KR102438455B1 - 전자파 흡수체용 금속자성분말 제조방법 - Google Patents

전자파 흡수체용 금속자성분말 제조방법 Download PDF

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Abstract

전자파 흡수체용 금속자성분말 제조방법이 제공된다.
본 발명의 금속자성분말 제조방법은, 연자성 Fe-Si-Al(Sendust) 합금소재를 준비하는 단계; 칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride); SiO2·B2O3; 및 SiO2·B2O3·Al2O3 중 선택된 1종의 유리원료(Glass Frit) 분말을 준비하는 단계; 상기 Fe-Si-Al 합금소재를 용융한 후, 그 용탕에 상기 유리원료 분말을 0.5~7.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합하는 단계; 및 상기 유리원료 분말이 혼합된 용탕을 이용하여 금속자성분말을 제조하는 단계;를 포함한다.

Description

전자파 흡수체용 금속자성분말 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC METAL POWDER ABSORBING ELECTROMAGNETIC WAVE}
본 발명은 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride) 분말 등을 이용하여 고투자율 전자파 흡수체용 금속자성분말을 제조하는 방법에 관한 것이다.
최근에 우리는 날로 발전하고 있는 각종 전기·전자기기 및 차세대 정보통신기기 속에 살아가고 있다. 이런 발전에 따라 전자기기들은 점점 다기능화, 소형화, 박막화되고, 통신 또한 초고속, 대용량들이 요구되고 있다. 이렇듯 모바일 기기의 성능 향상과 디지털 가전, 핀테크, 데이터 집약적인 콘텐츠의 증가 및 사물인터넷(loT)의 등장으로 5G 상용화가 실현되어 엄청난 트래픽 양의 증가가 이루어지고 있다. 이로 인한 디지털 기술들은 각종 기기의 고밀도 실장을 초래하고, 동작 주파수를 고주파 대역으로 증가시킴에 따라 전자파 간섭, 노이즈를 일으키는 문제를 야기한다. 이런 문제들에는 전자기기의 오작동, 성능 및 신호품질 저하, 그리고 전자파 방출로 인한 인체 유해성 등 심각하게 대두되고 있다. 따라서 불필요한 전자파 간섭 및 노이즈를 억제하는 일이 현재 업계에 중요한 화두가 되고 각국에서는 이러한 전자파에 규제규격을 제정하여 시행하고 있다 보니 전자파 간섭(EMI) 차폐 기술의 중요성이 더욱 높아지는 상황이다. 더욱이 2010년 이후 점점 고주파 기기의 상용화로 전자파 규제 범위가 ~1GHz에서 ~8GHz 대역으로 확대 적용되고 있으며, 앞으로 그 적용 주파수는 더욱 확장될 것으로 예상된다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 고성능, 고효율의 전자기적 특성을 갖는 전자파 흡수체가 요구되어 급성장할 것으로 판단되고, 5G 상용화 시대에 맞춰 고주파수 대역(28GHz)에서 사용 가능한 흡수체 개발이 시급하다 하겠다. 현재 흡수체 재료로 많이 사용되는 Soft-Ferrite, 금속자성 소재, 비정질 금속소재는 사용자의 생산제품에 따라서 가성비를 만족하는 소재로 선택 적용하여 왔다. 하지만 이런 각종 소재들은 국내에서 소규모로 생산되어 사용되고 있으며, 그 연구 개발 환경이 매우 열악한 실정이다. 특히, 현재 국내·외에서 요구되는 고특성, 고효율의 제품을 제조 할 수 있는 소재들은 중국, 일본에서 전량 수입하는 경우가 대부분이다.
따라서 현재 금속 자성재료(Fe-Si-Al:Sendust)로서 투자율 200이상의 전자파 흡수체용 금속자성 분말을 개발하여 수입 소재의 내재화를 도모할 필요성이 지속적으로 대두되고 있다.
한국 공개특허 2019-0099689호
본 발명은 전자파 흡수능이 우수한 고투자율 전자파 흡수체용 금속자성분말을 제조하는 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 과제는 전술한 내용에 한정하지 아니한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자라면 누구라도 본 발명 명세서 전반에 걸친 내용으로부터 본 발명의 추가적인 과제를 이해하는 데 어려움이 없을 것이다.
본 발명의 일측면은,
연자성 Fe-Si-Al(Sendust) 합금소재를 준비하는 단계;
칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride); SiO2·B2O3; 및 SiO2·B2O3·Al2O3 중 선택된 1종의 유리원료(Glass Frit) 분말을 준비하는 단계;
상기 Fe-Si-Al 합금소재를 용융한 후, 그 용탕에 상기 유리원료 분말을 0.5~7.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합하는 단계; 및
상기 유리원료 분말이 혼합된 용탕을 이용하여 금속자성분말을 제조하는 단계;를 포함하는 전자파 흡수체용 금속자성분말을 제조방법에 관한 것이다.
상기 연자성 Fe-Si-Al 합금소재 용탕에 상기 유리원료 분말을 1.0~5.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합함이 바람직하다.
상기 유리원료의 첨가 시의 용탕온도를 1550~1650℃ 범위로 관리함이 바람직하다.
상기 금속자성분말은, 가스 아토마이즈법, 물 아토마이즈법, 디스크 아토마이즈법 및 용융에 의한 합금화 후에 실시되는 분쇄법 중 선택된 어느 하나의 방법을 이용하여 제조될 수 있다.
상기 금속자성분말은 가스 아토마이저법을 이용하여 제조됨이 보다 바람직하다.
상기 금속자성분말을 이용하여, 시트상 또는 코어상 자성자료를 제조할 수도 있다.
나아가, 상기 제조된 금속자성분말을 650~750℃ 온도범위에서 어닐링처리하는 단계;를 추가로 포함함이 바람직하다.
나아가, 상기 제조된 금속자성분말에 Silicate계열의 실리카 나노졸인 무기 바인더를 이용하여 절연피막을 형성하는 단계;를 추가로 포함함이 바람직하다.
상기 금속자성분말은 보론을 2~5중량% 범위로 포함하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같은 구성의 본 발명은, 각 종 아토마이즈법 뿐만 아니라 통상의 분쇄법을 이용하여도 고투자율 흡수체용 금속자성분말을 효과적으로 제공함을써, 현재까지 해외에서 수입되고 있는 투자율 200 이상의 전자파 흡수체용 금속자성재료(Fe-Si-Al:Sendust) 분말의 내재화가 가능하다는 점에서 장점이 있다.
도 1(a-d)은 연자성 Fe-Si-Al 합금소재가 용융된 용탕에 CaB6 유리원료 분말을 혼합한 후, 이를 가스 아토마이저법을 이용하여 금속자성분말을 제조 시, 혼합되는 유리원료 함량에 따른 분말의 성상을 보여주는 SEM 조직 사진으로서, (a)는 0%, (b)는 3%, (c)는 6%, 그리고 (d)는 9% 혼합된 경우를 나타낸다.
도 2(a-d)는 연자성 Fe-Si-Al 합금소재가 용융된 용탕에 CaB6 유리원료 분말을 혼합한 후, 이를 가스 아토마이저법을 이용하여 금속자성분말을 제조 시, 혼합되는 유리원료 함량에 따른 제조된 분말의 포화자화 및 보자력을 측정한 그래프로서, (a)는 0%, (b)는 3%, (c)는 6%, 그리고 (d)는 9% 혼합된 경우를 나타낸다.
도 3(a-d)은 연자성 Fe-Si-Al 합금소재가 용융된 용탕에 CaB6 유리원료 분말을 혼합한 후, 이를 가스 아토마이저법을 이용하여 금속자성분말을 제조 시, 제조된 금속자성분말에 포함된 보론함량에 따른 분말의 성상을 보여주는 FE-SEM 조직 사진으로서, (a)는 0%, (b)는 3%, (c)는 6%, 그리고 (d)는 9% 함유된 경우를 나타낸다.
이하, 본 발명을 설명한다.
본 발명은 흡수능이 우수한 고투자율 전자파 흡수체용 금속자성재료를 제조하는 방법을 제공함을 특징으로 하며, 이를 위하여 연자성 Fe-Si-Al 합금소재 용탕에 칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride) 유리원료 분말등을 적정량 첨가한 후 혼합하고, 이를 gas atomizer 내지 water atomizer 공정을 이용하여 고투자율 흡수체용 금속자성재료 분말을 제공함을 특징으로 합니다.
즉, 이러한 본 발명의 전자파 흡수체용 금속자성재료의 제조방법은, 연자성 Fe-Si-Al(Sendust) 합금소재를 준비하는 단계; 칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride); SiO2·B2O3; 및 SiO2·B2O3·Al2O3 중 선택된 1종의 유리원료(Glass Frit) 분말을 준비하는 단계; 상기 Fe-Si-Al 합금소재를 용융한 후, 그 용탕에 상기 유리원료 분말을 0.5~7.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합하는 단계; 및 상기 유리원료 분말이 혼합된 용탕을 이용하여 금속자성분말을 제조하는 단계;를 포함한다.
먼저, 본 발명에서는 연자성재료인 Fe-Si-Al(sendust) 합금소재를 마련한다. 상기 연자성 합금소재는 전자파 흡수능이 우수하고 고투자율을 갖는 합금소재로 알려져 있으며, 그 성분비는 원자%로, Fe:85%, Si:9% 및 Al:6%로 이루어져 있다. 그런데 통상은 상술한 성분비로 혼합하더라도, 용융 과정 등에서 일부는 드로스로 제거등이 될 수 있기 때문에, 본 발명에서는 이를 고려하여, Si:12%, Al:8% 범위로 Si와 Al의 함량을 초과하여 원료성분을 배합한다.
이어, 본 발명에서는 칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride); SiO2·B2O3; 및 SiO2·B2O3·Al2O3 중 선택된 1종의 유리원료(Glass Frit) 분말을 준비한다.
이는 문헌상의 Sendust 분말의 이론적 조성과 실제 시판중인 고투자율 분말의 실질적 조성을 분석하여 Fe : Bal, Si- 9~10%, Al- 5~6%를 만족하는 Sendust 원분말을 개발하기 위함이며, 이러한 용융은 Al의 녹는점이 660.32℃로써, Fe의 녹는 1538℃사이의 Gap이 발생하고, 이로 인해 조성의 편차를 유발하게 된다. 이에 본 발명에서는 이를 보완하기 위해, 유리원료(Glass Frits)를 일정량 첨가하여 이러한 조성의 편차를 줄일 수 있는 역할을 한다.
본 발명에서는 이러한 유리원료로서, 칼슘 헥사보라이드(CaB6); SiO2·B2O3; 및 SiO2·B2O3·Al2O3 중 선택된 1종의 유리원료(Glass Frit) 분말을 이용할 수 있다. 그리고 상기 칼슘 헥사보라이드(CaB6) 유리원료 분말은 5중량% 미만의 탄소를 포함할 수 있다.
다음으로, 본 발명에서는 상기 연자성 Fe-Si-Al 합금소재를 용융한 후, 그 용탕에 상기 유리원료 분말을 0.5~7.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합한다.
본 발명은 이와 같이, 상기 Fe-Si-Al 소재를 용융한 후, 여기에, 칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride); SiO2·B2O3; 및 SiO2·B2O3·Al2O3 중 선택된 1종의 유리원료(Glass Frit) 분말을 혼합한다. 이러한 유리원료 분말의 첨가는 상술한 바와 같은, 상기 연자성 Fe-Si-Al 용융 재료의 불균일 용융에 따른 조성편차를 줄이는 역할을 수행한다.
또한 본 발명에서 상기 유리원료는 제조되는 금속자성분말의 자기특성에도 영향을 줄 수 있으므로 그 첨가량을 결정함에 주의를 요한다.
구체적으로, 본 발명에서는 상기 Fe-Si-Al 합금소재를 용융한 후, 그 용탕에 상기 유리원료 분말을 0.5~7.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합함이 바람직하다. 만일 그 첨가량이 0.5중량% 미만이면, 전술한 조성편차를 줄일 수 없을 뿐만 아니라 용탕 내에서 탈산제 역할을 기대 할 수 없어 첨가에 따른 효과를 기대할 수 없으며, 반면 7.0중량%를 초과하면, 용탕 표면에 산화 피막층을 형성하여 용탕의 흐름 저하 및 표면 가스 발생등의 문제가 발생할 수 있다.
보다 바람직하게는, 상기 Fe-Si-Al 합금소재 용탕에 상기 유리원료 분말을 1.0~5.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합함이 바람직하다.
본 발명에서 상기 유리원료의 첨가 시의 용탕온도를 1550~1650℃ 범위로 관리함이 바람직하며, 혼합시간은 대략 20분 정도이면 충분하다.
이후, 본 발명에서는 상기 유리원료 분말이 혼합된 용탕을 이용하여 금속자성분말을 제조한다.
본 발명의 연자성 Fe계 합금 분말은 상기 용탕을 이용하여, 예를 들면 가스 아토마이즈법, 물 아토마이즈법, 디스크 아토마이즈법 등의 각종 아토마이즈법, 또는, 용융에 의한 합금화 후에 실시되는 분쇄법에 의해 제조할 수 있다. 그런데 Fe계 합금 분말의 함유 산소량은 적은 쪽이 바람직하므로, 연자성 Fe계 합금 분말은 가스 아토마이즈법에 의해 제조하는 것이 바람직하고, 불활성 가스를 사용한 가스 아토마이즈법에 의해 제조하는 것이 더욱 바람직하다.
한편 연자성 Fe계 합금 분말은 디스크 아토마이즈법 또는 물 아토마이즈법에 의해서도 문제없이 제조할 수 있지만, 양산성의 관점에서는 가스 아토마이즈법이 우수하다. 아토마이즈법에 의해 제조된 분말은 형상이 구형에 가까운 점에서, 아트리터 가공 등을 사용한 분쇄법으로 제조된 분말보다 편평화가 진행되기 쉽다.
또한 본 발명에서는 통상의 분말야금공정을 이용하여 상기 금속자성분말을 코아상 형태의 자성재료로 제조할 수 있다
또한 본 발명에서는 상기 금속자성분말에 수지를 혼합한 후, 성형함으로써 시트상 형태의 자성재료로도 제조할 수도 있다.
한편 상기 유리원료 분말에는 보론이 함유되어 있으므로 최종 금석자성분말에 함유된 보론 함량도 달라질 수 있는데, 이에 의해 분말의 자기특성에 영향을 줄 수 있다. 구체적으로, 보론이 함유되지 않은 금속자성분말은 그 구형의 분말 입자의 입경이 크며, 대략 3% 정도 함유되었을때 최적의 균일한 분말입자를 얻을 수 있으나, 5%를 초과하면 다시 분말 입자의 입경이 커지며 미분말의 형성이 많아진다
이를 고려하여, 본 발명에서는 상기 금속자성분말 중 보론의 함량을 2~5% 범위로 관리함이 바람직하다.
나아가, 상기 제조된 금속자성분말을 어닐링처리하는 공정을 추가로 실시함이 바람직하다.
본 발명에서 상기 용융과정과 가스 아토마이저등의 과정을 거쳐 제조된 금속자성분말에는 내부응력이 발생하게 된다. 이는 자기적 특성을 저하시키게 되며, 이러한 내부응력을 없애기 위해서는 어닐링(Annealing) 열처리 과정이 필요하다. 즉, 상술한 금속자성분말의 내부응력으로 인해 초래된 투자율의 저하를 열처리를 통해서 회복시키는 공정으로서, 상기 열처리 온도를 650~750℃ 범위로 관리함이 바람직하며, 보다 바람직하게는, 690~710℃ 범위로 제어하는 것이다.
한편 열처리 공정에 있어서, 열처리 분위기가 대기인 경우, 금속자성분말에 대한 산화가 진행되므로, 이를 억제하기 위해, 상기 금속자성분말을 진공 중 또는 불활성 가스(예를 들면, 아르곤, 질소) 중에서 열처리하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서는 상기 제조된 금속자성분말에 절연피막을 형성하는 공정을 추가로 실시함이 바람직하다.
분말의 절연처리는 자성분말에 있어서는 와전류에 의한 손실을 막아주는 역할을 하며, 또한 시트 제작 시 표면 저항을 올려서 주파수 특성을 좋게 한다. 보통 금속분말의 절연처리시, 폴리머 계열의 바인더를 쓰는 경우가 있으나, 폴리머계열의 바인더는 온도에 민감하기 때문에, 본 발명에서는 Silicate계열의 실리카 나노졸인 무기 바인더를 사용함이 바람직하다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 상세히 설명한다.
(실시예 1)
Fe: 12.58kg, Fe-Si(Si 75%): 2.56kg, 그리고 Fe-Al(Al:50%): 2.16kg으로 이루어진 연자성 Fe-Si-Al 합금조성을 마련하였다. 이러한 합금소재를 1600℃에서 용융한 후, 여기에 CaB6 유리원료 분말을 그 첨가량을 용탕에 대한 중량%로, (a) 0%, (b) 3%, (c) 6%, (d) 9% 범위로 달리하면서 첨가하였다.
이와 같이, 마련된 용탕을 통상의 가스 아토마이저 공정을 이용하여 금속자성분말을 제조하였으며, 이때 CaB6 유리원료 첨가량별 금속자성분말의 SEM 형상을 하기 도 1에 나타내었다.
도 1에 나타난 바와 같이, 3%의 CaB6 유리원료 분말을 첨가 하였을시, 분말의 형상이 균일한 구형의 분말을 얻을 수 있었으며, 유리원료 분말이 첨가되지 않은 경우(a)와 9% 범위로 첨가된 경우(d)는 큰 입자에 미분이 혼재되어 바람직하지 않음을 알 수 있다. 따라서 가장 바람직한 범위는 (b)로 3% 범위로 첨가한 경우로, 균일한 분말입자를 얻을 수 있음을 알 수 있다.
(실시예 2)
실시예 1와 같은 Fe-Si-Al 합금에 CaB6 유리원료 분말이 그 함량을 달리하여 혼합된 용탕을 이용하여 가스 아토마니저 공정으로 금속자성분말을 마련하였다. 이렇게 마련된 금속자성분말에 나노졸과 물유리를 사용하여 절연처리를 하였으며, 이를 20ton/cm²의 압력으로 내경 14.5mm, 외경 27mm의 Toroidal형식으로 코아형상으로 프레스 작업하였다.
이렇게 제조된 코아에 코일을 10turn 감은 후, 유리원료 함량에 따른 코아의 인덕턴스[L(μH)]를 측정하여 하기 표 1에 나타내었다. 그리고 하기 표 2에 근거하여 상기 코아에 대한 투자율을 계산하여 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
Figure 112021076281191-pat00001
Figure 112021076281191-pat00002
상기 표 1-2에 나타난 바와 같이, CaB6 유리원료 분말이 3% 정도에서 가장 우수한 투자율 특성을 보임을 확인할 수 있다.
(실시예 3)
실시예 1와 같은 Fe-Si-Al 합금에 CaB6 유리원료 분말이 그 함량을 달리하여 혼합된 용탕을 이용하여, 가스 아토마니저 공정으로 금속자성분말을 마련하였으며, 이들 자성분말들의 포화자화 및 보자력을 나타낸 그래프를 도 2에 나타내었으며, 이때, 각 유리원료 첨가량별 최대 포화자화값을 하기 표 3에 나타내었다. 한편 도 2(a-d)는 Fe-Si-Al 합금소재가 용융된 용탕에 CaB6 유리원료 분말을 혼합한 후, 이를 가스 아토마이저법을 이용하여 금속자성분말을 제조 시, 혼합되는 유리원료 함량에 따른 제조된 분말의 포화자화 및 보자력을 측정한 그래프로서, (a)는 0%, (b)는 3%, (c)는 6%, 그리고 (d)는 9% 혼합된 경우를 나타낸다.
Figure 112021076281191-pat00003
도 2에 나타난 바와 같이, 포화자화는 CaB6 유리원료 분말을 3% 첨가하였을 때, 125.377 emu/g의 최대 값을 가지며, 그 이후 유리원료 함량이 증가함에 따라 오히려 포화자화 값이 떨어짐을 알 수 있다. 이는 적정한 유리원료의 첨가는 조성의 편차를 없애고, 입자를 균일하게 만들어 자기적 특성을 좋게 함을 알 수 있다.
(실시예 4)
실시예 1와 같은 Fe-Si-Al 합금에 CaB6 유리원료 분말이 그 함량을 달리하여 혼합된 용탕을 이용하여, 가스 아토마니저 공정으로 금속자성분말을 마련하였다. 이렇게 제조된 금속자성분말들의 보론 함유량별 분말 입자에 미치는 영향을 도 3에 나타내었다. 도 3(a-d)은 Fe-Si-Al 합금소재가 용융된 용탕에 CaB6 유리원료 분말을 혼합한 후, 이를 가스 아토마이저법을 이용하여 금속자성분말을 제조 시, 제조된 금속자성분말에 포함된 보론함량에 따른 분말의 성상을 보여주는 FE-SEM 조직 사진으로서, (a)는 0%, (b)는 3%, (c)는 6%, 그리고 (d)는 9% 함유된 경우를 나타낸다
도 3에 나타난 바와 같이, 보론이 3% 첨가될 때, 입자가 가장 균일하고, 보론 함량이 많아짐에 따라 미분량도 커짐을 확인할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.

Claims (9)

  1. 연자성 Fe-Si-Al(Sendust) 합금소재를 준비하는 단계;
    칼슘 헥사보라이드(CaB6: Calcium hexaboride) 유리원료(Glass Frit) 분말을 준비하는 단계;
    상기 Fe-Si-Al 합금소재를 용융한 후, 그 용탕에 상기 유리원료 분말을 0.5~7.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합하는 단계; 및
    상기 유리원료 분말이 혼합된 용탕을 이용하여 금속자성분말을 제조하는 단계;를 포함하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 Fe-Si-Al 합금소재 용탕에 상기 유리원료 분말을 1.0~5.0 중량% 범위로 첨가하여 혼합함을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 유리원료의 첨가 시의 용탕온도를 1550~1650℃ 범위로 관리함을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 금속자성분말은, 가스 아토마이즈법, 물 아토마이즈법, 디스크 아토마이즈법 및 용융에 의한 합금화 후에 실시되는 분쇄법 중 선택된 어느 하나의 방법을 이용하여 제조됨을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 금속자성분말은 가스 아토마이저법을 이용하여 제조됨을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 금속자성분말을 이용하여, 시트상 또는 코어상 자성자료를 제조하는 것을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 제조된 금속자성분말을 650~750℃ 온도범위에서 어닐링처리하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 제조된 금속자성분말에 Silicate계열의 실리카 나노졸인 무기 바인더를 이용하여 절연피막을 형성하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 금속자성분말은 보론을 2~5중량% 범위로 포함함을 특징으로 하는 전자파 흡수체용 금속자성분말의 제조방법.
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