 센싱 핀(592)은 제2 센서(582)와 접하도록 위치될 수 있고, 제1 센싱 핀(591)은 제1 센서(581)와 이격되도록 위치될 수 있다.
도 13 및 도 15를 참조하면, 얼라인 엑츄에이터(510)는 제2 챔버(20)의 위치를 고정한 상태에서 얼라인 기어(511)를 구동시켜 제1 챔버(10)를 회전시킴으로써 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시킬 수 있다.
얼라인 엑츄에이터(510)는 제1 센서(581)를 통해 센싱된 제1 챔버(10)의 위치 정보 및 제2 센서(582)를 통해 센싱된 제2 챔버(20)의 위치 정보를 이용하여 얼라인 기어(511)를 구동시킬 수 있다. 이 경우, 얼라인 엑츄에이터(510)는 제1 센싱 핀(591)이 제1 센서(581)와 접하도록 얼라인 기어(511)를 구동시켜 제1 챔버(10)를 회전시킬 수 있다.
이하에서, 도 1 및 도 16을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법을 설명한다.
도 16은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 및 도 16을 참조하면, 제1 구동부(120)를 통해 엑츄에이터(110)와 기어 결합된 제1 챔버(10) 내에 제1 기판이 제공되고, 제2 구동부(130)를 통해 엑츄에이터(110)와 기어 결합된 제2 챔버(20) 내에 제2 기판이 제공될 수 있다(S210).
이어서, 도 5에서 상술한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 다중 경화 장치의 챔버 정렬 방법을 이용하여, 제2 구동부(130)를 고정한 상태에서 상기 제1 구동부(120)를 구동시켜 제2 챔버(20)의 위치를 기준으로 제1 챔버(10)의 위치를 정렬시킬 수 있다(S220).
이어서, 제1 챔버(10)에 배치된 제1 에너지 소스 헤드(11)를 이용하여 제1 기판에 경화(curing) 공정이 수행되고, 제2 챔버(20)에 배치된 제2 에너지 소스 헤드(21)를 이용하여 제2 기판에 경화 공정이 수행될 수 있다. 제1 기판에 대한 경화 공정 및 제2 기판에 대한 경화 공정은 동시에 수행될 수 있다(S230). 상술한 경화 공정을 중간 공정으로 하여 반도체 칩이 제조될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 제1 챔버 13: 제1 헤드 기어
20: 제2 챔버 23: 제2 헤드 기어
110: 엑츄에이터 111: 엑츄에이터 기어
120: 제1 구동부 121: 제1 회전 전달 기어
122: 제1 드라이빙 기어 123: 조그 기어
124: 조그 125: 메카로크
130: 제2 구동부 131: 제2 회전 전달 기어
132: 제2 드라이빙 기어 140: 조그 기어 구동부
151: 제3 회전 전달 기어

Claims (20)

  1. 엑츄에이터;
    내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버;
    내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버;
    상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 회전 전달 기어 및 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 드라이빙 기어를 포함하는 제1 구동부; 및
    상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 드라이빙 기어를 포함하는 제2 구동부를 포함하되,
    상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 드라이빙 기어를 고정한 상태에서 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 구동부는,
    상기 제1 드라이빙 기어 상에 배치되고, 상기 제1 드라이빙 기어와 연결된 조그 기어와,
    상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제1 드라이빙 기어 및 상기 조그 기어를 각각 관통하고, 상기 제1 회전 전달 기어와 연결된 조그(jog)를 더 포함하는 다중 경화 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 조그 기어 상으로 노출된 상기 조그의 일단에 만입되도록 형성된 조그 키 홈을 더 포함하는 다중 경화 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 조그 키 홈에 결합되고, 상기 조그 기어에 기어 결합되고, 상기 조그 기어 및 상기 제1 드라이빙 기어를 구동시키는 조그 기어 구동부를 더 포함하는 다중 경화 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 조그와 상기 조그 기어 사이에 탈착 가능하도록 배치되고 상기 조그와 상기 조그 기어를 연결하는 메카로크(mechalock)를 더 포함하는 다중 경화 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 것은,
    상기 메카로크를 이탈시켜, 상기 조그와 상기 조그 기어 사이의 결합을 해제하고,
    상기 조그 기어를 구동시켜, 상기 조그 기어와 연결된 상기 제1 드라이빙 기어를 구동시키는 것을 포함하는 다중 경화 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    내부에 제3 에너지 소스 헤드를 포함하는 제3 챔버와,
    상기 엑츄에이터 및 상기 제3 챔버와 기어 결합된 제3 구동부를 더 포함하되,
    상기 제3 구동부를 구동시켜 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제3 챔버의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 챔버와 기어 결합되고, 상기 제1 드라이빙 기어와 이격된 얼라인 기어와,
    상기 얼라인 기어에 연결되어 상기 얼라인 기어를 구동시키는 얼라인 엑츄에이터를 더 포함하는 다중 경화 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 것은,
    상기 제2 챔버의 위치를 고정한 상태에서, 상기 얼라인 기어를 구동시켜 상기 제1 챔버를 회전시키는 것을 포함하는 다중 경화 장치.
  10. 엑츄에이터;
    내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버;
    내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버;
    상기 엑츄에이터 및 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 구동부; 및
    상기 엑츄에이터 및 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 구동부를 포함하되,
    상기 제1 구동부는,
    상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 회전 전달 기어와,
    상기 제1 회전 전달 기어 상에 배치되고, 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 드라이빙 기어와,
    상기 제1 드라이빙 기어 상에 배치되고, 상기 제1 드라이빙 기어와 연결된 제1 조그 기어와,
    상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제1 드라이빙 기어 및 상기 제1 조그 기어를 각각 관통하고, 상기 제1 회전 전달 기어와 연결된 제1 조그(jog)와,
    상기 제1 조그와 상기 제1 조그 기어 사이에 탈착 가능하도록 배치되어 상기 제1 조그와 상기 제1 조그 기어를 연결하는 제1 메카로크(mechalock)를 포함하되,
    상기 제2 챔버의 위치를 고정한 상태에서, 상기 제1 구동부를 이용하여 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 것은,
    상기 제1 회전 전달 기어를 고정한 상태에서 상기 제1 드라이빙 기어를 구동시키는 것을 포함하는 다중 경화 장치.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 제2 구동부는,
    상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 회전 전달 기어와,
    상기 제2 회전 전달 기어 상에 배치되고, 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 드라이빙 기어와,
    상기 제2 드라이빙 기어 상에 배치되고, 상기 제2 드라이빙 기어와 연결된 제2 조그 기어와,
    상기 제2 회전 전달 기어, 상기 제2 드라이빙 기어 및 상기 제2 조그 기어를 각각 관통하고, 상기 제2 회전 전달 기어와 연결된 제2 조그와,
    상기 제2 조그와 상기 제2 조그 기어 사이에 탈착 가능하도록 배치되어 상기 제2 조그와 상기 제2 조그 기어를 연결하는 제2 메카로크를 더 포함하는 다중 경화 장치.
  13. 엑츄에이터;
    상기 엑츄에이터와 각각 기어 결합되고, 동일 평면 상에 배치되는 제1 회전 전달 기어 및 제2 회전 전달 기어;
    상기 제1 회전 전달 기어 상에 배치되는 제1 드라이빙 기어;
    상기 제2 회전 전달 기어 상에 배치되는 제2 드라이빙 기어;
    상기 제1 드라이빙 기어와 기어 결합되는 제1 헤드 기어;
    상기 제2 드라이빙 기어와 기어 결합되는 제2 헤드 기어;
    상기 제1 헤드 기어 상에 배치되고, 내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버;
    상기 제2 헤드 기어 상에 배치되고, 내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버;
    상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 드라이빙 기어를 고정한 상태에서 상기 제1 드라이빙 기어를 구동시켜 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 드라이빙 기어와 상기 제2 드라이빙 기어는 동일 평면 상에 배치되는 다중 경화 장치.
  15. 엑츄에이터;
    내부에 제1 에너지 소스 헤드를 포함하는 제1 챔버;
    내부에 제2 에너지 소스 헤드를 포함하는 제2 챔버;
    상기 엑츄에이터와 연결된 제1 회전 동력 전달부 및 상기 제1 챔버와 연결된 제1 드라이빙 동력 전달부를 포함하는 제1 구동부; 및
    상기 엑츄에이터와 연결된 제2 회전 동력 전달부 및 상기 제2 챔버와 연결된 제2 드라이빙 동력 전달부를 포함하는 제2 구동부를 포함하되,
    상기 제1 회전 동력 전달부, 상기 제2 회전 동력 전달부 및 상기 제2 드라이빙 동력 전달부를 고정한 상태에서 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 다중 경화 장치.
  16. 제1 구동부를 통해 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 챔버 내에 제1 기판을 제공하고,
    제2 구동부를 통해 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 챔버 내에 제2 기판을 제공하고,
    상기 제2 구동부를 고정한 상태에서 상기 제1 구동부를 구동시켜, 상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키고,
    상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 각각에 경화(curing) 공정을 수행하는 것을 포함하되,
    상기 제1 구동부는 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제1 회전 전달 기어 및 상기 제1 챔버와 기어 결합된 제1 드라이빙 기어를 포함하고,
    상기 제2 구동부는 상기 엑츄에이터와 기어 결합된 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 챔버와 기어 결합된 제2 드라이빙 기어를 포함하는 반도체 칩의 제조 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 것은,
    상기 제1 회전 전달 기어, 상기 제2 회전 전달 기어 및 상기 제2 드라이빙 기어를 고정한 상태에서 상기 제1 드라이빙 기어를 구동시키는 것을 포함하는 반도체 칩의 제조 방법.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 제1 구동부는,
    상기 제1 드라이빙 기어와 연결된 조그 기어와,
    상기 제1 드라이빙 기어 및 상기 조그 기어를 각각 관통하고, 상기 제1 회전 전달 기어와 연결된 조그(jog)와,
    상기 조그와 상기 조그 기어 사이에 탈착 가능하도록 배치되어 상기 조그와 상기 조그 기어를 연결하는 메카로크(mechalock)를 더 포함하는 반도체 칩의 제조 방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 제2 챔버의 위치를 기준으로 상기 제1 챔버의 위치를 정렬시키는 것은,
    상기 메카로크를 이탈시켜, 상기 조그와 상기 조그 기어 사이의 결합을 해제하고,
    상기 조그 기어를 구동시켜, 상기 조그 기어와 연결된 상기 제1 드라이빙 기어를 구동시키는 것을 포함하는 반도체 칩의 제조 방법.
  20. 제 16항에 있어서,
    상기 제1 챔버와 기어 결합되고, 상기 제1 드라이빙 기어와 이격된 얼라인 기어와,
    상기 얼라인 기어에 연결되어 상기 얼라인 기어를 구동시키는 얼라인 엑츄에이터를 더 포함하는 반도체 칩의 제조 방법.
KR1020190013502A 2018-05-18 2019-02-01 다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법 KR102453361B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/375,157 US11532328B2 (en) 2018-05-18 2019-04-04 Method for fabricating semiconductor chip by using multi-curing apparatus and multi-curing apparatus
CN201910399017.1A CN110496749B (zh) 2018-05-18 2019-05-14 通过使用多固化设备制造半导体芯片的方法及多固化设备

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20180057101 2018-05-18
KR1020180057101 2018-05-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190132198A KR20190132198A (ko) 2019-11-27
KR102453361B1 true KR102453361B1 (ko) 2022-10-07

Family

ID=68730210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190013502A KR102453361B1 (ko) 2018-05-18 2019-02-01 다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102453361B1 (ko)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH042991Y2 (ko) * 1985-01-08 1992-01-31
US8022377B2 (en) * 2008-04-22 2011-09-20 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for excimer curing
JP5941016B2 (ja) * 2013-05-27 2016-06-29 株式会社神戸製鋼所 成膜装置およびそれを用いた成膜方法
KR101688398B1 (ko) * 2015-05-26 2016-12-21 주식회사 선익시스템 기판 증착 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190132198A (ko) 2019-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019100435A1 (zh) 微型发光二极管显示装置及其制作方法
TW201919223A (zh) 微型發光二極體顯示面板及其製造方法
KR20170094930A (ko) 마이크로 led 디스플레이용 기판 구조 및 이를 이용한 디스플레이 장치
US11996495B2 (en) Method for transferring micro light-emitting diodes and transferring device
BR112021016015A2 (pt) Método de transferência de um dispositivo emissor de luz e aparelho de exibição
CN110534621A (zh) 滚筒式三基色Micro-LED芯片转印方法
TW201904050A (zh) 具有透光基材之微發光二極體顯示模組及其製造方法
KR102453361B1 (ko) 다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법
KR20200142685A (ko) 마이크로 led 전사 방법 및 이에 의해 제조된 디스플레이 모듈
JP2002368289A (ja) 樹脂形成素子、画像表示装置及び照明装置とその製造方法
KR102443444B1 (ko) 디스플레이 장치의 제조 방법 및 그의 제조 장치
CN115548199A (zh) 一种芯片巨量转移方法及显示装置
KR102111200B1 (ko) 발광 모듈의 제조 방법 및 발광 모듈
KR20180136598A (ko) 태양 전지 패널 절단장치
US11314011B2 (en) Light guide body aggregate substrate and production method for integrated light-emitting device
CN108878412A (zh) 全彩MicroLEDs显示装置制备方法
EP3796377A1 (en) Method for manufacturing micro led panel and micro led panel thereof
WO2019148680A1 (zh) 微发光装置的键合治具、键合设备及其键合方法
CN110496749B (zh) 通过使用多固化设备制造半导体芯片的方法及多固化设备
CN112018098B (zh) 像素阵列基板及其制造方法
KR20190025305A (ko) Led 발광 유닛 및 led 디스플레이 장치
CN115863242B (zh) 暂态基板和发光芯片的转移方法
CN113782553A (zh) 巨量转移Micro LED模块、显示屏及制造方法
US20120014131A1 (en) Light emitting device assembly, backlight unit and display device having the same
KR20200007739A (ko) 발광소자의 제조방법 및 발광소자

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant